KR20080008246A - 실리콘 마이크 및 그의 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

실리콘 마이크에서, 주름이 전도성 층 내에서 다이어프램을 형성하는 중심 부분과 주연부 사이에서 형성되고, 주름은 전도성 층의 원주 방향으로 형성된 복수의 지지부들을 연결하는 가상선 상에 형성되고, 이에 의해 전도성 층의 강성을 증가시키는 것이 가능하고, 따라서 뒤틀림 또는 변형이 인가되는 응력의 변동에 관계없이 전도성 층 내에서 거의 발생하지 않을 수 있다. 대안적으로, 평탄 부분이 플레이트 내의 단차 부분의 양 측면 상에서 연속적으로 형성되어 플레이트의 강성을 증가시키고, 복수의 구멍이 단차 부분을 피함으로써 평탄 부분 내에 균일하게 형성되어 배열된다. 따라서, 실리콘 마이크의 높은 감도와, 성능 및 특징의 균일성을 실현하는 것이 가능하다.
실리콘 마이크, 콘덴서 마이크, 다이어프램, 플레이트, 구멍, 주름

Description

실리콘 마이크 및 그의 제조 방법 {SILICON MICROPHONE AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR}
본 발명은 서로 대향하여 위치된 다이어프램 및 플레이트로 구성된 실리콘 마이크 및 콘덴서 마이크에 관한 것이다. 본 발명은 또한 실리콘 마이크 및 콘덴서 마이크의 제조 방법에 관한 것이다.
본 출원은 본원에서 참조되어 통합된 일본 특허 출원 제2006-204299호 및 일본 특허 출원 제2006-196586호에 기초하여 우선권을 주장한다.
종래에, 다양한 유형의 실리콘 마이크 및 콘덴서 마이크가 반도체 장치의 제조 공정에 따라 제조되었다. 실리콘 마이크는 플레이트, 및 음파로 인해 진동하는 다이어프램으로 구성된다는 것이 공지되어 있다. 실리콘 마이크의 종래에 공지된 예에서, 다이어프램을 형성하는 전도성 층은 전도성 층의 원주 방향으로 동일한 간격으로 배열되거나 전도성 층의 원주 방향으로 무작위적인 위치에 배열된 복수의 지지부에 의해 지지된다. 이러한 기술은 일본 특허 출원 공개 제2005-535152호 및 미국 특허 제5,452,268호와 같은 다양한 문헌에 개시되어 있다.
전도성 층으로 구성된 다이어프램이 그의 원주 방향으로 배열된 복수의 위치 에서 지지될 때, 제조 공정 중에 전도성 층에 인가되는 내부 응력의 변동이 발생한다. 전도성 층에 인가되는 응력의 변동은 응력이 불균일하게 분포되게 하여, 원치 않는 변형 또는 뒤틀림이 다이어프램 (및 전도성 층) 내에서 발생한다. 이러한 이유로, 불규칙한 진동이 다이어프램의 중심 부분보다는 주연 부분 내에서 발생할 수 있다. 이는 사이에 소정의 갭을 두고 서로 대향하여 위치된 전극들이 비교적 큰 진동을 받는 그들의 특정 영역 내에서 서로 예기치 않게 접촉하게 한다. 이는 또한 비교적 작은 진동을 받는 다른 영역 내에서 정전 용량 변동의 감소를 일으키고, 따라서 실리콘 마이크의 감도가 감소된다. 불규칙한 진동이 다이어프램의 중심 부분에 비해 주연 부분 내에서 발생하는 경향이 있을 수 있으므로, 실리콘 마이크의 성능을 미리 예측하는 것은 매우 어렵다.
미국 특허 출원 공개 제2005/0241944호는 다이어프램의 주연부 내에서 굽힘 부분 (또는 단차 부분)을 갖는 콘덴서 마이크를 개시한다. 미국 특허 제4,776,019호는 구멍들이 다이어프램의 주연부 내에 형성된 콘덴서 마이크를 개시한다.
플레이트가 CVD(화학 증착)에 의해 다이어프램 위에 형성될 때, 단차 부분의 형상 또는 구멍의 형상은 음파가 전달되도록 허용하는 구멍을 갖는 플레이트 상으로 예기치 않게 전사될 수 있다. 제조 공정에서, 플레이트에 인가되는 외부력과, 플레이트와 다이어프램 사이의 정전기 인력에 기인하는 응력은 플레이트의 구멍에 집중될 수 있고, 이에 의해 플레이트는 파괴되기 쉽다.
본 발명의 목적은 다이어프램을 형성하는 전도성 층의 뒤틀림을 감소시키고 전도성 층의 주연 부분 내에서 발생하는 불규칙한 진동을 감소시킴으로써 높은 감도 및 규칙적인 성능을 갖는 실리콘 마이크를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 플레이트가 강도가 증가된 실리콘 마이크를 제공하는 것이다.
본 발명의 제1 태양에서, 실리콘 마이크는 중심 부분이 다이어프램을 형성하는 전도성 층과, 전도성 층을 지지하기 위해 전도성 층의 원주 방향으로 배열된 복수의 지지부와, 전도성 층 내에 형성되고 복수의 지지부들 사이에 그어진 가상선을 가로질러 놓이는 주름을 포함한다. 주름의 형성으로 인해, 다이어프램을 형성하는 전도성 층의 강성을 증가시키는 것이 가능하고, 이에 의해 뒤틀림 또는 변형이 인가되는 응력 변동에 관계없이 전도성 층 내에서 거의 발생하지 않을 수 있다. 또한, 매우 큰 국소 진동 및 매우 작은 국소 진동이 전도성 층 내에서 발생하는 것을 방지하는 것이 가능하고, 따라서 불규칙한 진동이 다이어프램을 형성하는 전도성 층의 중심 부분 외부의 주연부 내에서 발생하는 것을 방지하는 것이 가능하여, 실리콘 마이크의 감도를 현저하게 개선하는 것이 가능하다. 또한, 다이어프램의 진동을 안정화하는 것이 가능하고, 실리콘 마이크의 높고 규칙적인 성능을 실현하는 것이 가능하다.
위에서, 주름은 지지부들 사이에서 연결되거나, 지지부들의 외부에 배열된다. 또한, 주름은 전도성 층과 동심인 관계로 원형 형상으로 형성되거나, 전도성 층과 동심인 관계로 원호 형상으로 형성된다. 대안적으로, 전도성 층과 반경방향 관계로 복수의 주름을 형성하는 것이 가능하다. 여기서 주름은 전도성 층의 두께를 부분적으로 감소시킴으로써 형성된다. 주름 대신에, 전도성 층의 두께를 부분적으로 증가시킴으로써 전도성 층 내에 두꺼운 부분을 형성하는 것이 가능하다.
본 발명의 제2 태양에서, 콘덴서 마이크는 지지부와, 복수의 구멍 및 고정 전극을 가지며 지지부에 의해 지지되는 플레이트와, 고정 전극에 대향하여 위치된 이동 전극을 가지며 인가되는 음파로 인해 진동하는 다이어프램을 포함하고, 플레이트는 두께가 서로 다른 평탄 부분 및 단차 부분을 갖고, 평탄 부분은 단차 부분의 양 측면 상에서 연속적으로 형성되고, 구멍이 플레이트의 평탄 부분을 통해 두께 방향으로 이어진다. 여기서, 구멍은 플레이트의 응력이 집중되는 단차 부분을 가로질러 놓이도록 형성되지 않고, 따라서 구멍이 단차 부분을 가로질러 놓인 다른 플레이트에 비해 플레이트의 강성을 증가시키는 것이 가능하다. 따라서, 플레이트가 외부력에 의해 쉽게 파괴되는 것을 방지하는 것이 가능하다.
위에서, 음파가 그를 통해 전달되도록 허용하는 구멍들은 플레이트의 평탄 부분 내에 균일하게 형성되고 배열되어, 콘덴서 마이크의 출력 특징을 개선한다. 또한, 구멍들은 단차 부분을 피함으로써 복수의 선 또는 복수의 원을 따라 정렬된다.
또한, 다이어프램은 플레이트의 단차 부분과 일치하여 두께 방향으로 구부러 진 굽힘 부분을 가지며, 굽힘 부분은 단차 부분을 따라 신장된다. 대안적으로, 다이어프램은 슬릿을 가지며, 플레이트의 단차 부분은 슬릿의 모서리와 일치하여 형성되고 슬릿의 모서리를 따라 신장된다. 대안적으로, 플레이트의 단차 부분은 다이어프램의 모서리와 일치하여 형성되고 다이어프램의 모서리를 따라 신장된다. 단차 부분에 근접하여 형성된 각각의 구멍의 개방 영역은 단차 부분으로부터 이격된 각각의 구멍의 개방 영역보다 더 작다. 이는 플레이트 내에서의 구멍의 배열의 자유도를 개선하고, 구멍이 단차 부분을 가로질러 놓이지 않도록 구멍을 쉽게 배열하는 것이 가능하다.
콘덴서 마이크의 제조 방법에서, 두께 방향으로 구부러진 굽힘 부분을 갖는 다이어프램이 증착에 의해 형성되고, 굽힘 부분을 덮는 희생층이 증착에 의해 다이어프램 상에 형성되고, 평탄 부분 및 단차 부분을 갖는 플레이트가 증착에 의해 희생층 상에 형성되고, 평탄 부분은 단차 부분의 양 측면 상에서 연속적으로 형성되고, 단차 부분은 다이어프램의 굽힘 부분과 일치하여 형성되고, 플레이트는 플레이트의 평탄 부분을 통해 두께 방향으로 이어지는 구멍을 형성하도록 에칭되고, 그 다음 희생층은 다이어프램과 플레이트 사이에 공기 갭을 형성하도록 에칭된다.
대안적으로, 다이어프램이 증착에 의해 형성되고, 다이어프램은 다이어프램을 통해 두께 방향으로 이어지는 슬릿을 형성하도록 에칭되고, 슬릿을 덮는 희생층이 다이어프램 상에 형성되고, 평탄 부분 및 단차 부분을 갖는 플레이트가 증착에 의해 희생층 상에 형성되고, 평탄 부분은 단차 부분의 양 측면 상에서 연속적으로 형성되고, 단차 부분은 다이어프램의 슬릿의 모서리와 일치하여 형성되고, 플레이 트는 평탄 부분을 통해 두께 방향으로 이어지는 구멍을 형성하도록 에칭되고, 그 다음 희생층은 다이어프램과 플레이트 사이에 공기 갭을 형성하도록 에칭된다.
