KR20070114649A - Radiation sensitive composition for forming a colored layer, color filter and color liquid crystal display device - Google Patents

Radiation sensitive composition for forming a colored layer, color filter and color liquid crystal display device Download PDF

Info

Publication number
KR20070114649A
KR20070114649A KR1020070051307A KR20070051307A KR20070114649A KR 20070114649 A KR20070114649 A KR 20070114649A KR 1020070051307 A KR1020070051307 A KR 1020070051307A KR 20070051307 A KR20070051307 A KR 20070051307A KR 20070114649 A KR20070114649 A KR 20070114649A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
meth
acid
acrylate
pigment
unsaturated compound
Prior art date
Application number
KR1020070051307A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101529720B1 (en
Inventor
사또시 모리시따
교스께 요다
Original Assignee
제이에스알 가부시끼가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP2006148161A external-priority patent/JP4706560B2/en
Priority claimed from JP2006148028A external-priority patent/JP4706559B2/en
Application filed by 제이에스알 가부시끼가이샤 filed Critical 제이에스알 가부시끼가이샤
Publication of KR20070114649A publication Critical patent/KR20070114649A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101529720B1 publication Critical patent/KR101529720B1/en

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/0045Photosensitive materials with organic non-macromolecular light-sensitive compounds not otherwise provided for, e.g. dissolution inhibitors
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/20Filters
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/20Filters
    • G02B5/201Filters in the form of arrays
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/0047Photosensitive materials characterised by additives for obtaining a metallic or ceramic pattern, e.g. by firing
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • G03F7/028Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with photosensitivity-increasing substances, e.g. photoinitiators
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20Exposure; Apparatus therefor

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Materials For Photolithography (AREA)
  • Optical Filters (AREA)

Abstract

A radiation-sensitive composition for forming a colored layer is provided to ensure excellent shelf stability as a liquid composition while maintaining good sensitivity, resolution and pattern shape, and to form a pattern having excellent solvent resistance and adhesion to a substrate. A radiation-sensitive composition for forming a colored layer comprises: (A) a colorant; (B) an alkali soluble resin; (C) a multi-functional monomer; and (D) a photopolymerization initiator. The alkali soluble resin(B) comprises a copolymer of: (b1) at least one first unsaturated compound selected from the group consisting of an unsaturated carboxylic acids, unsaturated carboxylic anhydrides and unsaturated phenolic compounds; and at least one second unsaturated compound selected from (b2) an unsaturated compound containing an oxetane backbone, and (b3) an unsaturated compound having a tetrahydrofuran backbone.

Description

착색층 형성용 감방사선성 조성물, 컬러 필터 및 컬러 액정 표시 소자 {RADIATION SENSITIVE COMPOSITION FOR FORMING A COLORED LAYER, COLOR FILTER AND COLOR LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE}Radiation-sensitive composition, color filter and color liquid crystal display element for colored layer formation {RADIATION SENSITIVE COMPOSITION FOR FORMING A COLORED LAYER, COLOR FILTER AND COLOR LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE}

[특허 문헌 1] 일본 특허 공개 (평)2-144502호 공보[Patent Document 1] Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-144502

[특허 문헌 2] 일본 특허 공개 (평)3-53201호 공보[Patent Document 2] Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-53201

본 발명은 착색층 형성용 감방사선성 조성물, 컬러 필터 및 컬러 액정 표시 소자에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 투과형 또는 반사형의 컬러 액정 표시 장치, 컬러 촬상관 소자 등에 사용되는 컬러 필터에 유용한 착색층의 형성에 이용되는 감방사선성 조성물, 상기 감방사선성 조성물을 이용하여 형성된 착색층을 구비하는 컬러 필터, 및 상기 컬러 필터를 구비하는 컬러 액정 표시 소자에 관한 것이다.The present invention relates to a radiation sensitive composition for forming a colored layer, a color filter, and a color liquid crystal display device. More specifically, the radiation sensitive composition used for formation of the colored layer useful for the color filter used for a transmissive or reflective color liquid crystal display device, a color imaging tube element, etc., and the colored layer formed using the said radiation sensitive composition are provided. It relates to a color filter, and a color liquid crystal display device comprising the color filter.

종래, 착색 감방사선성 조성물을 이용하여 컬러 필터를 제조함에 있어서는, 기판 상 또는 미리 원하는 패턴의 차광층을 형성한 기판 상에 착색 감방사선성 조성물을 도포하여 건조한 후, 건조 도막을 원하는 패턴 형상으로 방사선을 조사(이 하, "노광"이라 함)하고 현상함으로써 각 색의 화소를 얻는 방법(일본 특허 공개 (평)2-144502호 공보, 일본 특허 공개 (평)3-53201호 공보 참조)이 알려져 있다.Conventionally, in manufacturing a color filter using a colored radiation-sensitive composition, after applying a colored radiation-sensitive composition on a substrate or on a substrate on which a light shielding layer having a desired pattern is formed in advance, the dried coating film is formed into a desired pattern shape. A method of obtaining pixels of each color by irradiating radiation (hereinafter referred to as "exposure") and developing it (see Japanese Patent Laid-Open No. Hei 2-144502 and Japanese Patent Laid-Open No. Hei 3-53201). Known.

그리고, 최근의 컬러 필터 기술 분야에서는, 형성된 화소나 블랙 매트릭스 및 착색 감방사선성 조성물에 대한 요구 성능이 점점 더 엄격해져, 착색 감방사선성 조성물로서의 감도, 해상도, 패턴 형상 등에 더하여, 화소 및 블랙 매트릭스에는 광범위한 용제에 대한 내용제성 및 기판과의 밀착성이 우수한 것이 강하게 요구되고, 또한 컬러 필터의 생산 관리 면에서, 컬러 필터의 형성에 사용되는 착색 감방사선성 조성물에는 용매를 함유하는 액상 조성물로서의 보존 안정성이 우수한 점도 강하게 요구되고 있지만, 종래의 착색 감방사선성 조성물로는 이러한 요구를 충분히 만족시킬 수 없었다.In recent years, in the field of color filter technology, the performance requirements for formed pixels, black matrices, and colored radiation-sensitive compositions become increasingly stringent, and in addition to the sensitivity, resolution, pattern shape, and the like as colored radiation-sensitive compositions, pixels and black matrices There is a strong demand for excellent solvent resistance to a wide range of solvents and good adhesion to a substrate, and from the viewpoint of production control of color filters, the colored radiation-sensitive composition used for the formation of color filters is a storage stability as a liquid composition containing a solvent. Although this excellent viscosity is strongly demanded, such a request could not be sufficiently satisfied with the conventional colored radiation-sensitive composition.

본 발명의 목적은 용매를 함유하는 액상 조성물로서의 보존 안정성이 양호하고, 또한 광범위한 용제에 대한 내용제성, 기판과의 밀착성 등도 우수한 화소 및 블랙 매트릭스를 제공하는 신규한 착색층 형성용 감방사선성 조성물을 제공하는 데에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a novel radiation-sensitive composition for forming a colored layer, which provides a pixel and a black matrix having good storage stability as a liquid composition containing a solvent, excellent solvent resistance to a wide range of solvents, and adhesion to a substrate. To provide.

본 발명의 다른 목적은 컬러 필터 및 컬러 액정 표시 소자를 제공하는 데에 있다.Another object of the present invention is to provide a color filter and a color liquid crystal display device.

본 발명의 또 다른 목적 및 이점은 이하의 설명으로부터 명백해질 것이다.Still other objects and advantages of the present invention will become apparent from the following description.

본 발명에 따르면, 본 발명의 상기 목적 및 이점은 첫째로, According to the present invention, the above objects and advantages of the present invention are, firstly,

(A) 착색제, (B) 알칼리 가용성 수지, (C) 다관능성 단량체 및 (D) 광 중합 개시제를 함유하는 감방사선성 조성물이며, (B) 알칼리 가용성 수지가 (b1) 불포화 카르복실산, 불포화 카르복실산 무수물 및 불포화 페놀 화합물로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상의 제1 불포화 화합물, (b2) 옥세탄 골격을 갖는 불포화 화합물, 및 (b3) 테트라히드로푸란 골격을 갖는 불포화 화합물로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상의 제2 불포화 화합물의 공중합체를 포함하고, 상기 감방사선성 조성물이 착색층 형성에 이용되는 것을 특징으로 하는 감방사선성 조성물에 의해 달성된다.(A) A radiation sensitive composition containing a coloring agent, (B) alkali-soluble resin, (C) polyfunctional monomer, and (D) photoinitiator, (B) alkali-soluble resin is (b1) unsaturated carboxylic acid, unsaturated At least one first unsaturated compound selected from the group consisting of carboxylic anhydrides and unsaturated phenol compounds, (b2) unsaturated compounds having an oxetane skeleton, and (b3) unsaturated compounds having a tetrahydrofuran skeleton A radiation sensitive composition comprising a copolymer of at least one second unsaturated compound, wherein the radiation sensitive composition is used to form a colored layer.

본 발명에 있어서, 착색층이란 "화소 및/또는 블랙 매트릭스"를 의미한다.In the present invention, the colored layer means "pixel and / or black matrix".

본 발명에 따르면, 본 발명의 상기 목적 및 이점은 둘째로,According to the present invention, the above objects and advantages of the present invention are second,

본 발명의 감방사선성 조성물을 이용하여 형성된 착색층을 구비하여 이루어지는 컬러 필터에 의해 달성된다. It is achieved by the color filter which comprises the colored layer formed using the radiation sensitive composition of this invention.

또한, 본 발명에 따르면, 본 발명의 상기 목적 및 이점은 셋째로,In addition, according to the present invention, the above objects and advantages of the present invention are third,

본 발명의 컬러 필터를 구비하는 컬러 액정 표시 소자에 의해 달성된다.It is achieved by the color liquid crystal display device provided with the color filter of the present invention.

<발명을 실시하기 위한 최선의 형태>Best Mode for Carrying Out the Invention

이하, 본 발명에 대하여 상세히 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, this invention is demonstrated in detail.

감방사선성Radiation 조성물 Composition

-(A) 착색제--(A) colorant-

본 발명에서의 착색제는 색조가 특별히 한정되는 것은 아니며, 얻어지는 컬러 필터의 용도에 따라 적절히 선정되고, 안료, 염료 또는 천연 색소 중 어느 하나 일 수 있다. The coloring agent in this invention is not specifically limited in color tone, According to the use of the color filter obtained, it is suitably selected, It can be any of a pigment, dye, or a natural pigment.

컬러 필터에는 고정밀한 발색과 내열성이 요구되기 때문에, 본 발명에서의 착색제로서는 발색성이 높으면서 내열성이 높은 착색제, 특히 내열분해성이 높은 착색제가 바람직하고, 통상적으로 유기 안료 또는 무기 안료가 사용되고, 특히 바람직하게는 유기 안료, 카본 블랙이 사용된다.Since the color filter requires high color development and heat resistance, as the colorant in the present invention, a colorant having high color resistance and high heat resistance, particularly a colorant having high thermal decomposition resistance, is preferably used, and organic pigments or inorganic pigments are usually used, particularly preferably. The organic pigment, carbon black is used.

상기 유기 안료로서는, 예를 들면 컬러 인덱스(C.I.; 더 소사이어티 오브 다이어즈 앤드 컬러리스츠(The Society of Dyers and Colourists)사 발행)에서 피그먼트(Pigment)로 분류되어 있는 화합물, 구체적으로는 하기와 같은 컬러 인덱스(C.I.) 번호가 부여되어 있는 것을 들 수 있다.Examples of the organic pigment include compounds classified as pigments in the color index (CI; issued by The Society of Dyers and Colourists), specifically, The same color index (CI) number is attached | subjected.

C.I. 피그먼트 옐로우 1, C.I. 피그먼트 옐로우 3, C.I. 피그먼트 옐로우 12, C.I. 피그먼트 옐로우 13, C.I. 피그먼트 옐로우 14, C.I. 피그먼트 옐로우 15, C.I. 피그먼트 옐로우 16, C.I. 피그먼트 옐로우 17, C.I. 피그먼트 옐로우 20, C.I. 피그먼트 옐로우 24, C.I. 피그먼트 옐로우 31, C.I. 피그먼트 옐로우 55, C.I. 피그먼트 옐로우 60, C.I. 피그먼트 옐로우 61, C.I. 피그먼트 옐로우 65, C.I. 피그먼트 옐로우 71, C.I. 피그먼트 옐로우 73, C.I. 피그먼트 옐로우 74, C.I. 피그먼트 옐로우 81, C.I. 피그먼트 옐로우 83, C.I. 피그먼트 옐로우 93, C.I. 피그먼트 옐로우 95, C.I. 피그먼트 옐로우 97, C.I. 피그먼트 옐로우 98, C.I. 피그먼트 옐로우 100, C.I. 피그먼트 옐로우 101, C.I. 피그먼트 옐로우 104, C.I. 피그먼트 옐로우 106, C.I. 피그먼트 옐로우 108, C.I. 피그먼트 옐로우 109, C.I. 피그먼트 옐로우 110, C.I. 피그먼트 옐로우 113, C.I. 피그먼트 옐로우 114, C.I. 피그먼트 옐로우 116, C.I. 피그먼트 옐로우 117, C.I. 피그먼트 옐로우 119, C.I. 피그먼트 옐로우 120, C.I. 피그먼트 옐로우 126, C.I. 피그먼트 옐로우 127, C.I. 피그먼트 옐로우 128, C.I. 피그먼트 옐로우 129, C.I. 피그먼트 옐로우 138, C.I. 피그먼트 옐로우 139, C.I. 피그먼트 옐로우 150, C.I. 피그먼트 옐로우 151, C.I. 피그먼트 옐로우 152, C.I. 피그먼트 옐로우 153, C.I. 피그먼트 옐로우 154, C.I. 피그먼트 옐로우 155, C.I. 피그먼트 옐로우 156, C.I. 피그먼트 옐로우 166, C.I. 피그먼트 옐로우 168, C.I. 피그먼트 옐로우 175, C.I. 피그먼트 옐로우 180, C.I. 피그먼트 옐로우 185;C.I. Pigment Yellow 1, C.I. Pigment Yellow 3, C.I. Pigment Yellow 12, C.I. Pigment Yellow 13, C.I. Pigment Yellow 14, C.I. Pigment Yellow 15, C.I. Pigment Yellow 16, C.I. Pigment Yellow 17, C.I. Pigment Yellow 20, C.I. Pigment Yellow 24, C.I. Pigment Yellow 31, C.I. Pigment Yellow 55, C.I. Pigment Yellow 60, C.I. Pigment Yellow 61, C.I. Pigment Yellow 65, C.I. Pigment Yellow 71, C.I. Pigment Yellow 73, C.I. Pigment Yellow 74, C.I. Pigment Yellow 81, C.I. Pigment Yellow 83, C.I. Pigment Yellow 93, C.I. Pigment Yellow 95, C.I. Pigment Yellow 97, C.I. Pigment Yellow 98, C.I. Pigment Yellow 100, C.I. Pigment Yellow 101, C.I. Pigment Yellow 104, C.I. Pigment Yellow 106, C.I. Pigment Yellow 108, C.I. Pigment Yellow 109, C.I. Pigment Yellow 110, C.I. Pigment Yellow 113, C.I. Pigment Yellow 114, C.I. Pigment Yellow 116, C.I. Pigment Yellow 117, C.I. Pigment Yellow 119, C.I. Pigment Yellow 120, C.I. Pigment Yellow 126, C.I. Pigment Yellow 127, C.I. Pigment Yellow 128, C.I. Pigment Yellow 129, C.I. Pigment Yellow 138, C.I. Pigment Yellow 139, C.I. Pigment Yellow 150, C.I. Pigment Yellow 151, C.I. Pigment Yellow 152, C.I. Pigment Yellow 153, C.I. Pigment Yellow 154, C.I. Pigment Yellow 155, C.I. Pigment Yellow 156, C.I. Pigment Yellow 166, C.I. Pigment Yellow 168, C.I. Pigment Yellow 175, C.I. Pigment Yellow 180, C.I. Pigment yellow 185;

C.I. 피그먼트 오렌지 1, C.I. 피그먼트 오렌지 5, C.I. 피그먼트 오렌지 13, C.I. 피그먼트 오렌지 14, C.I. 피그먼트 오렌지 16, C.I. 피그먼트 오렌지 17, C.I. 피그먼트 오렌지 24, C.I. 피그먼트 오렌지 34, C.I. 피그먼트 오렌지 36, C.I. 피그먼트 오렌지 38, C.I. 피그먼트 오렌지 40, C.I. 피그먼트 오렌지 43, C.I. 피그먼트 오렌지 46, C.I. 피그먼트 오렌지 49, C.I. 피그먼트 오렌지 51, C.I. 피그먼트 오렌지 61, C.I. 피그먼트 오렌지 63, C.I. 피그먼트 오렌지 64, C.I. 피그먼트 오렌지 71, C.I. 피그먼트 오렌지 73;C.I. Pigment Orange 1, C.I. Pigment Orange 5, C.I. Pigment Orange 13, C.I. Pigment Orange 14, C.I. Pigment Orange 16, C.I. Pigment Orange 17, C.I. Pigment Orange 24, C.I. Pigment Orange 34, C.I. Pigment Orange 36, C.I. Pigment Orange 38, C.I. Pigment Orange 40, C.I. Pigment Orange 43, C.I. Pigment Orange 46, C.I. Pigment Orange 49, C.I. Pigment Orange 51, C.I. Pigment Orange 61, C.I. Pigment Orange 63, C.I. Pigment Orange 64, C.I. Pigment Orange 71, C.I. Pigment orange 73;

C.I. 피그먼트 바이올렛 1, C.I. 피그먼트 바이올렛 19, C.I. 피그먼트 바이올렛 23, C.I. 피그먼트 바이올렛 29, C.I. 피그먼트 바이올렛 32, C.I. 피그먼트 바이올렛 36, C.I. 피그먼트 바이올렛 38;C.I. Pigment Violet 1, C.I. Pigment Violet 19, C.I. Pigment Violet 23, C.I. Pigment Violet 29, C.I. Pigment violet 32, C.I. Pigment Violet 36, C.I. Pigment violet 38;

C.I. 피그먼트 레드 1, C.I. 피그먼트 레드 2, C.I. 피그먼트 레드 3, C.I. 피그먼트 레드 4, C.I. 피그먼트 레드 5, C.I. 피그먼트 레드 6, C.I. 피그먼트 레 드 7, C.I. 피그먼트 레드 8, C.I. 피그먼트 레드 9, C.I. 피그먼트 레드 10, C.I. 피그먼트 레드 11, C.I. 피그먼트 레드 12, C.I. 피그먼트 레드 14, C.I. 피그먼트 레드 15, C.I. 피그먼트 레드 16, C.I. 피그먼트 레드 17, C.I. 피그먼트 레드 18, C.I. 피그먼트 레드 19, C.I. 피그먼트 레드 21, C.I. 피그먼트 레드 22, C.I. 피그먼트 레드 23, C.I. 피그먼트 레드 30, C.I. 피그먼트 레드 31, C.I. 피그먼트 레드 32, C.I. 피그먼트 레드 37, C.I. 피그먼트 레드 38, C.I. 피그먼트 레드 40, C.I. 피그먼트 레드 41, C.I. 피그먼트 레드 42, C.I. 피그먼트 레드 48:1, C.I. 피그먼트 레드 48:2, C.I. 피그먼트 레드 48:3, C.I. 피그먼트 레드 48:4, C.I. 피그먼트 레드 49:1, C.I. 피그먼트 레드 49:2, C.I. 피그먼트 레드 50:1, C.I. 피그먼트 레드 52:1, C.I. 피그먼트 레드 53:1, C.I. 피그먼트 레드 57, C.I. 피그먼트 레드 57:1, C.I. 피그먼트 레드 57:2, C.I. 피그먼트 레드 58:2, C.I. 피그먼트 레드 58:4, C.I. 피그먼트 레드 60:1, C.I. 피그먼트 레드 63:1, C.I. 피그먼트 레드 63:2, C.I. 피그먼트 레드 64:1, C.I. 피그먼트 레드 81:1, C.I. 피그먼트 레드 83, C.I. 피그먼트 레드 88, C.I. 피그먼트 레드 90:1, C.I. 피그먼트 레드 97, C.I. Pigment Red 1, C.I. Pigment Red 2, C.I. Pigment Red 3, C.I. Pigment Red 4, C.I. Pigment Red 5, C.I. Pigment Red 6, C.I. Pigment Red 7, C.I. Pigment Red 8, C.I. Pigment Red 9, C.I. Pigment Red 10, C.I. Pigment Red 11, C.I. Pigment Red 12, C.I. Pigment Red 14, C.I. Pigment Red 15, C.I. Pigment Red 16, C.I. Pigment Red 17, C.I. Pigment Red 18, C.I. Pigment Red 19, C.I. Pigment Red 21, C.I. Pigment Red 22, C.I. Pigment Red 23, C.I. Pigment Red 30, C.I. Pigment Red 31, C.I. Pigment Red 32, C.I. Pigment Red 37, C.I. Pigment Red 38, C.I. Pigment Red 40, C.I. Pigment Red 41, C.I. Pigment Red 42, C.I. Pigment Red 48: 1, C.I. Pigment Red 48: 2, C.I. Pigment Red 48: 3, C.I. Pigment Red 48: 4, C.I. Pigment Red 49: 1, C.I. Pigment Red 49: 2, C.I. Pigment Red 50: 1, C.I. Pigment Red 52: 1, C.I. Pigment Red 53: 1, C.I. Pigment Red 57, C.I. Pigment Red 57: 1, C.I. Pigment Red 57: 2, C.I. Pigment Red 58: 2, C.I. Pigment Red 58: 4, C.I. Pigment Red 60: 1, C.I. Pigment Red 63: 1, C.I. Pigment Red 63: 2, C.I. Pigment Red 64: 1, C.I. Pigment Red 81: 1, C.I. Pigment Red 83, C.I. Pigment Red 88, C.I. Pigment Red 90: 1, C.I. Pigment Red 97,

C.I. 피그먼트 레드 101, C.I. 피그먼트 레드 102, C.I. 피그먼트 레드 104, C.I. 피그먼트 레드 105, C.I. 피그먼트 레드 106, C.I. 피그먼트 레드 108, C.I. 피그먼트 레드 112, C.I. 피그먼트 레드 113, C.I. 피그먼트 레드 114, C.I. 피그먼트 레드 122, C.I. 피그먼트 레드 123, C.I. 피그먼트 레드 144, C.I. 피그먼트 레드 146, C.I. 피그먼트 레드 149, C.I. 피그먼트 레드 150, C.I. 피그먼트 레드 151, C.I. 피그먼트 레드 166, C.I. 피그먼트 레드 168, C.I. 피그먼트 레드 170, C.I. 피그먼트 레드 171, C.I. 피그먼트 레드 172, C.I. 피그먼트 레드 174, C.I. 피그먼트 레드 175, C.I. 피그먼트 레드 176, C.I. 피그먼트 레드 177, C.I. 피그먼트 레드 178, C.I. 피그먼트 레드 179, C.I. 피그먼트 레드 180, C.I. 피그먼트 레드 185, C.I. 피그먼트 레드 187, C.I. 피그먼트 레드 188, C.I. 피그먼트 레드 190, C.I. 피그먼트 레드 193, C.I. 피그먼트 레드 194, C.I. 피그먼트 레드 202, C.I. 피그먼트 레드 206, C.I. 피그먼트 레드 207, C.I. 피그먼트 레드 208, C.I. 피그먼트 레드 209, C.I. 피그먼트 레드 215, C.I. 피그먼트 레드 216, C.I. 피그먼트 레드 220, C.I. 피그먼트 레드 224, C.I. 피그먼트 레드 226, C.I. 피그먼트 레드 242, C.I. 피그먼트 레드 243, C.I. 피그먼트 레드 245, C.I. 피그먼트 레드 254, C.I. 피그먼트 레드 255, C.I. 피그먼트 레드 264, C.I. 피그먼트 레드 265;C.I. Pigment Red 101, C.I. Pigment Red 102, C.I. Pigment Red 104, C.I. Pigment Red 105, C.I. Pigment Red 106, C.I. Pigment Red 108, C.I. Pigment Red 112, C.I. Pigment Red 113, C.I. Pigment Red 114, C.I. Pigment Red 122, C.I. Pigment Red 123, C.I. Pigment Red 144, C.I. Pigment Red 146, C.I. Pigment Red 149, C.I. Pigment Red 150, C.I. Pigment Red 151, C.I. Pigment Red 166, C.I. Pigment Red 168, C.I. Pigment Red 170, C.I. Pigment Red 171, C.I. Pigment Red 172, C.I. Pigment Red 174, C.I. Pigment Red 175, C.I. Pigment Red 176, C.I. Pigment Red 177, C.I. Pigment Red 178, C.I. Pigment Red 179, C.I. Pigment Red 180, C.I. Pigment Red 185, C.I. Pigment Red 187, C.I. Pigment Red 188, C.I. Pigment Red 190, C.I. Pigment Red 193, C.I. Pigment Red 194, C.I. Pigment Red 202, C.I. Pigment Red 206, C.I. Pigment Red 207, C.I. Pigment Red 208, C.I. Pigment Red 209, C.I. Pigment Red 215, C.I. Pigment Red 216, C.I. Pigment Red 220, C.I. Pigment Red 224, C.I. Pigment Red 226, C.I. Pigment Red 242, C.I. Pigment Red 243, C.I. Pigment Red 245, C.I. Pigment Red 254, C.I. Pigment Red 255, C.I. Pigment Red 264, C.I. Pigment red 265;

C.I. 피그먼트 블루 15, C.I. 피그먼트 블루 15:3, C.I. 피그먼트 블루 15:4, C.I. 피그먼트 블루 15:6, C.I. 피그먼트 블루 60; C.I. Pigment Blue 15, C.I. Pigment Blue 15: 3, C.I. Pigment Blue 15: 4, C.I. Pigment Blue 15: 6, C.I. Pigment blue 60;

C.I. 피그먼트 그린 7, C.I. 피그먼트 그린 36;C.I. Pigment Green 7, C.I. Pigment green 36;

C.I. 피그먼트 브라운 23, C.I. 피그먼트 브라운 25;C.I. Pigment Brown 23, C.I. Pigment brown 25;

C.I. 피그먼트 블랙 1, C.I. 피그먼트 블랙 7.C.I. Pigment Black 1, C.I. Pigment Black 7.

이들 유기 안료는 예를 들면 황산 재결정법, 용제 세정법이나, 이들의 조합 등에 의해 정제하여 사용할 수 있다.These organic pigments can be used, for example, by refining by sulfuric acid recrystallization, solvent washing, or a combination thereof.

또한, 상기 무기 안료로서는, 예를 들면 산화티탄, 황산바륨, 탄산칼슘, 산화아연, 황산납, 황색납, 아연황, 레드 오커(적색 산화철(III)), 카드뮴적, 군청, 감청, 산화크롬녹, 코발트녹, 앰버, 티탄 블랙, 합성철흑, 카본 블랙 등을 들 수 있다.Examples of the inorganic pigments include titanium oxide, barium sulfate, calcium carbonate, zinc oxide, lead sulfate, yellow lead, zinc sulfur, red ocher (red iron oxide (III)), cadmium, ultramarine blue, blue blue, and chromium oxide. Rust, cobalt rust, amber, titanium black, synthetic iron black, carbon black, etc. are mentioned.

본 발명에 있어서, 상기 유기 안료 및 무기 안료는 각각 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. 또한 유기 안료와 무기 안료를 병용할 수 있다. 화소를 형성할 때에는 바람직하게는 1종 이상의 유기 안료가 사용되고, 또한 블랙 매트릭스를 형성할 때에는 바람직하게는 2종 이상의 유기 안료 및/또는 카본 블랙이 사용된다.In the present invention, the organic pigment and the inorganic pigment may be used alone or in combination of two or more thereof. Moreover, an organic pigment and an inorganic pigment can be used together. When forming a pixel, preferably at least one organic pigment is used, and when forming a black matrix, preferably at least two organic pigments and / or carbon black are used.

본 발명에서는 상기 각 안료는 원한다면 그의 입자 표면을 중합체로 개질하여 사용할 수 있다. 안료의 입자 표면을 개질하는 중합체로서는, 예를 들면 일본 특허 공개 (평)8-259876호 공보 등에 기재된 중합체나, 시판되는 각종 안료 분산용 중합체 또는 올리고머 등을 들 수 있다.In the present invention, each of the pigments may be used by modifying the particle surface thereof with a polymer if desired. As a polymer which modifies the particle surface of a pigment, the polymer of Unexamined-Japanese-Patent No. 8-259876, etc., the polymer for various pigment dispersions, or oligomer etc. are mentioned, for example.

또한, 본 발명에 있어서, 착색제는 원한다면 분산제와 함께 사용할 수 있다.In addition, in the present invention, the colorant may be used together with a dispersant if desired.

상기 분산제로서는, 예를 들면 양이온계, 음이온계, 비이온계, 양쪽성, 실리콘계, 불소계 등의 계면활성제를 들 수 있다.As said dispersing agent, surfactant, such as a cationic type, an anionic type, nonionic type, amphoteric, silicone type, and fluorine type, is mentioned, for example.

상기 계면활성제로서는, 예를 들면 폴리옥시에틸렌라우릴에테르, 폴리옥시에틸렌스테아릴에테르, 폴리옥시에틸렌올레일에테르 등의 폴리옥시에틸렌알킬에테르; 폴리옥시에틸렌 n-옥틸페닐에테르, 폴리옥시에틸렌 n-노닐페닐에테르 등의 폴리옥시에틸렌알킬페닐에테르; 폴리에틸렌글리콜 디라우레이트, 폴리에틸렌글리콜 디스테아레이트 등의 폴리에틸렌글리콜 디에스테르; 소르비탄 지방산 에스테르; 지방산 변성 폴리에스테르; 3급 아민 변성 폴리우레탄; 폴리에틸렌이민 등 외에, 이하 상품명으로, KP(신에쯔 가가꾸 고교(주) 제조), 폴리플로우(교에이샤 가가꾸(주) 제 조), 에프톱(토켐 프로덕츠사 제조), 메가팩(다이닛본 잉크 가가꾸 고교(주) 제조), 플로라드(스미또모 쓰리엠(주) 제조), 아사히가드, 서프론(이상, 아사히 가라스(주) 제조), BYK, 디스퍼빅(Disperbyk)(이상, 빅케미 재팬(주) 제조), 솔스파스(세네카(주) 제조) 등을 들 수 있다.As said surfactant, For example, Polyoxyethylene alkyl ether, such as polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene stearyl ether, polyoxyethylene oleyl ether; Polyoxyethylene alkyl phenyl ethers such as polyoxyethylene n-octylphenyl ether and polyoxyethylene n-nonylphenyl ether; Polyethylene glycol diesters such as polyethylene glycol dilaurate and polyethylene glycol distearate; Sorbitan fatty acid esters; Fatty acid modified polyesters; Tertiary amine modified polyurethanes; In addition to polyethyleneimine and the like, KP (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), polyflow (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), F-Top (manufactured by Tochem Products Co., Ltd.), and Mega Pack (trade name) Dainippon Ink & Chemicals Co., Ltd.), Florad (Sumitomo 3M Co., Ltd.), Asahi Guard, Supron (above, Asahi Glass Co., Ltd.), BYK, Disperbyk (above) And Big Chemi Japan Co., Ltd., Sol Spas (Seneka Co., Ltd.), etc. are mentioned.

이들 계면활성제는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.These surfactant can be used individually or in mixture of 2 or more types.

계면활성제의 사용량은 착색제 100 중량부에 대하여 바람직하게는 50 중량부 이하, 보다 바람직하게는 0 내지 30 중량부이다.The amount of the surfactant to be used is preferably 50 parts by weight or less, more preferably 0 to 30 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the colorant.

본 발명에 있어서, 감방사선성 수지 조성물은 적절한 방법에 의해 제조할 수 있고, 예를 들면 (A) 내지 (D) 성분을 경우에 따라 용매나 후술하는 첨가제와 함께 혼합함으로써 제조할 수 있다. 착색제로서 안료를 이용하는 경우, 상기 안료를 용매 중에서 분산제의 존재하에, 경우에 따라 (B) 성분의 일부와 함께, 예를 들면 비드 밀, 롤 밀 등을 이용하여 분쇄하면서 혼합·분산하여 안료 분산액으로 하고, 이를 (B) 내지 (D) 성분과, 필요에 따라 추가의 용매나 첨가제를 첨가하여 혼합함으로써 제조하는 것이 바람직하다.In this invention, a radiation sensitive resin composition can be manufactured by a suitable method, for example, can be manufactured by mixing (A)-(D) component with a solvent and the additive mentioned later as needed. In the case of using a pigment as a colorant, the pigment is mixed and dispersed in the solvent in the presence of a dispersant, optionally with a part of component (B), for example, by grinding using a bead mill, a roll mill, or the like to obtain a pigment dispersion. And it is preferable to manufacture this by adding and mixing (B)-(D) component with an additional solvent and additive as needed.

안료 분산액을 제조할 때의 분산제의 사용량은 안료 100 중량부에 대하여 바람직하게는 100 중량부 이하, 보다 바람직하게는 0.5 내지 100 중량부, 더욱 바람직하게는 1 내지 70 중량부, 특히 바람직하게는 10 내지 50 중량부이다. 분산제의 사용량이 100 중량부를 초과하면, 현상성 등이 손상될 우려가 있다.The amount of the dispersant used in preparing the pigment dispersion is preferably 100 parts by weight or less, more preferably 0.5 to 100 parts by weight, still more preferably 1 to 70 parts by weight, particularly preferably 10 based on 100 parts by weight of the pigment. To 50 parts by weight. When the usage-amount of a dispersing agent exceeds 100 weight part, there exists a possibility that developability etc. may be impaired.

