KR20100020177A - Chemical automatic injection device for semiconductor manufacturing - Google Patents

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KR20100020177A
KR20100020177A KR1020080078853A KR20080078853A KR20100020177A KR 20100020177 A KR20100020177 A KR 20100020177A KR 1020080078853 A KR1020080078853 A KR 1020080078853A KR 20080078853 A KR20080078853 A KR 20080078853A KR 20100020177 A KR20100020177 A KR 20100020177A
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Abstract

PURPOSE: An automatic chemical injection device for manufacturing a semiconductor is provided to prevent the injection of impurities through an automatic selection process. CONSTITUTION: An automatic chemical injection device for manufacturing a semiconductor comprises a sealing state testing unit(1), transfer unit(2), metric injection unit(3), tube insertion unit(4), capping unit(5) and discharging unit(6). The sealing state testing unit performs the sealing inspection of a canister(V). The transfer unit transfers the canister. The metric injection unit injects the solution of the fixed quantity in the canister carried with the transfer unit.

Description

반도체 제조용 화학약품 자동 주입 장치 {.}Chemical automatic injection device for semiconductor manufacturing {.}

본 발명은 반도체 제조 공정에 있어서, 고순도 화학용액을 공정 툴에 공급할 수 있게 하는 캐니스터에 화학용액을 자동으로 정량 주입할 수 있는 장치에 관한 것이다. 보다 구체적으로는 테트라에틸오도실리케이트(TEOS), 알킬 실란, 디클로로에틸렌, 트리메틸보레이트(TMB), 트리메틸포스파이트(TMPI), 보론-포스포루스-실리콘 유리(BPSG) 등의 고순도 화학 약품 및 기타 화학 약품을 저장하기 위한 것으로, 내부 누설 검사를 마친 캐니스터에 화학용액을 자동으로 정량 주입하고 캡(cap)으로 입구를 밀봉시킨 다음 배출시킬 수 있는 반도체 제조용 화학약품 자동 주입 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus capable of automatically metering chemical solutions into canisters that enable high purity chemical solutions to be supplied to process tools in semiconductor manufacturing processes. More specifically, high-purity chemicals such as tetraethylosilicate (TEOS), alkyl silanes, dichloroethylene, trimethylborate (TMB), trimethylphosphite (TMPI), boron-phosphorus-silicon glass (BPSG) and other chemicals The present invention relates to an automatic chemical injection device for manufacturing semiconductors, which can automatically inject a chemical solution into a canister that has undergone internal leakage inspection, seal the inlet with a cap, and then discharge it.

일반적으로 전자 부품을 제조할 때에는 제조 공정상 세정을 위해 액상이나 기상 상태의 고순도 화학약품을 다양한 크기의 캐니스터에 수용하여 공급될 것을 요구한다.In general, when manufacturing electronic components, it is required that high purity chemicals in liquid or gaseous state are accommodated in canisters of various sizes for cleaning in the manufacturing process.

캐니스터 내장되는 고순도 화학약품은 독성과 부식성이 있어서 환경적으로 규제되므로, 부주의한 기체 배출 또는 액체 배출을 피하도록 화학 약품을 밀폐된 용기 내에 안전하게 수용하는 것이 중요하다.Since canister-embedded high-purity chemicals are toxic and corrosive and are environmentally regulated, it is important to safely store the chemicals in closed containers to avoid inadvertent gas or liquid emissions.

반도체 제조 공정을 비롯한 기타 산업에서는 작업장의 공간이 부족하기 때문에 누설된 액상 화학 약품을 유출시키지 않고 또한 작업장에서 용기를 담고 있는 캐비넷이 차지하는 공간을 변화시키지 않으면서도 고순도 화학 약품의 캐니스터를 안전하고 효과적으로 저장하는 방법을 오랫동안 추구하여 다양한 카트와 트레이를 추구하여 왔다.In the semiconductor manufacturing process and other industries, the lack of workplace space ensures safe and effective storage of high-purity chemical canisters without spilling leaked liquid chemicals and without changing the space occupied by the cabinet containing the containers in the workplace. We have been pursuing a variety of carts and trays for a long time.

본 발명은 캐니스터를 컨베이어에서 이송시키면서 패킹팩이 밀봉된 상태를 검사하여 자동으로 이송시키고, 이송되는 캐니스터는 상기 컨베이어 측면에 마련되는 다수개의 계량주입장치에 분배 공급되어 용액이 충전된 다음 캡(cap)을 닫고 배출시키는 일련의 공정을 자동화 시스템에 의하여 처리함으로써 반도체 제조용 화학약품을 캐니스터에 주입하는 작업을 자동화하여 주입된 상태가 고품질 고생산성을 실현할 수 있는 주입장치를 제공하기 위한 것이다.According to the present invention, the canister is transported from the conveyor while the packing pack is sealed and automatically transferred. The canister being transported is distributed to a plurality of metering injection devices provided on the side of the conveyor, and filled with a solution. It is to provide an injection device capable of realizing high quality and high productivity by automating the operation of injecting chemicals for semiconductor manufacturing into the canister by processing a series of processes of closing and discharging) by an automated system.

본 발명은 반도체 제조 공정에 사용하기 위하여 캐니스터를 화학약품의 종류, 용도, 색상 등의 분류에 따라 자동으로 분배하여 화학 약품을 저장하여 이송되도록 설계된다.The present invention is designed to automatically dispense canisters according to the types, uses, colors, etc. of chemicals to store and transport chemicals for use in semiconductor manufacturing processes.

