KR20080024349A - Fabricating method of plasma display panel - Google Patents

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KR20080024349A
KR20080024349A KR1020060088596A KR20060088596A KR20080024349A KR 20080024349 A KR20080024349 A KR 20080024349A KR 1020060088596 A KR1020060088596 A KR 1020060088596A KR 20060088596 A KR20060088596 A KR 20060088596A KR 20080024349 A KR20080024349 A KR 20080024349A
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display panel
photosensitive
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김성태
강남석
류병길
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엘지전자 주식회사
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Abstract

A method for manufacturing a plasma display panel is provided to form a barrier rib with a high aspect ratio and a high reflectance by using a dry film resist. A photosensitive barrier rib material is coated on an upper surface of a dielectric(403) of a glass(401). A dry film for photosensitive barrier rib is laminated on the photosensitive barrier rib material. A photosensitive barrier rib pattern is formed on the dry film for the photosensitive barrier rib, and a water-jet development process is performed. A barrier rib(430) is formed by delaminating the dry film for the photosensitive barrier rib and performing a bake process. The photosensitive barrier rib material includes one of a cellulose-based binder or cellulose-based binder mixture.

Description

플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법{FABRICATING METHOD OF PLASMA DISPLAY PANEL}Manufacturing method of plasma display panel {FABRICATING METHOD OF PLASMA DISPLAY PANEL}

도 1은 종래의 플라즈마 디스플레이 패널의 구조를 나타낸 구조도이다.1 is a structural diagram showing the structure of a conventional plasma display panel.

도 2는 종래의 감광성법을 이용하여 격벽을 형성하는 방법을 나타낸 개략 블록도이다.2 is a schematic block diagram showing a method of forming a partition wall using a conventional photosensitive method.

도 3은 종래의 DFR을 이용하여 격벽을 형성하는 방법을 나타낸 개략 블록도이다.3 is a schematic block diagram illustrating a method of forming a partition wall using a conventional DFR.

도 4a 내지 도 4i는 본 발명의 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법을 나타낸 공정도이다.4A to 4I are flowcharts illustrating a method of manufacturing a plasma display panel according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 5a 내지 도 5f는 본 발명의 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법을 나타낸 공정도이다.5A through 5F are flowcharts illustrating a method of manufacturing a plasma display panel according to an exemplary embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

401, 501 : 하판(후면 글라스)401, 501: lower plate (rear glass)

402, 502 : 어드레스 전극402 and 502 address electrodes

403, 703 : 유전체층403 and 703: dielectric layers

404, 505, 505 : 격벽층404, 505, 505: partition wall

410, 510 : DFR410, 510: DFR

430, 530, 531 : 격벽430, 530, 531: bulkhead

본 발명은 격벽을 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method of manufacturing a plasma display panel including a partition wall.

플라즈마 디스플레이 패널(PDP : Plasma Display Panel)은 방전 현상을 이용하여 화상을 표시하는 발광형 소자의 일종으로서, 각 셀마다 액티브 소자를 장착할 필요가 없어서 제조 공정이 간단하고, 화면의 대형화가 용이하며, 응답속도가 빨라 대형화면을 가지는 화상표시장치의 표시소자로 각광받고 있다.Plasma Display Panel (PDP) is a type of light emitting device that displays an image by using a discharge phenomenon, and there is no need to mount an active device for each cell, so the manufacturing process is simple and the screen is easily enlarged. As a result, the response speed is fast becoming a display element of an image display device having a large screen.

이와 같은 플라즈마 디스플레이 패널의 구조는 도 1에 도시된 바와 같이, 상부패널(10)과 하부패널(20)을 대향시켜 겹친 구조로 되어있다. 상기 상부패널(10)은 투명 기판(11)의 내면에 한 쌍의 유지전극이 배열되는데, 보통 이 유지전극은 각각 투명전극(12)과 버스전극(13)으로 이루어진다. As shown in FIG. 1, the plasma display panel has a structure in which the upper panel 10 and the lower panel 20 face each other and overlap each other. The upper panel 10 has a pair of sustain electrodes arranged on an inner surface of the transparent substrate 11, and usually the sustain electrodes comprise a transparent electrode 12 and a bus electrode 13, respectively.