또한, 안료 분산액을 제조할 때에 사용되는 용매로서는, 예를 들면 후술하는 감방사선성 수지 조성물의 액상 조성물에 대하여 예시하는 용매와 동일한 것을 들 수 있다.Moreover, as a solvent used when manufacturing a pigment dispersion liquid, the same thing as the solvent illustrated about the liquid composition of the radiation sensitive resin composition mentioned later is mentioned, for example.

안료 분산액을 제조할 때의 용매의 사용량은 안료 100 중량부에 대하여 바람직하게는 500 내지 1,000 중량부, 보다 바람직하게는 700 내지 900 중량부이다.The amount of the solvent used when preparing the pigment dispersion is preferably 500 to 1,000 parts by weight, more preferably 700 to 900 parts by weight based on 100 parts by weight of the pigment.

안료 분산액의 제조에 있어서, 비드 밀을 이용하여 제조할 때에는, 예를 들면 직경 0.5 내지 10 ㎜ 정도의 유리 비드나 티타니아 비드 등을 사용하여, 안료, 용매 및 분산제를 포함하는 안료 혼합액을 바람직하게는 냉각수 등으로 냉각하면서 혼합·분산함으로써 실시할 수 있다.In the production of the pigment dispersion, when producing using a bead mill, a pigment mixture containing a pigment, a solvent, and a dispersant is preferably used, for example, glass beads or titania beads having a diameter of about 0.5 to 10 mm. It can carry out by mixing and dispersing, cooling with cooling water or the like.

이 경우, 비드의 충전율은 바람직하게는 밀 용량의 50 내지 80%이고, 안료 혼합액의 주입량은 바람직하게는 밀 용량의 20 내지 50% 정도이다. 또한, 처리 시간은 바람직하게는 2 내지 50 시간, 보다 바람직하게는 2 내지 25 시간이다.In this case, the filling rate of the beads is preferably 50 to 80% of the mill capacity, and the injection amount of the pigment mixed liquid is preferably about 20 to 50% of the mill capacity. Further, the treatment time is preferably 2 to 50 hours, more preferably 2 to 25 hours.

또한, 롤 밀을 이용하여 제조할 때에는, 예를 들면 3축 롤 밀이나 2축 롤 밀 등을 사용하고, 안료 혼합액을 바람직하게는 냉각수 등으로 냉각하면서 처리함으로써 실시할 수 있다.In addition, when manufacturing using a roll mill, it can carry out by processing, for example, using a triaxial roll mill, a biaxial roll mill, etc., cooling a pigment mixture liquid with cooling water etc. preferably.

이 경우, 롤 간격은 10 ㎛ 이하인 것이 바람직하고, 전단력은 바람직하게는 108 dyn/초 정도이다. 또한, 처리 시간은 바람직하게는 2 내지 50 시간, 보다 바람직하게는 2 내지 25 시간이다.In this case, it is preferable that a roll space | interval is 10 micrometers or less, and a shear force becomes like this. Preferably it is about 10 8 dyn / sec. Further, the treatment time is preferably 2 to 50 hours, more preferably 2 to 25 hours.

-(B) 알칼리 가용성 수지--(B) alkali-soluble resin-

본 발명에서의 알칼리 가용성 수지는 (b1) 불포화 카르복실산, 불포화 카르복실산 무수물 및 불포화 페놀 화합물로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상의 제1 불포화 화합물(이하, "산성 불포화 화합물"이라 하는 경우도 있음)과, (b2) 옥세탄 골격을 갖는 불포화 화합물 및 (b3) 테트라히드로푸란 골격을 갖는 불포화 화합물로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상의 제2 불포화 화합물의 공중합체를 포함하고, (A) 착색제에 대하여 결합제로서 작용하면서, 착색층을 형성할 때의 현상 처리 공정에서 사용되는 알칼리 현상액에 대하여 가용성을 갖는 성분이다.Alkali-soluble resin in this invention is a case where (b1) 1 or more 1st unsaturated compound selected from the group which consists of unsaturated carboxylic acid, unsaturated carboxylic anhydride, and unsaturated phenol compound (henceforth "acidic unsaturated compound") And (b) a copolymer of at least one second unsaturated compound selected from the group consisting of an unsaturated compound having an oxetane skeleton and (b3) an unsaturated compound having a tetrahydrofuran skeleton, and (A) a colorant. It is a component which has solubility with respect to the alkaline developing solution used at the image development process process at the time of forming a colored layer, acting as a binder with respect to.

알칼리 가용성 수지(B)로서는, 보다 구체적으로 (B1) 산성 불포화 화합물과, 옥세탄 골격을 갖는 불포화 화합물(이하, "옥세탄 불포화 화합물"이라 함)의 공중합체, (B2) 산성 불포화 화합물과, 테트라히드로푸란 골격을 갖는 불포화 화합물(이하, "테트라히드로푸란 불포화 화합물"이라 함)의 공중합체, 및 (B3) 산성 불포화 화합물과, 옥세탄 불포화 화합물과 테트라히드로푸란 불포화 화합물의 공중합체를 들 수 있다.As alkali-soluble resin (B), More specifically, the copolymer of (B1) acidic unsaturated compound, the unsaturated compound which has an oxetane skeleton (henceforth "oxetane unsaturated compound"), (B2) acidic unsaturated compound, Copolymers of unsaturated compounds having a tetrahydrofuran skeleton (hereinafter referred to as "tetrahydrofuran unsaturated compounds"), and (B3) acidic unsaturated compounds with copolymers of oxetane unsaturated compounds and tetrahydrofuran unsaturated compounds. have.

공중합체(B1), (B2) 및 (B3)에 있어서, 산성 불포화 화합물 중의 불포화 카르복실산 또는 그의 산 무수물로서는, 예를 들면 In the copolymers (B1), (B2) and (B3), examples of the unsaturated carboxylic acid or acid anhydride thereof in the acidic unsaturated compound include

(메트)아크릴산, 크로톤산, α-클로로아크릴산, 신남산 등의 불포화 모노카르복실산;Unsaturated monocarboxylic acids such as (meth) acrylic acid, crotonic acid, α-chloroacrylic acid and cinnamic acid;

말레산, 무수 말레산, 푸마르산, 이타콘산, 무수 이타콘산, 시트라콘산, 무수 시트라콘산, 메사콘산 등의 불포화 디카르복실산 또는 그의 무수물; Unsaturated dicarboxylic acids or anhydrides thereof such as maleic acid, maleic anhydride, fumaric acid, itaconic acid, itaconic anhydride, citraconic acid, citraconic anhydride and mesaconic acid;

3가 이상의 불포화 다가 카르복실산 또는 그의 무수물;Trivalent or higher unsaturated polyvalent carboxylic acid or anhydrides thereof;

숙신산모노[2-(메트)아크릴로일옥시에틸], 프탈산모노[2-(메트)아크릴로일옥시에틸] 등의 2가 이상의 다가 카르복실산의 모노[(메트)아크릴로일옥시알킬]에스 테르;Mono [(meth) acryloyloxyalkyl] of divalent or higher polyhydric carboxylic acid, such as monosuccinic acid [2- (meth) acryloyloxyethyl] and phthalic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] Esters;

ω-카르복시폴리카프로락톤 모노(메트)아크릴레이트 등의 양쪽 말단에 카르복시기와 수산기를 갖는 중합체의 모노(메트)아크릴레이트 등을 들 수 있다.and mono (meth) acrylates of polymers having a carboxyl group and a hydroxyl group at both terminals such as ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate.

이들 불포화 카르복실산 또는 그의 산 무수물 중, 숙신산모노(2-아크릴로일옥시에틸) 및 프탈산모노(2-아크릴로일옥시에틸)은 각각 라이트 에스테르 HOA-MS 및 라이트 에스테르 HOA-MPE(이상, 교에이샤 가가꾸(주) 제조)의 상품명으로 시판되고 있다.Among these unsaturated carboxylic acids or acid anhydrides thereof, monosuccinate (2-acryloyloxyethyl) and monophthalic acid (2-acryloyloxyethyl) are each represented by light ester HOA-MS and light ester HOA-MPE (above, It is marketed under the brand name of Kyoeisha Chemical Co., Ltd.).

또한, 산성 불포화 화합물 중의 불포화 페놀 화합물로서는, 예를 들면 o-비닐페놀, m-비닐페놀, p-비닐페놀, 2-메틸-4-비닐페놀, 3-메틸-4-비닐페놀, o-이소프로페닐페놀, m-이소프로페닐페놀, p-이소프로페닐페놀 등의 불포화 페놀;Moreover, as an unsaturated phenol compound in an acidic unsaturated compound, o-vinyl phenol, m-vinyl phenol, p-vinyl phenol, 2-methyl-4- vinyl phenol, 3-methyl-4- vinyl phenol, o-iso, for example. Unsaturated phenols such as propenylphenol, m-isopropenylphenol and p-isopropenylphenol;

2-비닐-1-나프톨, 3-비닐-1-나프톨, 1-비닐-2-나프톨, 3-비닐-2-나프톨, 2-이소프로페닐-1-나프톨, 3-이소프로페닐-1-나프톨 등의 불포화나프톨 등을 들 수 있다.2-vinyl-1-naphthol, 3-vinyl-1-naphthol, 1-vinyl-2-naphthol, 3-vinyl-2-naphthol, 2-isopropenyl-1-naphthol, 3-isopropenyl-1- Unsaturated naphthol, such as naphthol, etc. are mentioned.

본 발명에 있어서, 산성 불포화 화합물로서는 (메트)아크릴산, p-비닐페놀 등이 바람직하고, 특히 (메트)아크릴산이 바람직하다.In this invention, as an acidic unsaturated compound, (meth) acrylic acid, p-vinylphenol, etc. are preferable, and (meth) acrylic acid is especially preferable.

(B1), (B3) 공중합체에 있어서, 옥세탄 불포화 화합물로서는, 바람직하게는 예를 들면 하기 화학식 1로 표시되는 화합물(이하, "옥세탄 불포화 화합물(1)"이라 함), 하기 화학식 2로 표시되는 화합물(이하, "옥세탄 불포화 화합물(2)"라 함) 등을 들 수 있다.In the (B1) and (B3) copolymers, as the oxetane unsaturated compound, preferably, for example, a compound represented by the following general formula (1) (hereinafter referred to as "oxetane unsaturated compound (1)"), and the following general formula (2) The compound (henceforth "oxetane unsaturated compound (2)") etc. which are represented by these are mentioned.

Figure 112007038658573-PAT00001
Figure 112007038658573-PAT00001

[화학식 1에 있어서, R은 수소 원자 또는 탄소수 1 내지 4의 알킬기를 나타내고, R1은 수소 원자 또는 탄소수 1 내지 4의 알킬기를 나타내고, R2, R3, R4 및 R5는 서로 독립적으로 수소 원자, 불소 원자, 탄소수 1 내지 4의 알킬기, 탄소수 1 내지 4의 플루오로알킬기 또는 탄소수 6 내지 20의 아릴기를 나타내고, n은 0 내지 6의 정수임]In Formula 1, R represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, R 1 represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and R 2 , R 3 , R 4 and R 5 independently of one another A hydrogen atom, a fluorine atom, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a fluoroalkyl group having 1 to 4 carbon atoms, or an aryl group having 6 to 20 carbon atoms, and n is an integer of 0 to 6;

Figure 112007038658573-PAT00002
Figure 112007038658573-PAT00002

[화학식 2에 있어서, R, R1, R2, R3, R4, R5 및 n은 화학식 1에서의 각각 R, R1, R2, R3, R4, R5 및 n과 동의임][In the formula 2, R, R 1, R 2, R 3, R 4, R 5 and n are each R, R 1, R 2, R 3, R 4, R 5 and n and consent of the formula (1) being]

화학식 1 및 화학식 2에 있어서, R, R1, R2, R3, R4 및 R5의 탄소수 1 내지 4의 알킬기로서는, 예를 들면 메틸기, 에틸기, n-프로필기, i-프로필기, n-부틸기, i-부틸기, sec-부틸기, t-부틸기 등을 들 수 있다.In the formulas (1) and (2), examples of the alkyl group having 1 to 4 carbon atoms of R, R 1 , R 2 , R 3 , R 4, and R 5 include, for example, methyl group, ethyl group, n-propyl group, i-propyl group, n-butyl group, i-butyl group, sec-butyl group, t-butyl group, etc. are mentioned.

또한, R2, R3, R4 및 R5의 탄소수 1 내지 4의 플루오로알킬기로서는, 예를 들면 플루오로메틸기, 디플루오로메틸기, 트리플루오로메틸기, 1-플루오로에틸기, 2-플루오로에틸기, 1,1-디플루오로에틸기, 2,2,2-트리플루오로에틸기, 펜타플루오로에틸기, 헵타플루오로-n-프로필기, 헵타플루오로-i-프로필기, 노나플루오로-n-부틸기, 노나플루오로-i-부틸기, 노나플루오로-sec-부틸기, 노나플루오로-t-부틸기 등을 들 수 있다.Moreover, as a C1-C4 fluoroalkyl group of R <2> , R <3> , R <4> and R <5> , it is a fluoromethyl group, difluoromethyl group, trifluoromethyl group, 1-fluoroethyl group, 2-fluoro, for example. Roethyl group, 1,1-difluoroethyl group, 2,2,2-trifluoroethyl group, pentafluoroethyl group, heptafluoro-n-propyl group, heptafluoro-i-propyl group, nonafluoro- n-butyl group, nonafluoro-i-butyl group, nonafluoro-sec-butyl group, nonafluoro-t-butyl group, etc. are mentioned.

또한, R2, R3, R4 및 R5의 탄소수 6 내지 20의 아릴기로서는, 예를 들면 페닐기, o-톨릴기, m-톨릴기, p-톨릴기 등을 들 수 있다.Moreover, as a C6-C20 aryl group of R <2> , R <3> , R <4> and R <5> , a phenyl group, o-tolyl group, m-tolyl group, p-tolyl group, etc. are mentioned, for example.

옥세탄 불포화 화합물(1)로서는, 예를 들면 3-[(메트)아크릴로일옥시메틸]옥세탄, 3-[(메트)아크릴로일옥시메틸]-2-메틸옥세탄, 3-[(메트)아크릴로일옥시메틸]-3-메틸옥세탄, 3-[(메트)아크릴로일옥시메틸]-2-에틸옥세탄, 3-[(메트)아크릴로일옥시메틸]-3-에틸옥세탄, 3-[(메트)아크릴로일옥시메틸]-2-트리플루오로메틸옥세탄, 3-[(메트)아크릴로일옥시메틸]-2-펜타플루오로에틸옥세탄, 3-[(메트)아크릴로일옥시메틸]-2-페닐옥세탄, 3-[(메트)아크릴로일옥시메틸]-2,2-디플루오로옥세탄, 3-[(메트)아크릴로일옥시메틸]-2,2,4-트리플루오로옥세탄, 3-[(메트)아크릴로일옥시메틸]-2,2,4,4-테트라플루오로옥세탄, As the oxetane unsaturated compound (1), for example, 3-[(meth) acryloyloxymethyl] oxetane, 3-[(meth) acryloyloxymethyl] -2-methyloxetane, 3-[( Meth) acryloyloxymethyl] -3-methyloxetane, 3-[(meth) acryloyloxymethyl] -2-ethyloxetane, 3-[(meth) acryloyloxymethyl] -3-ethyl Oxetane, 3-[(meth) acryloyloxymethyl] -2-trifluoromethyloxetane, 3-[(meth) acryloyloxymethyl] -2-pentafluoroethyloxetane, 3- [ (Meth) acryloyloxymethyl] -2-phenyloxetane, 3-[(meth) acryloyloxymethyl] -2,2-difluorooxetane, 3-[(meth) acryloyloxymethyl ] -2,2,4-trifluorooxetane, 3-[(meth) acryloyloxymethyl] -2,2,4,4-tetrafluorooxetane,

3-[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]옥세탄, 3-[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]-2-메틸옥세탄, 3-[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]-3-메틸옥세탄, 3-[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]-2-에틸옥세탄, 3-[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]-3-에틸옥세탄, 3-[2-( 메트)아크릴로일옥시에틸]-2-트리플루오로메틸옥세탄, 3-[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]-2-펜타플루오로에틸옥세탄, 3-[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]-2-페닐옥세탄, 3-[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]-2,2-디플루오로옥세탄, 3-[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]-2,2,4-트리플루오로옥세탄, 3-[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]-2,2,4,4-테트라플루오로옥세탄 등의 (메트)아크릴산 에스테르 등을 들 수 있다.3- [2- (meth) acryloyloxyethyl] oxetane, 3- [2- (meth) acryloyloxyethyl] -2-methyloxetane, 3- [2- (meth) acryloyloxy Ethyl] -3-methyloxetane, 3- [2- (meth) acryloyloxyethyl] -2-ethyloxetane, 3- [2- (meth) acryloyloxyethyl] -3-ethyloxetane , 3- [2- (meth) acryloyloxyethyl] -2-trifluoromethyloxetane, 3- [2- (meth) acryloyloxyethyl] -2-pentafluoroethyl oxetane, 3 -[2- (meth) acryloyloxyethyl] -2-phenyloxetane, 3- [2- (meth) acryloyloxyethyl] -2,2-difluorooxetane, 3- [2- (Meth) acryloyloxyethyl] -2,2,4-trifluorooxetane, 3- [2- (meth) acryloyloxyethyl] -2,2,4,4-tetrafluorooxetane (Meth) acrylic acid ester, such as these, etc. are mentioned.

또한, 옥세탄 불포화 화합물(2)로서는, 예를 들면 2-[(메트)아크릴로일옥시메틸]옥세탄, 2-[(메트)아크릴로일옥시메틸]-2-메틸옥세탄, 2-[(메트)아크릴로일옥시메틸]-3-메틸옥세탄, 2-[(메트)아크릴로일옥시메틸]-4-메틸옥세탄, 2-[(메트)아크릴로일옥시메틸]-2-에틸옥세탄, 2-[(메트)아크릴로일옥시메틸]-3-에틸옥세탄, 2-[(메트)아크릴로일옥시메틸]-4-에틸옥세탄, 2-[(메트)아크릴로일옥시메틸]-2-트리플루오로메틸옥세탄, 2-[(메트)아크릴로일옥시메틸]-3-트리플루오로메틸옥세탄, 2-[(메트)아크릴로일옥시메틸]-4-트리플루오로메틸옥세탄, 2-[(메트)아크릴로일옥시메틸]-2-펜타플루오로에틸옥세탄, 2-[(메트)아크릴로일옥시메틸]-3-펜타플루오로에틸옥세탄, 2-[(메트)아크릴로일옥시메틸]-4-펜타플루오로에틸옥세탄, As the oxetane unsaturated compound (2), for example, 2-[(meth) acryloyloxymethyl] oxetane, 2-[(meth) acryloyloxymethyl] -2-methyloxetane, 2- [(Meth) acryloyloxymethyl] -3-methyloxetane, 2-[(meth) acryloyloxymethyl] -4-methyloxetane, 2-[(meth) acryloyloxymethyl] -2 -Ethyl oxetane, 2-[(meth) acryloyloxymethyl] -3-ethyl oxetane, 2-[(meth) acryloyloxymethyl] -4-ethyl oxetane, 2-[(meth) acrylic Royloxymethyl] -2-trifluoromethyloxetane, 2-[(meth) acryloyloxymethyl] -3-trifluoromethyloxetane, 2-[(meth) acryloyloxymethyl]- 4-trifluoromethyloxetane, 2-[(meth) acryloyloxymethyl] -2-pentafluoroethyl oxetane, 2-[(meth) acryloyloxymethyl] -3-pentafluoroethyl Oxetane, 2-[(meth) acryloyloxymethyl] -4-pentafluoroethyl oxetane,

2-[(메트)아크릴로일옥시메틸]-2-페닐옥세탄, 2-[(메트)아크릴로일옥시메틸]-3-페닐옥세탄, 2-[(메트)아크릴로일옥시메틸]-4-페닐옥세탄, 2-[(메트)아크릴로일옥시메틸]-2,3-디플루오로옥세탄, 2-[(메트)아크릴로일옥시메틸]-2,4-디플루오로옥세탄, 2-[(메트)아크릴로일옥시메틸]-3,3-디플루오로옥세탄, 2-[(메트)아크릴로일옥시메틸]-3,4-디플루오로옥세탄, 2-[(메트)아크릴로일옥시메틸]-4,4-디플루오로옥세탄, 2-[(메트)아크릴로일옥시메틸]-3,3,4-트리플루오로옥세탄, 2-[(메트)아크 릴로일옥시메틸]-3,4,4-트리플루오로옥세탄, 2-[(메트)아크릴로일옥시메틸]-3,3,4,4-테트라플루오로옥세탄,2-[(meth) acryloyloxymethyl] -2-phenyloxetane, 2-[(meth) acryloyloxymethyl] -3-phenyloxetane, 2-[(meth) acryloyloxymethyl] 4-phenyloxetane, 2-[(meth) acryloyloxymethyl] -2,3-difluorooxetane, 2-[(meth) acryloyloxymethyl] -2,4-difluoro Oxetane, 2-[(meth) acryloyloxymethyl] -3,3-difluorooxetane, 2-[(meth) acryloyloxymethyl] -3,4-difluorooxetane, 2 -[(Meth) acryloyloxymethyl] -4,4-difluorooxetane, 2-[(meth) acryloyloxymethyl] -3,3,4-trifluorooxetane, 2- [ (Meth) acryloyloxymethyl] -3,4,4-trifluorooxetane, 2-[(meth) acryloyloxymethyl] -3,3,4,4-tetrafluorooxetane,

2-[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]옥세탄, 2-[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]-2-메틸옥세탄, 2-[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]-3-메틸옥세탄, 2-[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]-4-메틸옥세탄, 2-[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]-2-에틸옥세탄, 2-[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]-3-에틸옥세탄, 2-[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]-4-에틸옥세탄, 2-[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]-2-트리플루오로메틸옥세탄, 2-[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]-3-트리플루오로메틸옥세탄, 2-[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]-4-트리플루오로메틸옥세탄, 2-[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]-2-펜타플루오로에틸옥세탄, 2-[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]-3-펜타플루오로에틸옥세탄, 2-[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]-4-펜타플루오로에틸옥세탄,2- [2- (meth) acryloyloxyethyl] oxetane, 2- [2- (meth) acryloyloxyethyl] -2-methyloxetane, 2- [2- (meth) acryloyloxy Ethyl] -3-methyloxetane, 2- [2- (meth) acryloyloxyethyl] -4-methyloxetane, 2- [2- (meth) acryloyloxyethyl] -2-ethyloxetane , 2- [2- (meth) acryloyloxyethyl] -3-ethyloxetane, 2- [2- (meth) acryloyloxyethyl] -4-ethyloxetane, 2- [2- (meth ) Acryloyloxyethyl] -2-trifluoromethyloxetane, 2- [2- (meth) acryloyloxyethyl] -3-trifluoromethyloxetane, 2- [2- (meth) acrylic Royloxyethyl] -4-trifluoromethyloxetane, 2- [2- (meth) acryloyloxyethyl] -2-pentafluoroethyl oxetane, 2- [2- (meth) acryloyl Oxyethyl] -3-pentafluoroethyl oxetane, 2- [2- (meth) acryloyloxyethyl] -4-pentafluoroethyl oxetane,

2-[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]-2-페닐옥세탄, 2-[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]-3-페닐옥세탄, 2-[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]-4-페닐옥세탄, 2-[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]-2,3-디플루오로옥세탄, 2-[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]-2,4-디플루오로옥세탄, 2-[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]-3,3-디플루오로옥세탄, 2-[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]-3,4-디플루오로옥세탄, 2-[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]-4,4-디플루오로옥세탄, 2-[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]-3,3,4-트리플루오로옥세탄, 2-[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]-3,4,4-트리플루오로옥세탄, 2-[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]-3,3,4,4-테트라플루오로옥세탄 등의 (메트)아크릴산 에스테르 등을 들 수 있다.2- [2- (meth) acryloyloxyethyl] -2-phenyloxetane, 2- [2- (meth) acryloyloxyethyl] -3-phenyloxetane, 2- [2- (meth) Acryloyloxyethyl] -4-phenyloxetane, 2- [2- (meth) acryloyloxyethyl] -2,3-difluorooxetane, 2- [2- (meth) acryloyloxy Ethyl] -2,4-difluorooxetane, 2- [2- (meth) acryloyloxyethyl] -3,3-difluorooxetane, 2- [2- (meth) acryloyloxy Ethyl] -3,4-difluorooxetane, 2- [2- (meth) acryloyloxyethyl] -4,4-difluorooxetane, 2- [2- (meth) acryloyloxy Ethyl] -3,3,4-trifluorooxetane, 2- [2- (meth) acryloyloxyethyl] -3,4,4-trifluorooxetane, 2- [2- (meth) (Meth) acrylic acid esters, such as acryloyloxyethyl] -3,3,4,4- tetrafluoro oxetane, etc. are mentioned.

이들 옥세탄 불포화 화합물(1) 및 옥세탄 불포화 화합물(2) 중, 3-[(메타)크릴로일옥시메틸]옥세탄, 3-[(메타)크릴로일옥시메틸]-3-에틸옥세탄, 3-[(메타)크릴로일옥시메틸]-2-트리플루오로메틸옥세탄, 3-[(메타)크릴로일옥시메틸]-2-페닐옥세탄, 2-[(메타)크릴로일옥시메틸]옥세탄, 2-[(메타)크릴로일옥시메틸]-4-트리플루오로메틸옥세탄 등이 바람직하고, 특히 3-(메타크릴로일옥시메틸)옥세탄, 3-(메타크릴로일옥시메틸)-3-에틸옥세탄, 3-(메타크릴로일옥시메틸)-2-트리플루오로메틸옥세탄, 3-(메타크릴로일옥시메틸)-2-페닐옥세탄, 2-(메타크릴로일옥시메틸)옥세탄, 2-(메타크릴로일옥시메틸)-4-트리플루오로메틸옥세탄 등은, 얻어지는 감방사선성 조성물의 현상 마진이 넓고, 또한 얻어지는 착색층의 내약품성을 높이는 점에서 바람직하다.Of these oxetane unsaturated compounds (1) and oxetane unsaturated compounds (2), 3-[(meth) cryloyloxymethyl] oxetane and 3-[(meth) cryloyloxymethyl] -3-ethyl ox Cetane, 3-[(meth) cryloyloxymethyl] -2-trifluoromethyloxetane, 3-[(meth) cryloyloxymethyl] -2-phenyloxetane, 2-[(meth) acryl Loyloxymethyl] oxetane, 2-[(meth) cryloyloxymethyl] -4-trifluoromethyloxetane, and the like are preferred, and 3- (methacryloyloxymethyl) oxetane, 3- (Methacryloyloxymethyl) -3-ethyloxetane, 3- (methacryloyloxymethyl) -2-trifluoromethyloxetane, 3- (methacryloyloxymethyl) -2-phenyljade Cetane, 2- (methacryloyloxymethyl) oxetane, 2- (methacryloyloxymethyl) -4-trifluoromethyloxetane, etc. have a wide development margin of the radiation-sensitive composition obtained and are also obtained. It is preferable at the point which improves the chemical resistance of a colored layer.

또한, 본 발명에서는 옥세탄 불포화 화합물로서 옥세탄 불포화 화합물(1) 및 옥세탄 불포화 화합물(2) 이외에도, 예를 들면 (3-옥세타닐메톡시)-p-비닐벤젠, [2-(3-옥세타닐)에톡시]-p-비닐벤젠, (2-옥세타닐메톡시)-p-비닐벤젠, [2-(2-옥세타닐)에톡시]-p-비닐벤젠 등의 비닐페놀의 (옥세타닐알킬)에테르;In the present invention, in addition to the oxetane unsaturated compound (1) and the oxetane unsaturated compound (2) as the oxetane unsaturated compound, for example, (3-oxetanylmethoxy) -p-vinylbenzene, Vinylphenols such as oxetanyl) ethoxy] -p-vinylbenzene, (2-oxetanylmethoxy) -p-vinylbenzene, and [2- (2-oxetanyl) ethoxy] -p-vinylbenzene (Oxetanylalkyl) ether;

(3-옥세타닐메틸)비닐에테르, [2-(3-옥세타닐)에틸]비닐에테르, (2-옥세타닐메틸)비닐에테르, [2-(2-옥세타닐)에틸]비닐에테르 등의 (옥세타닐알킬)비닐에테르류 등을 사용할 수도 있다.(3-oxetanylmethyl) vinyl ether, [2- (3-oxetanyl) ethyl] vinyl ether, (2-oxetanylmethyl) vinyl ether, [2- (2-oxetanyl) ethyl] vinyl (Oxetanylalkyl) vinyl ethers, such as ether, etc. can also be used.

상기 옥세탄 불포화 화합물은 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.The said oxetane unsaturated compound can be used individually or in mixture of 2 or more types.

(B2), (B3) 공중합체에 있어서, 테트라히드로푸란 불포화 화합물로서는, 예 를 들면 테트라히드로푸란-2-일(메트)아크릴레이트, 테트라히드로푸란-3-일(메트)아크릴레이트 등의 (메트)아크릴산의 테트라히드로푸란 에스테르;In the (B2) and (B3) copolymers, examples of the tetrahydrofuran unsaturated compound include tetrahydrofuran-2-yl (meth) acrylate and tetrahydrofuran-3-yl (meth) acrylate. Tetrahydrofuran esters of meth) acrylic acid;

테트라히드로푸르푸릴(메트)아크릴레이트, 3-테트라히드로푸르푸릴(메트)아크릴레이트, 2-(테트라히드로푸르푸릴옥시)에틸(메트)아크릴레이트, 2-(3-테트라히드로푸르푸릴옥시)에틸(메트)아크릴레이트 등의 (메트)아크릴산의 테트라히드로푸르푸릴기 함유 에스테르;Tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, 3-tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, 2- (tetrahydrofurfuryloxy) ethyl (meth) acrylate, 2- (3-tetrahydrofurfuryloxy) ethyl Tetrahydrofurfuryl group-containing esters of (meth) acrylic acid such as (meth) acrylate;

2-(메트)아크릴로일옥시프로피온산테트라히드로푸르푸릴, 2-(메트)아크릴로일옥시프로피온산 3-테트라히드로푸르푸릴, 2-(메트)아크릴로일옥시프로피온산 2-(테트라히드로푸르푸릴옥시)에틸, 2-(메트)아크릴로일옥시프로피온산 2-(3-테트라히드로푸르푸릴옥시)에틸 등의 2-(메트)아크릴로일옥시프로피온산의 테트라히드로푸르푸릴기 함유 에스테르나,2- (meth) acryloyloxypropionate tetrahydrofurfuryl, 2- (meth) acryloyloxypropionic acid 3-tetrahydrofurfuryl, 2- (meth) acryloyloxypropionic acid 2- (tetrahydrofurfuryloxy Tetrahydrofurfuryl group-containing esters of 2- (meth) acryloyloxypropionic acid such as) ethyl and 2- (meth) acryloyloxypropionic acid 2- (3-tetrahydrofurfuryloxy) ethyl,

(테트라히드로푸란-2-일)옥시-p-비닐벤젠, (테트라히드로푸르푸릴)옥시-p-비닐벤젠, 2-(테트라히드로푸르푸릴옥시)에톡시-p-비닐벤젠 등의 비닐벤젠 유도체;Vinylbenzene derivatives such as (tetrahydrofuran-2-yl) oxy-p-vinylbenzene, (tetrahydrofurfuryl) oxy-p-vinylbenzene and 2- (tetrahydrofurfuryloxy) ethoxy-p-vinylbenzene ;

(테트라히드로푸란-2-일)비닐에테르, (테트라히드로푸르푸릴)비닐에테르, [2-(테트라히드로푸르푸릴옥시)에틸]비닐에테르 등의 비닐에테르 등을 들 수 있다.And vinyl ethers such as (tetrahydrofuran-2-yl) vinyl ether, (tetrahydrofurfuryl) vinyl ether, and [2- (tetrahydrofurfuryloxy) ethyl] vinyl ether.

본 발명에 있어서, 테트라히드로푸란 불포화 화합물로서는 (메트)아크릴산의 테트라히드로푸르푸릴기 함유 에스테르가 바람직하고, 특히 테트라히드로푸르푸릴(메트)아크릴레이트, 숙신산[2-(메트)아크릴로일옥시에틸](테트라히드로푸르푸릴)이 바람직하다. In the present invention, as the tetrahydrofuran unsaturated compound, a tetrahydrofurfuryl group-containing ester of (meth) acrylic acid is preferable, and in particular, tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate and succinic acid [2- (meth) acryloyloxyethyl ] (Tetrahydrofurfuryl) is preferred.

상기 테트라히드로푸란 불포화 화합물은 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. The said tetrahydrofuran unsaturated compound can be used individually or in mixture of 2 or more types.

(B1), (B2) 및 (B3) 공중합체는, 경우에 따라 구성 성분으로서 산성 불포화 화합물, 옥세탄계 불포화 화합물 및 테트라히드로푸란계 불포화 화합물 이외의 불포화 화합물(이하, "다른 불포화 화합물"이라 함)을 추가로 함유할 수 있다.Copolymers (B1), (B2) and (B3) are optionally unsaturated compounds other than acidic unsaturated compounds, oxetane unsaturated compounds and tetrahydrofuran unsaturated compounds (hereinafter referred to as "other unsaturated compounds") as constituents. ) May be further contained.

