KR20070115083A - 밀폐형 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치 - Google Patents

밀폐형 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치 Download PDF

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KR20070115083A
KR20070115083A KR1020060048918A KR20060048918A KR20070115083A KR 20070115083 A KR20070115083 A KR 20070115083A KR 1020060048918 A KR1020060048918 A KR 1020060048918A KR 20060048918 A KR20060048918 A KR 20060048918A KR 20070115083 A KR20070115083 A KR 20070115083A
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Abstract

밀폐형 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치가 제공된다. 상기 장치는 공정설비의 일측에 장착되는 장치몸체와, 밀폐형 웨이퍼 카세트가 안착되도록 상기 장치몸체에서 일측방향으로 일정거리 연장돌출된 로드부와, 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트 내 웨이퍼가 상기 공정설비 내부로 이송되도록 상기 장치몸체의 일면에 형성된 출입구와, 상기 출입구의 가장자리 부분에 형성되며 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트가 상기 장치몸체에 밀착되도록 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트를 안내하는 가이드와, 상기 로드부에 설치되며 상기 로드부에 안착된 밀폐형 웨이퍼 카세트를 상기 가이드에 밀착시키거나 상기 가이드에 밀착된 밀폐형 웨이퍼 카세트를 상기 가이드로부터 소정간격 이격시키는 이동트레이 및, 상기 로드부에 설치되며 상기 가이드로부터 소정간격 이격된 밀폐형 웨이퍼 카세트가 언로딩되는지의 여부를 감지하는 카세트 언로딩 감지센서를 포함한다.

Description

밀폐형 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치{Shielding type wafer cassette loading unloading apparatus}
도 1은 본 발명에 따른 밀폐형 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치의 일실시예를 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치의 카세트 언로딩 감지센서에 밀폐형 웨이퍼 카세트가 감지된 상태를 도시한 사시도이다.
도 3은 도 2의 A부분을 확대도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 밀폐형 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치의 구성을 도시한 블록도이다.
**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**
110 : 출입구
130 : 로드부
140 : 장치몸체
150 : 도어개폐유닛
160 : 카세트 언로딩 감지센서
170 : 알람발생유닛
본 발명은 반도체 디바이스를 제조하기 위한 장치에 관한 것으로, 특히, 웨이퍼가 그 내부에 수납될 시 그 수납된 웨이퍼를 밀폐하는 밀폐형 웨이퍼 카세트를 로딩 또는 언로딩하기 위한 밀폐형 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치에 관한 것이다.
최근 들어 반도체 제조기술의 눈부신 발달로 그 회로선폭이 1㎛에도 훨씬 못미치는 매우 정밀한 회로선폭을 갖는 반도체 디바이스(Device)가 계속 개발 및 출시되고 있다.
하지만, 이와 같은 매우 정밀한 회로선폭을 갖는 반도체 디바이스는 제조에 매우 민감할 뿐만 아니라 초미세 구조를 갖고 있기 때문에, 미세한 파티클(Particle)이나 극미량의 오염 등에 의해서도 그 제품 수율이나 품질신뢰성이 급격히 낮아질 수 있다.
따라서, 이와 같은 반도체 디바이스를 제조함에 있어서, 높은 제품 수율과 높은 품질신뢰성을 얻기 위해서는 미세한 파티클이나 극미량의 오염 등을 미연에 차단 및 제거하는 것이 매우 중요하다.
이에 따라, 반도체 디바이스를 제조하기 위하여 각 공정을 수행하는 공정설비 등은 내부로부터 발생되는 미세한 파티클이나 극미량의 오염 등의 발생요인을 최소화하면서도 외부로부터 유입되는 미세한 파티클이나 극미량의 오염 등은 미연 에 차단함으로써, 높은 제품 수율과 높은 제품신뢰성을 얻고 있다.
특히, 300mm 이상의 웨이퍼를 이용하여 반도체 디바이스를 제조하는 반도체 제조시스템에서는 웨이퍼를 운반하는 웨이퍼 카세트 뿐만 아니라 이러한 웨이퍼 카세트를 로딩 또는 언로딩하는 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치에 있어서도 외부로부터 내부를 밀폐하여 국소청정화(Mini-environments)를 구현함으로써, 높은 제품 수율과 높은 제품신뢰성을 얻고 있다.
