KR20080020358A - Apparatus for opening door of a pod - Google Patents

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Abstract

A door opening apparatus of a pod is provided to perform smoothly a loading/unloading operation by installing a sensing unit therein in order to sense the number of wafers and to sense positions of the wafers. A pod(3) is formed to store a wafer(1) and includes a door(2) formed at one side thereof. A main body(10) includes a loading plate on which the pod is loaded. An opening/closing unit is formed inside the main body in order to open the door of the pod. A sensing unit(30) is installed inside the main body in order to sense the number of wafers stacked inside the pod, and to transfer a sensing signal to a control unit. A driving unit(40) is formed inside the main body so that a detection sensor senses the wafers and the sensing unit is moved into the pod.

Description

포드의 도어 오픈장치{APPARATUS FOR OPENING DOOR OF A POD}Ford's Door Opener {APPARATUS FOR OPENING DOOR OF A POD}

도 1은 종래 구조를 갖는 포드의 도어 오픈장치를 도시한 사시도,1 is a perspective view showing a door opening device of a pod having a conventional structure;

도 2는 본 발명의 바람직한 일 실시예인 포드의 도어 오픈장치를 단면하여 도시한 단면도,2 is a cross-sectional view showing a pod door opening device according to an embodiment of the present invention;

도 3은 도 2에 도시된 감지수단이 포드의 내부로 인입되기 전 상태를 도시한 종단면도,3 is a longitudinal sectional view showing a state before the sensing means shown in FIG. 2 is drawn into the pod;

도 4는 도 2에 도시된 감지수단이 포드의 내부로 인입된 상태를 도시한 종단면도.Figure 4 is a longitudinal sectional view showing a state in which the sensing means shown in Figure 2 is drawn into the pod.

**도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명**** Description of the symbols for the main parts of the drawings **

1 : 웨이퍼 2 : 도어 1: wafer 2: door

3 : 포드 10 : 본체 3: pod 10: body

11 : 거치대 12 : 고정판 11: holder 12: fixed plate

30 : 감지수단 32 : 감지센서 30: detection means 32: detection sensor

40 : 구동수단 40: driving means

본 발명은 포드의 도어 오픈장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 포드의 도어를 오픈하고 적재된 웨이퍼를 로딩 및 언로딩 하고자 하는 경우 포드의 도어를 오픈함과 동시에 적층된 웨이퍼를 개수의 감지를 시작하여 웨이퍼의 로딩 및 언로딩이 원활하게 이루어질 수 있도록 하는 포드의 도어 오픈장치에 관한 것이다.The present invention relates to a door opening device of a pod, and more particularly, when the door of the pod is opened and the loaded wafer is loaded and unloaded, the number of stacked wafers is simultaneously detected when the door of the pod is opened. The present invention relates to a pod door opening device for smoothly loading and unloading wafers.

일반적으로 반도체는 웨이퍼에 각 곡정에 따라 그 표면이 처리되어 형성된다. 예를 들어, 표면 연마된 웨이퍼는 회로설계와 마스크 제작을 거쳐 산화공정과 감광액도포공정과 노광공전과 현상공정 및 식각과 화학기상증착 등 여러 가지 단계의 공정을 거치게 된다.In general, a semiconductor is formed on a wafer by processing its surface according to each curve. For example, surface-polished wafers are subjected to various stages such as circuit design, mask fabrication, oxidation process, photoresist coating process, exposure process, developing process, etching and chemical vapor deposition.

이러한 일련의 공정을 수행하기 위해서는 웨이퍼를 이송시킬 장치가 마련되어야 하며, 반도체 제조공정은 그 공정 중에 이물질의 침입을 허락하지 않는 클린공정이 수행된다.In order to perform such a series of processes, an apparatus for transferring a wafer must be provided, and a semiconductor manufacturing process is performed with a clean process that does not allow invasion of foreign substances during the process.

