KR20070116510A - 액정표시장치 및 그 제조 방법 - Google Patents
액정표시장치 및 그 제조 방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20070116510A KR20070116510A KR1020060050603A KR20060050603A KR20070116510A KR 20070116510 A KR20070116510 A KR 20070116510A KR 1020060050603 A KR1020060050603 A KR 1020060050603A KR 20060050603 A KR20060050603 A KR 20060050603A KR 20070116510 A KR20070116510 A KR 20070116510A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- line
- common
- gate
- electrode
- display area
- Prior art date
Links
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 title claims abstract description 40
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 77
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims abstract description 31
- 239000000565 sealant Substances 0.000 claims abstract description 25
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 12
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 10
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000005611 electricity Effects 0.000 abstract description 9
- 230000003068 static effect Effects 0.000 abstract description 9
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 21
- 239000010408 film Substances 0.000 description 13
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 8
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 7
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 6
- CIWBSHSKHKDKBQ-JLAZNSOCSA-N Ascorbic acid Chemical group OC[C@H](O)[C@H]1OC(=O)C(O)=C1O CIWBSHSKHKDKBQ-JLAZNSOCSA-N 0.000 description 4
- 210000002858 crystal cell Anatomy 0.000 description 4
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 2
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 2
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- TYHJXGDMRRJCRY-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) tin(4+) Chemical compound [O-2].[Zn+2].[Sn+4].[In+3] TYHJXGDMRRJCRY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
- G02F1/136204—Arrangements to prevent high voltage or static electricity failures
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1339—Gaskets; Spacers; Sealing of cells
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1339—Gaskets; Spacers; Sealing of cells
- G02F1/13392—Gaskets; Spacers; Sealing of cells spacers dispersed on the cell substrate, e.g. spherical particles, microfibres
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
본 발명은 데이터 라인 및 게이트 라인과 공통 전극과의 쇼트를 방지함으로써 수율을 향상시킬 수 있는 액정표시장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명의 액정표시장치는 하부 기판 위의 표시 영역에서 서로 교차하도록 형성된 게이트 라인 및 데이터 라인과; 상기 하부 기판 위의 상기 표시 영역의 외곽에 위치하는 비표시 영역에 형성된 공통 라인과; 상기 하부 기판과 액정을 사이에 두고 대면하는 상부 기판 위에 형성된 공통 전극과; 상기 공통 라인과 상기 공통 전극을 전기적으로 접속시키는 도전성 볼을 포함하고 상기 공통 라인과 중첩되는 영역의 상기 상부 기판과 상기 하부 기판 사이에 도포된 도전성 실런트와; 상기 도전성 실런트가 도포된 영역에 적어도 하나의 절연막을 사이에 두고 상기 데이터 라인 및 상기 게이트 라인과 중첩되는 영역에 형성된 정전기 유도 라인을 구비한다.
Description
도 1은 종래의 액정표시장치를 개략적으로 나타내는 도면.
도 2는 도 1에 도시된 Ⅰ-Ⅰ’선을 절취한 단면도.
도 3은 정전기에 의한 데이터 라인과 공통 전극의 쇼트를 설명하기 위한 도면.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치를 개략적으로 나타내는 도면.
도 5는 도 4에 도시된 Ⅱ-Ⅱ’선을 절취한 단면도.
