KR20080018923A - Apparatus for driving lift pin of vacuum processing system - Google Patents

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Abstract

An apparatus for driving lift pins of a vacuum processing system is provided to prevent tilt of a substrate in loading and unloading of the substrate by maintaining uniformly the height of the lifting of the lift pins. An apparatus for driving lift pins of a vacuum processing system includes plural lift pins(302), a driving force generator(400), and a lift pin driver(350). The lift pins, which are installed at a substrate base formed in a vacuum processing chamber, are lifted up and down. The driving force generator, which is installed at an outside of the vacuum processing chamber, generates rotation force. The lift pin driver, which is installed between the driving force generator and lift pins, converts the rotation motion generated from the driving force generator into linear motion such that the lift pins are lifted up and down. The lift pin driver is connected to the driving force generator using a flexible rotation shaft.

Description

진공처리장치의 리프트 핀 구동장치 {Apparatus for Driving Lift Pin of Vacuum Processing System }Apparatus for Driving Lift Pin of Vacuum Processing System}

도 1은 종래 기술에 따른 진공처리장치의 횡단면도이다. 1 is a cross-sectional view of a vacuum processing apparatus according to the prior art.

도 2는 도 1의 진공처리장치의 리프트 핀 지지기구 및 구동기구를 나타낸 부분 단면도이다.FIG. 2 is a partial cross-sectional view illustrating a lift pin support mechanism and a driving mechanism of the vacuum processing apparatus of FIG. 1.

도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 진공처리장치의 단면도이다. 3 is a cross-sectional view of a vacuum processing apparatus according to a first embodiment of the present invention.

도 4는 도 3에 도시된 기판지지대의 평면도이다.4 is a plan view of the substrate support shown in FIG.

도 5는 도 3에 도시된 리프트 핀 구동장치의 부분 단면도이다.5 is a partial cross-sectional view of the lift pin drive shown in FIG. 3.

도 6은 도 3에 도시된 연결부의 부분 단면도이다.6 is a partial cross-sectional view of the connecting part shown in FIG. 3.

도 7은 도 3에서 VII 부분을 확대한 확대단면도이다. FIG. 7 is an enlarged cross-sectional view illustrating an enlarged portion VII of FIG. 3.

도 8은 도 7에서 A-A 방향의 단면도이다.8 is a cross-sectional view taken along the line A-A in FIG. 7.

도 9는 도 3에서 회전부재와 승강로드 사이의 나사 결합구조를 나타낸 단면도이다.9 is a cross-sectional view showing a screw coupling structure between the rotating member and the lifting rod in FIG.

도 10은 도 3에 도시된 동력 분배기의 측면도이다.10 is a side view of the power distributor shown in FIG. 3.

도 11은 도 3에 도시된 동력 분배기의 평면도이다.FIG. 11 is a plan view of the power distributor shown in FIG. 3. FIG.

도 12는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 리프트 핀 구동장치의 단면도이다.12 is a cross-sectional view of the lift pin driving apparatus according to the second embodiment of the present invention.

***** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ********** Explanation of symbols for main parts of drawing *****

100 : 진공처리챔버 302 : 리프트 핀100: vacuum chamber 302: lift pin

312 : 승강로드 314 : 지지부재　 312 lifting rod 314 support member

316 : 회전부재 320 : 연결부 316: rotating member 320: connecting portion

340 : 신축부재 360 : 체결용 브래킷340: stretching member 360: fastening bracket

370 : 가이드 부재 372 : 가이드 그루브370: guide member 372: guide groove

392 : 구동풀리 394 : 회전력 전달부392: driving pulley 394: torque transmission unit

400 : 구동력발생부 410 : 가요성 회전축400: driving force generating unit 410: flexible rotating shaft

460 : 동력 분배기460: Power Splitter

본 발명은 진공처리장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판을 로딩 및 언로딩하는 리프트 핀을 승하강시키는 진공처리장치의 리프트 핀 구동장치에 관한 것이다. The present invention relates to a vacuum processing apparatus, and more particularly, to a lift pin driving apparatus of a vacuum processing apparatus for lifting and lowering a lift pin for loading and unloading a substrate.

도 1 및 도 2에 도시된 진공처리장치는 대한민국 공개특허공보 2001-0050939에 개시되어 있다.The vacuum processing apparatus shown in FIGS. 1 and 2 is disclosed in Korean Patent Laid-Open Publication No. 2001-0050939.

종래 기술에 따른 진공처리장치의 리프트 핀 지지기구는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 탑재면(7) 상에 기판을 로딩 및 언로딩하는 리프트 핀을 지지하는 것으로, 처리실(3)의 바닥부와 탑재대(5)의 하부판(38) 사이에 배치된 중공 원통체(13) 내에 배치된다. 원통체(13)는 상하 플랜지를 갖고 하우징(2)과 탑재대(5) 사이에 밀봉상태로 나사(14)에 의해 고정된다. 그리고 처리실(3) 내에 기밀성을 유지하는 상태로 원통체(13)의 외부는 처리실(3) 내에 연통되고 내부는 대기측에 연통된다.The lift pin support mechanism of the vacuum processing apparatus according to the related art supports lift pins for loading and unloading a substrate on the mounting surface 7, as shown in FIGS. 1 and 2. It is arrange | positioned in the hollow cylindrical body 13 arrange | positioned between the bottom part and the lower plate 38 of the mounting table 5. The cylindrical body 13 has an up-down flange, and is fixed by the screw 14 in the sealed state between the housing 2 and the mounting table 5. In the state where airtightness is maintained in the processing chamber 3, the outside of the cylindrical body 13 communicates with the processing chamber 3, and the inside communicates with the atmospheric side.

상기 원통체(13) 내부에는 수직방향으로 가이드(15)가 배치되고, 상기 가이드(15)에 베이스(16)가 상하 이동 가능하게 지지된다. 베이스(16)의 상면에는 지지체(17)를 거쳐서 리프트 핀(11)이 수직방향으로 돌출된다. 이 리프트 핀(11)의 선단부와 대향되는 탑재대(5)의 상부판(35)에는 리프트 핀(11)을 통과시키기 위한 통과구멍(35a)이 형성되고, 그 상단부는 탑재대(5)의 탑재면(7)에 개구되도록 형성된다.A guide 15 is disposed in the vertical direction in the cylindrical body 13, and the base 16 is supported by the guide 15 so as to be movable up and down. The lift pin 11 protrudes in the vertical direction on the upper surface of the base 16 via the support 17. A through hole 35a for passing the lift pin 11 is formed in the upper plate 35 of the mounting table 5 facing the distal end of the lift pin 11, and an upper end portion of the mounting table 5 is formed. It is formed so that it may open to the mounting surface 7.

상기 리프트 핀(11)을 밀봉 가능하게 하도록 신축 가능한 벨로우즈(18)가 배치되고, 상기 벨로우즈(18)의 하단은 지지체(17)에 고정되고 벨로우즈(18)의 상단은 플랜지(19)가 배치된다. 플랜지(19)는 상부판(35)에 의해 중간판(36)의 상면에 형성된 플랜지(19)와 동일 두께의 오목부 내에 배치된다. 이러한 플랜지(19)는 상부판(35)에 의해 중간판(36)에 가압 밀착되고 오목부 내에서 플랜지(19)의 하측에는 O링(19a)이 배치된다. 이에 의해, 처리실(3) 내의 기밀성이 보증된 상태로 벨로우즈(18) 내부는 처리실(3) 내에 연통하고 외부는 대기측에 연통한다.An elastic bellows 18 is arranged to seal the lift pin 11, a lower end of the bellows 18 is fixed to the support 17, and an upper end of the bellows 18 is arranged with a flange 19. . The flange 19 is disposed in a recess of the same thickness as the flange 19 formed on the upper surface of the intermediate plate 36 by the top plate 35. The flange 19 is pressed against the intermediate plate 36 by the upper plate 35, and the O-ring 19a is disposed below the flange 19 in the recess. As a result, the inside of the bellows 18 communicates with the process chamber 3 while the airtightness in the process chamber 3 is guaranteed, and the outside communicates with the atmosphere.