이와 같은 목적을 달성하기 위한 기술적인 특징은 캐니스터(V)가 공급되는 제1공급컨베이어(10)의 양쪽에 설치되는 제1공압실린더(12,12a)의 피스톤로드에 고정되어 캐니스터(V)를 향하면서 마주보는 한 쌍의 고정구(13,13a)가 설치되고, 제2공압실린더(15)로 승강하여 캐니스터(V) 내부에 공기압을 형성하는 블로우 유니트(14)를 구비하여 캐니스터(V)의 내측면에 설치되는 비닐팩의 파손여부를 검사하는 밀봉상태 검사부(1);Technical features for achieving the above object is fixed to the piston rods of the first pneumatic cylinder (12, 12a) installed on both sides of the first supply conveyor (10) to which the canister (V) is supplied to the canister (V). A pair of fasteners 13 and 13a facing toward each other are provided, and a blow unit 14 for raising and lowering the second pneumatic cylinder 15 to form air pressure inside the canister V is provided. Sealed state inspection unit (1) for inspecting the damage of the plastic pack installed on the inner surface;

상기 밀봉상태 검사부(1)에서 밀봉 검사를 마치고 제1공급컨베이어(10)의 배 출단부로 이동된 캐니스터(V)에 용액을 주입하고 캡핑할 수 있도록 이동시키기 위하여 제3공압실린더(200)로 작동하는 푸셔(201)로 되는 측방향 이송부(20)와,After the sealing test in the sealed state inspection unit (1) to the third pneumatic cylinder 200 to move to inject and cap the solution to the canister (V) moved to the discharge end of the first supply conveyor (10) A lateral feeder 20, which acts as a pusher 201,

수평방향으로 설치되는 제4공압실린더(210)에 고정되면서 상기 측방향 이송부(20)의 푸셔(201)에 의하여 이송된 캐니스터(V)를 협지하여 이동시킬 수 있도록 캐니스터(V)를 향하여 마주보는 한 쌍의 고정구(211,211a)와,While facing the canister (V) to be fixed to the fourth pneumatic cylinder (210) installed in the horizontal direction can be moved by pinching the canister (V) transported by the pusher 201 of the lateral transfer (20). A pair of fasteners 211, 211a,

상기 고정구(211,211a)에 의하여 협지된 캐니스터(V)를 상승시키기 위하여 수직 방향으로 설치되어 상기 고정구(211,211a)를 승강시키는 제5공압실린더(213)와, 상기 제5공압실린더(213) 및 고정구(211,211a)에 의하여 상승된 캐니스터(V)를 수평방향으로 이송시키는 제6공압실린더(214)로 되는 상부 이송부(21)와,A fifth pneumatic cylinder 213 installed in a vertical direction to elevate the canister V held by the fasteners 211 and 211a to elevate the fasteners 211 and 211a, and the fifth pneumatic cylinder 213 and An upper conveying part 21 serving as a sixth pneumatic cylinder 214 for conveying the canister V lifted by the fasteners 211 and 211a in a horizontal direction;

상기 제6공압실린더(214)에 의하여 이송된 캐니스터를 다수의 계량주입부(3)에 선별적으로 이송시키기 위하여 제2공급컨베이어(220) 상에 직각 방향으로 설치되는 가이드레일(221)에 안내되는 트레이(222)와, 상기 트레이(222)를 가이드 레일(221) 상에서 이동시키는 제7공압실린더(223)와, 상기 트레이(222) 상에서 캐니스터(V)를 향하여 양쪽에 설치되는 제8공압실린더(241,241a)의 피스톤로드에 고정되어 캐니스터(V)를 향하여 마주보는 한 쌍의 고정구(242,242a)와, 캐니스터(V)를 부양시키기 위하여 회전 가능하게 고정되면서, 한쪽 단부는 수직 방향으로 설치되는 제9공압실린더(243,243a)에 선회 가능하게 고정축(245,245a)으로 고정되고, 다른 한쪽의 단부는 캐니스터(V)의 상부를 지지하는 레버(244,244a)가 상기 고정구(242,242a)의 상부에서 캐니스터(V)의 양쪽에 배치되는 부양이동기구(24)로 되는 분배 이송부(22)와, 상기 트레이(222)를 가이드레일(221) 상에서 왕복 이동시키는 제10공압실린더(247,247a)로 되어 캐니스터(V)를 이송시키는 이송수단(2);In order to selectively transfer the canister conveyed by the sixth pneumatic cylinder 214 to the plurality of metering injection portions 3, the guide rail 221 is installed on the second supply conveyor 220 at right angles. A tray 222, a seventh pneumatic cylinder 223 for moving the tray 222 on the guide rail 221, and an eighth pneumatic cylinder installed on both sides of the tray 222 toward the canister V. One end is installed in the vertical direction while being fixed to the piston rods of 241 and 241a and rotatably fixed to support the pair of fasteners 242 and 242a facing toward the canister V and to support the canister V. Levers 244 and 244a supporting the upper portion of the canister V are fixed to the ninth pneumatic cylinders 243 and 243a so as to be pivotable, and the other end thereof is an upper portion of the fixtures 242 and 242a. On both sides of canister (V) Dispensing conveying part 22 which becomes the moving mechanism 24, and conveying means (2) which becomes 10th pneumatic cylinders 247 and 247a which reciprocate the said tray 222 on the guide rail 221, and conveys a canister V (2). );

상기 이송수단(2)에 의하여 운반된 캐니스터(V)에 화학용액을 정량 투입하는 계량 주입부(3);A metering injecting unit (3) for metering a chemical solution into the canister (V) carried by the transport means (2);

튜브 인서팅부(4);Tube inserting portion 4;

상기 계량 주입부(3)에서 용액이 주입된 캐니스터(V)의 입구를 캡(C)으로 닫아주는 캡핑부(5);A capping part 5 which closes an inlet of the canister V into which the solution is injected from the metering injection part 3 with a cap C;

상기 캡핑부(5)에 의하여 캡핑이 완료된 캐니스터(V)를 배출시키는 배출부(6)로 구성되는 것이다.The capping part 5 is composed of a discharge part 6 for discharging the canister (V) is completed capping.