따라서 대량의 반도체 자동화 공정에서는 도 1에 도시된 바와 같이 웨이퍼(1)가 적층된 포드(3)가 사용되며, 포드(3)에는 웨이퍼(1)가 적층된 상태로 외부의 이물질이 유입되지 않도록 도어(2)가 형성되고, 도어(2)에는 임의로 열리지 않도록 잠금장치(미도시)가 형성되어 있으며, 외부로 노출되는 도어(2)의 일측면에는 잠금장치를 작동시키는 잠금홈(2a)이 형성된다.Therefore, in a large amount of semiconductor automation process, as shown in FIG. 1, the pod 3 having the wafer 1 stacked thereon is used, and the pod 3 does not introduce foreign substances into the wafer 1 in the stacked state. A door 2 is formed, and a locking device (not shown) is formed on the door 2 so as not to open arbitrarily, and one side of the door 2 exposed to the outside has a locking groove 2a for operating the locking device. Is formed.

로봇암(미도시)을 이용하여 포드(3) 내부에 적층된 웨이퍼(1)를 로딩 및 언로딩 하기 위해서는 포드(3)에 형성된 도어(2)를 열어야 하고, 상기와 같이 로봇암이 웨이퍼(1)를 로딩 및 언로딩 하기 전에 포드(3)의 도어(2)를 열기 위한 장치로 도어 오픈장치가 사용된다. 도어 오픈장치의 본체(10)는 일측에 포드(3)가 얹어지 는 거치대(11)가 형성되고, 거치대(11)에 포드(3)가 얹어진 상태로 도어(2)와 접촉되는 측면부에 도어(2)와 밀착되는 고정판(12)이 형성된다. 그리고 고정판(12)에는 도어(2)에 형성된 잠금홈(2a)에 삽입되어 도어(2)를 여는 잠금고리(21a)가 형성된 회전축(21)이 관통하여 돌출된다. 상기 회전축(21)은 고정판(12)을 기준으로 후면에서 전면으로 관통되고 회전 가능하게 지지되며 그 일측 끝단에 직각을 이루도록 연장된 잠금고리(21a)가 형성된다. 그리고 고정판(12)을 승 하강 시키는 개폐수단(미도시)이 형성된다.In order to load and unload the wafer 1 stacked inside the pod 3 using the robot arm (not shown), the door 2 formed in the pod 3 needs to be opened, and the robot arm is moved to the wafer ( The door opening device is used as a device for opening the door 2 of the pod 3 before loading and unloading 1). The main body 10 of the door opening device has a cradle 11 on which a pod 3 is placed on one side thereof, and a side portion in contact with the door 2 in a state where the pod 3 is placed on the cradle 11. The fixing plate 12 in close contact with the door 2 is formed. In addition, the fixed plate 12 is inserted into the locking groove 2a formed in the door 2 and the rotating shaft 21 having the locking ring 21a for opening the door 2 is formed therethrough. The rotating shaft 21 is penetrated from the rear to the front with respect to the fixing plate 12 and rotatably supported, and a lock ring 21a extending to form a right angle at one end thereof is formed. And opening and closing means (not shown) for raising and lowering the fixed plate 12 is formed.

상기와 같이 구성된 포드의 도어 오픈장치는 포드(3)를 본체(10)의 거치대(11) 위에 얹게 되면 고정판(12)에 도어(2)가 밀착되는 상태에서 회전축(21) 끝단에 형성된 잠금고리(21a)가 잠금홈(2a)에 삽입되고, 잠금홈(2a)에 삽입된 잠금고리(21a)가 축을 중심으로 회전되면서 잠금홈(2a)에 걸림 상태를 유지하게 되고, 이때 잠금수단으로 잠겨있던 도어(2)가 동시에 열림 상태로 변경된다.The door opening device of the pod configured as described above has a locking ring formed at the end of the rotating shaft 21 in a state in which the door 2 is in close contact with the fixing plate 12 when the pod 3 is placed on the holder 11 of the main body 10. (21a) is inserted into the locking groove (2a), the locking ring (21a) inserted into the locking groove (2a) is rotated about the axis to maintain a locked state in the locking groove (2a), at this time locked by the locking means The existing door 2 is changed into the open state at the same time.

상기와 같이 잠금고리(21a)가 잠금홈(2a)에 걸림 상태를 유지하게 되면 개폐수단(미도시)에 의해 도어(2)가 하강되면서 포드(3)가 열리게 되는 것이다.When the lock ring 21a is held in the locking groove 2a as described above, the pod 3 is opened while the door 2 is lowered by the opening and closing means (not shown).