상기 리프트 핀 지지기구는 동축 와이어 장치(20)의 일단부가 접속된다. 여기에서, 상기 와이어 장치(20)는 자켓 튜브(21)와, 상기 자켓 튜브(21) 내부에 슬라이드 가능하게 삽입되는 강선으로 구성되는 조작 와이어(22)를 포함한다. 상기 자켓 튜브(21)의 양단에는 단부 금구(21a)가 배치되고 조작와이어(22)의 양단부에 는 경질 금속로드(22a)가 접속된다.The lift pin support mechanism is connected to one end of the coaxial wire device 20. Here, the wire device 20 includes a jacket tube 21 and a manipulation wire 22 composed of a steel wire slidably inserted into the jacket tube 21. End brackets 21a are arranged at both ends of the jacket tube 21, and hard metal rods 22a are connected to both ends of the operation wire 22.

상기 조작 와이어(22)와 각 금속로드(22a)는 단부 금구(21a)의 외측에 접속되고, 이 접속부를 감싸는 가이드(32)가 배치된다. 상기 조작 와이어(22)와 각 금속로드(22a)의 접속부는 조작 와이어(22)가 자켓 튜브(21)에 대하여 상대적으로 슬라이드하는 스트로크 범위에 있어서, 가이드(32) 내에서만 왕복 운동한다. The said operation wire 22 and each metal rod 22a are connected to the outer side of the end bracket 21a, and the guide 32 which wraps this connection part is arrange | positioned. The connection part of the said operation wire 22 and each metal rod 22a reciprocates only in the guide 32 in the stroke range which the operation wire 22 slides with respect to the jacket tube 21. As shown in FIG.

상기 동축 와이어 장치(20)의 일단부에 배치되는 단부 금구(21a) 및 가이드(32)는 처리실(3)의 하우징(2)의 바닥에 고정되고, 금속로드(22a)는 리프트 핀(11)에 접속된 베이스(16)에 접속된다. 따라서, 조작 와이어(22)의 진퇴에 의해서 금속로드(22a)가 가이드(32)에 대하여 왕복운동을 실행하면, 이에 동반하여 베이스(16)가 가이드(15)를 따라 이동하고 이에 따라 리프트 핀(11)이 상하 이동된다.An end bracket 21a and a guide 32 disposed at one end of the coaxial wire device 20 are fixed to the bottom of the housing 2 of the processing chamber 3, and the metal rod 22a is lift pin 11. It is connected to the base 16 connected to. Therefore, when the metal rod 22a reciprocates with respect to the guide 32 by advancing / removing the operation wire 22, accompanying this, the base 16 moves along the guide 15 and accordingly lift pin ( 11) is moved up and down.

상기 동축 와이어장치(20)의 타단부는 하부 프레임(2a)의 외측에 배치된 구동기구(23)에 접속된다. 구동기구(23)의 기대(24)에는 그 길이방향을 따라 가이드 홈(25)이 형성된다, 가이드 홈(25)에는 슬라이더(26)가 가이드 홈(25)을 따라 슬라이드 가능하게 결합된다. 슬라이더(26)는 기대(24)에 대하여 고정된 에어 실린더(27)의 슬라이드 로드(28)에 연결되고, 에어 실린더(27)에 의해서 슬라이더(26)가 구동된다.The other end of the coaxial wire device 20 is connected to a drive mechanism 23 disposed outside the lower frame 2a. A guide groove 25 is formed in the base 24 of the drive mechanism 23 along its longitudinal direction, and a slider 26 is slidably coupled along the guide groove 25 in the guide groove 25. The slider 26 is connected to the slide rod 28 of the air cylinder 27 fixed with respect to the base 24, and the slider 26 is driven by the air cylinder 27.

상기 슬라이더(26)에는 가이드 홈(25)과 직교하는 방향으로 경판(29)이 고정되고 상기 경판(29)은 슬라이더(26)와 같이 슬라이드 된다. 상기 경판에는 각 리프트 핀(11)에 연결된 조작 와이어(22)의 단부의 금속 로드(22a)가 접속된다. 4개의 금속로드(22a)는 이어 실린더(27)를 사이에 두고 2개씩 평행하게 배치된다. 자켓튜브(21)의 단부 금구(21a) 및 가이드(32)는 고정구(30) 등에 의해 기대(24)에 고정된다.The hard plate 29 is fixed to the slider 26 in a direction orthogonal to the guide groove 25, and the hard plate 29 slides like the slider 26. The hard rod 22a of the end of the operation wire 22 connected to each lift pin 11 is connected. Four metal rods 22a are then arranged in parallel two by two with the cylinder 27 interposed therebetween. The end bracket 21a and the guide 32 of the jacket tube 21 are fixed to the base 24 by the fixture 30 or the like.

상기 에어 실린더(27)의 구동에 의해서 슬라이드 로드(28)가 수축하면, 경판(29)을 거쳐서 4개의 금속 로드(22a)가 가이드(32) 내에 밀어 넣어진다. 이 때문에 자켓 튜브(21) 내에서 조작 와이어(22)가 지지기구(12)측에 가압되어 전진하고, 이에 의해 각 리프트 핀(11)이 동기하여 탑재면(7)으로 돌출된다.When the slide rod 28 contracts by the driving of the air cylinder 27, four metal rods 22a are pushed into the guide 32 via the hard plate 29. For this reason, the operation wire 22 is pushed forward by the support mechanism 12 side in the jacket tube 21, and each lift pin 11 protrudes to the mounting surface 7 synchronously by this.

이와 같이, 에어 실린더(27)의 구동에 의해서 슬라이드 로드(28)가 신장하면, 경판(29)을 거쳐서 4개의 금속 로드(22a)가 가이드(32)로부터 인출된다. 이 때문에 자켓 튜브(21) 내에서 조작 와이어(22)가 구동기구(23)측으로 인장되어 후퇴되고 이에 의해 각 리프트 핀(11)이 동기하여 탑재면(7) 밑으로 후퇴된다.　　 In this way, when the slide rod 28 extends by the drive of the air cylinder 27, four metal rods 22a are drawn out from the guide 32 via the hard plate 29. For this reason, in the jacket tube 21, the operation wire 22 is pulled back toward the drive mechanism 23, whereby the lift pins 11 are retracted under the mounting surface 7 in synchronization.

그러나, 상기한 바와 같이 구성되는 종래 기술에 따른 진공처리장치는 에어 실린더(27)에서 발생되는 구동력에 의해 리프트 핀들이 승강되기 때문에 사용 기간이 증가됨에 따라 에어 실린더의 공기압이 일정치 못하게 되고, 이에 따라 다수개의 리프트 핀들의 승강거리가 불균일하게 되는 문제점이 있다. However, the vacuum processing apparatus according to the related art, which is configured as described above, lifts the lift pins by the driving force generated in the air cylinder 27, so that the air pressure of the air cylinder becomes uneven as the service period increases. Accordingly, there is a problem that the lifting distances of the plurality of lift pins are nonuniform.

또한, 리프트 핀과 리프트 핀을 지지하는 지지기구가 일체로 형성되기 때문에 조립이 어렵고 부품 교환시 분해가 어려운 문제점이 있다. In addition, since the lift pin and the support mechanism for supporting the lift pin are integrally formed, there is a problem in that assembly is difficult and disassembly is difficult when replacing parts.

또한, 리프트 지지기구를 하우징 내부에 설치해야 되므로 하우징 내부의 설치공간이 커지게 되는 문제점이 있다.In addition, there is a problem that the installation space inside the housing becomes large because the lift support mechanism must be installed inside the housing.

또한 종래의 리프트 지지기구는 리프트 핀을 조작 와이어에 의하여 이동시키 게 되므로 리프트 핀의 이동을 정밀하게 제어할 수 없는 문제점이 있다.In addition, the conventional lift support mechanism has a problem that can not precisely control the movement of the lift pin because the lift pin is moved by the operation wire.