이와 같은 본 발명은 캐니스터 투입용 컨베이어(1); 밀봉상태 검사부(2); 좌측 이송용 액튜에이터부(3); 상향이송용 액튜에이터부(4); 캐니스터 이송 투입부(5); 계량 주입부(6); 튜브 인서팅 액튜에이터부(7); 캡 공급 액튜에이터부(8); 하향 이송 액투에이터부(10); 캐니스터 배출용 컨베이어(11); 로 구성되어 캐니스터(V)가 자동적으로 이송되는 과정에서 밀봉 검사와 용액 투입, 캡 밀봉 및 배출 작업이 일괄적으로 진행된다.Such a present invention is a canister input conveyor (1); Sealed state inspection unit (2); A left conveying actuator part 3; An actuator unit 4 for upward movement; Canister transfer input 5; Metered injection portion 6; A tube inserting actuator portion 7; A cap feed actuator portion 8; A downward transfer actuator unit 10; Canister discharge conveyor 11; In the process of automatically transporting the canister (V), the sealing inspection and the solution input, cap sealing and discharging operations are carried out in a batch.

본 발명에 의하면 캐니스터에 화학용액을 주입하는 작업을 자동화할 수 있게 되며, 계량주입부가 다수개로 구성되어 있어서 이종의 용액이 수용되는 캐니스터를 동시에 이송시키고 자동 선별하여 주입 작업을 할 수 있어서 불순물이 주입될 수 있는 우려를 방지하고, 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, it is possible to automate the operation of injecting chemical solution into the canister, and it is composed of a plurality of metering injection parts, which simultaneously transports and automatically sorts the canister in which heterogeneous solutions are accommodated and injects impurities, thereby injecting impurities. There is an effect that can be prevented and the productivity can be improved.

본 발명의 실시예를 첨부된 도면에 의하여 설명하면 다음과 같다.An embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

다음의 실시예에서 각 과정별로 이송되는 캐니스터는 작업 위치에 도달하였음을 감지하여 전기적 신호를 출력하는 센서에 의하여 시스템이 구동되는데, 이러한 센서의 감지에 따르는 시스템의 구동은 통상적이고 센서의 위치가 측별히 제한되는 것이 아님으로 도면과 이하의 설명에서는 센서의 도시를 생략하여 설명한다.In the following embodiment, the canister transported for each process is driven by a sensor that outputs an electrical signal by detecting that the work position has been reached. The driving of the system according to the detection of such a sensor is conventional and the position of the sensor is measured. Since the drawings and the following description are not particularly limited, the description of the sensor will be omitted.

본 발명은 밀봉상태 검사부(1); 상기 밀봉상태 검사부(1)에서 밀봉 검사를 마친 캐니스터에 용액을 주입하고 캡핑하기 위하여 이송시키는 이송수단(2); 상기 이송수단에 의하여 운반된 캐니스터에 용액을 정량 투입하는 계량 주입부(3); 상기 계량 주입부(3)에서 용액이 주입된 캐니스터(V)의 입구를 캡(C)으로 닫아주는 캡핑부(5); 상기 캡핑부(5)에 의하여 캡핑이 완료된 캐니스터(V)를 배출시키는 배출부(6)를 포함하여 구성된다. The present invention seal state inspection unit (1); A conveying means (2) for injecting and capping a solution into the canister after the sealing inspection at the sealing state inspecting unit (1); A metering injector (3) for metering a solution into the canister carried by the transport means; A capping part 5 which closes an inlet of the canister V into which the solution is injected from the metering injection part 3 with a cap C; The capping unit 5 is configured to include a discharge unit 6 for discharging the canister (V) is completed capping.

밀봉상태 검사부(1)는 도 4에서 보는 바와 같이 캐니스터(V)가 공급되는 제1공급컨베이어(10)의 양쪽에 설치되는 프레임(11)에 각각 제1공압실린더(12,12a)가 고정되어, 피스톤로드에 고정되어 가이드레일에 안내되는 고정구(13,13a)가 캐니스터(V)를 향하여 서로 마주보며 설치되어 있고, 상부에는 블로우 유니트(14)가 수직 방향으로 고정되는 제2공압실린더(15)의 피스톤로드에 고정되어 승강할 수 있게 되 어 있다. As shown in FIG. 4, the sealed state inspection unit 1 has first pneumatic cylinders 12 and 12a fixed to the frames 11 installed on both sides of the first supply conveyor 10 to which the canister V is supplied. Fixtures 13 and 13a which are fixed to the piston rod and guided to the guide rails are installed facing each other toward the canister V, and the second pneumatic cylinder 15 in which the blow unit 14 is fixed in the vertical direction is installed on the upper portion thereof. The piston rod is fixed to the piston rod and can be lifted up and down.

이송수단(2)은 측방향 이송부(20), 상부 이송부(21), 분배이송부(22)로 구성된다.The conveying means 2 is composed of a lateral conveying part 20, an upper conveying part 21, and a dispensing conveying part 22.

측방향 이송부(20)는 도 5에서 보는 바와 같이 상기 제1공급컨베이어(10)의 후단부 상에 설치되는데, 제3공압실린더(200)에 고정된 푸셔(201)가 가이드 레일(202)에 안내되어 푸셔(201)가 캐이스터를 상부 이송부(21)로 밀어서 이송시킬 수 있게 되어 있다. As shown in FIG. 5, the lateral transfer unit 20 is installed on the rear end of the first supply conveyor 10, and the pusher 201 fixed to the third pneumatic cylinder 200 is attached to the guide rail 202. Guided by the pusher 201 is to push the caster to the upper transfer portion 21 to be transported.