다른 불포화 화합물로서는, 예를 들면 스티렌, α-메틸스티렌, o-비닐톨루엔, m-비닐톨루엔, p-비닐톨루엔, p-클로로스티렌, o-메톡시스티렌, m-메톡시스티렌, p-메톡시스티렌, o-비닐벤질메틸에테르, m-비닐벤질메틸에테르, p-비닐벤질메틸에테르, o-비닐벤질글리시딜에테르, m-비닐벤질글리시딜에테르, p-비닐벤질글리시딜에테르 등의 방향족 비닐 화합물;As another unsaturated compound, for example, styrene, (alpha) -methylstyrene, o-vinyl toluene, m-vinyl toluene, p-vinyl toluene, p-chloro styrene, o-methoxy styrene, m-methoxy styrene, p-meth Oxy styrene, o-vinyl benzyl methyl ether, m-vinyl benzyl methyl ether, p-vinyl benzyl methyl ether, o-vinyl benzyl glycidyl ether, m-vinyl benzyl glycidyl ether, p-vinyl benzyl glycidyl ether Aromatic vinyl compounds such as;

인덴, 1-메틸인덴 등의 인덴;Indenes such as indene and 1-methylindene;

말레이미드, N-시클로헥실말레이미드, N-페닐말레이미드, 이타콘이미드, 시트라콘이미드 등의 불포화 이미드;Unsaturated imides such as maleimide, N-cyclohexyl maleimide, N-phenylmaleimide, itaciconimide and citraconimide;

메틸(메트)아크릴레이트, 에틸(메트)아크릴레이트, n-프로필(메트)아크릴레이트, i-프로필(메트)아크릴레이트, n-부틸(메트)아크릴레이트, i-부틸(메트)아크릴레이트, sec-부틸(메트)아크릴레이트, t-부틸(메트)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 2-히드록시프로필(메트)아크릴레이트, 3-히드록시프로필(메트)아크릴레이트, 2-히드록시부틸(메트)아크릴레이트, 3-히드록시부틸(메트)아크릴레이트, 4-히드록시부틸(메트)아크릴레이트, 알릴(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트, 시클로헥실(메트)아크릴레이트, 페닐(메트)아크릴레이트, 2-메톡시에틸(메트)아크릴레이트, 2-페녹시에틸(메트)아크릴레이트, 메톡시디에틸렌글리콜( 메트)아크릴레이트, 메톡시트리에틸렌글리콜(메트)아크릴레이트, 메톡시프로필렌글리콜(메트)아크릴레이트, 메톡시디프로필렌글리콜(메트)아크릴레이트, 이소보르닐(메트)아크릴레이트, 디시클로펜타디에닐(메트)아크릴레이트, 2-히드록시-3-페녹시프로필(메트)아크릴레이트, 글리세롤 모노(메트)아크릴레이트 등의 불포화 카르복실산 에스테르;Methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylate, i-propyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, i-butyl (meth) acrylate, sec-butyl (meth) acrylate, t-butyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 3-hydroxypropyl (meth) acrylate , 2-hydroxybutyl (meth) acrylate, 3-hydroxybutyl (meth) acrylate, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, cyclohexyl (Meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, 2-methoxyethyl (meth) acrylate, 2-phenoxyethyl (meth) acrylate, methoxydiethylene glycol (meth) acrylate, methoxytriethylene glycol (Meth) acrylate, methoxy propylene glycol (meth) acrylate, Toxydipropylene glycol (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, dicyclopentadienyl (meth) acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl (meth) acrylate, glycerol mono (meth Unsaturated carboxylic esters such as acrylate;

2-아미노에틸(메트)아크릴레이트, 2-디메틸아미노에틸(메트)아크릴레이트, 2-아미노프로필(메트)아크릴레이트, 2-디메틸아미노프로필(메트)아크릴레이트, 3-아미노프로필(메트)아크릴레이트, 3-디메틸아미노프로필(메트)아크릴레이트 등의 불포화 카르복실산 아미노알킬 에스테르;2-aminoethyl (meth) acrylate, 2-dimethylaminoethyl (meth) acrylate, 2-aminopropyl (meth) acrylate, 2-dimethylaminopropyl (meth) acrylate, 3-aminopropyl (meth) acrylic Unsaturated carboxylic acid aminoalkyl esters such as latex and 3-dimethylaminopropyl (meth) acrylate;

글리시딜(메트)아크릴레이트 등의 불포화 카르복실산글리시딜에스테르류;Unsaturated carboxylic acid glycidyl esters such as glycidyl (meth) acrylate;

(메트)아크릴로니트릴, α-클로로아크릴로니트릴, 시안화 비닐리덴 등의 시안화 비닐 화합물;Vinyl cyanide compounds such as (meth) acrylonitrile, α-chloroacrylonitrile and vinylidene cyanide;

(메트)아크릴아미드, α-클로로아크릴아미드, N-2-히드록시에틸(메트)아크릴아미드 등의 불포화 아미드;Unsaturated amides such as (meth) acrylamide, α-chloroacrylamide, and N-2-hydroxyethyl (meth) acrylamide;

아세트산비닐, 프로피온산비닐, 부티르산비닐, 벤조산비닐 등의 카르복실산비닐에스테르;Carboxylic acid vinyl esters such as vinyl acetate, vinyl propionate, vinyl butyrate and vinyl benzoate;

비닐메틸에테르, 비닐에틸에테르, 알릴글리시딜에테르 등의 불포화 에테르;Unsaturated ethers such as vinyl methyl ether, vinyl ethyl ether and allyl glycidyl ether;

1,3-부타디엔, 이소프렌, 클로로프렌 등의 지방족 공액 디엔;Aliphatic conjugated dienes such as 1,3-butadiene, isoprene and chloroprene;

폴리스티렌, 폴리메틸(메트)아크릴레이트, 폴리-n-부틸(메트)아크릴레이트, 폴리실록산 등의 중합체 분자쇄의 말단에 모노(메트)아크릴로일기를 갖는 거대 단 량체 등을 들 수 있다.And macromonomers having a mono (meth) acryloyl group at the ends of polymer molecular chains such as polystyrene, polymethyl (meth) acrylate, poly-n-butyl (meth) acrylate, and polysiloxane.

이들 다른 불포화 화합물은 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.These other unsaturated compounds can be used individually or in mixture of 2 or more types.

본 발명에 있어서, (B1) 공중합체로서는 (b1) (메트)아크릴산을 필수 성분으로 하는 1종 이상의 산성 불포화 화합물과, (b2) 3-(메타크릴로일옥시메틸)옥세탄, 3-(메타크릴로일옥시메틸)-3-에틸옥세탄, 3-(메타크릴로일옥시메틸)-2-트리플루오로메틸옥세탄, 3-(메타크릴로일옥시메틸)-2-페닐옥세탄, 2-(메타크릴로일옥시메틸)옥세탄 및 2-(메타크릴로일옥시메틸)-4-트리플루오로메틸옥세탄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상의 옥세탄 불포화 화합물, 및 경우에 따라 (b4) 스티렌, N-페닐말레이미드, 메틸(메트)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 알릴(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트, 글리세롤모노(메트)아크릴레이트, 폴리스티렌 거대 단량체 및 폴리메틸메타크릴레이트 거대 단량체로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상의 다른 불포화 화합물을 포함하는 공중합체(이하, "공중합체(BI)"라 함)가 바람직하다.In the present invention, the copolymer (B1) includes (b1) at least one acidic unsaturated compound having (meth) acrylic acid as an essential component, (b2) 3- (methacryloyloxymethyl) oxetane, and 3- ( Methacryloyloxymethyl) -3-ethyloxetane, 3- (methacryloyloxymethyl) -2-trifluoromethyloxetane, 3- (methacryloyloxymethyl) -2-phenyloxetane , At least one oxetane unsaturated compound selected from the group consisting of 2- (methacryloyloxymethyl) oxetane and 2- (methacryloyloxymethyl) -4-trifluoromethyloxetane, and (B4) styrene, N-phenylmaleimide, methyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylic At least one polyvalent selected from the group consisting of latex, polystyrene macromonomers and polymethylmethacrylate macromonomers Copolymers containing other unsaturated compounds (hereinafter referred to as "copolymers (BI)") are preferred.

공중합체(BI)로서는, 보다 구체적으로는 예를 들면 As a copolymer (BI), More specifically, for example

(b1) (메트)아크릴산을 포함하는 산성 불포화 화합물과, (b2) 3-[(메트)아크릴로일옥시메틸]옥세탄을 포함하는 옥세탄 불포화 화합물, 및 경우에 따라 (b4) 스티렌, N-페닐말레이미드, 메틸(메트)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 알릴(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트, 글리세롤모노(메트)아크릴레이트, 폴리스티렌 거대 단량체 및 폴리메틸메타크릴레이트 거대 단량체로 이루 어지는 군에서 선택되는 1종 이상의 다른 불포화 화합물을 포함하는 공중합체(BI-1);(b1) an acidic unsaturated compound comprising (meth) acrylic acid, and (b2) an oxetane unsaturated compound containing 3-[(meth) acryloyloxymethyl] oxetane, and optionally (b4) styrene, N -Phenylmaleimide, methyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylate, polystyrene macromonomers and poly Copolymers (BI-1) comprising at least one other unsaturated compound selected from the group consisting of methyl methacrylate macromonomers;

(b1) (메트)아크릴산을 포함하는 산성 불포화 화합물과, (b2) 3-[(메트)아크릴로일옥시메틸]-3-에틸옥세탄을 포함하는 옥세탄 불포화 화합물, 및 경우에 따라 (b4) 스티렌, N-페닐말레이미드, 메틸(메트)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 알릴(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트, 글리세롤모노(메트)아크릴레이트, 폴리스티렌 거대 단량체 및 폴리메틸메타크릴레이트 거대 단량체로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상의 다른 불포화 화합물을 포함하는 공중합체(BI-2);(b1) an acidic unsaturated compound containing (meth) acrylic acid, (b2) an oxetane unsaturated compound containing 3-[(meth) acryloyloxymethyl] -3-ethyloxetane, and optionally (b4 ) Styrene, N-phenylmaleimide, methyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylate, polystyrene Copolymers (BI-2) comprising at least one other unsaturated compound selected from the group consisting of macromonomers and polymethylmethacrylate macromonomers;

(b1) (메트)아크릴산을 포함하는 산성 불포화 화합물과, (b2) 3-[(메트)아크릴로일옥시메틸]-2-트리플루오로메틸옥세탄을 포함하는 옥세탄 불포화 화합물, 및 경우에 따라 (b4) 스티렌, N-페닐말레이미드, 메틸(메트)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 알릴(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트, 글리세롤모노(메트)아크릴레이트, 폴리스티렌 거대 단량체 및 폴리메틸메타크릴레이트 거대 단량체로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상의 다른 불포화 화합물을 포함하는 공중합체(BI-3);(b1) an acidic unsaturated compound comprising (meth) acrylic acid, and (b2) an oxetane unsaturated compound containing 3-[(meth) acryloyloxymethyl] -2-trifluoromethyloxetane, and (B4) styrene, N-phenylmaleimide, methyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylic Copolymers (BI-3) comprising at least one other unsaturated compound selected from the group consisting of latex, polystyrene macromonomers and polymethylmethacrylate macromonomers;

(b1) (메트)아크릴산을 포함하는 산성 불포화 화합물과, (b2) 3-[(메트)아크릴로일옥시메틸]-2-페닐옥세탄을 포함하는 옥세탄 불포화 화합물, 및 경우에 따라 (b4) 스티렌, N-페닐말레이미드, 메틸(메트)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 알릴(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트, 글리세롤모노(메 트)아크릴레이트, 폴리스티렌 거대 단량체 및 폴리메틸메타크릴레이트 거대 단량체로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상의 다른 불포화 화합물을 포함하는 공중합체(BI-4);(b1) an acidic unsaturated compound containing (meth) acrylic acid, (b2) an oxetane unsaturated compound containing 3-[(meth) acryloyloxymethyl] -2-phenyloxetane, and optionally (b4 Styrene, N-phenylmaleimide, methyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylate, Copolymers (BI-4) comprising at least one other unsaturated compound selected from the group consisting of polystyrene macromonomers and polymethylmethacrylate macromonomers;

(b1) (메트)아크릴산을 포함하는 산성 불포화 화합물과, (b2) 2-[(메트)아크릴로일옥시메틸]옥세탄을 포함하는 옥세탄 불포화 화합물, 및 경우에 따라 (b4) 스티렌, N-페닐말레이미드, 메틸(메트)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 알릴(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트, 글리세롤모노(메트)아크릴레이트, 폴리스티렌 거대 단량체 및 폴리메틸메타크릴레이트 거대 단량체로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상의 다른 불포화 화합물을 포함하는 공중합체(BI-5);(b1) an acidic unsaturated compound containing (meth) acrylic acid, and (b2) an oxetane unsaturated compound containing 2-[(meth) acryloyloxymethyl] oxetane, and optionally (b4) styrene, N -Phenylmaleimide, methyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylate, polystyrene macromonomers and poly Copolymers (BI-5) comprising at least one other unsaturated compound selected from the group consisting of methyl methacrylate macromonomers;

(b1) (메트)아크릴산을 포함하는 산성 불포화 화합물과, (b2) 2-[(메트)아크릴로일옥시메틸]-4-트리플루오로메틸옥세탄을 포함하는 옥세탄 불포화 화합물, 및 경우에 따라 (b4) 스티렌, N-페닐말레이미드, 메틸(메트)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 알릴(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트, 글리세롤모노(메트)아크릴레이트, 폴리스티렌 거대 단량체 및 폴리메틸메타크릴레이트 거대 단량체로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상의 다른 불포화 화합물을 포함하는 공중합체(BI-6) 등을 들 수 있다.(b1) an acidic unsaturated compound comprising (meth) acrylic acid, and (b2) an oxetane unsaturated compound comprising 2-[(meth) acryloyloxymethyl] -4-trifluoromethyloxetane, and (B4) styrene, N-phenylmaleimide, methyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylic The copolymer (BI-6) containing one or more other unsaturated compounds chosen from the group which consists of a latex, a polystyrene macromonomer, and a polymethylmethacrylate macromonomer, etc. are mentioned.

이들 공중합체(BI) 중, 특히 공중합체(BI-1), 공중합체(BI-2) 등이 바람직하다.Among these copolymers (BI), copolymers (BI-1), copolymers (BI-2) and the like are particularly preferable.

(B1) 공중합체에 있어서, 산성 불포화 화합물의 공중합 비율은 바람직하게는 1 내지 40 중량%, 특히 바람직하게는 5 내지 30 중량%이고, 옥세탄 불포화 화합물의 공중합 비율은 바람직하게는 1 내지 60 중량%, 특히 바람직하게는 10 내지 45 중량%이고, 다른 불포화 화합물의 공중합 비율은 바람직하게는 0 내지 70 중량%, 보다 바람직하게는 1 내지 70 중량%, 특히 바람직하게는 1 내지 50 중량%이다.In the copolymer (B1), the copolymerization ratio of the acidic unsaturated compound is preferably 1 to 40% by weight, particularly preferably 5 to 30% by weight, and the copolymerization ratio of the oxetane unsaturated compound is preferably 1 to 60% by weight. %, Particularly preferably 10 to 45% by weight, and the copolymerization ratio of the other unsaturated compound is preferably 0 to 70% by weight, more preferably 1 to 70% by weight, particularly preferably 1 to 50% by weight.

본 발명에서는 (B1) 공중합체에서의 각 불포화 화합물의 공중합 비율을 상기 범위로 함으로써, 높은 안료 농도라도 감도, 내용제성, 기판 밀착성 등에 더하여, 안료 분산액 및 용매를 함유하는 액상 조성물로서의 보존 안정성이 우수한 감방사선성 조성물을 얻을 수 있다.In this invention, by making the copolymerization ratio of each unsaturated compound in (B1) copolymer into the said range, it is excellent in storage stability as a liquid composition containing a pigment dispersion liquid and a solvent in addition to sensitivity, solvent resistance, board | substrate adhesiveness, etc. even at high pigment concentration. A radiation sensitive composition can be obtained.

또한, (B2) 공중합체로서는, (b1) (메트)아크릴산을 포함하는 1종 이상의 산성 불포화 화합물과, (b3) 테트라히드로푸르푸릴(메트)아크릴레이트 및 숙신산[2-(메트)아크릴로일옥시에틸](테트라히드로푸르푸릴)로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상의 테트라히드로푸란 불포화 화합물, 및 경우에 따라 (b4) 스티렌, N-페닐말레이미드, 메틸(메트)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 알릴(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트, 글리세롤모노(메트)아크릴레이트, 폴리스티렌 거대 단량체 및 폴리메틸메타크릴레이트 거대 단량체로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상의 다른 불포화 화합물을 포함하는 공중합체(이하, "공중합체(BII)"라 함)가 바람직하다.Moreover, as (B2) copolymer, (b1) 1 or more types of acidic unsaturated compound containing (meth) acrylic acid, (b3) tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, and succinic acid [2- (meth) acryloyl Oxyethyl] (tetrahydrofurfuryl) at least one tetrahydrofuran unsaturated compound selected from the group consisting of (b4) styrene, N-phenylmaleimide, methyl (meth) acrylate, 2-hydroxy At least one other selected from the group consisting of ethyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylate, polystyrene macromonomers and polymethylmethacrylate macromonomers Preferred are copolymers comprising unsaturated compounds (hereinafter referred to as "copolymers (BII)").

공중합체(BII)로서는, 보다 구체적으로는 예를 들면 (b1) (메트)아크릴산을 포함하는 1종 이상의 산성 불포화 화합물과, (b3) 테트라히드로푸르푸릴(메트)아크 릴레이트를 포함하는 1종 이상의 테트라히드로푸란 불포화 화합물, 및 경우에 따라 (b4) 스티렌, N-페닐말레이미드, 메틸(메트)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 알릴(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트, 글리세롤모노(메트)아크릴레이트, 폴리스티렌 거대 단량체 및 폴리메틸메타크릴레이트 거대 단량체로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상의 다른 불포화 화합물을 포함하는 공중합체(이하, "공중합체(BII-1)"라 함);Specific examples of the copolymer (BII) include one or more acidic unsaturated compounds containing, for example, (b1) (meth) acrylic acid, and (b3) one kind of tetrahydrofurfuryl (meth) arcrate. Tetrahydrofuran unsaturated compound and optionally (b4) styrene, N-phenylmaleimide, methyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, benzyl (meth Copolymers comprising one or more other unsaturated compounds selected from the group consisting of acrylates, glycerol mono (meth) acrylates, polystyrene macromonomers and polymethylmethacrylate macromonomers (hereinafter referred to as "copolymers (BII-1 ) ";

(b1) (메트)아크릴산을 포함하는 1종 이상의 산성 불포화 화합물과, (b3) 숙신산[2-(메트)아크릴로일옥시에틸](테트라히드로푸르푸릴)을 포함하는 1종 이상의 테트라히드로푸란 불포화 화합물, 및 경우에 따라 (b4) 스티렌, N-페닐말레이미드, 메틸(메트)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 알릴(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트, 글리세롤모노(메트)아크릴레이트, 폴리스티렌 거대 단량체 및 폴리메틸메타크릴레이트 거대 단량체로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상의 다른 불포화 화합물을 포함하는 공중합체(이하, "공중합체(BII-2)"라 함) 등이 바람직하다.(b1) at least one acidic unsaturated compound comprising (meth) acrylic acid, and (b3) at least one tetrahydrofuran unsaturated containing succinic acid [2- (meth) acryloyloxyethyl] (tetrahydrofurfuryl) Compound, and optionally (b4) styrene, N-phenylmaleimide, methyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, glycerol Copolymers comprising at least one other unsaturated compound selected from the group consisting of mono (meth) acrylates, polystyrene macromonomers and polymethylmethacrylate macromonomers (hereinafter referred to as "copolymer (BII-2)") Etc. are preferable.

(B2) 공중합체에 있어서, 산성 불포화 화합물의 공중합 비율은 바람직하게는 1 내지 40 중량%, 특히 바람직하게는 5 내지 30 중량%이고, 테트라히드로푸란 불포화 화합물의 공중합 비율은 바람직하게는 1 내지 70 중량%, 특히 바람직하게는 5 내지 50 중량%이고, 다른 불포화 화합물의 공중합 비율은 바람직하게는 0 내지 80 중량%, 보다 바람직하게는 1 내지 80 중량%, 특히 바람직하게는 1 내지 50 중량%이다.In the copolymer (B2), the copolymerization ratio of the acidic unsaturated compound is preferably 1 to 40% by weight, particularly preferably 5 to 30% by weight, and the copolymerization ratio of the tetrahydrofuran unsaturated compound is preferably 1 to 70. It is 5% by weight, particularly preferably 5 to 50% by weight, and the copolymerization ratio of the other unsaturated compound is preferably 0 to 80% by weight, more preferably 1 to 80% by weight, particularly preferably 1 to 50% by weight. .

본 발명에서는 (B2) 공중합체에서의 각 불포화 화합물의 공중합 비율을 상기 범위로 함으로써, 높은 안료 농도라도 감도, 내용제성, 기판에 대한 밀착성 등에 더하여, 안료 분산액 및 용매를 함유하는 액상 조성물로서의 보존 안정성이 우수한 감방사선성 조성물을 얻을 수 있다.In the present invention, by setting the copolymerization ratio of each unsaturated compound in the (B2) copolymer to the above range, storage stability as a liquid composition containing a pigment dispersion and a solvent, in addition to sensitivity, solvent resistance, adhesion to a substrate, and the like even at a high pigment concentration. This excellent radiation sensitive composition can be obtained.

공중합체(B3)로서는, (b1) (메트)아크릴산을 포함하는 1종 이상의 산성 불포화 화합물, (b3) 테트라히드로푸르푸릴(메트)아크릴레이트 및 숙신산[2-(메트)아크릴로일옥시에틸](테트라히드로푸르푸릴)로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상의 테트라히드로푸란 불포화 화합물, 및 (b2) 3-(메타크릴로일옥시메틸)옥세탄, 3-(메타크릴로일옥시메틸)-3-에틸옥세탄, 3-(메타크릴로일옥시메틸)-2-트리플루오로메틸옥세탄, 3-(메타크릴로일옥시메틸)-2-페닐옥세탄, 2-(메타크릴로일옥시메틸)옥세탄 및 2-(메타크릴로일옥시메틸)-4-트리플루오로메틸옥세탄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상의 옥세탄 불포화 화합물, 및 경우에 따라 (b4) 스티렌, N-페닐말레이미드, 메틸(메트)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 알릴(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트, 글리세롤모노(메트)아크릴레이트, 폴리스티렌 거대 단량체 및 폴리메틸메타크릴레이트 거대 단량체로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상의 다른 불포화 화합물을 추가로 함유하는 공중합체(이하, "공중합체(BIII)"라 함)가 바람직하다.Examples of the copolymer (B3) include (b1) at least one acidic unsaturated compound containing (meth) acrylic acid, (b3) tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate and succinic acid [2- (meth) acryloyloxyethyl] One or more tetrahydrofuran unsaturated compounds selected from the group consisting of (tetrahydrofurfuryl), and (b2) 3- (methacryloyloxymethyl) oxetane, 3- (methacryloyloxymethyl) -3 -Ethyl oxetane, 3- (methacryloyloxymethyl) -2-trifluoromethyloxetane, 3- (methacryloyloxymethyl) -2-phenyloxetane, 2- (methacryloyloxy At least one oxetane unsaturated compound selected from the group consisting of methyl) oxetane and 2- (methacryloyloxymethyl) -4-trifluoromethyloxetane, and optionally (b4) styrene, N-phenyl Maleimide, methyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, benzyl (meth) Copolymers further containing one or more other unsaturated compounds selected from the group consisting of acrylates, glycerol mono (meth) acrylates, polystyrene macromonomers and polymethylmethacrylate macromonomers (hereinafter, "copolymer (BIII) "Is preferred.

공중합체(BIII)로서는, 보다 구체적으로는 예를 들면 (b1) (메트)아크릴산을 포함하는 산성 불포화 화합물, (b3) 테트라히드로푸르푸릴(메트)아크릴레이트를 포함하는 테트라히드로푸란 불포화 화합물, 및 (b2) 3-[(메트)아크릴로일옥시메틸]옥 세탄을 포함하는 옥세탄 불포화 화합물, 및 경우에 따라 (b4) 스티렌, N-페닐말레이미드, 메틸(메트)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 알릴(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트, 글리세롤모노(메트)아크릴레이트, 폴리스티렌 거대 단량체 및 폴리메틸메타크릴레이트 거대 단량체로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상의 다른 불포화 화합물을 함유하는 공중합체(BIII-1);As a copolymer (BIII), More specifically, For example, (b1) The acidic unsaturated compound containing (meth) acrylic acid, (b3) The tetrahydrofuran unsaturated compound containing tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, And (b2) an oxetane unsaturated compound comprising 3-[(meth) acryloyloxymethyl] oxetane, and optionally (b4) styrene, N-phenylmaleimide, methyl (meth) acrylate, 2-hydrate At least one selected from the group consisting of oxyethyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylate, polystyrene macromonomers and polymethylmethacrylate macromonomers Copolymers containing other unsaturated compounds (BIII-1);

(b1) (메트)아크릴산을 포함하는 산성 불포화 화합물, (b3) 테트라히드로푸르푸릴(메트)아크릴레이트를 포함하는 테트라히드로푸란 불포화 화합물, 및 (b2) 3-[(메트)아크릴로일옥시메틸]-3-에틸옥세탄을 포함하는 옥세탄 불포화 화합물, 및 경우에 따라 (b4) 스티렌, N-페닐말레이미드, 메틸(메트)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 알릴(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트, 글리세롤모노(메트)아크릴레이트, 폴리스티렌 거대 단량체 및 폴리메틸메타크릴레이트 거대 단량체로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상의 다른 불포화 화합물을 포함하는 공중합체(BIII-2);(b1) an acidic unsaturated compound containing (meth) acrylic acid, (b3) a tetrahydrofuran unsaturated compound containing tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, and (b2) 3-[(meth) acryloyloxymethyl ] -3-ethyl oxetane, including oxetane unsaturated compounds, and optionally (b4) styrene, N-phenylmaleimide, methyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, allyl ( Copolymers comprising at least one other unsaturated compound selected from the group consisting of meth) acrylates, benzyl (meth) acrylates, glycerol mono (meth) acrylates, polystyrene macromonomers and polymethylmethacrylate macromonomers (BIII) -2);

(b1) (메트)아크릴산을 포함하는 산성 불포화 화합물, (b3) 테트라히드로푸르푸릴(메트)아크릴레이트를 포함하는 테트라히드로푸란 불포화 화합물, 및 (b2) 3-[(메트)아크릴로일옥시메틸]-2-트리플루오로메틸옥세탄을 포함하는 옥세탄 불포화 화합물, 및 경우에 따라 (b4) 스티렌, N-페닐말레이미드, 메틸(메트)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 알릴(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트, 글리세롤모노(메트)아크릴레이트, 폴리스티렌 거대 단량체 및 폴리메틸메타크릴레이트 거대 단량체로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상의 다른 불포 화 화합물을 포함하는 공중합체(BIII-3);(b1) an acidic unsaturated compound containing (meth) acrylic acid, (b3) a tetrahydrofuran unsaturated compound containing tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, and (b2) 3-[(meth) acryloyloxymethyl ] Oxetane unsaturated compound comprising 2-trifluoromethyloxetane, and optionally (b4) styrene, N-phenylmaleimide, methyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate And one or more other unsaturated compounds selected from the group consisting of allyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylate, polystyrene macromonomers and polymethylmethacrylate macromonomers Copolymer (BIII-3);

(b1) (메트)아크릴산을 포함하는 산성 불포화 화합물, (b3) 테트라히드로푸르푸릴(메트)아크릴레이트를 포함하는 테트라히드로푸란 불포화 화합물, (b2) 3-[(메트)아크릴로일옥시메틸]-2-페닐옥세탄을 포함하는 옥세탄 불포화 화합물, 및 경우에 따라 (b4) 스티렌, N-페닐말레이미드, 메틸(메트)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 알릴(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트, 글리세롤모노(메트)아크릴레이트, 폴리스티렌 거대 단량체 및 폴리메틸메타크릴레이트 거대 단량체로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상의 다른 불포화 화합물을 함유하는 공중합체(BIII-4);(b1) an acidic unsaturated compound containing (meth) acrylic acid, (b3) a tetrahydrofuran unsaturated compound containing tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, (b2) 3-[(meth) acryloyloxymethyl] Oxetane unsaturated compounds, including 2-phenyloxetane, and optionally (b4) styrene, N-phenylmaleimide, methyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, allyl (meth (BIII-) A copolymer containing one or more other unsaturated compounds selected from the group consisting of acrylates, benzyl (meth) acrylates, glycerol mono (meth) acrylates, polystyrene macromonomers and polymethylmethacrylate macromonomers 4);

(b1) (메트)아크릴산을 포함하는 산성 불포화 화합물, (b3) 테트라히드로푸르푸릴(메트)아크릴레이트를 포함하는 테트라히드로푸란 불포화 화합물, (b2) 2-[(메트)아크릴로일옥시메틸]옥세탄을 포함하는 옥세탄 불포화 화합물, 및 경우에 따라 (b4) 스티렌, N-페닐말레이미드, 메틸(메트)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 알릴(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트, 글리세롤모노(메트)아크릴레이트, 폴리스티렌 거대 단량체 및 폴리메틸메타크릴레이트 거대 단량체로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상의 다른 불포화 화합물을 포함하는 공중합체(BIII-5);(b1) an acidic unsaturated compound containing (meth) acrylic acid, (b3) a tetrahydrofuran unsaturated compound containing tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, (b2) 2-[(meth) acryloyloxymethyl] Oxetane unsaturated compounds, including oxetane, and optionally (b4) styrene, N-phenylmaleimide, methyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, Copolymers (BIII-5) comprising at least one other unsaturated compound selected from the group consisting of benzyl (meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylate, polystyrene macromonomers and polymethylmethacrylate macromonomers;

(b1) (메트)아크릴산을 포함하는 산성 불포화 화합물, (b3) 테트라히드로푸르푸릴(메트)아크릴레이트를 포함하는 테트라히드로푸란 불포화 화합물, (b2) 2-[(메트)아크릴로일옥시메틸]-4-트리플루오로메틸옥세탄을 포함하는 옥세탄 불포화 화 합물, 및 경우에 따라 (b4) 스티렌, N-페닐말레이미드, 메틸(메트)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 알릴(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트, 글리세롤모노(메트)아크릴레이트, 폴리스티렌 거대 단량체 및 폴리메틸메타크릴레이트 거대 단량체로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상의 다른 불포화 화합물을 함유하는 공중합체(BIII-6) 등을 들 수 있다. (b1) an acidic unsaturated compound containing (meth) acrylic acid, (b3) a tetrahydrofuran unsaturated compound containing tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, (b2) 2-[(meth) acryloyloxymethyl] Oxetane unsaturated compounds comprising 4-trifluoromethyloxetane, and optionally (b4) styrene, N-phenylmaleimide, methyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate , Air containing one or more other unsaturated compounds selected from the group consisting of allyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylate, polystyrene macromonomers and polymethylmethacrylate macromonomers Coalescing (BIII-6) and the like.

이들 공중합체(BIII) 중, 특히 공중합체(BIII-1), 공중합체(BIII-2) 등이 바람직하다.Among these copolymers (BIII), copolymer (BIII-1), copolymer (BIII-2) and the like are particularly preferable.

공중합체(BIII)에 있어서, 산성 불포화 화합물의 공중합 비율은 바람직하게는 1 내지 40 중량%, 특히 바람직하게는 5 내지 30 중량%이고, 테트라히드로푸란 불포화 화합물의 공중합 비율은 바람직하게는 1 내지 70 중량%, 특히 바람직하게는 1 내지 40 중량%이고, 옥세탄 불포화 화합물의 공중합 비율은 바람직하게는 1 내지 60 중량%, 특히 바람직하게는 1 내지 40 중량%이고, 다른 불포화 화합물의 공중합 비율은 바람직하게는 0 내지 70 중량%, 보다 바람직하게는 1 내지 60 중량%이다.In the copolymer (BIII), the copolymerization ratio of the acidic unsaturated compound is preferably 1 to 40% by weight, particularly preferably 5 to 30% by weight, and the copolymerization ratio of the tetrahydrofuran unsaturated compound is preferably 1 to 70. The weight ratio, particularly preferably 1 to 40% by weight, the copolymerization ratio of the oxetane unsaturated compound is preferably 1 to 60% by weight, particularly preferably 1 to 40% by weight, and the copolymerization ratio of the other unsaturated compound is preferred. Preferably it is 0 to 70 weight%, More preferably, it is 1 to 60 weight%.

본 발명에서는 공중합체(BIII)에서의 각 불포화 화합물의 공중합 비율을 상기 범위로 함으로써, 감도, 기판에 대한 밀착성, 내용제성 등이 우수한 착색층 형성용 감방사선성 조성물을 얻을 수 있다.In this invention, the radiation sensitive composition for colored layer formation excellent in the sensitivity, adhesiveness to a board | substrate, solvent resistance, etc. can be obtained by making the copolymerization ratio of each unsaturated compound in a copolymer (BIII) into the said range.

본 발명에서는 (B1), (B2) 및 (B3) 공중합체와 함께 다른 알칼리 가용성 수지를 병용할 수도 있다. In this invention, another alkali-soluble resin can also be used together with (B1), (B2), and (B3) copolymer.

