KR20070112568A - Stocker system and method for controlling the same - Google Patents
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Abstract
Description
도 1은 일반적인 액정표시패널의 일부를 나타낸 분해 사시도1 is an exploded perspective view showing a part of a general liquid crystal display panel
도 2는 일반적인 카세트 반송 시스템을 설명하기 위한 개요도2 is a schematic diagram for explaining a general cassette conveying system;
도 3은 종래 기술에 따른 스토커 시스템을 나타낸 개략적인 정면도3 is a schematic front view of a stocker system according to the prior art;
도 4는 종래 기술에 따른 스토커 시스템을 나타낸 개략적인 평면도4 is a schematic plan view of a stocker system according to the prior art;
도 5a는 종래 기술에 의한 스토커에서 입고 포트 또는 출고 포트에 하나의 버퍼를 추가한 예를 나타낸 도면5A is a view showing an example in which a buffer is added to a receiving port or a leaving port in a stocker according to the prior art;
도 5b는 종래 기술에 의한 스토커에서 입고 포트 또는 출고 포트에 두 개의 버퍼를 추가한 예를 나타낸 도면5B is a view showing an example in which two buffers are added to a receiving port or a leaving port in a stocker according to the prior art;
도 6a는 본 발명에 의한 스토커 시스템의 입고 및 출고 포트에 구성되는 버퍼 스테이지를 나타낸 도면Figure 6a is a view showing a buffer stage configured in the receiving and leaving port of the stocker system according to the present invention
도 6b는 본 발명에 의한 스토커 시스템의 입고 및 출고 포트에 구성되는 버퍼 스테이지는 나타낸 정면도Figure 6b is a front view showing a buffer stage configured in the stocking and leaving port of the stocker system according to the present invention
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *
200 : 버퍼 스테이지 210 : 카세트200: buffer stage 210: cassette
220 : 제 1 버퍼 포트 230 : 제 2 버퍼 포트220: first buffer port 230: second buffer port
240 : 카세트 서포트 250 : 리프트240: cassette support 250: lift
본 발명은 액정표시장치의 제조 장비에 관한 것으로, 특히 입고 및 출고 포트의 버퍼(buffer) 추가에 따른 공간 소모를 최소화하도록 한 스토커 시스템 및 그의 제어방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE
정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 증가하고 있다. 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고, 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.As the information society develops, the demand for display devices is increasing in various forms. In response to this, various flat panel display devices such as liquid crystal display (LCD), plasma display panel (PDP), electro luminescent display (ELD), and vacuum fluorescent display (VFD) have been studied. It is used as a device.
그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 장점을 가진 LCD는 현재 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)를 대체하고 있는 추세이다. 이러한 LCD는 상기한 이동형 표시장치의 용도 이외에도, 방송신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비전 및 데스크탑 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되어 보급되고 있다.Among them, LCDs, which are excellent in image quality and have advantages of light weight, thinness, and low power consumption, are currently replacing CRTs (Cathode Ray Tubes) for mobile image display devices such as monitors of notebook computers. In addition to the use of the mobile display device described above, the LCD has been developed and spread in various ways such as a monitor of a television and a desktop computer for receiving and displaying broadcast signals.
이와 같은 액정표시장치는, 화상을 표시하는 액정 패널과 상기 액정 패널에 구동신호를 인가하기 위한 구동부로 크게 구분될 수 있다. Such a liquid crystal display may be classified into a liquid crystal panel displaying an image and a driving unit for applying a driving signal to the liquid crystal panel.