상부 이송부(21)는 도 6에서 보는 바와 같이 제4공압실린더(210,210a)로 작동하는 한 쌍의 고정구(211,211a)가 가이드레일(212)에 승강 가능하게 설치되고, 상기 고정구(211,211a)의 측면에 수직으로 설치되는 하나의 제5공압실린더(213)와 상부에 수평으로 설치되는 제6공압실린더(214)로 구성되어 캐니스터(V)를 협지하여 상승시킨 다음 수평 방향으로 이송시켜 분배 이송부(22)로 공급할 수 있게 한다. As shown in FIG. 6, the upper transfer part 21 is provided with a pair of fasteners 211 and 211a operating as fourth pneumatic cylinders 210 and 210a so as to be elevated on the guide rail 212, and the fasteners 211 and 211a. It consists of one fifth pneumatic cylinder 213 is installed vertically on the side of the sixth pneumatic cylinder 214 is installed horizontally on the upper side by holding the canister (V) is raised and then transported in the horizontal direction dispensing transfer unit To (22).

분배이송부(22)는 도 7에서 보는 바와 같이 제2공급컨베이어(220) 상부에 설치되어 이동하는 가이드레일(221)에 안내되어 제2공급컨베이어(220)의 진행방향에 직각으로 이동하는 트레이(222)와, 제7공압실린더(223)가 설치되고, 상기 트레이(222) 상에 놓여진 캐니스터(V)를 계량주입부(3)와 캡핑부(5)로 이송시키는 부양이동기구(24)로 구성된다.As shown in FIG. 7, the distribution transfer unit 22 is guided to the guide rail 221 installed and moved above the second supply conveyor 220 to move at right angles to the traveling direction of the second supply conveyor 220. 222, and a seventh pneumatic cylinder 223 is provided, and the canister (V) placed on the tray 222 to the flotation movement mechanism 24 for transferring to the metering injection portion 3 and the capping portion (5) It is composed.

상기 부양이동기구(24)는 도 8에서 보는 바와 같이 가이드레일(240,240a)에 안내되어 이동하는 프레임(241)에 수평상으로 고정되는 한 쌍의 제8공압실린더(241,241a)에 고정되는 고정구(242,242a)가 캐니스터(V)를 향하여 대향 설치되고, 상부에는 제10공압실린더(247,247a)로 이동하는 각각의 레버(244,244a)가 고정축(245,245a)으로 회전 가능하게 고정되고, 부양이동기구(24)를 구성하는 프레임(241)을 이동시키기 위한 공압이송기구(246)를 구비한다. 상기 레버(244,244a)의 한쪽 단부는 캐니스터(V)의 상단부를 받쳐서 들어 올릴 수 있는 위치에 놓여지고, 다른 한쪽은 단부는 수직 방향으로 고정되는 한 쌍의 제9공압실린더(243,243a)의 피스톤 로드에 힌지축(245,245a)으로 선회가능하게 고정되어 캐니스터(V)를 들어 올려서 계량주입부(3)와 캡핑부(5)로 이송시킬 수 있게 된다.The float moving mechanism 24 is fixed to a pair of eighth pneumatic cylinders 241 and 241a which are guided to the guide rails 240 and 240a and horizontally fixed to the moving frame 241 as shown in FIG. 8. (242, 242a) is installed facing the canister (V), the upper portion of each lever 244, 244a moving to the tenth pneumatic cylinder (247, 247a) is rotatably fixed to the fixed shaft (245, 245a), and float A pneumatic transfer mechanism 246 for moving the frame 241 constituting the moving mechanism 24 is provided. One end of the levers (244, 244a) is positioned in a position where it can be lifted by supporting the upper end of the canister (V), and the other end of the piston of the pair of ninth pneumatic cylinders (243, 243a) fixed in the vertical direction The rod is pivotably fixed to the hinge shafts 245 and 245a so that the canister V is lifted and transported to the metering injection part 3 and the capping part 5.

계량주입부(3)는 도 9에서 보는 바와 같이 제11공압실린더(300) 상에 설치되는 로드셀(301,301a)과, 수평상으로 설치되는 제12공압실린더(302,302a)와, 수직 방향으로 설치되는 제13공압실린더(303,303a)에 의하여 좌우상하로 이동하는 노즐(304,304a)로 구성되어 상기 이송수단(2)에 의하여 운반된 캐니스터(V)가 로드셀(301,301a)에 안착되어 계량되는 상태에서 화학용액을 정량 투입한다. The metering injection part 3 is installed in the vertical direction with the load cells 301 and 301a installed on the eleventh pneumatic cylinder 300 and the twelfth pneumatic cylinders 302 and 302a installed horizontally. The canister (V) carried by the conveying means (2) is composed of nozzles (304, 304a) to move left and right up and down by the thirteenth pneumatic cylinder (303,303a) to be seated in the load cells (301,301a) Dosing of chemical solution at

화학용액이 정량 투입된 캐니스터(V)는 부양이동기구(24)에 의하여 튜브 인서팅부(4)로 이동될 수 있다.The canister V into which the chemical solution is quantitatively injected may be moved to the tube inserting portion 4 by the flotation moving mechanism 24.

도 10은 튜브 인서팅부(4)를 나타내고 있다.10 shows the tube insert 4.

튜브 인서팅부(4)로 이송되는 캐니스터(V)는 후술하는 배출부(6)의 테이블(600)에 올려놓여진다.The canister V conveyed to the tube inserting portion 4 is placed on the table 600 of the discharge portion 6 described later.