본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 회전운동을 직선운동으로 변환하여 리프트 핀을 승강시킬 수 있는 진공처리장치의 리프트 핀 구동장치를 제공하는 데 있다. It is an object of the present invention to provide a lift pin driving device of a vacuum processing apparatus capable of elevating a lift pin by converting a rotational motion into a linear motion in order to solve the above problems.

본 발명의 다른 목적은 리프트 핀과 구동력 전달기구 사이를 분리 가능하게 연결하여 조립시 발생되는 불량을 최소화하고 부품 교환작업을 편리하게 할 수 있는 진공처리장치의 리프트 핀 구동장치를 제공하는 데 있다. Another object of the present invention is to provide a lift pin driving device of a vacuum processing apparatus that can detachably connect between a lift pin and a driving force transmission mechanism to minimize the defects generated during assembly and to facilitate the parts replacement work.

본 발명의 또 다른 목적은 구동력발생부와 리프트핀구동부 사이를 가요성 회전축으로 연결하여 구동력발생부의 설치위치를 자유롭게 설정할 수 있는 진공처리장치의 리프트 핀 구동장치를 제공하는 데 있다.Still another object of the present invention is to provide a lift pin driving device of a vacuum processing apparatus that can freely set an installation position of the driving force generating unit by connecting between the driving force generating unit and the lift pin driving unit with a flexible rotating shaft.

본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 진공처리챔버 내에 설치된 기판지지대에 상하방향으로 승강 가능하게 설치되는 다수개의 리프트 핀들과; 회전력을 발생시키는 구동력발생부와; 상기 구동력발생부와 상기 리프트 핀들 사이에 설치되어 상기 구동력발생부에서 발생되는 회전운동을 직선운동으로 변환시켜 상기 리프트 핀들을 승하강시키는 리프트핀구동부를 포함하는 진공처리장치의 리프트 핀 구동장치를 개시한다.The present invention has been created in order to achieve the object of the present invention as described above, and a plurality of lift pins which are installed to be able to lift up and down in a substrate support installed in the vacuum processing chamber; A driving force generating unit for generating a rotating force; The lift pin driving device of the vacuum processing apparatus includes a lift pin driver installed between the driving force generating unit and the lift pins to convert the rotational motion generated by the driving force generating unit into a linear motion to lift and lower the lift pins. do.

상기 리프트핀구동부는 상기 리프트 핀의 하단에 연결되고 그 외주면에 수나사부가 형성되는 승강로드와; 상기 승강로드의 수나사부에 나사 결합되는 암나사부 가 내주면에 형성되고 회전에 의하여 상기 승강로드를 직선 이동시키는 회전부재와; 상기 구동력발생부와 상기 회전부재를 연결하여 상기 구동력발생부에서 발생되는 회전력을 상기 회전부재에 전달하는 회전력전달부를 포함하여 구성될 수 있다.The lift pin driving part is a lifting rod connected to the lower end of the lift pin and the male thread is formed on the outer peripheral surface; A rotating member which is formed on an inner circumferential surface of the female screw portion which is screwed to the male screw portion of the lifting rod, and which linearly moves the lifting rod by rotation; The driving force generating unit and the rotating member may be configured to include a rotational force transmitting unit for transmitting the rotational force generated in the driving force generating unit to the rotating member.

상기 승강로드는 상기 회전부재에 의하여 회전되는 것을 방지하기 위하여 그 외주면에 길이방향으로 하나 이상의 그루브가 형성되고, 상기 진공처리챔버의 하면에 장착된 지지부재의 내측에 설치된 가이드 부재의 돌기가 상기 그루브에 삽입될 수 있다. 상기 회전부재는 상기 지지부재의 하면에 회전 가능하게 설치되는 풀리로 구성되며, 상기 회전력전달부는 상기 풀리와 상기 구동력발생부와 연결되는 구동풀리를 연결하는 벨트로 구성될 수 있다. 상기 회전부재는 그 외주면에 기어가 형성되며, 상기 회전력전달부는 상기 기어와 상기 구동력발생부와 연결되는 구동기어를 연결하는 체인으로 구성될 수 있다. 상기 구동풀리 또는 상기 구동기어는 가요성 회전축에 의해 구동력발생부와 연결될 수 있다.The elevating rod is formed with one or more grooves in the longitudinal direction on its outer circumferential surface in order to prevent the lifting rod from being rotated, and the protrusions of the guide member installed inside the support member mounted on the lower surface of the vacuum processing chamber are formed on the groove. Can be inserted. The rotating member may be configured as a pulley rotatably installed on the lower surface of the support member, and the rotation force transmitting unit may be configured as a belt connecting the pulley and the driving pulley connected to the driving force generating unit. The rotating member may have a gear formed on an outer circumferential surface thereof, and the rotational force transmitting unit may include a chain connecting the gear and the driving gear connected to the driving force generating unit. The driving pulley or the driving gear may be connected to the driving force generating unit by a flexible rotating shaft.

상기 승강로드와 리프트 핀 사이에는 승강로드와 리프트 핀 사이를 분리 가능하게 연결되는 연결부가 설치될 수 있으며, 상기 연결부는 상기 리프트 핀의 하단에 체결되는 상부 연결부재와, 상기 상부 연결부재와 볼트 체결되고 승강로드가 고정되는 하부 연결부재로 구성될 수 있다. 그리고 상기 상부 연결부재와 하부 연결부재 사이에는 실링을 위한 실링부재가 설치될 수 있다.A connection part may be installed between the lifting rod and the lift pin to be detachably connected between the lifting rod and the lift pin, and the connection part may include an upper connection member fastened to a lower end of the lift pin, and a bolt connection with the upper connection member. And a lower connection member to which the lifting rod is fixed. In addition, a sealing member for sealing may be installed between the upper connection member and the lower connection member.

상기 진공처리챔버의 하부하우징에는 체결용 브래킷이 고정되고, 상기 체결용 브래킷과 상기 하부 연결부재 사이에는 상기 진공처리챔버의 내부의 진공압이 외부로 누설되는 것을 방지하면서 상기 승강로드의 상하이동이 가능하도록 하는 신 축부재가 설치될 수 있다.　 상기 신축부재는 벨로우즈로 구성될 수 있다. 상기 체결용 브래킷과 하부하우징의 하면 사이에는 실링을 위한 실링부재가 설치될 수 있다.A fastening bracket is fixed to the lower housing of the vacuum chamber, and the lifting rod can be moved up and down while preventing the vacuum pressure inside the vacuum chamber from leaking to the outside between the fastening bracket and the lower connection member. An elastic member can be installed to make it. The elastic member may be formed of a bellows. A sealing member for sealing may be installed between the fastening bracket and the lower surface of the lower housing.

상기 다수개의 가요성 회전축들과 구동모터 사이에는 하나의 상기 구동모터에서 발생되는 구동력을 상기 다수개의 가요성 회전축들에게 분배하는 동력 분배기가 설치될 수 있으며, 상기 동력 분배기는 상기 다수개의 가요성 회전축들이 각각 연결되는 다수개의 풀리들이 브래킷에 회전 가능하게 지지되고, 상기 풀리들 사이는 하나의 벨트로 연결되고, 상기 다수개의 풀리들 중 어느 하나가 구동모터와 연결될 수 있다.A power distributor may be installed between the plurality of flexible rotation shafts and the driving motor to distribute a driving force generated by one of the driving motors to the plurality of flexible rotation shafts, and the power distributor may include the plurality of flexible rotation shafts. A plurality of pulleys, each of which is connected to each other, may be rotatably supported by a bracket, between the pulleys by one belt, and any one of the plurality of pulleys may be connected to a driving motor.

한편 상기 구동력발생부는 상기 진공처리챔버의 하면에 장착될 수 있다.On the other hand, the driving force generating unit may be mounted on the lower surface of the vacuum processing chamber.