이러한 유지전극은 AC 구동을 위한 유전체층(14)으로 피복되고, 이 유전체층(14)의 표면에는 보호막(15)이 형성된다.The sustain electrode is covered with a dielectric layer 14 for AC driving, and a protective film 15 is formed on the surface of the dielectric layer 14.

한편, 상기 하부패널(20)의 내면에는 하판(21) 위에 어드레스 전극(22)이 배열되고, 그 위에 유전체층(23)이 형성되는데, 이 유전체층(23) 위에는 어드레스 전극(22)을 구획하기 위한 스트라이프 또는 웰 타입의 격벽(24)이 형성되고, 이 격벽(24)에 의해 구획되는 셀에는 컬러표시를 위한 적색, 청색 및 녹색의 형광체 층(26)이 도포되어 서브 픽셀을 이룬다.On the other hand, the inner surface of the lower panel 20, the address electrode 22 is arranged on the lower plate 21, the dielectric layer 23 is formed thereon, and the dielectric layer 23 is formed on the dielectric layer 23 for partitioning the address electrode 22 A stripe or well type partition wall 24 is formed, and red, blue, and green phosphor layers 26 for color display are applied to the cells partitioned by the partition walls 24 to form a subpixel.

상기 감광성 격벽(24)에 의하여 방전셀(25)이 서브 픽셀마다 구획되고, 또한 이 방전셀(25)에는 방전가스가 봉입되며, 하나의 픽셀은 상기 3개의 서브 픽셀로 이루어진다.The photosensitive partition wall 24 divides the discharge cell 25 into subpixels, and discharge gas is enclosed in the discharge cell 25, and one pixel includes the three subpixels.

상기 감광성 격벽(24)의 형성방법은 주로 인쇄법, 샌드블라스팅법, 에칭법, 및 감광성 재료를 이용하는 포토리소그래피법이 적용되고 있다.As the method of forming the photosensitive partition wall 24, a printing method, a sand blasting method, an etching method, and a photolithography method using a photosensitive material are mainly applied.

상기 인쇄법은 높은 칙소성을 가진 글라스 페이스트를 수차례 인쇄하여 원하는 정도의 격벽을 형성하는 방법이고, 샌드블라스팅법은 소성 전의 격벽재 위에 드라이 필름 레지스트(Dry Film Resist: DFR)를 도포한 후, 이를 포토 마스크를 이용하여 노광하고 현상한 후에, 이와 같이 패터닝된 DFR을 마스크로 이용하여 샌드블라스팅으로 격벽 패턴을 형성한 후 소성하는 방법이다.The printing method is a method of forming a partition of a desired degree by printing a glass paste having a high thixotropy several times, sandblasting method after applying a dry film resist (DFR) on the partition material before firing, After exposure and development using a photo mask, the patterned DFR is used as a mask to form a barrier rib pattern by sand blasting and then fire.

또한, 에칭법은 상기 샌드블라스팅법 공정과 유사하나, 상기 샌드블라스팅 대신에 에칭액을 이용하여 격벽을 형성하는 것이다.In addition, the etching method is similar to the sandblasting process, but instead of the sandblasting, an etching solution is used to form partition walls.

그런데 상기 에칭법에는 2가지 방법이 현재 적용중인데, 격벽재 위에 올리는 DFR의 경우가 필름 형태인 것과 액상 PR(photo Resist)의 2가지 경우가 있다. 그러므로, 이 재료에 따른 공법의 차이가 있다. However, two methods are currently applied to the etching method, and there are two cases of DFR placed on the partition material, that is, a film form and a liquid photoresist (PR). Therefore, there is a difference in the method according to this material.

도 2는 현재 적용중인 감광성법의 공정을 나타낸 것이다. 하판 글라스에 전극층을 형성한 후, 유전체를 입히고 그 위에 격벽 재료를 인쇄나 시트, 또는 다이코팅을 통하여 코팅(S10)하여 건조를 한다. 2 shows a process of the photosensitive method currently applied. After forming the electrode layer on the lower glass, a dielectric is coated and the barrier material is coated on the substrate through printing, sheeting, or die coating (S10) and dried.