대안적으로, 다이어프램이 증착에 의해 형성되고, 다이어프램의 모서리를 덮는 희생층이 증착에 의해 형성되고, 평탄 부분 및 단차 부분을 갖는 플레이트가 증착에 의해 희생층 상에 형성되고, 평탄 부분은 단차 부분의 양 측면 상에서 연속적으로 형성되고, 단차 부분은 다이어프램의 모서리와 일치하여 형성되고, 플레이트는 플레이트의 평탄 부분을 통해 두께 방향으로 이어지는 구멍을 형성하도록 에칭되고, 그 다음 희생층은 다이어프램과 플레이트 사이에 공기 갭을 형성하도록 에칭된다.
전술한 제조 방법에 따르면, 간단하고 용이한 방식으로 높은 강성을 갖는 다이어프램 및 플레이트로 구성된 콘덴서 마이크를 제조하는 것이 가능하다.
본 발명의 이러한 그리고 다른 목적, 태양, 및 실시예는 다음의 도면을 참조하여 더욱 상세하게 설명될 것이다.
본 발명에 따른 실리콘 마이크에서, 다이어프램을 형성하는 전도성 층의 강성이 증가될 수 있어서, 뒤틀림 또는 변형이 인가되는 응력 변동에 관계없이 전도성 층 내에서 거의 발생하지 않을 수 있다. 또한, 불규칙한 진동이 다이어프램을 형성하는 전도성 층의 중심 부분 외부의 주연부 내에서 발생하는 것을 방지하여, 실리콘 마이크의 감도를 현저하게 개선할 수 있다. 아울러, 간단하고 용이한 방식으로 높은 강성을 갖는 다이어프램 및 플레이트로 구성된 콘덴서 마이크를 제조하 는 것이 가능하다.
본 발명은 첨부된 도면을 참조하여 예시적으로 더욱 상세하게 설명될 것이다.
1. 제1 실시예
도1a 내지 도1c는 본 발명의 제1 실시예에 따른 실리콘 마이크(10)를 도시한다. 실리콘 마이크(10)는 반도체 제조 공정에 의해 제조된다.
실리콘 마이크(10)는 기판(11), 제1 전도성 층(20), 제2 전도성 층(30), 및 절연 층(40)으로 구성된다. 기판(11)은 예를 들어 단결정 실리콘으로 구성된다. 기판(11)은 그에 대한 개방부를 구현하는 공동(12)을 갖는다. 공동(12)은 기판(11)을 통해 두께 방향으로 이어진다.
절연 층(40)은 기판(11)의 표면(13) 상에 형성된다. 절연 층(40)은 예를 들어 이산화규소로 구성된 산화물 층이다. 절연 층(40)은 그의 내부 원주 부분 내에 형성된 개방부(41)를 갖는다. 절연 층(40)의 개방부(41)의 주연부는 제2 전도성 층(30)을 지지하기 위한 지지부(42)를 형성한다.
제2 전도성 층(30)은 기판(11)에 대해 절연 층(40)에 대향하여 형성된다. 제2 전도성 층(30)은 불순물로 도핑된 폴리실리콘, 예를 들어 인으로 도핑된 폴리실리콘으로 구성된다. 제2 전도성 층(30)의 주연부는 절연 층(40)에 대응하는 지지부(42)에 의해 지지된다. 제2 전도성 층(30)은 지지부(42)의 내측으로 돌출하는 복수의 브리지(31)를 갖는다. 브리지(31)들은 제2 전도성 층(30)의 원주 방향으로 배열된다. 스페이서(43)의 각각의 단부들 중 하나가 브리지(31)와 결합한다. 제1 전도성 층(20)은 브리지(31)에 대향하는 스페이서(43)의 타 단부에 의해 지지된다. 즉, 브리지(31)로부터 연장되는 스페이서(43)는 제1 전도성 층(20)을 지지하기 위한 지지 부재를 형성한다. 스페이서(43)들은 제1 전도성 층(20)의 원주 방향으로 배열된 복수의 위치에서 제1 전도성 층(20)을 지지한다.
제1 전도성 층(20)은 그의 원주 방향으로 배열된 복수의 위치에서 브리지로부터 연장되는 스페이서(43)에 의해 지지된다. 바꾸어 말하면, 제1 전도성 층(20)은 스페이서(43)에 의해 제2 전도성 층(30)에 대응하는 브리지(31)로부터 하방으로 지지된다. 제2 전도성 층(30)과 유사하게, 제1 전도성 층은 불순물로 도핑된 폴리실리콘, 예를 들어 인으로 도핑된 폴리실리콘으로 구성된다. 제1 전도성 층(20)은 스페이서(43)의 내측에 놓여서 다이어프램(21)을 형성하는 중심 부분을 갖는다. 다이어프램(21)은 그에 인가되는 음파로 인해 진동한다. 제1 전도성 층(20)에 의해 형성된 다이어프램(21)은 그의 중심 부분의 외측에 놓인 주연부(22)를 갖는다.
플레이트(33: 즉, 다이어프램(21)에 대향하여 위치된 후방 플레이트)가 브리지(31)의 내측에 놓인 제2 전도성 층(30)의 소정 부분에 의해 형성된다. 플레이트(33)는 (플레이트(33)를 형성하는) 제2 전도성 층(30)을 통해 두께 방향으로 이어지는 복수의 구멍(34)을 갖는다. 제2 전도성 층(30)은 절연 층(40)에 의해 기판(11)으로부터 전기적으로 절연된다. 절연 층(40)과 유사하게, 제1 전도성 층(20)과 제2 전도성 층(30) 사이에 놓이는 스페이서(43)는 절연 재료로 구성된다. 즉, 제1 전도성 층(20)은 스페이서(43)에 의해 제2 전도성 층(30)으로부터 전기적 으로 절연된다. 편의상, 도1a는 제2 전도성 층(30)에 의해 형성된 플레이트(33)를 도시하지 않는다.
도1b에 도시된 바와 같이, 다이어프램(21) 및 기판(11)은 바이어스 전압 공급원(50)에 연결된다. 기판(11) 및 제1 전도성 층(20)은 전도성을 갖고, 이에 의해 다이어프램(21) 및 기판(11)은 실질적으로 동일한 전위로 설정된다. 플레이트(33)는 비교적 높은 입력 임피던스를 갖는 연산 증폭기(51)의 입력 단자에 연결된다.
음파가 플레이트(33)의 구멍(34)을 거쳐 다이어프램(31)으로 전달될 때, 다이어프램(21)은 음파로 인해 진동한다. 다이어프램(21)의 진동은 다이어프램(21)과 플레이트(33) 사이의 거리의 변동을 일으킨다. 다이어프램(21)과 플레이트(33)는 그들 사이에 절연 특성을 갖는 공기 갭을 두고 서로 대향하여 위치된다. 다이어프램(21)과 플레이트(33) 사이의 거리의 변동으로 인해, 그들 사이의 정전 용량이 대응하여 변한다.
플레이트(33)가 비교적 높은 입력 임피던스를 갖는 연산 증폭기(51)에 연결되므로, 플레이트(33) 내에 존재하는 매우 소량의 전하가 다이어프램(21)과 플레이트(33) 사이의 정전 용량의 변동에 관계없이 연산 증폭기(51)를 향해 이동한다. 즉, 다이어프램(21) 및 플레이트(33) 내에 존재하는 전하의 변동은 무시할 만하다고 가정될 수 있다. 바꾸어 말하면, 다이어프램(21)과 플레이트(33) 사이의 정전 용량의 변동은 플레이트(33)의 전위의 변동으로 실질적으로 전환될 수 있다. 그러므로, 실리콘 마이크(10)는 정전 용량의 변동으로 인해 플레이트(33)의 전위의 매 우 작은 변동에 기초하여 전기 신호를 생성할 수 있다. 실리콘 마이크(10)에서, 다이어프램(21)에 인가되는 음압의 변동은 정전 용량의 변동으로 변환되고, 이는 그 다음 플레이트(33)의 전위 변동으로 변환되고, 이에 기초하여 전기 신호가 음압에 응답하여 생성된다.
실리콘 마이크(10)에서, 주름(23)이 제1 전도성 층(20)의 높은 강성을 실현하기 위해 형성된다. 주름(23)은 (다이어프램(21)을 형성하는) 제1 전도성 층(20)의 중심 부분과 제1 전도성 층(20)의 주연부(22) 사이에 놓인다. 구체적으로, 주름(23)은 제1 전도성 층(20)의 중심 부분과 주연 부분(22) 사이에 채널을 형성하고, 제2 전도성 층(30)에 대향하는 방향으로 리세스된다. 제1 실시예에서, 주름(23)은 다이어프램(21)을 형성하는 제1 전도성 층(20)과 동심인 관계로 원주 방향으로 연속적으로 형성된다. 도1a에서, 가상선(Li)이 스페이서(43)들을 상호 연결하도록 그어지고, 주름(23)은 가상선(Li)을 가로질러 놓인다. 가상선(Li)은 실리콘 마이크(10)의 원주 방향으로 배열된 스페이서(43)들을 직접 연결하는 가상으로 그어진 직선 세그먼트이다.