여기서, 상기 액정 패널의 구조에 대해 간단히 살펴보면, 상기 액정 패널은 도 1에 도시된 바와 같이 공간을 갖고 합착된 제 1 및 제 2 기판(1, 2)과, 상기 제 1 및 제 2 기판(1, 2) 사이에 주입된 액정층(3)으로 구성된다.Herein, the structure of the liquid crystal panel will be briefly described. The liquid crystal panel may include the first and
여기서, 상기 제 1 기판(1)(TFT 어레이 기판)에는, 일정 간격을 갖고 일 방향으로 배열되는 복수개의 게이트 라인(4)과, 상기 각 게이트 라인(4)과 수직한 방향으로 일정한 간격으로 배열되는 복수개의 데이터 라인(5)과, 상기 각 게이트 라인(4)과 데이터 라인(5)이 교차되어 정의된 각 화소영역(P)에 매트릭스 형태로 형성되는 복수개의 화소 전극(6)과, 상기 게이트 라인(4)에 인가되는 신호에 의해 스위칭되어 상기 데이터 라인(5)의 신호를 상기 각 화소 전극(6)에 전달하는 복수개의 박막 트랜지스터(T)가 형성되어 있다.Here, the first substrate 1 (TFT array substrate) includes a plurality of
그리고 제 2 기판(2)(컬러필터 기판)에는, 상기 화소 영역(P)을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스층(7)과, 컬러 색상을 표현하기 위한 R,G,B(Red, Green, Blue) 컬러 필터층(8)과, 화상을 구현하기 위한 공통 전극(9)이 형성되어 있다. The second substrate 2 (color filter substrate) includes a
물론, 횡전계 방식의 액정표시장치에서는 공통전극이 제 1 기판(1)에 형성되어 있다.Of course, in the transverse electric field type liquid crystal display device, the common electrode is formed on the
상기한 구조를 가지는 액정표시장치는, 상기 제 1 기판(1)에 박막트랜지스터 어레이를 제조하는 공정, 상기 제 2 기판(2)에 칼라필터 어레이를 제조하는 공정, 상기 제 1 및 제 2 기판(1, 2)을 합착하는 공정, 상기 합착된 두 기판 사이에 액정을 주입한 후 밀봉하는 공정, 액정이 주입된 각 액정패널을 테스트한 후 수리(repair)하는 공정, 그리고 양품의 액정패널에 백 라이트 등을 장착하고 구동회 로를 장착하여 액정표시모듈을 제조하는 공정 등을 거쳐 제조된다.The liquid crystal display device having the above structure includes a process of manufacturing a thin film transistor array on the
상기한 바와 같이, 기판은 상기한 여러 가지 공정을 거치게 되어 액정표시장치로서 완성된다. As described above, the substrate is subjected to the various processes described above to be completed as a liquid crystal display device.
그런데, 생산 현장에서는 작업 효율을 높이기 위해, 도 2에 도시된 바와 같이, 자동 반송 장치(30)(Automatic transfer vehicle)를 이용하여 기판(1)을 각 공정을 수행하는 장비(20a, 20b)들에 운반하고 있다. However, in order to increase work efficiency at the production site, as illustrated in FIG. 2, the
이때, 상기 자동 반송 장치(30)가 기판(1)을 반송하는 효율을 높이기 위해, 여러 개의 기판(1)은 하나의 카세트(10)(cassette)내에 수납된 후 상기 자동 반송 장치(30)에 의해 운반된다.At this time, in order to increase the efficiency of the
따라서, 상기 자동 반송 장치(30)는 도 2에 도시된 바와 같이 카세트(10)가 임시로 저장된 스토커(40)(stocker)와 공정을 수행하는 장비(20a, 20b)들 사이를 왕복하면서, 상기 카세트(10)를 상기 스토커(40)에서 각 장비(20a, 20b)들로, 그리고 각 장비(20a, 20b)들에서 상기 스토커(40)로 각각 반송하게 된다. Thus, the
이를 위해, 생산라인의 바닥에는 상기 자동 반송 장치(30)가 정해진 경로를 따라 이동할 수 있도록 안내해주는 레일(11)이 제공된다.To this end, a
여기서, 상기 스토커(40)는, 각 공정을 수행하는 상기 장비(20a, 20b)들의 기판 처리 능력 및 처리 시간이 다르기 때문에 발생하는 카세트(10) 운반의 버퍼링(buffering) 문제를 효과적으로 해결하기 위해 제공되는 것이다.Here, the
이하, 첨부된 도면을 참고하여 종래 기술에 의한 카세트 저장용 스토커를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a cassette storage stocker according to the related art will be described with reference to the accompanying drawings.
도 3은 종래 기술에 따른 스토커 시스템을 나타낸 개략적인 정면도이고, 도 4는 종래 기술에 따른 스토커 시스템을 나타낸 개략적인 평면도이다.3 is a schematic front view of a stocker system according to the prior art, and FIG. 4 is a schematic top view of the stocker system according to the prior art.