따라서, 300mm 이상의 웨이퍼를 이용하여 반도체 디바이스를 제조하는 반도체 제조시스템에서는 전면에 도어(Door)를 구비하여 외부로부터 내부에 정렬된 웨이퍼를 밀폐시켜주는 밀폐형 웨이퍼 카세트{FOUP(Front Opening Unified Pod)이라고도 함)와, 이러한 밀폐형 웨이퍼 카세트가 각 공정설비로 이송될 경우 각 공정설비의 일측에 장착되어 이와 같이 이송되는 밀폐형 웨이퍼 카세트를 로딩 또는 언로딩시켜주는 밀폐형 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치가 사용되고 있다.
이하, 종래 밀폐형 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치의 일 예에 대해 구체적으로 설명하기로 한다.
종래 밀폐형 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치는 밀폐형 웨이퍼 카세트가 안착되는 로드부와, 로드부에 안착된 밀폐형 웨이퍼 카세트 내의 웨이퍼가 공정설비의 내부로 이송될 수 있도록 형성된 출입구와, 출입구를 선택적으로 개폐시켜주는 출입구 오픈유닛과, 로드부에 설치되며 밀폐형 웨이퍼 카세트 내의 웨이퍼가 외부로부터 밀폐된 상태에서 공정설비 내부로 이송될 수 있도록 밀폐형 웨이퍼 카세트를 밀폐형 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치의 출입구로 이동 및 밀착시켜주는 이동 트레이를 구비한다.
따라서, 종래 밀폐형 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치는 다음과 같이 동작된다.
즉, 웨이퍼가 그 내부에 정렬된 밀폐형 웨이퍼 카세트가 로드부의 이동트레이에 안착되면, 종래 밀폐형 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치는 로드부에 안착된 밀폐형 웨이퍼 카세트를 이동트레이를 이용하여 밀폐형 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치의 출입구로 이동 및 밀착시킨 다음 출입구 오픈유닛으로 하여금 이와 같이 밀착된 밀폐형 웨이퍼 카세트의 도어를 오픈시킨 뒤 밀폐형 웨이퍼 카세트 내 웨이퍼를 공정설비의 내부로 이송함으로써, 공정설비가 공정을 진행하도록 하고 있다.
그리고, 각 공정설비의 내부에서 공정 진행이 완료되면, 종래 밀폐형 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치는 공정 진행이 완료된 웨이퍼를 모두 출입구에 밀착된 밀폐형 웨이퍼 카세트의 내부로 이송하고 도어를 클로우즈시킨 뒤 도어가 클로우즈된 밀폐형 웨이퍼 카세트를 그 출입구로부터 소정간격만큼 이격시킴으로써, 공정 진행이 완료된 웨이퍼가 후속공정으로 이송되도록 하고 있다.
이에, 밀폐형 웨이퍼 카세트를 공정의 진행에 따라 이송하는 밀폐형 웨이퍼 카세트 이송장치는 이와 같이 그 출입구로부터 소정간격만큼 이격된 밀폐형 웨이퍼 카세트를 후속공정으로 이송함으로써, 반도체 디바이스의 제조공정이 연속적으로 진행되도록 하고 있다.
하지만, 종래 밀폐형 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치에는 그 출입구로부터 소정간격만큼 이격된 밀폐형 웨이퍼 카세트가 밀폐형 웨이퍼 카세트 이송장치에 의 해 미리 설정된 시간 내에 후속공정으로 이송되고 있는지를 감지하는 수단이 전혀 구비되어 있지 않다.
따라서, 밀폐형 웨이퍼 카세트가 그 출입구로부터 소정간격만큼 이격되어 후속공정으로의 이송이 필요하다는 신호가 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치에 의해 발생되지 않거나 이 발생된 신호가 밀폐형 웨이퍼 카세트 이송장치에 전달되지 못하는 등의 제반 통신문제가 발생될 경우에는 밀폐형 웨이퍼 카세트가 후속공정으로 이송되지 못하고 계속 밀폐형 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치의 로드부에 위치하게 되는데, 종래 밀폐형 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치는 이를 전혀 감지할 수 없는 문제점이 있다. 그러므로, 종래 밀폐형 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치에 따르면, 후속공정으로의 이송이 필요한 밀폐형 웨이퍼 카세트가 제반 이유에 의하여 이송되지 못하고 있는 것을 미연에 감지할 수 없기 때문에 그 감지하지 못한 시간만큼 물류이동 로스(Loss)가 발생되어지는 문제가 있다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 감안하여 안출한 것으로써, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 밀폐형 웨이퍼 카세트가 후속공정으로 이송되지 못할 시 이를 감지할 수 있는 밀폐형 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치를 제공하는데 있다.
