KR20080002506A - Package emission analysis device - Google Patents
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Abstract
Description
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 패키지 에미션 분석 장치의 평면 구성도,1 is a plan view of a package emission analysis apparatus according to an embodiment of the present invention;
도 2는 도 1의 패키지 에미션 분석 장치의 측단면도 및2 is a side cross-sectional view of the package emission analysis device of FIG.
도 3은 도 1의 패키지 에미션 분석 장치가 포토 에메션 마이크로 스코프 내에 장착된 경우 측단면도이다. FIG. 3 is a side cross-sectional view when the package emission analysis device of FIG. 1 is mounted in a photo emission microscope. FIG.
본 발명은 패키지 테스트 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 패키지 에미션 분석 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a package test apparatus, and more particularly, to a package emission analysis apparatus.
일반적으로 반도체 메모리 장치에 대한 테스트는 제조 공정상 발생하는 불량품을 제거하는 제품 테스트와 제조된 제품의 기능이나 성능이 설계 스펙에 일치하는지를 확인하는 프루브(Prove) 테스트를 포함한다. 이러한 테스트를 통해 제조 공정상 결함이나 설계 스펙과 기능의 불일치가 발견되면 그 원인을 조사하기 위한 분석이 필요하다.In general, testing of semiconductor memory devices includes product testing to eliminate defective products that occur during the manufacturing process, and probe tests to verify that the function or performance of the manufactured product conforms to the design specifications. If these tests reveal defects in the manufacturing process or discrepancies in design specifications and functionality, analysis is needed to investigate the cause.
그런데 이러한 불량 분석 방법 중 종래 에미션(Emission)을 이용한 분석 방법에 있어서는 아래와 같은 문제점이 있다.However, there is a problem in the conventional analysis method using the emission (Emission) of these failure analysis methods.
첫째, 포토 에미션 마이크로 스코프(Photo Emission Microscope)장비를 이용하여 메모리 장치의 불량을 분석하는 경우 전원전압, 접지전압 등 메모리 장치에서 사용하는 일부 전원만을 메모리 장치에 인가하여 분석을 수행하기 때문에 완전한 메모리 장치의 동작에 대한 불량 분석에 어려움이 있다.First, when analyzing the failure of a memory device by using the Photo Emission Microscope device, since only a part of power used in the memory device such as a power voltage and a ground voltage is applied to the memory device, the analysis is performed. There is a difficulty in failure analysis of the operation of the device.
둘째, 메모리 장치의 뒷면(Backside)이 아래로 위치된 상태이므로 분석을 수행하기 위해 메모리 장치를 뒤집어야 하는 문제점이 있다.Second, since the backside of the memory device is positioned downward, there is a problem in that the memory device needs to be flipped to perform the analysis.
본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것으로, 메모리 장치의 백사이드가 에미션 측정장비를 항해 탑재된 상태에서 에미션 분석을 할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to enable emission analysis in a state in which a backside of a memory device is mounted on a navigation instrument.
또한 본 발명은 실제 동작과 동일한 동작을 수행할 수 있도록 메모리 장치에 신호를 인가하여 에미션 분석을 할 수 있도록 하는 것을 다른 목적으로 한다.In addition, another object of the present invention is to enable the emission analysis by applying a signal to the memory device to perform the same operation as the actual operation.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 테스트 신호를 전송 케이블을 통하여 입력받는 케이블 커넥터, 테스트 대상인 패키지의 배면이 상부를 향하도록 실장되는 적어도 하나의 소켓 및 상기 케이블 커넥터와 소켓이 장착되며 상기 케이블 커넥터와 상기 소켓을 전기적으로 연결하는 도선이 배선된 인쇄회로기판을 포함한다.In order to achieve the above object, the present invention is a cable connector for receiving a test signal through a transmission cable, at least one socket is mounted so that the back side of the package under test to the upper side and the cable connector and the socket is mounted and the cable connector And a printed circuit board having wires electrically connected to the sockets.
여기서 상기 패키지는, TOSP 타입의 반도체 메모리 장치를 포함한다.The package includes a semiconductor memory device of the TOSP type.
