KR20080011964A - 기판 이송 장치 - Google Patents

Abstract

기판 이송 장치가 제공된다. 상기 기판 이송 장치는 회전력을 제공하는 구동 부재, 구동 부재에 의해 회전하고, 기판을 이송하는 다수의 롤러가 축방향을 따라 각각 설치된 다수의 샤프트, 및 적어도 하나의 샤프트에 연결되어, 샤프트의 회전 속도를 실시간으로 측정하여 보여주는 게이지(gauge)를 포함한다.

기판 이송 장치, 게이지, RPM, 동작 시간(tact time)

Description

기판 이송 장치{Glass substrate carrier}

도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 평면도 및 측면도이다.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 이송 장치에 사용되는 게이지의 블록도이다.

(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)

100 : 기판 이송 장치 110 : 샤프트

120 : 풀리 130 : 벨트

140 : 구동 부재 150 : 게이지

152 : 측정부 154 : 제어부

156 : 알람부

본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것이다.

최근 들어, 정보 처리 기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 장치는 가동된 정보를 표시하기 위해 디스플레이 장치를 가진다. 지금까지는 디스플레이 장치로 브라운관(cathode ray tube) 모니터가 주로 사용되었으나, 최근에는 반도체 기술의 급속한 발전에 따라 가볍고 공간을 작게 차지하는 평판 디스플레이 장치의 사용이 급격히 증대하고 있다. 평판 디스플레이로는 다양한 종류가 있으며, 이들 중 전력 소모와 부피가 작으며 저전압 구동형인 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display)가 널리 사용되고 있다.

이러한 액정 디스플레이를 제조하기 위해 기판 상에는 패턴의 형성을 위해 예컨대, 식각, 세정, 또는 건조와 같은 다양한 공정이 실행되어야 한다. 그런데, 기판은 각각의 챔버 내에서 기판 이송 장치에 의해서 이송되면서 상기 각각의 공정이 진행되는데, 예를 들어, 기판은 기판 이송 장치에 의해 이송되면서 식각액에 의해 습식 식각되거나, 세정액에 의해 세정되게 된다.

이러한 기판 이송 장치는 회전력을 제공하는 구동 부재와, 상기 구동 부재에 의해 회전하고 기판을 이송하는 다수의 롤러가 축방향을 따라 각각 설치된 다수의 샤프트를 포함한다.

그런데, 각 챔버 내에서 각 공정이 진행되는 동작 시간(tact time)의 지연이 발생하는 경우, 종래에는 공정 진행을 중지시키고, 작업자가 타코미터를 이용하여 기판 이송 장치의 RPM(Revolutions Per Minute)를 측정하여 기판 이송 장치에 문제가 발생하였는지 여부를 체크해야 했다. 즉, 기판 이송 장치가 어느 정도 속도로 진행되는지 실시간으로 알 수 없어 기판 이송 장치에 문제가 발생하였는지 여부를 즉각적으로 알 수 없었다. 또한, 공정 진행을 중지시켜야만 했으므로, 제품 생산 수율이 떨어지는 문제가 있었다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 공정 안정성이 향상된 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 태양에 따른 기판 이송 장치는 회전력을 제공하는 구동 부재, 구동 부재에 의해 회전하고, 기판을 이송하는 다수의 롤러가 축방향을 따라 각각 설치된 다수의 샤프트, 및 적어도 하나의 샤프트에 연결되어, 샤프트의 회전 속도를 실시간으로 측정하여 보여주는 게이지(gauge)를 포함한다.

본 발명의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명 세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.

도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 평면도 및 측면도이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)는 샤프트(110), 풀리(120), 벨트(130), 구동 부재(140), 게이지(150)를 포함한다.

기판 이송 장치(100)는 공정 챔버의 내부에 일정 간격으로 배치되는 다수의 샤프트(110)를 포함하는데, 다수의 샤프트(110)의 양 단부에는 각각 풀리(120)가 구비되며, 다수의 풀리(120)는 체인 또는 벨트(130)에 의해 상호 연결되어 있다. 다수의 풀리(120) 중 적어도 하나의 풀리(120)에는 회전력을 제공하는 구동 부재(예를 들어, 모터)(140)가 연결된다. 또한, 각 샤프트(110)에는 기판(S)을 지지하며 이를 이송하는 다수의 롤러(112)가 축방향을 따라 설치된다.