이와 같은 기술적 과제를 구현하기 위한 본 발명은 공정설비의 일측에 장착되는 장치몸체와, 밀폐형 웨이퍼 카세트가 안착되도록 상기 장치몸체에서 일측방향 으로 일정거리 연장돌출된 로드부와, 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트 내 웨이퍼가 상기 공정설비 내부로 이송되도록 상기 장치몸체의 일면에 형성된 출입구와, 상기 출입구의 가장자리 부분에 형성되며 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트가 상기 장치몸체에 밀착되도록 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트를 안내하는 가이드와, 상기 로드부에 설치되며 상기 로드부에 안착된 밀폐형 웨이퍼 카세트를 상기 가이드에 밀착시키거나 상기 가이드에 밀착된 밀폐형 웨이퍼 카세트를 상기 가이드로부터 소정간격 이격시키는 이동트레이 및, 상기 로드부에 설치되며 상기 가이드로부터 소정간격 이격된 밀폐형 웨이퍼 카세트가 언로딩되는지의 여부를 감지하는 카세트 언로딩 감지센서를 포함하는 밀폐형 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치를 제공한다.
다른 실시예에 있어서, 상기 카세트 언로딩 감지센서는 광 센서일 수 있다.
또다른 실시예에 있어서, 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치는 상기 카세트 언로딩 감지센서에 연결되어 상기 카세트 언로딩 감지센서의 감지 값에 따라 알람을 발생하는 알람발생유닛을 더 포함할 수 있다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
도 1은 본 발명에 따른 밀폐형 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치의 일실시예를 도시한 사시도이고, 도 2는 본 발명 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치의 카세트 언로딩 감지센서에 밀폐형 웨이퍼 카세트가 감지된 상태를 도시한 사시도이며, 도 3은 도 2의 A부분을 확대도시한 도면이다. 그리고, 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 밀폐형 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치의 구성을 도시한 블록도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 밀폐형 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치(100)는 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)를 로딩 또는 언로딩하기 위하여 공정설비(200)의 일측에 장착되는 장치몸체(140)와, 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)가 안착되도록 상기 장치몸체(140)의 일측에 마련된 로드부(130) 및, 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치(100)를 전반적으로 제어하도록 상기 장치몸체(140)의 내부에 구비된 제어유닛(190)을 포함한다. 상기 공정설비(200)는 반도체 디바이스를 제조하기 위한 공정을 수행한다. 예를 들면, 상기 공정설비(200)는 사진공정, 박막형성공정, 식각공정 등을 수행한다.
보다 구체적으로 설명하면, 상기 장치몸체(140)의 일면에는 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80) 내 웨이퍼가 상기 공정설비(200) 내부로 이송될 수 있도록 출입구(110)가 형성된다. 상기 출입구(110)는 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)의 일면을 밀폐하는 도어(미도시)의 크기와 유사한 크기로 형성될 수 있다. 그리고, 상기 출입구(110)는 노말 클로우즈 타입(Normal close type)으로 형성될 수 있다. 즉, 상기 출입구(110)는 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)가 밀착되어 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)의 도어가 오픈될 경우를 제외하고는 모두 후술될 도어 홀더(155)에 의 하여 밀폐될 수 있다. 한편, 상기 출입구(110)의 가장자리 부분에는 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)가 상기 장치몸체(140)에 밀착되도록 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)를 안내하는 가이드(112)가 형성된다. 따라서, 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)는 상기 출입구(110)의 가장자리 부분에 형성된 가이드(112)에 밀착됨으로써, 외부로부터 기밀을 유지할 수 있게 된다. 여기서, 상기 가이드(112)는 소정 탄성이 있는 탄성부재로 형성될 수 있다.