이하, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 진공처리장치의 리프트 핀 구동장치에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the lift pin driving apparatus of the vacuum processing apparatus according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 제 1 실시예에 따른 진공처리장치는 기판(160)의 식각 또는 증착을 위한 진공처리챔버(100) 만으로 구성되거나, 다수개의 진공처리챔버(100)와 함께 로드락 챔버(미도시)로부터 반송된 기판(160)을 진공처리챔버(100) 내로 기판(160)을 반송하고 진공처리챔버(100)로부터 진공 처리된 기판(160)을 반송받는 반송챔버(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.Vacuum processing apparatus according to the first embodiment of the present invention is composed of only the vacuum processing chamber 100 for etching or deposition of the substrate 160, or a load lock chamber (not shown) with a plurality of vacuum processing chamber 100 And a conveying chamber (not shown) for conveying the substrate 160 into the vacuum chamber 100 and conveying the substrate 160 conveyed from the vacuum chamber 100. Can be.

상기 진공처리챔버(100)는 반송챔버로부터 기판(160)을 반송 받아 기판(160)의 지지를 위한 기판지지대(200)에 위치시킨 후에 플라즈마 반응 등을 이용하여 기판(160)을 소정의 압력 하에, 즉 진공상태에서 식각 또는 증착하여 진공처리를 수 행한다.The vacuum processing chamber 100 receives the substrate 160 from the conveying chamber and places the substrate 160 on the substrate support 200 for supporting the substrate 160. That is, the vacuum treatment is performed by etching or depositing in a vacuum state.

상기 진공처리챔버(100)는 플라즈마 반응을 위한 처리가스와 함께 감압 된 상태(진공분위기)에서 직류(DC)전원 또는 RF전원을 인가하여 플라즈마 반응을 형성하여 기판(160)을 식각, 증착 등 진공처리를 수행하게 된다.The vacuum processing chamber 100 forms a plasma reaction by applying a direct current (DC) power source or an RF power source under a reduced pressure (vacuum atmosphere) together with a processing gas for plasma reaction to etch and deposit the substrate 160. Processing will be performed.

상기 진공처리챔버(100)는 진공처리를 위한 처리공간(S)을 형성하도록 상부하우징(110) 및 하부하우징(120)을 포함하여 구성된다. The vacuum processing chamber 100 includes an upper housing 110 and a lower housing 120 to form a processing space S for vacuum processing.

상기 상부하우징(110)에는 처리공간(S) 내에 진공처리를 위한 처리가스 등이 주입되는 가스주입관(111)이 연결 설치되며, 외부전원과 연결되어 전원이 인가되는 상부전극(112)이 설치된다.In the upper housing 110, a gas injection pipe 111 into which a processing gas for vacuum treatment is injected into the processing space S is connected and installed, and an upper electrode 112 connected to an external power source is applied thereto. do.

상기 하부하우징(120)은 실링부재(130)가 개재되어 상부하우징(110)과 밀폐 결합되어 처리공간(S)을 형성하며 기판(160)을 지지하는 기판지지대(200)가 설치된다.The lower housing 120 has a sealing member 130 interposed therebetween to be hermetically coupled to the upper housing 110 to form a processing space S, and a substrate support 200 for supporting the substrate 160 is installed.

또한 상기 하부하우징(120)에는 처리공간(S) 내의 압력이 소정의 진공분위기로 유지되도록 진공펌프(미도시)와 연결된 배기관(121)이 연결 설치된다.In addition, the lower housing 120 is connected to the exhaust pipe 121 is connected to the vacuum pump (not shown) so that the pressure in the processing space (S) is maintained at a predetermined vacuum atmosphere.

상기 기판지지대(200)는 하부하우징(120)의 저면에 설치된 절연부재(211)와, 상부전극(112)과 함께 플라즈마 반응을 일으키도록 절연부재(211) 위에 설치된 하부전극(212)과, 하부전극(212) 위에 설치되는 냉각판(213)과, 냉각판(213) 위에 설치되어 기판(160)을 흡착 고정하는 정전척(220)이 설치된다.The substrate support 200 includes an insulating member 211 installed on the bottom surface of the lower housing 120, a lower electrode 212 installed on the insulating member 211 to cause a plasma reaction together with the upper electrode 112, and a lower portion. The cooling plate 213 installed on the electrode 212 and the electrostatic chuck 220 provided on the cooling plate 213 to suck and fix the substrate 160 are installed.

상기 기판지지대(200)는 수직방향으로 다수개의 관통홀들(230)이 형성되고, 관통홀들(230)에는 각각에는 리프트 핀(302)이 상하방향으로 이동 가능하게 배치된 다. 상기 리프트 핀들(302)은 진공처리챔버(100) 내로 기판(160)이 로딩 및 될 때 기판(160)이 기판지지대(200)에 안착되도록 기판(160)을 지지하여 상하방향으로 이동시키는 역할을 수행한다.The substrate support 200 has a plurality of through holes 230 formed in the vertical direction, and the lift pins 302 are disposed in the through holes 230 to be movable in the vertical direction. The lift pins 302 support the substrate 160 to move up and down in order to be seated on the substrate support 200 when the substrate 160 is loaded and loaded into the vacuum chamber 100. Perform.

그리고, 상기 하부하우징(120)의 저면에는 리프트 핀(302)이 진공처리챔버(100) 외부와 연결될 수 있도록 통로(304)가 형성되고, 기판지지대(200)의 하면과 하부하우징(120)의 내면 사이에는 기판지지대(200)를 지지하면서 리프트 핀(302)이 통과되도록 하는 연결관(306)이 실링가능하게 배치된다.In addition, a passage 304 is formed on the bottom of the lower housing 120 so that the lift pin 302 may be connected to the outside of the vacuum processing chamber 100, and the lower surface of the substrate support 200 and the lower housing 120 may be formed. A connecting tube 306 is sealably disposed between the inner surfaces to allow the lift pins 302 to pass while supporting the substrate support 200.

상기 연결관(306)은 그 상측에 외부로 확장되는 상부 플랜지(308)가 형성되어 기판지지대(200)의 하면에 고정되고, 그 하측에도 하부 플랜지(310)가 형성되어 하부하우징(120)의 내면에 고정된다. The connection pipe 306 is formed on the upper side of the upper flange 308 extending to the outside is fixed to the lower surface of the substrate support 200, the lower flange 310 is formed on the lower side of the lower housing 120 It is fixed to the inner surface.

상기 하부하우징(120)에 형성되는 통로(304) 내부 및 하부하우징(120)의 바깥쪽 면에는 상기 진공처리챔버(100)의 외부에 배치되는 구동력발생부(400)에서 발생되는 회전운동을 리프트 핀(302)을 승하강시키도록 직선운동으로 변환시키는 리프트핀구동부(350)가 설치된다.Lift the rotational motion generated in the driving force generating unit 400 disposed outside the vacuum processing chamber 100 on the inner surface of the passage 304 and the outer housing 120 formed in the lower housing 120 A lift pin driver 350 is installed to convert the pin 302 into a linear motion to raise and lower the pin 302.

상기 리프트핀구동부(350)는 리프트 핀(302)의 하단에 연결되어 리프트 핀(302)을 승강시키는 승강로드(312)와, 하부하우징(120)의 하면에 장착되어 승강로드(312)를 상하방향으로 이동되도록 가이드함과 아울러 승강로드(312)가 회전되는 것을 방지하는 지지부재(314)와, 지지부재(314)의 하단에 회전 가능하게 지지되고 승강로드(312)의 외주면과 나사결합되며 구동력발생부(400)와 연결되어 구동력발생부(400)에서 발생되는 회전력에 의해 회전되면서 승강로드(302)를 승강시키는 회전부재(316)와, 구동력발생부(400)와 회전부재(316)를 연결하여 구동력발생부(400)에서 발생되는 회전력을 회전부재(316)에 전달하는 회전력전달부(394)로 구성된다.The lift pin driver 350 is connected to the lower end of the lift pin 302 and is mounted on a lowering rod 312 for lifting and lowering the lift pin 302, and is mounted on a lower surface of the lower housing 120 to raise and lower the lifting rod 312. The support member 314 is guided to move in the direction and prevents the lifting rod 312 from being rotated, and is rotatably supported at the lower end of the support member 314 and screwed with the outer circumferential surface of the lifting rod 312. Rotating member 316 connected to the driving force generating unit 400 and elevating the lifting rod 302 while being rotated by the rotational force generated by the driving force generating unit 400, the driving force generating unit 400 and the rotating member 316. Is connected to the rotational force transmission unit 394 for transmitting the rotational force generated in the driving force generating unit 400 to the rotating member 316.