캡핑부(5)는 상기 계량 주입부(3) 및 튜브 인서팅부(4)를 경유한 캐니스터(V)가 부양이동기구(24)에 의하여 공급되는데, 도 11에서 보는 바와 같이 적재대(500) 내에 적층되는 캡(C)이 제14공압실린더(501)에 의하여 배출될 때마다 단계적으로 상승할 수 있게 되고, 상부에서 제15공압실린더(502)에 의하여 승강하는 유압모터(503)에 회동구(504)가 설치되어 적대대(500)로부터 하나의 캡을 파지하여 인출시킨 다음 회동구(504)의 회전 반경 내에 있는 캐니스터(V)의 입구에 내려놓게 되고, 이러한 캐니스터(V)가 캡핑을 완료할 수 있도록 일측에는 도 12에서 보는 바와 같이 부양이동기구(24)에 의하여 이송된 캐니스터(V)가 놓여지는 테이블(505)이 제16공압실린더(506)에 지지되어 설치되며, 상부에는 가이드레일(507)에 안내되어 제17공압실린더(510)으로 승강이동하는 유압모터(508)에 의하여 회전하면서 캐니스터(V)에 캡이 닫혀지게 하는 회전편(509)이 형성되어 있다.The capping part 5 is supplied by the flotation moving mechanism 24 to the canister V via the metering injection part 3 and the tube inserting part 4, as shown in FIG. 11. Each time the cap C stacked therein is discharged by the fourteenth pneumatic cylinder 501, the cap C can be raised in stages, and the rotating hole is moved to the hydraulic motor 503 that is lifted by the fifteenth pneumatic cylinder 502 from the top. A 504 is installed to grip and withdraw one cap from the hostile 500 and then lower it to the inlet of the canister V within the turning radius of the pivot 504, which canister V caps the capping. As shown in FIG. 12, a table 505 on which the canister V transferred by the flotation moving mechanism 24 is placed is supported and installed on the sixteenth pneumatic cylinder 506 so as to be completed. Hydraulic motor which is guided to the rail 507 and moves up and down to the seventeenth pneumatic cylinder 510 A rotating piece 509 is formed so that the cap is closed to the canister V while rotating by 508.

배출부(6)는 도 13에서 보는 바와 같이 튜브 인서팅부(4)에서 캐니스터(V)가 놓여지는 테이블(600)이 제18공압실린더(601)에 의하여 가이드레일(602)에 안내되어 승강이동할 수 있게 되어 있고, 하부에는 상기 제18공압실린더(601)에 의하여 가이드 레일(602,602a)에 안내되어 하강한 테이블(600)상의 캐니스터를 배출구 쪽으로 밀어주기 위하여 제19공압실린더(603)에 고정되는 푸셔(604)가 가이드 레 일(605)의 안내되어 수평 방향으로 이동할 수 있게 설치되어 있고, 상기 푸셔(604)에 의하여 이동된 캐니스터(V)를 배출컨베이어(606)로 이송시키는 제20공압실린더(607)로 구성된다. As shown in FIG. 13, the discharge part 6 is guided to the guide rail 602 by the 18th pneumatic cylinder 601 by the table 600 on which the canister V is placed in the tube inserting part 4. The lower part is guided to the guide rails 602 and 602a by the eighteenth pneumatic cylinder 601 and fixed to the nineteenth pneumatic cylinder 603 to push the canister on the lowered table 600 toward the outlet. The pusher 604 is installed to be guided by the guide rail 605 to move in the horizontal direction, and the 20th pneumatic cylinder for transferring the canister (V) moved by the pusher 604 to the discharge conveyor 606 It consists of 607.

이와 같이 구성되는 본 발명이 구동되어 캐니스터가 자동적으로 이송되는 과정에서 밀봉검사와 화학약품의 자동 투입, 캡 밀봉 및 배출 작업이 자동적으로 진행되는 과정을 설명한다.The present invention configured as described above will be described in the process of the sealing inspection and the automatic closing of the chemical, the cap sealing and discharging operation in the process of automatically transporting the canister.

통상적으로 캐니스터(V)는 내부의 부식을 방지하기 위하여 내주면이 비닐팩(P)으로 감싸여지게 되는데, 상기 비닐팩은 화학약품이 주입되기 전에 누설 여부를 확인하여야 한다. In general, the canister (V) is wrapped around the inner peripheral surface of the plastic pack (P) to prevent corrosion, the plastic pack should be checked for leakage before the chemical injection.

이러한 밀봉상태 검사부(1)는 캐니스터(V)가 캡(cap)이 없는 상태로 제1공급컨베이어(10)를 타고 이송되어 오면 센서가 감지하여 제1공급 컨베이어(10)가 정지한 다음 제1공압실린더(12,12a)가 구동하여 고정구(13,13a)가 전진하면서 캐니스터(V)의 중심을 정렬시켜주게 된다.The sealed state inspection unit 1 detects when the canister V is transported on the first supply conveyor 10 without a cap, and the sensor detects the first supply conveyor 10 and then stops the first supply conveyor. The pneumatic cylinders 12 and 12a are driven to align the center of the canister V while the fixtures 13 and 13a are advanced.

이후 제2공압실린더(15)가 구동하면 블로우 유니트(14)가 하강하여 캐니스터(V) 내부에 공압을 불어넣어서 비닐팩(P)의 누설여부를 검사한다. 여기서 불량상태가 발견된 캐니스터는 작업자에 의하여 이송 라인에서 분리되고, 이상이 없는 캐니스터(V)는 제1공압실린더(12,12a)의 역구동으로 고정구(13,13a)가 후진한 다음 제1이송컨베이어(10)가 재구동함에 따라 후단부로 보내지면 센서에 의하여 다시 제1이송컨베이어(10)가 정지한 다음 이송수단(2)에 의하여 이송되기 위한 대기 상태 에 있게 된다. Thereafter, when the second pneumatic cylinder 15 is driven, the blow unit 14 descends and blows pneumatic pressure into the canister V to inspect whether the plastic pack P is leaked. Here, the canister, in which a defective state is found, is separated from the conveying line by an operator, and the canister (V) having no abnormality is reversed by the first pneumatic cylinders (12, 12a), and the fasteners (13, 13a) retreat. When the conveying conveyor 10 is sent to the rear end as it is re-driven, the first conveying conveyor 10 is stopped again by the sensor, and then is in a waiting state for being conveyed by the conveying means 2.

이후 측방향 이송부(20)의 제3공압실린더(200)가 구동하면 푸셔(201)가 전진하여 캐니스터(V)를 상부이송부(21)로 이송시킨다.Thereafter, when the third pneumatic cylinder 200 of the lateral transfer unit 20 is driven, the pusher 201 moves forward to transfer the canister V to the upper transfer unit 21.