도 3에 도시한 바와 같이, 종래 기술에 따른 스토커(100)는, 스토커(100) 내부의 시스템을 통제하는 SMC(Stocker Master Controller(도시되지 않음)와, 다수개의 기판이 수납된 카세트(110)와, 상기 SMC의 제어에 따라 카세트(110)를 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading)하기 위한 랙 마스터(rack master)(120)와, 상기 카세트(110)를 운반하는 AGV(Auto Guided Vehicle)(130)와, 상기 랙 마스터(120)에 의해 로딩된 카세트(110)를 보관하는 쉘프(shelf)(140)와, 상기 랙 마스터(120)가 이동되는 이동 레일(150)을 포함하여 구성되어 있다.As shown in FIG. 3, the
여기서, 상기 쉘프(140)는 여러 층으로 나누어져 상기 카세트(110)를 적재토록 하고 있으며, 상기 랙 마스터(120)를 기준으로 양쪽으로 설치되어 있다.Here, the
또한, 도 4에서와 같이, 상기 스토커(100) 내에는 대략 평행하게 쉘프(140)들이 배치되고, 상기 각 쉘프(140)에는 AGV(130)에 의해 반송된 카세트(110)를 상기 스토커(100)에 입고하기 위한 입고 포트(142a)와 상기 쉘프(140)에 저장된 카세트(110)를 출고하기 위한 출고 포트(142b)가 구비된다.In addition, as shown in FIG. 4, the
또한, 상기 두 개의 쉘프(140)들 사이에는 한 대의 랙 마스터(120)가 배치되는데, 상기 랙 마스터(120)는 이동 레일(150)을 따라 이동하면서 상기 입고 포트(142a)에 입고된 카세트(110)를 쉘프(140)에 저장하거나, 상기 쉘프(140)에 저장된 카세트(110)를 상기 출고 포트(142b)로 출고한다. In addition, one
그리고 상기 출고 포트(142b)로 반송된 카세트(110)는 상기 AGV(130)에 의해 장비(도 2의 20a, 20b)까지 반송된다.The
즉, 상기 랙 마스터(120)는 상기 SMC의 명령을 받아 쉘프(140)나 인라인 장비의 카세트(110)를 이재 실시하여 AGV(130)에 올려놓은 상태에서 반송을 실시한다.That is, the
도 5a는 종래 기술에 의한 스토커에서 입고 포트 또는 출고 포트에 하나의 버퍼를 추가한 예를 나타낸 도면이고, 도 5b는 종래 기술에 의한 스토커에서 입고 포트 또는 출고 포트에 두 개의 버퍼를 추가한 예를 나타낸 도면이다.FIG. 5A illustrates an example in which one buffer is added to a storage port or a storage port in a stocker according to the prior art, and FIG. 5B illustrates an example in which two buffers are added to a storage port or a storage port in a stocker according to the prior art. The figure shown.
도 5a에 도시한 바와 같이, 랙 마스터(120) 양측의 버퍼 출고 포트(buffer out port)(160)에 카세트(110)를 로딩한 후 AGV(130)가 상기 카세트(110)를 언로딩하여 상기 버퍼 출고 포트(160)의 상태가 빈 공간이 될 때까지 랙 마스터(120)는 해당 버퍼 출고 포트(160)에 카세트를 로딩할 수 없다.As shown in FIG. 5A, after the
한편, AGV(130)의 반송 능력이 스토커 포트의 카세트 반송능력보다 부족한 경우에 발생한다.On the other hand, this occurs when the carrying capacity of the AGV 130 is shorter than the cassette carrying capacity of the stocker port.
또한, 입고 포트의 경우는 상기 출고 포트에서 설명한 것과 역순으로, AGV(130)가 로딩한 카세트를 랙 마스터(120)가 빨리 언로딩 하지 못하는 경우이며,며, 상기 랙 마스터(120)의 반송능력이 AGV(130)보다 부족한 경우에 발생된다.In addition, in the case of the receiving port, the
이러한 경우 기존의 방식에서는 버퍼 스테이지(Buffer Stage)를 추가하여 해결하였다.In this case, the conventional method solved by adding a buffer stage.
즉, 도 5b에서와 같이, 반송능력 부족으로 출고 포트에 버퍼 스테이지(170)를 추가하는 경우, 랙 마스터(120)가 로딩한 카세트(110)는 AGV(130)의 옆으로 이 동하기 때문에, 랙 마스터(120)는 추가적으로 하나의 카세트(110)를 출고 포트로 반송할 수 있다.That is, as shown in FIG. 5B, when the
또한, 입고 포트의 경우에는 역순으로, AGV(130)가 언로딩한 카세트(110)는 록 마스터(120)의 옆으로 이동하기 때문에, 록 마스터(120)가 즉시 카세트(110)를 언로딩 하지 못하더라도, AGV(130)는 하나의 카세트(110)를 하나 더 입고 포트에 로딩할 수 있다.In addition, in the case of the goods receipt port, since the
그러나 상기와 같은 종래 기술에 의한 스토커 시스템에 있어서 다음과 같은 문제점이 있었다.However, there have been the following problems in the stocker system according to the prior art as described above.