주름(23)의 형성으로 인해, 단차 부분이 제1 전도성 층(20)의 두께 방향으로 형성되고, 이에 의해 코너(24)가 제1 전도성 층(20) 내에 형성된다. 구체적으로, 복수의 코너(24)가 제1 전도성 층(20)의 중심 부분으로부터 원주 부분으로의 방향으로 제1 전도성 층(20)의 원주 부분을 따라 정렬된다. 주름(23)의 형성에 의해 형성된 코너(24)의 형성으로 인해, 원주 방향 및 반경 방향으로의 주름(23)에서의 제1 전도성 층(20)의 강성을 증가시키는 것이 가능하다. 주름(23)이 가상선(Li)을 가로질러 형성되므로, (다이어프램(21)을 형성하는) 중심 부분 및 주연부(22)에 대해 제1 전도성 층(20)의 강성을 현저하게 증가시키는 것이 가능하다. (주름(23)의 형성에 기인한) 제1 전도성 층(20)의 강성의 개선으로 인해, 응력의 변동에 관계없이 뒤틀림 (또는 변형)이 제1 전도성 층(20) 내에서 발생하기가 어려워진다. 즉, 매우 큰 국소 진동 또는 매우 작은 국소 진동이 제1 전도성 층(20) 내에서 발생할 기회를 현저하게 감소시키는 것이 가능하다. 결과적으로, 다이어프램(21)을 형성하는 제1 전도성 층(20)의 중심 부분의 외부에 놓인 주연부(22) 내에서 발생하는 불규칙한 진동을 현저하게 감소시키는 것이 가능하다. 이는 제1 전도성 층(20)의 진동을 안정화하고, 이에 의해 제1 전도성 층(20)이 주연부(22) 내에서 발생하는 매우 큰 불규칙한 진동으로 인해 제2 전도성 층(30)과 접촉하는 것을 방지하는 것이 가능하고, 실리콘 마이크(10)의 감도가 다이어프램(21)을 형성하는 제1 전도성 층(20)의 중심 부분 내의 매우 작은 진동의 발생으로 인해 감소되는 것을 방지하는 것이 가능하다.
주연부(22) 내에서 발생하는 매우 큰 불규칙한 진동의 감소로 인해, 제1 전도성 층(20)이 제2 전도성 층(30)과 예기치 않게 접촉할 기회를 현저하게 감소시키는 것이 가능하다. 바꾸어 말하면, 실리콘 마이크(10) 설계에서 제1 전도성 층(20)과 제2 전도성 층(30) 사이의 거리를 감소시키는 것이 가능하다. 즉, 다이어프램(21)과 플레이트(33) 사이의 거리를 감소시키는 것이 가능하고, 그러므로 실리콘 마이크(10)의 감도를 증가시키는 것이 가능하다. 제1 전도성 층(20)의 진동의 안정화로 인해, 실리콘 마이크(10)의 높고 규칙적인 성능을 실현하는 것이 가능 하다.
다음으로, 실리콘 마이크(10)의 제조 방법이 도2a 내지 도2e 및 도3a 내지 도3d를 참조하여 상세하게 설명될 것이다.
도2a에 도시된 바와 같이, 산화물 층(62)이 이산화규소의 성장에 의해 (실리콘으로 구성된) 기판(60)의 표면(61) 상에 형성된다. 산화물 층(62)은 도1b 및 도1c에 도시된 절연 층(40)에 대응한다. 도2b에 도시된 바와 같이, 리세스(63)가 산화물 층(62) 내에 형성된다. 구체적으로, 산화물 층(62)은 레지스트 마스크로 덮이고 그 다음 불화수소를 사용한 에칭을 받아서, 리세스(63)를 형성한다. 산화물 층(62)의 두께는 도1b 및 도1c에 도시된 제1 전도성 층(20) 내에 형성된 주름(23)의 깊이와 실질적으로 정합된다. 산화물 층(62)은 기판(60)의 표면(61)이 리세스(63) 내에서 부분적으로 노출되는 방식으로 에칭을 받는다.
(리세스(63)가 산화물 층(62) 내에 형성되는) 에칭의 완료 후에, 도2c에 도시된 바와 같이, 제1 전도성 층(64)이 폴리실리콘의 사용에 의해 산화물 층(62) 및 산화물 층(62)으로부터 노출된 기판(60)의 표면(61)의 소정 부분 상에 증착된다. 제1 전도성 층(64)의 주연부가 도2d에 도시된 바와 같이 패턴화에 의해 제거된다.
제1 전도성 층(64)의 패턴화의 완료 후에, 도2e에 도시된 바와 같이, 산화물 층(62)은 그의 이전에 형성된 부분 상에서 추가로 형성된다. 또한, 제2 전도성 층(66)이 기판(60)의 표면(61)에 대향하여 위치된 산화물 층(62)의 표면(65) 상에 증착된다. 추가로 형성된 산화물 층(62)은 기판(60)에 대향하여 제1 전도성 층(64) 상에 형성된다. 따라서, 제1 전도성 층(64)은 산화물 층(62) 내에 매립된 다. 산화물 층(62)의 적절한 성장의 완료 후에, 제2 전도성 층(66)은 기판(60)에 대항하여 산화물 층(62)의 표면(65) 상에 증착된다. 제1 전도성 층(64)과 유사하게, 제2 전도성 층(66)은 폴리실리콘 증착에 의해 형성된다.
산화물 층(62) 및 제2 전도성 층(6)의 형성 완료 후에, 도3a에 도시된 바와 같이, 제2 전도성 층(62)은 패턴화를 받아서, 도1b 및 도1c에 도시된 제2 전도성 층(30)의 구멍(34)에 대응하는 리세스(67)를 형성한다.
제2 전도성 층(66)의 패턴화의 완료 후에, 도3b에 도시된 바와 같이, 기판(60)이 패턴화를 받는다. 구체적으로, 기판(60)의 표면(61)이 레지스트 마스크(69)로 덮이고, 그 다음 비등방성 또는 등방성 에칭 용액을 사용하여 패턴화를 받는다. 따라서, 공동(12)에 대응하는 개방부(71)가 기판(60) 내에 형성된다.
도3b에 도시된 바와 같이, 마스크(72)가 제2 전도성 층(66)으로부터 노출된 산화물 층(62)의 소정 부분을 덮도록 제2 전도성 층(66) 상에 형성된다. 그 다음, 산화물 층(62)은 리세스(67) 및 개방부(71)에 의해 불화수소를 사용하여 에칭을 받는다. 제2 전도성 층(66)의 외부에 위치된 산화물 층(62)의 주연부가 마스크(72)로 덮이므로, 지지부(42)에 대응하는 산화물 층(62)의 소정 부분은 에칭되지 않고 여전히 그대로 유지된다. 도4에 도시된 바와 같이, 리세스(67)에 대응하는 구멍(34)들 사이에서 유지되는 제2 전도성 층(66)의 나머지 부분(73)의 폭은 산화물 층(62)을 사용하여 형성되는 스페이서(74)가 기판(60)에 근접하여 에칭되지 않고 여전히 유지되도록 적절하게 조정된다. 따라서, 제1 전도성 층(64)은 산화물 층(62)을 사용하여 형성되고, 제1 전도성 층(64)과 제2 전도성 층(66) 사이에 위치 된 스페이서(74)에 의해 지지된다.
산화물 층(62)의 에칭으로 인해, 도3c 및 도4에 도시된 바와 같이, 지지부(42) 및 스페이서(43)를 제외한 산화물 층(62)의 다른 부분이 제거된다. 또한, 주름(23)에 대응하는 리세스(75)가 제1 전도성 층(64) 내에 형성된다. 산화물 층(62)의 에칭 완료 후에, 도3d에 도시된 바와 같이, 마스크(72)가 제거된다.
전술한 제조 공정 후에, 다이싱 및 패키징 단계가 수행되어 실리콘 마이크(10)를 완성한다.
실리콘 마이크(10)에서, 주름(23)은 다이어프램(21)을 형성하는 제1 전도성 층(20)의 중심 부분과 주연부(22) 사이에 형성된다. 주름(23)은 원주 방향으로 배열된 스페이서(43)들 사이를 연결하는 가상선(Li)을 가로질러 놓이고, 이에 의해 다이어프램(21)에 대응하는 제1 전도성 층(20)의 강성을 현저하게 증가시키는 것이 가능하다. 강성의 개선으로 인해, 뒤틀림 또는 변형이 인가되는 응력의 변동에 관계없이 제1 전도성 층(20) 내에서 거의 발생하지 않을 수 있다. 즉, 매우 큰 국소 진동 및 매우 작은 국소 진동이 제1 전도성 층(20) 내에서 발생하는 것을 방지하는 것이 가능하고, 불규칙한 진동이 다이어프램(21)에 대응하는 제1 전도성 층(20)의 중심 부분의 외부에 위치된 주연부(22) 내에서 발생하는 것을 방지하는 것이 가능하다. 그러므로, 제1 전도성 층(20)의 진동을 안정화하여, 실리콘 마이크(10)의 감도를 개선하는 것이 가능하다. 또한, 실리콘 마이크(10)의 높고 규칙적인 성능을 실현하는 것이 가능하다.
제1 실시예는 다양한 방식으로 더욱 변형될 수 있고, 따라서 제1 실시예의 변경예가 아래에서 설명될 것이다.
(a) 제1 변경예
제1 실시예의 제1 변경예에서, 도5에 도시된 바와 같이, 제1 전도성 층(20)의 주름(23)은 제2 전도성 층(30)을 향해 돌출한다. 제1 전도성 층(20)의 강성은 주름(23)의 돌출 방향에 관계없이 개선될 수 있고, 따라서 주름(23)은 제2 전도성 층(30)을 행해 돌출하는 방식으로 형성될 수 있다.
(b) 제2 변경예
제1 실시예의 제2 변경예에서, 도6에 도시된 바와 같이, 두꺼운 부분(25)이 제1 전도성 층(20) 내에 형성된다. 구체적으로, 두꺼운 부분(25)은 제1 전도성 층(20)의 두께를 부분적으로 증가시킴으로써 형성된다. 주름(23)과 유사하게, 두꺼운 부분(25)은 제1 전도성 층(20)의 강성을 증가시킨다. 바꾸어 말하면, 제1 전도성 층(20)의 강성은 주름(23) 또는 두꺼운 부분(25)을 사용하여 증가될 수 있다.
제1 실시예는 도1a에 도시된 바와 같이, 주름(23)이 스페이서(43)들 사이를 연결하는 가상선(Li)을 가로질러 놓이도록 설명되고, 주름(23)은 제1 전도성 층(20)의 원주 방향으로 연속적으로 형성된다. 여기서, 주름(23)이 다음의 조건 중 하나를 만족시키도록 형성되는 것이 요구된다.
(1) 주름(23)은 (제1 실시예에서 설명된 바와 같이) 스페이서(43)들을 연결하는 가상선(Li)을 가로질러 놓이도록 형성된다.
