KR20080057420A - Developer injection device into a semiconductor wafer manufacturing container - Google Patents

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KR20080057420A
KR20080057420A KR1020060130685A KR20060130685A KR20080057420A KR 20080057420 A KR20080057420 A KR 20080057420A KR 1020060130685 A KR1020060130685 A KR 1020060130685A KR 20060130685 A KR20060130685 A KR 20060130685A KR 20080057420 A KR20080057420 A KR 20080057420A
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Abstract

An apparatus for injecting developer into a receptacle for fabricating a semiconductor wafer is provided to avoid an incident that impurities are injected by performing a process for injecting developer for fabricating a semiconductor wafer in a sealed space by an automatization process. A supply part(10) supplies an empty storage receptacle to the inside of a developer injecting apparatus. A transfer actuator transfers the storage receptacle according to a sequential treatment process. A cover opening/closing part(30) automatically opens/closes the cover of the storage receptacle. A developer injecting part(40) injects contents into the transferred empty storage receptacle whose cover is opened by the operation of the cover opening/closing part. An electronic scale detects the quantity of the contents filled in the storage receptacle by weight. An exhaust part(60) exhausts the injected storage receptacle to the outside of the developer injecting apparatus. A main frame(70) constitutes the external form of the developer injecting apparatus. A ventilation fan(80) supplies external ait to the inside of the developer injecting apparatus. The cover opening/closing part can include a capping part, a vertical driving part and a height adjust part. The capping part rotates after being coupled to the cover of the storage receptacle. The vertical driving part drives the upward and downward operations of the capping part. The height adjust part adjust the set height of the vertical driving part according to the height of the storage receptacle.

Description

반도체 웨이퍼 제조용 용기에의 현상액 주입장치 {.}A developer injection device into a container for manufacturing a semiconductor wafer {.}

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 웨이퍼 제조용 용기에의 현상액 주입장치에 따른 전체 시스템 구성도로서,1 is an overall system configuration diagram of a developer injection device into a container for manufacturing a semiconductor wafer according to an embodiment of the present invention.

도 1a는 정면도1A is a front view

도 1b는 측면도1B is a side view

도 1c는 평면도1C is a top view

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 공급부의 상세도2 is a detailed view of a supply unit according to an embodiment of the present invention;

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 공급액츄에이터의 상세도3 is a detailed view of a supply actuator according to an embodiment of the present invention;

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 이송액츄에이터의 상세도 4 is a detailed view of a transfer actuator according to an embodiment of the present invention;

도 5는 본 발명의 실시에에 다른 이송액츄에이터의 상세도5 is a detailed view of a transfer actuator according to an embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 뚜껑개폐부의 상세도6 is a detailed view of the lid opening and closing portion according to an embodiment of the present invention

도 7은 본 발명의 실시예에 따른 현상액주입부의 상세도7 is a detailed view of a developer injection unit according to an embodiment of the present invention

<도면의 주요 부분에 대한 상세한 설명><Detailed Description of Main Parts of Drawing>

1 : 현상액 주입장치 10 : 공급부1: developer injection device 10: supply part

11 : 이송컨베이어 12 : 차단부11: transfer conveyor 12: cutout

13 : 투입부 14 : 진입컨베이어13: Input part 14: Entry conveyor

15 : 공급분배액츄에이터 20 : 이송액츄에이터15: Supply Distribution Actuator 20: Transfer Actuator

21 : 에어척 22 : 상하실린더21: air chuck 22: upper and lower cylinder

23 : 에어척-지지프레임 24 : 이송스크류23: air chuck-support frame 24: feed screw

25 : 구동수단 30 : 뚜껑개폐부25 drive means 30 lid opening and closing

31 : 캡핑부 32 : 상하구동부31: capping part 32: up and down driving part

33 : 높이조절부 40 : 현상액주입부33: height adjustment part 40: developer injection part

41 : 주입밸브 42 : 주입밸브이동부41: injection valve 42: injection valve moving part

43 : 잔여액받침부 50 : 전자저울43: residual liquid support part 50: electronic balance

60 : 배출부 61 : 배출컨베이어60: discharge portion 61: discharge conveyor

62 : 배출분배액츄에이터 70 : 메인프레임62: discharge distribution actuator 70: main frame

71 : 배출공 80 : 송풍팬71: discharge hole 80: blowing fan

본 발명은 반도체 웨이퍼 제조용 용기에의 현상액 주입장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 웨이퍼 제조용 현상액을 빈 저장용기에 주입하는 과정에서 불순물이 포함되지 않도록 현상액을 주입하고 이러한 모든 공정이 자동화 공정에 의해 이루어지는 반도체 웨이퍼 제조용 용기에의 현상액 주입장치에 관한 것 이다.The present invention relates to an apparatus for injecting a developer into a container for manufacturing a semiconductor wafer. More particularly, the developer is injected so that impurities are not included in the process of injecting the developer for manufacturing a semiconductor wafer into an empty storage container. It relates to a developer injection device into a container for semiconductor wafer production.

일반적으로, 반도체 웨이퍼 제조공정에서 사용되는 현상액에 불순물이 포함되면 제조공정에 방해요소로 작용할 뿐 아니라 웨이퍼에 결함을 형성하게 되어 웨이퍼 특성에 영향을 미치게 된다.In general, the inclusion of impurities in the developer used in the semiconductor wafer manufacturing process not only acts as an obstacle to the manufacturing process but also forms defects in the wafer, thereby affecting wafer characteristics.

즉, 반도체 웨이퍼 제조공정에 사용되는 현상액은 불순물이 포함되어서는 안되는 것으로, 이러한 반도체 제조용 현상액을 생산한 후 각각의 빈 저장용기에 주입하는 과정 또한 절대로 불순물이 포함되지 않도록 주의해야 한다.That is, the developer used in the semiconductor wafer manufacturing process should not contain impurities, and care should be taken not to include impurities in the process of producing such semiconductor manufacturing developers and injecting them into the respective empty storage containers.