여기에 사용되어지는 격벽 재료는 기존의 샌딩법이나 인쇄법에 사용되는 재 료가 아니라, 감광성에 적합한 파우더와 UV에 감광되어 경화가 이루어질 수 있는 광경화용 비히클이 혼합된 페이스트를 기초로 만들어진 페이스트나 시트 형태의 재료이다. The bulkhead material used here is not a material used in the conventional sanding or printing method, but a paste made of a paste containing a powder suitable for photosensitivity and a photocuring vehicle which can be cured by being exposed to UV light or hardened. It is a material in the form of a sheet.

여기에 UV 노광(S20)을 통하여 비노광부를 알칼리 용액을 통하여 현상(S30)을 하여 원하는 격벽 패턴을 얻은 후 이를 소성(S40)하여 최종 격벽을 얻을 수 있다. Here, the non-exposed part is developed (S30) through an alkali solution through UV exposure (S20) to obtain a desired partition pattern, and then fired (S40) to obtain a final partition.

도 3은 DFR을 이용한 에칭용 격벽 형성방법이다. 일반 격벽재 중에 산에 잘 식각될 수 있는 파우더를 기본 재료로 하여 격벽 재료를 도포(S10)하고 난 후, 이를 소성하고 유기 DFR을 코팅(S11)한 후에 UV 노광(S20)하고, 이를 현상(S30)을 하여 DFR에 1차 패턴을 얻은 후, 이 패턴을 레지스트로 삼아 질산과 같은 산으로 에칭(S50)을 실시하여 최종적으로 격벽을 얻는다.3 is a method of forming a barrier rib for etching using a DFR. After the barrier material is applied (S10) using a powder which can be easily etched in an acid in the general barrier material (S10), it is fired and coated with an organic DFR (S11), followed by UV exposure (S20), and the development ( S30) is used to obtain a primary pattern in the DFR, which is then used as a resist to be etched (S50) with an acid such as nitric acid to finally obtain a partition.

그러나 상기와 같은 종래의 격벽 형성방법은 공정이 복잡하고 높은 어스펙트 비를 얻기가 힘들다. 또한, 현재 적용중인 감광성 격벽 형성방법도 2회에 걸친 노광 공정과 감광성 재료로 고가의 아크릴레이트계 바인더를 사용함으로써 공정 및 비용의 증대와 잔탄율이 높다는 문제점이 있었다.However, the conventional barrier rib forming method as described above is difficult to obtain a high aspect ratio and a complicated process. In addition, the photosensitive bulkhead forming method currently applied has a problem that the process and cost increase and the residual carbon ratio is high by using an exposure acrylate twice and an expensive acrylate-based binder as the photosensitive material.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, DFR을 이용한 격벽 형성방법에서 제조 공정 및 비용의 감소를 도모할 수 있는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법을 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and to provide a method for manufacturing a plasma display panel that can reduce the manufacturing process and cost in the partition wall forming method using DFR.

또한, 본 발명은 DFR을 이용한 격벽 형성방법에서 격벽의 단면 형상 제어를 용이하게 할 수 있는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법을 제공하는 데 있다.In addition, the present invention is to provide a method for manufacturing a plasma display panel that can easily control the cross-sectional shape of the partition wall in the partition wall formation method using the DFR.

상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법은, 격벽으로 구획된 방전 셀을 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법에 있어서In order to achieve the above object of the present invention, a method of manufacturing a plasma display panel according to an embodiment of the present invention, in the method of manufacturing a plasma display panel including a discharge cell partitioned by a partition wall

(a) 글라스의 유전체 상부에 격벽 재료를 도포하고, 격벽용 드라이 필름을 라미네이팅 하는 단계,(a) applying a barrier material over the dielectric of the glass and laminating the dry film for the barrier,

(b) 상기 감광성 격벽용 드라이 필름에 격벽의 패턴을 형성한 후, 워터젯 현상하는 단계, 및(b) forming a pattern of the partition on the photosensitive partition dry film, and then performing waterjet development, and

(c) 상기 감광성 격벽용 드라이 필름을 박리하고 소성하여 격벽을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.(c) peeling and firing the dry film for photosensitive barrier ribs to form a barrier rib.