(2) 주름(23)은 스페이서(43)들을 연결하는 가상선(Lii) 상에 형성된다.
(3) 주름(23)은 스페이서(43)의 외부에 형성된다.
다음의 변경예는 주름(23)에 적용되는 전술한 조건에 적합하도록 설계된다.
(c) 제3 변경예
도7은 실리콘 마이크(10)가 조건 (2)에 적합하도록 설계된 제1 실시예의 제3 변경예를 도시한다. 즉, 주름(23)은 제1 전도성 층(20)의 원주 방향으로 배열된 스페이서(43)들을 연결하는 가상선(Lii) 상에 형성된다. 제3 변경예에서, 주름(23)은 스페이서(43)들을 연결하는 직선을 형성한다. 즉, 주름(23)은 꼭짓점이 스페이서(43)와 위치 정합되는 정사각형 형상으로 형성된다.
(d) 제4 변경예
도8은 실리콘 마이크(10)가 조건 (2)에 적합하도록 설계된 제1 실시예의 제4 변경예를 도시한다. 즉, 주름(23)은 제1 전도성 층(20)의 원주 방향으로 배열된 스페이서(43)들을 연결하는 가상선(Lii) 상에 형성된다. 제4 변경예에서, 주름(23)은 스페이서(43)들을 연결하도록 제1 전도성 층(20)과 동심인 관계로 그어진 원을 형성한다.
제3 및 제4 변경예에 따르면, 주름(23)은 제1 전도성 층(20) 내에서 스페이서(43)들을 연결하도록 형성되고, 따라서 다이어프램(21)을 형성하는 제1 전도성 층(20)의 강성을 증가시키는 것이 가능하다. 강성의 개선으로 인해, 뒤틀림 또는 변형이 인가되는 응력의 변동에 관계없이 제1 전도성 층(20) 내에서 거의 발생하지 않을 수 있다. 따라서, 매우 큰 국소 진동 및 매우 작은 국소 진동이 제1 전도성 기판(20) 내에서 발생하는 것을 방지하는 것이 가능하고, 불규칙한 진동이 다이어프램(21)을 형성하는 제1 전도성 층(20)의 중심 부분의 외부에 위치된 주연부(22) 내에서 발생하는 것을 방지하는 것이 가능하다. 또한, 제1 전도성 층(20)의 진동을 안정화하는 것이 가능하고, 실리콘 마이크(10)의 감도를 개선하는 것이 가능하다. 또한, 실리콘 마이크(10)의 성능 및 특징의 균일성을 실현하는 것이 가능하다.
(e) 제5 변경예
도9는 실리콘 마이크(10)가 조건 (1)에 적합하도록 설계된 제1 실시예의 제5 변경예를 도시한다. 즉, 복수의 주름(23)이 제1 전도성 층(20)의 원주 방향으로 배열된 스페이서(43)들을 연결하는 가상선(Li)을 가로질러 놓이도록 형성된다. 제5 변경예에서, 주름(23)은 스페이서(43)들을 연결하는 가상선(Li)을 가로질러 놓이도록 반경방향으로 배열된다.
스페이서(43)들을 연결하는 가상선(Li)을 가로질러 놓이도록 배열된 주름(23)의 형성으로 인해, 다이어프램(21)을 형성하는 제1 전도성 층(20)의 강성을 증가시키는 것이 가능하다. 제1 실시예와 유사하게, 제1 전도성 층(20)의 진동을 안정화하는 것이 가능하고, 실리콘 마이크(10)의 감도를 개선하는 것이 가능하다. 또한, 실리콘 마이크(10)의 성능 및 특징의 균일성을 실현하는 것이 가능하다.
제5 변경예에서, 3개의 주름(23)이 2개의 스페이서(43)들 사이에서 반경방향으로 배열된다. 여기서, 실리콘 마이크(10)의 특징에 따라 주름(23)의 개수 및 각도를 자유롭게 결정하는 것이 가능하다.
(f) 제6 변경예
도10은 실리콘 마이크(10)가 조건 (3)에 적합하도록 설계된 제1 실시예의 제 6 변경예를 도시한다. 즉, 주름(23)은 제1 전도성 층(20)의 원주 방향으로 배열된 스페이서(43)들의 외부에 형성된다. 제6 변경예에서, 주름(23)은 제1 전도성 층(20)과 동심인 관계로 스페이서(43)들의 외부에 배열된다. 여기서, 주름(23)은 스페이서(43)들의 외부에서 원으로 연속적으로 형성된다.
스페이서(43)들의 외부에서의 주름(23)의 형성으로 인해, 다이어프램(21)을 형성하는 제1 전도성 층(20)의 강성을 증가시키는 것이 가능하고, 이에 의해 뒤틀림 또는 변형이 인가되는 응력의 변동에 관계없이 제1 전도성 층(20) 내에서 거의 발생하지 않을 수 있다. 따라서, 매우 큰 국소 진동 및 매우 작은 국소 진동이 제1 전도성 층(20) 내에서 발생하는 것을 방지하는 것이 가능하고, 불규칙한 진동이 다이어프램(21)을 형성하는 제1 전도성 층(20)의 중심 부분의 외부에 위치된 주연부(22) 내에서 발생하는 것을 방지하는 것이 가능하다. 또한, 제1 전도성 층(20)의 진동을 안정화하는 것이 가능하고, 실리콘 마이크(10)의 감도를 개선하는 가능하다. 또한, 실리콘 마이크(10)의 성능 및 특징의 균일성을 실현하는 것이 가능하다.
제1 실시예 및 전술한 변경예에서, 다이어프램(21)을 형성하는 제1 전도성 층(20)은 제2 전도성 층(30)으로부터 연장되는 스페이서(43)에 의해 지지되지만, 이는 제한적이지 않다. 즉, 제1 전도성 층(20)에 대해 적응된 지지 구조물은 스페이서(43)의 사용으로 반드시 제한되지는 않는다. 다음의 변경예는 제1 전도성 층(20)에 대해 적응된 지지 구조물을 변형시키도록 설계된다.
(g) 제7 변경예
도11은 다이어프램(21)을 형성하는 제1 전도성 층(20)이 기판(11)에 의해 지지되는, 제1 실시예의 제7 변경예를 도시한다. 즉, 공동(12)을 갖는 기판(11)은 제1 전도성 층(20)을 지지하기 위한 지지 구조물로서 역할한다.
(h) 제8 변경예
도12는 다이어프램(21)을 형성하는 제1 전도성 층(20)이 기판(11)으로부터 돌출하는 지지부(14)에 의해 지지되는, 제1 실시예의 제8 변경예를 도시한다.
(i) 제9 변경예
도13은 다이어프램(21)을 형성하는 제1 전도성 층(20)이 제2 전도성 층(30)을 향해 이동 가능한, 제1 실시예의 제9 변경예를 도시한다. 도13의 실리콘 마이크(10)에서, 제1 전도성 층(20) 및 제2 전도성 층(30)이 급전될 때, 제1 전도성 층(20)은 제2 전도성 층(30)을 향해 그들 사이에 가해지는 정전기 인력으로 인해 이동한다. 제1 전도성 층(20)의 이동은 제2 전도성 층(30)으로부터 돌출하며, 제1 전도성 층(20)이 접촉하게 되는 스페이서(44)에 의해 제한된다. 급전으로 인해, (다이어프램(21)을 형성하는) 제1 전도성 층(20)은 제2 전도성 층(30)을 향해 이동하고, 스페이서(44)는 제1 전도성 층(20)을 지지하기 위한 지지 구조물로서 역할한다.
제1 실시예에 및 제1 내지 제6 변경예에서, 4개의 스페이서(43)가 제1 전도성 층(20)과 제2 전도성 층(30) 사이에서 원주 방향으로 배열된다. 스페이서(23)의 개수는 반드시 4개로 제한되지는 않고, 즉 적어도 2개의 스페이서(23)가 제1 실시예의 요건을 만족시킨다.
또한, (다이어프램(21)을 형성하는) 제1 전도성 층(20) 및 (플레이트(33)를 형성하는) 제2 전도성 층(30)은 반드시 원형 형상으로 형성되지는 않는다. 즉, 이는 타원형 형상, 직사각형 형상, 및 다각형 형상과 같은 다른 형상으로 형성될 수 있다.
또한, 실리콘 마이크(10)는 반드시 각각의 전술한 예에 따라 설계되지는 않고, 즉 전술한 예들의 적절한 조합에 기초하여 설계될 수 있다.
2. 제2 실시예
도14의 (a) 및 도14의 (b)를 참조하여, 콘덴서 마이크(1001)가 본 발명의 제2 실시예에 따라 상세하게 설명될 것이고, 콘덴서 마이크(1001)는 반도체 제조 공정에 의해 제조되는 실리콘 마이크이다. 콘덴서 마이크(1001)는 플레이트(1030)를 거쳐 전달되는 음파를 전기 신호로 변환한다.
콘덴서 마이크(1001)의 감지 부분은 상호 라미네이팅된, 기판(1010)과, 제1, 제2, 제3, 및 제4 필름을 포함한다.
기판(1010)은 단결정 실리콘으로 구성된다. 기판(1010)은 음파의 전파 방향에 대향하는 방향으로 다이어프램(1020)에 인가되는 압력을 해제하기 위한 공동(1011)을 갖는다.
제1 필름은 이산화규소로 구성된 절연 박막이다. 제1 지지부(1012)는 공기 갭이 다이어프램(1020)과 기판(1010) 사이에 형성되는 방식으로 기판(1010) 위에서 제2 필름을 지지하도록 제1 필름의 사용에 의해 형성된다. 제1 필름은 원형 개방부(1013)를 갖는다.
제2 필름은 불순물로 도핑된 폴리실리콘(예를 들어, 인으로 도핑된 폴리실리콘)으로 구성된 전도성 박막이다. 다이어프램(1020)은 제1 필름에 고정되지 않은 제2 필름의 소정 부분을 사용하여 형성된다. 다이어프램(1020)은 제1 및 제3 필름에 고정되지 않고, 음파로 인해 진동하는 이동 전극으로서 역할한다. 다이어프램(1020)은 공동(1011)을 덮는 원형 형상을 갖는다. 두께 방향으로 구부러진 굽힘 부분(1022)이 다이어프램(1020)의 주연부 내에 형성된다. 굽힘 부분(1022)은 다이어프램(1020)에 대응하는 중심 부분의 외부에서 전체 원주방향 주연부 내에 형성된다.