상기 리프트 핀(302)과 승강로드(312) 사이에는 도 6에 도시된 바와 같이, 리프트 핀(302)과 승강로드(312) 사이를 분리 가능하게 연결하는 연결부(320)가 설치된다.As shown in FIG. 6, a connection part 320 is provided between the lift pins 302 and the lifting rods 312 to detachably connect the lift pins 302 and the lifting rods 312.

상기 연결부(320)는 리프트 핀(302)의 하단에 체결되는 상부 연결부재(322)와, 상기 상부 연결부재(322)와 볼트(326)에 의해 체결되고 승강로드(312)가 고정되는 하부 연결부재(324)로 구성된다.The connection part 320 is connected to the upper connection member 322 fastened to the lower end of the lift pin 302, the lower connection is fastened by the upper connection member 322 and the bolt 326 and the lifting rod 312 is fixed Member 324.

상기 상부 연결부재(322)와 하부 연결부재(324) 사이에는 실링을 위한 링 형태의 실링부재(330)가 끼워진다. 그리고 상기 하부 연결부재(324)는 볼트(328)에 의해 하부 연결부재(312)에 체결된다.A sealing member 330 having a ring shape for sealing is fitted between the upper connecting member 322 and the lower connecting member 324. The lower connection member 324 is fastened to the lower connection member 312 by a bolt 328.

이와 같은 연결부(320)는 상기 볼트(326)를 풀면 상부 연결부재(322)와 하부 연결부재(324) 사이가 분리되고 이에 따라 리프트 핀(302)과 승강로드(312) 사이가 서로 분리되기 때문에 조립시 발생되는 불량을 최소화할 수 있고, 리프트 핀(302)이 불량인 경우 리프트 핀(302) 만을 교환함으로써 유지 및 보수가 편리하다.Since the connection part 320 is separated between the upper connection member 322 and the lower connection member 324 when the bolt 326 is released, the lift pin 302 and the lifting rod 312 are separated from each other. The defect generated during assembly can be minimized, and if the lift pin 302 is defective, maintenance and repair are convenient by replacing only the lift pin 302.

상기 하부하우징(120)의 하면에는 통로(304)의 둘레방향으로 지지부재(314)가 체결되는 체결용 브래킷(360)이 볼트 체결된다. 상기 체결용 브래킷(360)은 승강로드(312)가 통과할 수 있도록 중앙이 개구되고 하부하우징(120)의 하면과의 사이에 실링을 위한 실링부재(362)가 장착된다. 여기에서, 상기 실링부재(362)에 의 해 하부하우징(120)과 체결용 브래킷(360) 사이가 실링되어 진공처리챔버(100) 내부를 완벽하게 밀봉한다.Fastening brackets 360 for fastening the support member 314 in the circumferential direction of the passage 304 are bolted to the lower surface of the lower housing 120. The fastening bracket 360 has a center opening to allow the lifting rod 312 to pass therethrough, and a sealing member 362 for sealing is mounted between the lower surface of the lower housing 120. Here, the sealing member 362 is sealed between the lower housing 120 and the fastening bracket 360 to completely seal the inside of the vacuum processing chamber 100.

상기 체결용 브래킷(360)의 상면과 상기 하부 연결부재(324) 사이에는 진공처리챔버(100)의 내부의 진공압이 외부로 누설되는 것을 방지하면서 승강로드(312)의 상하이동이 가능하도록 하는 벨로우즈와 같은 신축부재(340)가 설치된다.Bellows between the upper surface of the fastening bracket 360 and the lower connection member 324 to enable the lifting and lowering of the lifting rod 312 while preventing the vacuum pressure inside the vacuum processing chamber 100 from leaking to the outside. Stretch member 340, such as is installed.

즉, 상기 신축부재(340)는 승강로드(312)가 승강될 때 수축 및 이완되면서 승강로드(312)의 승강운동을 방해하지 않으면서 신축부재(340) 내부와 외부 사이를 차단하는 역할을 한다. 특히 처리공간(S) 내에서 진공처리가 수행되는 경우 상기 신축부재(340) 내부는 외부와 연통된 상태로 되어 대기압이 형성되고, 신축부재(340)의 외부는 진공처리챔버(100) 내부 진공압이 형성된다.That is, the elastic member 340 contracts and relaxes when the lifting rod 312 is lifted and serves to block the inside and outside of the stretching member 340 without disturbing the lifting movement of the lifting rod 312. . In particular, when the vacuum treatment is performed in the processing space (S), the inside of the expansion and contraction member 340 is in communication with the outside, the atmospheric pressure is formed, the outside of the expansion and contraction member 340 is the vacuum treatment chamber 100 Pneumatic pressure is formed.

상기 지지부재(314)의 내측에는 가이드 부재(370)가 설치되고, 승강로드(312)의 외주면에는 길이방향으로 가이드 부재(370)의 돌기(371)가 삽입되는 가이드 그루브(372)가 형성된다. 이와 같이, 상기 가이드 부재(370)의 돌기(371)가 가이드 그루브(372)에 삽입되어 승강로드(312)가 회전되는 것을 방지하여 승강로드(312)가 상하 이동되는 것을 가이드하게 된다.A guide member 370 is installed inside the support member 314, and a guide groove 372 is formed on the outer circumferential surface of the lifting rod 312 in which the protrusion 371 of the guide member 370 is inserted in the longitudinal direction. . As such, the protrusion 371 of the guide member 370 is inserted into the guide groove 372 to prevent the lifting rod 312 from rotating, thereby guiding the lifting rod 312 to be moved up and down.

상기 승강로드(312)의 외주면에는 도 9에 도시된 바와 같이, 수나사부(380)가 길이방향으로 형성되고 회전부재(316)의 내주면에는 수나사부(380)에 나사 결합되는 암나사부(382)가 형성된다. 이에 따라 상기 회전부재(316)가 회전되면 나사결합된 승강로드(312)는 지지부재(314)의 가이드돌기(370)에 의하여 회전이 방지되어 결과적으로 상하방향으로 직선이동하게 된다. As shown in FIG. 9, an external thread portion 380 is formed in the longitudinal direction on the outer circumferential surface of the elevating rod 312, and an internal thread portion 382 is screwed to the external thread portion 380 on the inner circumferential surface of the rotating member 316. Is formed. Accordingly, when the rotating member 316 is rotated, the screwed lifting rod 312 is prevented from being rotated by the guide protrusion 370 of the support member 314, and as a result, is linearly moved in the vertical direction.

상기 지지부재(314)에는 지지용 브래킷(390)이 고정되고 지지용 브래킷(390)에는 구동력발생부(400)에서 발생되는 회전력이 전달되어 회전되는 구동풀리(392)가 회전 가능하게 지지된다. 상기 구동풀리(392)는 회전부재(316)의 외주면에 결합된 풀리 사이에 타이밍 벨트와 같은 회전력전달부(394)로 연결되어 회전부재(316)를 회전시킨다.The support bracket 390 is fixed to the support member 314, and the driving pulley 392, which is rotated by the rotational force generated by the driving force generating unit 400, is rotatably supported by the support bracket 390. The driving pulley 392 is connected to a rotational force transmitting unit 394 such as a timing belt between the pulleys coupled to the outer circumferential surface of the rotating member 316 to rotate the rotating member 316.

이와 같이, 구동풀리(392)와 회전부재(316) 사이가 회전력전달부(394)에 의해 연결되고 승강로드(312)는 회전부재(316)에 나사 결합되기 때문에 승강로드(312)의 상하 이동을 보다 정밀하게 제어할 수 있게 된다.As such, the driving pulley 392 and the rotating member 316 are connected by the rotational force transmission unit 394 and the lifting rod 312 is screwed to the rotating member 316 to move up and down the lifting rod 312. It is possible to control more precisely.

