KR20070120807A - 가스 공급 장치를 위한 제어 시스템 및 그의 방법 - Google Patents

가스 공급 장치를 위한 제어 시스템 및 그의 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20070120807A
KR20070120807A KR1020060055561A KR20060055561A KR20070120807A KR 20070120807 A KR20070120807 A KR 20070120807A KR 1020060055561 A KR1020060055561 A KR 1020060055561A KR 20060055561 A KR20060055561 A KR 20060055561A KR 20070120807 A KR20070120807 A KR 20070120807A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
gas
gas supply
sources
misoperation
valve
Prior art date
Application number
KR1020060055561A
Other languages
English (en)
Inventor
김유권
박문수
박종보
이현진
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to KR1020060055561A priority Critical patent/KR20070120807A/ko
Publication of KR20070120807A publication Critical patent/KR20070120807A/ko

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C13/00—Details of vessels or of the filling or discharging of vessels
    • F17C13/04—Arrangement or mounting of valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C13/00—Details of vessels or of the filling or discharging of vessels
    • F17C13/02—Special adaptations of indicating, measuring, or monitoring equipment
    • F17C13/025—Special adaptations of indicating, measuring, or monitoring equipment having the pressure as the parameter
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2205/00—Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
    • F17C2205/03—Fluid connections, filters, valves, closure means or other attachments
    • F17C2205/0302—Fittings, valves, filters, or components in connection with the gas storage device
    • F17C2205/0323—Valves
    • F17C2205/0332—Safety valves or pressure relief valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2250/00—Accessories; Control means; Indicating, measuring or monitoring of parameters
    • F17C2250/03—Control means

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)

Abstract

본 발명은 복수 개의 가스 공급원들로부터 제조 설비로 가스를 공급하는 가스 공급 장치의 가스 공급원 자동 전환을 제어하는 제어 시스템 및 그 방법에 관한 것이다. 제어 시스템은 가스 공급원들 각각에 구비되는 실린더들의 최종단에 위치하는 밸브들의 오조작을 감지하는 센서부를 포함한다. 따라서 본 발명에 의하면, 밸브 오조작을 감지하여 설비 인터락을 제어함으로써, 공정의 안정화 및 가스 공급 중단을 최소화한다.
가스 공급 장치, 가스 공급원, 제조 설비, 자동 전환, 오조작 감지