또한, 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법은, 가로 격벽과 세로 격벽으로 구획된 방전 셀을 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법에 있어서,In addition, in order to achieve the above object of the present invention, a method of manufacturing a plasma display panel according to an embodiment of the present invention, in the method of manufacturing a plasma display panel including a discharge cell divided into a horizontal partition and a vertical partition,

(a) 글라스의 유전체 상부에 격벽 재료를 도포하고, 가로 격벽용 및 세로 격벽용 드라이 필름을 라미네이팅 하는 단계,(a) applying a barrier material over the dielectric of the glass and laminating the dry films for the horizontal and vertical bulkheads,

(b) 상기 가로 격벽용 및 세로 격벽용 드라이 필름에 가로 격벽 및 세로 격벽의 패턴을 형성한 후, 워터젯 현상하는 단계, 및(b) forming a pattern of the horizontal barrier ribs and the vertical barrier ribs in the dry film for the horizontal barrier ribs and the vertical barrier ribs, and then performing waterjet development, and

(c) 상기 감광성 격벽용 드라이 필름을 박리하고 소성하여 가로 격벽 및 세로 격벽형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.(c) peeling and firing the dry film for photosensitive barrier ribs to form a horizontal barrier rib and a vertical barrier rib.

여기서, 상기 감광성 격벽 재료는 셀룰로오스 계열의 바인더 또는 셀룰로오스 계열의 바인더 혼합물 중 선택된 어느 하나를 포함하고, 상기 소성 온도는 330℃ 이하이다.Here, the photosensitive partition wall material includes any one selected from a cellulose-based binder or a cellulose-based binder mixture, and the firing temperature is 330 ° C. or less.

또한, 상기 감광성 격벽의 잔탄율은 10% 미만이고, 반사율은 50∼80%이며, 유전율은 8∼20%이다.Moreover, the residual carbon ratio of the said photosensitive partition is less than 10%, the reflectance is 50 to 80%, and the dielectric constant is 8 to 20%.

그리고, 상기 세로 격벽은 상기 가로 격벽보다 높게 형성되고, 상기 세로 격벽을 형성하기 위한 세로 방향의 패턴 폭은 상기 가로 격벽을 형성하기 위한 가로 방향의 패턴 폭보다 넓게 형성된다.The vertical partition wall is formed higher than the horizontal partition wall, and the pattern width in the vertical direction for forming the vertical partition wall is wider than the pattern width in the horizontal direction for forming the horizontal partition wall.

여기서, 상기 가로 격벽용 및 세로 격벽용 드라이 필름은 서로 다른 재질의 복수의 층으로 이루어지고 이때 상기 복수의 층은 워터젯 현상 특성이 층별로 서로 다르다.Here, the horizontal barrier ribs and the vertical barrier rib dry film may be formed of a plurality of layers of different materials, and the plurality of layers may have different waterjet development characteristics for each layer.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예의 구성과 그 작용을 설명하며, 도면에 도시되고 또 이것에 의해서 설명되는 본 발명의 구성과 작용은 적어도 하나의 실시예로서 설명되는 것이며, 이것에 의해서 상기한 본 발명의 기술적 사상과 그 핵심 구성 및 작용이 제한되지는 않는다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings illustrating the configuration and operation of the embodiment of the present invention, the configuration and operation of the present invention shown in the drawings and described by it will be described as at least one embodiment, By the technical spirit of the present invention described above and its core configuration and operation is not limited.

도 4a 내지 4i는 본 발명의 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법을 나타낸 공정도이다.4A to 4I are flowcharts illustrating a method of manufacturing a plasma display panel according to an exemplary embodiment of the present invention.

플라즈마 디스플레이 패널의 후면 기판을 제조하는 공정은, 도 4a에 도시된 바와 같이 하판으로 후면 글라스(401)를 준비하는 데 후면 글라스(401)는 소다 라임 유리 또는 PD200이 적합하다.In the process of manufacturing the back substrate of the plasma display panel, as shown in FIG. 4A, the soda lime glass or PD200 is suitable for preparing the back glass 401 as the bottom plate.

다음, 도 4b에 도시된 바와 같이 후면 글라스(401) 상에 어드레스 전극(402)을 형성하고, 도 4c에 도시된 바와 같이 후면 글라스(401)와 어드레스 전극(402)을 보호하고 방전시 발생하는 빛을 배면 기판에서 후방으로 통과하는 것을 반사시키는 반사층 역할을 하는 화이트 백층(미도시)과 하부 유전체층(403)을 형성한다. 그리고, 하부 유전체층(403) 상에 격벽을 형성한다.Next, as shown in FIG. 4B, an address electrode 402 is formed on the back glass 401, and as shown in FIG. 4C, the back glass 401 and the address electrode 402 are protected and generated during discharge. A white back layer (not shown) and a lower dielectric layer 403 are formed to serve as a reflective layer for reflecting light passing back from the back substrate. Then, a partition wall is formed on the lower dielectric layer 403.