또한, 상기 장치몸체(140)의 내부에는 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)의 도어를 개폐시켜주는 도어개폐유닛(150)과, 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80) 내 웨이퍼를 상기 공정설비(200) 내부로 이송시켜주는 웨이퍼 이송유닛(180)이 구비된다. 따라서, 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)가 상기 가이드(112)에 밀착되면, 상기 도어개폐유닛(150)은 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)의 도어를 오픈시키게 되고, 상기 웨이퍼 이송유닛(180)은 도어가 오픈된 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80) 내부에서 웨이퍼를 인출하여 이를 공정설비(200)의 내부로 이송하게 된다. 이때, 상기 도어개폐유닛(150)은 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)가 상기 가이드(112)에 밀착되지 않을 시에는 상기 출입구(110)를 밀폐함과 아울러 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)가 상기 가이드(112)에 밀착될 시에는 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)의 도어를 홀딩하는 도어 홀더(155)와, 상기 도어 홀더(155)가 상기 도어를 홀딩할 수 있도록 상기 도어 홀더(155)에 마련된 도어흡착부(156) 및, 상기 출입구(110)가 개폐되도록 상기 도어 홀더(155)를 상하 등의 방향으로 이동시키는 이동암(미도시)을 포함할 수 있다.
한편, 상기 로드부(130)는 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)가 안착되도록 상기 장치몸체(140)에서 그 일측방향으로 일정거리 연장돌출 형성된다. 구체적으로, 상기 로드부(130)는 상기 출입구(110)가 형성된 상기 장치몸체(140)로부터 그 일측방향으로 일정거리 연장돌출 형성되되, 그 로드부(130)의 끝단은 상기 출입구(110)의 하단 측에 연결될 수 있다. 따라서, 상기 로드부(130)로 로딩된 웨이퍼는 상기 출입구(110)를 통해 상기 공정설비(200)로 이송될 수 있다.
그리고, 상기 로드부(130)에는 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)의 하부를 지지하여 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)를 이동시키는 이동트레이(131)와, 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)의 안착 여부를 감지하는 카세트 안착 감지센서(135)와, 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)의 언로딩 여부를 감지하는 카세트 언로딩 감지센서(160)가 설치된다.
구체적으로, 상기 이동트레이(131)는 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)의 하부를 지지하도록 상기 로드부(130)의 상부에 설치되며, 상기 로드부(130)에 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)가 안착될 시 상기 로드부(130)에 안착된 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)를 상기 가이드(112)에 밀착시키거나 상기 가이드(112)에 밀착된 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)를 상기 가이드(112)로부터 소정간격 이격시키는 역할을 한다. 이때, 상기 이동트레이(131)의 상면에는 다수의 안착돌기(132)가 형성될 수 있다. 따라서, 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)가 상기 로드부(130)에 안착될 시 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)는 상기 로드부(130)에 설치된 상기 이동트레이(131)의 안착돌기(132)에 끼워질 수 있다. 따라서, 상기 이동트레이(131)는 전후 등의 방향으 로 소정거리 이동됨으로써, 상기 안착돌기(132)에 끼워진 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)를 상기 가이드(112)에 밀착시키거나 상기 가이드(112)에 밀착된 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)를 상기 가이드(112)로부터 소정간격 이격시킬 수 있다.
상기 카세트 안착 감지센서(135)는 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)가 안착되었는지를 감지하기 위하여 상기 이동트레이(131)의 상면에 설치될 수 있다. 따라서, 상기 이동트레이(131)에 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)가 안착될 시 상기 카세트 안착 감지센서(135)는 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)를 감지하게 되고, 그 감지 값을 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치(100)의 제어유닛(190)으로 전송하게 된다. 따라서, 상기 제어유닛(190)은 상기 전송 값에 따라 상기 이동트레이(131)를 제어하여 상기 이동트레이(131)에 안착된 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)를 상기 가이드(112) 측으로 이송하여 상기 가이드(112)에 밀착시키게 된다. 여기서, 상기 카세트 안착 감지센서(135)는 무게감지센서 또는 광 센서일 수 있다.