여기에서, 상기 회전부재(392)의 외주면에는 기어가 형성되고, 구동풀리(392) 또한 기어로 대체될 수 있으며, 이때 회전력전달부(394)는 회전부재(392) 및 구동풀리(392)를 연결하는 체인으로 구성될 수 있다.Here, a gear is formed on the outer circumferential surface of the rotating member 392, and the driving pulley 392 may also be replaced by a gear, wherein the rotational force transmitting unit 394 is a rotation member 392 and the driving pulley 392 It can be composed of a chain to connect.

상기 구동풀리(392)는 그 양단이 지지용 브래킷(390)에 회전 가능하게 지지되고, 구동풀리(392)의 중앙에는 구동력발생부(400)와 가요성 회전축(410)에 의해 연결된다.Both ends of the driving pulley 392 are rotatably supported by the support bracket 390, and are connected to the center of the driving pulley 392 by the driving force generating unit 400 and the flexible rotating shaft 410.

상기 구동력발생부(400)는 구동모터로 구성되는 것이 바람직하고, 진공처리챔버(100)의 외부에 별도로 배치되고, 구동풀리(392)와 가요성 회전축(410)으로 연결되어 구동풀리(392)를 회전시킨다.The driving force generating unit 400 is preferably composed of a driving motor, and is disposed separately from the vacuum processing chamber 100 and connected to the driving pulley 392 and the flexible rotating shaft 410 to drive the pulley 392. Rotate

여기에서, 상기 가요성 회전축(410)의 외부에는 가요성 회전축(410)을 보호하는 튜브(412)가 감싸지고, 가요성 회전축(410)은 곡선 형태로 변형이 가능하고, 변형되어도 동일한 회전력을 전달할 수 있다.Here, the tube 412 for protecting the flexible rotary shaft 410 is wrapped outside the flexible rotary shaft 410, the flexible rotary shaft 410 can be deformed in a curved form, even if the deformation is the same rotational force I can deliver it.

이와 같이, 상기 구동력발생부(400)와 구동풀리(392) 사이가 가요성 회전축(410)에 의해 연결되기 때문에 구동력발생부(400)를 리프트 핀들(302)의 위치에 관계없이 자유롭게 배치시킬 수 있어 공간적 제약을 비교적 적게 받는다.As such, since the driving force generating unit 400 and the driving pulley 392 are connected by the flexible rotating shaft 410, the driving force generating unit 400 may be freely disposed regardless of the positions of the lift pins 302. It is relatively less space-limited.

상기 다수개의 가요성 회전축들(410)은 각각 동기제어되는 다수개의 구동력발생부(400)가 독립적으로 연결될 수 있으나,　 도 10 및 도 11에 도시된 바와 같이, 다수개의 리프트 핀들(302)의 이동이 정확하게 제어될 수 있도록 하나의 구동력발생부(400)에서 발생되는 회전력을 다수개의 가요성 회전축들(410)에게 분배하는 동력 분배기(460)가 설치된다.The plurality of flexible rotating shafts 410 may be independently connected to a plurality of driving force generating units 400 which are each synchronously controlled, but as shown in FIGS. 10 and 11, movement of the plurality of lift pins 302. A power distributor 460 is installed to distribute the rotational force generated by one driving force generating unit 400 to the plurality of flexible rotational shafts 410 so as to be accurately controlled.

상기 동력 분배기(460)는 브래킷(420)과, 브래킷(420)에 회전 가능하게 지지되고, 다수개의 가요성 회전축들(410)이 연결되는 풀리들(430)과, 상기 풀리들(430) 모두를 연결하는 하나의 벨트(432)로 구성되고, 다수개의 풀리들(430) 중 어느 하나의 풀리에 구동력발생부(400)가 연결될 수 있다. 여기서 상기 벨트(432)는 타이밍 벨트로 구성될 수 있으며, 각각의 풀리(430)들이 순차적으로 벨트에 의하여 연결될 수 있다. 그리고 상기 풀리들(430) 사이에는 벨트(432) 연결의 편의를 위하여 아이들 풀리들(434)이 각각 설치될 수 있다.The power splitter 460 is rotatably supported by the bracket 420, the bracket 420, the pulleys 430 to which the plurality of flexible rotating shafts 410 are connected, and the pulleys 430. Consists of one belt 432 connecting the driving force generating unit 400 may be connected to any one pulley of the plurality of pulleys (430). Here, the belt 432 may be configured as a timing belt, and each pulley 430 may be sequentially connected by a belt. In addition, idle pulleys 434 may be installed between the pulleys 430 for convenience of connecting the belt 432.

이와 같이, 하나의 구동력발생부(400)에서 발생되는 구동력이 다수개의 가요성 회전축들(410)에게로 분배되기 때문에 다수개의 리프트 핀들(302)의 승강되는 이동거리를 동일하게 제어할 수 있다. 따라서, 상기 동력 분배기(460)는 기판(160)의 로딩 및 언로딩시 기판(160)의 기울어짐을 방지할 수 있게 된다.As such, since the driving force generated in one driving force generating unit 400 is distributed to the plurality of flexible rotating shafts 410, the moving distances of the plurality of lift pins 302 may be equally controlled. Accordingly, the power distributor 460 may prevent the substrate 160 from tilting when loading and unloading the substrate 160.

상기와 같이 구성되는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 진공 처리장치의 작동 을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the vacuum processing apparatus according to the first embodiment of the present invention configured as described above are as follows.

진공처리챔버(100)의 내부로 기판(160)이 이송로봇(미도시)에 의하여 이송되면 리프트 핀들(302)이 기판지지대(200)의 상측으로 이동하여 기판(160)을 지지하게 된다. 리프트 핀들(302)이 기판(160)을 지지한 후에는 이송로봇은 진공처리챔버(100)의 외측으로 이동하게 되며, 리프트 핀들(302)은 하강에 의하여 기판(160)을 기판지지대(200)의 지지면으로 이동시키게 되며, 처리공간 내에서는 진공처리가 수행된다.When the substrate 160 is transferred by the transfer robot (not shown) to the inside of the vacuum processing chamber 100, the lift pins 302 move to the upper side of the substrate support 200 to support the substrate 160. After the lift pins 302 support the substrate 160, the transfer robot moves to the outside of the vacuum chamber 100, and the lift pins 302 move the substrate 160 by lowering the substrate support 200. It is moved to the support surface of the vacuum processing is performed in the processing space.

상기와 같이 진공처리가 수행된 후에는 상기 리프트 핀들(302)들은 다시 상승하게 되어 기판(160)을 상측으로 들어 올리게 되며, 상측으로 올려진 기판(160)은 이송로봇에 의하여 진공처리챔버(100)의 외부로 이송된다.After the vacuum treatment is performed as described above, the lift pins 302 are raised again to lift the substrate 160 upward, and the substrate 160 lifted upward is moved to the vacuum processing chamber 100 by a transfer robot. Is transferred outside).

여기서, 상기 리프트 핀들(302)의 상승 및 하강에 대하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Here, the rising and falling of the lift pins 302 will be described in detail.

상기 구동력발생부(400)의 구동에 의하여 발생되는 회전력이 동력 분배기(460)를 통해 각 가요성 회전축들(410)에게로 분배되고 가요성 회전축들(410)이 회전하게 된다. 그러면, 상기 가요성 회전축(410)과 연결된 구동풀리(392)가 회전되고, 구동풀리(392)와 타이밍 벨트(394)로 연결된 회전부재(316)가 회전된다. The rotational force generated by the driving of the driving force generating unit 400 is distributed to each of the flexible rotating shafts 410 through the power distributor 460 and the flexible rotating shafts 410 rotate. Then, the driving pulley 392 connected to the flexible rotating shaft 410 is rotated, and the rotating member 316 connected to the driving pulley 392 and the timing belt 394 is rotated.