도 6a 내지 도 6d는 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조 방법을 단계적으로 나타내는 단면도들.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 간단한 설명 >
1, 101 : 하부 기판 4, 104 : 게이트 절연막
6, 106 : 보호막 7, 107 : 공통 라인 하부 전극
8, 108 : 공통 라인 상부 전극 9, 109 : 공통 접촉홀
10, 110 : 박막 트랜지스터 어레이 기판 11, 111 : 상부 기판
12, 112 : 블랙 매트릭스 14, 114 : 공통 전극
20, 120 : 컬러 필터 어레이 기판 25, 125 : 도전 볼
26, 126 : 도전성 실런트 130 : 정전기 유도 라인
본 발명은 액정표시장치 및 그 제조 방법에 관한 것으로 특히, 데이터 라인 및 게이트 라인과 공통 전극과의 쇼트를 방지함으로써 수율을 향상시킬 수 있는 액정표시장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
액정표시장치는 액정을 사이에 두고 서로 대면하는 박막 트랜지스터 어레이 기판과 컬러 필터 어레이 기판을 구비한다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 박막 트랜지스터 어레이 기판(10)은 하부 기판(1) 위에 서로 교차하는 게이트 라인(GL) 및 데이터 라인(DL)과, 게이트 라인(GL)과 데이터 라인(DL)의 교차부에 형성된 박막 트랜지스터(T)와, 박막 트랜지스터(T)의 드레인 전극에 접속된 액정 셀(C)을 구비한다. 액정 셀(C)은 박막 트랜지스터 어레이 기판(10)에 형성되며 박막 트랜지스터(T)의 드레인 전극에 접속된 도시하지 않은 화소 전극과, 컬리 필터 어레이 기판(20)에 형성된 공통 전극(14), 및 화소 전극과 공통 전극(14) 사이에 배치된 액정으로 구성된다. 게이트 라인(GL)과 데이터 라인(DL)에는 구동 회로로부터 구동 신호가 공급된다. 구동 회로는 표시 영역의 각 게이트 라인(GL)으로부터 비표시 영역으로 연장된 게이트 라인(GL)의 끝단에 형성된 게이트 패드(GP) 및 표시 영역의 각 데이터 라인(DL)으로부터 비표시 영역으로 연장된 데이터 라인(DL)의 끝단에 형성된 데이터 패드(DP)와 접속되어 게이트 라인(GL) 및 데이터 라인(DL)에 구동 신호를 공급한다. 박막 트랜지스터(T)는 게이트 라인(GL)에 공급된 스캔 신호에 턴-온(Turn-On)되어 데이터 라인(DL)에 공급된 데이터 신호를 화소 전극에 공급한다.
컬러 필터 어레이 기판(20)은 상부 기판(11) 위에 컬러 필터가 형성될 셀 영역을 구획 블랙 매트릭스(12)와, 블랙 매트릭스(12)에 의해 구획된 셀 영역에 형성되는 도시하지 않은 컬러 필터와, 블랙 매트릭스(12) 및 컬러 필터가 형성된 상부 기판(11) 위의 전면에 형성되며 하부 기판(1)에 형성된 화소 전극과 액정 구동을 위한 수직 전계를 형성하는 공통 전극(14)을 구비한다.
그리고, 박막 트랜지스터 어레이 기판(10)은 표시 영역의 외곽에 위치하는 비표시 영역에 컬러 필터 어레이 기판(20)에 형성된 공통 전극(14)에 기준 전압을 공급하기 위한 공통 라인(CL)을 더 구비한다. 공통 라인(CL)은 박막 트랜지스터 어레기 기판(10)과 컬러 필러 어레이 기판(20)의 합착을 위한 도전성 실런트(26)가 도포된 영역에 형성되며 도전성 실런트(26)의 도전 볼(25)을 통하여 컬러 필터 어레이 기판(20)의 공통 전극(14)과 전기적으로 접속된다. 이 공통 라인(CL)은 하부 기판(1) 위에 게이트 라인(GL)과 함께 형성되는 공통 라인 하부 전극(7)과 게이트 절연막(4) 및 보호막(6)을 관통하여 공통 라인 하부 전극(7)을 노출시키는 공통 접 촉홀(9) 및 공통 접촉홀(9)을 통하여 공통 라인 하부 전극(7)과 접촉되며 도전 볼(25)과 직접 접촉되는 공통 라인 상부 전극(8)을 포함한다. 도전 볼(25)은 금(Au)과 같은 도전성이 뛰어난 금속으로 형성된다.
한편, 공통 라인(CL)과 공통 전극(14)을 전기적으로 접속시키는 도전 볼(25)은 도전성 실런트(26)의 도포시에 도전성 실런트(26)가 도포되는 전 영역에 걸쳐 불규칙하게 도포된다. 따라서, 도전 볼(25)은 도 2와 같이 데이터 라인(DL), 및 도시하지 않은 게이트 라인(GL, 도 1 참조)과 중첩되는 영역에도 형성된다. 이에 따라, 액정표시장치는 액정표시장치에 발생하는 정전기로 인하여 보호막(6)이 파괴되는 경우 특히, 도 3에 도시된 바와 같이 정전기로 인하여 도전 볼(25)과 데이터 라인(DL)이 중첩되는 영역의 보호막(6)이 파괴되는 경우 데이터 라인(DL)과 중첩되는 영역에 도포된 도전 볼(25)에 의하여 데이터 라인(DL)과 공통 전극(14)이 서로 쇼트됨으로써 불량으로 판별되는 등 그 수율이 저하되는 단점이 있다. 그리고, 정전기로 인하여 도전 볼(25)과 게이트 라인(GL)이 중첩되는 영역의 보호막(6) 및 게이트 절연막(4)이 파괴되는 경우 게이트 라인(GL)과 중첩되는 영역에 형성된 도전 볼(25)에 의하여 게이트 라인(GL)과 공통 전극(14)이 서로 쇼트됨으로써 불량으로 판별되는 등 그 수율이 저하되는 단점이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 데이터 라인 및 게이트 라인과 공통 전극과의 쇼트를 방지함으로써 수율을 향상시킬 수 있는 액정표시장치 및 그 제조 방법을 제공 하는 것이다.