제1 필름과 유사하게, 제3 필름은 이산화규소로 구성된 절연 박막이다. 제3 필름은 전도성을 갖는 제2 및 제4 필름 사이에 절연을 제공하고 제2 필름 위에서 제4 필름을 지지하는 제2 지지부(1014)를 형성한다. 제3 필름은 원형 개방부(1015)를 갖는다.
제4 필름은 불순물로 도핑된 폴리실리콘(예를 들어, 인으로 도핑된 폴리실리콘)으로 구성된 전도성 박막이다. 플레이트(1030)는 제3 필름에 고정되지 않은 제4 필름의 소정 부분을 사용하여 형성된다. 플레이트는 단차 부분(1032) 및 평탄 부분(1033)을 갖는다. 단차 부분(1032)의 높이 차는 굽힘 부분(1022)의 높이 차에 실질적으로 대응하고, 단차 부분(1032)은 굽힘 부분(1022)을 따라 신장된 원형 형상을 갖는다. 평탄 부분(1033)은 단차 부분(1032)의 양 측면 상에서 연속적으로 형성된다.
플레이트(1030)는 동심인 관계로 배열된 복수의 구멍(1036)을 포함하는 관통 구멍 패턴(1034)을 갖는다. 동일한 원 상에 배열된 구멍(1036)들은 그들 사이에 동일한 간격을 두고 원주 방향으로 형성된다 (도14의 (a)의 P1 참조). 동일한 거리(도14의 (a)의 P2 참조)가 구멍(1036)들이 정렬된 인접한 원들 사이에 형성되고, 구멍(1036)들이 단차 부분(1032)을 가로질러 놓이지 않는 방식으로 결정된다. 간단하게, 구멍(1036)들은 단차 부분(1032)을 피하면서, 플레이트(1030)의 평탄 부분(1033) 내에서 균일하게 분포되고 형성된다. 바꾸어 말하면, 구멍(1036)들은 구멍(1036)이 평탄 부분(1033)의 양 측면을 연결하도록 단차 부분(1032)을 가로질러 놓이지 않는 방식으로 규칙적으로 배열된다.
도14의 (b)에 도시된 바와 같이, 콘덴서 마이크(1001)는 (전기 회로에 의해 구현되는) 검출 부분을 갖고, 여기서 다이어프램(1020)은 리드(1104, 1106)를 갖는 바이어스 전압 공급원에 연결된다. 구체적으로, 리드(1104)는 기판(1010)에 연결되고, 리드(1106)는 제2 필름에 연결되고, 이에 의해 다이어프램(1020) 및 기판(1010)이 실질적으로 동일한 전위로 설정된다. 플레이트(1030)는 연산 증폭기(1100)의 입력 단자에 연결된다. 구체적으로, 연산 증폭기(1100)의 입력 단자에 연결된 리드(1108)가 제4 필름에 연결된다. 연산 증폭기(1100)는 높은 입력 임피던스를 갖는다.
다음으로, 콘덴서 마이크(1001)의 작동이 설명될 것이다. 음파가 플레이트(1030)의 구멍(1036)을 거쳐 다이어프램(1020)에 전달될 때, 다이어프램(1020)은 음파로 인해 진동하여, 다이어프램(1020)과 플레이트(1030) 사이의 거리가 변하여 그들 사이의 정전 용량의 변동을 일으킨다.
플레이트(1030)가 높은 입력 임피던스를 갖는 연산 증폭기(1100)에 연결되므로, 다이어프램(1020)과 플레이트(1030) 사이의 정전 용량의 변동이 발생할 때에도, 플레이트(1030) 내에 존재하는 매우 소량의 전하가 연산 증폭기(1100)를 향해 이동한다. 즉, 플레이트(1030) 및 다이어프램(1020) 내에 존재하는 전하의 변동이 실질적으로 발생하지 않는다고 가정된다. 이는 정전 용량의 변동을 플레이트(1030)의 전위 변동으로 변환하는 것을 가능케 한다. 그러므로, 콘덴서 마이크(1001)는 다이어프램(1020)과 플레이트(1030) 사이의 정전 용량의 매우 작은 변동에 응답하여 전기 신호를 생성할 수 있다. 바꾸어 말하면, 콘덴서 마이크(1001)에서, 다이어프램(1020)에 인가되는 음압의 변동은 정전 용량의 변동으로 변환되고, 이는 그 다음 전위 변동으로 변환되고, 이에 기초하여 전기 신호가 음압의 변동에 응답하여 생성된다.
다음으로, 콘덴서 마이크(1001)의 제조 방법이 상세하게 설명될 것이다.
먼저, 도15a에 도시된 바와 같이, 제1 필름(1051)이 도14의 (a) 및 도14의 (b)에 도시된 기판(1010)에 대응하는 웨이퍼(1050) 상에 증착된다. 제1 필름(1051)은 링형 리세스(1051a)를 형성하도록 에칭을 받는다. 구체적으로, 이산화규소가 플라즈마 CVD에 의해 단결정 실리콘으로 구성된 웨이퍼(1050) 상에 증착되어, 제1 필름(1051)을 형성한다. 다음으로, 포토레지스트 필름이 제1 필름(1051)의 전체 표면에 도포되고, 그 다음 레지스트 패턴이 노광 및 현상이 소정의 레지스트 마스크를 사용하여 수행되는 광리소그래피에 의해 형성되고, 그 후에 제1 필름(1051)은 RIE(반응성 이온 에칭)와 같은 비등방성 에칭에 의해 선택적으로 제거 되어, 제1 필름(1051) 내에 링형 리세스(1051a)를 형성한다.
다음으로, 도15b에 도시된 바와 같이, 제2 필름(1052)이 제1 필름(1051) 상에 증착된다. 구체적으로, 인으로 도핑된 폴리실리콘이 감압 CVD에 의해 제1 필름(1051) 상에 증착되어, 제2 필름(1052)을 형성한다. 형상이 제1 필름(1051)의 리세스(1051a)의 형상과 실질적으로 정합되는 굽힘 부분(1022)이 제2 필름(1052) 내에 형성된다.
다음으로, 도15c에 도시된 바와 같이, 제3 필름(1053)이 제2 필름(1052) 상에 증착된다. 구체적으로, 이산화규소가 플라즈마 CVD에 의해 제2 필름(1052) 상에 증착되어, 제3 필름(1053)을 형성한다. 형상이 제2 필름(1052)의 굽힘 부분(1022)의 형상과 실질적으로 정합되는 리세스(1053a)가 제3 필름(1053) 내에 형성된다.
다음으로, 도16a에 도시된 바와 같이, 관통 구멍 패턴(1034)을 갖는 제4 필름(1054)이 제3 필름(1053) 상에 증착된다. 구체적으로, 인으로 도핑된 폴리실리콘이 감압 CVD에 의해 제3 필름(1053) 상에 증착되어, 제4 필름(1054)을 형성한다. 결과적으로, 형상이 제3 필름(1053)의 리세스(1053a)의 형상과 실질적으로 정합되는 단차 부분(1032)이 제2 필름(1052)의 굽힘 부분(1022) 위에서 제4 필름(1054) 내에 형성된다. 또한, 평탄 부분이 제4 필름(1054)의 단차 부분(1032)의 양 측면 상에서 연속적으로 형성된다.
다음으로, 제4 필름(1054)은 복수의 구멍(1036)이 제4 필름(1054)의 평탄 부분 내에 형성되도록 에칭을 받는다. 구체적으로, 포토레지스트 필름이 제4 필 름(1054)의 전체 표면에 도포되고, 그 다음 레지스트 패턴이 노광 및 현상이 레지스트 마스크를 사용하여 수행되는 광리소그래피에 의해 형성되고, 그 후에 제4 필름(1054)이 RIE와 같은 비등방성 에칭에 의해 선택적으로 제거된다.
다음으로, 도16b에 도시된 바와 같이, 공동(1011)이 웨이퍼(1050) 내에 형성된다. 구체적으로, 포토레지스트 필름이 웨이퍼(1050)의 전체 후면에 도포되고, 그 다음 레지스트 패턴이 노광 및 현상이 레지스트 마스크를 사용하여 수행되는 광리소그래피에 의해 형성되고, 그 후에 웨이퍼(1050)가 딥 RIE와 같은 비등방성 에칭에 의해 선택적으로 제거되어, 웨이퍼(1050) 내에 공동(1011)을 형성한다.
다음으로, 도16c에 도시된 바와 같이, 제1 필름(1051) 및 제3 필름(1053)이 선택적으로 제거되어 개방부(1013, 1015)를 형성하고, 이에 의해 제2 필름(1052)이 제3 필름(1053)으로부터 노출된다. 구체적으로, 포토레지스트 필름이 제3 필름(1053)의 전체 표면 및 제4 필름(1054)의 전체 표면에 도포되고, 그 다음 관통 구멍 패턴(1034)을 노광시키기 위한 개방부를 갖는 레지스트 패턴이 노광 및 현상이 레지스트 마스크를 사용하여 수행되는 광리소그래피에 의해 형성된다. 다음으로, 완충 불화수소산 (또는 완충 HF)와 같은 에칭 용액을 사용하는 등방성 습식 에칭에 의해 또는 등방성 에칭 및 비등방성 에칭의 조합에 의해, 산화규소 필름인 제1 필름(1051) 및 제3 필름(1053)이 선택적으로 제거된다. 이 때, 에칭 용액은 제4 필름(1054)의 구멍(1036) 및 기판(1010)의 공동(1011)을 거쳐 침투하여, 제1 기판(1051) 및 제3 기판(1053)을 용해시킨다. 관통 구멍 패턴(1034) 및 공동(1011)을 적절하게 설계함으로써, 개방부(1013, 1015)가 각각 제1 필름(1051) 및 제3 필 름(1053) 내에 형성된다. 결과적으로, 콘덴서 마이크(1001)의 감지 부분은 다이어프램(1020), 플레이트(1030), 제1 지지부(1012), 및 제2 지지부(1014)로 구성된다 (도14의 (b) 참조).