Description

가스 공급 장치를 위한 제어 시스템 및 그의 방법{SYSTEM AND METHOD FOR CONTROLLING GAS SUPPLYING APPARATUS}
도 1은 일반적인 가스 공급 장치를 구비하는 제조 설비의 개략적인 구성을 도시한 블럭도;
도 2는 도 1에 도시된 가스 공급 장치의 구성을 도시한 도면;
도 3은 도 2에 도시된 가스 공급 장치의 자동 공급 전환시 발생되는 가스 공급 중단 상태를 설명하기 위한 파형도;
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 공급원 자동 전환시 발생되는 오조작을 방지하기 위한 제어 시스템의 구성을 도시한 도면;
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 가스 공급원 자동 전환시 발생되는 오조작을 방지하기 위한 제어 시스템의 구성을 도시한 도면;
도 6은 본 발명에 따른 가스 공급원 자동 전환시의 타이밍도; 그리고
도 7은 본 발명에 따른 가스 공급원 자동 전환시의 제어 수순을 나타내는 흐름이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
100 : 제어 시스템 102 : 제어부
110, 110' : 제 1 가스 공급원 120, 120' : 제 2 가스 공급원
112, 122 : 실린더 114, 124 : 밸브
116, 116' : 제 1 센서부 126, 126' : 제 2 센서부
본 발명은 가스 공급 장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 다수의 제조 설비로 가스 공급하는 가스 공급 장치의 가스 공급원 자동 전환을 위한 제어 시스템 및 그 방법에 관한 것이다.
일반적인 반도체, 액정 디스플레이 패널 제조 공정 중에 사용되는 가스류(specialty gas)는 제조 공정 중에 막질을 형성하는 가스(예를 들어, SiH4, SiH2Cl2, NH3 등)와, 형성된 막질 중 불필요한 부분을 제거하는 에칭용 가스(예를 들어, Cl2, BCl3 등)와, 막질 내에 불순불 농도를 높여 막질의 전도성을 확보하기 위한 가스(예를 들어, phosphine/N2, arsine 등)와, 세정용 가스(예를 들어, NF3, ClF3, C3F8 등) 및, 제조 장치의 일부인 레이저 발진용 가스(예를 들어, F2/Kr/Ne 등) 등과 같이 다양한 용도로 사용된다.
다양한 제조 공정에 필요한 가스를 공급하는 일반적인 가스 공급 장치는 공정의 특성상 24 시간, 365 일 상시 가동되어, 안정된 상태를 유지하면서 다양한 가스를 제조 설비 또는 가스 분배 장치로 공급한다.
도 1을 참조하면, 반도체 제조 설비(10)는 다수의 공정들을 처리하는 제조 설비들(40 ~ 60)과, 가스 공급 장치(20) 및 가스 분배 장치(30)를 포함한다. 다수 의 제조 설비들(40 ~ 60)로 가스를 공급하는 가스 공급 장치(20)는 제조 설비(40 ~ 60)로 직접 공급하거나, 또는 가스 분배 장치(30)로 공급한 후, 가스 분배 장치(30)로부터 최종 사용 단인 다수의 제조 설비들(40 ~ 60)로 분산 공급한다.
가스 공급 장치(20)는 도 2에 도시된 바와 같이, 제 1 및 제 2 가스 공급원(25, 27)과, 배출부(21) 및 퍼지부(23)를 포함한다.
제 1 및 제 2 가스 공급원(25, 27)은 실린더 캐비넷(cylinder cabinet)으로 구비하고, 내부에 가압 충진된 복수 개의 실린더(22, 24)들을 장착하여 순차적으로 제조 설비(40 ~ 60) 또는 가스 분배 장치(30)로 가스를 공급한다.
각각의 실린더(22, 24)는 제조 설비(40 ~ 60) 또는 가스 분배 장치(30)로 가스를 공급하는 최종단에 밸브(26, 28)를 구비하고, 각각의 밸브(26, 28)와 실린더(22, 24) 사이에 배출부(21) 및 퍼지부(23)를 구비한다. 따라서, 제 1 가스 공급원(25)는 제 1 실린더(22)와 제 1 밸브(26)를 포함하고, 제 2 가스 공급원(27)은 제 2 실린더(24)와 제 2 밸브(28)를 포함한다.
가스 분배 장치(30)는 예를 들어, 밸브 매니폴드 박스(VMB : Valve Manifold Box)로 구비되며, 각 실린더(22, 24)들로부터 공급된 가압 가스를 받아서 다음 단에 있는 다수의 제조 설비(40 ~ 60)들로 가스를 분배하여 공급한다.
도 3을 참조하면, 여기서 가스 공급 장치(20)는 제 1 가스 공급원(25)으로부터 제 2 가스 공급원(27)으로 자동 전환하는 동작을 처리한다. 이 때, 이 동작은 밸브를 제어하기 위한 수순이다. 즉, 단계 S70에서 자동 전환 명령이 입력되면, 단계 S72에서 제 2 밸브(28)를 구동시켜서 단계 S74에서 제 2 밸브(26)를 오픈시킨 다. 이어서 단계 S76에서 제 1 밸브(26)를 구동시켜서 단계 S78에서 제 1 밸브(26)를 클로즈시킨다.