상기 다른 알칼리 가용성 수지로서는 (A) 착색제에 대하여 결합제로서 작용 하면서, 착색층을 형성할 때의 현상 처리 공정에서 사용되는 알칼리 현상액에 대하여 가용성을 갖는 한 특별히 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 카르복실기를 갖는 알칼리 가용성 수지(이하, "다른 카르복실기 함유 알칼리 가용성 수지"라 함)가 바람직하게 사용된다.It does not specifically limit as said other alkali-soluble resin as long as it has solubility with respect to the alkaline developing solution used at the developing process process at the time of forming a colored layer, acting as a binder with respect to (A) coloring agent. For example, an alkali-soluble resin having a carboxyl group (hereinafter referred to as "other carboxyl-containing alkali-soluble resin") is preferably used.

다른 카르복실기 함유 알칼리 가용성 수지로서는, 예를 들면 (B1), (B2) 및 (B3) 공중합체에 대하여 예시한 카르복실기 함유 불포화 화합물 1종 이상과, (B1), (B2) 및 (B3) 공중합체에 대해서 예시한 다른 불포화 화합물 1종 이상과의 공중합체 등을 들 수 있다.As another carboxyl group-containing alkali-soluble resin, for example, one or more of the carboxyl group-containing unsaturated compounds exemplified for the (B1), (B2) and (B3) copolymers, and the (B1), (B2) and (B3) copolymers The copolymer with 1 or more types of other unsaturated compounds which were illustrated about is mentioned.

바람직한 다른 카르복실기 함유 알칼리 가용성 수지로서는, 보다 구체적으로는 예를 들면 (i) (메트)아크릴산을 포함하는 카르복실기 함유 불포화 화합물과, (ii) 스티렌, N-페닐말레이미드, 메틸(메트)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 알릴(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트, 글리세롤모노(메트)아크릴레이트, 폴리스티렌 거대 단량체 및 폴리메틸메타크릴레이트 거대 단량체로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상과의 공중합체 등을 들 수 있다.As another preferable carboxyl group-containing alkali-soluble resin, More specifically, (i) The carboxyl group-containing unsaturated compound containing (meth) acrylic acid, (ii) Styrene, N-phenylmaleimide, methyl (meth) acrylate, Selected from the group consisting of 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylate, polystyrene macromonomers and polymethylmethacrylate macromonomers The copolymer with 1 or more types, etc. are mentioned.

본 발명에 있어서, (B1), (B2), (B3) 공중합체 및 다른 알칼리 가용성 수지의 겔 투과 크로마토그래피(GPC, 용출 용매: 테트라히드로푸란)로 측정한 폴리스티렌 환산 중량 평균 분자량(이하, "Mw"라 함)은 각각 바람직하게는 3,000 내지 300,000, 보다 바람직하게는 5,000 내지 100,000이다. In the present invention, the polystyrene reduced weight average molecular weight (hereinafter, "is measured by gel permeation chromatography (GPC, elution solvent: tetrahydrofuran) of the (B1), (B2), (B3) copolymer and other alkali-soluble resin. Mw ") are each preferably 3,000 to 300,000, more preferably 5,000 to 100,000.

또한, (B1), (B2), (B3) 공중합체 및 다른 알칼리 가용성 수지의 겔 투과 크로마토그래피(GPC, 용출 용매: 테트라히드로푸란)로 측정한 폴리스티렌 환산 수 평 균 분자량(이하, "Mn"이라 함)은 각각 바람직하게는 3,000 내지 60,000, 보다 바람직하게는 5,000 내지 25,000이다.In addition, the polystyrene reduced horizontal average molecular weight (hereinafter, "Mn") measured by gel permeation chromatography (GPC, elution solvent: tetrahydrofuran) of the (B1), (B2), (B3) copolymer and other alkali-soluble resins. Are preferably 3,000 to 60,000, more preferably 5,000 to 25,000.

본 발명에서는 상기 특정 Mw 및 Mn을 갖는 (B1) 공중합체와 (B2) 공중합체를 조합하여 사용하거나 또는 (B3) 공중합체를 사용하고, 또는 추가로 상기 특정 Mw 및 Mn을 갖는 다른 알칼리 가용성 수지를 병용함으로써 현상성이 우수한 감방사선성 조성물이 얻어지고, 이에 따라, 샤프한 패턴 엣지를 갖는 화소 및 블랙 매트릭스를 형성할 수 있는 동시에, 현상시에 미노광부의 기판 상 및 차광층 상에 잔사, 바탕 오염, 막 잔류물 등이 발생하기 어려워진다.In the present invention, another alkali-soluble resin having the above-mentioned specific Mw and Mn may be used in combination with the above-mentioned (B1) copolymer having the specific Mw and Mn or (B2) copolymer, or using the (B3) copolymer. By using together, a radiation sensitive composition excellent in developability is obtained, whereby a pixel and a black matrix having sharp pattern edges can be formed, and at the time of development, a residue and a ground are formed on the substrate and the light shielding layer of the unexposed part. Contamination, film residues, etc. are less likely to occur.

또한, (B1), (B2), (B3) 공중합체에 대한 다른 알칼리 가용성 수지의 Mw와 Mn의 비(Mw/Mn)는 각각 바람직하게는 1 내지 5, 더욱 바람직하게는 1 내지 4이다.Moreover, ratio (Mw / Mn) of Mw and Mn of other alkali-soluble resin with respect to the (B1), (B2), and (B3) copolymer is respectively preferably 1-5, more preferably 1-4.

본 발명에 있어서, (B1), (B2), (B3) 공중합체 및 다른 알칼리 가용성 수지는 각각 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.In this invention, (B1), (B2), (B3) copolymer and another alkali-soluble resin can be used individually or in mixture of 2 or more types, respectively.

본 발명에 있어서, 알칼리 가용성 수지의 합계 사용량은 (A) 착색제100 중량부에 대하여 바람직하게는 10 내지 1,000 중량부, 보다 바람직하게는 20 내지 500 중량부이다. 알칼리 가용성 수지의 합계 사용량이 10 중량부 미만이면, 예를 들면 알칼리 현상성이 저하되거나, 미노광부의 기판 상 또는 차광층 상에 바탕 오염이나 막 잔류물이 발생할 우려가 있고, 한편 1,000 중량부를 초과하면, 상대적으로 착색제 농도가 저하되기 때문에, 박막으로서 목적으로 하는 색 농도를 달성하는 것이 곤란해질 우려가 있다.In the present invention, the total amount of the alkali-soluble resin is preferably 10 to 1,000 parts by weight, more preferably 20 to 500 parts by weight based on 100 parts by weight of the colorant (A). If the total amount of the alkali-soluble resin is less than 10 parts by weight, for example, alkali developability may be lowered, or background contamination or film residue may be generated on the substrate or the light shielding layer of the unexposed part, while exceeding 1,000 parts by weight. When the colorant concentration is relatively lowered, it may be difficult to achieve the target color density as a thin film.

또한, 알칼리 가용성 수지 중에서의 (B1) 공중합체와 (B2) 공중합체의 합계 사용 비율 또는 (B3) 공중합체의 사용 비율은 바람직하게는 5 내지 100 중량%, 보다 바람직하게는 10 내지 100 중량%, 특히 바람직하게는 30 내지 100 중량%이다. 상기 합계 사용 비율이 5 중량% 미만이면, 본 발명의 소기의 효과가 손상될 우려가 있다.In addition, the total use ratio of the (B1) copolymer and the (B2) copolymer or the use ratio of the (B3) copolymer in the alkali-soluble resin is preferably 5 to 100% by weight, more preferably 10 to 100% by weight. And particularly preferably 30 to 100% by weight. When the said total use ratio is less than 5 weight%, the desired effect of this invention may be impaired.

또한, (B1) 공중합체와 (B2) 공중합체의 합계에 대한 공중합체(B1)의 사용 비율은 바람직하게는 1 내지 90 중량%, 특히 바람직하게는 5 내지 80 중량%이다. (B1) 공중합체의 사용 비율이 1 중량% 미만이면, 내용제성이 저하되는 경향이 있고, 한편 90 중량%를 초과하면, 보존 안정성이 저하되는 경향이 있다.In addition, the use ratio of copolymer (B1) with respect to the sum total of (B1) copolymer and (B2) copolymer becomes like this. Preferably it is 1 to 90 weight%, Especially preferably, it is 5 to 80 weight%. When the use ratio of the copolymer (B1) is less than 1% by weight, solvent resistance tends to decrease, while when it exceeds 90% by weight, storage stability tends to decrease.

-(C) 다관능성 단량체--(C) polyfunctional monomer-

본 발명에서의 다관능성 단량체는 2개 이상의 중합성 불포화 결합을 갖는 단량체를 포함한다. Multifunctional monomers in the present invention include monomers having two or more polymerizable unsaturated bonds.

다관능성 단량체로서는, 예를 들면 에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜 등의 알킬렌글리콜의 디(메트)아크릴레이트; As a polyfunctional monomer, For example, Di (meth) acrylate of alkylene glycol, such as ethylene glycol and propylene glycol;

폴리에틸렌글리콜, 폴리프로필렌글리콜 등의 폴리알킬렌글리콜의 디(메트)아크릴레이트;Di (meth) acrylates of polyalkylene glycols such as polyethylene glycol and polypropylene glycol;

글리세린, 트리메틸올프로판, 펜타에리트리톨, 디펜타에리트리톨 등의 3가 이상의 다가 알코올의 폴리(메트)아크릴레이트나, 이들의 디카르복실산 변성물; Poly (meth) acrylates of trihydric or higher polyhydric alcohols such as glycerin, trimethylolpropane, pentaerythritol, dipentaerythritol, and modified dicarboxylic acids thereof;

폴리에스테르, 에폭시 수지, 우레탄 수지, 알키드 수지, 실리콘 수지, 스피란 수지 등의 올리고(메트)아크릴레이트; Oligo (meth) acrylates such as polyester, epoxy resin, urethane resin, alkyd resin, silicone resin and spiran resin;

양쪽 말단 히드록시폴리-1,3-부타디엔, 양쪽 말단 히드록시폴리이소프렌, 양 쪽 말단 히드록시폴리카프로락톤 등의 양쪽 말단 히드록실화 중합체의 디(메트)아크릴레이트나,Di (meth) acrylates of both terminal hydroxylated polymers such as both terminal hydroxypoly-1,3-butadiene, both terminal hydroxypolyisoprene and both terminal hydroxypolycaprolactone,

트리스[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]포스페이트 등을 들 수 있다. Tris [2- (meth) acryloyloxyethyl] phosphate etc. are mentioned.

이들 다관능성 단량체 중, 3가 이상의 다가 알코올의 폴리(메트)아크릴레이트류나 이들의 디카르복실산 변성물, 구체적으로는 트리메틸올프로판 트리아크릴레이트, 트리메틸올프로판 트리메타크릴레이트, 펜타에리트리톨 트리아크릴레이트, 펜타에리트리톨 트리메타크릴레이트, 펜타에리트리톨 테트라아크릴레이트, 펜타에리트리톨 테트라메타크릴레이트, 디펜타에리트리톨 펜타아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 펜타메타크릴레이트, 디펜타에리트리톨 헥사아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 헥사메타크릴레이트, 하기 화학식 3으로 표시되는 화합물, 하기 화학식 4로 표시되는 화합물 등이 바람직하고, 특히, 트리메틸올프로판 트리아크릴레이트, 펜타에리트리톨 트리아크릴레이트 및 디펜타에리트리톨 헥사아크릴레이트가, 착색층의 강도가 높고, 착색층의 표면 평활성이 우수하면서, 미노광부의 기판 상 및 차광층 상에 바탕 오염, 막 잔류물 등이 발생하기 어려운 점에서 특히 바람직하다.Among these polyfunctional monomers, poly (meth) acrylates of trivalent or higher polyhydric alcohols and their dicarboxylic acid modified substances, specifically trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, pentaerythritol tri Acrylate, pentaerythritol trimethacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate , Dipentaerythritol hexamethacrylate, a compound represented by the following formula (3), a compound represented by the following formula (4), and the like, and in particular, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, and dipentaerythritol Hexaacrylate has high strength of the colored layer, It is especially preferable at the point which is excellent in the surface smoothness of a colored layer, and background contamination, a film | membrane residue, etc. on a board | substrate and a light shielding layer of an unexposed part hardly generate | occur | produce.

Figure 112007038658573-PAT00003
Figure 112007038658573-PAT00003

Figure 112007038658573-PAT00004
Figure 112007038658573-PAT00004

상기 다관능성 단량체는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.The said polyfunctional monomer can be used individually or in mixture of 2 or more types.

본 발명에서의 다관능성 단량체의 사용량은 알칼리 가용성 수지 100 중량부에 대하여 바람직하게는 5 내지 500 중량부, 보다 바람직하게는 20 내지 300 중량부이다. 다관능성 단량체의 사용량이 5 중량부 미만이면, 착색층의 강도나 표면 평활성이 저하되는 경향이 있고, 한편 500 중량부를 초과하면, 예를 들면 알칼리 현상성이 저하되거나, 미노광부의 기판 상 또는 차광층 상에 바탕 오염, 막 잔류물 등이 발생하기 쉬워지는 경향이 있다.The amount of the polyfunctional monomer used in the present invention is preferably 5 to 500 parts by weight, more preferably 20 to 300 parts by weight based on 100 parts by weight of the alkali-soluble resin. If the amount of the polyfunctional monomer is less than 5 parts by weight, the strength and surface smoothness of the colored layer tends to be lowered. On the other hand, if the amount is more than 500 parts by weight, for example, alkali developability is lowered, or the substrate or light-shielding of the unexposed part is performed. Background contamination, film residues, and the like tend to be easily generated on the layer.

또한, 본 발명에서는 다관능성 단량체와 함께 중합성 불포화 결합을 1개 갖는 단관능성 단량체를 병용할 수도 있다.Moreover, in this invention, you may use together the monofunctional monomer which has one polymerizable unsaturated bond with a polyfunctional monomer.

상기 단관능성 단량체로서는, 예를 들면 (B) 알칼리 가용성 수지에서의 산성 불포화 화합물, N 위치-치환 말레이미드 또는 다른 불포화 화합물에 대하여 예시한 화합물과 동일한 화합물이나, N-(메트)아크릴로일모르폴린, N-비닐피롤리돈, N-비닐-ε-카프로락탐 외에, 시판품으로서 M-5600(상품명, 도아 고세이(주) 제조) 등을 들 수 있다.As said monofunctional monomer, the compound similar to the compound illustrated with respect to the acidic unsaturated compound, N-substituted maleimide, or another unsaturated compound in (B) alkali-soluble resin, for example, N- (meth) acryloyl mor M-5600 (brand name, Toagosei Co., Ltd.) etc. are mentioned as a commercial item other than a polyline, N-vinylpyrrolidone, and N-vinyl- epsilon caprolactam.

이들 단관능성 단량체는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.These monofunctional monomers can be used individually or in mixture of 2 or more types.

단관능성 단량체의 사용 비율은 다관능성 단량체와 단관능성 단량체의 합계에 대하여 바람직하게는 90 중량% 이하, 보다 바람직하게는 50 중량% 이하이다. 단관능성 단량체의 사용 비율이 90 중량%를 초과하면, 얻어지는 착색층의 강도나 표면 평활성이 불충분해질 우려가 있다.The use ratio of the monofunctional monomer is preferably 90% by weight or less, more preferably 50% by weight or less based on the total of the polyfunctional monomer and the monofunctional monomer. When the use ratio of a monofunctional monomer exceeds 90 weight%, there exists a possibility that the intensity | strength and surface smoothness of the colored layer obtained may become inadequate.

본 발명에서의 다관능성 단량체와 단관능성 단량체의 합계 사용량은 알칼리 가용성 수지 100 중량부에 대하여 바람직하게는 5 내지 500 중량부, 보다 바람직하게는 20 내지 300 중량부이다. 상기 합계 사용량이 5 중량부 미만이면, 착색층의 강도나 표면 평활성이 저하되는 경향이 있고, 한편 500 중량부를 초과하면, 예를 들면, 알칼리 현상성이 저하되거나, 미노광부의 기판 상 또는 차광층 상에 바탕 오염, 막 잔류물 등이 발생하기 쉬워지는 경향이 있다.The total amount of the polyfunctional monomer and the monofunctional monomer in the present invention is preferably 5 to 500 parts by weight, more preferably 20 to 300 parts by weight based on 100 parts by weight of the alkali-soluble resin. If the total amount of use is less than 5 parts by weight, the strength and surface smoothness of the colored layer tends to be lowered. On the other hand, if the total amount exceeds 500 parts by weight, for example, alkali developability is lowered, or the substrate or the light shielding layer of the unexposed part is reduced. Background contamination, film residues, etc. tend to occur.

-(D) 광 중합 개시제--(D) photoinitiator-

본 발명에서의 광 중합 개시제는 가시광선, 자외선, 원자외선, 전자선, X 선 등의 방사선의 노광에 의해 상기 (C) 다관능성 단량체 및 경우에 따라 사용되는 단관능성 단량체의 중합을 개시할 수 있는 활성종을 발생하는 화합물이다.The photopolymerization initiator in the present invention can initiate polymerization of the above-mentioned (C) polyfunctional monomer and the monofunctional monomer used in some cases by exposure to radiation such as visible light, ultraviolet ray, far ultraviolet ray, electron beam, X-ray and the like. It is a compound that generates active species.

이러한 광 중합 개시제로서는, 예를 들면 아세토페논 화합물, 비이미다졸 화합물, 트리아진 화합물, 벤조인 화합물, 벤조페논 화합물, α-디케톤 화합물, 다핵 퀴논 화합물, 크산톤 화합물, 디아조 화합물, O-아실옥심 화합물, 오늄염 화합물, 이미드술포네이트 화합물 등을 들 수 있다. 이들 화합물은 노광에 의해 활성 라디 칼 또는 활성 산, 또는 활성 라디칼과 활성 산 둘 다를 발생시키는 성분이다.As such a photoinitiator, an acetophenone compound, a biimidazole compound, a triazine compound, a benzoin compound, a benzophenone compound, the (alpha)-diketone compound, a polynuclear quinone compound, a xanthone compound, a diazo compound, O-, for example An acyl oxime compound, an onium salt compound, an imide sulfonate compound, etc. are mentioned. These compounds are components which generate either active radicals or active acids by exposure or both active radicals and active acids.

본 발명에 있어서, 광 중합 개시제는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있지만, 본 발명에서의 광 중합 개시제로서는 아세토페논 화합물, 비이미다졸 화합물, 트리아진 화합물 및 O-아실옥심 화합물의 군에서 선택되는 1종 이상이 바람직하다.In the present invention, the photopolymerization initiator may be used alone or in combination of two or more thereof. As the photopolymerization initiator in the present invention, an acetophenone compound, a biimidazole compound, a triazine compound, and an O-acyl oxime compound are used. At least 1 type selected from is preferable.

본 발명에 있어서, 광 중합 개시제의 일반적인 사용량은 (C) 다관능성 단량체 100 중량부 또는 (C) 다관능성 단량체와 단관능성 단량체(사용하는 경우, 이하 동일)의 합계 100 중량부에 대하여 바람직하게는 0.01 내지 120 중량부, 보다 바람직하게는 1 내지 100 중량부이다. 광 중합 개시제의 사용량이 0.01 중량부 미만이면, 노광에 의한 경화가 불충분해져, 착색층 패턴이 소정 배열에 따라서 배치된 컬러 필터를 얻는 것이 곤란해질 우려가 있고, 한편 120 중량부를 초과하면, 형성된 착색층이 현상시에 기판으로부터 탈락되기 쉬워지는 경향이 있다.In the present invention, the general amount of the photopolymerization initiator is preferably 100 parts by weight of (C) the polyfunctional monomer or 100 parts by weight of the total of the (C) polyfunctional monomer and the monofunctional monomer (the same when used). 0.01 to 120 parts by weight, more preferably 1 to 100 parts by weight. When the usage-amount of a photoinitiator is less than 0.01 weight part, hardening by exposure may become inadequate, and it may become difficult to obtain the color filter by which the colored layer pattern was arrange | positioned according to a predetermined arrangement, and when it exceeds 120 weight part, the coloring formed There exists a tendency for a layer to fall easily from a board | substrate at the time of image development.

본 발명에서의 바람직한 광 중합 개시제 중, 아세토페논 화합물의 구체예로서는, 2-히드록시-2-메틸-1-페닐프로판-1-온, 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노프로판-1-온, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온, 1-히드록시시클로헥실·페닐케톤, 2,2-디메톡시-1,2-디페닐에탄-1-온, 1,2-옥탄디온 등을 들 수 있다.As a specific example of an acetophenone compound among the preferable photoinitiators in this invention, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one and 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] 2-morpholinopropane-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2,2 -Dimethoxy-1,2-diphenylethan-1-one, 1,2-octanedione, etc. are mentioned.

이들 아세토페논 화합물 중, 특히 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노프로판-1-온, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온, 1,2-옥탄디온 등이 바람직하다.Among these acetophenone compounds, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropane-1-one and 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholin) Nophenyl) butan-1-one, 1,2-octanedione and the like are preferred.

상기 아세토페논 화합물은 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. The acetophenone compounds may be used alone or in combination of two or more thereof.

본 발명에 있어서, 광 중합 개시제로서 아세토페논 화합물을 사용하는 경우의 사용량은 (C) 다관능성 단량체 100 중량부 또는 (C) 다관능성 단량체와 단관능성 단량체(사용하는 경우, 이하 동일)의 합계 100 중량부에 대하여 바람직하게는 0.01 내지 80 중량부, 보다 바람직하게는 1 내지 60 중량부, 더욱 바람직하게는 1 내지 30 중량부이다. 아세토페논 화합물의 사용량이 0.01 중량부 미만이면, 노광에 의한 경화가 불충분해져, 착색층 패턴이 소정 배열에 따라서 배치된 컬러 필터를 얻는 것이 곤란해질 우려가 있고, 한편 80 중량부를 초과하면, 형성된 착색층이 현상시에 기판으로부터 탈락되기 쉬워지는 경향이 있다.In this invention, the usage-amount in the case of using an acetophenone compound as a photoinitiator is 100 weight part of (C) polyfunctional monomers or 100 total of (C) polyfunctional monomers and a monofunctional monomer (the same when used, the following) 100 The amount is preferably 0.01 to 80 parts by weight, more preferably 1 to 60 parts by weight, still more preferably 1 to 30 parts by weight. When the usage-amount of an acetophenone compound is less than 0.01 weight part, hardening by exposure may become inadequate, and it may become difficult to obtain the color filter by which the colored layer pattern was arrange | positioned according to a predetermined arrangement, and when it exceeds 80 weight part, the coloring formed There exists a tendency for a layer to fall easily from a board | substrate at the time of image development.

또한, 상기 비이미다졸 화합물의 구체예로서는, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라키스(4-에톡시카르보닐페닐)-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2-브로모페닐)-4,4',5,5'-테트라키스(4-에톡시카르보닐페닐)-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2,4-디클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2,4,6-트리클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2-브로모페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2,4-디브로모페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2,4,6-트리브로모페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸 등을 들 수 있다.Moreover, as a specific example of the said biimidazole compound, 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'- tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2' -Biimidazole, 2,2'-bis (2-bromophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2,4-dichlorophenyl)- 4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4', 5,5'- Tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2-bromophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2, 2'-bis (2,4-dibromophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2,4,6- Tribromophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, etc. are mentioned.

이들 비이미다졸 화합물 중, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐 -1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2,4-디클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2,4,6-트리클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸 등이 바람직하고, 특히 2,2'-비스(2,4-디클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸이 바람직하다.Among these biimidazole compounds, 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl -1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2 , 4-dichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole and the like are preferred, in particular 2,2'-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4', 5,5'-tetra Phenyl-1,2'-biimidazole is preferred.

이들 비이미다졸 화합물은 용제에 대한 용해성이 우수하여, 미용해물, 석출물 등의 이물질이 생기지 않고, 게다가 감도가 높고, 적은 에너지량의 노광에 의해 경화 반응을 충분히 진행시키는 동시에, 미노광부에서 경화 반응이 생기지 않기 때문에, 노광 후의 도막은 현상액에 대하여 불용성인 경화 부분과 현상액에 대하여 높은 용해성을 갖는 미경화 부분으로 명확히 구분되며, 이에 따라 언더 커트가 없는 착색층 패턴이 소정 배열에 따라서 배치된 고정밀한 컬러 필터를 형성할 수 있다.These biimidazole compounds are excellent in solubility in solvents, do not generate foreign matters such as undissolved products and precipitates, and are highly sensitive and sufficiently proceed the curing reaction by exposure of a small amount of energy, and at the same time, the curing reaction in the unexposed part. Since this does not occur, the coated film after exposure is clearly divided into a hardened part insoluble in the developer and an uncured part having high solubility in the developer, whereby a high-precision colored layer pattern without undercuts is disposed according to a predetermined arrangement. Color filters can be formed.

상기 비이미다졸 화합물은 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.The said biimidazole compound can be used individually or in mixture of 2 or more types.

본 발명에 있어서, 광 중합 개시제로서 비이미다졸 화합물을 사용하는 경우의 사용량은 (C) 다관능성 단량체 100 중량부 또는 (C) 다관능성 단량체와 단관능성 단량체의 합계 100 중량부에 대하여 바람직하게는 0.01 내지 40 중량부, 보다 바람직하게는 1 내지 30 중량부, 더욱 바람직하게는 1 내지 20 중량부이다. 이 경우, 비이미다졸 화합물의 사용량이 0.01 중량부 미만이면, 노광에 의한 경화가 불충분해져, 착색층 패턴이 소정 배열에 따라서 배치된 컬러 필터를 얻는 것이 곤란해질 우려가 있고, 한편 40 중량부를 초과하면, 현상할 때에, 형성된 착색층의 기 판으로부터의 탈락이나 착색층 표면의 막 거칠음을 초래하기 쉬워지는 경향이 있다.In the present invention, the amount of use of the biimidazole compound as the photopolymerization initiator is preferably 100 parts by weight of (C) the polyfunctional monomer or 100 parts by weight of the total of the (C) polyfunctional monomer and the monofunctional monomer. 0.01 to 40 parts by weight, more preferably 1 to 30 parts by weight, still more preferably 1 to 20 parts by weight. In this case, when the usage-amount of a biimidazole compound is less than 0.01 weight part, hardening by exposure may become inadequate, and it may become difficult to obtain the color filter by which the colored layer pattern was arrange | positioned according to a predetermined arrangement, while exceeding 40 weight part When it develops, there exists a tendency which becomes easy to cause the fall of the formed colored layer from the board | substrate, and the film | membrane roughness of the colored layer surface.

본 발명에서는 광 중합 개시제로서 비이미다졸 화합물을 이용하는 경우, 하기의 수소 공여체를 병용하는 것이 감도를 더욱 개량할 수 있는 점에서 바람직하다.In this invention, when using a biimidazole compound as a photoinitiator, using the following hydrogen donor together is preferable at the point which can improve a sensitivity further.

여기서 말하는 "수소 공여체"란, 노광에 의해 비이미다졸 화합물로부터 발생한 라디칼에 대하여 수소 원자를 공여할 수 있는 화합물을 의미한다.The "hydrogen donor" as used here means the compound which can donate a hydrogen atom with respect to the radical which generate | occur | produced from the biimidazole compound by exposure.

본 발명에서의 수소 공여체로서는 하기에서 정의하는 머캅탄 화합물, 아민 화합물 등이 바람직하다.As the hydrogen donor in the present invention, mercaptan compounds, amine compounds and the like defined below are preferable.

상기 머캅탄 화합물은 벤젠환 또는 복소환을 모핵으로 하고, 상기 모핵에 직접 결합된 머캅토기를 1개 이상, 바람직하게는 1 내지 3개, 더욱 바람직하게는 1 내지 2개 갖는 화합물(이하, "머캅탄 수소 공여체"라 함)을 포함한다.The mercaptan compound is a compound having a benzene ring or a heterocycle as a mother nucleus, and having at least one mercapto group bonded directly to the mother nucleus, preferably 1 to 3, more preferably 1 to 2 (hereinafter, " Mercaptan hydrogen donor ".

상기 아민 화합물은 벤젠환 또는 복소환을 모핵으로 하고, 상기 모핵에 직접 결합된 아미노기를 1개 이상, 바람직하게는 1 내지 3개, 더욱 바람직하게는 1 내지 2개 갖는 화합물(이하, "아민 수소 공여체"라 함)을 포함한다.The amine compound is a compound having a benzene ring or a heterocycle as a mother nucleus, and having at least one, preferably 1 to 3, more preferably 1 to 2 amino groups directly bonded to the mother nucleus (hereinafter referred to as "amine hydrogen Donor ".

한편, 이들 수소 공여체는 머캅토기와 아미노기를 동시에 가질 수도 있다.On the other hand, these hydrogen donors may have a mercapto group and an amino group simultaneously.

이하, 수소 공여체에 대하여 보다 구체적으로 설명한다.The hydrogen donor will be described in more detail below.

머캅탄 수소 공여체는 벤젠환 또는 복소환을 각각 1개 이상 가질 수 있고, 또한 벤젠환과 복소환 둘 다를 가질 수 있으며, 이들 환을 2개 이상 갖는 경우, 축합환을 형성할 수도 있다.The mercaptan hydrogen donor may have one or more benzene rings or heterocycles, and may have both a benzene ring and a heterocycle, and may have a condensed ring when having two or more of these rings.

또한, 머캅탄 수소 공여체는 머캅토기를 2개 이상 갖는 경우, 1개 이상의 유리 머캅토기가 잔존하는 한, 나머지 머캅토기 중 1개 이상이 알킬, 아르알킬 또는 아릴기로 치환될 수 있고, 나아가 1개 이상의 유리 머캅토기가 잔존하는 한, 2개의 황 원자가 알킬렌기 등의 2가의 유기기를 개재하여 결합된 구조 단위, 또는 2개의 황 원자가 디술피드 형태로 결합된 구조 단위를 가질 수 있다.In addition, when the mercaptan hydrogen donor has two or more mercapto groups, as long as one or more free mercapto groups remain, one or more of the remaining mercapto groups may be substituted with an alkyl, aralkyl or aryl group, and further one As long as the above free mercapto group remains, two sulfur atoms may have a structural unit bonded through a divalent organic group such as an alkylene group, or two sulfur atoms in a disulfide form.

또한, 머캅탄 수소 공여체는 머캅토기 이외의 부분에서 카르복실기, 알콕시카르보닐기, 치환 알콕시카르보닐기, 페녹시카르보닐기, 치환 페녹시카르보닐기, 니트릴기 등에 의해 치환될 수도 있다.In addition, the mercaptan hydrogen donor may be substituted by a carboxyl group, an alkoxycarbonyl group, a substituted alkoxycarbonyl group, a phenoxycarbonyl group, a substituted phenoxycarbonyl group, a nitrile group, or the like at portions other than the mercapto group.

이러한 머캅탄 수소 공여체의 구체예로서는, 2-머캅토벤조티아졸, 2-머캅토벤조옥사졸, 2-머캅토벤조이미다졸, 2,5-디머캅토-1,3,4-티아디아졸, 2-머캅토-2,5-디메틸아미노피리딘 등을 들 수 있다.Specific examples of such mercaptan hydrogen donors include 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzoxazole, 2-mercaptobenzoimidazole, 2,5-dimercapto-1,3,4-thiadiazole, 2-mercapto-2,5-dimethylaminopyridine etc. are mentioned.

이들 머캅탄 수소 공여체 중, 2-머캅토벤조티아졸, 2-머캅토벤조옥사졸이 바람직하고, 특히 2-머캅토벤조티아졸이 바람직하다. Among these mercaptan hydrogen donors, 2-mercaptobenzothiazole and 2-mercaptobenzoxazole are preferable, and 2-mercaptobenzothiazole is particularly preferable.

또한, 아민 수소 공여체는 벤젠환 또는 복소환을 각각 1개 이상 가질 수 있고, 또한 벤젠환과 복소환 둘 다를 가질 수 있으며, 이들 환을 2개 이상 갖는 경우, 축합환을 형성할 수도 있다.In addition, the amine hydrogen donor may have one or more benzene rings or heterocycles, and may also have both a benzene ring and a heterocycle, and may have a condensed ring when having two or more of these rings.

또한, 아민 수소 공여체는 아미노기 중 1개 이상이 알킬기 또는 치환 알킬기로 치환될 수 있고, 또한 아미노기 이외의 부분에서 카르복실기, 알콕시카르보닐기, 치환 알콕시카르보닐기, 페녹시카르보닐기, 치환 페녹시카르보닐기, 니트릴기 등에 의해 치환될 수도 있다.In addition, the amine hydrogen donor may be substituted with at least one amino group by an alkyl group or a substituted alkyl group, and may be substituted by a carboxyl group, an alkoxycarbonyl group, a substituted alkoxycarbonyl group, a phenoxycarbonyl group, a substituted phenoxycarbonyl group, a nitrile group, etc. It may be substituted.

이러한 아민 수소 공여체의 구체예로서는, 4,4'-비스(디메틸아미노)벤조페논, 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논, 4-디에틸아미노아세토페논, 4-디메틸아미노프로피오페논, 에틸-4-디메틸아미노벤조에이트, 4-디메틸아미노벤조산, 4-디메틸아미노벤조니트릴 등을 들 수 있다. Specific examples of such amine hydrogen donors include 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone, 4-diethylaminoacetophenone and 4-dimethylaminopropiophenone. , Ethyl-4-dimethylaminobenzoate, 4-dimethylaminobenzoic acid, 4-dimethylaminobenzonitrile, and the like.

이들 아민 수소 공여체 중, 4,4'-비스(디메틸아미노)벤조페논, 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논이 바람직하고, 특히 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논이 바람직하다.Among these amine hydrogen donors, 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone and 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone are preferable, and 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone is particularly preferable. This is preferred.