빈 저장용기에 반도체 제조용 현상액을 주입하는 과정은 미세한 먼지조차도 들어가지 않도록 외부와 차단된 상태에서 이루어져야 하며, 인력 절감과 함께 생산성을 향상시키기 위해서는 이러한 반도체 제조용 현상액을 주입공정은 완전 자동화 공정에 의해 이루어져야 한다.The process of injecting the developer for semiconductor manufacturing into the empty storage container should be blocked from the outside to prevent the entry of fine dust.In order to reduce the manpower and improve productivity, the process of injecting the developer for semiconductor manufacturing should be performed by a fully automated process. do.

그러나, 종래에는 이러한 시스템이 완전하지 못하여 용기에 현상액을 주입하는 과정에서 불순물이 유입되는 문제점이 있었으며, 완전 자동화 라인이 구축되지 않아 생산성에 있어서도 미흡한 부분이 많았다.However, in the related art, such a system was not perfect, and there was a problem in that impurities were introduced in the process of injecting the developer into the container, and there was much lack in productivity due to the lack of a fully automated line.

따라서, 본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서 빈 저장용기에 반도체 웨이퍼 제조용 현상액을 주입하는 과정에서 불순물이 유입되지 않고 완전 자동화 방식에 의해 생산성을 향상시킬 수 있는 반도체 웨이퍼 제조용 용기에의 현상액 주입장치를 제공함에 본 발명의 목적이 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above-described problems of the prior art, the semiconductor wafer manufacturing for improving productivity by a fully automated method without introducing impurities in the process of injecting the developer for manufacturing semiconductor wafer into the empty storage container It is an object of the present invention to provide a developer injection device into a container.

상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 빈 저장용기를 현상액 주입장치 내로 공급하는 공급부와, 저장용기를 순차적 처리공정에 따라 운반하는 이송액츄에이터와, 저장용기의 뚜껑을 자동으로 개폐하는 뚜껑개폐부와, 상기 뚜껑개폐부의 동작으로 뚜껑이 오픈된 채 운반된 빈 저장용기에 내용물을 주입하는 현상액주입부와, 저장용기에 충진되는 내용물의 양을 무게로 감지하는 전자저울과, 주입이 완료된 저장용기를 현상액 주입장치 밖으로 배출하는 배출부와, 현상액 주입장치의 외형을 이루는 메인프레임과, 현상액 주입장치 내로 외부공기를 공급하는 송풍팬을 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a supply unit for supplying the empty storage container into the developer injection device, a transfer actuator for transporting the storage container according to the sequential processing process, the lid opening and closing portion for automatically opening and closing the lid of the storage container and , A developer injection unit for injecting contents into an empty storage container carried with the lid open by the operation of the lid opening and closing unit, an electronic scale for sensing the weight of the contents filled in the storage container by weight, and a storage container in which the injection is completed It characterized in that it comprises a discharge unit for discharging out of the developer injection device, the main frame forming the appearance of the developer injection device, and a blowing fan for supplying external air into the developer injection device.

바람직하게, 상기의 이송액츄에이터는 에어척을 이용하여 물체를 잡으며, 이송스크류에 의해 에어척이 이동되는 것을 특징으로 한다.Preferably, the transfer actuator is to catch the object using the air chuck, characterized in that the air chuck is moved by the transfer screw.

바람직하게, 상기의 뚜껑개폐부는 저장용기의 뚜껑과 결합 후 회전하는 캡핑부와, 상기 캡핑부의 상승 및 하강 동작을 구동하는 상하구동부와, 저장용기의 높이에 맞춰 상기의 상하구동부의 설정 높이를 조절하는 높이조절부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.Preferably, the lid opening and closing the capping portion and the rotation of the cap coupled to the cap of the storage container, the up and down driving unit for driving the lifting and lowering of the capping portion, and adjusts the set height of the upper and lower driving portion in accordance with the height of the storage container Characterized in that configured to include a height adjustment.

바람직하게, 상기의 캡핑부에는 회전 토크를 조절하는 마찰클러치와, 공기 흡입 및 배출 과정에 의해 오픈된 저장용기의 뚜껑을 일시적으로 고정하는 공기흡입부를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.Preferably, the capping portion is characterized in that it further comprises a friction clutch for adjusting the rotational torque, and an air suction portion for temporarily fixing the lid of the storage container opened by the air suction and discharge process.

바람직하게, 상기의 상하구동부는 회전 동력을 발생하는 상하구동모터와, 상 하구동모터의 회전부와 연결되어 회전력을 전달하는 편심캠을 포함하여 구성되며, 상기 편심캠과 캡핑부를 편심연결하여 회전운동을 직선운동으로 변환 동작하는 것을 특징으로 한다.Preferably, the up and down drive unit is configured to include an up and down drive motor for generating rotational power, and an eccentric cam connected to the rotating part of the up and down drive motor to transmit the rotational force, the eccentric cam and the capping part eccentrically connected to the rotary motion It characterized in that the conversion operation to the linear motion.

바람직하게, 상기의 현상액주입부는 반도체 제조용 현상액을 빈 저장용기에 주입하는 주입밸브와, 상기 주입밸브의 상승 및 하강동작을 구동하는 주입밸브이동부와, 현상액 주입 동작 대기시 주입밸브에 남아있던 현상액 잔여분이 바닥으로 떨어지는 것을 방지하는 잔여액받침부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.Preferably, the developer injection unit includes an injection valve for injecting a developer for semiconductor manufacture into an empty storage container, an injection valve moving unit for driving an up and down operation of the injection valve, and residual developer remaining in the injection valve when the developer injection operation is awaited. Characterized in that it comprises a residual liquid support for preventing falling to the bottom.

바람직하게, 상기의 잔여액받침부 저면에는 저장용기의 뚜껑 개폐여부를 감지하는 뚜껑감지센서를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.Preferably, the bottom of the remaining liquid receiving portion is characterized in that it further comprises a lid detection sensor for detecting whether the lid opening or closing of the storage container.