격벽의 형성 공정을 상세히 설명하면 다음과 같다. 먼저, 도 4d에 도시된 바와 같이 감광성 격벽 재료를 하부 유전체층(403) 상에 도포한다. 이때, 상기 감광성 격벽 재료는 페이스트 형태의 감광성 격벽 재료 조성물을 인쇄하거나 슬러리 형태의 격벽 그린시트를 라미네이팅한다. 또한, 이 격벽 재료는 수현상이 가능한 재료로서, 셀룰로오스 계열의 바인더 또는 셀룰로오스 계열의 바인더 혼합물 중 선택된 어느 하나가 포함된 감광성 격벽 재료를 이용한다.The formation process of a partition is explained in full detail as follows. First, a photosensitive partition material is applied onto the lower dielectric layer 403 as shown in FIG. 4D. In this case, the photosensitive barrier material is printed by pasting the photosensitive barrier material composition in the form of a paste or laminating the partition green sheet in the form of a slurry. In addition, the barrier material is a material that can be developed, using a photosensitive barrier material containing any one selected from a cellulose binder or a cellulose binder mixture.

다음, 도 4e에 도시된 바와 같이 격벽 재료가 도포된 격벽층(404) 상에 소정의 포토 레지스트(Photo Resist)막, 예컨대 드라이 필름 레진(Dry Film Resin; 이하, DFR이라함)(410)이 라미네이팅 공정 등의 방법을 통하여 형성된다. Next, as shown in FIG. 4E, a predetermined photoresist film such as a dry film resin (hereinafter referred to as DFR) 410 is formed on the barrier layer 404 to which the barrier material is applied. It is formed through a method such as a laminating process.

다음, 도 4f에 도시된 바와 같이, 격벽을 형성하기 위해, 웰 타입(well type)의 포토마스크(411)로 하여 자외선 광으로 노광한다. 이 광은 노광기(420)에서 방사되는 광으로서 노광을 실시한다. 이 노광을 실시하여 상기 포토마스크(411)의 패턴대로 격벽층(404)이 경화된다.Next, as shown in FIG. 4F, in order to form a partition wall, a well type photomask 411 is exposed to ultraviolet light. This light is exposed as light emitted from the exposure machine 420. This exposure is performed to harden the partition layer 404 according to the pattern of the photomask 411.

다음, 도 4g에 도시된 바와 같이, 전술한 노광 공정 후에, 현상 공정을 실시한다. 본 발명의 실시예에서는 워터젯을 이용한 수현상 공정으로 워터젯 현상 공정 에 의해 광에 노출된 영역(이하 '노광 영역'이라함)의 DFR(410)은 격벽층(404) 상에 잔류한다.Next, as shown in Fig. 4G, after the above-described exposure step, the developing step is performed. In the exemplary embodiment of the present invention, the DFR 410 of a region exposed to light by the waterjet development process (hereinafter referred to as an “exposure region”) is a water development process using a waterjet, and remains on the partition layer 404.

다음, 도 4h에 도시된 바와 같이, 광에 노출되지 않은 영역(이하 '비노광 영역'이라 함)의 DFR(410)을 제거하고, 도 4i에 도시된 바와 같이, 330℃ 이하로 소성하고 건조 공정을 거쳐 격벽(430)을 형성하게 된다. Next, as shown in FIG. 4H, the DFR 410 of the region not exposed to light (hereinafter referred to as the 'non-exposure region') is removed, and as shown in FIG. 4I, calcined to 330 ° C. or lower and dried. The partition wall 430 is formed through the process.