또한 본 발명은 반도체 메모리 장치의 동작에 필요한 상기 테스트 신호를 상기 전송 케이블에 인가하는 테스트기(MOSAID)와 상기 패키지의 배면 상부에 위치되어 상기 패키지의 에미션을 분석하는 포토 에미션 마이크로 스코프를 더 포함한다.The present invention further includes a tester (MOSAID) for applying the test signal required for the operation of the semiconductor memory device to the transmission cable, and a photo emission microscope positioned on the rear surface of the package to analyze the emission of the package. do.
또한 상기 소켓은, 상기 패키지의 리드프레임과 접촉되는 접촉단이 상단부에 위치되어 형성되는 것이 바람직하다.In addition, the socket is preferably formed with a contact end in contact with the lead frame of the package is located at the upper end.
또한 상기 접촉단은, 상기 패키지의 리드프레임에 할당(assign)되는 신호에 대응하는 배열로 형성되는 것이 바람직하다.In addition, the contact end is preferably formed in an arrangement corresponding to a signal assigned to the lead frame of the package.
이하 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 보다 구체적으로 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 패키지 에미션 분석 장치의 평면 구성도이고, 도 2는 도 1의 패키지 에미션 분석 장치의 측단면도이다. 도 1과 도 2를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 패키지 에메션 분석 장치(100)는, 케이블 커넥터(110)), 소켓(120) 및 인쇄회로기판(130)을 포함한다. 본 실시예에서 패키지(140)는 TOSP(Thin Small Out Line Package) 타입의 반도체 메모리 장치인 경우를 예시하여 설명하지만 이에 한정되는 것은 아니다.1 is a plan view illustrating a package emission analysis apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a side cross-sectional view of the package emission analysis apparatus of FIG. 1. 1 and 2, the package
상기 케이블 커넥터(110)는 인쇄회로기판(130)에 장착되며, 케이블(도시되지 않음)을 수단으로 테스트기(도시되지 않음)와 소켓(120)에 실장된 패키지(140)를 전기적으로 연결한다. 여기서 케이블은 동축 케이블(Coaxial Cable)인 것이 바람직하다.The
상기 소켓(120)은 인쇄회로기판(130)에 장착되며 테스트 대상인 패키지(140)가 실장된다. 소켓(120)은 패키지(140)의 배면(144)이 상부를 향하여 실장될 수 있는 형상을 가진다. 즉, 소켓(120)은 패키지(140)의 리드프레임(142)과 접촉되는 접촉단(122)이 소켓(120)의 상단부에 위치되어 형성된다. 소켓(120)의 접촉단(122)은 패키지(140)의 리드프레임(142)에 할당(assign)되는 신호에 대응하는 배열로 형성되는 것이 바람직하다.The
소켓(120)은 하나 이상 장착될 수 있는데, 각 소켓은 X4 모드, X8 모드, X16 모드 등 다양한 모드로 동작하는 반도체 메모리 장치에 대응할 수 있다. 여기서 X4 모드, X8 모드 또는 X16 모드란 4 비트, 8비트 또는 16비트 단위로 데이터가 입출력되는 반도체 메모리 장치의 동작 모드를 말한다.One or
상기 인쇄회로기판(130)은 케이블 커넥터(110)와 소켓(120)이 장착되며 케이블 커넥터(110)와 소켓(120)을 전기적으로 연결하는 도선(132)이 배선된다. The printed
본 발명의 일실시예에 따른 패키지 에미션 분석 장치는 테스트기(도시되지 않음) 및 포토 에미션 마이크로 스코프(도시되지 않음)를 더 포함할 수 있다.The package emission analysis apparatus according to an embodiment of the present invention may further include a tester (not shown) and a photo emission microscope (not shown).
상기 테스트기는 반도체 메모리 장치의 동작에 필요한 전기적 테스트 신호를 생성하여 전송 케이블에 인가한다. The tester generates an electrical test signal necessary for the operation of the semiconductor memory device and applies it to the transmission cable.
상기 포토 에미션 마이크로 스코프는 패키지의 배면 상부에 위치되어 정상동 작시의 패키지의 에미션을 분석한다. 포토 에미션 마이크로 스코프는 검출 렌즈를 포함한다.The photo emission microscope is located on the back of the package to analyze the package's emission during normal operation. The photo emission microscope includes a detection lens.