이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명에 대해 상세하게 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 웨이퍼 제조용 용기에의 현상액 주입장치에 따른 전체 시스템 구성도이다.1 is an overall system configuration of a developer injection device into a container for manufacturing a semiconductor wafer according to an embodiment of the present invention.

도 1에 도시한 바와 같이, 본 발명은 공급부(10)와, 이송액츄에이터(20)와, 뚜껑개폐부(30)와, 현상액주입부(40)와, 전자저울(50)과, 배출부(60)와, 메인프레임(70)과, 송풍팬(80)을 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 1, the present invention provides a supply unit 10, a transfer actuator 20, a lid opening and closing unit 30, a developer solution injection unit 40, an electronic balance 50, and a discharge unit 60. ), A main frame 70, and a blowing fan 80.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 공급부를 보다 상세하게 도시한 도면이다.2 is a view showing in detail the supply unit according to an embodiment of the present invention.

공급부(10)는 이송컨베이어(미도시)에 의해 이송되는 빈 저장용기를 현상액 주입장치(1)내로 공급하는 기능을 담당하는 것으로, 다수의 빈 저장용기를 이송하 는 이송컨베이어(미도시)와, 상기의 이송컨베이어에 의해 이송되는 빈 저장용기의 이송 흐름을 차단하기 위해 구성된 차단부(12)와, 상기 차단부(12)의 동작으로 이송동작이 차단된 빈 저장용기를 현상액 주입장치(1) 내로 공급하는 투입부(13)와, 상기 투입부(13)의 동작으로 이동된 빈 저장용기를 현상액 공급장치(1) 내로 운반하는 진입컨베이어(14)와, 상기 진입컨베이어(14)를 통해 운반된 빈 저장용기를 현상액 공급장치(1) 내에서 양측에 구성된 현상액 주입수단에 각각 공급하도록 구성된 공급액츄에이터(15)를 포함하여 구성된다.The supply unit 10 is responsible for supplying the empty storage container conveyed by the conveying conveyor (not shown) into the developer injection device 1, and a conveying conveyor (not shown) for transporting a plurality of empty storage containers. A developer injection device (1) includes a blocker (12) configured to block a transport flow of an empty storage container transported by the transport conveyor and an empty storage container in which a transport operation is blocked by the operation of the blocker (12). ) Through the input unit 13 for supplying into the inside, the entrance conveyor 14 for conveying the empty storage container moved by the operation of the input unit into the developer supply device 1, and the entry conveyor 14. And a supply actuator 15 configured to respectively supply the conveyed empty storage container to the developer injection means configured on both sides in the developer supply device 1.

상기에서 차단부(12)는 수직방향으로 설치되어 로드가 상하방향으로 움직이도록 형성된 차단실린더(121)와, 상기 차단실린더(121)의 로드 단부에 연결되어 빈 저장용기의 이송 흐름을 차단하는 차단바(122)가 더 포함되어 구성된다.In the block 12 is installed in the vertical direction blocking cylinder 121 is formed so that the rod moves in the vertical direction, and is connected to the rod end of the blocking cylinder 121 to block the transfer flow of the empty storage container Bar 122 is further included.

상기에서 투입부(13)는 현상액 주입장치(1) 방향을 향하여 전후 이동동작을 수행하는 투입실린더(131)와, 상기 투입실린더(131)의 로드 단부에 연결되어 빈 저장용기를 밀어내는 투입바(132)가 더 포함되어 구성된다.In the input unit 13 is an injection cylinder 131 for performing the forward and backward movement operation toward the developer injection device 1 direction, and an injection bar connected to the rod end of the injection cylinder 131 to push the empty storage container 132 is further included.

상기 투입부(13)의 동작으로 이동된 빈 저장용기는 진입컨베이어(14)에 의해 현상액 공급장치(1) 내부로 이송되며, 진입컨베이어(14)의 종단부에 형성된 공급액츄에이터(15)는 빈 저장용기를 동일한 구조로 양측에 형성된 현상액 주입수단에 각각 분배한다.The empty storage container moved by the operation of the input unit 13 is transferred into the developer supplying device 1 by the entry conveyor 14, and the supply actuator 15 formed at the end of the entry conveyor 14 is empty. The storage containers are distributed to the developer injection means formed on both sides with the same structure.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 공급액츄에이터를 보다 상세하게 도시한 도면이다.Figure 3 is a view showing in more detail the supply actuator according to an embodiment of the present invention.

상기의 공급액츄에이터(15)는 빈 저장용기를 양측으로 운반하는 슬라이드플 레이트(151)와, 상기의 슬라이드플레이트(151)를 양측으로 이동할 수 있도록 왕복 운동수단을 제공하는 분배실린더(152)와, 상기의 슬라이드플레이트(151)상에 구역을 나누어 빈 저장용기를 각각 수용할 수 있도록 슬라이드플레이트(151) 상부에 형성된 차단돌기(153)를 더 포함하여 구성된다. The supply actuator 15 includes a slide plate 151 for carrying empty storage containers to both sides, a distribution cylinder 152 for providing a reciprocating means to move the slide plate 151 to both sides, It further comprises a blocking projection 153 formed on the top of the slide plate 151 so as to divide the area on the slide plate 151 to accommodate the empty storage containers, respectively.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 이송액츄에이터를 보다 상세하게 도시한 도면이며, 도 5는 이송액츄에이터의 사용상태도이다.4 is a view showing in detail the transfer actuator according to an embodiment of the present invention, Figure 5 is a state diagram of the use of the transfer actuator.

이송액츄에이터(20)는 상기의 공급액츄에이터(15)로부터 운반된 빈 저장용기를 에어척(21)에 의해 일시적으로 고정한 후 뚜껑개폐부(30) 및 현상액주입부(40)로 각각 이송하는 동작을 수행하는 것으로, 상기의 이송액츄에이터(20)는 에어척(21)과, 상하실린더(22)와, 에어척-지지프레임(23)과, 이송스크류(24)와, 구동수단(25)을 포함하여 구성된다.The transfer actuator 20 temporarily fixes the empty storage container transported from the supply actuator 15 by the air chuck 21 and then transfers the lid opening and closing portion 30 and the developer injection portion 40 respectively. In this case, the transfer actuator 20 includes an air chuck 21, an upper and lower cylinder 22, an air chuck-support frame 23, a transfer screw 24, and a driving means 25. It is composed.