그 후에, 콘덴서 마이크(1001)는 다이싱 및 패키징 공정에 의해 완성된다.
제2 실시예는 반드시 전술한 콘덴서 마이크(1001)로 제한되지는 않고, 따라서 감지 부분이 라미네이트 구조를 갖는 한 다양한 방식으로 변형될 수 있다.
(a) 제1 변경예
제2 실시예의 제1 변경예에 따른 콘덴서 마이크(1002)가 도17의 (a) 및 도17의 (b)를 참조하여 설명될 것이다. 콘덴서 마이크(1002)는 도14의 (a) 및 도14의 (b)에 도시된 다이어프램(1020) 및 플레이트(1030)와 다른, 다이어프램(1220) 및 플레이트(1230)로 구성된다. 슬릿(1222)이 다이어프램(1220)의 주연부 내에 형성되어 중심 부분을 둘러싼다.
플레이트(1230)는 단차 부분(1232) 및 평탄 부분(1233)을 갖는다. 단차 부분(1232)은 그의 높이 차가 슬릿(1222)의 깊이와 실질적으로 정합되도록, 슬릿(1222)의 모서리를 따라 신장된다. 평탄 부분(1233)은 단차 부분(1232)의 양 측면 상에서 연속적으로 형성된다. 플레이트(1230)는 관통 구멍 패턴(1034)과 유사하며 동심인 관계로 정렬된 복수의 구멍(1036)을 포함하는 관통 구멍 패턴(1234)을 갖는다. 여기서, 동일 원 상에 정렬된 인접한 구멍(1036)들 사이의 거리(P1)는 구멍(1036)들이 반경 방향으로 연장되는 단차 부분(1232)의 연장 부분(1232a)에 각각 위치되지 않는 방식으로 결정된다. 즉, 구멍(1036)들은 단차 부분(1232)을 피함으 로써 플레이트(1230)의 평탄 부분(1233) 내에 균일하게 분포되고 위치된다.
콘덴서 마이크(1002)의 검출 부분은 콘덴서 마이크(1001)의 검출 부분과 실질적으로 동일하고, 따라서 그의 설명은 생략된다.
다음으로, 콘덴서 마이크(1002)의 제조 방법이 도18a 내지 도18c를 참조하여 설명될 것이다. 먼저, 도18a에 도시된 바와 같이, 제1 필름(1051) 및 제2 필름(1052)이 웨이퍼(1050) 상에 형성된다. 제2 필름(1052)은 내부에 슬릿(1222)을 형성하도록 에칭을 받는다.
다음으로, 도18b에 도시된 바와 같이, 제3 필름(1053)이 제1 필름(1051) 및 제2 필름(1052) 상에 증착된다. 형상이 제2 필름(1052)의 슬릿(1222)의 형상과 실질적으로 정합되는 리세스(1253a)가 제3 필름(1053) 내에 형성된다.
다음으로, 도18c에 도시된 바와 같이, 제4 필름(1054)이 제3 필름(1053) 상에 증착된다. 결과적으로, 형상이 제3 필름(1053)의 리세스(1253a)의 형상과 실질적으로 정합되는 단차 부분(1232)이 제4 필름(1054)의 슬릿(1222) 위에 형성된다. 평탄 부분은 제4 필름(1054)의 단차 부분(1232)의 양 측면 상에서 연속적으로 형성된다.
다음으로, 제4 필름은 제4 필름(1054)의 평탄 부분 내에 복수의 구멍(1036)을 형성하도록 에칭을 받는다. 그 후에, 제2 실시예에 관련되어 설명된 상기 단계들이 수행되어, 콘덴서 마이크(1002)를 완성한다.
(b) 제2 변경예
제2 실시예의 제2 변경예에 따른 콘덴서 마이크(1003)가 도19a 및 도19b를 참조하여 설명될 것이다. 콘덴서 마이크(1003)는 콘덴서 마이크(1001) 내에 포함된 다이어프램(1020), 플레이트(1030), 및 공동(1011)과 다른, 다이어프램(1320), 플레이트(1330), 및 공동(1311)을 포함한다. 다이어프램(1320)은 공동(1311) 위에서 플레이트(1330)와 3차원으로 교차한다. 다이어프램(1320)은 정사각형 형상의 제2 필름을 사용하여 형성되고, 플레이트(1330)는 종방향이 제2 필름의 종방향과 직각으로 교차하는 정사각형 형상의 제4 필름을 사용하여 형성된다. 플레이트(1330)는 단차 부분(1332) 및 평탄 부분(1333)을 포함한다. 단차 부분(1332)은 그의 높이 차가 모서리(1320)에 응답하여 실질적으로 결정되도록 다이어프램(1320)의 모서리(1320a)와 맞춰지도록 형성되고, 단차 부분(1332)은 플레이트(1330)의 단측면 방향으로 일 단부로부터 타 단부로 모서리(1320a)를 따라 연장된다. 평탄 부분(1333)은 단차 부분(1332)의 양 측면 상에서 연속적으로 형성된다.
보호 전극(1300)이 제2 필름을 사용하여 형성되고, 다이어프램(1320)의 단측면 방향으로 양 측면 상에 위치된다. 보호 전극(1300)은 콘덴서 마이크(1003)의 기생 용량을 감소시키기 위해 기판(1010)과 제4 필름 사이에 형성된다.
플레이트(1330)는 복수의 구멍(1036)이 그들 사이에 동일한 거리(P31)를 두고 단차 부분(1332)을 따른 복수의 선 내에 정렬되어 있는 관통 구멍 패턴(1334)을 갖는다. (구멍(1036)들이 각각 정렬되어 있는) 인접한 선들 사이의 거리(P32)는 구멍(1036)이 단차 부분(1332)에 위치되지 않는 방식으로 결정된다. 즉, 구멍(1036)들은 단차 부분(1332)을 피함으로써 플레이트(1330)의 평탄 부분(1333) 내에 균일하게 형성되고 위치된다.
패드(1301)가 제2 필름을 사용하여 형성되고, 다이어프램(1320)에 연결된다. 패드(1302)가 제2 필름을 사용하여 형성되고, 보호 전극(1300)에 연결된다. 패드(1303)가 제4 필름을 사용하여 형성되고, 플레이트(1330)에 연결된다.
다음으로, 콘덴서 마이크(1003)의 검출 부분이 도19b를 참조하여 설명될 것이다. 보호 전극(1300)은 연산 증폭기(1100)의 출력 단자에 연결된다. 구체적으로, 연산 증폭기(1100)의 출력 단자에 연결된 리드(1110)가 보호 전극(1300)에 연결된다. 콘덴서 마이크(1003)의 검출 부분의 구성은 연산 증폭기(1100)의 증폭 계수가 "1"로 설정된 것을 제외하고는, 콘덴서 마이크(1001)의 검출 부분의 구성과 실질적으로 동일하다.
다음으로, 콘덴서 마이크(1003)의 작동이 설명될 것이다. 연산 증폭기(1100)의 증폭 계수가 "1"로 설정되므로, 보호 전극(1300) 및 플레이트(1330)는 실질적으로 동일한 전위로 설정되고, 이에 의해 기생 용량이 보호 전극(1300)과 플레이트(1330) 사이에서 실질적으로 형성되지 않는다. 다른 한편으로, 보호 전극(1300)과 기판(1010) 사이에 형성된 정전 용량이 연산 증폭기(1100)와 바이어스 전압 공급원 사이에 놓이므로, 이는 콘덴서 마이크(1003)의 감도에 실질적으로 영향을 주지 않는다. 즉, 콘덴서 마이크(1003)의 기생 용량을 감소시키는 것이 가능하다.
다음으로, 콘덴서 마이크(1003)의 제조 방법이 도20a 및 도20b를 참조하여 설명될 것이다.
먼저, 도20a 및 도20b에 도시된 바와 같이, 제1 필름(1051) 및 제2 필 름(1052)이 웨이퍼(1050) 상에 증착된다. 콘덴서 마이크(1001)의 제조 방법과 유사하게, 제1 필름(1051) 및 제2 필름(1052)은 플라즈마 CVD 또는 감압 CVD에 의해 형성된다. 그 다음, 제2 필름(1052)은 (다이어프램(1320)을 형성하는) 정사각형 형상의 제2 필름(1052), 보호 전극(1300), 및 패드(1301, 1302)를 형성하도록 에칭을 받는다 (도19a 및 도19b 참조).
다음으로, 도21a 및 도21b에 도시된 바와 같이, 제3 필름(1053)이 제1 필름(1051) 및 제2 필름(1052) 상에 증착된다. 콘덴서 마이크(1001)의 제조 방법과 유사하게, 제3 필름(1053)은 플라즈마 CVD에 의해 형성된다. 형상이 제2 필름(1052)의 모서리(1352a)의 형상과 실질적으로 정합되는 단차 부분(1353)이 제3 필름(1053) 내에 형성된다.
다음으로, 도22a 및 도22b에 도시된 바와 같이, 정사각형 형상의 공동(1311)이 다이어프램(1320)과 플레이트(1330) 사이의 3차원 교차 영역에 맞춰지도록 웨이퍼(1050) 내에 형성된다. 그 다음, 콘덴서 마이크(1001)의 제조 방법과 유사하게, 제1 필름(1051) 및 제3 필름(1053)은 다이어프램(1320)과 플레이트(1330) 사이의 3차원 교차 영역의 근접부를 노출시키기 위한 레지스트 패턴의 사용에 의해 선택적으로 제거된다. 그 후에, 상기 단계들이 수행되어 콘덴서 마이크(1003)를 완성한다.
(c) 제3 변경예
제2 실시예의 제3 변경예에 따른 콘덴서 마이크(1004)가 도23의 (a) 및 도23의 (b)를 참조하여 설명될 것이다. 콘덴서 마이크(1004)는 콘덴서 마이크(1001)의 다이어프램(1020) 및 플레이트(1030)와 다른, 다이어프램(1420) 및 플레이트(1430)로 구성된다. 제2 필름을 사용하여 형성되는 다이어프램(1420)은 제3 필름을 사용하여 형성되는 링형 스페이서(1400)를 거쳐 플레이트(1430)에 의해 지지된다. 다이어프램(1420)은 다른 필름으로부터 격리되고, 공동(1001) 위에 위치된다. 스페이서(1400)의 하단부는 다이어프램(1420)의 주연부에 고정되고, 스페이서(1400)의 상단부는 플레이트(1430)의 중간 부분에 고정된다.