한편 본 발명의 다른 실시예에 따른 패키지 에미션 분석 장치는 상기 소켓과 케이블 커넥터가 형성된 인쇄회로기판이 테스트기와 일체로 구성되어 제작되거나, 포토 에미션 마이크로 스코프 내에 장착되어 제작될 수도 있다.Meanwhile, the package emission analysis apparatus according to another exemplary embodiment of the present invention may be manufactured by fabricating a printed circuit board having the socket and the cable connector formed integrally with a tester, or mounted in a photo emission microscope.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따라 소켓과 케이블 커넥터가 형성된 인쇄회로기판이 포토 에메션 마이크로 스코프 내에 장착된 경우 측단면도이다. 도 3을 참조하면, 소켓(120)에 실장된 패키지(140)의 배면에 에미션 분석을 위한 검출 렌즈(160)가 위치되어 있고, 케이블 커넥터(110)와 테스트기(150)가 케이블(112)을 통하여 연결된다. 따라서 이 경우에는 패키지 에미션 분석 과정에서 별도로 패키지(140) 배면(144)에 검출 렌즈(160)를 위치시키는 과정이 생략될 수 있다. 3 is a side cross-sectional view when a printed circuit board having a socket and a cable connector formed therein according to another embodiment of the present invention is mounted in a photo-emitter microscope. Referring to FIG. 3, the
이하 본 발명의 일실시예에 따른 패키지 에미션 분석 장치를 사용하여 에미션 분석을 수행하는 과정을 설명한다.Hereinafter, a process of performing emission analysis using a package emission analysis apparatus according to an embodiment of the present invention will be described.
먼저 동축 케이블(112)을 이용하여 케이블 커넥터(110)와 테스트기(150)를 전기적으로 연결한다. 그리고 테스트 대상 패키지(140)의 리드프레임(142) 각각이 소켓(120)의 해당 접촉단(122)에 접촉될 수 있도록 패키지(140)를 소켓(120)에 실장한다. 이때 종래와 다르게 패키지(140)의 배면(144)이 상부를 향하도록 한다.First, the
그리고 패키지(140)의 배면(144) 상부에 패키지(140)의 에미션을 분석할 수 있는 포토 에미션 마이크로 스코프(도시되지 않음)의 검출 렌즈(160)를 위치시킨 다음, 테스트기(150)를 이용하여 반도체 메모리 장치가 정상적으로 동작할 수 있는 전기적 신호를 발생시켜 테스트 대상 패키지(14)에 인가한다. Then, the
이로써 실제 반도체의 동작과 동일한 상태에서 에미션 측정을 함으로써, 불량을 찾아 낼수 있게 된다.This makes it possible to find defects by performing emission measurements in the same state as the actual operation of the semiconductor.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 패키지 에미션 분석 장치는 패키지의 백사이드가 에미션 측정장비를 항해 탑재된 상태에서 에미션 분석을 할 수 있도록 하기 때문에, 에미션 분석을 위해 패키지를 뒤집어야하는 불편함이 제거되는 효과가 있다.As described above, since the package emission analysis apparatus of the present invention enables the emission analysis while the backside of the package is mounted on the navigation measuring equipment, it is inconvenient to invert the package for the emission analysis. There is an effect that the box is removed.
또한 본 발명은 실제 동작과 동일한 동작을 수행할 수 있도록 메모리 장치에 신호를 인가하여 에미션 분석을 할 수 있도록 하기 때문에, 불량 분석의 신뢰성을 확보할 수 있는 다른 효과가 있다.In addition, since the present invention enables the emission analysis by applying a signal to the memory device to perform the same operation as the actual operation, there is another effect of ensuring the reliability of failure analysis.
아울러 본 발명의 바람직한 실시예들은 예시의 목적을 위해 개시된 것이며, 당업자라면 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가등이 가능할 것이며, 이러한 수정 변경등은 이하의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.In addition, preferred embodiments of the present invention are disclosed for the purpose of illustration, those skilled in the art will be able to various modifications, changes, additions, etc. within the spirit and scope of the present invention, these modifications and changes should be seen as belonging to the following claims. something to do.
Claims (7)
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020060061374A KR20080002506A (en) | 2006-06-30 | 2006-06-30 | Package emission analysis device |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020060061374A KR20080002506A (en) | 2006-06-30 | 2006-06-30 | Package emission analysis device |
Publications (1)
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Family
ID=39214286
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KR1020060061374A KR20080002506A (en) | 2006-06-30 | 2006-06-30 | Package emission analysis device |
Country Status (1)
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- 2006-06-30 KR KR1020060061374A patent/KR20080002506A/en not_active Application Discontinuation
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