상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치는 하부 기판 위의 표시 영역에서 서로 교차하도록 형성된 게이트 라인 및 데이터 라인과; 상기 하부 기판 위의 상기 표시 영역의 외곽에 위치하는 비표시 영역에 형성된 공통 라인과; 상기 하부 기판과 액정을 사이에 두고 대면하는 상부 기판 위에 형성된 공통 전극과; 상기 공통 라인과 상기 공통 전극을 전기적으로 접속시키는 도전성 볼을 포함하고 상기 공통 라인과 중첩되는 영역의 상기 상부 기판과 상기 하부 기판 사이에 도포된 도전성 실런트와; 상기 도전성 실런트가 도포된 영역에 적어도 하나의 절연막을 사이에 두고 상기 데이터 라인 및 상기 게이트 라인과 중첩되는 영역에 형성된 정전기 유도 라인을 구비한다.
상기 액정표시장치는 상기 하부 기판 위의 상기 비표시 영역에 형성되며 상기 데이터 라인에 데이터 신호를 공급하는 데이터 구동 회로와; 상기 하부 기판 위의 상기 비표시 영역에 형성되며 상기 게이트 라인에 게이트 신호를 공급하는 게이트 구동 회로를 더 구비한다.
상기 정전기 유도 라인은, 상기 데이터 라인과 중첩되는 영역에 형성된 제1 정전기 유도 라인과; 상기 게이트 라인과 중첩되는 영역에 형성된 제2 정전기 유도 라인을 포함한다.
상기 제1 정전기 유도 라인은 상기 데이터 구동 회로의 접지 단자에 접속되 며, 상기 제2 정전기 유도 라인은 상기 게이트 구동 회로의 접지 단자에 접속된다.
상기 공통 라인은, 상기 게이트 라인과 동일 물질로 형성되는 공통 라인 하부 전극과; 적어도 하나의 절연막을 관통하여 상기 공통 라인 하부 전극을 노출시키는 공통 접촉홀과; 상기 공통 접촉홀을 통하여 상기 공통 라인 하부 전극과 접촉됨과 아울러 상기 도전 볼을 통하여 상기 공통 전극과 접속되는 공통 라인 상부 전극을 구비한다.
상기 정전기 유도 라인은 상기 공통 라인 상부 전극과 동일 물질이다.
상기 도전 볼은 금(Au)을 포함한다.
본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조 방법은 공통 전극이 형성된 상부 기판을 마련하는 단계와; 상기 상부 기판과 대면하는 하부 기판 위의 표시 영역에 게이트 라인, 상기 표시 영역의 외곽에 위치하는 비표시 영역에 공통 라인 하부 전극을 형성하는 단계와; 상기 표시 영역에 상기 게이트 라인과 교차하는 데이터 라인을 형성하는 단계와; 상기 비표시 영역에 상기 공통 라인 하부 전극과 접속되는 공통 라인 상부 전극, 상기 비표시 영역에서 적어도 하나의 절연막을 사이에 두고 상기 게이트 라인 및 데이터 라인과 중첩되는 정전기 유도 라인을 형성하는 단계와; 상기 비표시 영역의 상기 공통 라인 상부 전극과 상기 공통 전극을 전기적으로 접속시키는 도전성 볼을 포함하며 상기 공통 라인 상부 전극과 중첩되는 영역에 도전성 실런트를 도포하는 단계와; 상기 상부 기판과 상기 하부 기판을 합착하는 단계를 포함한다.
상기의 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 이점들은 첨부 도면을 참조한 본 발명이 바람직한 실시 예에 대한 설명으로 명백하게 드러나게 될 것이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예들을 도 4 내지 도 6d을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치를 나타내는 도면이며, 도 5는 도 4에 도시된 Ⅱ-Ⅱ’선을 절취한 단면도이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치는 액정을 사이에 두고 서로 대면하는 박막 트랜지스터 어레이 기판(110)과 컬러 필터 어레이 기판(120)을 구비한다.