저렴한 셀룰로오스 계열 또는 셀룰로오스 계열의 혼합물이 포함된 격벽 재료를 이용한 1회의 노광 공정과 낮은 소성 온도로 상기 감광성 격벽(430)을 형성하므로, 플라즈마 디스플레이 패널의 제작 비용을 낮출 수 있고, 더욱이, 잔탄율을 10% 미만으로 하고, 반사율을 50∼80%로 하며, 유전율은 8∼20%로 하여 형성할 수 있다.Since the photosensitive partition wall 430 is formed by a single exposure process using a partition material including an inexpensive cellulose-based or cellulose-based mixture and a low firing temperature, the manufacturing cost of the plasma display panel can be lowered, and the residual carbon ratio is further reduced. It can be formed to be less than 10%, reflectance to 50 to 80%, and dielectric constant to 8 to 20%.

도 5a 내지 도 5f는 본 발명의 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법을 나타낸 공정도이다.5A through 5F are flowcharts illustrating a method of manufacturing a plasma display panel according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 5a에 도시된 바와 같이, 플라즈마 디스플레이 패널의 후면 기판을 제조하는 공정으로서, 하판으로 후면 글라스(501)를 준비하고 상기 후면 글라스(501) 상에 어드레스 전극(502)을 형성하고, 후면 글라스(501)와 어드레스 전극(502)을 보호하고 방전시 발생하는 빛을 배면 기판에서 후방으로 통과하는 것을 반사시키는 반사층 역할을 하는 화이트 백층(미도시)과 하부 유전체층(503)을 형성한다. 그리고, 하부 유전체층(503) 상에 감광성 격벽 재료를 이용하여 제 1 격벽층(504)과, 그 위에 제 2 격벽층(505)을 형성한다. 이때, 상기 감광성 격벽 재료는 페이스트 형태의 감광성 격벽 재료 조성물을 인쇄하거나 슬러리 형태의 격벽 그린시트를 라 미네이팅한다. 또한, 이 격벽 재료는 수현상이 가능한 재료로서, 셀룰로오스 계열의 바인더 또는 셀룰로오스 계열의 바인더 혼합물 중 선택된 어느 하나가 포함된 감광성 격벽 재료를 이용한다.As shown in FIG. 5A, as a process of manufacturing a rear substrate of a plasma display panel, a rear glass 501 is prepared as a lower plate, an address electrode 502 is formed on the rear glass 501, and a rear glass ( A white back layer (not shown) and a lower dielectric layer 503 are formed to protect the 501 and the address electrode 502 and serve as a reflective layer that reflects the light generated during discharge to pass backwards from the rear substrate. Then, the first partition layer 504 and the second partition layer 505 are formed on the lower dielectric layer 503 using the photosensitive partition material. In this case, the photosensitive barrier material is printed by pasting the photosensitive barrier material composition in the form of a laminate or laminate the partition green sheet of the slurry form. In addition, the barrier material is a material that can be developed, using a photosensitive barrier material containing any one selected from a cellulose binder or a cellulose binder mixture.

다음, 도 5b에 상기 제 2 격벽층(505) 상에 소정의 포토 레지스트(Photo Resist)막, 예컨대 드라이 필름 레진(Dry Film Resin; 이하, DFR이라함)(510)이 라미네이팅 공정 등의 방법을 통하여 형성된다. Next, a predetermined photoresist film, such as a dry film resin (hereinafter referred to as DFR) 510, on the second partition wall layer 505 is described in FIG. 5B. It is formed through.

다음, 도 5c에 도시된 바와 같이, 격벽을 형성하기 위해, DFR(510) 상에 포토 마스크(511)로 하여 노광기(520)에서 방사되는 광으로 노광 공정을 실시한다. 여기서, 세로 방향의 패턴 폭이 가로 방향의 패턴 폭보다 더 넓어야 하는 이유는 이후에 형성되는 가로 격벽과 세로 격벽의 높이 차를 두기 위함이다. 바람직하게는, 가로 격벽보다 세로 격벽의 높이가 더 높게 형성이 되는데, 이것을 세로 격벽이 R, G, B 형광체를 각각 분리하여 단위 픽셀을 구획하는 격벽으로 형광체 간의 혼색을 방지하고 플라즈마 디스플레이 패널의 배기 특성을 향상시키기 위함이다Next, as shown in FIG. 5C, an exposure process is performed with light emitted from the exposure machine 520 using the photomask 511 on the DFR 510 to form the partition wall. Here, the reason why the pattern width in the vertical direction should be wider than the pattern width in the horizontal direction is to put a height difference between the laterally formed partition walls and the vertical partition walls. Preferably, the height of the vertical barrier ribs is higher than that of the horizontal barrier ribs. The vertical barrier ribs separate R, G, and B phosphors to partition unit pixels to prevent color mixing between the phosphors and exhaust the plasma display panel. To improve the characteristics