상기 카세트 언로딩 감지센서(160)는 상기 출입구(110)에 연결되지 않은 상기 로드부(130)의 끝단 측에 설치되며 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)의 언로딩 여부를 감지하는 역할을 한다. 구체적으로, 상기 로드부(130)에 로딩된 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)는 상기 로드부(130)에 로딩된 다음 공정이 진행되도록 상기 가이드(112)에 밀착되고, 공정이 진행완료된 다음에는 후속공정을 위해 상기 가이드(112)에서 소정간격 이격되어진다. 따라서, 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)를 후속공정으로 이송하는 밀폐형 웨이퍼 카세트 이송장치(미도시)는 이와 같이 상기 가이드(112)에서 소정간격 이격된 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)의 걸림부(84)를 홀딩하 여 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)를 후속공정으로 이송하게 된다. 이때, 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)가 상기 가이드(112)로부터 소정간격만큼 이격되어 후속공정으로의 이송이 필요하다는 신호가 상기 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치(110)에 의해 발생되지 않거나 상기 발생된 신호가 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트 이송장치에 전달되지 못하는 등의 제반 통신문제가 발생될 경우에는 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)가 후속공정으로 이송되지 못하고 계속 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치(100)의 로드부(130)에 위치하게 되는데, 종래 밀폐형 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치는 이를 전혀 감지할 수 없었으나, 본 발명에 구비된 카세트 언로딩 감지센서(160)는 이를 감지하게 되며, 그 감지 값을 상기 제어유닛(190)으로 전송하게 된다. 여기서, 상기 카세트 언로딩 감지센서(160)는 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 광의 수광 여부에 따라 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)의 언로딩 여부를 감지하는 광 센서일 수 있다. 이 경우, 상기 카세트 언로딩 감지센서(160)에는 소정 광을 수광하는 수광부(164)와, 소정 광을 발광하여 이를 상기 수광부(164) 측으로 조사하는 발광부(162)를 구비할 수 있다. 따라서, 상기 카세트 언로딩 감지센서(160)는 상기 발광부(162)에서 조사한 광이 상기 수광부(164)에 수광되는지의 여부를 통해 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)의 언로딩을 감지하게 된다.
한편, 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치(100)는 상기 카세트 언로딩 감지센서(160)의 감지 값에 따라 선택적으로 알람을 발생하는 알람발생유닛(170)을 더 구비할 수 있다. 이 경우, 상기 알람발생유닛(170)은 상기 카세트 언로딩 감지센서(160)의 감지 값에 따라 선택적으로 알람을 발생시킴으로, 상기 로드 부(130)에서의 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)의 상태가 어떠한 상태인지를 외부로 알리게 된다. 일 실시예로, 상기 알람발생유닛(170)은 상기 카세트 언로딩 감지센서(160)에 의해 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)가 감지될 시 이 감지된 값에 따라 알람을 발생시키게 된다. 따라서, 유저 등은 이 알람을 통해 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)가 후속공정으로 언로딩되지 못하였음을 인지하게 되고, 이를 통해 문제를 해결하게 된다. 한편, 상기 알람발생유닛(170)은 상기 카세트 언로딩 감지센서(160)에 직접 연결되어 그 감지 값에 따라 알람을 발생하도록 설치될 수도 있지만, 다른 실시예로, 도 4에 도시한 바와 같이 제어유닛을 매개로 연결될 수도 있다. 이 경우, 상기 제어유닛(190)은 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)가 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트 이송장치에 의해 일반적으로 이송되어지는 시간을 미리 소정 시간으로 설정한 다음, 상기 설정된 시간 내에 상기 로드부(130)에서 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)가 감지될 경우에는 알람을 발생시키지 않도록 상기 알람발생유닛(170)을 제어하게 되고, 만일 상기 설정된 시간이 지난 후에도 상기 로드부(130)에서 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)가 감지될 경우에는 알람을 발생시키도록 상기 알람발생유닛(170)을 제어하게 된다.
이하, 이상과 같이 구성된 본 발명 밀폐형 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치(100)의 작용 및 효과를 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
먼저, 밀폐형 웨이퍼 카세트(80) 내에 다수의 웨이퍼가 수납되어 본 발명 밀폐형 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치(100)의 로드부(130)에 로딩되어 상기 로드 부(130) 내 이동트레이(131) 상에 안착되면, 상기 이동트레이(131) 상에 설치된 카세트 안착 감지센서(135)는 이 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)의 안착을 감지하게 되고, 그 감지 값을 제어유닛(190)으로 전송하게 된다.
이후, 상기 제어유닛(190)은 상기 이동트레이(131)에 소정 시그날을 전송하게 되고, 상기 이동트레이(131)는 이 전송된 시그날에 의해 이동되어 상기 이동트레이(131) 상의 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)를 출입구(110)의 가이드(112)에 밀착시키게 된다.
계속하여, 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)가 상기 가이드(112)에 밀착되면, 도어개폐유닛(150)은 상기 가이드(112)에 밀착된 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)의 도어를 오픈시키게 되고, 웨이퍼 이송유닛(180)은 상기 도어가 오픈된 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80) 내에서 웨이퍼를 인출하여 이를 공정설비(200) 내부로 이송하게 된다.
