KR20080000281A - 경화 방지용 노즐 시스템 장치 - Google Patents

경화 방지용 노즐 시스템 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 경화 방지용 노즐 시스템 장치에 관한 것으로, 종래의 솔벤트 배스(Solvent Bath)를 이용한 감광액 노즐 세정 공정의 효율성이 감소하는 문제를 해결하기 위하여, 감광액 경화 방지용 노즐 내부에 감광액 노즐이 포함되는 2중 구조의 노즐 시스템 장치를 구비함으로써, 감광액 노즐 분사 공정 및 세정 공정을 효율적으로 연결하여 수행할 수 있고 세정 및 경화 방지 능력도 향상시킬 수 있도록 하는 발명에 관한 것이다.

Description

경화 방지용 노즐 시스템 장치{NOZZLE SYSTEM APPARATUS FOR HARDENING}
도 1은 종래 기술에 따른 노즐 시스템 장치를 도시한 단면도.
도 2는 본 발명에 따른 경화 방지용 노즐 시스템 장치를 도시한 단면도.
본 발명은 경화 방지용 노즐 시스템 장치에 관한 것으로, 종래의 솔벤트 배스(Solvent Bath)를 이용한 감광액 노즐 세정 공정의 효율성이 감소하는 문제를 해결하기 위하여, 감광액 경화 방지용 노즐 내부에 감광액 노즐이 포함되는 2중 구조의 노즐 시스템 장치를 구비함으로써, 감광액 노즐 분사 공정 및 세정 공정을 효율적으로 연결하여 수행할 수 있고 세정 및 경화 방지 능력도 향상시킬 수 있도록 하는 발명에 관한 것이다.
도 1은 종래 기술에 따른 노즐 시스템 장치를 도시한 단면도이다.
도 1을 참조하면, 웨이퍼 트랙 코팅 장치(Track Coating Unit)에 포함되는 감광액 노즐(30)로 감광액 노즐(30)을 지지하는 몸통부(40)에 의해서 고정된다. 여기서, 감광액 분사 공정을 수행한 감광액 노즐(30)의 에지부에는 감광액이 잔류하여 시간이 경과함에 따라서 감광액이 경화되는 현상이 발생한다. 감광액이 경화될 경우 노즐이 막히거나 경화된 물질이 같이 분사되어 코팅 불량을 유발하는 문제가 된다. 따라서 감광액 경화를 방지하기 위하여 솔벤트 배스를 이용하는 방법이 제시되었다. 솔벤트 배스 내에 경화방지용 액체를 채워 넣고 일정 시간마다 감광액 노즐(30)을 솔벤트 배스로 이동시켜 감광액 노즐(30)을 세정하는 공정을 수행한다. 이때, 경화방지용 액체를 기화시켜서 감광액 노즐(30)이 세정되도록 하는데 그 효과가 미비하여 경화 방지 공정이 정상적으로 수행되지 못하는 문제가 있다.
상술한 바와 같이, 감광액 노즐을 세정하고 감광액이 경화되는 것을 방지하기 위하여 솔벤트 배스를 사용할 경우 일정 시간 마다 감광액 노즐을 이동시켜야하므로 공정 시간이 지연되는 문제가 있고, 경화방지 액체를 기화시켜 사용하므로 그 효용성이 미비하여 공정의 신뢰성 및 수율이 저하되는 문제가 있다.
본 발명은 상기한 종래 기술상의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 감광액 경화 방지용 노즐 내부에 감광액 노즐이 포함되는 2중 구조의 노즐 시스템 장치를 구비함으로써, 감광액 노즐 분사 공정 및 세정 공정을 효율적으로 연결하여 수행할 수 있고 세정 및 경화 방지 능력도 향상시킬 수 있도록 하는 경화 방지용 노즐 시스템 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 경화 방지용 노즐 시스템 장치는
감광액의 경화 방지용 액체가 분사되는 경화 방지용 노즐 및
상기 경화 방지용 노즐 내부에 포함되며 상기 경화 방지용 노즐의 중심부에서 감광액이 분사되도록 하는 감광액 노즐을 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 경화 방지용 노즐의 직경은 1.7 ~ 2.5mm 이고, 상기 감광액 노즐의 직경은 0.7 ~ 1.5mm 이고, 경화 방지용 노즐 보다 상기 감광액 노즐이 더 돌출되어 구비되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 경화 방지용 액체는 신너를 사용하되, 상기 신너의 1회 분사액은 2 ~ 4cc 이고, 상기 경화 방지용 노즐의 하부에 석백(Suckback) 기능을 수행하는 석백 밸브부를 더 포함하되, 상기 석백 밸브부는 벤츄리 효과를 이용하여 석백 기능을 수행하는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 경화 방지용 노즐 시스템 장치에 관하여 상세히 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명에 따른 경화 방지용 노즐 시스템 장치를 도시한 단면도이다.
도 2를 참조하면, 노즐 시스템 장치(100)의 중심 부분에 감광액 노즐(130)이 구비된다. 다음으로, 감광액 노즐(130)의 상부에는 지지하는 몸통부(140)가 구비되며, 몸통부(140)의 외곽에는 경화 방지용 액체를 분사시키는 경화 방지용 노즐(120)이 구비된다. 이때, 경화 방지용 노즐(120)의 중심부에 감광액 노즐(120) 관통하는 구조로 구비되는 것이 바람직하며, 감광액 노즐(130)의 직경(A)이 0.7 ~ 1.5mm 일 경우, 감광액 노즐(130)에서부터 경화 방지용 노즐(120)까지의 거리(B)는 0.7 ~ 1.0mm가 되도록 한다. 즉, 경화 방지용 노즐(120)의 직경은 1.7 ~ 2.5mm 이 되도록 하는 것이 바람직하다. 또한, 경화 방지용 노즐(120) 보다 감광액 노 즐(130)이 더 돌출되어 구비되도록 한다. 여기서, 감광액이 분사되면 후속의 공정에서 경화 방지용 액체가 분사되면서 감광액 노즐(130)을 세정하는 역할을 하게 된다. 이때, 경화 방지용 액체는 신너(Thinner)를 사용하는 것이 바람직하며, 신너의 1회 분사액은 2 ~ 4cc 로 조절 하는 것이 바람직하다.
아울러, 이와 같이 감광액 분사 및 감광액 노즐의 세정 공정을 동시에 수행할 경우 신너에 의해서 감광액 코팅 공정이 정상적으로 수행되지 못할 수 있으므로 경화 방지용 노즐(120)의 하부에 신너를 석백(Suckback) 기능을 수행하는 석백 밸브부(미도시)를 더 구비시킨다. 이때, 석백 밸브부는 벤츄리 효과를 이용하여 석백 기능을 수행하는 장치를 이용하는 것이 바람직하다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 노즐 시스템 장치는 트랙 코팅 장치(Track Coating Unit)에 장착되는데 특히 반도체 소자의 제조 공정에서 감광막을 코팅하는데 용이하게 이용될 수 있다. 반도체 소자의 제조 공정에서 웨이퍼에 감광막을 코팅하는 방법은 스핀 코팅 방법을 이용하는데, 회전하는 웨이퍼가 트랙을 따라 이동하는 동안 본원의 노즐 시스템 장치가 웨이퍼 상부에 감광액을 분사시켜 코팅 공정을 수행한다. 이때, 감광액 코팅 공정을 수행한 다음 바로 경화 방지용 노즐에서 경화 방지용 액체가 분사되면서 감광액 노즐을 세정하고 감광액 노즐 내에 잔류하는 감광액이 경화되지 않도록 한다. 따라서 솔벤트 배스(Solvent Bath)를 이용하는 경우보다 효율적이고 단시간 내에 감광막 코팅 공정을 수행할 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명은 감광액 경화 방지용 노즐 내부에 감 광액 노즐이 포함되는 2중 구조의 노즐 시스템 장치를 구비함으로써, 감광액 노즐 분사 공정 및 세정 공정을 효율적으로 연결하여 수행할 수 있고 세정 및 경화 방지 능력도 향상시킬 수 있다. 따라서 본 발명에 따른 경화 방지 노즐 시스템 장치는 공정의 원가 절감, 신뢰성 및 수율을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.
아울러 본 발명의 바람직한 실시예는 예시의 목적을 위한 것으로, 당업자라면 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상과 범위를 통해 다양한 수정, 변경, 대체 및 부가가 가능할 것이며, 이러한 수정 변경 등은 이하의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.