한편, 아민 수소 공여체는 비이미다졸 화합물 이외의 광 중합 개시제의 경우에 있어서도 증감제로서의 작용을 갖는 것이다.On the other hand, the amine hydrogen donor has the function as a sensitizer also in the case of photoinitiators other than a biimidazole compound.

본 발명에 있어서, 수소 공여체는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. 1종 이상의 머캅탄 수소 공여체와 1종 이상의 아민 수소 공여체를 조합하여 사용하는 것이, 형성된 착색층이 현상시에 기판으로부터 탈락되기 어렵고, 또한 착색층 강도 및 감도도 높은 점에서 바람직하다.In the present invention, the hydrogen donors may be used alone or in combination of two or more thereof. It is preferable to use a combination of one or more mercaptan hydrogen donors and one or more amine hydrogen donors in that the formed colored layer is hardly eliminated from the substrate during development, and the colored layer strength and sensitivity are also high.

머캅탄 수소 공여체와 아민 수소 공여체의 조합의 구체예로서는, 2-머캅토벤조티아졸/4,4'-비스(디메틸아미노)벤조페논, 2-머캅토벤조티아졸/4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논, 2-머캅토벤조옥사졸/4,4'-비스(디메틸아미노)벤조페논, 2-머캅토벤조옥사졸/4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논 등을 들 수 있다. 더욱 바람직한 조합은 2-머캅토벤조티아졸/4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논, 2-머캅토벤조옥사졸/4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논이고, 특히 바람직한 조합은 2-머캅토벤조티아졸/4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논이다.Specific examples of the combination of the mercaptan hydrogen donor and the amine hydrogen donor include 2-mercaptobenzothiazole / 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone and 2-mercaptobenzothiazole / 4,4'-bis ( Diethylamino) benzophenone, 2-mercaptobenzooxazole / 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone, 2-mercaptobenzooxazole / 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone, etc. Can be mentioned. More preferred combinations are 2-mercaptobenzothiazole / 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone, 2-mercaptobenzooxazole / 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone, in particular Preferred combination is 2-mercaptobenzothiazole / 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone.

머캅탄 수소 공여체와 아민 수소 공여체의 조합에서의 머캅탄 수소 공여체와 아민 수소 공여체의 중량비는 바람직하게는 1:1 내지 1:4, 보다 바람직하게는 1:1 내지 1:3이다.The weight ratio of mercaptan hydrogen donor and amine hydrogen donor in the combination of mercaptan hydrogen donor and amine hydrogen donor is preferably 1: 1 to 1: 4, more preferably 1: 1 to 1: 3.

본 발명에 있어서, 수소 공여체를 비이미다졸 화합물과 병용하는 경우의 사용량은 (C) 다관능성 단량체 100 중량부 또는 (C) 다관능성 단량체와 단관능성 단량체의 합계 100 중량부에 대하여 바람직하게는 0.01 내지 40 중량부, 더욱 바람직하게는 1 내지 30 중량부, 특히 바람직하게는 1 내지 20 중량부이다. 수소 공여체의 사용량이 0.01 중량부 미만이면, 감도 개량 효과가 저하되는 경향이 있고, 한편 40 중량부를 초과하면, 형성된 착색층이 현상시에 기판으로부터 탈락되기 쉬워지는 경향이 있다.In the present invention, the amount used when the hydrogen donor is used in combination with the biimidazole compound is preferably 0.01 part by weight based on 100 parts by weight of (C) the polyfunctional monomer or 100 parts by weight of the total of the (C) polyfunctional monomer and the monofunctional monomer. To 40 parts by weight, more preferably 1 to 30 parts by weight, particularly preferably 1 to 20 parts by weight. When the amount of the hydrogen donor used is less than 0.01 part by weight, the effect of improving the sensitivity tends to be lowered. On the other hand, when the amount of the hydrogen donor exceeds 40 parts by weight, the formed colored layer tends to fall off the substrate during development.

또한, 상기 트리아진 화합물의 구체예로서는, 2,4,6-트리스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-메틸-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-[2-(5-메틸푸란-2-일)에테닐]-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-[2-(푸란-2-일)에테닐]-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-[2-(4-디에틸아미노-2-메틸페닐)에테닐]-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-[2-(3,4-디메톡시페닐)에테닐]-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(4-메톡시페닐)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(4-에톡시스티릴)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(4-n-부톡시페닐)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진 등의 할로메틸기를 갖는 트리아진 화합물을 들 수 있다. In addition, specific examples of the triazine compound include 2,4,6-tris (trichloromethyl) -s-triazine, 2-methyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (5-methylfuran-2-yl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (furan-2-yl) ethenyl] -4 , 6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (4-diethylamino-2-methylphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine , 2- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-methoxyphenyl) -4,6-bis (Trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-ethoxystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-n-butoxyphenyl)- Triazine compounds which have halomethyl groups, such as 4, 6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, are mentioned.

이들 트리아진 화합물 중, 특히 2-[2-(3,4-디메톡시페닐)에테닐]-4,6-비스( 트리클로로메틸)-s-트리아진이 바람직하다. Among these triazine compounds, 2- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine is particularly preferable.

상기 트리아진 화합물은 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. The said triazine compound can be used individually or in mixture of 2 or more types.

본 발명에 있어서, 광 중합 개시제로서 트리아진 화합물을 사용하는 경우의 사용량은 (C) 다관능성 단량체 100 중량부 또는 (C) 다관능성 단량체와 단관능성 단량체의 합계 100 중량부에 대하여 바람직하게는 0.01 내지 40 중량부, 더욱 바람직하게는 1 내지 30 중량부, 특히 바람직하게는 1 내지 20 중량부이다. 트리아진 화합물의 사용량이 0.01 중량부 미만이면, 노광에 의한 경화가 불충분해져, 착색층 패턴이 소정 배열에 따라서 배치된 컬러 필터를 얻는 것이 곤란해질 우려가 있고, 한편 40 중량부를 초과하면, 형성된 착색층이 현상시에 기판으로부터 탈락되기 쉬워지는 경향이 있다.In the present invention, the amount of the triazine compound used as the photopolymerization initiator is preferably 0.01 part by weight based on 100 parts by weight of (C) the polyfunctional monomer or 100 parts by weight of the total of the (C) polyfunctional monomer and the monofunctional monomer. To 40 parts by weight, more preferably 1 to 30 parts by weight, particularly preferably 1 to 20 parts by weight. If the amount of the triazine compound used is less than 0.01 part by weight, curing by exposure may be insufficient, and it may be difficult to obtain a color filter in which the colored layer pattern is arranged in accordance with a predetermined arrangement. There exists a tendency for a layer to fall easily from a board | substrate at the time of image development.

또한, 상기 O-아실옥심 화합물의 구체예로서는, 1-[4-(페닐티오)페닐]-헵탄-1,2-디온 2-(O-벤조일옥심), 1-[4-(페닐티오)페닐]-옥탄-1,2-디온 2-(O-벤조일옥심), 1-[4-(벤조일)페닐]-옥탄-1,2-디온 2-(O-벤조일옥심), 1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카르바졸-3-일]-에타논 1-(O-아세틸옥심), 1-[9-에틸-6-(3-메틸벤조일)-9H-카르바졸-3-일]-에타논 1-(O-아세틸옥심), 1-(9-에틸-6-벤조일-9H-카르바졸-3-일)-에타논 1-(O-아세틸옥심) 등을 들 수 있다.In addition, specific examples of the O-acyl oxime compound include 1- [4- (phenylthio) phenyl] -heptane-1,2-dione 2- (O-benzoyloxime) and 1- [4- (phenylthio) phenyl ] -Octane-1,2-dione 2- (O-benzoyloxime), 1- [4- (benzoyl) phenyl] -octane-1,2-dione 2- (O-benzoyloxime), 1- [9- Ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -ethanone 1- (O-acetyloxime), 1- [9-ethyl-6- (3-methylbenzoyl) -9H- Carbazol-3-yl] -ethanone 1- (O-acetyloxime), 1- (9-ethyl-6-benzoyl-9H-carbazol-3-yl) -ethanone 1- (O-acetyloxime) Etc. can be mentioned.

이들 O-아실옥심 화합물 중, 특히 1-[4-(페닐티오)페닐]-옥탄-1,2-디온 2-(O-벤조일옥심), 1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카르바졸-3-일]-에타논 1-(O-아세틸옥심) 등이 바람직하다.Among these O-acyl oxime compounds, in particular, 1- [4- (phenylthio) phenyl] -octane-1,2-dione 2- (O-benzoyloxime), 1- [9-ethyl-6- (2-methyl Benzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -ethanone 1- (O-acetyloxime) and the like are preferred.

상기 O-아실옥심 화합물은 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.The O-acyl oxime compounds may be used alone or in combination of two or more thereof.

본 발명에 있어서, 광 중합 개시제로서 O-아실옥심 화합물을 사용하는 경우의 사용량은 (C) 다관능성 단량체 100 중량부 또는 (C) 다관능성 단량체와 단관능성 단량체의 합계 100 중량부에 대하여 바람직하게는 0.01 내지 40 중량부, 더욱 바람직하게는 1 내지 30 중량부, 특히 바람직하게는 1 내지 20 중량부이다. 이 경우, O-아실옥심 화합물의 사용량이 0.01 중량부 미만이면, 노광에 의한 경화가 불충분해져, 착색층 패턴이 소정 배열에 따라서 배치된 컬러 필터를 얻는 것이 곤란해질 우려가 있고, 한편 40 중량부를 초과하면, 형성된 착색층이 현상시에 기판으로부터 탈락되기 쉬워지는 경향이 있다.In the present invention, the amount of use of the O-acyl oxime compound as the photopolymerization initiator is preferably 100 parts by weight of (C) the polyfunctional monomer or 100 parts by weight of the total of the (C) polyfunctional monomer and the monofunctional monomer. Is 0.01 to 40 parts by weight, more preferably 1 to 30 parts by weight, particularly preferably 1 to 20 parts by weight. In this case, when the usage-amount of an O-acyl oxime compound is less than 0.01 weight part, hardening by exposure may become inadequate, and it may become difficult to obtain the color filter by which the colored layer pattern was arrange | positioned according to a predetermined arrangement, and 40 weight part When it exceeds, it exists in the tendency for the formed colored layer to fall off from a board | substrate at the time of image development.

또한, 상기 오늄염 화합물로서는, 예를 들면 디아릴요오도늄염, 트리아릴술포늄염, 디아릴포스포늄염 등을 들 수 있다.Moreover, as said onium salt compound, a diaryl iodonium salt, a triaryl sulfonium salt, a diaryl phosphonium salt, etc. are mentioned, for example.

상기 디아릴요오도늄염의 구체예로서는, 디페닐요오도늄테트라플루오로보레이트, 디페닐요오도늄헥사플루오로포스포네이트, 디페닐요오도늄헥사플루오로아르세네이트, 디페닐요오도늄트리플루오로메탄술포네이트, 디페닐요오도늄트리플루오로아세테이트, 디페닐요오도늄-p-톨루엔술포네이트, 4-메톡시페닐페닐요오도늄테트라플루오로보레이트, 4-메톡시페닐페닐요오도늄헥사플루오로포스포네이트, 4-메톡시페닐페닐요오도늄헥사플루오로아르세네이트, 4-메톡시페닐페닐요오도늄트리플루오로메탄술포네이트, 4-메톡시페닐페닐요오도늄트리플루오로아세테이트, 4-메톡시페닐페닐요오도늄-p-톨루엔술포네이트, 비스(4-tert-부틸페닐)요오도늄테트라플루 오로보레이트, 비스(4-tert-부틸페닐)요오도늄헥사플루오로아르세네이트, 비스(4-tert-부틸페닐)요오도늄트리플루오로메탄술포네이트, 비스(4-tert-부틸페닐)요오도늄트리플루오로아세테이트, 비스(4-tert-부틸페닐)요오도늄-p-톨루엔술포네이트 등을 들 수 있다.As a specific example of the said diaryl iodonium salt, diphenyl iodonium tetrafluoro borate, diphenyl iodonium hexafluoro phosphonate, diphenyl iodonium hexafluoro arsenate, and diphenyl iodonium tri Fluoromethanesulfonate, diphenyliodonium trifluoroacetate, diphenyliodonium-p-toluenesulfonate, 4-methoxyphenylphenyliodonium tetrafluoroborate, 4-methoxyphenylphenyliodo Hexane hexafluorophosphonate, 4-methoxyphenylphenyl iodonium hexafluoroarsenate, 4-methoxyphenylphenyl iodonium trifluoromethanesulfonate, 4-methoxyphenylphenyl iodonium tree Fluoroacetate, 4-methoxyphenylphenyl iodonium-p-toluenesulfonate, bis (4-tert-butylphenyl) iodoniumtetrafluoroborate, bis (4-tert-butylphenyl) iodonium hexa Fluoroarsenate, bis (4-tert-butylphen Iodonium trifluoromethanesulfonate, bis (4-tert-butylphenyl) iodonium trifluoroacetate, bis (4-tert-butylphenyl) iodonium-p-toluenesulfonate, etc. are mentioned. have.

상기 트리아릴술포늄염의 구체예로서는, 트리페닐술포늄테트라플루오로보레이트, 트리페닐술포늄헥사플루오로포스포네이트, 트리페닐술포늄헥사플루오로아르세네이트, 트리페닐술포늄트리플루오로메탄술포네이트, 트리페닐술포늄트리플루오로아세테이트, 트리페닐술포늄-p-톨루엔술포네이트, 4-메톡시페닐디페닐술포늄테트라플루오로보레이트, 4-메톡시페닐디페닐술포늄헥사플루오로포스포네이트, 4-메톡시페닐디페닐술포늄헥사플루오로아르세네이트, 4-메톡시페닐디페닐술포늄트리플루오로메탄술포네이트, 4-메톡시페닐디페닐술포늄트리플루오로아세테이트, 4-메톡시페닐디페닐술포늄-p-톨루엔술포네이트, 4-페닐티오페닐디페닐술포늄테트라플루오로보레이트, 4-페닐티오페닐디페닐술포늄헥사플루오로포스포네이트, 4-페닐티오페닐디페닐술포늄헥사플루오로아르세네이트, 4-페닐티오페닐디페닐술포늄트리플루오로메탄술포네이트, 4-페닐티오페닐디페닐술포늄트리플루오로아세테이트, 4-페닐티오페닐디페닐술포늄-p-톨루엔술포네이트 등을 들 수 있다.Specific examples of the triarylsulfonium salt include triphenylsulfonium tetrafluoroborate, triphenylsulfonium hexafluorophosphonate, triphenylsulfonium hexafluoroarsenate, and triphenylsulfonium trifluoromethanesulfonate , Triphenylsulfonium trifluoroacetate, triphenylsulfonium-p-toluenesulfonate, 4-methoxyphenyldiphenylsulfonium tetrafluoroborate, 4-methoxyphenyldiphenylsulfonium hexafluorophosphonate , 4-methoxyphenyldiphenylsulfonium hexafluoroarsenate, 4-methoxyphenyldiphenylsulfonium trifluoromethanesulfonate, 4-methoxyphenyldiphenylsulfonium trifluoroacetate, 4-methoxy Methoxyphenyldiphenylsulfonium-p-toluenesulfonate, 4-phenylthiophenyldiphenylsulfoniumtetrafluoroborate, 4-phenylthiophenyldiphenylsulfonium hexafluorophosphonate, 4-phenylthiophenyldipe Sulfonium hexafluoroarsenate, 4-phenylthiophenyldiphenylsulfoniumtrifluoromethanesulfonate, 4-phenylthiophenyldiphenylsulfonium trifluoroacetate, 4-phenylthiophenyldiphenylsulfonium-p -Toluenesulfonate etc. are mentioned.

상기 디아릴포스포늄염의 구체예로서는, (1-6-η-쿠멘)(η-시클로펜타디에닐)철헥사플루오로포스포네이트 등을 들 수 있다.As a specific example of the said diaryl phosphonium salt, (1-6- (eta)-cumene) ((eta) -cyclopentadienyl) iron hexafluoro phosphonate etc. are mentioned.

이들 오늄염 화합물 중, 특히 디페닐요오도늄헥사플루오로포스포네이트, 트리페닐술포늄트리플루오로메탄술포네이트 등이 바람직하다.Among these onium salt compounds, diphenyl iodonium hexafluorophosphonate, triphenylsulfonium trifluoromethanesulfonate, and the like are particularly preferable.

상기 오늄염 화합물은 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. The onium salt compounds may be used alone or in combination of two or more thereof.

본 발명에 있어서, 광 중합 개시제로서 오늄염 화합물을 사용하는 경우의 사용량은 (C) 다관능성 단량체 100 중량부 또는 (C) 다관능성 단량체와 단관능성 단량체의 합계 100 중량부에 대하여 바람직하게는 0.01 내지 40 중량부, 더욱 바람직하게는 1 내지 30 중량부, 특히 바람직하게는 1 내지 20 중량부이다. 오늄염 화합물의 사용량이 0.01 중량부 미만이면, 노광에 의한 경화가 불충분해져, 착색층 패턴이 소정 배열에 따라서 배치된 컬러 필터를 얻는 것이 곤란해질 우려가 있고, 한편 40 중량부를 초과하면, 형성된 착색층이 현상시에 기판으로부터 탈락되기 쉬워지는 경향이 있다.In the present invention, the amount used when the onium salt compound is used as the photopolymerization initiator is preferably 0.01 to 100 parts by weight of (C) 100 parts by weight of the polyfunctional monomer or 100 parts by weight of the total of the (C) polyfunctional monomer and the monofunctional monomer. To 40 parts by weight, more preferably 1 to 30 parts by weight, particularly preferably 1 to 20 parts by weight. When the usage-amount of an onium salt compound is less than 0.01 weight part, hardening by exposure may become inadequate, and it may become difficult to obtain the color filter by which the colored layer pattern was arrange | positioned according to a predetermined arrangement, and when it exceeds 40 weight part, the coloring formed There exists a tendency for a layer to fall easily from a board | substrate at the time of image development.

-첨가제--additive-

본 발명의 착색층 형성용 감방사선성 조성물은 필요에 따라 다양한 첨가제를 함유할 수 있다. The radiation sensitive composition for coloring layer formation of this invention can contain various additives as needed.

상기 첨가제로서는, 예를 들면 유기산 또는 유기 아미노 화합물(단, 상기 수소 공여체를 제외함), 경화제, 경화 보조제 등을 들 수 있다. As said additive, an organic acid or an organic amino compound (except the said hydrogen donor), a hardening | curing agent, a hardening adjuvant, etc. are mentioned, for example.

상기 유기산 및 유기 아미노 화합물은 감방사선성 조성물의 알칼리 현상액에 대한 용해성을 보다 개선하면서, 현상 후의 미용해물의 잔존을 보다 억제하는 작용 등을 나타내는 성분이다. The said organic acid and organic amino compound are components which show the effect which further suppresses the remainder of the undissolved matter after image development, further improving the solubility to the alkaline developing solution of a radiation sensitive composition.

상기 유기산으로서는 분자 중에 1개 이상의 카르복실기를 갖는 지방족 카르복실산 또는 페닐기 함유 카르복실산이 바람직하다. As said organic acid, the aliphatic carboxylic acid or phenyl group containing carboxylic acid which has 1 or more carboxyl group in a molecule | numerator is preferable.

상기 지방족 카르복실산으로서는, 예를 들면 포름산, 아세트산, 프로피온산, 부티르산, 발레르산, 피발산, 카프로산, 디에틸아세트산, 에난트산, 카프릴산 등의 모노카르복실산; As said aliphatic carboxylic acid, For example, monocarboxylic acids, such as formic acid, acetic acid, propionic acid, butyric acid, valeric acid, pivalic acid, caproic acid, diethyl acetic acid, enanthic acid, caprylic acid;

옥살산, 말론산, 숙신산, 글루타르산, 아디프산, 피멜산, 수베르산, 아젤라산, 세박산, 브라실산, 메틸말론산, 에틸말론산, 디메틸말론산, 메틸숙신산, 테트라메틸숙신산, 시클로헥산디카르복실산, 이타콘산, 시트라콘산, 말레산, 푸마르산, 메사콘산 등의 디카르복실산;Oxalic acid, malonic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, suberic acid, azelaic acid, sebacic acid, brasilic acid, methylmalonic acid, ethylmalonic acid, dimethylmalonic acid, methylsuccinic acid, tetramethylsuccinic acid, Dicarboxylic acids such as cyclohexanedicarboxylic acid, itaconic acid, citraconic acid, maleic acid, fumaric acid and mesaconic acid;

트리카르발릴산, 아코니트산, 캄포론산 등의 트리카르복실산 등을 들 수 있다. Tricarboxylic acids, such as tricarvalic acid, aconitic acid, and camphoronic acid, etc. are mentioned.

또한, 상기 페닐기 함유 카르복실산으로서는, 예를 들면 카르복실기가 직접 페닐기에 결합된 화합물, 카르복실기가 탄소쇄를 통해 페닐기에 결합된 카르복실산 등을 들 수 있다. Examples of the phenyl group-containing carboxylic acid include compounds in which a carboxyl group is directly bonded to a phenyl group, and carboxylic acid in which the carboxyl group is bonded to a phenyl group via a carbon chain.

페닐기 함유 카르복실산으로서는, 예를 들면 벤조산, 톨루일산, 쿠민산, 헤멜리트산, 메시틸렌산 등의 방향족 모노카르복실산;As a phenyl group containing carboxylic acid, For example, Aromatic monocarboxylic acids, such as benzoic acid, toluic acid, cuminic acid, hemelic acid, and mesitylene acid;

프탈산, 이소프탈산, 테레프탈산 등의 방향족 디카르복실산; Aromatic dicarboxylic acids such as phthalic acid, isophthalic acid and terephthalic acid;

트리멜리트산, 트리메스산, 멜로판산, 피로멜리트산 등의 3가 이상의 방향족 폴리카르복실산이나,Trivalent or higher aromatic polycarboxylic acids such as trimellitic acid, trimesic acid, melanoic acid and pyromellitic acid;

페닐아세트산, 히드로아트로프산, 히드로신남산, 만델산, 페닐숙신산, 아트로프산, 신남산, 신나밀리덴산, 쿠마르산, 움벨산 등을 들 수 있다.And phenylacetic acid, hydroatroic acid, hydrocinnamic acid, mandelic acid, phenylsuccinic acid, atroic acid, cinnamic acid, cinnamiledic acid, kumaric acid, and umbelic acid.

이들 유기산 중, 알칼리 용해성, 후술하는 용매에 대한 용해성, 미노광부의 기판 상 또는 차광층 상에서의 바탕 오염이나 막 잔류물 방지 등의 측면에서, 지방 족 카르복실산으로서는 지방족 디카르복실산이 바람직하고, 특히 말론산, 아디프산, 이타콘산, 시트라콘산, 푸마르산, 메사콘산 등이 바람직하다. 또한, 페닐기 함유 카르복실산으로서는 방향족 디카르복실산이 바람직하고, 특히 프탈산이 바람직하다. Among these organic acids, aliphatic dicarboxylic acid is preferable as the aliphatic carboxylic acid in view of alkali solubility, solubility in a solvent to be described later, prevention of background contamination or film residue on a substrate or a light shielding layer of an unexposed part, In particular, malonic acid, adipic acid, itaconic acid, citraconic acid, fumaric acid, mesaconic acid and the like are preferable. Moreover, as a phenyl group containing carboxylic acid, aromatic dicarboxylic acid is preferable and phthalic acid is especially preferable.

상기 유기산은 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. The said organic acid can be used individually or in mixture of 2 or more types.

유기산의 사용량은 감방사선성 조성물의 고형분 전체에 대하여 바람직하게는 15 중량% 이하, 보다 바람직하게는 10 중량% 이하이다. 유기산의 사용량이 15 중량%를 초과하면, 형성된 착색층의 기판에 대한 밀착성이 저하되는 경향이 있다. The amount of the organic acid to be used is preferably 15% by weight or less, more preferably 10% by weight or less based on the total solid of the radiation-sensitive composition. When the usage-amount of an organic acid exceeds 15 weight%, there exists a tendency for adhesiveness with respect to the board | substrate of the formed colored layer to fall.

또한, 상기 유기 아미노 화합물로서는 분자 중에 1개 이상의 아미노기를 갖는 지방족 아민 또는 페닐기 함유 아민이 바람직하다.Moreover, as said organic amino compound, the aliphatic amine or phenyl group containing amine which has 1 or more amino group in a molecule | numerator is preferable.

상기 지방족 아민으로서는, 예를 들면 n-프로필아민, i-프로필아민, n-부틸아민, i-부틸아민, sec-부틸아민, t-부틸아민, n-펜틸아민, n-헥실아민, n-헵틸아민, n-옥틸아민, n-노닐아민, n-데실아민, n-운데실아민, n-도데실아민, 시클로헥실아민, 2-메틸시클로헥실아민, 3-메틸시클로헥실아민, 4-메틸시클로헥실아민, 2-에틸시클로헥실아민, 3-에틸시클로헥실아민, 4-에틸시클로헥실아민 등의 모노(시클로)알킬아민; As said aliphatic amine, it is n-propylamine, i-propylamine, n-butylamine, i-butylamine, sec-butylamine, t-butylamine, n-pentylamine, n-hexylamine, n-, for example. Heptylamine, n-octylamine, n-nonylamine, n-decylamine, n-undecylamine, n-dodecylamine, cyclohexylamine, 2-methylcyclohexylamine, 3-methylcyclohexylamine, 4- Mono (cyclo) alkylamines such as methylcyclohexylamine, 2-ethylcyclohexylamine, 3-ethylcyclohexylamine and 4-ethylcyclohexylamine;

메틸에틸아민, 디에틸아민, 메틸 n-프로필아민, 에틸 n-프로필아민, 디-n-프로필아민, 디-i-프로필아민, 디-n-부틸아민, 디-i-부틸아민, 디-sec-부틸아민, 디-t-부틸아민, 디-n-펜틸아민, 디-n-헥실아민, 메틸시클로헥실아민, 에틸시클로헥실아민, 디시클로헥실아민 등의 디(시클로)알킬아민; Methylethylamine, diethylamine, methyl n-propylamine, ethyl n-propylamine, di-n-propylamine, di-i-propylamine, di-n-butylamine, di-i-butylamine, di- di (cyclo) alkylamines such as sec-butylamine, di-t-butylamine, di-n-pentylamine, di-n-hexylamine, methylcyclohexylamine, ethylcyclohexylamine and dicyclohexylamine;

디메틸에틸아민, 메틸디에틸아민, 트리에틸아민, 디메틸 n-프로필아민, 디에틸 n-프로필아민, 메틸디-n-프로필아민, 에틸디-n-프로필아민, 트리-n-프로필아민, 트리-i-프로필아민, 트리-n-부틸아민, 트리-i-부틸아민, 트리-sec-부틸아민, 트리-t-부틸아민, 트리-n-펜틸아민, 트리-n-헥실아민, 디메틸시클로헥실아민, 디에틸시클로헥실아민, 메틸디시클로헥실아민, 에틸디시클로헥실아민, 트리시클로헥실아민 등의 트리(시클로)알킬아민; Dimethylethylamine, methyldiethylamine, triethylamine, dimethyl n-propylamine, diethyl n-propylamine, methyldi-n-propylamine, ethyldi-n-propylamine, tri-n-propylamine, tri -i-propylamine, tri-n-butylamine, tri-i-butylamine, tri-sec-butylamine, tri-t-butylamine, tri-n-pentylamine, tri-n-hexylamine, dimethylcyclo Tri (cyclo) alkylamines such as hexylamine, diethylcyclohexylamine, methyldicyclohexylamine, ethyldicyclohexylamine and tricyclohexylamine;

2-아미노에탄올, 3-아미노-1-프로판올, 1-아미노-2-프로판올, 4-아미노-1-부탄올, 5-아미노-1-펜탄올, 6-아미노-1-헥산올, 4-아미노-1-시클로헥산올 등의 모노(시클로)알칸올아민; 2-aminoethanol, 3-amino-1-propanol, 1-amino-2-propanol, 4-amino-1-butanol, 5-amino-1-pentanol, 6-amino-1-hexanol, 4-amino Mono (cyclo) alkanolamines such as -1-cyclohexanol;

디에탄올아민, 디-n-프로판올아민, 디-i-프로판올아민, 디-n-부탄올아민, 디-i-부탄올아민, 디-n-펜탄올아민, 디-n-헥산올아민, 디(4-시클로헥산올)아민 등의 디(시클로)알칸올아민; Diethanolamine, di-n-propanolamine, di-i-propanolamine, di-n-butanolamine, di-i-butanolamine, di-n-pentanolamine, di-n-hexanolamine, di ( Di (cyclo) alkanolamines such as 4-cyclohexanol) amine;

트리에탄올아민, 트리-n-프로판올아민, 트리-i-프로판올아민, 트리-n-부탄올아민, 트리-i-부탄올아민, 트리-n-펜탄올아민, 트리-n-헥산올아민, 트리(4-시클로헥산올)아민 등의 트리(시클로)알칸올아민; Triethanolamine, tri-n-propanolamine, tri-i-propanolamine, tri-n-butanolamine, tri-i-butanolamine, tri-n-pentanolamine, tri-n-hexanolamine, tri (4 Tri (cyclo) alkanolamines such as -cyclohexanol) amine;

3-아미노-1,2-프로판디올, 2-아미노-1,3-프로판디올, 4-아미노-1,2-부탄디올, 4-아미노-1,3-부탄디올, 4-아미노-1,2-시클로헥산디올, 4-아미노-1,3-시클로헥산디올, 3-디메틸아미노-1,2-프로판디올, 3-디에틸아미노-1,2-프로판디올, 2-디메틸아미노-1,3-프로판디올, 2-디에틸아미노-1,3-프로판디올 등의 아미노(시클로)알칸디올; 3-amino-1,2-propanediol, 2-amino-1,3-propanediol, 4-amino-1,2-butanediol, 4-amino-1,3-butanediol, 4-amino-1,2- Cyclohexanediol, 4-amino-1,3-cyclohexanediol, 3-dimethylamino-1,2-propanediol, 3-diethylamino-1,2-propanediol, 2-dimethylamino-1,3- Amino (cyclo) alkanediols such as propanediol and 2-diethylamino-1,3-propanediol;

1-아미노시클로펜탄메탄올, 4-아미노시클로펜탄메탄올, 1-아미노시클로헥산메탄올, 4-아미노시클로헥산메탄올, 4-디메틸아미노시클로펜탄메탄올, 4-디에틸아미노시클로펜탄메탄올, 4-디메틸아미노시클로헥산메탄올, 4-디에틸아미노시클로헥산메탄올 등의 아미노기 함유 시클로알칸메탄올; β-알라닌, 2-아미노부티르산, 3-아미노부티르산, 4-아미노부티르산, 2-아미노이소부티르산, 3-아미노이소부티르산, 2-아미노발레르산, 5-아미노발레르산, 6-아미노카프로산, 1-아미노시클로프로판카르복실산, 1-아미노시클로헥산카르복실산, 4-아미노시클로헥산카르복실산 등의 아미노카르복실산 등을 들 수 있다.1-aminocyclopentanmethanol, 4-aminocyclopentanmethanol, 1-aminocyclohexanemethanol, 4-aminocyclohexanemethanol, 4-dimethylaminocyclopentanmethanol, 4-diethylaminocyclopentanmethanol, 4-dimethylaminocyclo Amino group-containing cycloalkanethanols such as hexanemethanol and 4-diethylaminocyclohexanemethanol; β-alanine, 2-aminobutyric acid, 3-aminobutyric acid, 4-aminobutyric acid, 2-aminoisobutyric acid, 3-aminoisobutyric acid, 2-aminovaleric acid, 5-aminovaleric acid, 6-aminocaproic acid, 1 And aminocarboxylic acids such as -aminocyclopropanecarboxylic acid, 1-aminocyclohexanecarboxylic acid, and 4-aminocyclohexanecarboxylic acid.

또한, 상기 페닐기 함유 아민으로서는, 예를 들면 아미노기가 직접 페닐기에 결합된 화합물, 아미노기가 탄소쇄를 통해 페닐기에 결합된 화합물 등을 들 수 있다. Moreover, as said phenyl group containing amine, the compound etc. which the amino group couple | bonded with the phenyl group directly, the amino group couple | bonded with the phenyl group through the carbon chain, etc. are mentioned, for example.

페닐기 함유 아민으로서는, 예를 들면 아닐린, 2-메틸아닐린, 3-메틸아닐린, 4-메틸아닐린, 4-에틸아닐린, 4-n-프로필아닐린, 4-i-프로필아닐린, 4-n-부틸아닐린, 4-t-부틸아닐린, 1-나프틸아민, 2-나프틸아민, N,N-디메틸아닐린, N,N-디에틸아닐린, 4-메틸-N,N-디메틸아닐린 등의 방향족 아민; As the phenyl group-containing amine, for example, aniline, 2-methylaniline, 3-methylaniline, 4-methylaniline, 4-ethylaniline, 4-n-propylaniline, 4-i-propylaniline, 4-n-butylaniline Aromatic amines such as 4-t-butylaniline, 1-naphthylamine, 2-naphthylamine, N, N-dimethylaniline, N, N-diethylaniline and 4-methyl-N, N-dimethylaniline;

2-아미노벤질알코올, 3-아미노벤질알코올, 4-아미노벤질알코올, 4-디메틸아미노벤질알코올, 4-디에틸아미노벤질알코올 등의 아미노벤질알코올; Aminobenzyl alcohols such as 2-aminobenzyl alcohol, 3-aminobenzyl alcohol, 4-aminobenzyl alcohol, 4-dimethylaminobenzyl alcohol, and 4-diethylaminobenzyl alcohol;

2-아미노페놀, 3-아미노페놀, 4-아미노페놀, 4-디메틸아미노페놀, 4-디에틸아미노페놀 등의 아미노페놀 등을 들 수 있다. And aminophenols such as 2-aminophenol, 3-aminophenol, 4-aminophenol, 4-dimethylaminophenol, and 4-diethylaminophenol.