다음, 도 5d에 도시된 바와 같이, 전술한 노광 공정 후에, 현상 공정을 실시한다. 본 발명의 실시예에서는 워터젯을 이용한 수현상 공정으로 워터젯 현상 공정에 의해 광에 노출된 영역(이하 '노광 영역'이라함)의 DFR(510)은 제 2 격벽층(505) 상에 잔류한다. 본 발명의 실시예에 의하면 복수의 격벽층, 즉 상기 제 1 격벽층(504)과 제 2 격벽층(505)은 서로 다른 현상 특성에 의해 상기 제 1 격벽층(504)에 의해 형성되는 격벽과, 상기 제 2 격벽층(505)에 의해 형성되는 격벽의 높이가 서로 다른 차등 격벽을 형성할 수도 있다.Next, as shown in Fig. 5D, after the above-described exposure step, the developing step is performed. In the exemplary embodiment of the present invention, the DFR 510 of a region exposed to light by the waterjet development process (hereinafter, referred to as an “exposure region”) is a water development process using a waterjet, and remains on the second partition wall layer 505. According to an exemplary embodiment of the present invention, a plurality of partition layers, that is, the first partition layer 504 and the second partition wall layer 505 may be formed by the first partition wall layer 504 due to different development characteristics. The differential barrier ribs having different heights of the barrier ribs formed by the second barrier rib layer 505 may be formed.

다음, 도 5e에 도시된 바와 같이, 광에 노출되지 않은 영역(이하 '비노광 영역'이라 함)의 DFR(510)을 제거하고, 도 5f에 도시된 바와 같이, 330℃ 이하로 소성하고 건조 공정을 거쳐 제 1 격벽(530) 및 제 2 격벽(531)을 형성하게 된다. Next, as shown in FIG. 5E, the DFR 510 of an area not exposed to light (hereinafter referred to as a 'non-exposure area') is removed, and as shown in FIG. 5F, calcined to 330 ° C. or lower and dried. The first partition 530 and the second partition 531 are formed through the process.

전술한 바와 같이, 저렴한 셀룰로오스 계열 또는 셀룰로오스 계열의 혼합물이 포함된 격벽 재료를 이용한 1회의 노광 공정과 낮은 소성 온도로 상기 차등 격벽(530, 531)을 형성하므로, 플라즈마 디스플레이 패널의 제작 비용을 낮출 수 있고, 더욱이, 잔탄율을 10% 미만으로 하고, 반사율을 50∼80%로 하며, 유전율은 8∼20%로 하여 형성할 수 있다.As described above, the differential barrier ribs 530 and 531 are formed in a single exposure process using a barrier material including an inexpensive cellulose-based or cellulose-based mixture and at a low firing temperature, thereby lowering the manufacturing cost of the plasma display panel. In addition, the residual carbon ratio can be formed to be less than 10%, the reflectance to 50 to 80%, and the dielectric constant to 8 to 20%.

상기 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구체적으로 설명하기 위한 일례로서, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 다양한 형태의 변형이 가능하고, 이러한 기술적 사상의 여러 실시 형태는 모두 본 발명의 보호범위에 속함은 당연하다.The above embodiment is an example for explaining the technical idea of the present invention in detail, and the present invention is not limited to the above embodiment, various modifications are possible, and various embodiments of the technical idea are all protected by the present invention. It belongs to the scope.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 제조 방법에 의하면, DFR을 이용한 격벽 형성방법에서 제조 공정 및 비용이 절감된다는 효과가 있다.According to the plasma display manufacturing method according to the present invention as described above, there is an effect that the manufacturing process and cost is reduced in the partition wall forming method using the DFR.

또한, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 제조 방법에 의하면, DFR을 이용한 격벽 형성방법에서 높은 어스펙트비의 격벽을 얻을 수 있고 잔탄율이 낮은 동시에 반사율이 높은 격벽을 얻을 수 있다는 효과가 있다.In addition, according to the plasma display manufacturing method according to the present invention, a partition having a high aspect ratio can be obtained in the method of forming a partition using DFR, and a partition having a low residual carbon ratio and a high reflectance can be obtained.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술 사상을 이탈하지 아니 하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다.Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

따라서, 본 발명의 기술적 범위는 실시 예에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구 범위에 의하여 정해져야 한다.Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the embodiments, but should be defined by the claims.