상기에서 에어척(21)은 빈 저장용기를 잡아서 들어올리거나 내려놓을때 물체를 고정하기 위한 수단으로, 압축공기의 유입 및 배출에 따른 피스톤 승하강 동작을 이용하여 피스톤과 연결된 아암(211)을 좁히거나 넓히는 동작으로 특정 물체를 고정하는데 사용된다.The air chuck 21 is a means for fixing an object when lifting or lowering an empty storage container, and narrows the arm 211 connected to the piston by using a piston lifting and lowering operation according to inflow and discharge of compressed air. It is used to fix a specific object by either moving or expanding it.

상기에서 상하실린더(22)는 에어척(21)을 상,하 수직방향으로 이동시키기 위한 수단으로 저장용기를 고정하고 있는 에어척(21)이 이동시에는 상향으로 들어올린 후에 이동동작을 수행한다.The upper and lower cylinders 22 perform a movement operation after the air chuck 21 holding the storage container as a means for moving the air chuck 21 in the vertical direction is lifted upward.

상기에서 에어척-지지프레임(23)은 에어척(21) 및 상하실린더(22)를 지지하 는 것으로 하부에는 이송스크류(23)가 관통하며 이송스크류(23)가 관통하는 부위에는 암나사가 형성된다.The air chuck-supporting frame 23 supports the air chuck 21 and the upper and lower cylinders 22 and a lower portion of the feed screw 23 penetrates and a portion of the feed screw 23 penetrates the female screw. do.

상기에서 이송스크류(24)는 수평방향으로 설치되어 회전하는 것으로 회전축 둘레에 스크류가 형성되어 이송스크류(24)의 회전에 따라 에어척-지지프레임(23)을 축방향으로 이동하도록 하였다.In the above, the transfer screw 24 is installed in the horizontal direction to rotate the screw is formed around the rotating shaft to move the air chuck-support frame 23 in the axial direction in accordance with the rotation of the transfer screw 24.

상기에서 구동수단(25)은 이송스크류(24)에 회전력을 전달하기 위한 동력발생 및 전달수단을 포함하는 것으로 정방향 및 역방향으로 회전하는 구동모터(251)와 동력전달 수단에 해당되는 벨트풀리(252) 및 벨트(253)를 포함하여 구성된다.The drive means 25 includes a power generating and transmitting means for transmitting a rotational force to the transfer screw 24, the drive motor 251 to rotate in the forward and reverse direction and the belt pulley 252 corresponding to the power transmission means. ) And a belt 253.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 뚜껑개폐부를 보다 상세하게 도시한 도면이다.6 is a view showing in more detail the lid opening and closing according to an embodiment of the present invention.

뚜껑개폐부(30)는 마개가 덮여있는 저장용기의 뚜껑을 자동으로 개폐하기 위해 구성된 것으로, 뚜껑과 결합 후 회전하는 캡핑부(31)와, 캡핑부(31)의 상승 및 하강 동작이 구동되는 상하구동부(32)와, 저장용기의 높이에 맞춰 상기의 상하구동부(32)의 설정 높이를 조절하는 높이조절부(33)를 포함하여 구성된다.The lid opening and closing part 30 is configured to automatically open and close the lid of the storage container covered with a stopper, and the capping part 31 and the capping part 31 which rotate after being coupled with the lid are driven up and down. It comprises a drive unit 32, and a height adjusting unit 33 for adjusting the set height of the upper and lower drive unit 32 in accordance with the height of the storage container.

상기에서 캡핑부(31)는 저장용기의 뚜껑 개폐를 위해 회전수단을 제공하는 캡핑모터(311)와, 상기 캡핑모터(311)로부터 발생된 동력을 전달하는 캡핑동력전달부(317)와, 상기 캡핑모터(311)로부터 전달된 동력에 의해 함께 회전하는 캡핑축(312)과, 상기 캡핑축(312)의 하단부에 형성되어 함께 회전하는 것으로 저장용기의 뚜껑과 맞물려 결합되는 뚜껑결합부(313)와, 저장용기에 뚜껑 결합시 잠금 강도 를 조절하기 위하여 상기 캡핑축(312)의 회전 토크를 조절하는 마찰클러치(314)와, 공기 흡입 및 배출 과정에 의해 오픈된 저장용기의 뚜껑을 일시적으로 고정하는 공기흡입부(315)와, 상기 캡핑부(31)의 각 구성부를 지지하는 캡핑프레임(316)을 포함하여 구성된다.The capping unit 31 is a capping motor 311 for providing a rotation means for opening and closing the lid of the storage container, the capping power transmission unit 317 for transmitting the power generated from the capping motor 311, and Capping shaft 312 that rotates together by the power transmitted from the capping motor 311, and the cap coupling portion 313 is engaged with the lid of the storage container to be rotated together is formed on the lower end of the capping shaft 312 And, a friction clutch 314 for adjusting the rotational torque of the capping shaft 312 to adjust the locking strength when the lid is coupled to the storage container, and temporarily fixing the lid of the storage container opened by the air suction and discharge process. The air suction unit 315, and the capping frame 316 for supporting each component of the capping portion 31 is configured.