박막 트랜지스터 어레이 기판(110)은 하부 기판(101) 위의 표시 영역에 서로 교차하는 게이트 라인(GL) 및 데이터 라인(DL)과, 게이트 라인(GL)과 데이터 라인(DL)의 교차부에 형성된 박막 트랜지스터(T)와, 박막 트랜지스터(T)의 드레인 전극에 접속된 액정 셀(C)을 구비한다. 액정 셀(C)은 박막 트랜지스터 어레이 기판(110)에 형성되며 박막 트랜지스터(T)의 드레인 전극에 접속된 도시하지 않은 화소 전극과, 컬리 필터 어레이 기판(120)에 형성된 공통 전극(114), 및 화소 전극과 공통 전극(114) 사이에 배치된 액정으로 구성된다. 게이트 라인(GL)과 데이터 라인(DL)에는 구동 회로로부터 구동 신호가 공급된다. 구동 회로는 표시 영역의 각 게이트 라인(GL)으로부터 비표시 영역으로 연장된 게이트 라인(GL)의 끝단에 형성된 게이트 패드(GP) 및 표시 영역의 각 데이터 라인(DL)으로부터 비표시 영역으로 연장된 데이터 라인(DL)의 끝단에 형성된 데이터 패드(DP)와 접속되어 게이트 라인(GL) 및 데이터 라인(DL)에 구동 신호를 공급한다. 박막 트랜지스터(T)는 게이 트 라인(GL)에 공급된 스캔 신호에 턴-온(Turn-On)되어 데이터 라인(DL)에 공급된 데이터 신호를 화소 전극에 공급한다.
컬러 필터 어레이 기판(120)은 상부 기판(111) 위에 컬러 필터가 형성될 셀 영역을 구획하는 블랙 매트릭스(112)와, 블랙 매트릭스(112)에 의해 구획된 셀 영역에 형성되는 도시하지 않은 컬러 필터와, 블랙 매트릭스(112) 및 컬러 필터가 형성된 상부 기판(111) 위의 전면에 형성되며 하부 기판(101)에 형성된 화소 전극과 액정 구동을 위한 수직 전계를 형성하는 공통 전극(114)을 구비한다.
그리고, 박막 트랜지스터 어레이 기판(110)은 박막 트랜지스터 어레이 기판(110)과 컬러 필러 어레이 기판(120)을 합착시키기 위하여 표시 영역의 외곽에 위치하는 비표시 영역에 도전성 실런트(126)가 도포된 영역에 형성된 공통 라인(CL)과, 도전성 실런트(126)가 도포된 영역에 데이터 라인(DL)과 중첩되도록 패터닝된 제1 정전기 유도 라인(130a), 및 도전성 실런트(126)가 도포된 영역에 게이트 라인(GL)과 중첩되도록 패터닝된 제2 정전기 유도 라인(130b)을 구비한다.
공통 라인(CL)은 도전성 실런트(126)의 도전 볼(125)을 통하여 컬러 필터 어레이 기판(120)의 공통 전극(114)과 전기적으로 접속되어 공통 전극(114)으로 기준 전압을 공급한다. 이러한 공통 라인(CL)은 하부 기판(101) 위에 게이트 라인(GL)과 함께 형성되는 공통 라인 하부 전극(108)과, 게이트 절연막(104) 및 보호막(106)을 관통하여 공통 라인 하부 전극(108)을 노출시키는 공통 접촉홀(109), 및 공통 접촉홀(109)을 통하여 공통 라인 하부 전극(107)과 접촉되며 도전 볼(125)과 직접 접촉되는 공통 라인 상부 전극(108)을 포함한다. 도전 볼(25)은 금(Au)과 같 은 도전성이 뛰어난 금속으로 형성된다.
제1 정전기 방지 라인(130a)은 도전성 실런트(126)가 도포된 영역의 보호막(106) 위에 데이터 라인(DL)과 중첩되도록 패터닝되며 데이터 구동 회로의 접지(GND) 단자에 접속된다. 제2 정전기 방지 라인(130b)은 도전성 실런트(126)가 도포된 영역의 보호막(106) 위에 게이트 라인(GL)과 중첩되도록 패터닝되며 게이트 구동 회로의 접지(GND) 단자에 접속된다. 이 제1 및 제2 정전기 방지 라인(130a, 130b)은 공통 라인(CL)의 공통 라인 상부 전극(108)과 함께 형성된다.