한편 회전부재(316)가 회전될 때, 회전부재(316)와 나사결합된 승강로드(312)는 회전되지 않도록 설치되어 있으므로, 승강로드(312)가 상승하게 되고, 승강로드(312)와 연결된 리프트 핀(302)이 상승되어 기판(160)을 로딩한다. Meanwhile, when the rotating member 316 is rotated, the lifting rod 312 screwed with the rotating member 316 is installed so as not to rotate, and thus the lifting rod 312 is raised and connected with the lifting rod 312. The lift pins 302 are raised to load the substrate 160.

그리고, 상기 리프트 핀들(302)을 하강시키고자 하는 경우, 구동력발생 부(400)가 역방향으로 구동되면 상기와 반대로 구동풀리(392)가 회전되면서 리프트 핀들(302)이 하강하게 된다.In addition, when the lift pins 302 are to be lowered, when the driving force generating unit 400 is driven in the reverse direction, the lift pins 302 are lowered while the driving pulley 392 is rotated as opposed to the above.

이때, 구동력발생부(400)에서 발생되는 구동력이 동력 분배기(460)에 의해 다수개의 가요성 회전축(410)에 균일하게 분배되고 타이밍 벨트(394)에 의해 동력이 전달됨과 아울러 승강로드(312)와 회전부재(316)가 나사 결합에 의해 승강로드(312)가 승강되는 구조이기 때문에 다수개의 리프트 핀들(302)이 동일한 높이로 승강되도록 한다. At this time, the driving force generated in the driving force generating unit 400 is uniformly distributed to the plurality of flexible rotary shafts 410 by the power distributor 460 and the power is transmitted by the timing belt 394 and the lifting rod 312 And the rotating member 316 is a structure in which the lifting rod 312 is lifted by the screw coupling so that the plurality of lift pins 302 is elevated to the same height.

본 발명의 제 2 실시예에 따른 리프트 핀 승강장치는 도 12에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 실시예에서 설명한 리프트 핀 승강장치와 그 구조가 동일하고, 다만 구동력발생부(500)가 진공처리챔버(100)의 하면에 장착되는 구조를 가진다.As shown in FIG. 12, the lift pin lifting device according to the second embodiment of the present invention has the same structure as the lift pin lifting device described in the first embodiment, except that the driving force generating unit 500 includes the vacuum processing chamber. It has a structure mounted on the lower surface of 100.

즉, 지지 브래킷(502)에 구동력발생부(500)가 고정되고, 구동력발생부(500)의 회전축에 구동풀리(504)가 연결되고, 구동풀리(504)는 회전부재(316)와 타이밍 벨트와 같은 회전력전달부(394)에 의해 연결된다.That is, the driving force generating unit 500 is fixed to the support bracket 502, the driving pulley 504 is connected to the rotation shaft of the driving force generating unit 500, and the driving pulley 504 includes the rotating member 316 and the timing belt. It is connected by a rotational force transmission unit 394 such as.

이외에 리프트 핀 승강장치의 다른 구조는 상기 제 1 실시예에 설명한 리프트 핀 승강장치의 구조와 동일하므로 그 설명을 생략한다.The other structure of the lift pin lift device is the same as that of the lift pin lift device described in the first embodiment, and thus description thereof is omitted.

이와 같은 제2실시예에 따른 리프트 핀 승강장치는 진공처리챔버(100)의 하부에 공간이 마련된 경우 구동력발생부(500)를 직접 진공처리챔버(100)의 하면에 장착할 수 있다.In the lift pin lifting apparatus according to the second embodiment, when the space is provided under the vacuum processing chamber 100, the driving force generating unit 500 may be directly mounted on the bottom surface of the vacuum processing chamber 100.

따라서, 본 발명에 따른 진공처리장치의 리프트 핀 구동장치는 구동력발생부 에서 발생되는 회전운동을 직선운동으로 변환하여 리프트 핀을 승강시키기 때문에 다수개의 리프트 핀들의 승강 높이를 균일하게 유지할 수 있어 기판의 로딩 및 언로딩시 기판이 기울어지는 것을 방지할 수 있는 이점이 있다. Therefore, since the lift pin driving device of the vacuum processing apparatus according to the present invention converts the rotational motion generated by the driving force generating unit into linear motion to lift and lift the lift pin, the lifting height of the plurality of lift pins can be maintained uniformly. There is an advantage in that the substrate can be prevented from tilting during loading and unloading.

또한, 본 발명에 따른 진공처리장치는 리프트 핀과 승강로드 사이가 분리 가능하게 연결되어 리프트 핀이 불량인 경우 리프트 핀만을 교체함으로써 조립시 발생되는 불량을 최소화할 수 있고 부품 교환작업이 간편한 이점이 있다.In addition, the vacuum processing apparatus according to the present invention is detachably connected between the lift pin and the lifting rod to minimize the defects generated during assembly by replacing only the lift pin when the lift pin is bad, and the parts replacement work is easy. have.

또한, 본 발명에 따른 진공처리장치는 구동력발생부와 리프트핀구동부 사이를 가요성 회전축으로 연결하여 구동력발생부의 설치 위치를 자유롭게 할 수 있는 이점이 있다.In addition, the vacuum processing apparatus according to the present invention has an advantage that the installation position of the driving force generating unit can be freely connected by connecting between the driving force generating unit and the lift pin driving unit with a flexible rotating shaft.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시적으로 설명하였으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경 가능한 것이다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described above by way of example, the scope of the present invention is not limited to these specific embodiments, and may be appropriately changed within the scope described in the claims.

Claims (16)