상기에서 상하구동부(32)는 캡핑부(31)의 상승 또는 하강 동작을 구동하는 것으로 회전 동력을 발생하는 상하구동모터(321)와, 상기 상하구동모터(321)의 회전부와 연결되어 회전력을 전달하는 편심캠(322)과, 상기 편심캠(322)의 편심 위치에서 캡핑프레임(316)과 연결되는 연결부재(323)를 포함하여 구성된다. 즉, 상하구동부(32)의 편심캠(322)은 캡핑부(31)와의 편심연결을 통해 회전운동을 직선운동으로 변환하여 캡핑부(31)의 상승 및 하강 구동동작이 구현될 수 있는 것이다.The vertical drive unit 32 is a vertical drive motor 321 for generating a rotational power by driving the lifting or lowering operation of the capping unit 31, and is connected to the rotating portion of the vertical drive motor 321 to transmit the rotational force The eccentric cam 322 and the connection member 323 connected to the capping frame 316 at the eccentric position of the eccentric cam 322 is configured. That is, the eccentric cam 322 of the up-and-down drive part 32 may convert the rotational motion into a linear motion through the eccentric connection with the capping part 31 so that the up and down driving operation of the capping part 31 may be implemented.

상기에서 높이조절부(33)는 저장용기의 높이에 따른 캡핑부(31)의 위치를 조절하는 것으로 사용자의 조작수단에 해당되는 높이조절핸들(331)과, 상기 높이조절핸들(331)과 수평 방향으로 연결된 수평축(332)과, 수직방향으로 형성된 회전축으로 그 둘레에는 스크류가 형성된 높이조절스크류(333)와, 상기의 수평축(332)의 회전을 수직방향으로 형성된 높이조절스크류(333)에 전달하기 위해 구성된 베벨기어(334)와, 상하구동부(32)를 지지하며 내부에는 암나사가 형성되어 높이조절스크류(333)와 결합되고 높이조절스크류(333)의 회전에 따라 상하 방향으로 이동하도록 구성된 지지봉(335)과, 상기 지지봉(335)의 가이드 역할을 하는 가이드프레임(336)을 포함하여 구성된다.The height adjustment unit 33 is to adjust the position of the capping unit 31 according to the height of the storage container height adjustment handle 331 corresponding to the user's operation means, and the height adjustment handle 331 and horizontal A horizontal axis 332 connected in a direction, a rotation axis formed in a vertical direction, and a height adjustment screw 333 having a screw formed thereon, and a rotation of the horizontal axis 332 to a height adjustment screw 333 formed in a vertical direction. Supporting the bevel gear 334 and the upper and lower driving part 32 is configured to the female thread formed therein is coupled to the height adjustment screw 333 and configured to move in the vertical direction in accordance with the rotation of the height adjustment screw 333 335 and a guide frame 336 serving as a guide of the support rod 335 is configured.

도 7은 본 발명의 실시예에 따른 현상액주입부를 보다 상세하게 도시한 도면이다.7 is a view showing in more detail the developer injection unit according to an embodiment of the present invention.

현상액주입부(40)는 뚜껑이 오픈된 채 이송액츄에이터(20)에 의해 운반된 빈 저장용기에 반도체 제조용 현상액을 주입하는 것으로, 저장탱크(미도시)로부터 유입된 반도체 제조용 현상액을 각각의 빈 저장용기에 주입하는 주입밸브(41)와, 상기 주입밸브(41)의 상승 및 하강동작을 구동하는 주입밸브이동부(42)와, 현상액 주입 동작 대기시 주입밸브(41)에 남아있던 현상액 잔여분이 바닥으로 떨어지는 것을 방지하는 잔여액받침부(43)를 포함하여 구성된다.The developer injection part 40 injects the developer for semiconductor production into an empty storage container carried by the transfer actuator 20 with the lid open, and stores the developer for semiconductor production introduced from a storage tank (not shown) for each bin. The injection valve 41 to be injected into the container, the injection valve moving part 42 for driving the up and down operation of the injection valve 41, and the developer residue remaining in the injection valve 41 when waiting for the developer injection operation are bottomed out. It is configured to include a residual liquid receiving portion 43 to prevent falling into.

상기에서 주입밸브이동부(42)는 동력을 제공하는 주입밸브이동모터(421)와, 상기 주입밸브이동모터(421)의 동력을 제공받아 회전하는 것으로 수직으로 설치되며 그 둘레에는 스크류가 형성된 주입밸브이동스크류(422)와, 상기 주입밸브이동모터(421)로부터 발생된 동력을 주입밸브이동스크류(422)로 전달하는 것으로 벨트풀리 및 연결벨트를 포함하는 주입밸브이동동력전달부(423)를 포함하여 구성된다.The injection valve moving part 42 is vertically installed by rotating the injection valve moving motor 421 for providing power and the power of the injection valve moving motor 421, and has a screw formed around the injection valve. A moving screw 422 and an injection valve moving power transfer unit 423 including a belt pulley and a connecting belt to transfer power generated from the injection valve moving motor 421 to the injection valve moving screw 422. It is configured by.

상기에서 주입밸브(41)는 주입밸브지지부(411)에 고정 지지되며, 상기의 주입밸브지지부(411)는 주입밸브이동스크류(422)의 회전시 상하로 이동 가능하도록 결합된다.In the injection valve 41 is fixedly supported by the injection valve support portion 411, the injection valve support portion 411 is coupled to move up and down during rotation of the injection valve moving screw 422.

상기에서 잔여액받침부(43)는 주입밸브(41)로부터 떨어지는 잔여액을 받치는 받침접시(431)와, 상기 받침접시(431)를 지지하며 주입부프레임(44)측과 회동 가능하도록 연결된 받침바(432)와, 상기 받침바(432)의 종단부에 연결되어 받침바(432)의 부분 회전동작을 제어하는 받침부구동실린더(433)를 포함하여 구성된다.The remaining liquid support 43 is a support plate 431 for supporting the remaining liquid falling from the injection valve 41 and the support plate 431 supporting the support plate 431 and connected to the injection unit frame 44 side to be rotatable It comprises a bar 432, and the support portion driving cylinder 433 is connected to the end of the support bar 432 to control the partial rotation of the support bar 432.