포드(3)의 도어(2)가 열린 후에 로봇암에 의해 포드(3) 안에 웨이퍼(1)의 로딩 및 언로딩 하는 작업을 수행하게 된다.After the door 2 of the pod 3 is opened, the robot arm loads and unloads the wafer 1 into the pod 3.

그러나 상기와 같은 종래 구조로 이루어진 포드의 도어 오픈장치로 웨이퍼의 로딩 및 언로딩 작업을 진행하는 경우 포드에 적층된 웨이퍼의 적층 유무 및 적층된 개수를 체크하지 못하여 작업자가 눈으로 직접 확인한 후 작업을 진행해야 하는 작업의 불편함이 있다.However, in the case of loading and unloading wafers using the pod door opening device having the conventional structure as described above, the operator cannot check the stacking status and the number of stacked wafers in the pod, so the operator can check the work directly. There is an inconvenience in the work that must be done.

상기와 같은 점을 감안하여 안출한 본 발명의 목적은 포드에 적층되는 웨이퍼의 존재 및 개수를 체크하여 웨이퍼를 로딩 및 언로딩 하는 작업이 신속하게 이루어질 수 있도록 하는 포드의 도어 오픈장치를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention devised in view of the above is to provide a door opening device of a pod which allows a loading and unloading operation of a wafer to be performed quickly by checking the presence and number of wafers stacked on the pod. .

상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위한 포드의 도어 오픈장치는 웨이퍼가 보관되고 일측면에 도어가 형성된 포드; 상기 포드가 얹어지는 거치대가 형성된 본체; 상기 포드의 도어를 오픈할 수 있도록 상기 본체의 내부에 형성되는 개폐수단; 상기 본체의 내부에 형성되고 상기 개폐수단에 의해 오픈 포드의 내부에 적층된 웨이퍼의 개수를 감지하여 감지신호를 발생시키고 상기 감지신호를 제어부로 전송하는 감지센서가 장착된 감지수단; 및 상기 도어가 열린 상태에서 상기 감지센서가 웨이퍼를 감지할 수 있도록 상기 본체의 내부에 형성되어 상기 감지수단을 포드의 내부로 인입시키는 구동수단으로 구성되어 상기 감지수단에 의해 상기 포드에 적층된 웨이퍼의 개수가 체크되고, 체크된 개수에 따라 웨이퍼의 로딩 및 언로딩이 신속하게 이루어질 수 있도록 하는 특징이 있다.The door opening device of the pod for achieving the object of the present invention as described above is a pod is a wafer is stored and the door is formed on one side; A body having a cradle on which the pod is mounted; Opening and closing means formed in the main body to open the door of the pod; Sensing means formed in the main body and equipped with a sensing sensor for sensing the number of wafers stacked in the open pod by the opening and closing means to generate a sensing signal and transmitting the sensing signal to a controller; And a driving means formed inside the main body so that the sensing sensor can detect the wafer while the door is opened, and the driving means for introducing the sensing means into the pod, the wafer stacked on the pod by the sensing means. The number of times is checked and the loading and unloading of the wafer can be performed quickly according to the checked number.

이하, 본 발명의 바람직한 일 실시예인 포드의 도어 오픈장치를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같고, 종래 구조와 동일한 부분에 대하여는 동일한 부호를 부여하고, 도 1을 인용하여 설명한다.Hereinafter, a door opening device of a pod, which is a preferred embodiment of the present invention, will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The same reference numerals will be given to the same parts as the conventional structures, and will be described with reference to FIG. 1.

도 2는 본 발명의 바람직한 일 실시예인 포드의 도어 오픈장치를 단면하여 도시한 단면도이고, 도 3은 도 2에 도시된 감지수단이 포드의 내부로 인입되기 전 상태를 도시한 종단면도이고, 도 4는 도 2에 도시된 감지수단이 포드의 내부로 인입된 상태를 도시한 종단면도이다.Figure 2 is a cross-sectional view showing a pod door opening device of a preferred embodiment of the present invention, Figure 3 is a longitudinal sectional view showing a state before the sensing means shown in Figure 2 is drawn into the pod, 4 is a longitudinal sectional view showing a state in which the sensing means shown in Figure 2 is drawn into the interior of the pod.