여기서, 게이지(150)는 적어도 하나의 샤프트(110)에 연결되어, 샤프트(110)의 회전 속도를 실시간으로 측정하여 보여준다. 여기서, 회전 속도는 RPM(Revolutions Per Minute)일 수 있다.

이와 같이 샤프트(110)의 회전 속도를 실시간으로 측정하여 보여주기 때문에, 각 챔버 내에서 각 공정이 진행되는 동작 시간(tact time)의 지연이 발생하더라도 작업자는 기판 이송 장치(100)로부터 문제가 발생되었는지 여부를 즉각적으로 알 수 있다. 또한, 게이지(150)에 표시되는 샤프트(110)의 회전 속도를 보면서, 동작 시간의 지연이 많이 발생하기 전에 미리 적절한 조치를 취할 수도 있다.

본 발명의 일 실시예에서, 게이지(150)는 회전 속도만을 표시하였으나, 본 발명의 권리 범위는 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 측정한 회전 속도로부터 동작 시간(tact time)을 측정하여 회전 속도와 함께 동작 시간을 동시에 표시할 수도 있다.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 이송 장치에 사용되는 게이지의 블록도이다.

도 3을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 이송 장치에 사용되는 게이지(150)는 샤프트(110)의 회전 속도와 미리 정해진 기준 회전 속도를 비교하여, 그 결과에 따라 작업자에게 이상 동작을 알려줄 수 있다.

이와 같은 동작을 하기 위해서, 게이지(150)는 샤프트(110)의 회전 속도를 측정하는 측정부(152)와, 측정된 회전 속도와 미리 정해진 기준 회전 속도를 비교하고 비교 결과를 알람(alarm)부에 제공하는 제어부(154)와, 상기 비교 결과에 따라 알람을 울리는 알람부(156)를 포함할 수 있다. 알람부(156)가 알람을 알리는 방법은 여러 가지가 있을 수 있는데, 예를 들어, 작업자가 즉각 알아챌 수 있도록 경고음을 발생하거나, 경고등을 울리는 방식을 사용할 수 있다.

또한, 게이지(150)는 회전 속도와 기준 회전 속도를 비교하지 않고, 계산된 동작 시간과 기준 동작 시간을 비교하여 비교 결과에 따라 작업자에게 이상 동작을 알려줄 수도 있다.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.

상기한 바와 같은 기판 이송 장치에 따르면 다음과 같은 효과가 하나 혹은 그 이상 있다. 본 발명의 실시예들에 따른 기판 이송 장치는 샤프트의 회전 속도를 실시간으로 측정하여 보여주기 때문에, 각 챔버 내에서 각 공정이 진행되는 동작 시간(tact time)의 지연이 발생하더라도 작업자는 기판 이송 장치로부터 문제가 발생되었는지 여부를 즉각적으로 알 수 있다. 또한, 게이지에 표시되는 샤프트의 회전 속도를 보면서, 동작 시간의 지연이 많이 발생하기 전에 미리 적절한 조치를 취할 수도 있다. 공정 진행을 중지시킬 필요가 없으므로, 제품 생산 수율이 증가한다.

Claims (5)

1. 회전력을 제공하는 구동 부재;

   상기 구동 부재에 의해 회전하고, 기판을 이송하는 다수의 롤러가 축방향을 따라 각각 설치된 다수의 샤프트; 및

   상기 적어도 하나의 샤프트에 연결되어, 상기 샤프트의 회전 속도를 실시간으로 측정하여 보여주는 게이지(gauge)를 포함하는 기판 이송 장치.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 게이지는 RPM(Revolutions Per Minute)을 측정하여 보여주는 기판 이송 장치.
3. 제 1항에 있어서,

   상기 게이지는 상기 샤프트의 회전 속도와 기준 회전 속도를 비교하여 그 결과에 따라 작업자에게 이상 동작을 알리는 기판 이송 장치.
4. 제 1항에 있어서,

   상기 게이지는 동작 시간(tact time)을 더 측정하여 보여주는 기판 이송 장치.
5. 제 4항에 있어서,

   상기 게이지는 상기 동작 시간과 기준 동작 시간을 비교하여 그 결과에 따라 작업자에게 이상 동작을 알리는 기판 이송 장치.

Images