이러한 동작은 가스를 사용하는 공정의 특성상, 가스 분배 장치를 포함하는 가스 공급 장치의 후단에 있는 제조 설비는 내식성을 갖는 튜브(SUS 316L STAINLESS TUBE)를 통하여 이송된 가스를 공급받아서 유량을 제어하는 제어 장치(MFC : Mass Flow Controller)를 거쳐서 설비 내부의 챔버로 공급된다. 이 때, 가스 공급 장치에서 공급되는 가스 압력의 급격한 변동은 제조 설비의 챔버 내의 가스 공급 조건을 변화시킨다. 따라서 이러한 변화는 생산 공정 불량의 원인으로 나타나며, 공급 압력의 안정은 절대적으로 요구되는 파라메터 중 하나로 관리되어야 한다.
도 4를 참조하면, 가스 공급 경향을 나타내는 파형도는 실제로 자동 공급 중인 가스 공급 장치(20)에서 제 1 실린더(22)의 사용이 완료되면, 제 2 실린더(24)로 자동 전환된다. 이 후 제 1 실린더(22)는 퍼지를 위해 제 1 밸브(26)를 폐쇄시켜야 한다. 그러나 오조작으로 제 2 실린더(24)의 제 2 밸브(28)를 폐쇄하여 가스 공급이 중단되는 현상이 발생되는 경우가 빈번하다. 여기서 1 차측 압력 즉, 제 1 실린더(22)의 공급 압력(80)과 제 2 실린더(24)의 공급 압력(82)은 2 차 측 압력 즉, 제 1 실린더(22) 측의 설비단 압력(84)과 제 2 실린더(24) 측의 설비단 압력(86)이 일정 시간 동안에 압력차가 발생되어 가스 공급이 중단된다.
상술한 바와 같이, 일반적인 가스 공급 장치는 자동 전환 과정에서 메인 밸브를 폐쇄한 상태에서 다른 하나의 가스 공급 실린더가 전환된다. 가스 공급 장치 후단에 연결 되어 있는 여러 대수의 생산 설비를 위한 가스 압력 저하 허용치가 벗어나는 경우가 종종 발생되고 있으며, 이러한 경우는 생산 공정 중에 지속적으로 진행되어야 할 공정이 공정 진행의 완료로 인식되어 다음 후속 공정으로 진행되거나 또는 진행 중이던 공정이 정지되는 등의 문제점이 발생된다.
따라서 일반적인 가스 공급 장치는 하나의 가스 공급 실린더로부터 다른 하나의 가스 공급 실린더로 자동 전환 후, 작업자의 착시 현상 등에 의한 오조작이 발생되는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 복수 개의 가스 공급원들을 구비하는 가스 공급 장치의 가스 공급원 자동 전환시 오조작을 감지하는 제어 시스템 및 그 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 복수 개의 가스 공급원들을 구비하는 가스 공급 장치의 가스 공급원 자동 전환시 오조작을 감지하여 가스 공급 중단을 방지하기 위한 제어 시스템 및 그 방법을 제공하는 것이다.
상기 목적들을 달성하기 위한, 본 발명의 가스 공급 장치를 위한 제어 시스템은 다수의 가스 공급원들을 구비하는 가스 공급 장치의 가스 공급 자동 전환시 가스 공급 중단을 사전에 감지하는데 그 한 특징이 있다. 이와 같이 제어 시스템은 사전에 작업자의 오조작을 감지하여 설비 인터락을 감지할 수 있다.
본 발명의 제어 시스템은, 복수 개의 가스 공급원들과; 상기 가스 공급원 각 각에 대응하여 구비되고, 상기 각각의 가스 공급원으로부터 상기 제조 설비로 가스를 공급하거나 차단하는 밸브들과; 상기 가스 공급원들 중 어느 하나로부터 다른 하나로 가스를 공급하기 위해 상기 다른 하나의 가스 공급원으로 전환하는 경우, 상기 밸브들의 오조작이 발생되는지를 감지하는 센서부 및; 상기 가스 공급원들로부터 상기 제조 설비로 가스 공급을 전환시키고, 상기 센서부로부터 상기 오조작이 감지되면, 상기 가스 공급 장치의 설비 인터락을 발생시키는 제어부를 포함한다.
한 실시예에 있어서, 상기 제어 시스템은; 상기 가스 공급 장치로부터 가스를 공급받아서 상기 제조 설비들로 분배하는 가스 분배 장치를 더 포함한다.
다른 실시예에 있어서, 상기 제어부는 상기 오조작이 감지되면, 알람을 더 발생시킨다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 센서부는 각각의 상기 가스 공급원들에 대응하여 적외선 센서로 구비되고, 상기 제어부는 상기 적외선 센서로부터 상기 오조작을 감지하도록 제어한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 센서부는 각각의 상기 가스 공급원들에 대응하여 안테나 장치로 구비되고, 상기 제어부는 상기 안테나 장치로부터 상기 오조작을 감지하도록 제어한다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 복수 개의 가스 공급원들을 구비하는 가스 공급 장치에서 적어도 하나의 제조 설비로 가스를 공급하는 상기 가스 공급원들의 자동 전환을 제어하는 제어 시스템의 제어 방법이 제공된다. 이 제어 방법에 의하면, 상기 가스 공급원들 중 어느 하나로부터 다른 하나로 자동 전환시키는 명령을 발생한다. 상기 명령에 응답해서 상기 다른 하나로부터 가스가 공급되도록 구동시킨다. 상기 가스 공급원들이 자동 전환시 전기적이거나 기계적인 오조작이 발생되는지를 감지하는 것을 활성화시킨다. 이어서 상기 어느 하나로부터 가스 공급이 중지되도록 구동시킨다.