진공처리챔버 내에 설치된 기판지지대에 상하방향으로 승강 가능하게 설치되는 다수개의 리프트 핀들과; 상기 진공처리챔버의 외부에 설치되어 회전력을 발생시키는 구동력발생부와; 상기 구동력발생부와 상기 리프트 핀들 사이에 설치되어 상기 구동력발생부에서 발생되는 회전운동을 직선운동으로 변환시켜 상기 리프트 핀들을 승강시키는 리프트핀구동부를 포함하며,A plurality of lift pins installed on the substrate support installed in the vacuum processing chamber so as to be movable upward and downward; A driving force generating unit installed outside the vacuum processing chamber to generate rotational force; A lift pin driver installed between the driving force generating unit and the lift pins to convert the rotational motion generated from the driving force generating unit into a linear movement to lift and lift the lift pins; 상기 리프트핀구동부는 가요성 회전축에 의해 상기 구동력발생부와 연결되는 진공처리장치의 리프트 핀 구동장치.The lift pin driving unit is a lift pin driving device of a vacuum processing apparatus connected to the driving force generating unit by a flexible rotating shaft. 진공처리챔버 내에 설치된 기판지지대에 상하방향으로 승강 가능하게 설치되는 다수개의 리프트 핀들과; 상기 진공처리챔버의 외부에 설치되어 회전력을 발생시키는 구동력발생부와; 상기 구동력발생부와 상기 리프트 핀들 사이에 설치되어 상기 구동력발생부에서 발생되는 회전운동을 직선운동으로 변환시켜 상기 리프트 핀들을 승강시키는 리프트핀구동부를 포함하며,A plurality of lift pins installed on the substrate support installed in the vacuum processing chamber so as to be movable upward and downward; A driving force generating unit installed outside the vacuum processing chamber to generate rotational force; A lift pin driver installed between the driving force generating unit and the lift pins to convert the rotational motion generated from the driving force generating unit into a linear movement to lift and lift the lift pins; 상기 구동력발생부는 상기 진공처리챔버의 하면에 장착되는 진공처리장치의 리프트 핀 구동장치.The driving force generating unit is a lift pin driving device of the vacuum processing apparatus is mounted to the lower surface of the vacuum processing chamber. 진공처리챔버 내에 설치된 기판지지대에 상하방향으로 승강 가능하게 설치되는 다수개의 리프트 핀들과; 상기 진공처리챔버의 외부에 설치되어 회전력을 발생 시키는 구동력발생부와; 상기 구동력발생부와 상기 리프트 핀들 사이에 설치되어 상기 구동력발생부에서 발생되는 회전운동을 직선운동으로 변환시켜 상기 리프트 핀들을 승강시키는 리프트핀구동부를 포함하며,A plurality of lift pins installed on the substrate support installed in the vacuum processing chamber so as to be movable upward and downward; A driving force generating unit installed outside the vacuum processing chamber to generate rotational force; A lift pin driver installed between the driving force generating unit and the lift pins to convert the rotational motion generated from the driving force generating unit into a linear movement to lift and lift the lift pins; 상기 리프트핀구동부는 상기 리프트 핀의 하단에 연결되고 그 외주면에 수나사부가 형성되는 승강로드와; 상기 승강로드의 수나사부에 나사 결합되는 암나사부가 내주면에 형성되고 회전에 의하여 상기 승강로드를 직선 이동시키는 회전부재와; 상기 구동력발생부와 상기 회전부재를 연결하여 상기 구동력발생부에서 발생되는 회전력을 상기 회전부재에 전달하는 회전력전달부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 리프트 핀 구동장치.The lift pin driving part is a lifting rod connected to the lower end of the lift pin and the male thread is formed on the outer peripheral surface; A rotating member which is formed on an inner circumferential surface of the female screw threaded to the male screw portion of the lifting rod and linearly moves the lifting rod by rotation; And a rotation force transmitting unit for connecting the driving force generating unit and the rotating member to transmit the rotating force generated by the driving force generating unit to the rotating member. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 리프트핀구동부는The lift pin drive unit 상기 리프트 핀의 하단에 연결되고 그 외주면에 수나사부가 형성되는 승강로드와;A lifting rod connected to a lower end of the lift pin and having a male thread formed on an outer circumferential surface thereof; 상기 승강로드의 수나사부에 나사 결합되는 암나사부가 내주면에 형성되고 회전에 의하여 상기 승강로드를 직선 이동시키는 회전부재와;A rotating member which is formed on an inner circumferential surface of the female screw threaded to the male screw portion of the lifting rod and linearly moves the lifting rod by rotation; 상기 구동력발생부와 상기 회전부재를 연결하여 상기 구동력발생부에서 발생되는 회전력을 상기 회전부재에 전달하는 회전력전달부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 리프트 핀 구동장치.And a rotation force transmitting unit for connecting the driving force generating unit and the rotating member to transmit the rotating force generated by the driving force generating unit to the rotating member. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 승강로드는The lifting rod is 상기 회전부재에 의하여 회전되는 것을 방지하기 위하여 그 외주면에 길이방향으로 하나 이상의 그루브가 형성되고, 상기 진공처리챔버의 하면에 장착된 지지부재의 내측에 설치된 가이드 부재의 돌기가 상기 그루브에 삽입되는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 리프트 핀 구동장치.One or more grooves are formed on the outer circumferential surface thereof in the longitudinal direction to prevent rotation by the rotating member, and the protrusion of the guide member installed inside the support member mounted on the lower surface of the vacuum processing chamber is inserted into the groove. A lift pin drive of a vacuum processing apparatus. 제 5 항에 있어서, The method of claim 5, wherein 상기 회전부재는The rotating member is 상기 지지부재의 하면에 회전 가능하게 설치되는 풀리로 구성되며,It consists of a pulley rotatably installed on the lower surface of the support member, 상기 회전력전달부는 상기 풀리와 상기 구동력발생부와 연결되는 구동풀리를 연결하는 벨트로 구성되는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 리프트 핀 구동장치.The rotation force transmission unit lift pin driving device of the vacuum processing apparatus, characterized in that consisting of a belt for connecting the pulley and the driving pulley connected to the driving force generating unit. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, wherein 상기 회전부재는 The rotating member is 그 외주면에 기어가 형성되며, Gears are formed on the outer circumference 상기 회전력전달부는 상기 기어와 상기 구동력발생부와 연결되는 구동기어를 연결하는 체인으로 구성되는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 리프트 핀 구동장치.The rotation force transmission unit lift pin driving device of the vacuum processing apparatus, characterized in that consisting of a chain for connecting the gear and the drive gear connected to the driving force generating unit. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서, The method of claim 2 or 3, 상기 리프트핀구동부는 가요성 회전축에 의해 상기 구동력발생부와 연결되는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 리프트 핀 구동장치.The lift pin driving unit is a lift pin driving device of the vacuum processing apparatus, characterized in that connected to the driving force generating unit by a flexible rotating shaft. 제 4 항에 있어서, The method of claim 4, wherein 상기 승강로드와 리프트 핀 사이에는 승강로드와 리프트 핀 사이를 분리 가능하게 연결되는 연결부가 설치되는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 리프트 핀 구동장치.The lift pin driving device of the vacuum processing apparatus, characterized in that the connection between the lifting rod and the lift pin is detachably connected between the lifting rod and the lift pin. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 연결부는 상기 리프트 핀의 하단에 체결되는 상부 연결부재와, 상기 상부 연결부재와 볼트 체결되고 승강로드가 고정되는 하부 연결부재로 구성되는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 리프트 핀 구동장치.The connecting part is a lift pin driving device of the vacuum processing apparatus, characterized in that the upper connection member is fastened to the lower end of the lift pin, and the lower connection member is bolted to the upper connection member and the lifting rod is fixed. 제 10 항에 있어서, The method of claim 10, 상기 상부 연결부재와 하부 연결부재 사이에는 실링을 위한 실링부재가 설치되는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 리프트 핀 구동장치.Lift pin driving device of the vacuum processing apparatus, characterized in that the sealing member for sealing is installed between the upper connection member and the lower connection member. 제 10 항에 있어서,The method of claim 10, 상기 진공처리챔버의 하부하우징에는 체결용 브래킷이 고정되고, 상기 체결용 브래킷과 상기 하부 연결부재 사이에는 상기 진공처리챔버의 내부의 진공압이 외부로 누설되는 것을 방지하면서 상기 승강로드의 상하이동이 가능하도록 하는 신축부재가 설치되는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 리프트 핀 구동장치.A fastening bracket is fixed to the lower housing of the vacuum chamber, and the lifting rod can be moved up and down while preventing the vacuum pressure inside the vacuum chamber from leaking to the outside between the fastening bracket and the lower connection member. Lift pin drive device of the vacuum processing apparatus, characterized in that the elastic member is installed to. 제 12 항에 있어서, The method of claim 12, 상기 신축부재는 벨로우즈인 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 리프트 핀 구동장치.The expansion member is a lift pin drive device of the vacuum processing apparatus, characterized in that the bellows. 제 12 항에 있어서, The method of claim 12, 상기 체결용 브래킷과 하부하우징의 하면 사이에는 실링을 위한 실링부재가 설치되는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 리프트 핀 구동장치.Lifting pin driving device of the vacuum processing apparatus, characterized in that a sealing member for sealing is installed between the fastening bracket and the lower surface of the lower housing. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 다수개의 가요성 회전축들과 구동모터 사이에는 하나의 상기 구동모터에서 발생되는 구동력을 상기 다수개의 가요성 회전축들에게 분배하는 동력 분배기가 설치되는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 리프트 핀 구동장치.And a power distributor for distributing a driving force generated by one of the driving motors to the plurality of flexible rotating shafts between the plurality of flexible rotating shafts and the driving motor. 제 15 항에 있어서, The method of claim 15, 상기 동력 분배기는 상기 다수개의 가요성 회전축들이 각각 연결되는 다수개 의 풀리들이 브래킷에 회전 가능하게 지지되고, 상기 풀리들 사이는 하나의 벨트로 연결되고, 상기 다수개의 풀리들 중 어느 하나가 구동모터와 연결되는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 리프트 핀 구동장치.The power splitter is rotatably supported by a plurality of pulleys to which the plurality of flexible rotary shafts are respectively connected to the bracket, between the pulleys by one belt, and one of the plurality of pulleys is a driving motor. Lift pin drive of the vacuum processing apparatus, characterized in that connected with.
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