상부이송부(21)로 이송된 캐니스터(V)는 제4공압실린더(210,210a)가 작동하여 고정구(211,211a)가 캐니스터(V)를 협지한 다음 제5공압실린더(212)가 작동하여 가이드레일(212)에 안내되어 상승한 후 제6공압실린더(214)에 의하여 분배 이송부(22)의 트레이(222) 상부로 이송된다.The canister (V) transferred to the upper conveying part (21) is operated by the fourth pneumatic cylinder (210, 210a), the fasteners (211, 211a) sandwiches the canister (V), and then the fifth pneumatic cylinder (212) to operate the guide rail Guided by 212 and ascended, it is conveyed by the sixth pneumatic cylinder 214 to the upper portion of the tray 222 of the distribution transfer unit 22.

분배 이송부(22)의 트레이(222)는 계량 주입부(3)가 설치되는 각 라인까지 선택적으로 이동하여 정지하고, 제7공압실린더(223)에 의하여 가이드레일(221)에 안내되어 부양이동기구(24)가 캐니스터(V)를 인수할 수 있게 한다. The tray 222 of the dispensing conveying unit 22 selectively moves to each line where the metering injection unit 3 is installed and stops, and is guided to the guide rail 221 by the seventh pneumatic cylinder 223 to support the lifting mechanism. Allow 24 to take over canister V.

분배이송공급부(22)의 트레이(222)로부터 캐니스터(V)를 인계받은 부양이동기구(24)는 제8공압실린더(241,241a)에 의하여 캐니스터(V)를 협지하여 정렬시킬 수 있게 되고, 제9공압실린더(243,243a)가 작동하여 승강하는 피스톤로드에 의하여 고정축(245,245a)을 중심으로 시소운동을 하는 레버(244,244a)에 의하여 캐니스터(V)를 들어올린 다음 공압이송기구(246)가 작동하여 프레임(241)이 가이드레일(240,240a)에 안내되어 이동함에 따라 캐니스터(V)를 계량주입부(3)와 캡핑부(5)로 이송시킬 수 있게 된다.The flotation moving mechanism 24, which has taken over the canister V from the tray 222 of the distribution transfer supply unit 22, can hold and align the canister V by the eighth pneumatic cylinders 241 and 241a. 9The canister (V) is lifted by the levers (244, 244a) which are driven to seesaw about the fixed shafts (245, 245a) by the piston rod which the pneumatic cylinders (243, 243a) operate to move up and down, and then the pneumatic feed mechanism (246). As the frame 241 is guided and moved by the guide rails 240 and 240a, the canister V can be transferred to the metering injection part 3 and the capping part 5.

이렇게 부양이동기구(24)에 의하여 계량주입부(3)에 공급되는 캐니스터(V)는 로드셀(301,301a) 위에 내려 놓여지게 되고, 이후 제13공압실린더(303,303a)에 의하여 노즐(304,304a)이 하강하여 캐니스터(V)에 화학용액을 정량 투입한 다음 상승 한다. 이때 제11공압실린더(300,300a)는 로드셀(301,301a) 및 캐니스터(V)를 적정한 위치에 도달하도록 상승시킨다.The canister V supplied to the metering injection unit 3 by the flotation moving mechanism 24 is laid down on the load cells 301 and 301a, and then the nozzles 304 and 304a are formed by the thirteenth pneumatic cylinders 303 and 303a. After this, the chemical solution is injected into the canister (V) in a fixed amount and then rises. In this case, the eleventh pneumatic cylinders 300 and 300a raise the load cells 301 and 301a and the canister V to reach an appropriate position.

계량주입이 완료된 캐니스터(V)는 다시 부양이동기구(24)에 의하여 튜브 인서팅부(4)로 이송되어 노즐 교환 작업을 마친 다음 캡핑부(5)에 의하여 캡이 고정된다.The canister (V) in which the metering injection is completed is again transferred to the tube inserting portion (4) by the flotation moving mechanism (24) to finish the nozzle replacement work, and then the cap is fixed by the capping portion (5).

즉, 도 11에서 보는 바와 같이 유압모터(503)가 구동하여 회동구(504)가 적재대(500) 상부로 회전 이동한 다음 제15공압실린더(502)가 하강 및 상승하여 적재대(500)로부터 하나의 캡(C)을 집어올린 다음, 다시 유압모터(508)에 의하여 회전하여 테이블(600) 위에 위치하고 있는 캐니스터(V) 상부로 회전 이동하고, 제7공압실린더(510)가 다시 하강 및 상승하여 캡(C)을 캐니스터(V)의 입구에 안착시킨 다음 원위치로 복귀하게 된다.That is, as shown in FIG. 11, the hydraulic motor 503 is driven to rotate the rotation hole 504 to the upper part of the mounting table 500, and then the fifteenth pneumatic cylinder 502 is lowered and raised to the mounting table 500. Pick up one cap (C) from the rotation, and then rotates again by the hydraulic motor 508 to the top of the canister (V) located on the table 600, the seventh pneumatic cylinder 510 is lowered and Ascending, the cap (C) is seated at the inlet of the canister (V) and then returned to its original position.

이후에 부상이동기구(24)에 의하여 캐니스터(V)가 테이블(505)에 안착되면 제17공압실린더(510)가 구동하여 가이드 레일(507)에 안내되어 하강하는 유압모터(508)가 구동하여 회전편(509)이 회전하면서 캡을 회전시켜서 캡핑작업을 완료하게 된다.Thereafter, when the canister V is seated on the table 505 by the floating movement mechanism 24, the seventeenth pneumatic cylinder 510 is driven to guide and descend the guide rail 507 to drive the hydraulic motor 508. As the rotating piece 509 rotates, the cap is rotated to complete the capping operation.