한 실시예에 있어서, 상기 오조작이 발생되는지를 감지하는 것은 상기 가스 공급원들 각각의 최종단에 위치하는 밸브들의 조작을 감지하여 상기 다른 하나로부터 가스가 공급되는지를 감지한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 감지 결과, 상기 오조작이 발생되면 설비 인터락을 발생시킨다.
본 발명의 실시예들은 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 서술하는 실시예들로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 실시예들은 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.
이하 첨부된 도 5 내지 도 7을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명한다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 공급 장치를 위한 제어 시스템의 구성을 도시한 도면이다.
도 5를 참조하면, 제어 시스템(100)은 제 1 및 제 2 가스 공급원(110, 120)과, 제어부(102)를 포함한다.
제 1 가스 공급원(110)은 일정 압력으로 제조 설비(미도시됨)로 가스를 공급하는 제 1 실린더(112)와, 제 1 실린더(112)와 제조 설비의 최종단에 구비되어 제조 설비로 가스를 공급하거나 중단시키는 제 1 밸브(114) 및, 제 1 밸브(114)의 전기적 및 기계적인 조작을 감지하는 제 1 센서부(116)를 포함한다. 제 2 가스 공급원(120)은 일정 압력으로 제조 설비로 가스를 공급하는 제 2 실린더(122)와, 제 2 실린더(122)와 제조 설비의 최종단에 구비되어 제조 설비로 가스를 공급하거나 중단시키는 제 2 밸브(124) 및, 제 2 밸브(124)의 전기적 및 기계적인 조작을 감지하는 제 2 센서부(126)를 포함한다. 이 실시예에서 제 1 및 제 2 센서부(116, 126)는 적외선 센서로 구비된다.
그리고 제어부(102)는 예컨대, PLC(Program Logic Controller), MFC(Mass Flow Controller) 등으로 구비되며, 제 1 및 제 2 센서부(116, 126)로부터 오조작이 감지되면, 설비 인터락 및 알람을 발생시켜서 제 1 및 제 2 밸브(116, 126)의 오조작을 사전에 방지한다.
다른 실시예로서, 도 6에 도시된 바와 같이, 제어 시스템(100')은 제 1 및 제 2 가스 공급원(110', 120')과, 제어부(102')를 포함한다. 이 실시예에서 제 1 및 제 2 센서부(116', 126')는 안테나 장치를 이용한 무선 송신부로 구비된다.
구체적으로 도 7을 참조하면, 가스 공급 장치의 제어부(102, 102')는 단계 S130에서 지동 전환 명령이 입력되면, 단계 S132에서 제 2 밸브(124, 124')를 구동시켜서 단계 S134에서 제 2 밸브(124, 124')를 오픈시킨다. 예컨대, 제 2 가스 공급원(120, 120')의 솔레노이드를 구동시키고, 에어 밸브를 구동시켜서 제 2 밸 브(124, 124')를 오픈시킨다. 단계 S136에서 제 1 및 제 2 센서부(116, 126 및 116', 126')를 제어하여 오조작 감지 기능을 활성화시킨다.
이어서 단계 S138에서 제 1 밸브(114, 114')를 구동시켜서 단계 S140에서 제 1 밸브(114, 114')를 클로즈시킨다. 예컨대, 제 1 가스 공급원(110, 110')의 솔레노이드를 구동시키고, 에어 밸브를 구동시켜서 제 1 밸브(114, 114')를 오픈시킨다. 따라서 가스 공급 자동 전환시, 작업자에 의한 오조작을 방지할 수 있으며, 가스 공급 중단을 최소화하도록 제어한다.
일반적으로 가스 공급 장치는 자동 전환 작업 전에 시스템 퍼지, 누출 검사, 퍼지, 신규 실린더 교환, 시스템 퍼지, 누출 검사 및 퍼지 순으로 작업을 진행하여 자동 전환을 위한 신규 실린더를 대기 상태(stand by)로 준비한다. 기존 사용중인 실린더 내의 가스가 점진적으로 소진됨에 따라 가스 압력 또는 무게 값이 감소하면서, 제어 장치에 설정된 값에 도달하게 되면, 사용 중인 실린더로부터 대기(stand by) 중인 실린더로 자동적으로 전환된다.