이들 유기 아미노 화합물 중, 후술하는 용매에 대한 용해성, 미노광부의 기 판 상 또는 차광층 상에서의 바탕 오염이나 막 잔류물 방지 등의 측면에서, 지방족 아민으로서는 모노(시클로)알칸올아민, 아미노(시클로)알칸디올이 바람직하고, 특히 2-아미노에탄올, 3-아미노-1-프로판올, 5-아미노-1-펜탄올, 3-아미노-1,2-프로판디올, 2-아미노-1,3-프로판디올, 4-아미노-1,2-부탄디올 등이 바람직하다. 또한, 페닐기 함유 아민으로서는 아미노페놀이 바람직하고, 특히 2-아미노페놀, 3-아미노페놀, 4-아미노페놀 등이 바람직하다. Among these organic amino compounds, mono (cyclo) alkanolamine and amino (cyclo) are used as aliphatic amines in view of solubility in a solvent to be described later, prevention of background contamination or film residue on a substrate or a light shielding layer of an unexposed part. Alkanediol is preferred, especially 2-aminoethanol, 3-amino-1-propanol, 5-amino-1-pentanol, 3-amino-1,2-propanediol, 2-amino-1,3-propane Diol, 4-amino-1,2-butanediol, etc. are preferable. Moreover, as a phenyl group containing amine, aminophenol is preferable and 2-aminophenol, 3-aminophenol, 4-aminophenol etc. are especially preferable.

상기 유기 아미노 화합물은 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. The said organic amino compound can be used individually or in mixture of 2 or more types.

유기 아미노 화합물의 사용량은 감방사선성 조성물의 고형분 전체에 대하여 바람직하게는 15 중량% 이하, 보다 바람직하게는 10 중량% 이하이다. 유기 아미노 화합물의 사용량이 15 중량%를 초과하면, 형성된 착색층의 기판에 대한 밀착성이 저하되는 경향이 있다. The usage-amount of an organic amino compound becomes like this. Preferably it is 15 weight% or less with respect to the whole solid content of a radiation sensitive composition, More preferably, it is 10 weight% or less. When the usage-amount of an organic amino compound exceeds 15 weight%, there exists a tendency for adhesiveness with respect to the board | substrate of the formed colored layer to fall.

상기 경화제는 (B1), (B3) 공중합체 중의 카르복실기 및/또는 옥세탄환 또는 (B2) 공중합체 중의 카르복실기와 반응하여 이들 공중합체를 경화시키는 성분이다.The said hardening | curing agent is a component which hardens these copolymers by reacting with the carboxyl group and / or oxetane ring in the (B1), (B3) copolymer, or the carboxyl group in the (B2) copolymer.

이러한 경화제로서는, 예를 들면 에폭시 화합물, 옥세탄 화합물 등을 들 수 있다. As such a hardening | curing agent, an epoxy compound, an oxetane compound, etc. are mentioned, for example.

상기 에폭시 화합물로서는 다관능 에폭시 화합물이 바람직하고, 그의 구체예로서는, 비스페놀 A 에폭시 수지, 수소화 비스페놀 A 에폭시 수지, 비스페놀 F 에폭시 수지, 수소화 비스페놀 F 에폭시 수지, 노볼락형 에폭시 수지 등의 방향족계 에폭시 수지; 지환족계 에폭시 수지, 복소환식 에폭시 수지, 글리시딜 에스테르계 수지, 글리시딜 아민계 수지, 에폭시화유 등의 다른 에폭시 수지; 이들 에폭시 수지의 브롬화 유도체 외에, 부타디엔의 (공)중합체의 에폭시화물, 이소프렌의 (공)중합체의 에폭시화물, 글리시딜기 함유 불포화 화합물의 (공)중합체, 트리글리시딜이소시아누레이트 등을 들 수 있다.As said epoxy compound, a polyfunctional epoxy compound is preferable, As a specific example, Aromatic epoxy resins, such as a bisphenol A epoxy resin, a hydrogenated bisphenol A epoxy resin, a bisphenol F epoxy resin, a hydrogenated bisphenol F epoxy resin, a novolak-type epoxy resin; Other epoxy resins such as cycloaliphatic epoxy resins, heterocyclic epoxy resins, glycidyl ester resins, glycidyl amine resins, and epoxidized oils; In addition to the brominated derivatives of these epoxy resins, epoxides of (co) polymers of butadiene, epoxides of (co) polymers of isoprene, (co) polymers of glycidyl group-containing unsaturated compounds, triglycidyl isocyanurate, and the like can be given. Can be.

또한, 상기 에폭시 화합물로서 에폭시기 함유 불포화 화합물도 바람직하고, 그의 구체예로서는, 글리시딜(메트)아크릴레이트, 3,4-에폭시부틸(메트)아크릴레이트, 6,7-에폭시헵틸(메트)아크릴레이트, o-비닐벤질글리시딜에테르, m-비닐벤질글리시딜에테르, p-비닐벤질글리시딜에테르 등을 들 수 있다. Moreover, an epoxy group containing unsaturated compound is also preferable as said epoxy compound, As a specific example, glycidyl (meth) acrylate, 3, 4- epoxy butyl (meth) acrylate, 6,7-epoxyheptyl (meth) acrylate , o-vinyl benzyl glycidyl ether, m-vinyl benzyl glycidyl ether, p-vinyl benzyl glycidyl ether and the like.

또한, 상기 옥세탄 화합물로서는 다관능 옥세탄 화합물이 바람직하고, 그의 구체예로서는, 탄산비스옥세타닐, 아디프산비스옥세타닐, 테레프탈산비스옥세타닐, p-크실릴렌디카르복실산비스옥세타닐, 1,4-시클로헥산디카르복실산비스옥세타닐 등의 저분자 화합물이나, 페놀 노볼락 수지의 옥세탄 에테르화물, 옥세탄 골격을 갖는 불포화 화합물의 (공)중합체(단, 공중합체(B1), (B3)를 제외함) 등의 고분자 화합물을 들 수 있다.Moreover, as said oxetane compound, a polyfunctional oxetane compound is preferable, and as the specific example, bis oxetanyl carbonate, bis oxetanyl adipic acid, bis oxetanyl terephthalate, p-xylylene dicarboxylic acid bis (Co) polymers of low molecular weight compounds such as oxetanyl and 1,4-cyclohexanedicarboxylic acid bisoxetanyl, oxetane ethers of phenol novolak resins, and unsaturated compounds having an oxetane skeleton Polymer compounds such as coalescing (B1) and (B3)).

또한, 옥세탄 화합물로서 옥세탄환 구조와 불포화 2중 결합 둘 다를 갖는 화합물도 바람직하고, 그의 구체예로서는 상기 옥세탄 불포화 화합물을 들 수 있다.Moreover, as an oxetane compound, the compound which has both an oxetane ring structure and an unsaturated double bond is also preferable, The said oxetane unsaturated compound is mentioned as the specific example.

이들 경화제는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.These hardeners can be used individually or in mixture of 2 or more types.

경화제의 사용량은 감방사선성 조성물의 고형분 전체에 대하여, 바람직하게는 30 중량% 이하, 보다 바람직하게는 20 중량% 이하이다. 경화제의 사용량이 30 중량%를 초과하면, 얻어지는 감방사선성 조성물의 보존 안정성이 저하되는 경 향이 있다.The amount of the curing agent used is preferably 30% by weight or less, and more preferably 20% by weight or less based on the total solid of the radiation-sensitive composition. When the usage-amount of a hardening | curing agent exceeds 30 weight%, there exists a tendency for the storage stability of the radiation sensitive composition obtained to fall.

상기 경화 보조제는 상기 경화제가 갖는 에폭시기 및/또는 옥세탄환을 개환시킴으로써, 상기 경화제에 의한 경화 반응을 촉진하는 성분이다. The said hardening adjuvant is a component which accelerates | stimulates the hardening reaction by the said hardening | curing agent by ring-opening the epoxy group and / or oxetane ring which the said hardening | curing agent has.

이러한 경화 보조제로서는, 예를 들면 다가 카르복실산, 다가 카르복실산 무수물, 아미노 화합물, 열산 발생제 등을 들 수 있다.As such a hardening adjuvant, polyhydric carboxylic acid, polyhydric carboxylic anhydride, an amino compound, a thermal acid generator, etc. are mentioned, for example.

상기 다가 카르복실산의 구체예로서는, 상기 유기산 중 2개 이상의 카르복실기를 갖는 화합물과 동일한 것을 들 수 있다. 상기 아미노 화합물의 구체예로서는 상기 유기 아미노 화합물과 동일한 것을 들 수 있다.As a specific example of the said polyhydric carboxylic acid, the thing similar to the compound which has two or more carboxyl groups in the said organic acid is mentioned. As a specific example of the said amino compound, the thing similar to the said organic amino compound is mentioned.

또한, 상기 다가 카르복실산 무수물의 구체예로서는, 무수 프탈산, 무수 피로멜리트산, 무수 트리멜리트산, 3,3',4,4'-벤조페논테트라카르복실산 이무수물 등의 방향족 다가 카르복실산 무수물; 무수 이타콘산, 무수 숙신산, 무수 시트라콘산, 무수 도데세닐숙신산, 무수 트리카르발릴산, 무수 말레산, 1,2,3,4-부탄테트라카르복실산 이무수물 등의 지방족 다가 카르복실산 무수물; 헥사히드로프탈산 무수물, 3,4-디메틸테트라히드로프탈산 무수물, 1,2,4-시클로펜탄트리카르복실산 무수물, 1,2,4-시클로헥산트리카르복실산 무수물, 시클로펜탄테트라카르복실산 이무수물, 1,2,4,5-시클로헥산테트라카르복실산 이무수물, 무수 하이믹산, 무수 나드산 등의 지환족 다가 카르복실산 무수물; 에틸렌글리콜비스트리멜리테이트 무수물, 글리세린트리스트리멜리테이트 무수물 등의 에스테르기 함유 카르복실산 무수물 외에, 아데카하드너 EH-700(아사히 덴까 고교(주) 제조), 리카시드 HH(신닛본리카(주) 제조), MH-700(신닛본리카(주) 제조) 등의 상품명으로 시판되고 있는 에폭시 수지 경화제 등을 들 수 있다.Moreover, as a specific example of the said polyhydric carboxylic anhydride, aromatic polyhydric carboxylic acids, such as phthalic anhydride, a pyromellitic dianhydride, a trimellitic anhydride, 3,3 ', 4,4'- benzophenone tetracarboxylic dianhydride, are mentioned. anhydride; Aliphatic polyhydric carboxylic anhydrides such as itaconic anhydride, succinic anhydride, citraconic anhydride, dodecenyl succinic anhydride, tricarvalylic anhydride, maleic anhydride, 1,2,3,4-butanetetracarboxylic dianhydride ; Hexahydrophthalic anhydride, 3,4-dimethyltetrahydrophthalic anhydride, 1,2,4-cyclopentanetricarboxylic anhydride, 1,2,4-cyclohexanetricarboxylic anhydride, cyclopentanetetracarboxylic dianhydride Alicyclic polyhydric carboxylic acid anhydrides such as water, 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride, hymic anhydride and nadic anhydride; In addition to ester group-containing carboxylic acid anhydrides such as ethylene glycol bistrimellitate anhydride and glycerin tristrimellitate anhydride, Adeka Hardner EH-700 (manufactured by Asahi Denka Kogyo Co., Ltd.), lycaside HH Epoxy resin hardening | curing agent etc. which are marketed by brand names, such as (the manufacture) and MH-700 (made by Shin-Nippon Rika Co., Ltd.), are mentioned.

또한, 상기 열산 발생제로서는, 예를 들면 술포늄염(단, 상기 (D) 광 중합 개시제에 대하여 기재한 트리아릴술포늄염을 제외함), 벤조티아조늄염, 암모늄염, 포스포늄염, 술폰산 에스테르 화합물, 술폰이미드 화합물, 디아조메탄 화합물 등을 들 수 있고, 이들 중에서 술포늄염, 벤조티아조늄염, 술폰산 에스테르 화합물, 술폰이미드 화합물, 디아조메탄 화합물 등이 바람직하다.Moreover, as said thermal acid generator, a sulfonium salt (except the triarylsulfonium salt described with respect to the said (D) photoinitiator), a benzothiazonium salt, an ammonium salt, a phosphonium salt, a sulfonic acid ester compound, for example And sulfonimide compounds, diazomethane compounds and the like. Among these, sulfonium salts, benzothiazonium salts, sulfonic acid ester compounds, sulfonimide compounds, diazomethane compounds and the like are preferable.

상기 술포늄염의 구체예로서는, 4-아세토페닐디메틸술포늄 헥사플루오로안티모네이트, 4-아세톡시페닐디메틸술포늄 헥사플루오로아르세네이트, 디메틸-4-(벤질옥시카르보닐옥시)페닐술포늄 헥사플루오로안티모네이트, 디메틸-4-(벤조일옥시)페닐술포늄 헥사플루오로안티모네이트, 디메틸-4-(벤조일옥시)페닐술포늄 헥사플루오로아르세네이트, 디메틸-3-클로로-4-아세톡시페닐술포늄 헥사플루오로안티모네이트 등의 알킬술포늄염;Specific examples of the sulfonium salt include 4-acetophenyldimethylsulfonium hexafluoroantimonate, 4-acetoxyphenyldimethylsulfonium hexafluoroarsenate, dimethyl-4- (benzyloxycarbonyloxy) phenylsulfonium Hexafluoroantimonate, dimethyl-4- (benzoyloxy) phenylsulfonium hexafluoroantimonate, dimethyl-4- (benzoyloxy) phenylsulfonium hexafluoroarsenate, dimethyl-3-chloro-4 Alkylsulfonium salts such as acetoxyphenylsulfonium hexafluoroantimonate;

벤질-4-히드록시페닐메틸술포늄 헥사플루오로안티모네이트, 벤질-4-히드록시페닐메틸술포늄 헥사플루오로포스페이트, 4-아세톡시페닐벤질메틸술포늄 헥사플루오로안티모네이트, 벤질-4-메톡시페닐메틸술포늄 헥사플루오로안티모네이트, 벤질-2-메틸-4-히드록시페닐메틸술포늄 헥사플루오로안티모네이트, 벤질-3-클로로-4-히드록시페닐메틸술포늄 헥사플루오로아르세네이트, 4-메톡시벤질-4-히드록시페닐메틸술포늄 헥사플루오로포스페이트 등의 벤질술포늄염;Benzyl-4-hydroxyphenylmethylsulfonium hexafluoroantimonate, benzyl-4-hydroxyphenylmethylsulfonium hexafluorophosphate, 4-acetoxyphenylbenzylmethylsulfonium hexafluoroantimonate, benzyl- 4-methoxyphenylmethylsulfonium hexafluoroantimonate, benzyl-2-methyl-4-hydroxyphenylmethylsulfonium hexafluoroantimonate, benzyl-3-chloro-4-hydroxyphenylmethylsulfonium Benzylsulfonium salts such as hexafluoroarsenate and 4-methoxybenzyl-4-hydroxyphenylmethylsulfonium hexafluorophosphate;

디벤질-4-히드록시페닐술포늄 헥사플루오로안티모네이트, 디벤질-4-히드록시페닐술포늄 헥사플루오로포스페이트, 4-아세톡시페닐디벤질술포늄 헥사플루오로안 티모네이트, 디벤질-4-메톡시페닐술포늄 헥사플루오로안티모네이트, 디벤질-3-클로로-4-히드록시페닐술포늄 헥사플루오로아르세네이트, 디벤질-3-메틸-4-히드록시-5-tert-부틸페닐술포늄 헥사플루오로안티모네이트, 벤질-4-메톡시벤질-4-히드록시페닐술포늄 헥사플루오로포스페이트 등의 디벤질술포늄염;Dibenzyl-4-hydroxyphenylsulfonium hexafluoroantimonate, dibenzyl-4-hydroxyphenylsulfonium hexafluorophosphate, 4-acetoxyphenyldibenzylsulfonium hexafluoroan thimonate, dibenzyl 4-methoxyphenylsulfonium hexafluoroantimonate, dibenzyl-3-chloro-4-hydroxyphenylsulfonium hexafluoroarsenate, dibenzyl-3-methyl-4-hydroxy-5- dibenzylsulfonium salts such as tert-butylphenylsulfonium hexafluoroantimonate and benzyl-4-methoxybenzyl-4-hydroxyphenylsulfonium hexafluorophosphate;

p-클로로벤질-4-히드록시페닐메틸술포늄 헥사플루오로안티모네이트, p-니트로벤질-4-히드록시페닐메틸술포늄 헥사플루오로안티모네이트, p-클로로벤질-4-히드록시페닐메틸술포늄 헥사플루오로포스페이트, p-니트로벤질-3-메틸-4-히드록시페닐메틸술포늄 헥사플루오로안티모네이트, 3,5-디클로로벤질-4-히드록시페닐메틸술포늄 헥사플루오로안티모네이트, o-클로로벤질-3-클로로-4-히드록시페닐메틸술포늄 헥사플루오로안티모네이트 등의 치환 벤질술포늄염 등을 들 수 있다. p-chlorobenzyl-4-hydroxyphenylmethylsulfonium hexafluoroantimonate, p-nitrobenzyl-4-hydroxyphenylmethylsulfonium hexafluoroantimonate, p-chlorobenzyl-4-hydroxyphenyl Methylsulfonium hexafluorophosphate, p-nitrobenzyl-3-methyl-4-hydroxyphenylmethylsulfonium hexafluoroantimonate, 3,5-dichlorobenzyl-4-hydroxyphenylmethylsulfonium hexafluoro Substituted benzyl sulfonium salts, such as an antimonate and o-chlorobenzyl-3- chloro-4- hydroxyphenyl methyl sulfonium hexafluoro antimonate, etc. are mentioned.

또한, 상기 벤조티아조늄염의 구체예로서는, 3-벤질벤조티아조늄 헥사플루오로안티모네이트, 3-벤질벤조티아조늄 헥사플루오로포스페이트, 3-벤질벤조티아조늄 테트라플루오로보레이트, 3-(p-메톡시벤질)벤조티아조늄 헥사플루오로안티모네이트, 3-벤질-2-메틸티오벤조티아조늄 헥사플루오로안티모네이트, 3-벤질-5-클로로벤조티아조늄 헥사플루오로안티모네이트 등의 벤질벤조티아조늄염 등을 들 수 있다.In addition, specific examples of the benzothiazonium salt include 3-benzylbenzothiazonium hexafluoroantimonate, 3-benzylbenzothiazonium hexafluorophosphate, 3-benzylbenzothiazonium tetrafluoroborate, and 3- (p- Methoxybenzyl) benzothiazonium hexafluoroantimonate, 3-benzyl-2-methylthiobenzothiazonium hexafluoroantimonate, 3-benzyl-5-chlorobenzothiazonium hexafluoroantimonate, etc. Benzyl benzothiazonium salt etc. are mentioned.

또한, 상기 술폰산 에스테르 화합물의 구체예로서는, 벤조인 토실레이트, α-메틸올벤조인토실레이트, α-메틸올벤조인 n-옥탄술포네이트, 피로갈롤트리스(트리플루오로메탄술포네이트), 피로갈롤트리스(노나플루오로-n-부탄술포네이트), 피로갈롤트리스(메탄술포네이트), 니트로벤질-9,10-디에톡시안트라센-2-술포네이트 등을 들 수 있다.Moreover, as a specific example of the said sulfonic acid ester compound, benzoin tosylate, the (alpha)-methylol benzo intosylate, the (alpha)-methylol benzoin n-octane sulfonate, a pyrogallol tris (trifluoromethane sulfonate), a pyrogallol Tris (nonafluoro-n-butanesulfonate), pyrogallol tris (methanesulfonate), nitrobenzyl-9,10- diethoxyanthracene-2-sulfonate, and the like.

또한, 상기 술폰이미드 화합물의 구체예로서는, N-(트리플루오로메탄술포닐옥시)숙신이미드, N-(트리플루오로메탄술포닐옥시)비시클로[2.2.1]헵트-5-엔-2,3-디카르복시이미드, N-(10-캄파술포닐옥시)숙신이미드, N-(10-캄파술포닐옥시)비시클로[2.2.1]헵트-5-엔-2,3-디카르복시이미드, N-[(5-메틸-5-카르복시 메탄비시클로[2.2.1]헵타-2-일) 술포닐옥시]숙신이미드 등을 들 수 있다.In addition, specific examples of the sulfonimide compound include N- (trifluoromethanesulfonyloxy) succinimide and N- (trifluoromethanesulfonyloxy) bicyclo [2.2.1] hept-5-ene- 2,3-dicarboxyimide, N- (10-campasulfonyloxy) succinimide, N- (10-campasulfonyloxy) bicyclo [2.2.1] hept-5-ene-2,3-di Carboxyimide, N-[(5-methyl-5-carboxy methanebicyclo [2.2.1] hepta-2-yl) sulfonyloxy] succinimide, etc. are mentioned.

또한, 상기 디아조메탄 화합물의 구체예로서는, 비스(시클로헥산술포닐)디아조메탄, 비스(t-부틸술포닐)디아조메탄, 비스(1,4-디옥사스피로[4.5]-데칸-7-술포닐)디아조메탄 등을 들 수 있다.In addition, specific examples of the diazomethane compound include bis (cyclohexanesulfonyl) diazomethane, bis (t-butylsulfonyl) diazomethane and bis (1,4-dioxaspiro [4.5] -decane-7. -Sulfonyl) diazomethane, etc. are mentioned.

이들 열산 발생제 중에서 특히 4-아세톡시페닐디메틸술포늄 헥사플루오로아르세네이트, 벤질-4-히드록시페닐메틸술포늄 헥사플루오로안티모네이트, 4-아세톡시페닐벤질메틸술포늄 헥사플루오로안티모네이트, 디벤질-4-히드록시페닐술포늄 헥사플루오로안티모네이트, 4-아세톡시페닐벤질술포늄 헥사플루오로안티모네이트, 3-벤질벤조티아조늄 헥사플루오로안티모네이트, N-(트리플루오로메탄술포닐옥시)비시클로[2.2.1]헵트-5-엔-2,3-디카르복시이미드 등이 바람직하다. Among these thermal acid generators, 4-acetoxyphenyldimethylsulfonium hexafluoroarsenate, benzyl-4-hydroxyphenylmethylsulfonium hexafluoroantimonate, 4-acetoxyphenylbenzylmethylsulfonium hexafluoro Antimonate, Dibenzyl-4-hydroxyphenylsulfonium hexafluoroantimonate, 4-acetoxyphenylbenzylsulfonium hexafluoroantimonate, 3-benzylbenzothiazonium hexafluoroantimonate, N -(Trifluoromethanesulfonyloxy) bicyclo [2.2.1] hept-5-ene-2,3-dicarboxyimide and the like are preferred.

상기 경화 보조제는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. The said hardening adjuvant can be used individually or in mixture of 2 or more types.

경화 보조제의 사용량은 감방사선성 조성물의 고형분 전체에 대하여 바람직하게는 15 중량% 이하, 보다 바람직하게는 10 중량% 이하이다. 경화 보조제의 사용량이 15 중량%를 초과하면, 얻어지는 감방사선성 조성물의 보존 안정성이 저하되거나, 형성된 착색층이 현상시에 기판으로부터 탈락되기 쉬워지는 경향이 있다. The usage-amount of a hardening adjuvant becomes like this. Preferably it is 15 weight% or less with respect to the whole solid content of a radiation sensitive composition, More preferably, it is 10 weight% or less. When the usage-amount of a hardening adjuvant exceeds 15 weight%, there exists a tendency for the storage stability of the obtained radiation sensitive composition to fall, or the colored layer formed to fall easily from a board | substrate at the time of image development.

또한, 상기 이외의 첨가제로서는, 예를 들면 구리 프탈로시아닌 유도체 등의 청색 안료 유도체나 황색 안료 유도체 등의 분산 보조제; Moreover, as an additive of that excepting the above, For example, Dispersion adjuvant, such as blue pigment derivatives, such as a copper phthalocyanine derivative, and a yellow pigment derivative;

유리, 알루미나 등의 충전제; Fillers such as glass and alumina;

폴리비닐알코올, 폴리에틸렌글리콜모노알킬에테르, 폴리(플루오로알킬아크릴레이트) 등의 고분자 화합물;Polymer compounds such as polyvinyl alcohol, polyethylene glycol monoalkyl ether, and poly (fluoroalkyl acrylate);

비이온계, 양이온계, 음이온계 등의 계면활성제: Surfactants, such as nonionic, cationic, and anionic:

비닐트리메톡시실란, 비닐트리에톡시실란, 비닐트리스(2-메톡시에톡시)실란, N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필메틸디메톡시실란, N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필트리메톡시실란, 3-아미노프로필트리에톡시실란, 3-글리시독시프로필트리메톡시실란, 3-글리시독시프로필메틸디메톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸트리메톡시실란, 3-클로로프로필메틸디메톡시실란, 3-클로로프로필트리메톡시실란, 3-메타크릴로일옥시프로필트리메톡시실란, 3-머캅토프로필트리메톡시실란 등의 밀착 촉진제;Vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N- (2-aminoethyl) 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclo Hexyl) ethyltrimethoxysilane, 3-chloropropylmethyldimethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloyloxypropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, etc. Adhesion promoter;

2,2'-티오비스(4-메틸-6-t-부틸페놀), 2,6-디-t-부틸페놀 등의 산화 방지제;Antioxidants such as 2,2'-thiobis (4-methyl-6-t-butylphenol) and 2,6-di-t-butylphenol;

2-(3-t-부틸-5-메틸-2-히드록시페닐)-5-클로로벤조트리아졸, 알콕시벤조페논 등의 자외선 흡수제; Ultraviolet absorbers such as 2- (3-t-butyl-5-methyl-2-hydroxyphenyl) -5-chlorobenzotriazole and alkoxybenzophenone;

폴리아크릴산나트륨 등의 응집 방지제; Aggregation inhibitors such as sodium polyacrylate;

1,1'-아조비스(시클로헥산-1-카르보니트릴), 2-페닐아조-4-메톡시-2,4-디메틸발레로니트릴 등의 열 라디칼 발생제 등을 들 수 있다.And thermal radical generators such as 1,1'-azobis (cyclohexane-1-carbonitrile) and 2-phenylazo-4-methoxy-2,4-dimethylvaleronitrile.

용매menstruum

본 발명의 감방사선성 조성물은 상기 (A) 내지 (D) 성분을 필수 성분으로 하고, 필요에 따라 상기 첨가제 성분을 함유하지만, 통상적으로 용매를 배합하여 액상 조성물로서 제조된다.Although the radiation sensitive composition of this invention makes the said (A)-(D) component an essential component, and contains the said additive component as needed, it is normally manufactured as a liquid composition by mix | blending a solvent.

상기 용매로서는 감방사선성 조성물을 구성하는 (A) 내지 (D) 성분이나 첨가제 성분을 분산 또는 용해시키면서, 이들 성분과 반응하지 않고, 적당한 휘발성을 갖는 것인 한, 적절히 선택하여 사용할 수 있다.As said solvent, it can select suitably and can use, as long as it does not react with these components, disperse | distributing or dissolving (A)-(D) component and additive component which comprise a radiation sensitive composition, and have moderate volatility.

이러한 용매로서는, 예를 들면 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜모노-n-프로필에테르, 에틸렌글리콜모노-n-부틸에테르, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노-n-프로필에테르, 디에틸렌글리콜모노-n-부틸에테르, 트리에틸렌글리콜모노메틸에테르, 트리에틸렌글리콜모노에틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노에틸에테르, 프로필렌글리콜모노-n-프로필에테르, 프로필렌글리콜모노-n-부틸에테르, 디프로필렌글리콜모노메틸에테르, 디프로필렌글리콜모노에틸에테르, 디프로필렌글리콜모노-n-프로필에테르, 디프로필렌글리콜모노-n-부틸에테르, 트리프로필렌글리콜모노메틸에테르, 트리프로필렌글리콜모노에틸에테르 등의 (폴리)알킬렌글리콜모노알킬에테르;As such a solvent, for example, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol mono-n-propyl ether, ethylene glycol mono-n-butyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether , Diethylene glycol mono-n-propyl ether, diethylene glycol mono-n-butyl ether, triethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol mono -n-propyl ether, propylene glycol mono-n-butyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol mono-n-propyl ether, dipropylene glycol mono-n-butyl ether, tri (Poly) alkylenes such as propylene glycol monomethyl ether and tripropylene glycol monoethyl ether Recall monoalkyl ether;

에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트 등의 (폴리)알킬렌글리콜모노알킬에테르아세테이트; 디에틸렌글리콜 디메틸에테르, 디에틸렌글리콜메틸에틸에테르, 디에틸렌글리콜디에틸에테르, 테트라히드로푸란 등의 다른 에테르;(Poly) alkylenes such as ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, and propylene glycol monoethyl ether acetate Glycol monoalkyl ether acetates; Other ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methylethyl ether, diethylene glycol diethyl ether and tetrahydrofuran;

메틸에틸케톤, 시클로헥사논, 2-헵타논, 3-헵타논 등의 케톤; Ketones such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone, and 3-heptanone;

락트산메틸, 락트산에틸 등의 락트산알킬 에스테르;Lactic acid alkyl esters such as methyl lactate and ethyl lactate;

2-히드록시-2-메틸프로피온산에틸, 3-메톡시프로피온산메틸, 3-메톡시프로피온산에틸, 3-에톡시프로피온산메틸, 3-에톡시프로피온산에틸, 에톡시아세트산에틸, 히드록시아세트산에틸, 2-히드록시-3-메틸부탄산메틸, 3-메틸-3-메톡시부틸아세테이트, 3-메틸-3-메톡시부틸프로피오네이트, 아세트산에틸, 아세트산 n-프로필, 아세트산 i-프로필, 아세트산 n-부틸, 아세트산 i-부틸, 포름산 n-아밀, 아세트산 i-아밀, 프로피온산 n-부틸, 부티르산에틸, 부티르산 n-프로필, 부티르산 i-프로필, 부티르산 n-부틸, 피루브산메틸, 피루브산에틸, 피루브산 n-프로필, 아세토아세트산메틸, 아세토아세트산에틸, 2-옥소부탄산에틸 등의 다른 에스테르; Ethyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl ethoxyacetate, ethyl hydroxyacetate, 2 Methyl hydroxy-3-methylbutane, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutylpropionate, ethyl acetate, n-propyl acetate, i-propyl acetate, n acetate -Butyl, i-butyl acetate, n-amyl formate, i-amyl acetate, n-butyl propionate, ethyl butyrate, n-propyl butyrate, i-propyl butyrate, n-butyl butyrate, methyl pyruvate, ethyl pyruvate, n-pyruvate Other esters such as propyl, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, and ethyl 2-oxobutyrate;

톨루엔, 크실렌 등의 방향족 탄화수소;Aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene;

N,N-디메틸포름아미드, N,N-디메틸아세트아미드, N-메틸피롤리돈 등의 아미드 또는 락탐 등을 들 수 있다. Amides or lactams such as N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N-methylpyrrolidone and the like.

이들 용매 중, 용해성, 안료 분산성, 도포성 등의 측면에서, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜메틸에틸에테르, 시클로헥사논, 2-헵타논, 3-헵타논, 락트산에틸, 3-메톡시프로피온산에틸, 3-에톡시프로피온산메틸, 3-에톡시프로피온산 에틸, 3-메틸-3-메톡시부틸프로피오네이트, 아세트산 n-부틸, 아세트산 i-부틸, 포름산 n-아밀, 아세트산 i-아밀, 프로피온산 n-부틸, 부티르산에틸, 부티르산 i-프로필, 부티르산 n-부틸, 피루브산에틸 등이 바람직하다. Among these solvents, propylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol dimethyl ether, in view of solubility, pigment dispersibility, coating properties, etc. Diethylene glycol methyl ethyl ether, cyclohexanone, 2-heptanone, 3-heptanone, ethyl lactate, 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, 3-ethoxypropionate, 3-methyl-3 Methoxybutyl propionate, n-butyl acetate, i-butyl acetate, n-amyl formate, i-amyl acetate, n-butyl propionate, ethyl butyrate, ethyl butyrate i-propyl, n-butyl butyrate, ethyl pyruvate, and the like. desirable.

상기 용매는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. The said solvent can be used individually or in mixture of 2 or more types.

또한, 상기 용매와 함께 벤질에틸에테르, 디-n-헥실에테르, 아세토닐아세톤, 이소포론, 카프로산, 카프릴산, 1-옥탄올, 1-노난올, 벤질알코올, 아세트산벤질, 벤조산에틸, 옥살산디에틸, 말레산디에틸, γ-부티로락톤, 탄산에틸렌, 탄산프로필렌, 에틸렌글리콜모노페닐에테르아세테이트 등의 고비점 용매를 병용할 수도 있다.In addition, benzyl ethyl ether, di-n-hexyl ether, acetonyl acetone, isophorone, caproic acid, caprylic acid, 1-octanol, 1-nonanol, benzyl alcohol, benzyl acetate, ethyl benzoate, together with the solvent High boiling point solvents, such as diethyl oxalate, diethyl maleate, gamma -butyrolactone, ethylene carbonate, propylene carbonate, and ethylene glycol monophenyl ether acetate, can also be used together.

이들 고비점 용매는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. These high boiling point solvents can be used individually or in mixture of 2 or more types.