따라서, 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치는 액정표시장치에 발생하는 정전기 특히, 데이터 라인(DL) 및 게이트 라인(GL)이 중첩되는 영역에 발생하는 정전기를 제1 및 제2 정전기 유도 라인(130a, 130b)을 통하여 데이터 구동 회로 및 게이트 구동 회로의 접지(GND) 단자로 배출함으로써 정전기에 의하여 도전 볼(125) 과 데이터 라인(DL)이 중첩되는 영역의 보호막(106), 또는 도전 볼(125)과 게이트 라인(GL)이 중첩되는 영역의 보호막(106) 및 게이트 절연막(104)이 파괴되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 액정표시장치는 도전 볼(125)과 데이터 라인(DL) 및 게이트 라인(GL)이 서로 쇼트되는 것을 방지하여 액정표시장치의 수율을 향상시킬 수 있다.
이하, 도 6a 내지 도 6d를 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 박막 트랜지스터 어레이 기판의 제조 방법을 상세히 설명하기로 한다.
도 6a를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 박막 트랜지스터 어레이 기판의 제조 방법은 하부 기판(101) 위에 스퍼터링, PECVD 등의 증착 방법으로 게이트 금속층을 형성한 후 포토리쏘그래피 공정 및 식각 공정을 실시함으로써 게이트 라인(GL, 도 4 참조)과 공통 라인 하부 전극(7)을 형성한다. 게이트 금속으로는 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 알루미늄네오듐(AlNd) 등의 알루미늄계 금속 등이 이용된다.
그런 다음, 게이트 라인(GL)과 공통 라인 하부 전극(7)이 형성된 하부 기판(101) 위에 게이트 절연막(104)을 전면 형성하고, PECVD, 스퍼터링 등의 증착 방법을 통해 소스/드레인 금속층을 형성한 후 포토리쏘그래피 공정 및 식각 공정을 실시함으로써 도 6b와 같이 데이터 라인(DL)을 형성한다. 소스/드레인 금속층으로는 몰리브덴(Mo), 구리(Gu) 등과 같은 금속이 이용된다.
이어서, 데이터 라인(DL)이 형성된 하부 기판(101) 위에 보호막(106)을 전면 형성한 후 포토리쏘그래피 공정으로 보호막(106)과 게이트 절연막(104)을 패터닝함으로써 도 6c와 같이 공통 라인 하부 전극(107)을 노출시키는 공통 접촉홀(109)을 형성한다.
그리고, 공통 접촉홀(109)이 형성된 하부 기판(101) 위에 PECVD, 스퍼터링 등의 증착 방법을 통해 투명 도전성 물질을 형성한 후 포토리쏘그래피 공정과 식각 공정을 실시함으로써 도 6d와 같이 공통 접촉홀(109)을 통하여 공통 라인 하부 전극(107)과 접촉되는 공통 라인 상부 전극(108)과, 후속 공정에서 도전성 실런트(126)가 도포될 영역에 데이터 라인(DL)과 중첩되는 제1 정전기 유도 라인(130a), 및 도전성 실런트(126)가 도포될 영역에 게이트 라인(GL)과 중첩되는 제2 정전기 유도 라인(130b, 도 4 참조)을 형성한다. 투명 도전성 물질로는 인듐 틴 옥사이드(Induim Tin Oxide : ITO), 틴 옥사이드(Tin Oxide : TO), 인듐 틴 징크 옥사이드 (Induim Tin Zinc Oxide : ITZO) 및 인듐 징크 옥사이드(Induim Zinc Oxide : IZO) 중 어느 하나가 이용된다.