여기서 종래의 가스 공급 장치는 자동 전환되는 시간이 약 30 ~ 40 msec의 사이에 이루어지며 전환 시간은 짧으면 짧을수록 압력 변동을 적게 주어 후단에 연결되어 있는 제조 설비가 받는 손상(damage)을 최소화하여 안정적인 공정을 진행할 수 있다. 그러나 통상 현재 상용화 되어 있는 가스 공급 장치의 자동 전환 시간 즉 30 ~ 40 msec를 결정짖는 파라메터는 공급 계통도의 종단에 장착되어 있는 밸브들의 오픈 및 클로즈 작동 시간이 결정적인 변수로 작용한다. 이는 밸브를 구동하는 메커니즘 예컨대, 제어 장치로부터 자동 전환 신호 입력, 솔레노이드 구동, 에어 밸브로 고압 에어 출력 그리고 밸브 구동에 의해 결정되며 장치 별로 약간의 차이는 있지만 이론적으로는 불필요한 고유의 시정수이다.
따라서 본 발명은 수동으로 밸브 조작을 하지 못하도록 센서부를 구비하여 자동 전환 이후, 작업자의 오조작을 감지한다.
종래의 가스 공급 자동 전환을 위한 가스 공급 장치는 제어 장치로부터 자동 전환 명령이 입력되면, 제 2 가스 공급원을 구동시킨다. 예컨대, 제 2 가스 공급원은 솔레노이드를 구동시키고, 에어 밸브로 고압 에어를 출력하여 제 2 밸브를 오픈시킨다. 이어서 제 1 솔레노이드를 구동시키고 에어 밸브로 고압 에어를 출력하여 제 1 밸브를 클로즈시킨다. 이 때, 제어 장치와 밸브 간에 전기적 및 기계적인 장치 구동에서의 오조작 및 작업자에 의해 수동 밸브 오조작이 발생될 수 있다.
그러나 본 발명의 가스 공급 장치는 제 2 밸브 오픈을 위한 구동과 제 1 밸브 클로즈를 위한 구동 사이에 기계적 및 전기적인 오조작이 발생되지 않도록 감지하고, 오조작이 발생되면 설비 인터락 및 알람을 발생시킨다.
따라서 본 발명의 가스 공급 자동 전환을 처리하는 가스 공급 장치의 제어 시스템은 제 1 또는 제 2 가스 공급원에 준비된 실린터가 소진되면, 상대측으로 자동 전환 후 센서부를 이용하여 설비 인터락을 사전에 감지할 수 있다.
구체적으로, 가스 공급 장치의 제어 시스템의 동작을 살펴보면, 먼저 가스 공급 장치의 실린더들 중 하나(제 1 또는 제 2 실린더)는 후단의 제조 설비(또는 가스 분배 장치)로 항상 공급 중인 대기 상태를 유지한다. 신규 실린더의 대기 상태는 신규로 교체된 가스 실린더가 공급 준비 상태에서 최종단의 밸브를 폐쇄시켜 둔 상태를 의미한다. 공급 중인 실린더가 설정된 기체 상태의 가스 압력 또는 액체 상태의 가스 무게를 기준값으로 판별하여, 기준값 이하가 도래되기 전에 다른 실린터를 준비시키고 교체전 작업을 실행한다. 교체전 작업은 교체하고자 하는 실린더의 메인 밸브(MVO)를 폐쇄하고, 잔류 가스를 퍼지한다. 잔류 가스 퍼지는 교체하고자 하는 실린터의 연결부 후단에서 최종 공급단의 밸브 사이의 배관과 부품류(예를 들어, 레귤레이터, 밸브 및 압력 센서 등) 내부에 존재하는 잔류 가스를 전단에 질소 퍼지 가스를 유입시켜서 배관 내의 유입물을 희석하여 배출(vent)부의 진공 펌프로 퍼지시킨다.
이어서 잔류 가스를 완전히 벤트시킨 후 교체하고자 하는 실린더의 연결부를 해체하고, 실린더 내부에 외부로부터 오염 물질이 유입되지 않토록 질소 가스를 퍼지시키면서 새로운 가스 실린더를 설치한다. 또 가스 실린더 교체 연결 부위의 최종 밸브까지 헬륨(He) 가스를 공급하여 압력의 변동 유무를 관찰하여 가스 누출 유무를 점검하는 누출 검사(leak test)를 실시한다.
이어서 신규로 교체된 가스 실린더와 최종 공급단 밸브 사이의 배관과 부품류 내부에 존재하는 잔류 가스(예컨대, He 또는 N2 가스류)를 퍼지 아웃시키는 작업을 진행하여 배관 내를 진공 상태로 유지시키는 잔류 가스 자동 퍼지 기능을 처리한다.
그리고 설정된 압력(기체 상태의 경우, 액체 상태의 경우는 무게)에 이르면, 자동으로 신규 설치한 가스 실린더로 자동 전환되는 공정에 따라 진행된다.
따라서 본 발명의 제어 시스템은 가스 공급 자동 전환시, 공급 중단을 최소 화함으로서, 공정을 안정적으로 처리하도록 하여 가스 자동 전환시 발생될 수 있는 공급 중단에 의한 피해를 줄일 수 있다.
이상에서, 본 발명에 따른 다수의 가스 공급원들을 구비하는 가스 공급 장치의 가스 공급 자동 전환을 위한 제어 시스템의 구성 및 작용을 상세한 설명과 도면에 따라 도시하였지만, 이는 실시예를 들어 설명한 것에 불과하며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 가스 공급 장치 자동 전환을 위한 제어 시스템은 가스 공급원 자동 전환시 각 가스 공급원들의 밸브 조작에 대한 전기적, 기계적인 오조작을 사전에 감지함으로써, 설비 인터락을 제어할 수 있으며 가스 공급 중단을 최소화하여 공정의 안전화를 도모할 수 있다.