플레이트(1430)는 제4 필름을 사용하여 형성되고, 단차 부분(1432) 및 평탄 부분(1433)으로 구성된다. 단차 부분(1432)의 높이 차는 다이어프램(1420)의 모서리(1420a)에 의존하고, 단차 부분(1432)은 다이어프램(1420)의 모서리(1420a)를 따라 신장된 원형 형상을 갖는다. 평탄 부분(1433)은 단차 부분(1432)의 양 측면 상에서 연속적으로 형성된다. 복수의 구멍(1036)이 단차 부분(1432) 및 스페이서(1400)에 고정된 플레이트(1430)의 소정 부분을 피함으로써 플레이트(1430)의 평탄 부분(1433) 내에 형성된다.
콘덴서 마이크(1004)는 콘덴서 마이크(1001)의 검출 부분과 실질적으로 동일한 검출 부분을 포함하고, 따라서 그의 설명은 생략될 것이다.
다음으로, 콘덴서 마이크(1004)의 제조 방법이 도24a 내지 도24c를 참조하여 설명될 것이다.
먼저, 도24a에 도시된 바와 같이, 제1 필름(1051) 및 제2 필름(1052)이 웨이퍼(1050) 상에 증착된다. 그 다음, 제2 필름(1052)은 다이어프램(1420)을 형성하는 제2 필름(1052)을 형성하도록 에칭을 받는다.
다음으로, 도24b에 도시된 바와 같이, 제3 필름(1053)이 제1 필름(1051) 및 제2 필름(1052) 상에 증착된다. 형상이 제2 필름(1052)의 모서리(1452a)의 형상과 실질적으로 정합되는 단차 부분(1453a)이 제3 필름(1053) 내에 형성된다.
다음으로, 도24c에 도시된 바와 같이, 제4 필름(1054)이 제3 필름(1053) 상에 증착된다. 결과적으로, 형상이 제3 필름(1053)의 단차 부분(1453a)의 형상과 실질적으로 정합되는 단차부(1432)가 제2 필름(1052)의 모서리(1452a) 위에서 제4 필름(1054) 내에 형성된다.
다음으로, 제4 필름(1054)은 제4 필름(1054)의 평탄 부분 내에 복수의 구멍(1036)을 형성하도록 에칭을 받고, 구멍(1036)은 제4 필름(1054)의 단차 부분(1432)에 위치되지 않는다.
그 후에, 콘덴서 마이크(1001)의 제조 방법과 유사하게, 공동(1011)이 웨이퍼(1050) 내에 형성되고 (도23의 (a) 및 도23(b) 참조), 그 다음 제1 필름(1051) 및 제3 필름(1053)이 선택적으로 제거된다. 구멍(1036)이 제4 필름(1054)의 중간 부분 내에 형성되지 않으므로, 제4 필름(1054)의 중간 부분 바로 아래에 위치된 제3 필름(1053)의 소정 부분(도24c의 빗금 참조)은 여전히 유지되어 스페이서(1400)를 형성한다.
제2 실시예와 제1 및 제2 변경예에서, 복수의 구멍이 플레이트 내에 형성되고, 동일한 간격을 두고 복부의 방향으로 균일하게 정렬된다. 당연히, 복수의 구멍을 불균일한 방식으로 형성하는 것이 가능하다. 예가 아래에서 설명될 것이다.
(d) 제4 변경예
제2 실시예의 제4 변경예에 따른 콘덴서 마이크(1005)가 도25를 참조하여 설명될 것이다. 콘덴서 마이크(1005)에서, 복수의 구멍(1036)이 격자식으로 정렬되지만, 구멍(1036)은 단차 부분(1532)에 위치되지 않고, 즉 구멍(1036)은 플레이트(1530) 내에서 기본적으로 격자식으로 정렬되어 형성되지만, 구멍(1036)은 단차 부분(1532)에 위치되지 않는다.
(e) 제5 변경예
제2 실시예의 제5 변경예에 따른 콘덴서 마이크(1006)가 도26을 참조하여 설명될 것이다. 콘덴서 마이크(1006)에서, 복수의 구멍(1036)은 여러 구멍(1036)이 단차 부분(1632) 내에서 그리고 그로부터 이격되어 정렬되지 않도록, 격자식으로 정렬되어 형성되고, 즉 구멍들은 여러 구멍(1036)이 단차 부분(1632)으로부터 이격되도록, 플레이트(1630) 내에서 기본적으로 격자식으로 정렬되어 형성된다.
당연히, 제4 및 제5 변경예에서 개시된 구멍(1036)의 전술한 배열을 적절하게 조합하는 것이 가능하다. 또한, 음파의 전달을 개선하고 에칭 용액의 침투를 개선하기 위해, 플레이트 내에서 전술한 정렬로 형성된 구멍(1036)에 추가하여 다른 구멍을 형성하는 것이 가능하다.
(f) 제6 변경예
제2 실시예 및 그의 변경예에서, 동일한 개방 면적을 각각 갖는 복수의 구멍이 플레이트 내에 형성된다. 그러나, 플레이트 내에 상이한 개방 면적을 갖는 복수의 구멍을 형성하는 것이 가능하다. 예를 들어, 도27에 도시된 제2 실시예의 제6 변경예에 따른 콘덴서 마이크(1007)에서, 2가지 유형의 구멍(1036a, 1036b)이 단 차 부분(1732)을 갖는 플레이트(1730) 내에 형성된다. 구멍(1036a)은 단차 부분(1732)에 근접하여 위치되고, 구멍(1036b)은 단차 부분(1732)으로부터 이격되며, 구멍(1036a)의 개방 면적은 구멍(1036b)의 개방 면적보다 더 작다. 이는 구멍의 배열에 관한 자유도를 개선하고, 따라서 쉽게 단차 부분(1732)을 피함으로써 플레이트(1730) 내에 구멍을 적절하게 배열하는 것이 가능하다.
제2 실시예 및 그의 변경예에서, 복수의 구멍이 단차 부분을 피함으로써 플레이트의 평탄 부분 내에 형성되고, 따라서 구멍이 단차 부분 내에 형성된 플레이트의 다른 설계에 비해, 플레이트의 강성을 개선하는 것이 가능하다. 이는 플레이트가 제조 공정 중에 플레이트에 인가되는 외부력으로 인해 그리고 급전되는 플레이트와 다이어프램 사이의 정전기 인력의 발생으로 인해, 파괴되는 것을 방지한다.
제2 실시예와, 제1 및 제2 변경예에서, 플레이트의 복수의 구멍은 음파의 전달 통로 및 에칭 용액의 침투 통로로서 작용한다. 따라서, 콘덴서 마이크의 출력 특징을 개선하는 것이 가능하고, 제조 공정을 단순화하고 제조 시의 수율을 증가시키는 것이 가능하다.
제2 실시예는 복수의 구멍이 플레이트 내에 형성되며 단차 부분을 피하도록 위치되는 한, 특히 플레이트의 설계의 측면에서 더욱 변형될 수 있다.
마지막으로, 본 발명은 반드시 제1 및 제2 실시예로 제한되지는 않고, 따라서 첨부된 청구범위에 의해 한정되는 본 발명의 범주 내의 임의의 유형의 실리콘 마이크 및 콘덴서 마이크에 의해 실현될 수 있다.
도1a는 본 발명의 제1 실시예에 따른 실리콘 마이크의 구성을 도시하는 평면도.
도1b는 도1a의 선 B-B를 따라 취한 단면도.
도1c는 도1a의 선 C-C를 따라 취한 단면도.
도2a는 실리콘 마이크의 제조 방법의 제1 단계를 설명하기 위한 단면도.
도2b는 실리콘 마이크의 제조 방법의 제2 단계를 설명하기 위한 단면도.
도2c는 실리콘 마이크의 제조 방법의 제3 단계를 설명하기 위한 단면도.
도2d는 실리콘 마이크의 제조 방법의 제4 단계를 설명하기 위한 단면도.
도2e는 실리콘 마이크의 제조 방법의 제5 단계를 설명하기 위한 단면도.
도3a는 실리콘 마이크의 제조 방법의 제6 단계를 설명하기 위한 단면도.
도3b는 실리콘 마이크의 제조 방법의 제7 단계를 설명하기 위한 단면도.
도3c는 실리콘 마이크의 제조 방법의 제8 단계를 설명하기 위한 단면도.
도3d는 실리콘 마이크의 제조 방법의 제9 단계를 설명하기 위한 단면도.
도4는 도3c와 관련된 확대 단면도.
도5는 제1 실시예의 제1 변경예를 설명하기 위한 단면도.
도6은 제1 실시예의 제2 변경예를 설명하기 위한 단면도.
도7은 제1 실시예의 제3 변경예를 설명하기 위한 평면도.
도8은 제1 실시예의 제4 변경예를 설명하기 위한 평면도.
도9는 제1 실시예의 제5 변경예를 설명하기 위한 평면도.
도10은 제1 실시예의 제6 변경예를 설명하기 위한 평면도.
도11은 제1 실시예의 제7 변경예를 설명하기 위한 단면도.
도12는 제1 실시예의 제8 변경예를 설명하기 위한 단면도.
도13은 제1 실시예의 제9 변경예를 설명하기 위한 단면도.
도14의 (a)는 본 발명의 제2 실시예에 따른 콘덴서 마이크의 구성을 도시하는 평면도.
도14의 (b)는 도14의 (a)의 선 B1-B1을 따라 취한 단면도.
도15a는 콘덴서 마이크의 제조 방법의 제1 단계를 설명하기 위한 단면도.
도15b는 콘덴서 마이크의 제조 방법의 제2 단계를 설명하기 위한 단면도.
도15c는 콘덴서 마이크의 제조 방법의 제3 단계를 설명하기 위한 단면도.
도16a는 콘덴서 마이크의 제조 방법의 제4 단계를 설명하기 위한 단면도.
도16b는 콘덴서 마이크의 제조 방법의 제5 단계를 설명하기 위한 단면도.