또한, 상기의 받침바(432) 저면에는 저장용기의 뚜껑 개폐여부를 감지하는 뚜껑감지센서(434)를 더 포함하여 뚜껑이 오픈되지 않았을 경우에는 현상액 주입과정이 이루어지지 않도록 하였다.In addition, the bottom of the support bar 432 further includes a lid sensor 434 for detecting whether the lid is opened or closed of the storage container, so that the developer is not injected when the lid is not opened.

전자저울(50)은 빈 저장용기에 반도체 제조용 현상액을 주입하는 과정에서 주입량을 무게로 판단하기 위해 구비된 무게감지수단이다. The electronic balance 50 is a weight sensing means provided to determine the injection amount by weight in the process of injecting the developer for manufacturing a semiconductor into an empty storage container.

배출부(60)는 현상액 주입이 완료된 저장용기를 배출하는 것으로 배출컨베이어(61)를 포함하며, 양측에서 주입된 저장용기를 순차적으로 배출컨베이어(61)측으로 제공하기 위해 배출액츄에이터(62)가 더 포함된다.The discharge unit 60 includes a discharge conveyor 61 to discharge the storage container in which the developer is injected, and the discharge actuator 62 is further provided to sequentially provide the storage containers injected from both sides to the discharge conveyor 61. Included.

상기에서 배출액츄에이터(62)는 공급부(10)에서 적용된 공급액츄에이터(15)와 그 구성이 동일하므로 이하 상세한 설명은 생략하기로 한다.Since the discharge actuator 62 has the same configuration as the supply actuator 15 applied in the supply unit 10, a detailed description thereof will be omitted.

메인프레임(70)은 현상액 주입장치(1)의 외형에 해당하는 것으로 빈 저장용기 내에 현상액을 주입하는 과정에서 이물질이 들어가지 않도록 외부와 차단된 밀폐환경을 제공한다.The main frame 70 corresponds to the external shape of the developer injector 1 and provides a sealed environment that is blocked from the outside so that foreign matter does not enter during the process of injecting the developer into the empty storage container.

송풍팬(80)은 현상액 주입장치(1)내의 먼지 발생을 차단하는 또 다른 방법으로 필터를 통과한 깨끗한 공기를 현상액 주입장치(1) 내에 공급함으로써 현상액 주입장치(1) 내부의 적정압력을 유지하고 먼지를 포함한 이물질이 공기중으로 떠오르 는 것을 방지한다. 또한, 송풍팬(80)을 통해 유입된 공기는 메인프레임(70) 하부에 형성된 배출공(71)을 통해 배출되는 구조를 갖는다. The blowing fan 80 maintains an appropriate pressure inside the developer injector 1 by supplying clean air passing through the filter into the developer injector 1 as another method of blocking dust generation in the developer injector 1. And prevents foreign substances, including dust, from rising into the air. In addition, the air introduced through the blower fan 80 has a structure that is discharged through the discharge hole 71 formed in the lower main frame 70.

상술한 구성으로 이루어진 현상액 주입장치(1)의 동작과정은, 먼저, 이송컨베이어(미도시)에 의해 빈 저장용기가 이송되면 이를 투입부(13)의 동작에 따라 현상액 주입장치(1) 내로 하나씩 공급한다. In the operation process of the developer injection device 1 having the above-described configuration, first, when the empty storage container is transferred by a transfer conveyor (not shown), one by one into the developer injection device 1 according to the operation of the input unit 13. Supply.

진입컨베이어(14)를 통해 현상액 주입장치(1) 내로 진입한 빈 저장용기는 양측에 대응되도록 형성된 현상액 주입수단을 각각 이용하며 이에 대한 빈 저장용기의 분배는 공급액츄에이터(15)를 통해서 이루어진다.Empty storage containers entered into the developer injection device 1 through the entry conveyor 14 use developer injection means formed to correspond to both sides, and the empty storage containers are distributed through the supply actuator 15.

이송액츄에이터(20)의 에어척(21)은 빈 저장용기를 이동하되 먼저 뚜껑개폐부(30)측으로 이동하여 저장용기의 뚜껑을 오픈한다.The air chuck 21 of the transfer actuator 20 moves the empty storage container but first moves to the lid opening and closing part 30 to open the lid of the storage container.

뚜껑이 오픈된 저장용기는 현상액주입부(40)로 이동되어 반도체 제조용 현상액이 주입된다. 용기에 주입되는 현상액의 주입량은 무게를 감지하는 전자저울(50)로부터 무게감지 후 동작의 정지여부가 결정된다.The storage container with the lid open is moved to the developer injection part 40, and the developer for semiconductor manufacturing is injected. The injection amount of the developer injected into the container is determined whether the operation is stopped after the weight is detected by the electronic balance 50 for sensing the weight.

현상액이 충진된 저장용기는 다시 뚜껑개폐부(30)측으로 이동되며 오픈한 후 공기흡입 방식에 의해 잠시 고정되어 있던 뚜껑을 다시 저장용기에 결합한다.The storage container filled with the developing solution is moved to the lid opening and closing part 30 again, and then coupled to the storage container by reopening the lid that has been temporarily fixed by the air suction method.

현상액이 충진되고 뚜껑이 덮인 저장용기는 배출부(60)측으로 이동되며 배출컨베이어(61)에 의해 하나씩 배출된다.The developing solution is filled and the storage container covered with a lid is moved toward the discharge part 60 and discharged one by one by the discharge conveyor 61.

이상에서 본 발명에 대한 기술 사상을 첨부 도면과 함께 서술하였지만 이는 본 발명의 가장 양호한 실시 예를 예시적으로 설명한 것이지 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 또한, 이 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자이면 누구나 본 발명의 기술 사상의 범주를 이탈하지 않는 범위 내에서 다양한 변형과 모방이 가능함은 명백한 사실이다.The technical spirit of the present invention has been described above with reference to the accompanying drawings, but this is by way of example only and not by way of limitation. In addition, it is obvious that any person skilled in the art may make various modifications and imitations without departing from the scope of the technical idea of the present invention.