도시된 바와 같이 본 발명의 바람직한 일 실시예인 포드의 도어 오픈장치의 본체(10)에는 거치대(11)와 고정판(12)이 형성되고, 본체(10)의 내부에는 포드(3)의 도어(2)를 개폐하는 개폐수단(20)과, 포드(3) 내부에 적층되는 웨이퍼(1)를 감지하는 감지수단(30)과, 감지수단(30)을 포드(3)의 내부로 인입시키는 구동수단(40)으로 이루어진다.As shown, the holder 10 and the fixing plate 12 are formed in the main body 10 of the door opening device of the pod of the preferred embodiment of the present invention, the door 2 of the pod 3 inside the main body 10. ) Means for opening and closing the opening and closing means 20, sensing means 30 for sensing the wafer 1 stacked inside the pod 3, and driving means for drawing the sensing means 30 into the pod 3. It consists of 40.

개폐수단(20)은 고정판(12)을 관통하여 돌출되고 도어(12)에 형성된 잠금홈(2a)에 삽입되어 도어(2)를 개폐시킬 수 있도록 일측 끝단부에 잠금고리(21a)가 형성되고 별도의 구동수단에 의해 회전되는 회전축(21)과, 고정판(12)의 내측면에 연결되어 고정판(12)을 승/하강 시키는 승하강부재(22)로 이루어진다.The opening and closing means 20 protrudes through the fixing plate 12 and is inserted into the locking groove 2a formed in the door 12 so that the locking ring 21a is formed at one end thereof to open and close the door 2. It consists of a rotating shaft 21 is rotated by a separate drive means, and the elevating member 22 is connected to the inner surface of the fixed plate 12 to raise / lower the fixed plate 12.

구동수단(40)은 전원을 공급받아 회전되는 모터(41)로 이루어지고, 모터(41)는 브라켓(42)에 의해 고정판(12)의 내측면 상단부에 고정된다.The drive means 40 is composed of a motor 41 that is rotated by receiving power, the motor 41 is fixed to the upper end of the inner surface of the fixing plate 12 by the bracket 42.

감지수단(30)은 모터(41)의 회전축(41a)에 그 일측 끝단이 고정되는 바 형상의 인입부재(31)와, 인입부재(31)의 타측 끝단에 장착되고 웨이퍼를 감지하여 감지신호를 발생시키며 감지신호를 제어부에 전송하는 감지센서(32)로 이루어진다. 인입부재(31)는 포드(3) 내부에 적층되는 웨이퍼(1)에 근접할 정도로 연장되며, 본체(10) 내부로 인입되는 경우 고정판(12)의 외부로 돌출되어 주변과 간섭을 일으키지 않을 정도의 길이를 갖는다.The sensing means 30 is mounted on a bar-shaped inlet member 31 having one end fixed to the rotating shaft 41a of the motor 41 and the other end of the inlet member 31 and detects a wafer to detect a detection signal. Generating and transmitting a detection signal to the control unit. The retracting member 31 extends close to the wafer 1 stacked inside the pod 3, and when drawn into the main body 10, protrudes to the outside of the fixing plate 12 so as not to cause interference with the surroundings. Has a length.

상기와 같이 구성된 본 발명의 바람직한 일 실시예인 포드의 도어 오픈장치 는 포드(3)를 거치대(11) 위에 얹고 잠금홈(2a)에 회전축(21)의 잠금고리(21a)를 삽입한 후, 도 3에 도시된 바와 같이 고정판(12)에 도어(2)를 밀착시켜 고정시킨다. 그리고 도어(2)는 닫힌 상태를 유지하고 인입부재(31)는 본체(10)의 내부에 위치한 상태를 유지한다. The door opening device of the pod is a preferred embodiment of the present invention configured as described above, after placing the pod 3 on the holder 11 and inserting the locking ring 21a of the rotating shaft 21 into the locking groove 2a. As shown in 3, the door 2 is fixed to the fixing plate 12 to be fixed. The door 2 maintains the closed state and the retracting member 31 maintains the state located inside the main body 10.