도16c는 콘덴서 마이크의 제조 방법의 제6 단계를 설명하기 위한 단면도.
도17의 (a)는 제2 실시예의 제1 변경예에 따른 콘덴서 마이크의 구성을 도시하는 평면도.
도17의 (b)는 도17의 (a)의 선 B4-B4를 따라 취한 단면도.
도18a는 콘덴서 마이크의 제조 방법의 제1 단계를 설명하기 위한 단면도.
도18b는 콘덴서 마이크의 제조 방법의 제2 단계를 설명하기 위한 단면도.
도18c는 콘덴서 마이크의 제조 방법의 제3 단계를 설명하기 위한 단면도.
도19a는 제2 실시예의 제2 변경예에 따른 콘덴서 마이크의 구성을 도시하는 평면도.
도19b는 도19a의 선 B6-B6를 따라 취한 단면도.
도20a는 콘덴서 마이크의 제조 방법의 제1 단계를 설명하기 위한 평면도.
도20b는 도20a의 단면도.
도21a는 콘덴서 마이크의 제조 방법의 제2 단계를 설명하기 위한 평면도.
도21b는 도21a의 단면도.
도22a는 콘덴서 마이크의 제조 방법의 제3 단계를 설명하기 위한 평면도.
도22b는 도22a의 단면도.
도23의 (a)는 제2 실시예의 제3 변경예에 따른 콘덴서 마이크의 구성을 도시하는 평면도.
도23의 (b)는 도23의 (a)의 선 B10-B10을 따라 취한 단면도.
도24a는 콘덴서 마이크의 제조 방법의 제1 단계를 설명하기 위한 단면도.
도24b는 콘덴서 마이크의 제조 방법의 제2 단계를 설명하기 위한 단면도.
도24c는 콘덴서 마이크의 제조 방법의 제3 단계를 설명하기 위한 단면도.
도25는 제2 실시예의 제4 변경예에 따른 콘덴서 마이크를 도시하는 평면도.
도26은 제2 실시예의 제5 변경예에 따른 콘덴서 마이크를 도시하는 평면도.
도27은 제2 실시예의 제6 변경예에 따른 콘덴서 마이크를 도시하는 평면도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10 : 실리콘 마이크
11 : 기판
21 : 다이어프램
23 : 주름
33 : 플레이트
34 : 구멍
43 : 스페이서

Claims (19)

  1. 실리콘 마이크이며,
    중심 부분이 다이어프램을 형성하는 전도성 층과,
    상기 전도성 층을 지지하기 위해 전도성 층의 원주 방향으로 배열된 복수의 지지부와,
    상기 전도성 층 내에 형성되고, 복수의 지지부들 사이에 그어진 가상선을 가로질러 놓이는 주름을 포함하는 실리콘 마이크.
  2. 실리콘 마이크이며,
    중심 부분이 다이어프램을 형성하는 전도성 층과,
    상기 전도성 층을 지지하기 위해 전도성 층의 원주 방향으로 배열된 복수의 지지부와,
    상기 복수의 지지부들을 연결하는 가상선 상에서 전도성 층 내에 형성된 주름을 포함하는 실리콘 마이크.
  3. 실리콘 마이크이며,
    중심 부분이 다이어프램을 형성하는 전도성 층과,
    상기 전도성 층을 지지하기 위해 전도성 층의 원주 방향으로 배열된 복수의 지지부와,
    상기 복수의 지지부들을 연결하는 가상선 상에서 전도성 층 내에 형성되고, 복수의 지지부의 외부에 배열된 주름을 포함하는 실리콘 마이크.
  4. 제1항에 있어서, 상기 주름은 전도성 층의 두께를 부분적으로 감소시킴으로써 형성되는 실리콘 마이크.
  5. 제2항에 있어서, 상기 주름은 전도성 층의 두께를 부분적으로 감소시킴으로써 형성되는 실리콘 마이크.
  6. 제3항에 있어서, 상기 주름은 전도성 층의 두께를 부분적으로 감소시킴으로써 형성되는 실리콘 마이크.
  7. 제1항에 있어서, 상기 주름 대신에, 상기 전도성 층의 두께를 부분적으로 증가시킴으로써 전도성 층 내에 두꺼운 부분이 형성되는 실리콘 마이크.
  8. 제2항에 있어서, 상기 주름 대신에, 상기 전도성 층의 두께를 부분적으로 증가시킴으로써 전도성 층 내에 두꺼운 부분이 형성되는 실리콘 마이크.
  9. 제3항에 있어서, 상기 주름 대신에, 상기 전도성 층의 두께를 부분적으로 증가시킴으로써 전도성 층 내에 두꺼운 부분이 형성되는 실리콘 마이크.
  10. 콘덴서 마이크이며,
    지지부와,
    복수의 구멍 및 고정 전극을 가지며, 지지부에 의해 지지되는 플레이트와,
    상기 고정 전극에 대향하여 위치된 이동 전극을 가지며, 인가되는 음파로 인해 진동하는 다이어프램을 포함하고,
    상기 플레이트는 두께가 서로 다른 평탄 부분 및 단차 부분을 갖고, 상기 평탄 부분은 단차 부분의 양 측면 상에서 연속적으로 형성되고, 상기 복수의 구멍이 플레이트의 평탄 부분을 통해 두께 방향으로 이어지는 콘덴서 마이크.
  11. 제10항에 있어서, 상기 복수의 구멍은 플레이트의 평탄 부분 내에서 균일하게 형성되고 배열되는 콘덴서 마이크.
  12. 제10항에 있어서, 상기 복수의 구멍은 단차 부분을 피함으로써 복수의 선 또는 복수의 원을 따라 정렬되는 콘덴서 마이크.
  13. 제10항에 있어서, 상기 다이어프램은 플레이트의 단차 부분과 일치하여 두께 방향으로 구부러진 굽힘 부분을 가지며, 상기 굽힘 부분은 단차 부분을 따라 신장되는 콘덴서 마이크.
  14. 제10항에 있어서, 상기 다이어프램은 슬릿을 가지며, 상기 플레이트의 단차 부분은 슬릿의 모서리와 일치하여 형성되고 슬릿의 모서리를 따라 신장되는 콘덴서 마이크.
  15. 제10항에 있어서, 상기 플레이트의 단차 부분은 다이어프램의 모서리와 일치하여 형성되고, 다이어프램의 모서리를 따라 신장되는 콘덴서 마이크.
  16. 제10항에 있어서, 상기 단차 부분에 근접하여 형성된 각각의 구멍의 개방 면적은 단차 부분으로부터 이격된 각각의 구멍의 개방 면적보다 더 작은 콘덴서 마이크.
  17. 지지부와, 상기 지지부에 의해 지지되며 고정 전극 및 복수의 구멍을 갖는 플레이트와, 상기 고정 전극에 대향하여 위치된 이동 전극을 가지며 인가되는 음파로 인해 진동하는 다이어프램을 포함하는 콘덴서 마이크의 제조 방법이며,
    증착에 의해, 두께 방향으로 구부러진 굽힘 부분을 갖는 다이어프램을 형성하는 단계와,
    증착에 의해 상기 다이어프램 상에 굽힘 부분을 덮는 희생층을 형성하는 단계와,
    증착에 의해 상기 희생층 상에 평탄 부분 및 단차 부분을 갖는 플레이트를 형성하는 단계와,
    상기 플레이트의 평탄 부분을 통해 두께 방향으로 이어지는 복수의 구멍을 형성하도록 플레이트를 에칭하는 단계와,
    상기 다이어프램과 상기 플레이트 사이에 공기 갭을 형성하도록 희생층을 에칭하는 단계를 포함하고,
    상기 평탄 부분은 단차 부분의 양 측면 상에서 연속적으로 형성되고, 상기 단차 부분은 다이어프램의 굽힘 부분과 일치하여 형성되는 제조 방법.
  18. 지지부와, 상기 지지부에 의해 지지되며 고정 전극 및 복수의 구멍을 갖는 플레이트와, 상기 고정 전극에 대향하여 위치된 이동 전극을 가지며 인가되는 음파로 인해 진동하는 다이어프램을 포함하는 콘덴서 마이크의 제조 방법이며,
    증착에 의해 상기 다이어프램을 형성하는 단계와,
    상기 다이어프램을 통해 두께 방향으로 이어지는 슬릿을 형성하도록 다이어프램을 에칭하는 단계와,
    상기 다이어프램 상에 슬릿을 덮는 희생층을 형성하는 단계와,
    증착에 의해 상기 희생층 상에 평탄 부분 및 단차 부분을 갖는 플레이트를 형성하는 단계와,
    상기 플레이트의 평탄 부분을 통해 두께 방향으로 이어지는 복수의 구멍을 형성하도록 플레이트를 에칭하는 단계와,
    상기 다이어프램과 상기 플레이트 사이에 공기 갭을 형성하도록 희생층을 에칭하는 단계를 포함하고,
    상기 평탄 부분은 단차 부분의 양 측면 상에서 연속적으로 형성되고, 상기 단차 부분은 다이어프램의 슬릿의 모서리와 일치하여 형성되는 제조 방법.
  19. 지지부와, 상기 지지부에 의해 지지되며 고정 전극 및 복수의 구멍을 갖는 플레이트와, 상기 고정 전극에 대향하여 위치된 이동 전극을 가지며 인가되는 음파로 인해 진동하는 다이어프램을 포함하는 콘덴서 마이크의 제조 방법이며,
    증착에 의해 상기 다이어프램을 형성하는 단계와,
    증착에 의해 상기 다이어프램의 모서리를 덮는 희생층을 형성하는 단계와,
    증착에 의해 상기 희생층 상에 평탄 부분 및 단차 부분을 갖는 플레이트를 형성하는 단계와,
    상기 플레이트의 평탄 부분을 통해 두께 방향으로 이어지는 복수의 구멍을 형성하도록 플레이트를 에칭하는 단계와,
    상기 다이어프램과 상기 플레이트 사이에 공기 갭을 형성하도록 희생층을 에칭하는 단계를 포함하고,
    상기 평탄 부분은 단차 부분의 양 측면 상에서 연속적으로 형성되고, 상기 단차 부분은 다이어프램의 모서리와 일치하여 형성되는 제조 방법.
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