본 발명에 의한 반도체 웨이퍼 제조용 용기에의 현상액 주입장치에 의하면, 반도체 웨이퍼 제조용 현상액을 주입하는 과정이 밀폐된 공간 안에서 자동화로 이루어지기 때문에 불순물이 주입되는 우려를 방지한 효과가 있으며, 또한 완전 무인화 시스템에 의해 생산성을 향상시킨 효과도 있다.According to the apparatus for injecting a developer into a container for manufacturing a semiconductor wafer according to the present invention, since the process of injecting the developer for manufacturing a semiconductor wafer is automated in an enclosed space, there is an effect of preventing the possibility of introducing impurities, and a completely unmanned system. This also has the effect of improving productivity.

Claims (9)

빈 저장용기를 현상액 주입장치(1) 내로 공급하는 공급부(10)와;A supply unit 10 for supplying the empty storage container into the developer injection device 1; 저장용기를 순차적 처리공정에 따라 운반하는 이송액츄에이터(20)와;A transfer actuator 20 for transporting the storage container according to a sequential processing process; 저장용기의 뚜껑을 자동으로 개폐하는 뚜껑개폐부(30)와;Lid opening and closing part 30 for automatically opening and closing the lid of the storage container; 상기 뚜껑개폐부(30)의 동작으로 뚜껑이 오픈된 채 운반된 빈 저장용기에 내용물을 주입하는 현상액주입부(40)와;A developer injecting portion 40 for injecting contents into an empty storage container in which the lid is opened by the operation of the lid opening and closing portion 30; 저장용기에 충진되는 내용물의 양을 무게로 감지하는 전자저울(50)과;An electronic scale 50 for sensing by weight the amount of contents filled in the storage container; 주입이 완료된 저장용기를 현상액 주입장치(1) 밖으로 배출하는 배출부(60)와;A discharge part 60 which discharges the storage container in which the injection is completed, out of the developer injection device 1; 현상액 주입장치(1)의 외형을 이루는 메인프레임(70)과;A main frame 70 forming an external shape of the developer injection device 1; 현상액 주입장치(1) 내로 외부공기를 공급하는 송풍팬(80);을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 제조용 용기에의 현상액 주입장치.And a blowing fan (80) for supplying external air into the developer injection device (1). 제 1항에 있어서, 이송액츄에이터(20)는 : The method of claim 1 wherein the transfer actuator 20 is: 압축공기의 유입 및 배출에 따른 피스톤 승하강 동작에 의해 구동하는 에어척(21)과;An air chuck 21 driven by a piston raising and lowering operation according to inflow and discharge of compressed air; 상기 에어척(21) 내에 피스톤과 연결된 것으로 물체를 고정하는 아암(211)과;An arm 211 fixed to an object by being connected to a piston in the air chuck 21; 상기의 에어척(21)을 상하수직방향으로 이동시키는 상하실린더(22)와;An upper and lower cylinder 22 for moving the air chuck 21 in the vertical direction; 상기의 에어척(21) 및 상하실린더(22)를 지지하며 하부에는 이송스크류(23)가 관통하도록 구성된 에어척-지지프레임(23)과;An air chuck-supporting frame 23 configured to support the air chuck 21 and the upper and lower cylinders 22 and to have a transfer screw 23 therethrough; 회전축 둘레에 스크류가 형성되어 회전동작시 에어척-지지프레임(23)이 축방향으로 이송되도록 구성된 이송스크류(23)와;A conveying screw 23 formed with a screw around the rotating shaft such that the air chuck-supporting frame 23 is conveyed in the axial direction during the rotating operation; 상기 이송스크류(23)에 회전력을 인가하기 위해 동력을 발생시키고 발생된 동력을 전달하는 구동수단(25);을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 제조용 용기에의 현상액 주입장치.And a driving means (25) for generating power and transmitting the generated power to apply the rotational force to the transfer screw (23). 제 1항에 있어서, 뚜껑개폐부(30)는 : The method of claim 1, wherein the lid opening 30 is: 저장용기의 뚜껑과 결합 후 회전하는 캡핑부(31)와;A capping part 31 which rotates after being combined with a lid of the storage container; 상기 캡핑부(31)의 상승 및 하강 동작을 구동하는 상하구동부(32)와;An up-and-down driving part 32 for driving an up and down operation of the capping part 31; 저장용기의 높이에 맞춰 상기의 상하구동부(32)의 설정 높이를 조절하는 높이조절부(33);를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 제조용 용기에의 현상액 주입장치. And a height adjusting unit (33) for adjusting the set height of the upper and lower driving units (32) in accordance with the height of the storage container. 제 3항에 있어서, 캡핑부(31)는 : The method of claim 3 wherein the capping portion 31 is: 저장용기의 뚜껑 개폐를 위해 회전수단을 제공하는 캡핑모터(311)와;A capping motor 311 providing a rotation means for opening and closing the lid of the storage container; 상기 캡핑모터(311)로부터 발생된 동력을 전달하는 캡핑동력전달부(317)와;A capping power transmission unit 317 for transmitting power generated from the capping motor 311; 상기 캡핑모터(311)로부터 전달된 동력에 의해 함께 회전하는 캡핑축(312)과;A capping shaft 312 rotating together by the power transmitted from the capping motor 311; 상기 캡핑축(312)의 하단부에 형성되어 함께 회전하는 것으로 저장용기의 뚜껑과 맞물려 결합되는 뚜껑결합부(313)와;A lid coupling portion 313 which is formed at the lower end of the capping shaft 312 and rotates together to be engaged with the lid of the storage container; 저장용기에 뚜껑 결합시 잠금 강도를 조절하기 위하여 상기 캡핑축(312)의 회전 토크를 조절하는 마찰클러치(314)와;A friction clutch 314 for adjusting the rotational torque of the capping shaft 312 to adjust the locking strength when the lid is coupled to the storage container; 공기 흡입 및 배출 과정에 의해 오픈된 저장용기의 뚜껑을 일시적으로 고정하는 공기흡입부(315)와;An air suction unit 315 temporarily fixing the lid of the storage container opened by the air suction and discharge process; 상기 캡핑부(31)의 각 구성부를 지지하는 캡핑프레임(316);을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 제조용 용기에의 현상액 주입장치. And a capping frame (316) for supporting each component of the capping unit (31). 