용매의 사용량은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 얻어지는 감방사선성 조성물의 도포성, 안정성 등의 측면에서, 상기 조성물의 용매를 제외한 각 성분의 합계 농도가 바람직하게는 5 내지 50 중량%, 보다 바람직하게는 10 내지 40 중량%가 되는 양이 바람직하다.Although the usage-amount of a solvent is not specifically limited, From a viewpoint of the applicability | paintability, stability, etc. of the radiation sensitive composition obtained, the total concentration of each component except the solvent of the said composition becomes like this. Preferably it is 5-50 weight%, More preferably, It is preferable that the amount is 10 to 40% by weight.

컬러 필터Color filter

본 발명의 컬러 필터는 본 발명의 감방사선성 조성물을 이용하여 형성된 착색층을 구비하는 것이다.The color filter of this invention is equipped with the colored layer formed using the radiation sensitive composition of this invention.

이하에, 본 발명의 컬러 필터에서의 착색층을 형성하는 방법에 대하여 설명한다. Below, the method of forming the colored layer in the color filter of this invention is demonstrated.

우선, 기판의 표면 상에 필요에 따라 화소를 형성하는 부분을 구획하도록 차광층을 형성하고, 이 기판 상에, 예를 들면 적색 안료가 분산된 감방사선성 조성물 의 액상 조성물을 도포한 후, 프리베이킹을 행하여 용매를 증발시켜 도막을 형성한다. First, a light shielding layer is formed on the surface of a substrate so as to partition a part which forms a pixel as needed, and for example, after apply | coating the liquid composition of the radiation sensitive composition which red pigment disperse | distributed on this board | substrate, it is free. Baking is performed to evaporate the solvent to form a coating film.

이어서, 이 도막에 포토마스크를 통해 노광한 후, 알칼리 현상액을 이용하여 현상하여 도막의 미노광부를 용해 제거하고, 그 후 포스트 베이킹함으로써 적색의 화소 패턴이 소정 배열로 배치된 화소 어레이를 형성한다.Subsequently, after exposing through a photomask to this coating film, it develops using alkaline developing solution, melt | dissolves and removes the unexposed part of a coating film, and then post-bakes to form the pixel array in which the red pixel pattern was arrange | positioned in the predetermined arrangement.

그 후, 녹색 또는 청색 안료가 분산된 각 감방사선성 조성물의 액상 조성물을 이용하여, 상기와 동일하게 하여 각 액상 조성물의 도포, 프리베이킹, 노광, 현상 및 포스트 베이킹을 행하여 녹색의 화소 어레이 및 청색의 화소 어레이를 동일 기판 상에 차례로 형성함으로써, 적색, 녹색 및 청색의 3원색의 화소 어레이가 기판 상에 배치된 컬러 필터를 얻는다. 단, 본 발명에서는 각 색의 화소를 형성하는 순서는 상기한 것에 한정되지 않는다. Thereafter, using the liquid composition of each radiation-sensitive composition in which the green or blue pigment is dispersed, the liquid pixel composition and the blue pixel array and the blue color are applied in the same manner as described above by applying, prebaking, exposing, developing and post-baking the liquid composition. By sequentially forming pixel arrays on the same substrate, a color filter in which pixel arrays of three primary colors of red, green, and blue are arranged on a substrate is obtained. However, in the present invention, the order of forming the pixels of each color is not limited to the above.

또한, 블랙 매트릭스는 예를 들면 흑색 안료가 분산된 감방사선성 조성물의 액상 조성물을 이용하여, 상기 화소 형성의 경우와 동일하게 하여 형성할 수 있다.In addition, a black matrix can be formed similarly to the case of said pixel formation using the liquid composition of the radiation sensitive composition which black pigment disperse | distributed, for example.

화소 및/또는 블랙 매트릭스를 형성할 때에 사용되는 기판으로서는, 예를 들면 유리, 실리콘, 폴리카르보네이트, 폴리에스테르, 방향족 폴리아미드, 폴리아미드이미드, 폴리이미드 등을 들 수 있다. As a board | substrate used when forming a pixel and / or a black matrix, glass, silicone, polycarbonate, polyester, aromatic polyamide, polyamideimide, polyimide, etc. are mentioned, for example.

또한, 이들 기판에는 원한다면 실란 커플링제 등에 의한 약품 처리, 플라즈마 처리, 이온 플레이팅, 스퍼터링, 기상 반응법, 진공 증착 등의 적절한 전처리를 실시해 둘 수도 있다.If desired, these substrates may be subjected to appropriate pretreatment such as chemical treatment with a silane coupling agent or the like, plasma treatment, ion plating, sputtering, vapor phase reaction, vacuum deposition, or the like.

감방사선성 조성물의 액상 조성물을 기판에 도포할 때에는 분무법, 롤 코팅 법, 회전 도포법(스핀 코팅법), 슬릿 다이 도포법, 바 도포법, 잉크젯법 등의 적절한 도포법을 채용할 수 있지만, 특히 스핀 코팅법, 슬릿 다이 도포법이 바람직하다. When the liquid composition of the radiation sensitive composition is applied to a substrate, an appropriate coating method such as spraying, roll coating, spin coating (spin coating), slit die coating, bar coating or inkjet may be employed. In particular, the spin coating method and the slit die coating method are preferable.

도포 두께는 건조 후의 막 두께로서 바람직하게는 0.1 내지 10 ㎛, 보다 바람직하게는 0.2 내지 8.0 ㎛, 특히 바람직하게는 0.2 내지 6.0 ㎛이다. The coating thickness is preferably 0.1 to 10 µm, more preferably 0.2 to 8.0 µm, and particularly preferably 0.2 to 6.0 µm as the film thickness after drying.

화소 및/또는 블랙 매트릭스를 형성할 때에 사용되는 방사선으로서는, 예를 들면 가시광선, 자외선, 원자외선, 전자선, X선 등을 사용할 수 있지만, 파장이 190 내지 450 ㎚의 범위에 있는 방사선이 바람직하다. As radiation used for forming the pixel and / or black matrix, for example, visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, electron beam, X-ray, etc. may be used, but radiation having a wavelength in the range of 190 to 450 nm is preferable. .

방사선의 노광량은 바람직하게는 10 내지 10,000 J/㎡이다. The exposure dose of radiation is preferably 10 to 10,000 J / m 2.

또한, 상기 알칼리 현상액으로서는, 예를 들면 탄산나트륨, 수산화나트륨, 수산화칼륨, 테트라메틸암모늄히드록시드, 콜린, 1,8-디아자비시클로-[5.4.0]-7-운데센, 1,5-디아자비시클로-[4.3.0]-5-노넨 등의 수용액이 바람직하다. As the alkaline developer, for example, sodium carbonate, sodium hydroxide, potassium hydroxide, tetramethylammonium hydroxide, choline, 1,8-diazabicyclo- [5.4.0] -7-undecene, 1,5- Aqueous solutions, such as diazabicyclo- [4.3.0] -5-nonene, are preferable.

상기 알칼리 현상액에는 예를 들면 메탄올, 에탄올 등의 수용성 유기 용제나 계면활성제 등을 적량 첨가할 수도 있다. 한편, 알칼리 현상 후에는 바람직하게는 수세한다. An appropriate amount of water-soluble organic solvents such as methanol and ethanol, surfactants, and the like may be added to the alkaline developer. On the other hand, after alkali development, it washes with water preferably.

현상 처리법으로서는 샤워 현상법, 분무 현상법, 딥(침지) 현상법, 퍼들(액 담금) 현상법 등을 적용할 수 있다. 현상 조건은 상온에서 5 내지 300초가 바람직하다.As the developing treatment method, a shower developing method, a spray developing method, a dip (immersion) developing method, a puddle (liquid soaking) developing method, and the like can be applied. As for image development conditions, 5 to 300 second is preferable at normal temperature.

이와 같이 하여 얻어지는 본 발명의 컬러 필터는, 예를 들면 투과형 또는 반사형의 컬러 액정 표시 소자, 컬러 촬상관 소자, 컬러 센서 등에 매우 유용하다. The color filter of the present invention thus obtained is very useful, for example, in a transmissive or reflective color liquid crystal display element, a color image tube element, a color sensor, or the like.

컬러 액정 표시 소자Color liquid crystal display element

본 발명의 컬러 액정 표시 소자는 본 발명의 컬러 필터를 구비하는 것이다.The color liquid crystal display element of this invention is equipped with the color filter of this invention.

또한, 본 발명의 컬러 액정 표시 소자의 일 형태로서, 본 발명의 감방사선성 조성물을 이용하여 박막 트랜지스터 기판 어레이 상에 상술한 바와 같이 하여 화소 및/또는 블랙 매트릭스를 형성함으로써, 특히 우수한 특성을 갖는 컬러 액정 표시 소자를 제조할 수 있다.Moreover, as one form of the color liquid crystal display element of this invention, it forms especially a pixel and / or a black matrix on the thin film transistor substrate array as above-mentioned using the radiation sensitive composition of this invention, and has especially excellent characteristic. A color liquid crystal display element can be manufactured.

본 발명의 감방사선성 조성물은 상기 (A) 내지 (D) 성분을 필수 성분으로서 함유하는 것이지만, 특히 바람직한 조성물을 구체적으로 예시하면, 하기 (a) 내지 (j)와 같다.Although the radiation sensitive composition of this invention contains the said (A)-(D) component as an essential component, it will be as follows (a)-(j), if an especially preferable composition is concretely illustrated.

(a) (B1) 공중합체가 공중합체(BI)를 포함하고, 또한 (B2) 공중합체가 공중합체(BII)를 포함하는 착색층 형성용 감방사선성 조성물. (a) The radiation sensitive composition for forming a colored layer in which (B1) copolymer contains copolymer (BI) and (B2) copolymer contains copolymer (BII).

(b) 공중합체(BI)가 공중합체(BI-1) 내지 (BI-6)으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상을 포함하고, 공중합체(BII)가 공중합체(BII-1) 및 공중합체(BII-2)로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상을 포함하는 상기 (a)의 착색층 형성용 감방사선성 조성물.(b) The copolymer (BI) contains at least one member selected from the group consisting of copolymers (BI-1) to (BI-6), and the copolymer (BII) is a copolymer (BII-1) and air. The radiation sensitive composition for colored layer formation of said (a) containing 1 or more types chosen from the group which consists of coalescence (BII-2).

(c) (C) 다관능성 단량체가 트리메틸올프로판트리아크릴레이트, 펜타에리트리톨 트리아크릴레이트 및 디펜타에리트리톨 헥사아크릴레이트의 군에서 선택되는 1종 이상을 포함하는 상기 (a) 또는 (b)의 착색층 형성용 감방사선성 조성물.(c) Said (a) or (b) in which (C) polyfunctional monomer contains 1 or more types chosen from the group of trimethylol propane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, and dipentaerythritol hexaacrylate. The radiation sensitive composition for colored layer formation of this.

(d) 광 중합 개시제가 아세토페논계 화합물, 비이미다졸계 화합물, 트리아진계 화합물 및 O-아실옥심계 화합물의 군에서 선택되는 1종 이상을 포함하는 상기 (a), (b) 또는 (c)의 착색층 형성용 감방사선성 조성물. (d) the above (a), (b) or (c) wherein the photopolymerization initiator comprises at least one member selected from the group consisting of acetophenone compounds, biimidazole compounds, triazine compounds and O-acyl oxime compounds A radiation-sensitive composition for forming a colored layer of).

(e) (A) 착색제가 유기 안료 또는 카본 블랙을 포함하는 상기 (a), (b), (c) 또는 (d)의 착색층 형성용 감방사선성 조성물.(e) The radiation sensitive composition for colored layer formation of said (a), (b), (c) or (d) whose (A) coloring agent contains an organic pigment or carbon black.

(f) (B) 알칼리 가용성 수지가 공중합체(BII)를 포함하는 착색층 형성용 감방사선성 조성물.(f) The radiation sensitive composition for colored layer formation in which (B) alkali-soluble resin contains a copolymer (BII).

(g) 공중합체(BII)가 공중합체(BII-1) 내지 (BII-2)의 군에서 선택되는 1종 이상을 포함하는 상기 (f)의 착색층 형성용 감방사선성 조성물.(g) The radiation sensitive composition for colored layer formation of said (f) in which copolymer (BII) contains 1 or more types chosen from the group of copolymer (BII-1)-(BII-2).

(h) (C) 다관능성 단량체가 트리메틸올프로판트리아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리아크릴레이트 및 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트의 군에서 선택되는 1종 이상을 포함하는 상기 (f) 또는 (g)의 착색층 형성용 감방사선성 조성물.(h) Said (f) or (g) in which (C) polyfunctional monomer contains 1 or more types chosen from the group of trimethylol propane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, and dipentaerythritol hexaacrylate. The radiation sensitive composition for colored layer formation of this.

(i) 광 중합 개시제가 아세토페논계 화합물, 비이미다졸계 화합물 및 트리아진계 화합물의 군에서 선택되는 1종 이상을 포함하는 상기 (f), (g) 또는 (h)의 착색층 형성용 감방사선성 조성물.(i) Persimmon for forming the colored layer of (f), (g) or (h) above, wherein the photopolymerization initiator comprises at least one member selected from the group consisting of acetophenone compounds, biimidazole compounds, and triazine compounds. Radioactive composition.

(j) (A) 착색제가 유기 안료 또는 카본 블랙을 포함하는 상기 (f), (g), (h) 또는 (i)의 착색층 형성용 감방사선성 조성물.(j) The radiation sensitive composition for colored layer formation of said (f), (g), (h) or (i) whose (A) coloring agent contains an organic pigment or carbon black.

또한, 본 발명의 바람직한 컬러 필터는 In addition, the preferred color filter of the present invention

(k) 상기 (a), (b), (c), (d) 또는 (e)의 착색층 형성용 감방사선성 조성물을 이용하여 형성된 화소 및/또는 블랙 매트릭스를 구비하고 있다.(k) The pixel and / or black matrix formed using the radiation sensitive composition for colored layer formation of said (a), (b), (c), (d) or (e) is provided.

(l) 상기 (f), (g), (h), (i) 또는 (j)의 착색층 형성용 감방사선성 조성물을 이용하여 형성된 화소 및/또는 블랙 매트릭스를 구비하고 있다.(l) The pixel and / or black matrix formed using the radiation sensitive composition for colored layer formation of said (f), (g), (h), (i) or (j) is provided.

또한, 본 발명의 바람직한 컬러 액정 표시 소자는Moreover, the preferable color liquid crystal display element of this invention is

(m) 상기 (k) 또는 (l)의 컬러 필터를 구비하고, (m) comprising the color filter of (k) or (l) above,

본 발명의 보다 바람직한 컬러 액정 표시 소자는The more preferable color liquid crystal display element of this invention is

(n) 박막 트랜지스터 기판 어레이 상에 상기 (k) 또는 (l)의 컬러 필터를 구비하고 있다.(n) The color filter of said (k) or (l) is provided on the thin film transistor substrate array.

이상과 같이, 본 발명의 감방사선성 조성물은 양호한 감도, 해상도, 패턴 형상 등을 유지하면서, 특히 액상 조성물로서의 보존 안정성이 양호하고, 또한 광범위한 용제에 대한 내용제성, 기판과의 밀착성 등도 우수한 화소 패턴 및 블랙 매트릭스 패턴을 형성할 수 있다.As described above, the radiation-sensitive composition of the present invention maintains good sensitivity, resolution, pattern shape, and the like, and particularly has good storage stability as a liquid composition, and also has excellent solvent resistance to a wide range of solvents, adhesion to a substrate, and the like. And a black matrix pattern.

따라서, 본 발명의 감방사선성 조성물은 전자 공업 분야에서의 컬러 액정 표시 소자용 컬러 필터를 비롯한 각종 컬러 필터의 제조에 매우 바람직하게 사용할 수 있다.Therefore, the radiation sensitive composition of this invention can be used very favorably for manufacture of various color filters including the color filter for color liquid crystal display elements in the electronic industry.

<실시예><Example>

이하, 실시예를 들어 본 발명을 더욱 구체적으로 설명한다. 단, 본 발명은 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 여기서, 부 및 %는 중량 기준이다.Hereinafter, an Example is given and this invention is demonstrated further more concretely. However, the present invention is not limited to the following examples. Where parts and% are based on weight.

알칼리 가용성 공중합체의 합성Synthesis of Alkali Soluble Copolymers

합성예 1Synthesis Example 1

냉각관, 교반기를 구비한 플라스크에 2,2'-아조비스이소부티로니트릴 3부, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 200부를 넣고, 계속해서 메타크릴산 15부, 3-(메타크릴로일옥시메틸)-3-에틸옥세탄 25부, 벤질메타크릴레이트 60부, 및 분자량 조절제로서 α-메틸스티렌 이량체 3부를 넣고, 질소 치환하였다. 그 후 완만히 교반하여 반응 용액의 온도를 80 ℃로 상승시키고, 이 온도를 5 시간 유지하여 중합함으로써 수지 용액을 얻었다. 이 수지를 "알칼리 가용성 수지(B-1)"로 하였다.3 parts of 2,2'- azobisisobutyronitrile and 200 parts of propylene glycol monomethyl ether acetates were put into a flask equipped with a cooling tube and a stirrer, followed by 15 parts of methacrylic acid and 3- (methacryloyloxymethyl 25 parts of) -3-ethyl oxetane, 60 parts of benzyl methacrylates, and 3 parts of (alpha) -methylstyrene dimers were added as a molecular weight modifier, and it substituted by nitrogen. Then, the mixture was stirred gently to raise the temperature of the reaction solution to 80 ° C., and the resin solution was obtained by maintaining the temperature for 5 hours to polymerize. This resin was referred to as "alkali-soluble resin (B-1)".

합성예 2Synthesis Example 2

냉각관, 교반기를 구비한 플라스크에 2,2'-아조비스이소부티로니트릴 3부, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 200부를 넣고, 계속해서 메타크릴산 15부, 3-(메타크릴로일옥시메틸)-3-에틸옥세탄 25부, N-페닐말레이미드 20부, 스티렌 10부, 벤질메타크릴레이트 30부, 및 분자량 조절제로서 α-메틸스티렌 이량체 3부를 넣고, 질소 치환하였다. 그 후 완만히 교반하여 반응 용액의 온도를 80 ℃로 상승시키고, 이 온도를 5 시간 유지하여 중합함으로써 수지 용액을 얻었다. 이 수지를 "알칼리 가용성 수지(B-2)"로 하였다.3 parts of 2,2'- azobisisobutyronitrile and 200 parts of propylene glycol monomethyl ether acetates were put into a flask equipped with a cooling tube and a stirrer, followed by 15 parts of methacrylic acid and 3- (methacryloyloxymethyl 25 parts of) -3-ethyl oxetane, 20 parts of N-phenylmaleimide, 10 parts of styrene, 30 parts of benzyl methacrylate, and 3 parts of (alpha) -methylstyrene dimers were added as a molecular weight regulator, and it carried out by nitrogen substitution. Then, the mixture was stirred gently to raise the temperature of the reaction solution to 80 ° C., and the resin solution was obtained by maintaining the temperature for 5 hours to polymerize. This resin was referred to as "alkali-soluble resin (B-2)".

합성예 3Synthesis Example 3

냉각관, 교반기를 구비한 플라스크에 2,2'-아조비스이소부티로니트릴 3부, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 200부를 넣고, 계속해서 메타크릴산 15부, 3-(메타크릴로일옥시메틸)옥세탄 25부, 벤질메타크릴레이트 60부, 및 분자량 조절제로서 α-메틸스티렌 이량체 3부를 넣고, 질소 치환하였다. 그 후 완만히 교반하여 반응 용액의 온도를 80 ℃로 상승시키고, 이 온도를 5 시간 유지하여 중합함으로써 수지 용액을 얻었다. 이 수지를 "알칼리 가용성 수지(B-3)"로 하였다.3 parts of 2,2'- azobisisobutyronitrile and 200 parts of propylene glycol monomethyl ether acetates were put into a flask equipped with a cooling tube and a stirrer, followed by 15 parts of methacrylic acid and 3- (methacryloyloxymethyl ) 25 parts of oxetane, 60 parts of benzyl methacrylate, and 3 parts of (alpha) -methylstyrene dimers were added as a molecular weight modifier, and it substituted by nitrogen. Then, the mixture was stirred gently to raise the temperature of the reaction solution to 80 ° C., and the resin solution was obtained by maintaining the temperature for 5 hours to polymerize. This resin was referred to as "alkali-soluble resin (B-3)".

합성예 4Synthesis Example 4

냉각관, 교반기를 구비한 플라스크에 2,2'-아조비스이소부티로니트릴 3부, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 200부를 넣고, 계속해서 메타크릴산 15부, 테트라히드로푸르푸릴메타크릴레이트 25부, 벤질메타크릴레이트 60부, 및 분자량 조절제로서 α-메틸스티렌 이량체 3부를 넣고, 질소 치환하였다. 그 후 완만히 교반하여 반응 용액의 온도를 80 ℃로 상승시키고, 이 온도를 5 시간 유지하여 중합함으로써 수지 용액을 얻었다. 이 수지를 "알칼리 가용성 수지(B-4)"로 하였다.3 parts of 2,2'- azobisisobutyronitrile and 200 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate were put into a flask equipped with a cooling tube and a stirrer, followed by 15 parts of methacrylic acid and 25 parts of tetrahydrofurfuryl methacrylate. , 60 parts of benzyl methacrylate, and 3 parts of (alpha) -methylstyrene dimers were added as a molecular weight modifier, and it substituted by nitrogen. Then, the mixture was stirred gently to raise the temperature of the reaction solution to 80 ° C., and the resin solution was obtained by maintaining the temperature for 5 hours to polymerize. This resin was referred to as "alkali-soluble resin (B-4)".

합성예 5Synthesis Example 5

냉각관, 교반기를 구비한 플라스크에 2,2'-아조비스이소부티로니트릴 3부, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 200부를 넣고, 계속해서 메타크릴산 15부, 테트라히드로푸르푸릴메타크릴레이트 25부, N-페닐말레이미드 20부, 스티렌 10부, 벤질메타크릴레이트 30부, 및 분자량 조절제로서 α-메틸스티렌 이량체 3부를 넣고, 질소 치환하였다. 그 후 완만히 교반하여 반응 용액의 온도를 80 ℃로 상승시키고, 이 온도를 5 시간 유지하여 중합함으로써 수지 용액을 얻었다. 이 수지를 "알칼리 가용성 수지(B-5)"로 하였다. 3 parts of 2,2'- azobisisobutyronitrile and 200 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate were put into a flask equipped with a cooling tube and a stirrer, followed by 15 parts of methacrylic acid and 25 parts of tetrahydrofurfuryl methacrylate. 20 parts of N-phenylmaleimide, 10 parts of styrene, 30 parts of benzyl methacrylate, and 3 parts of α-methylstyrene dimer were added as a molecular weight modifier and nitrogen-substituted. Then, the mixture was stirred gently to raise the temperature of the reaction solution to 80 ° C., and the resin solution was obtained by maintaining the temperature for 5 hours to polymerize. This resin was referred to as "alkali-soluble resin (B-5)".

합성예 6Synthesis Example 6

냉각관, 교반기를 구비한 플라스크에 2,2'-아조비스이소부티로니트릴 3부, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 200부를 넣고, 계속해서 메타크릴산 15부, 벤질메타크릴레이트 60부, n-부틸메타크릴레이트 25부, 및 분자량 조절제로서 α-메틸스티렌 이량체 3부를 넣고, 질소 치환하였다. 그 후 완만히 교반하여 반응 용액의 온도를 80 ℃로 상승시키고, 이 온도를 5 시간 유지하여 중합함으로써 수지 용액을 얻었다. 이 수지를 "알칼리 가용성 수지(B-6)"로 하였다.In a flask equipped with a cooling tube and a stirrer, 3 parts of 2,2'-azobisisobutyronitrile and 200 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate were added, followed by 15 parts of methacrylic acid, 60 parts of benzyl methacrylate, and n-. 25 parts of butyl methacrylates and 3 parts of (alpha) -methylstyrene dimers were added as a molecular weight modifier, and it substituted by nitrogen. Then, the mixture was stirred gently to raise the temperature of the reaction solution to 80 ° C., and the resin solution was obtained by maintaining the temperature for 5 hours to polymerize. This resin was referred to as "alkali-soluble resin (B-6)".

합성예 7Synthesis Example 7

냉각관, 교반기를 구비한 플라스크에 2,2'-아조비스이소부티로니트릴 3부, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 200부를 넣고, 계속해서 메타크릴산 15부, 테트라히드로푸르푸릴메타크릴레이트 15부, 3-(메타크릴로일옥시메틸)-3-에틸옥세탄 15부, 벤질메타크릴레이트 55부, 및 분자량 조절제로서 α-메틸스티렌 이량체 3부를 넣고, 질소 치환하였다. 그 후 완만히 교반하여 반응 용액의 온도를 80 ℃로 상승시키고, 이 온도를 5 시간 유지하여 중합함으로써 수지 용액을 얻었다. 이 수지를 "알칼리 가용성 수지(B-7)"로 하였다. 3 parts of 2,2'- azobisisobutyronitrile and 200 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate were put into a flask equipped with a cooling tube and a stirrer, followed by 15 parts of methacrylic acid and 15 parts of tetrahydrofurfuryl methacrylate. 15 parts of 3- (methacryloyloxymethyl) -3-ethyloxetane, 55 parts of benzyl methacrylate, and 3 parts of α-methylstyrene dimer were added as a molecular weight modifier and nitrogen-substituted. Then, the mixture was stirred gently to raise the temperature of the reaction solution to 80 ° C., and the resin solution was obtained by maintaining the temperature for 5 hours to polymerize. This resin was referred to as "alkali-soluble resin (B-7)".

합성예 8 내지 14 및 비교 합성예 1 내지 6Synthesis Examples 8 to 14 and Comparative Synthesis Examples 1 to 6

알칼리 가용성 수지를 구성하는 불포화 화합물을 표 1에 나타내는 종류 및 양으로 변경한 것 이외에는, 합성예 7과 동일하게 하여 알칼리 가용성 수지(B-8) 내지 (B-20)의 각 용액을 얻었다.Except having changed the unsaturated compound which comprises alkali-soluble resin into the kind and quantity shown in Table 1, it carried out similarly to the synthesis example 7, and obtained each solution of alkali-soluble resin (B-8)-(B-20).

Figure 112007038658573-PAT00005
Figure 112007038658573-PAT00005

Figure 112007038658573-PAT00006
Figure 112007038658573-PAT00006

안료 분산액의 제조Preparation of Pigment Dispersion

제조예 1Preparation Example 1

(A) 착색제로서 C.I. 피그먼트 레드 254/C.I. 피그먼트 레드 177=80/20(중량비) 혼합물 20부, 분산제로서 BYK-2001을 5부(고형분 환산), 용매로서 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 75부를 비드밀에 의해 처리하여 안료 분산액(R)을 제조하였다. (A) As a coloring agent, C.I. Pigment Red 254 / C.I. Pigment Red 177 = 80/20 (weight ratio) 20 parts of mixtures, 5 parts of BYK-2001 as a dispersant (solid content conversion), and 75 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate as a solvent were processed by the bead mill, and the pigment dispersion (R) was prepared. Prepared.

제조예 2Preparation Example 2

(A) 착색제로서 C.I. 피그먼트 그린 36/C.I. 피그먼트 옐로우 150=50/50(중량비) 혼합물 20부, 분산제로서 솔스파스 24000을 5부(고형분 환산), 용매로서 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 75부를 비드밀에 의해 처리하여 안료 분산액(G)을 제조하였다.(A) As a coloring agent, C.I. Pigment Green 36 / C.I. Pigment Yellow 150 = 50/50 (weight ratio) 20 parts of mixtures, 5 parts (in terms of solids) of Solpas 24000 as a dispersant, and 75 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate as a solvent were treated with a bead mill to give a pigment dispersion (G). Was prepared.

실시예 1Example 1

안료 분산액(R) 100부, 알칼리 가용성 수지(B-1)를 합성예 1에서 얻은 용액으로서 10부(고형분 환산), 알칼리 가용성 수지(B-4)를 합성예 4에서 얻은 용액으로서 5부(고형분 환산), (C) 다관능성 단량체로서 트리메틸올프로판 트리아크릴레이트 15부, (D) 광 중합 개시제로서 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노프로판-1-온 5부와 디에틸티오크산톤 3부, 용매로서 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트를 혼합하여 고형분 농도 25%의 액상 조성물(R-1)을 제조하였다(하기 표 2 참조).100 parts of the pigment dispersion liquid (R), 10 parts (solid content conversion) as a solution obtained in Synthesis Example 1, and 5 parts (a solution obtained in the synthesis example 4 as the solution obtained in Synthesis Example 4). Solid content conversion), (C) 15 parts of trimethylolpropane triacrylate as a polyfunctional monomer, (D) 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropane- as a photoinitiator- 5 parts of 1-one, 3 parts of diethyl thioxanthone, and propylene glycol monomethyl ether acetate as a solvent were mixed to prepare a liquid composition (R-1) having a solid content concentration of 25% (see Table 2 below).

액상 조성물(R-1)에 대하여 하기 절차에 따라 패턴을 형성하고 평가를 행하였다. 평가 결과를 하기 표 10에 나타내었다.The liquid composition (R-1) was patterned and evaluated according to the following procedure. The evaluation results are shown in Table 10 below.

패턴의 형성Formation of patterns

액상 조성물(R-1)을, 유리 기판의 표면 상에 스핀 코터를 이용하여 도포한 후, 90 ℃에서 4분간 프리베이킹을 행하여 막 두께 1.3 ㎛의 도막을 형성하였다. 그 후, 이 기판 3장을 실온으로 냉각하고, 각 기판 상의 도막에 고압 수은 램프를 이용하여, 포토마스크를 통해 각 기판 상의 도막에 2,000 J/㎡의 노광량으로 노광하였다. 그 후, 각 기판 상의 도막에 23 ℃의 0.04% 수산화칼륨 수용액을 현상 압력 1 kgf/㎠(노즐 직경 1 ㎜)로 토출함으로써 샤워 현상을 행한 후, 220 ℃에서 30분간 포스트 베이킹을 행하여 200×200 ㎛의 도트 패턴을 형성하였다.After apply | coating a liquid composition (R-1) on the surface of a glass substrate using a spin coater, it prebaked at 90 degreeC for 4 minutes, and formed the coating film of 1.3 micrometers in film thicknesses. Then, three board | substrates were cooled to room temperature, and it exposed by the exposure amount of 2,000 J / m <2> to the coating film on each board | substrate through a photomask using the high pressure mercury lamp for the coating film on each board | substrate. Thereafter, a shower development was performed by discharging a 0.04% potassium hydroxide aqueous solution at 23 ° C. at a developing pressure of 1 kgf / cm 2 (nozzle diameter of 1 mm) to the coating films on each substrate, followed by post-baking at 220 ° C. for 30 minutes to obtain 200 × 200. A dot pattern of 탆 was formed.

내용제성 평가Solvent resistance evaluation

2,000 J/㎡의 노광량으로 노광한 기판 3장을 25 ℃의 N-메틸피롤리돈(표 10 내지 13에서는 "NMP"라 기재함), 18% HCl 수용액(표 10 내지 13에서는 "HCl"이라 기재함) 또는 5% KOH 수용액(표 10 내지 13에서는 "KOH"라 기재함)에 각각 30분간 침지하고, 침지 전후의 도트 패턴을 주사형 전자 현미경으로 관찰하여, 패턴이 양호하게 형성되고 침지 전후의 막 두께비(침지 후의 막 두께×100/침지 전의 막 두께)가 95% 이상인 경우를 ○, 침지 전후의 막 두께비가 95% 미만이거나 또는 패턴의 일부에 결손이 보이는 경우를 △, 침지 후에 패턴이 모두 기판으로부터 박리되는 경우를 ×로서 평가하였다.Three substrates exposed at an exposure dose of 2,000 J / m 2 were N-methylpyrrolidone at 25 ° C (described as "NMP" in Tables 10 to 13), and 18% aqueous HCl solution ("HCl" in Tables 10 to 13). Immersed in a 5% aqueous KOH solution (described as "KOH" in Tables 10 to 13) for 30 minutes, and the dot pattern before and after immersion was observed with a scanning electron microscope, and the pattern was formed well and before and after immersion. ? When the film thickness ratio (film thickness after immersion x 100 / film thickness before immersion) is 95% or more, and when the film thickness ratio before and after immersion is less than 95% or when a defect is seen in a part of the pattern. The case where all peeled from the board | substrate was evaluated as x.

밀착성 평가Adhesion Evaluation

액상 조성물(R-1)을, 유리 기판의 표면 상에 스핀 코터를 이용하여 도포한 후, 90 ℃에서 4분간 프리베이킹을 행하여 막 두께 1.3 ㎛의 도막을 형성하였다. 그 후, 이 기판을 실온으로 냉각한 후, 고압 수은 램프를 이용하여 도막에 2,000 J/㎡의 노광량으로 노광하였다. 그 후, 도막에 23 ℃의 0.04% 수산화칼륨 수용액을 현상 압력 1 kgf/㎠(노즐 직경 1 ㎜)로 토출함으로써 샤워 현상을 행한 후, 220 ℃에서 30분간 포스트 베이킹을 행하였다. 그 후, JIS K5400 규격에 따라 도막을 100개의 바둑판 눈금 모양으로 크로스 커팅하여 밀착성 시험을 행하고, 바둑판 눈금의 박리가 생기지 않는 경우를 ○, 바둑판 눈금 중 1 내지 10개가 박리되는 경우를 △, 바둑판 눈금이 10개보다 많이 박리되는 경우를 ×로서 평가하였다.After apply | coating a liquid composition (R-1) on the surface of a glass substrate using a spin coater, it prebaked at 90 degreeC for 4 minutes, and formed the coating film of 1.3 micrometers in film thicknesses. Then, after cooling this board | substrate to room temperature, it exposed to the coating film by the exposure amount of 2,000 J / m <2> using the high pressure mercury lamp. Thereafter, shower development was performed by discharging a 0.04% potassium hydroxide aqueous solution at 23 ° C. at a developing pressure of 1 kgf / cm 2 (nozzle diameter of 1 mm) to the coating film, followed by post-baking at 220 ° C. for 30 minutes. Thereafter, the coating film is cross-cut into 100 checkerboard grid shapes in accordance with JIS K5400 standard to perform an adhesion test, and the case where 1 to 10 of the checkerboard scales does not occur is checked. The case where peeling more than these 10 pieces was evaluated as x.