Claims (8)

  1. 다수의 제조 설비로 가스를 공급하는 가스 공급 장치의 제어 시스템에 있어서:
    복수 개의 가스 공급원들과;
    상기 가스 공급원 각각에 대응하여 구비되고, 상기 각각의 가스 공급원으로부터 상기 제조 설비로 가스를 공급하거나 차단하는 밸브들과;
    상기 가스 공급원들 중 어느 하나로부터 다른 하나로 가스를 공급하기 위해 상기 다른 하나의 가스 공급원으로 전환하는 경우, 상기 밸브들의 오조작이 발생되는지를 감지하는 센서부 및;
    상기 가스 공급원들로부터 상기 제조 설비로 가스 공급을 전환시키고, 상기 센서부로부터 상기 오조작이 감지되면, 상기 가스 공급 장치의 설비 인터락을 발생시키는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 공급 장치의 제어 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어 시스템은;
    상기 가스 공급 장치로부터 가스를 공급받아서 상기 제조 설비들로 분배하는 가스 분배 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 공급 장치의 제어 시스템.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 오조작이 감지되면, 알람을 더 발생시키는 것을 특징으로 하는 가스 공급 장치의 제어 시스템.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 센서부는 각각의 상기 가스 공급원들에 대응하여 적외선 센서로 구비되고,
    상기 제어부는 상기 적외선 센서로부터 상기 오조작을 감지하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 가스 공급 장치의 제어 시스템.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 센서부는 각각의 상기 가스 공급원들에 대응하여 안테나 장치로 구비되고,
    상기 제어부는 상기 안테나 장치로부터 상기 오조작을 감지하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 가스 공급 장치의 제어 시스템.
  6. 복수 개의 가스 공급원들을 구비하는 가스 공급 장치에서 적어도 하나의 제조 설비로 가스를 공급하는 상기 가스 공급원들의 자동 전환을 제어하는 제어 시스템의 제어 방법에 있어서:
    상기 가스 공급원들 중 어느 하나로부터 다른 하나로 자동 전환시키는 명령을 발생하고;
    상기 명령에 응답해서 상기 다른 하나로부터 가스가 공급되도록 구동시키고;
    상기 가스 공급원들이 자동 전환시 전기적이거나 기계적인 오조작이 발생되는지를 감지하는 것을 활성화시키고; 이어서
    상기 어느 하나로부터 가스 공급이 중지되도록 구동시키는 것을 포함하는 제어 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 오조작이 발생되는지를 감지하는 것은 상기 가스 공급원들 각각의 최종단에 위치하는 밸브들의 조작을 감지하여 상기 다른 하나로부터 가스가 공급되는지를 감지하는 것을 특징으로 하는 제어 방법.
  8. 제 6 항 또는 제 7 항에 있어서,
    상기 감지 결과, 상기 오조작이 발생되면 설비 인터락을 발생시키는 것을 특징으로 하는 제어 방법.
KR1020060055561A 2006-06-20 2006-06-20 가스 공급 장치를 위한 제어 시스템 및 그의 방법 KR20070120807A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060055561A KR20070120807A (ko) 2006-06-20 2006-06-20 가스 공급 장치를 위한 제어 시스템 및 그의 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060055561A KR20070120807A (ko) 2006-06-20 2006-06-20 가스 공급 장치를 위한 제어 시스템 및 그의 방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20070120807A true KR20070120807A (ko) 2007-12-26