그 후, 공통 라인 상부 전극(108)과 제1 및 제2 정전기 유도 라인(130a, 130b)이 형성된 하부 기판(101) 위에 공통 라인(CL)과 중첩되도록 도전성 실런트(126)가 도포되며, 도포된 도전성 실런트(126)을 통하여 공통 전극(114)이 형성된 컬러 필터 어레이 기판(120)과 박막 트랜지스터 어레이 기판(110)이 합착됨으로써 본 발명의 액정표시장치는 도 5와 같이 완성된다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치 및 그 제조 방법은 도전성 실런트와 데이터 라인 및 게이트 라인이 중첩되는 영역에 데이터 구동 회로 또는 게이트 구동 회로의 접지(GND) 단자와 접속되는 제1 및 제2 정전기 유도 라인을 구비한다. 따라서, 본 발명의 액정표시장치 및 그 제조 방법은 액정표시장치에 발생하는 정전기를 제1 및 제2 정전기 유도 라인을 이용하여 데이터 구동 회로 또는 게이트 구동 회로의 접지(GND) 단자로 유도함으로써 도전성 실러트와 데이터 라인이 중첩되는 영역의 보호막, 또는 도전성 실런트와 게이트 라인이 중첩되는 영역의 보호막 및 게이트 절연막이 정전기에 의해 파괴되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 액정표시장치 및 그 제조 방법은 공통 전극과 데이터 라인 및 게이트 라인이 서로 쇼트되는 것을 방지함으로써 액정표시장치의 수율을 향상시킬 수 있다.
이상 설명한 내용으로 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.
Claims (14)
- 하부 기판 위의 표시 영역에서 서로 교차하도록 형성된 게이트 라인 및 데이터 라인과;상기 하부 기판 위의 상기 표시 영역의 외곽에 위치하는 비표시 영역에 형성된 공통 라인과;상기 하부 기판과 액정을 사이에 두고 대면하는 상부 기판 위에 형성된 공통 전극과;상기 공통 라인과 상기 공통 전극을 전기적으로 접속시키는 도전성 볼을 포함하고 상기 공통 라인과 중첩되는 영역의 상기 상부 기판과 상기 하부 기판 사이에 도포된 도전성 실런트와;상기 도전성 실런트가 도포된 영역에 적어도 하나의 절연막을 사이에 두고 상기 데이터 라인 및 상기 게이트 라인과 중첩되는 영역에 형성된 정전기 유도 라인을 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 하부 기판 위의 상기 비표시 영역에 형성되며 상기 데이터 라인에 데이터 신호를 공급하는 데이터 구동 회로와;상기 하부 기판 위의 상기 비표시 영역에 형성되며 상기 게이트 라인에 게이트 신호를 공급하는 게이트 구동 회로를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시 장치.
- 제 2 항에 있어서,상기 정전기 유도 라인은,상기 데이터 라인과 중첩되는 영역에 형성된 제1 정전기 유도 라인과;상기 게이트 라인과 중첩되는 영역에 형성된 제2 정전기 유도 라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 제1 정전기 유도 라인은 상기 데이터 구동 회로의 접지 단자에 접속되며, 상기 제2 정전기 유도 라인은 상기 게이트 구동 회로의 접지 단자에 접속되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 공통 라인은,상기 게이트 라인과 동일 물질로 형성되는 공통 라인 하부 전극과;적어도 하나의 절연막을 관통하여 상기 공통 라인 하부 전극을 노출시키는 공통 접촉홀과;상기 공통 접촉홀을 통하여 상기 공통 라인 하부 전극과 접촉됨과 아울러 상기 도전 볼을 통하여 상기 공통 전극과 접속되는 공통 라인 상부 전극을 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
- 제 5 항에 있어서,상기 정전기 유도 라인은 상기 공통 라인 상부 전극과 동일 물질인 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 도전 볼은 금(Au)을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
- 공통 전극이 형성된 상부 기판을 마련하는 단계와;상기 상부 기판과 대면하는 하부 기판 위의 표시 영역에 게이트 라인, 상기 표시 영역의 외곽에 위치하는 비표시 영역에 공통 라인 하부 전극을 형성하는 단계와;상기 표시 영역에 상기 게이트 라인과 교차하는 데이터 라인을 형성하는 단계와;상기 비표시 영역에 상기 공통 라인 하부 전극과 접속되는 공통 라인 상부 전극, 상기 비표시 영역에서 적어도 하나의 절연막을 사이에 두고 상기 게이트 라인 및 데이터 라인과 중첩되는 정전기 유도 라인을 형성하는 단계와;상기 비표시 영역의 상기 공통 라인 상부 전극과 상기 공통 전극을 전기적으로 접속시키는 도전성 볼을 포함하며 상기 공통 라인 상부 전극과 중첩되는 영역에 도전성 실런트를 도포하는 단계와;상기 상부 기판과 상기 하부 기판을 합착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.