Claims (8)

  1. 감광액의 경화 방지용 액체가 분사되는 경화 방지용 노즐; 및
    상기 경화 방지용 노즐 내부에 포함되며 상기 경화 방지용 노즐의 중심부에서 감광액이 분사되도록 하는 감광액 노즐을 포함하는 것을 특징으로 하는 경화 방지용 노즐 시스템 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 경화 방지용 노즐의 직경은 1.7 ~ 2.5mm 인 것을 특징으로 하는 경화 방지용 노즐 시스템 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 감광액 노즐의 직경은 0.7 ~ 1.5mm 인 것을 특징으로 하는 경화 방지용 노즐 시스템 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 경화 방지용 노즐 보다 상기 감광액 노즐이 더 돌출되어 구비되는 것을 특징으로 하는 경화 방지용 노즐 시스템 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 경화 방지용 액체는 신너를 사용하는 것을 특징으로 하는 경화 방지용 노즐 시스템 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 신너의 1회 분사액은 2 ~ 4cc 인 것을 특징으로 하는 경화 방지용 노즐 시스템 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 경화 방지용 노즐의 하부에 석백(Suckback) 기능을 수행하는 석백 밸브부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 경화 방지용 노즐 시스템 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 석백 밸브부는 벤츄리 효과를 이용하여 석백 기능을 수행하는 것을 특징으로 하는 경화 방지용 노즐 시스템 장치.
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