Claims (11)

격벽으로 구획된 방전 셀을 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법에 있어서,In the method of manufacturing a plasma display panel including a discharge cell partitioned by a partition wall, (a) 글라스의 유전체 상부에 격벽 재료를 도포하고, 격벽용 드라이 필름을 라미네이팅 하는 단계;(a) applying a barrier material over the dielectric of the glass and laminating a dry film for the barrier; (b) 상기 감광성 격벽용 드라이 필름에 격벽의 패턴을 형성한 후, 워터젯 현상하는 단계; 및(b) forming a pattern of the partition on the photosensitive partition dry film, and then performing waterjet development; And (c) 상기 감광성 격벽용 드라이 필름을 박리하고 소성하여 격벽을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.(c) peeling and firing the dry film for photosensitive barrier ribs to form a barrier rib. 가로 격벽과 세로 격벽으로 구획된 방전 셀을 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법에 있어서,In the method of manufacturing a plasma display panel comprising a discharge cell divided into a horizontal partition wall and a vertical partition wall, (a) 글라스의 유전체 상부에 격벽 재료를 도포하고, 가로 격벽용 및 세로 격벽용 드라이 필름을 라미네이팅 하는 단계;(a) applying a barrier material over the dielectric of the glass and laminating a dry film for the horizontal bulkhead and the vertical bulkhead; (b) 상기 가로 격벽용 및 세로 격벽용 드라이 필름에 가로 격벽 및 세로 격벽의 패턴을 형성한 후, 워터젯 현상하는 단계; 및(b) forming a pattern of the horizontal partition wall and the vertical partition wall in the dry film for the horizontal partition wall and the vertical partition wall, and then performing waterjet development; And (c) 상기 감광성 격벽용 드라이 필름을 박리하고 소성하여 가로 격벽 및 세로 격벽형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.(c) peeling and firing the dry film for photosensitive barrier ribs to form horizontal barrier ribs and vertical barrier ribs. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 감광성 격벽 재료는,The method of claim 1 or 2, wherein the photosensitive partition material, 셀룰로오스 계열의 바인더 또는 셀룰로오스 계열의 바인더 혼합물 중 선택된 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.A method of manufacturing a plasma display panel comprising any one selected from a cellulose binder or a cellulose binder mixture. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 소성 온도는,The method of claim 1 or 2, wherein the firing temperature, 330℃ 이하인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.It is 330 degrees C or less, The manufacturing method of the plasma display panel. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 감광성 격벽의 잔탄율은,The residual carbon ratio of the photosensitive partition wall according to claim 1 or 2, 10% 미만인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.A method of manufacturing a plasma display panel, characterized in that less than 10%. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 감광성 격벽의 반사율은,The method of claim 1 or claim 2, wherein the reflectance of the photosensitive partition wall, 50∼80%인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.It is 50 to 80%, The manufacturing method of the plasma display panel. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 감광성 격벽의 유전율은,The dielectric constant of claim 1 or 2, wherein 8∼20%인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.It is 8 to 20%, The manufacturing method of the plasma display panel. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 세로 격벽은 상기 가로 격벽보다 높게 형성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.And wherein the vertical barrier ribs are formed higher than the horizontal barrier ribs. 제 2 항에 있어서, The method of claim 2, 상기 세로 격벽을 형성하기 위한 세로 방향의 패턴 폭은 상기 가로 격벽을 형성하기 위한 가로 방향의 패턴 폭보다 넓게 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.And the pattern width in the vertical direction for forming the vertical partition wall is wider than the pattern width in the horizontal direction for forming the horizontal partition wall. 제 2 항에 있어서, The method of claim 2, 상기 가로 격벽용 및 세로 격벽용 격벽층은 서로 다른 재질의 복수의 층으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.And wherein the horizontal barrier ribs and the vertical barrier rib layer are formed of a plurality of layers of different materials. 제 10 항에 있어서, The method of claim 10, 상기 복수의 층은 워터젯 현상 특성이 층별로 서로 다른 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.And the plurality of layers have different waterjet development characteristics for each layer.
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