- 제 8 항에 있어서,상기 하부 기판 위에 상기 비표시 영역에 상기 데이터 라인에 데이터 신호를 공급하는 데이터 구동 회로를 형성하는 단계와;상기 하부 기판 위에 상기 비표시 영역에 상기 게이트 라인에 게이트 신호를 공급하는 게이트 구동 회로를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 정전기 유도 라인을 형성하는 단계는,상기 데이터 라인과 중첩되는 영역에 제1 정전기 유도 라인을 형성하는 단계와;상기 게이트 라인과 중첩되는 영역에 제2 정전기 유도 라인을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.
- 제 10 항에 있어서,상기 제1 정전기 유도 라인은 상기 데이터 구동 회로의 접지 단자에 접속되 며, 상기 제2 정전기 유도 라인은 상기 게이트 구동 회로의 접지 단자에 접속되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.
- 제 8 항에 있어서,적어도 하나의 절연막을 관통하여 상기 공통 라인 하부 전극을 노출시키는 공통 접촉홀을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.
- 제 8 항에 있어서,상기 정전기 유도 라인은 상기 공통 라인 상부 전극과 동일 물질로 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.
- 제 8 항에 있어서,상기 도전 볼은 금(Au)으로 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020060050603A KR100939221B1 (ko) | 2006-06-05 | 2006-06-05 | 액정표시장치 및 그 제조 방법 |
| US11/638,518 US7692754B2 (en) | 2006-06-05 | 2006-12-14 | Liquid crystal display and fabricating method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020060050603A KR100939221B1 (ko) | 2006-06-05 | 2006-06-05 | 액정표시장치 및 그 제조 방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20070116510A true KR20070116510A (ko) | 2007-12-10 |
| KR100939221B1 KR100939221B1 (ko) | 2010-01-28 |
Family
ID=38789624
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020060050603A KR100939221B1 (ko) | 2006-06-05 | 2006-06-05 | 액정표시장치 및 그 제조 방법 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7692754B2 (ko) |
| KR (1) | KR100939221B1 (ko) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100926429B1 (ko) * | 2007-12-21 | 2009-11-12 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시장치 및 그 제조방법 |
| US8755016B2 (en) | 2010-11-08 | 2014-06-17 | Beijing Boe Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Liquid crystal panel, TFT array substrate and manufacturing method thereof |
| KR20160142465A (ko) * | 2015-06-02 | 2016-12-13 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102005059789B4 (de) * | 2004-12-23 | 2010-07-22 | Lg Display Co., Ltd. | Flüssigkristallanzeigevorrichtung |
| CN100592170C (zh) * | 2007-05-25 | 2010-02-24 | 群康科技(深圳)有限公司 | 液晶显示装置及其制造方法 |
| US8982058B2 (en) * | 2009-09-30 | 2015-03-17 | Apple Inc. | Touch screen border regions |
| JP2011242705A (ja) * | 2010-05-21 | 2011-12-01 | Sony Corp | 表示装置、および表示装置の製造方法 |
| KR101791578B1 (ko) | 2011-02-17 | 2017-10-31 | 삼성디스플레이 주식회사 | 액정 표시 장치 |
| TW201320079A (zh) | 2011-11-08 | 2013-05-16 | Ind Tech Res Inst | 非揮發性隨機存取記憶體及其操作方法 |
| CN202281886U (zh) * | 2011-11-11 | 2012-06-20 | 京东方科技集团股份有限公司 | 液晶显示面板及液晶显示装置 |
| CN103135298B (zh) * | 2011-11-30 | 2016-09-07 | 上海中航光电子有限公司 | Tft-lcd阵列基板及其制造方法以及显示屏 |
| KR101998769B1 (ko) * | 2012-11-30 | 2019-07-10 | 엘지디스플레이 주식회사 | 협 베젤 영역을 갖는 평판 표시 패널 |
| CN103246099B (zh) * | 2013-04-27 | 2016-08-10 | 京东方科技集团股份有限公司 | 阵列基板及其制作方法以及显示装置 |
| CN104698712B (zh) * | 2015-04-07 | 2017-10-10 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种阵列基板、液晶面板及显示装置 |
| CN105116630B (zh) * | 2015-09-23 | 2017-12-08 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种显示面板及显示装置 |
| CN106990593B (zh) * | 2017-04-24 | 2020-08-11 | 惠科股份有限公司 | 液晶显示面板及其液晶显示装置 |
| CN107422561A (zh) * | 2017-09-22 | 2017-12-01 | 惠科股份有限公司 | 主动开关阵列基板及液晶显示面板 |
| WO2023070574A1 (zh) * | 2021-10-29 | 2023-05-04 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示基板及其制造方法和显示装置 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07114030A (ja) * | 1993-10-19 | 1995-05-02 | Optrex Corp | 液晶表示素子 |