그 상태에서 승하강부재(22)가 작동되어 포드(3)에서 도어(2)를 열어 분리시킨 후, 도어(2)가 부착된 고정판(12)을 본체(10)의 내부로 인입시킨 후, 본체(10)의 내부 하단으로 끌어내려 포드(3)의 일측이 개구된 상태를 변환된다. In this state, the elevating member 22 is operated to open and separate the door 2 from the pod 3, and then, after introducing the fixing plate 12 to which the door 2 is attached, into the body 10, The state in which one side of the pod 3 is opened is pulled down to the inner lower end of the main body 10.

포드(3)의 일측이 개구된 상태에서 모터(41)를 작동시켜 인입부재(31)의 끝단이 웨이퍼(1)에 인접되는 위치까지 회동시킨 후, 인입부재(31)에 끝단에 위치한 감지센서(32)가 포드(3) 내부에 적층된 웨이퍼(1)의 개수를 체크하게 되는 것이다. 또한, 인입부재(31)가 웨이퍼(1)에 급전한 위치에서 승하강부재(22)를 작동시켜 고정판(12)에 고정된 인입부재(31)의 수직위치를 변화시키며 적층된 웨이퍼(1)의 위치 및 개수를 체크하게 되는 것이다.The motor 41 is operated while one side of the pod 3 is opened to rotate the end of the inlet member 31 to a position adjacent to the wafer 1, and then a sensing sensor positioned at the end of the inlet member 31. The number 32 is to check the number of wafers 1 stacked in the pod 3. In addition, the lifting member 22 is operated at the position where the pulling member 31 feeds the wafer 1 to change the vertical position of the pulling member 31 fixed to the fixed plate 12 to stack the wafer 1. The location and number of will be checked.

체크된 웨이퍼(1)의 개수 및 위치는 제어부로 전송되어 로봇암(미도시)으로 웨이퍼(1)를 로딩 및 언로딩하는 경우 웨이퍼(1)의 위치 및 개수에 대한 정보를 바탕으로 로봇암이 적층된 웨이퍼에 접근하는 속도, 또는 로봇암이 웨이퍼를 적층하고자 하는 위치로 이르는 속도가 단축되므로 웨이퍼(1)의 로딩 및 언로딩 작업이 신속하게 이루어질 수 있게 되는 것이다.The number and positions of the checked wafers 1 are transmitted to the control unit so that when the robot 1 loads and unloads the wafers 1 with the robot arm (not shown), the robot arms are moved based on the information about the position and number of the wafers 1. The speed of approaching the stacked wafers, or the speed at which the robot arm reaches the position to stack the wafers, is shortened, so that the loading and unloading operations of the wafer 1 can be performed quickly.

작업이 완료된 후에는 모터(41)가 상기와 반대 방향으로 회전되어 인입부재(31)가 원위치로 복귀하게 되는 것이다.After the operation is completed, the motor 41 is rotated in the opposite direction to the return member 31 is returned to its original position.

이와 같이 본 발명의 바람직한 일 실시예인 포드의 도어 오픈장치는 도어(2)가 열린 상태로 포드(3) 내부로 인입되어 적층된 웨이퍼(1)의 개수 및 위치를 감지하여 웨이퍼(1)의 로딩 및 언로딩 작업 시 작업시간을 단축할 수 있도록 하는 감지수단(30)을 본체(10) 내부에 형성한 것을 특징으로 한다. 즉, 감지수단(30)을 이루는 감지센서(32)에서 전송된 감지신호에 따라 로봇암이 포드(3)에 적층된 상태의 웨이퍼(1)에 신속하게 접근하거나, 빈 공간에 웨이퍼(1)를 신속하게 적층할 수 있게 됨으로써, 웨이퍼(1)의 로딩 및 언로딩 작업시간이 단축되는 것이다.As described above, the door opening device of the pod, which is a preferred embodiment of the present invention, loads the wafer 1 by detecting the number and position of the stacked wafers 1 that are inserted into the pod 3 with the door 2 open. And a sensing means 30 formed in the main body 10 to shorten the working time during the unloading operation. That is, the robot arm quickly approaches the wafer 1 in a state where the robot arm is stacked on the pod 3 according to the detection signal transmitted from the detection sensor 32 constituting the detection means 30, or the wafer 1 in an empty space. By quickly stacking, the loading and unloading operation time of the wafer 1 is shortened.