이후, 상기 공정설비(200) 내에서 공정 진행이 완료되어 상기 공정설비(200) 내 웨이퍼가 본 발명 밀폐형 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치(100) 측으로 이송되면, 상기 웨이퍼 이송유닛(180)은 이와 같이 이송된 웨이퍼를 상기 도어가 오픈된 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80) 내부로 이송하게 되고, 상기 도어개폐유닛(150)은 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)의 도어를 클로우즈시키게 된다.
다음, 상기 도어개폐유닛(150)에 의해 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)의 도어가 클로우즈되면, 상기 제어유닛(190)은 상기 이동트레이(131)에 소정 시그날을 전송하게 되고, 상기 이동트레이(131)는 상기 가이드(112)에 밀착된 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)를 상기 가이드(112)로부터 소정 간격 이격시키게 된다.
이후, 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)가 상기 가이드(112)로부터 소정간격 이격되면, 상기 제어유닛(190)은 미리 설정된 소정시간 내에 상기 이격된 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)가 밀폐형 웨이퍼 카세트 이송장치 등에 의해 후속공정으로 언로딩되는 지를 감지하게 된다. 따라서, 상기 설정된 시간 내에 상기 로드부(130)에서 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)가 언로딩되면, 상기 제어유닛(190)은 상기 알람발생유닛(170)을 제어하여 알람을 발생시키지 않게 된다. 그러나, 만일 상기 설정된 시간이 지난 후에도 상기 로드부(130)에서 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)가 감지될 경우, 상기 제어유닛(190)은 상기 알람발생유닛(170)을 제어하여 알람을 발생시키게 된다. 따라서, 유저 등은 이 알람을 통해 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트(80)가 미리 설정된 시간 내에 후속공정으로 언로딩되지 못하였음을 인지하게 되고, 이를 통해 문제를 해결하게 된다.
이상, 본 발명은 도시된 실시예를 참고로 설명하였으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 그러므로 본 발명의 범위는 첨부된 특허청구의 범위와 이와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
상술한 바와 같이 본 발명 밀폐형 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치에 따르면, 밀폐형 웨이퍼 카세트가 로딩 또는 언로딩되는 로드부에 카세트 언로딩 감지센서가 설치되기 때문에 가이드에서 소정간격 이격된 밀폐형 웨이퍼 카세트가 미리 설정된 소정 시간 내에 후속공정으로 이송되지 못할 경우에는 이를 정확하게 감지할 수 있게 된다. 따라서, 본 발명에 따르면, 밀폐형 웨이퍼 카세트가 후속공정을 이송되지 못하여 발생되는 제반 문제 예를 들면, 물류이동로스 등의 문제를 미연에 방지할 수 있게 된다.

Claims (3)

  1. 공정설비의 일측에 장착되는 장치몸체;
    밀폐형 웨이퍼 카세트가 안착되도록 상기 장치몸체에서 일측방향으로 일정거리 연장돌출된 로드부;
    상기 밀폐형 웨이퍼 카세트 내 웨이퍼가 상기 공정설비 내부로 이송되도록 상기 장치몸체의 일면에 형성된 출입구;
    상기 출입구의 가장자리 부분에 형성되며, 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트가 상기 장치몸체에 밀착되도록 상기 밀폐형 웨이퍼 카세트를 안내하는 가이드;
    상기 로드부에 설치되며 상기 로드부에 안착된 밀폐형 웨이퍼 카세트를 상기 가이드에 밀착시키거나 상기 가이드에 밀착된 밀폐형 웨이퍼 카세트를 상기 가이드로부터 소정간격 이격시키는 이동트레이; 및,
    상기 로드부에 설치되며 상기 가이드로부터 소정간격 이격된 밀폐형 웨이퍼 카세트가 언로딩되는지의 여부를 감지하는 카세트 언로딩 감지센서를 포함한 것을 특징으로 하는 밀폐형 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 카세트 언로딩 감지센서는 광 센서인 것을 특징으로 하는 밀폐형 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 카세트 언로딩 감지센서에 연결되며,
    상기 카세트 언로딩 감지센서의 감지 값에 따라 알람을 발생하는 알람발생유닛을 더 포함한 것을 특징으로 하는 밀폐형 웨이퍼 카세트 로딩/언로딩 장치.
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