| US5946057A (en) * | 1997-05-28 | 1999-08-31 | Nec Corporation | Liquid crystal display having electrostatic discharge damage prevention |
| JP2000098426A (ja) * | 1998-09-22 | 2000-04-07 | Hitachi Ltd | アクティブマトリクス基板およびこの基板を用いた液晶表示装置 |
| US7202923B2 (en) * | 2001-11-27 | 2007-04-10 | Sharp Kabushiki Kaisha | Liquid crystal display with polarizer with inclined edge portion |
| JP2004212955A (ja) * | 2002-12-16 | 2004-07-29 | Sharp Corp | 液晶表示装置 |
| SG142140A1 (en) * | 2003-06-27 | 2008-05-28 | Semiconductor Energy Lab | Display device and method of manufacturing thereof |
| KR101024642B1 (ko) * | 2003-11-13 | 2011-03-25 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시패널 및 그 제조방법 |
| KR20050054335A (ko) * | 2003-12-04 | 2005-06-10 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시패널 및 그 제조방법 |
-
2006
- 2006-06-05 KR KR1020060050603A patent/KR100939221B1/ko active IP Right Grant
- 2006-12-14 US US11/638,518 patent/US7692754B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100926429B1 (ko) * | 2007-12-21 | 2009-11-12 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시장치 및 그 제조방법 |
| US8179493B2 (en) | 2007-12-21 | 2012-05-15 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal display device and manufacturing method thereof |
| US8755016B2 (en) | 2010-11-08 | 2014-06-17 | Beijing Boe Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Liquid crystal panel, TFT array substrate and manufacturing method thereof |
| KR20160142465A (ko) * | 2015-06-02 | 2016-12-13 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US7692754B2 (en) | 2010-04-06 |
| KR100939221B1 (ko) | 2010-01-28 |
| US20070279543A1 (en) | 2007-12-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100939221B1 (ko) | 액정표시장치 및 그 제조 방법 | |
| KR101165472B1 (ko) | 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조방법 | |
| US7796202B2 (en) | Liquid crystal display and fabricating method thereof | |
| JP5311531B2 (ja) | 半導体チップの実装された表示パネル | |
| KR100602062B1 (ko) | 수평 전계 인가형 액정 표시 장치 및 그 제조 방법 | |
| CN101211045B (zh) | 液晶显示装置及其制造方法 | |
| JP6051011B2 (ja) | 液晶表示装置およびその製造方法 | |
| KR100470208B1 (ko) | 수평 전계 인가형 액정 표시 장치 및 그 제조 방법 | |
| KR101267065B1 (ko) | 액정표시장치 및 그 제조방법 | |
| US20110102719A1 (en) | Horizontal-electric-field liquid crystal display apparatus | |
| KR101592011B1 (ko) | 액정 표시 장치 | |
| US8754999B2 (en) | Liquid crystal display and method for repairing defective pixel | |
| US9798206B2 (en) | Liquid crystal display apparatus | |
| JP2001343669A (ja) | 液晶表示装置 | |
| JP2011186138A (ja) | アレイ基板、および液晶表示装置 | |
| KR20150084127A (ko) | 표시 기판, 표시 기판의 제조 방법 및 이를 포함하는 표시 장치 | |
| US8536576B2 (en) | Array substrate and display device | |
| KR20150089252A (ko) | 표시 기판 및 표시 기판용 모기판의 제조 방법 | |
| KR20070116511A (ko) | 액정표시장치 및 그 제조 방법 | |
| KR101383964B1 (ko) | 액정표시장치 및 그 제조 방법 | |
| KR101366916B1 (ko) | 액정표시장치 | |
| JP2011002609A (ja) | 横電界方式の液晶表示装置 | |
| JP5800070B2 (ja) | アレイ基板、および液晶表示装置 | |
| JP2012145619A (ja) | 電気光学装置の製造方法および電気光学装置 | |
| KR100600088B1 (ko) | 수평 전계 인가형 액정 표시 장치 및 그 제조 방법 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20121228 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20131227 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20141230 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20151228 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20161214 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20171218 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20181226 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20191212 Year of fee payment: 11 |