본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.The present invention is not limited to the above-described specific preferred embodiments, and various modifications can be made by any person having ordinary skill in the art without departing from the gist of the present invention claimed in the claims. Of course, such changes will fall within the scope of the claims.

이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명의 바람직한 일 실시예인 포드의 도어 오픈장치는 도어가 열린 상태로 포드 내부로 인입되어 적층된 웨이퍼의 개수 및 위치를 감지하고 적층된 웨이퍼의 위치 및 개수에 관한 감지신호를 제어부로 전송하는 감지수단이 형성됨으로써, 로봇암으로 웨이퍼의 로딩 및 언로딩 작업 시, 작업시간이 신속하게 이루어지는 효과가 있다.As described above, a door opening device of a pod, which is a preferred embodiment of the present invention, detects the number and position of stacked wafers by entering the pod with the door open and detects a detection signal regarding the position and number of stacked wafers. Since the sensing means for transmitting to the control unit is formed, when the loading and unloading of the wafer to the robot arm, the working time is quickly made.

Claims (4)

웨이퍼가 보관되고 일측면에 도어가 형성된 포드;A pod in which a wafer is stored and a door is formed on one side; 상기 포드가 얹어지는 거치대가 형성된 본체;A body having a cradle on which the pod is mounted; 상기 포드의 도어를 오픈할 수 있도록 상기 본체의 내부에 형성되는 개폐수단;Opening and closing means formed in the main body to open the door of the pod; 상기 본체의 내부에 형성되고 상기 개폐수단에 의해 오픈 포드의 내부에 적층된 웨이퍼의 개수를 감지하여 감지신호를 발생시키고 상기 감지신호를 제어부로 전송하는 감지센서가 장착된 감지수단;Sensing means formed in the main body and equipped with a sensing sensor for sensing the number of wafers stacked in the open pod by the opening and closing means to generate a sensing signal and transmitting the sensing signal to a controller; 상기 도어가 열린 상태에서 상기 감지센서가 웨이퍼를 감지할 수 있도록 상기 본체의 내부에 형성되어 상기 감지수단을 포드의 내부로 인입시키는 구동수단; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 포드의 도어 오픈장치.Driving means formed in the main body to allow the sensing sensor to detect the wafer while the door is opened, and guide the sensing means into the pod; Ford door opening device comprising a. 제 1항에 있어서, 상기 감지수단은 The method of claim 1, wherein the sensing means 상기 포드의 내부로 인입되는 바 형상을 갖는 인입부재와, 상기인입부재의 끝단에 형성되는 상기 감지센서로 이루어지는 것을 특징으로 하는 포드의 도어 오픈장치.The door opening device of the pod, characterized in that the pull member having a bar shape drawn into the pod, and the sensing sensor formed at the end of the pull member. 제 2항에 있어서, 상기 구동수단은 전원을 공급받아 회전되는 모터로 이루어지고, 상기 모터에 형성된 회전축의 회전에 따라 상기 인입부재가 상기 포드의 내 부로 인입 될 수 있도록 상기 인입부재의 타측 끝단이 상기 회전축에 고정되는 것을 특징으로 하는 포드의 도어 오픈장치.According to claim 2, wherein the drive means is made of a motor that is rotated by receiving power, the other end of the leading member is drawn so that the leading member can be drawn into the pod according to the rotation of the rotating shaft formed in the motor Door opening device of the pod, characterized in that fixed to the rotating shaft. 제 1항 내지 제 3항에 있어서, 상기 개폐수단은 The method of claim 1, wherein the opening and closing means 상기 본체의 거치대에 얹어진 포드의 도어에 밀착되며 상기 도어에 밀착되는 외부면에 대향되는 내측면에 상기 구동수단이 장착된 고정판; 및A fixing plate that is in close contact with the door of the pod mounted on the holder of the main body and has the driving means mounted on an inner side of the body opposite to the outer surface of the pod; And 상기 고정판의 내측면에 장착되어 상기 고정판을 승/하강 시키는 승하강부재; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 포드의 도어 오픈장치.A lifting member mounted on an inner side of the fixing plate to lift / lower the fixing plate; Ford door opening device comprising a.
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