액상 조성물의 보존 안정성 평가Evaluation of Storage Stability of Liquid Compositions

액상 조성물(R-1)을 유리병에 넣고, 40 ℃의 항온 항습조 중에서 1주일 보존했을 때, 보존 전후에서의 점도를 측정하여 점도 변화율(보존 후의 점도×100/보존 전의 점도)을 산출하였다. 한편, 여기서 사용한 안료 분산액(R)의 점도, 알칼리 가용성 수지(B-1)의 용액 점도 및 알칼리 가용성 수지(B-4)의 용액 점도는 상기와 동일한 조건으로 보존하더라도 변화가 보이지 않았다. When liquid composition (R-1) was put into a glass bottle and preserve | saved for 1 week in a 40 degreeC constant temperature and humidity tank, the viscosity before and after storage was measured, and the viscosity change rate (viscosity after storage x100 / viscosity before storage) was computed. . On the other hand, the viscosity of the pigment dispersion liquid R used here, the solution viscosity of alkali-soluble resin (B-1), and the solution viscosity of alkali-soluble resin (B-4) did not show a change even if it preserve | saved on the same conditions as the above.

실시예 2 내지 22Examples 2 to 22

실시예 1에 있어서, 구성 성분의 종류와 양을 표 2 또는 표 3에 나타낸 바와 같이 변경한 것 이외에는, 실시예 1과 동일하게 하여 액상 조성물(R-2) 내지 (R-22)를 제조하였다.In Example 1, liquid compositions (R-2) to (R-22) were prepared in the same manner as in Example 1 except that the type and amount of the constituent components were changed as shown in Table 2 or Table 3. .

이어서, 액상 조성물(R-1) 대신에 각각 액상 조성물(R-2) 내지 (R-22)를 사용한 것 이외에는, 실시예 1과 동일하게 하여 평가를 행하였다. 한편, 실시예 8 내지 10에서 사용한 알칼리 가용성 수지(B-5)의 용액 점도, 실시예 11 내지 16에서 사용한 알칼리 가용성 수지(B-2)의 용액 점도 및 실시예 17 내지 22에서 사용한 알칼리 가용성 수지(B-3)의 용액 점도는 상기 액상 조성물의 보존 안정성 평가에서의 경우와 동일한 조건으로 보존하더라도 변화가 보이지 않았다. 평가 결과를 표 10에 나타내었다.Next, it evaluated similarly to Example 1 except having used liquid compositions (R-2)-(R-22) instead of liquid composition (R-1), respectively. On the other hand, the solution viscosity of alkali-soluble resin (B-5) used in Examples 8-10, the solution viscosity of alkali-soluble resin (B-2) used in Examples 11-16, and alkali-soluble resin used in Examples 17-22 The solution viscosity of (B-3) was not changed even when stored under the same conditions as in the storage stability evaluation of the liquid composition. The evaluation results are shown in Table 10.

실시예 23Example 23

안료 분산액(G) 100부, 알칼리 가용성 수지(B-1)를 합성예 1에서 얻은 용액으로서 10부(고형분 환산), 알칼리 가용성 수지(B-4)를 합성예 4에서 얻은 용액으로서 5부(고형분 환산), (C) 다관능성 단량체로서 디펜타에리트리톨 헥사아크릴레이트 12부, (D) 광 중합 개시제로서 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부탄-1-온 5부와 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논 3부, 용매로서 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트를 혼합하여 고형분 농도 25%의 액상 조성물(G-1)을 제조하였다(하기 표 4 참조).100 parts of pigment dispersion (G), 10 parts (solid content conversion) as a solution obtained in Synthesis Example 1, and 5 parts (as a solution obtained in Synthesis Example 4) as alkali solution (B-4) Solid content conversion), (C) 12 parts of dipentaerythritol hexaacrylate as a polyfunctional monomer, (D) 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butane- as a photoinitiator 5 parts of 1-one, 3 parts of 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone, and propylene glycol monomethyl ether acetate as a solvent were mixed to prepare a liquid composition (G-1) having a solid content concentration of 25% (following). See Table 4).

이어서, 액상 조성물(R-1) 대신에 액상 조성물(G-1)을 사용한 것 이외에는, 실시예 1과 동일하게 하여 패턴을 형성하여 평가를 행하였다. 한편, 여기서 사용한 안료 분산액(G)의 점도는 상기 액상 조성물의 보존 안정성 평가에서의 경우와 동일한 조건으로 보존하더라도 변화가 보이지 않았다. 평가 결과를 하기 표 11에 나타내었다.Next, except having used the liquid composition (G-1) instead of the liquid composition (R-1), it carried out similarly to Example 1, and formed the pattern and evaluated. On the other hand, even if the viscosity of the pigment dispersion (G) used here was preserve | saved on the same conditions as the case in the storage stability evaluation of the said liquid composition, a change was not seen. The evaluation results are shown in Table 11 below.

실시예 24 내지 44Examples 24-44

실시예 23에 있어서, 구성 성분의 종류와 양을 표 4 또는 표 5에 나타낸 바와 같이 변경한 것 이외에는, 실시예 23과 동일하게 하여 액상 조성물(G-2) 내지 (G-22)를 제조하였다. In Example 23, liquid compositions (G-2) to (G-22) were prepared in the same manner as in Example 23 except that the type and amount of the constituent components were changed as shown in Table 4 or Table 5. .

이어서, 액상 조성물(R-1) 대신에 각각 액상 조성물(G-2) 내지 (G-22)를 사용한 것 이외에는, 실시예 1과 동일하게 하여 평가를 행하였다. 평가 결과를 표 11에 나타내었다.Next, it evaluated similarly to Example 1 except having used liquid compositions (G-2)-(G-22) instead of liquid composition (R-1), respectively. The evaluation results are shown in Table 11.

비교예 1 내지 19Comparative Examples 1 to 19

실시예 1에 있어서, 구성 성분의 종류와 양을 하기 표 6 또는 표 7에 나타낸 바와 같이 변경한 것 이외에는, 실시예 1과 동일하게 하여 액상 조성물(R-23) 내지 (R-41)을 제조하였다.In Example 1, liquid compositions (R-23) to (R-41) were prepared in the same manner as in Example 1 except that the type and amount of the constituents were changed as shown in Table 6 or Table 7. It was.

이어서, 액상 조성물(R-1) 대신에 각각 액상 조성물(R-23) 내지 (R-41)를 사용한 것 이외에는, 실시예 1과 동일하게 하여 평가를 행하였다. 평가 결과를 하기 표 12에 나타내었다. Next, it evaluated similarly to Example 1 except having used liquid compositions (R-23)-(R-41) instead of liquid composition (R-1), respectively. The evaluation results are shown in Table 12 below.

비교예 20 내지 38Comparative Examples 20 to 38

실시예 23에 있어서, 구성 성분의 종류와 양을 하기 표 8 또는 표 9에 나타낸 바와 같이 변경한 것 이외에는, 실시예 23과 동일하게 하여 액상 조성물(G-23) 내지 (G-41)을 제조하였다.In Example 23, liquid compositions (G-23) to (G-41) were prepared in the same manner as in Example 23 except that the kind and amount of the constituents were changed as shown in Table 8 or Table 9 below. It was.

이어서, 액상 조성물(R-1) 대신에 각각 액상 조성물(G-23) 내지 (G-41)을 사용한 것 이외에는, 실시예 1과 동일하게 하여 평가를 행하였다. 평가 결과를 하기 표 13에 나타내었다.Next, it evaluated like Example 1 except having used liquid compositions (G-23)-(G-41) instead of liquid composition (R-1), respectively. The evaluation results are shown in Table 13 below.

표 2 내지 9에 있어서, 다관능성 단량체, 광 중합 개시제 및 첨가제의 내용은 하기와 같다.In Tables 2-9, the content of a polyfunctional monomer, a photoinitiator, and an additive is as follows.

다관능성 단량체Polyfunctional monomer

C-1: 트리메틸올프로판트리아크릴레이트C-1: trimethylolpropane triacrylate

C-2: 디펜타에리트리톨 헥사아크릴레이트C-2: dipentaerythritol hexaacrylate

광 중합 개시제Photopolymerization initiator

D-1: 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노프로판-1-온 D-1: 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one

D-2: 1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카르바졸-3-일]-에타논 1-(O-아세틸옥심)D-2: 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -ethanone 1- (O-acetyloxime)

D-3: 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온D-3: 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one

D-4: 2,4-디에틸티오크산톤D-4: 2,4-diethyl thioxanthone

D-5: 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논D-5: 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone

첨가제 additive

E-1: 비스페놀 A 노볼락형 에폭시 수지(상품명 157S65, 재팬 에폭시 레진(주) 제조) E-1: bisphenol A novolak-type epoxy resin (brand name 157S65, Japan epoxy resin Co., Ltd. product)

E-2: 무수 트리멜리트산E-2: trimellitic anhydride

E-3: N-(트리플루오로메탄술포닐옥시)비시클로[2.2.1]헵트-5-엔-2,3-디카르복시이미드E-3: N- (trifluoromethanesulfonyloxy) bicyclo [2.2.1] hept-5-ene-2,3-dicarboxyimide

Figure 112007038658573-PAT00007
Figure 112007038658573-PAT00007

Figure 112007038658573-PAT00008
Figure 112007038658573-PAT00008

Figure 112007038658573-PAT00009
Figure 112007038658573-PAT00009

Figure 112007038658573-PAT00010
Figure 112007038658573-PAT00010

Figure 112007038658573-PAT00011
Figure 112007038658573-PAT00011

Figure 112007038658573-PAT00012
Figure 112007038658573-PAT00012

Figure 112007038658573-PAT00013
Figure 112007038658573-PAT00013

Figure 112007038658573-PAT00014
Figure 112007038658573-PAT00014

Figure 112007038658573-PAT00015
Figure 112007038658573-PAT00015

Figure 112007038658573-PAT00016
Figure 112007038658573-PAT00016

Figure 112007038658573-PAT00017
Figure 112007038658573-PAT00017

Figure 112007038658573-PAT00018
Figure 112007038658573-PAT00018

실시예 45Example 45

안료 분산액(R) 100부, 알칼리 가용성 수지(B-7)를 합성예 7에서 얻은 수지 용액으로서 15부(고형분 환산), (C) 다관능성 단량체로서 디펜타에리트리톨 헥사아크릴레이트 10부와 트리메틸올프로판트리아크릴레이트 5부, (D) 광 중합 개시제로서 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노프로판-1-온 5부와 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논 3부, 용매로서 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트를 혼합하여 고형분 농도 25%의 액상 조성물(R-42)을 제조하였다(하기 표 14 참조).100 parts of pigment dispersion (R), alkali-soluble resin (B-7) as a resin solution obtained in Synthesis Example 7 (parts in terms of solid content), (C) dipentaerythritol hexaacrylate as a polyfunctional monomer, and 10 parts of trimethyl 5 parts of all propane triacrylate, (D) 5 parts of 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropane-1-one and 4,4'-bis as a photoinitiator 3 parts of (diethylamino) benzophenone and propylene glycol monomethyl ether acetate as a solvent were mixed to prepare a liquid composition (R-42) having a solid content concentration of 25% (see Table 14 below).

액상 조성물(R-42)에 대하여 하기 절차에 따라 패턴을 형성하여 평가를 행하였다. 평가 결과를 하기 표 18에 나타내었다.The liquid composition (R-42) was evaluated by forming a pattern according to the following procedure. The evaluation results are shown in Table 18 below.

패턴의 형성Formation of patterns

액상 조성물(R-42)을, 유리 기판의 표면 상에 스핀 코터를 이용하여 도포한 후, 90 ℃에서 4분간 프리베이킹을 행하여 막 두께 1.3 ㎛의 도막을 형성하였다. 그 후, 이 기판 3장을 실온으로 냉각하고, 각 기판 상의 도막에 고압 수은 램프를 이용하여, 포토마스크를 통해 각 기판 상의 도막에 2,000 J/㎡의 노광량으로 노광하였다. 그 후, 각 기판 상의 도막에 23 ℃의 0.04 중량% 수산화칼륨 수용액을 현상 압력 1 kgf/㎠(노즐 직경 1 ㎜)로 토출함으로써 샤워 현상을 행한 후, 220 ℃에서 30분간 포스트 베이킹을 행하여 200×200 ㎛의 도트 패턴을 형성하였다.After apply | coating a liquid composition (R-42) on the surface of a glass substrate using a spin coater, it prebaked at 90 degreeC for 4 minutes, and formed the coating film with a film thickness of 1.3 micrometers. Then, three board | substrates were cooled to room temperature, and it exposed by the exposure amount of 2,000 J / m <2> to the coating film on each board | substrate through a photomask using the high pressure mercury lamp for the coating film on each board | substrate. Subsequently, shower development was performed by discharging a 0.04% by weight aqueous potassium hydroxide solution at 23 ° C. at a developing pressure of 1 kgf / cm 2 (nozzle diameter of 1 mm) to the coating films on each substrate. A dot pattern of 200 mu m was formed.

내용제성Solvent resistance 평가 evaluation

2,000 J/㎡의 노광량으로 노광한 기판 3장을, 25 ℃의 N-메틸피롤리돈(표 18 및 표 19에서는 "NMP"라 기재함), 18% HCl 수용액(표 18 및 표 19에서는 "HCl"이라 기재함) 또는 5% KOH 수용액(표 18 및 표 19에서는 "KOH"라 기재함)에 각각 30분간 침지하고, 침지 전후의 도트 패턴을 주사형 전자 현미경으로 관찰하여, 패턴이 양호하게 형성되고 침지 전후에서의 막 두께비(침지 후의 막 두께×100/침지 전의 막 두께)가 95% 이상인 경우를 ○, 침지 전후에서의 막 두께비가 95% 미만이거나 또는 패턴의 일부에 결손이 보이는 경우를 △, 침지 후에 패턴이 모두 기판으로부터 박리되는 경우를 ×로서 평가하였다.Three substrates exposed at an exposure dose of 2,000 J / m 2 were subjected to N-methylpyrrolidone at 25 ° C. (described as “NMP” in Tables 18 and 19), and an aqueous 18% HCl solution in Table 18 and Table 19. HCl ”) or 5% aqueous KOH solution (described as“ KOH ”in Tables 18 and 19) for 30 minutes, and the dot pattern before and after immersion was observed with a scanning electron microscope to obtain a good pattern. Is formed and the film thickness ratio before and after immersion (film thickness after immersion x 100 / film thickness before immersion) is 95% or more, and the film thickness ratio before and after immersion is less than 95% or when a defect is seen in a part of the pattern. (Triangle | delta) and the case where all the patterns peel from a board | substrate after immersion were evaluated as x.

밀착성 평가Adhesion Evaluation

액상 조성물(R-42)을, 유리 기판의 표면 상에 스핀 코터를 이용하여 도포한 후, 90 ℃에서 4분간 프리베이킹을 행하여 막 두께 1.3 ㎛의 도막을 형성하였다. 그 후, 이 기판을 실온으로 냉각한 후, 고압 수은 램프를 이용하여 도막에 2,000 J/㎡의 노광량으로 노광하였다. 그 후, 도막에 23 ℃의 0.04% 수산화칼륨 수용액을 현상 압력 1 kgf/㎠(노즐 직경 1 ㎜)로 토출함으로써 샤워 현상을 행한 후, 220 ℃에서 30분간 포스트 베이킹을 행하였다. 그 후, JIS K5400 규격에 따라 도막을 100개의 바둑판 눈금 모양으로 크로스 커팅하여 밀착성 시험을 행하여, 바둑판 눈금의 박리가 생기지 않는 경우를 ○, 바둑판 눈금 중 1 내지 10개가 박리되는 경우를 △, 바둑판 눈금이 10개보다 많이 박리되는 경우를 ×로서 평가하였다.After apply | coating a liquid composition (R-42) on the surface of a glass substrate using a spin coater, it prebaked at 90 degreeC for 4 minutes, and formed the coating film with a film thickness of 1.3 micrometers. Then, after cooling this board | substrate to room temperature, it exposed to the coating film by the exposure amount of 2,000 J / m <2> using the high pressure mercury lamp. Thereafter, shower development was performed by discharging a 0.04% potassium hydroxide aqueous solution at 23 ° C. at a developing pressure of 1 kgf / cm 2 (nozzle diameter of 1 mm) to the coating film, followed by post-baking at 220 ° C. for 30 minutes. Thereafter, the coating film is cross-cut into 100 checkerboard grid shapes in accordance with JIS K5400 standards to perform an adhesion test, and the case where 1 to 10 of the checkerboard scales does not occur is checked. The case where peeling more than these 10 pieces was evaluated as x.

액상 조성물의 보존 안정성 평가Evaluation of Storage Stability of Liquid Compositions

액상 조성물(R-42)을 유리병에 넣고, 40 ℃의 항온 항습조 내에서 1주일 보존했을 때, 보존 전후에서의 점도를 측정하여 점도 변화율(보존 후의 점도×100/보존 전의 점도)를 산출하였다. 한편, 여기서 사용한 안료 분산액(R)의 점도 및 알칼리 가용성 수지(B-7)의 용액 점도는 상기와 동일한 조건으로 보존하더라도 변화가 보이지 않았다.When the liquid composition (R-42) was placed in a glass bottle and stored for one week in a constant temperature and humidity chamber at 40 ° C, the viscosity before and after storage was measured to calculate the rate of change of viscosity (viscosity after preservation x 100 / viscosity before storage). It was. On the other hand, even if the viscosity of the pigment dispersion (R) and the solution viscosity of the alkali-soluble resin (B-7) used here were stored under the same conditions as above, no change was observed.

실시예 46 내지 56Examples 46-56

실시예 45에 있어서, 구성 성분을 표 14에 나타낸 바와 같이 변경한 것 이외에는, 실시예 45와 동일하게 하여 액상 조성물(R-43) 내지 (R-53)을 제조하였다.In Example 45, except having changed the constituent components as shown in Table 14, the liquid compositions (R-43) to (R-53) were prepared in the same manner as in Example 45.

이어서, 액상 조성물(R-42) 대신에 각각 액상 조성물(R-43) 내지 (R-56)를 사용한 것 이외에는, 실시예 45와 동일하게 하여 평가를 행하였다. 한편, 실시예 50 내지 53에서 사용한 알칼리 가용성 수지(B-8) 내지 (B-14)의 각 용액 점도는 상기 액상 조성물의 보존 안정성 평가에서의 경우와 동일한 조건으로 보존하더라도 변화가 보이지 않았다. 평가 결과를 표 18에 나타내었다.Next, it evaluated similarly to Example 45 except having used liquid compositions (R-43)-(R-56) instead of liquid composition (R-42), respectively. On the other hand, the solution viscosity of alkali-soluble resins (B-8) to (B-14) used in Examples 50 to 53 showed no change even when stored under the same conditions as in the storage stability evaluation of the liquid composition. The evaluation results are shown in Table 18.

실시예 57Example 57

안료 분산액(G) 100부, 알칼리 가용성 수지(B-7)를 합성예 7에서 얻은 수지 용액으로서 15부(고형분 환산), (C) 다관능성 단량체로서 디펜타에리트리톨 헥사아크릴레이트 5부와 펜타에리트리톨테트라아크릴레이트 10부, (D) 광 중합 개시제로서 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부탄-1-온 5부와 디에틸티오크산톤 5부, 용매로서 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트를 혼합하여 고형분 농도 25%의 액상 조성물(G-42)을 제조하였다. 100 parts of pigment dispersion liquid (G), 15 parts (solid content conversion) as resin solution obtained by the synthesis example 7, and (C) dipentaerythritol hexaacrylate 5 parts and penta as a polyfunctional monomer 10 parts of erythritol tetraacrylate, (D) 5 parts of 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one, and 5 parts of diethyl thioxanthone as photoinitiators Propylene glycol monomethyl ether acetate was mixed as a solvent to prepare a liquid composition (G-42) having a solid content concentration of 25%.

이어서, 액상 조성물(R-42) 대신에 액상 조성물(G-42)을 사용한 것 이외에는, 실시예 45와 동일하게 하여 패턴을 형성하여 평가를 행하였다. 한편, 여기서 사용한 안료 분산액(G)의 점도는 상기 액상 조성물의 보존 안정성 평가에서의 경우와 동일한 조건으로 보존하더라도 변화가 보이지 않았다. 평가 결과를 표 18에 나타내었다. Subsequently, a pattern was formed and evaluated in the same manner as in Example 45 except that the liquid composition (G-42) was used instead of the liquid composition (R-42). On the other hand, even if the viscosity of the pigment dispersion (G) used here was preserve | saved on the same conditions as the case in the storage stability evaluation of the said liquid composition, a change was not seen. The evaluation results are shown in Table 18.

실시예 58 내지 68Examples 58-68

실시예 57에 있어서, 구성 성분을 하기 표 15에 나타낸 바와 같이 변경한 것 이외에는, 실시예 57과 동일하게 하여 액상 조성물(G-43) 내지 (G-53)을 제조하였다.In Example 57, except for changing the constituent components as shown in Table 15 below, liquid compositions (G-43) to (G-53) were prepared in the same manner as in Example 57.

이어서, 액상 조성물(R-42) 대신에 각각 액상 조성물(G-43) 내지 (G-53)을 사용한 것 이외에는, 실시예 45와 동일하게 하여 평가를 행하였다. 평가 결과를 표 18에 나타내었다.Next, it evaluated like Example 45 except having used liquid compositions (G-43)-(G-53) instead of liquid composition (R-42), respectively. The evaluation results are shown in Table 18.

비교예 39 내지 48Comparative Examples 39 to 48

실시예 45에 있어서, 구성 성분을 하기 표 16에 나타낸 바와 같이 변경한 것 이외에는, 실시예 45와 동일하게 하여 액상 조성물(R-54) 내지 (R-63)을 제조하였다.In Example 45, liquid compositions (R-54) to (R-63) were prepared in the same manner as in Example 45 except for changing the components as shown in Table 16 below.

이어서, 액상 조성물(R-42) 대신에 각각 액상 조성물(R-54) 내지 (R-63)을 사용한 것 이외에는, 실시예 45와 동일하게 하여 평가를 행하였다. 평가 결과를 하기 표 19에 나타내었다.Next, it evaluated similarly to Example 45 except having used liquid compositions (R-54)-(R-63) instead of liquid composition (R-42), respectively. The evaluation results are shown in Table 19 below.

비교예 49 내지 58Comparative Examples 49 to 58

실시예 57에 있어서, 구성 성분을 표 17에 나타낸 바와 같이 변경한 것 이외에는, 실시예 57과 동일하게 하여 액상 조성물(G-54) 내지 (G-63)을 제조하였다.In Example 57, except for changing the constituent components as shown in Table 17, the liquid compositions (G-54) to (G-63) were prepared in the same manner as in Example 57.

이어서, 액상 조성물(R-42) 대신에 각각 액상 조성물(G-54) 내지 (G-63)을 사용한 것 이외에는, 실시예 45와 동일하게 하여 평가를 행하였다. 평가 결과를 표 19에 나타내었다.Next, it evaluated similarly to Example 45 except having used liquid compositions (G-54)-(G-63) instead of liquid composition (R-42), respectively. The evaluation results are shown in Table 19.

표 14 내지 17에 있어서, 다관능성 단량체, 광 중합 개시제 및 첨가제의 내용은 하기와 같다.In Tables 14-17, the content of a polyfunctional monomer, a photoinitiator, and an additive is as follows.

다관능성Multifunctional 단량체 Monomer

C-1: 디펜타에리트리톨 헥사아크릴레이트C-1: dipentaerythritol hexaacrylate

C-2: 트리메틸올프로판 트리아크릴레이트C-2: trimethylolpropane triacrylate

C-3: 펜타에리트리톨 테트라아크릴레이트C-3: pentaerythritol tetraacrylate

광 중합 Photopolymerization 개시제Initiator

D-1: 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노프로판-1-온D-1: 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one

D-2: 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온D-2: 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one

D-3: 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논D-3: 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone

D-4: 2,4-디에틸티오크산톤D-4: 2,4-diethyl thioxanthone

첨가제additive

E-1: 비스페놀 A 노볼락형 에폭시 수지(상품명 157S65, 재팬 에폭시 레진(주) 제조)E-1: bisphenol A novolak-type epoxy resin (brand name 157S65, Japan epoxy resin Co., Ltd. product)

E-2: 무수 트리멜리트산E-2: trimellitic anhydride

E-3: N-(트리플루오로메탄술포닐옥시)비시클로[2.2.1]헵트-5-엔-2,3-디카르복시이미드E-3: N- (trifluoromethanesulfonyloxy) bicyclo [2.2.1] hept-5-ene-2,3-dicarboxyimide

Figure 112007038658573-PAT00019
Figure 112007038658573-PAT00019

Figure 112007038658573-PAT00020
Figure 112007038658573-PAT00020

Figure 112007038658573-PAT00021
Figure 112007038658573-PAT00021

Figure 112007038658573-PAT00022
Figure 112007038658573-PAT00022

Figure 112007038658573-PAT00023
Figure 112007038658573-PAT00023

Figure 112007038658573-PAT00024
Figure 112007038658573-PAT00024

본 발명의 감방사선성 조성물은 양호한 감도, 해상도, 패턴 형상 등을 유지하면서, 특히 액상 조성물로서의 보존 안정성이 양호하고, 또한 광범위한 용제에 대한 내용제성, 기판과의 밀착성 등도 우수한 화소 패턴 및 블랙 매트릭스 패턴을 형성할 수 있다.The radiation-sensitive composition of the present invention maintains good sensitivity, resolution, pattern shape, and the like, and in particular, has a good storage stability as a liquid composition, a pixel pattern and a black matrix pattern that also have excellent solvent resistance to a wide range of solvents, adhesion to a substrate, and the like. Can be formed.

Claims (5)

(A) 착색제, (B) 알칼리 가용성 수지, (C) 다관능성 단량체 및 (D) 광 중합 개시제를 함유하는 감방사선성 조성물이며, (B) 알칼리 가용성 수지가 (b1) 불포화 카르복실산, 불포화 카르복실산 무수물 및 불포화 페놀 화합물로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상의 제1 불포화 화합물, (b2) 옥세탄 골격을 갖는 불포화 화합물, 및 (b3) 테트라히드로푸란 골격을 갖는 불포화 화합물로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상의 제2 불포화 화합물의 공중합체를 포함하고, 상기 감방사선성 조성물이 착색층 형성에 이용되는 것을 특징으로 하는 감방사선성 조성물.(A) A radiation sensitive composition containing a coloring agent, (B) alkali-soluble resin, (C) polyfunctional monomer, and (D) photoinitiator, (B) alkali-soluble resin is (b1) unsaturated carboxylic acid, unsaturated At least one first unsaturated compound selected from the group consisting of carboxylic anhydrides and unsaturated phenol compounds, (b2) unsaturated compounds having an oxetane skeleton, and (b3) unsaturated compounds having a tetrahydrofuran skeleton A radiation sensitive composition comprising a copolymer of at least one second unsaturated compound, wherein the radiation sensitive composition is used to form a colored layer. 제1항에 있어서, (B) 알칼리 가용성 수지가 제1 불포화 화합물과 제2 불포화 화합물로서의 옥세탄 골격을 갖는 불포화 화합물의 공중합체, 또는 제1 불포화 화합물과 제2 불포화 화합물로서의 테트라히드로푸란 골격을 갖는 불포화 화합물의 공중합체인 감방사선성 조성물.(B) Alkali-soluble resin is a copolymer of the unsaturated compound which has an oxetane frame | skeleton as a 1st unsaturated compound and a 2nd unsaturated compound, or the tetrahydrofuran skeleton as a 1st unsaturated compound and a 2nd unsaturated compound. A radiation sensitive composition which is a copolymer of an unsaturated compound having. 제1항에 있어서, (B) 알칼리 가용성 수지가 제1 불포화 화합물과 제2 불포화 화합물로서의 옥세탄 골격을 갖는 불포화 화합물 및 테트라히드로푸란 골격을 갖는 불포화 화합물의 공중합체인 감방사선성 조성물.The radiation-sensitive composition according to claim 1, wherein the alkali-soluble resin (B) is a copolymer of an unsaturated compound having an oxetane skeleton as the first unsaturated compound and a second unsaturated compound and an unsaturated compound having a tetrahydrofuran skeleton. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 착색층 형성용 감방사선성 조성물 을 이용하여 형성된 착색층을 구비하여 이루어지는 컬러 필터.The color filter provided with the colored layer formed using the radiation sensitive composition for colored layer formation in any one of Claims 1-3. 제4항에 기재된 컬러 필터를 구비하는 컬러 액정 표시 소자.The color liquid crystal display element provided with the color filter of Claim 4.
KR1020070051307A 2006-05-29 2007-05-28 Radiation sensitive composition for forming a colored layer, color filter and color liquid crystal display device KR101529720B1 (en)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006148161A JP4706560B2 (en) 2006-05-29 2006-05-29 Radiation-sensitive composition for forming colored layer, color filter, and color liquid crystal display element
JPJP-P-2006-00148161 2006-05-29
JPJP-P-2006-00148028 2006-05-29
JP2006148028A JP4706559B2 (en) 2006-05-29 2006-05-29 Radiation-sensitive composition for forming colored layer, color filter, and color liquid crystal display element

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20070114649A true KR20070114649A (en) 2007-12-04
KR101529720B1 KR101529720B1 (en) 2015-06-17

Family

ID=38871512

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020070051307A KR101529720B1 (en) 2006-05-29 2007-05-28 Radiation sensitive composition for forming a colored layer, color filter and color liquid crystal display device

Country Status (3)

Country Link
KR (1) KR101529720B1 (en)
SG (1) SG137817A1 (en)
TW (1) TWI409587B (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5417994B2 (en) * 2008-07-17 2014-02-19 Jsr株式会社 Radiation-sensitive composition for forming colored layer, color filter, and color liquid crystal display element
TWI608294B (en) * 2008-10-30 2017-12-11 住友化學股份有限公司 Photosensitive resin composition

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6410206B1 (en) * 1999-02-25 2002-06-25 Dai Nippon Printing Co., Ltd. Photosensitive resin composition, color filter, and copolymer resin useful for them
JP2002014466A (en) * 2000-06-28 2002-01-18 Taiyo Ink Mfg Ltd Photosensitive resin composition
JP2002365795A (en) * 2001-06-06 2002-12-18 Jsr Corp Radiation sensitive composition for color liquid crystal display
JP2005227516A (en) * 2004-02-12 2005-08-25 Chisso Corp Polymerizable composition and display component using the same

Also Published As

Publication number Publication date
SG137817A1 (en) 2007-12-28
KR101529720B1 (en) 2015-06-17
TWI409587B (en) 2013-09-21
TW200807151A (en) 2008-02-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101387177B1 (en) Radiation Sensitive Composition For Forming A Colored Layer, Color Filter and Color Liquid Crystal Display Device
JP5109903B2 (en) Radiation-sensitive composition for forming colored layer, color filter, and liquid crystal display device
JP4635935B2 (en) Radiation-sensitive composition for forming colored layer, color filter, and color liquid crystal display element
KR100807494B1 (en) Radiation sensitive compositions for forming colored layers, color filters and color liquid crystal display panel
KR100870325B1 (en) Radiation sensitive composition for forming a colored layer, color filter and color liquid crystal display panel
KR101428075B1 (en) Radiation sensitive composition for forming a colored layer color filter and color liquid crystal display device
KR100850170B1 (en) Radiation Sensitive Composition for Forming a Colored Layer, Color Filter and Color Liquid Crystal Display Panel
JP4706559B2 (en) Radiation-sensitive composition for forming colored layer, color filter, and color liquid crystal display element
KR101152447B1 (en) Polymers, Radiation Sensitive Compositions for Color Filters, Color Filters and Color Liquid Crystal Display Device or Panel
KR20090041338A (en) Radiation sensitive composition for blue color filter, color filter and liquid crystal display device
JP5003200B2 (en) Radiation-sensitive composition for forming colored layer, color filter, and color liquid crystal display element
KR20080006483A (en) Radiation-sensitive composition for forming a colored layer, color filter and color liquid crystal display device
KR20080005867A (en) Radiation sensitive composition for forming a colored layer, color filter and color liquid crystal display device
CN107229186B (en) Colored photosensitive resin composition, color filter and display device comprising same
KR101507607B1 (en) Radiation-sensitive composition for forming a colored layer, color filter and color liquid crystal display device
JP4706560B2 (en) Radiation-sensitive composition for forming colored layer, color filter, and color liquid crystal display element
JP4983310B2 (en) Radiation-sensitive composition for forming colored layer, color filter, and color liquid crystal display element
KR20070079007A (en) Radiosensitive compositions, color filters and liquid crystal display devices
KR20070114649A (en) Radiation sensitive composition for forming a colored layer, color filter and color liquid crystal display device
JP2008191519A (en) Radiation-sensitive composition for forming colored layer, color filter and color liquid crystal display element

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
J201 Request for trial against refusal decision
AMND Amendment
E902 Notification of reason for refusal
E90F Notification of reason for final refusal
B701 Decision to grant
GRNT Written decision to grant