제 3항에 있어서, 상하구동부(32)는 :The method of claim 3, wherein the vertical drive 32 is: 캡핑부(31)의 상승 또는 하강 동작을 구동하는 것으로 회전 동력을 발생하는 상하구동모터(321)와;An up and down driving motor 321 which generates rotational power by driving an up or down operation of the capping unit 31; 상하구동모터(321)의 회전부와 연결되어 회전력을 전달하는 편심캠(322)과;An eccentric cam 322 connected to a rotating part of the vertical driving motor 321 and transmitting a rotational force; 상기 편심캠(322)의 편심 위치에서 캡핑프레임(316)과 연결되는 연결부재(323);를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 제조용 용기에의 현상액 주입장치.And a connecting member (323) connected to the capping frame (316) at an eccentric position of the eccentric cam (322). 제 3항에 있어서, 높이조절부(33)는 :According to claim 3, the height adjustment unit 33 is: 저장용기의 높이에 따른 캡핑부(31)의 위치를 조절하는 것으로 사용자의 조작수단에 해당되는 높이조절핸들(331)과;A height adjusting handle 331 corresponding to a user's manipulation means by adjusting the position of the capping part 31 according to the height of the storage container; 상기 높이조절핸들(331)과 수평 방향으로 연결된 수평축(332)과;A horizontal shaft 332 connected to the height adjusting handle 331 in a horizontal direction; 수직방향으로 형성된 회전축으로 그 둘레에는 스크류가 형성된 높이조절스크류(333)와;A height adjusting screw 333 having a screw formed around the axis of rotation formed in the vertical direction; 상기 수평축(332)의 회전을 수직방향으로 형성된 높이조절스크류(333)에 전달하도록 구성된 베벨기어(334)와;A bevel gear 334 configured to transmit the rotation of the horizontal shaft 332 to the height adjusting screw 333 formed in the vertical direction; 상하구동부(32)를 지지하며 내부에는 암나사가 형성되어 높이조절스크류(333)와 결합되고 높이조절스크류(333)의 회전에 따라 상하 방향으로 이동하도록 구성된 지지봉(335)과;A support rod 335 supporting the vertical driving part 32 and having an internal thread formed therein and coupled with the height adjusting screw 333 and configured to move in the vertical direction according to the rotation of the height adjusting screw 333; 상기 지지봉(335)의 가이드 역할을 하는 가이드프레임(336);을 포함하여 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 제조용 용기에의 현상액 주입장치.And a guide frame (336) serving as a guide of the support bar (335). 제 1항에 있어서, 현상액주입부는 : The method of claim 1, wherein the developer injection portion: 반도체 제조용 현상액을 빈 저장용기에 주입하는 주입밸브(41)와;An injection valve 41 for injecting a developer for manufacturing a semiconductor into an empty storage container; 상기 주입밸브(41)의 상승 및 하강동작을 구동하는 주입밸브이동부(42)와;An injection valve moving part 42 for driving an ascending and descending operation of the injection valve 41; 현상액 주입 동작 대기시 주입밸브(41)에 남아있던 현상액 잔여분이 바닥으로 떨어지는 것을 방지하는 잔여액받침부(43);를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 제조용 용기에의 현상액 주입장치. And a residual liquid receiving part (43) which prevents the remaining developer remaining on the injection valve (41) from falling to the bottom when the developer is injected into the developer. 제 7항에 있어서, 주입밸브이동부(42)는 :The method of claim 7, wherein the injection valve moving portion 42 is: 동력을 제공하는 주입밸브이동모터(421)와, 상기 주입밸브이동모터(421)로부터 발생된 동력을 제공받아 회전하는 것으로 수직으로 설치되며 그 둘레에는 스크류가 형성된 주입밸브이동스크류(422)와, 주입밸브이동모터(421)와 주입밸브이동스크류(422) 사이에서 동력을 전달하는 주입밸브이동동력전달부(423)를 포함하며; 주입밸브(41)는 주입밸브지지부(411)에 고정 지지되며, 상기의 주입밸브지지부(411)는 주입밸브이동스크류(422)의 회전시 상하로 이동 가능하도록 결합되며; 잔여액받침부(43)는 주입밸브(41)로부터 떨어지는 잔여액을 받치는 받침접시(431)와, 상기 받침접시(431)를 지지하며 주입부프레임(44)측과 회동 가능하도록 연결된 받침바(432)와, 상기 받침바(432)의 종단부에 연결되어 받침바(432)의 부분 회전동작을 제어하는 받침부구동실린더(433)를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 제조용 용기에의 현상액 주입장치.Injection valve moving motor 421 for providing power, and is installed vertically to rotate by receiving the power generated from the injection valve moving motor 421, the injection valve moving screw 422 is formed around the screw, An injection valve moving power transmission unit 423 which transfers power between the injection valve moving motor 421 and the injection valve moving screw 422; The injection valve 41 is fixedly supported by the injection valve support part 411, and the injection valve support part 411 is coupled to move up and down when the injection valve moving screw 422 is rotated; Residual liquid receiving portion 43 is a support plate 431 for supporting the residual liquid falling from the injection valve 41, and a support bar for supporting the support plate 431 and connected to the injection unit frame 44 side rotatable ( 432, and a supporting part driving cylinder 433 connected to the end of the supporting bar 432 to control the partial rotation of the supporting bar 432. Infusion device. 제 7항에 있어서, 잔여액받침부(43) 저면에는 저장용기의 뚜껑 개폐 여부를 감지하는 뚜껑감지센서(434)를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 제조용 용기에의 현상액 주입장치.8. The apparatus for injecting a developer into a container for manufacturing a semiconductor wafer according to claim 7, wherein the bottom of the remaining liquid receiving part (43) further comprises a lid detecting sensor (434) for detecting whether the lid of the storage container is opened or closed.
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