Family

ID=39138439

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060055561A KR20070120807A (ko) 2006-06-20 2006-06-20 가스 공급 장치를 위한 제어 시스템 및 그의 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20070120807A (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112228430A (zh) * 2020-09-19 2021-01-15 中交三航(南通)海洋工程有限公司 一种用于滑移装置的远程控制系统
WO2024043400A1 (ko) * 2022-08-25 2024-02-29 주식회사 원익아이피에스 기판처리장치 및 가스공급방법

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112228430A (zh) * 2020-09-19 2021-01-15 中交三航(南通)海洋工程有限公司 一种用于滑移装置的远程控制系统
CN112228430B (zh) * 2020-09-19 2022-03-25 中交三航(南通)海洋工程有限公司 一种用于滑移装置的远程控制系统
WO2024043400A1 (ko) * 2022-08-25 2024-02-29 주식회사 원익아이피에스 기판처리장치 및 가스공급방법

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101557522B1 (ko) 가스 감압 공급 장치, 이것을 구비하는 실린더 캐비닛, 밸브 박스 및 기판 처리 장치
KR100745372B1 (ko) 반도체 제조설비의 개스플로우량 감시장치 및 그 방법
TWI460570B (zh) 氣體流量監視系統
KR100694666B1 (ko) 원자층 증착 챔버의 에어 밸브 장치
KR101988361B1 (ko) 가스 공급 시스템
KR100725098B1 (ko) 반도체 제조설비의 유량조절기 오동작 감지장치 및 그 방법
KR100969210B1 (ko) 압력식 유량 제어장치의 스로틀 기구 하류측 밸브의 작동 이상 검출방법
KR20050028943A (ko) 저압 화학기상증착 장치의 압력조절 시스템
TWI723046B (zh) 檢查氣體供給系統之方法
US7165443B2 (en) Vacuum leakage detecting device for use in semiconductor manufacturing system
KR20070120807A (ko) 가스 공급 장치를 위한 제어 시스템 및 그의 방법
EP2474644B1 (en) Gas supply system
KR101300096B1 (ko) 공정챔버의 가스 공급 장치 및 그 공급방법
TWI809498B (zh) 材料供應系統及使從氣體供應和分配系統分配的氣體的壓力變化實質上降低之方法
KR101275890B1 (ko) 가스분배 공급장치
KR101271123B1 (ko) 가스 공급장치
KR100440750B1 (ko) 밸브 개폐상태 감시 장치
KR20210019200A (ko) 반도체 제조 장비의 에어 밸브 누설 감지 시스템
KR20090058638A (ko) 반도체 제조용 케미컬 공급장치
KR101401495B1 (ko) 특수 가스 누설 확인을 위한 고진공 시스템
KR100196901B1 (ko) 진공 챔버의 압력 측정방법
KR101365948B1 (ko) 이온 공급 장치, 이를 이용한 이온 공급 및 세정 방법
KR100487549B1 (ko) 반도체 제조 설비를 위한 공기 공급 장치
KR20220128281A (ko) 처리 장치 및 가스 공급 방법
KR200274312Y1 (ko) 밸브 개폐상태 감시 장치

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Withdrawal due to no request for examination