이렇게 캡핑작업이 완료된 캐니스터(V)는 다시 부상이동기구(24)에 의하여 배출부(6)의 테이블(600)에 옮겨 놓여지고, 테이블(601)은 제16공압실린더(601)가 구동하여 가이드 레일(602)에 안내되어 아래쪽으로 내려가게 된다.After the capping operation is completed, the canister V is moved to the table 600 of the discharge part 6 again by the floating movement mechanism 24, and the table 601 is driven by the 16th pneumatic cylinder 601 to guide the same. Guided by the rail 602 is lowered down.

이후에 제19공압실린더(603)가 구동하여 푸셔(604)가 가이드레일(605)에 안 내되면서 캐니스터(V)를 배출위치로 이송시키고 원위치하면, 제20공압실린더(607)가 구동하여 캐니스터(V)를 배출컨베이어(606)로 이송시키게 됨으로써 작업을 완료하게 된다.Thereafter, when the nineteenth pneumatic cylinder 603 is driven and the pusher 604 is guided to the guide rail 605, the canister V is transferred to the discharge position, and when the home position is returned, the 20th pneumatic cylinder 607 is driven to the canister. (V) is transferred to the discharge conveyor 606 to complete the work.

도 1은 본 발명의 평면도1 is a plan view of the present invention

도 2는 본 발명의 정면도2 is a front view of the present invention

도 3은 본 발명의 측면도3 is a side view of the present invention

도 4는 본 발명의 밀봉 상태 검사부4 is a sealed state inspection unit of the present invention

도 5는 본 발명의 측방향 이송부Figure 5 is a lateral transfer of the present invention

도 6은 본 발명의 상부 이송부Figure 6 is the upper transfer portion of the present invention

도 7은 본 발명의 분배 이송부7 is a distribution transfer unit of the present invention

도 8은 본 발명의 부양 이동 기구8 is a floating movement mechanism of the present invention

도 9는 본 발명의 계량 주입부9 is a metered injection portion of the present invention

도 10은 본 발명의 튜브 인서팅부10 is a tube insert of the present invention

도 11은 본 발명의 캡핑부 11 is a capping part of the present invention

도 12는 본 발명의 캡핑부12 is a capping part of the present invention

도 13은 본 발명의 배출부13 is a discharge part of the present invention

Claims (1)

캐니스터(V)가 공급되는 제1공급컨베이어(10)의 양쪽에 설치되는 제1공압실린더(12,12a)의 피스톤로드에 고정되어 캐니스터(V)를 향하면서 마주보는 한 쌍의 고정구(13,13a)가 설치되고, 제2공압실린더(15)로 승강하여 캐니스터(V) 내부에 공기압을 형성하는 블로우 유니트(14)를 구비하여 캐니스터(V)의 내측면에 설치되는 비닐팩의 파손여부를 검사하는 밀봉상태 검사부(1);A pair of fasteners 13, which are fixed to the piston rods of the first pneumatic cylinders 12 and 12a installed on both sides of the first supply conveyor 10 to which the canister V is supplied, face the canister V and face each other. 13a) and a blow unit 14 for raising and lowering the second pneumatic cylinder 15 to form air pressure inside the canister V, and inspecting whether the plastic pack installed on the inner side of the canister V is damaged. Sealed state inspection unit 1; 상기 밀봉상태 검사부(1)에서 밀봉 검사를 마치고 제1공급컨베이어(10)의 배출단부로 이동된 캐니스터(V)에 용액을 주입하고 캡핑할 수 있도록 이동시키는 측방향 이송부(20)와, 수평방향으로 설치되는 제4공압실린더(210)에 고정되면서 상기 측방향 이송부(20)의 푸셔(201)에 의하여 이송된 캐니스터(V)를 협지하여 이동시킬 수 있도록 캐니스터(V)를 향하여 마주보는 한 쌍의 고정구(211,211a)와, 상기 고정구(211,211a)에 의하여 협지된 캐니스터(V)를 상승시키기 위하여 수직 방향으로 설치되어 상기 고정구(211,211a)를 승강시키는 제5공압실린더(213)와, 상기 제5공압실린더(213) 및 고정구(211,211a)에 의하여 상승된 캐니스터(V)를 수평방향으로 이송시키는 제6공압실린더(214)로 되는 상부 이송부(21)와, 상기 제6공압실린더(214)에 의하여 이송된 캐니스터를 다수의 계량주입부(3)에 선별적으로 이송시키기 위하여 제2공급컨베이어(220) 상에 직각 방향으로 설치되는 가이드레일(221)에 안내되는 트레이(222)와, 상기 트레이(222)를 가이드 레일(221) 상에서 이동시키는 제7공압실린더(223)와, 상기 트레이(222) 상에서 캐니스터(V)를 향하여 양쪽에 설치되는 제8공압실린더(241,241a)의 피스톤로드에 고정되어 캐니스터(V)를 향하여 마주보는 한 쌍의 고정구(242,242a)와, 캐니스터(V)를 부양시키기 위하여 회전 가능하게 고정되면서, 한쪽 단부는 수직 방향으로 설치되는 제9공압실린더(243,243a)에 선회 가능하게 고정축(245,245a)으로 고정되고, 다른 한쪽의 단부는 캐니스터(V)의 상부를 지지하는 레버(244,244a)가 상기 고정구(242,242a)의 상부에서 캐니스터(V)의 양쪽에 배치되는 부양이동기구(24)로 되는 분배 이송부(22)와, 상기 트레이(222)를 가이드레일(221) 상에서 왕복 이동시키는 제10공압실린더(247,247a)로 되어 캐니스터(V)를 이송시키는 이송수단(2);After the sealing test in the sealed state inspection unit 1 and the lateral transfer unit 20 for moving and injecting and capping the solution to the canister (V) moved to the discharge end of the first supply conveyor 10, and the horizontal direction A pair facing the canister (V) to be fixed to the fourth pneumatic cylinder (210) to be installed to be moved by pinching the canister (V) transported by the pusher 201 of the lateral transfer unit (20) A fifth pneumatic cylinder 213 installed in a vertical direction to elevate the fasteners 211 and 211a and the canister V held by the fasteners 211 and 211a to elevate the fasteners 211 and 211a; An upper conveying part 21, which is a sixth pneumatic cylinder 214 for conveying the canister V raised by the fifth pneumatic cylinder 213 and the fasteners 211, 211a in the horizontal direction, and the sixth pneumatic cylinder 214. Canisters transported by A tray 222 guided to a guide rail 221 installed on the second supply conveyor 220 at right angles to selectively transfer to the unit 3, and the tray 222 to a guide rail 221. It is fixed to the piston rods of the seventh pneumatic cylinder 223 to be moved in the upper phase and the eight pneumatic cylinders 241 and 241a installed on both sides of the tray 222 toward the canister V, facing toward the canister V. Fixed shafts 245 and 245a pivotably fixed to the ninth pneumatic cylinders 243 and 243a installed in a vertical direction while being rotatably fixed to support the pair of fasteners 242 and 242a and the canister V. Is fixed to the other end, the lever 244, 244a for supporting the upper portion of the canister (V) is a floating mechanism (24) disposed on both sides of the canister (V) at the upper portion of the fasteners (242, 242a) Guide the dispensing conveying part 22 and the tray 222. One reciprocation of claim 10 is in pneumatic cylinder (247,247a) conveying means (2) for transporting the canister (V) to over 221; 바와 같이 제11공압실린더(300) 상에 설치되는 로드셀(301,301a)과, 수평상으로 설치되는 제12공압실린더(302,302a)와, 수직 방향으로 설치되는 제13공압실린더(303,303a)에 의하여 좌우상하로 이동하는 노즐(304,304a)로 구성되어 상기 이송수단(2)에 의하여 운반된 캐니스터(V)가 로드셀(301,301a)에 안착되어 계량되는 상태에서 화학용액을 정량 투입하는 계량투입부(3); As described above, the load cells 301 and 301a are installed on the eleventh pneumatic cylinder 300, the twelfth pneumatic cylinders 302 and 302a are installed horizontally, and the thirteenth pneumatic cylinders 303 and 303a are installed in the vertical direction. A metering input part composed of nozzles 304 and 304a moving left and right and up and down to dose the chemical solution in a state in which the canister V carried by the transfer means 2 is seated on the load cells 301 and 301a and is measured. 3); 튜브 인서팅부(4);Tube inserting portion 4; 상기 계량 주입부(3) 및 튜브 인서팅부(4)를 경유한 캐니스터(V)가 부양이동기구(24)에 의하여 공급되는데, 도 11에서 보는 바와 같이 적재대(500) 내에 적층되는 캡(C)이 제14공압실린더(501)에 의하여 배출될 때마다 단계적으로 상승할 수 있게 되고, 상부에서 제15공압실린더(502)에 의하여 승강하는 유압모터(503)에 회동구(504)가 설치되어 적대대(500)로부터 하나의 캡을 파지하여 인출시킨 다음 회동구(504)의 회전 반경 내에 있는 캐니스터(V)의 입구에 내려놓게 되고, 이러한 캐 니스터(V)가 캡핑을 완료할 수 있도록 일측에는 부양이동기구(24)에 의하여 이송된 캐니스터(V)가 놓여지는 테이블(505)이 제16공압실린더(506)에 지지되어 설치되며, 상부에는 가이드레일(507)에 안내되어 제17공압실린더(510)으로 승강이동하는 유압모터(508)에 의하여 회전하면서 캐니스터(V)에 캡이 닫혀지게 하는 회전편(509)이 형성되는 캡핑부(5);Canister (V) via the metering injection portion (3) and tube inserting portion (4) is supplied by the flotation mechanism (24), cap (C) stacked in the mounting table 500 as shown in FIG. ) Is able to rise in stages whenever it is discharged by the fourteenth pneumatic cylinder 501, the rotating hole 504 is installed in the hydraulic motor 503 to be elevated by the fifteenth pneumatic cylinder 502 from the top One cap is taken out of the hostile 500 and drawn out and then lowered to the entrance of the canister V within the rotation radius of the turning hole 504, so that the canister V can complete the capping. On one side, a table 505 on which the canister V transferred by the flotation moving mechanism 24 is placed is supported and installed on the sixteenth pneumatic cylinder 506, and the upper part is guided by the guide rail 507 to the seventeenth pneumatic pressure. Canister (V) while rotating by the hydraulic motor 508 moving up and down to the cylinder (510) A capping part 5 having a rotating piece 509 to close the cap; 튜브 인서팅부(4)에서 캐니스터(V)가 놓여지는 테이블(600)이 제18공압실린더(601)에 의하여 가이드레일(602)에 안내되어 승강이동할 수 있게 되어 있고, 하부에는 상기 제18공압실린더(601)에 의하여 가이드 레일(602,602a)에 안내되어 하강한 테이블(600)상의 캐니스터를 배출구 쪽으로 밀어주기 위하여 제19공압실린더(603)에 고정되는 푸셔(604)가 가이드 레일(605)의 안내되어 수평 방향으로 이동할 수 있게 설치되어 있고, 상기 푸셔(604)에 의하여 이동된 캐니스터(V)를 배출컨베이어(606)로 이송시키는 제20공압실린더(607)로 되는 배출부(6)를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 화학약품 자동 주입 장치.The table 600 in which the canister V is placed in the tube inserting portion 4 is guided to the guide rail 602 by the eighteenth pneumatic cylinder 601, and is moved upward and downward, and the lower portion of the eighteenth pneumatic cylinder The pusher 604 guided to the guide rails 602 and 602a and fixed to the nineteenth pneumatic cylinder 603 to push the canister on the lowered table 600 toward the discharge port by 601. And a discharge part 6 which is installed to be movable in a horizontal direction and is a twentieth pneumatic cylinder 607 for transferring the canister V moved by the pusher 604 to the discharge conveyor 606. Chemical automatic injection device for manufacturing a semiconductor, characterized in that.
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