즉, 출고 포트 또는 입고 포트에 반송능력을 향상시키기 위해 수평 구조로 추가한 버퍼 스테이지에 의해 AGV 옆의 공간을 필요로 하여 AGV 라인 변경 및 축소가 불가피하게 됨으로써 스토커의 공간 사용의 효율성이 저하된다.In other words, the space next to the AGV is required by the buffer stage added in a horizontal structure in order to improve the carrying capacity at the delivery port or the receiving port, so that the AGV line can be changed and reduced, thereby reducing the efficiency of the stocker's space use.
본 발명은 상기한 종래의 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로, 입고 포트와 출고 포트에 구성되는 버퍼 스테이지를 수직 형태의 적층 구조로 구성함으로써 스토커의 공간 효율을 향상시키도록 한 스토커 시스템 및 그의 제어방법을 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, and the stocker system and its control method for improving the space efficiency of the stocker by configuring a buffer stage composed of the storage port and the storage port in a vertical stacked structure. The purpose is to provide.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 스토커 시스템은 기판들이 탑재된 카세트가 입고되는 입고 포트와, 상기 카세트들을 저장하는 다수의 선반들과, 상기 카세트가 출고되는 출고 포트와, 상기 입고 포트와 선반 사이 및 상기 선반과 출고 포트 사이를 이동하면서 상기 카세트를 운반하는 랙 마스터와, 상기 출고 포트 또는 입고 포트에 수직 구조로 적층되어 상기 카세트를 로딩 또는 언로딩하는 다수개의 버퍼 포트를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a stocker system according to the present invention includes a receiving port in which a cassette on which substrates are mounted, a plurality of shelves storing the cassettes, a leaving port in which the cassette is shipped, and the receiving port. And a rack master for transporting the cassette while moving between the shelves and between the shelves and the storage port, and a plurality of buffer ports stacked in a vertical structure on the storage port or the storage port to load or unload the cassette. It is characterized by.
또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 스토커 시스템의 제어방법은 랙 마스터를 이용하여 제 1 버퍼 포트로 카세트를 로딩하는 단계와, 상기 제 1 버퍼 포트에 로딩된 카세트의 배면에 상하 이동이 가능한 리프트를 정렬하는 단계와, 상기 리프트를 하강하여 상기 카세트를 제 2 버퍼 포트로 이동하고 상기 랙 마스터가 다음 카세트를 제 1 버퍼 포트에 로딩하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.In addition, the control method of the stocker system according to the present invention for achieving the above object is a step of loading a cassette to the first buffer port using a rack master, and up and down on the back of the cassette loaded in the first buffer port And aligning the movable lift, and lowering the lift to move the cassette to the second buffer port and the rack master loading the next cassette into the first buffer port.
또한, 본 발명에 의한 스토커 시스템의 제어방법은 동 반송 장치를 이용하여 카세트를 제 1 버퍼 포트에 로딩하는 단계와, 상기 제 1 버퍼 포트에 로딩된 카세트의 배면에 상하 이동이 가능한 리프트를 정렬하는 단계와, 상기 리프트를 상승하여 제 2 버퍼 포트로 카세트를 이동하는 단계와, 상기 리프트를 하강하고 상기 자동 반송 장치를 이용하여 상기 제 1 버퍼 포트에 다음 카세트를 로딩하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.In addition, the control method of the stocker system according to the present invention comprises the steps of loading the cassette into the first buffer port by using the conveying device, the alignment of the lift capable of vertical movement on the back of the cassette loaded in the first buffer port And moving the cassette to the second buffer port by raising the lift, and loading the next cassette into the first buffer port by using the automatic transfer device by lowering the lift. It is done.
이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명에 의한 스토커 시스텀 및 그의 제어방법을 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a stocker system and a control method thereof according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 6a는 본 발명에 의한 스토커 시스템의 입고 및 출고 포트에 구성되는 버퍼 스테이지를 나타낸 도면이고, 도 6b는 본 발명에 의한 스토커 시스템의 입고 및 출고 포트에 구성되는 버퍼 스테이지는 나타낸 정면도이다.Fig. 6A is a view showing a buffer stage configured in the stocking and leaving port of the stocker system according to the present invention, and Fig. 6B is a front view showing the buffer stage configured in the stocking and leaving port of the stocker system according to the present invention.
도 6a 및 도 6b에 도시한 바와 같이, 스토커 시스템의 입고 및 출력 포트에 구성되는 버퍼 스테이지(200)는 랙 마스터(도시되지 않음)에 의한 카세트(210)를 로딩 또는 언로딩하는 제 1 버퍼 포트(220)와, 상기 제 1 버퍼 포트(220)의 하측에 AGV(도시되지 않음)에 의한 카세트(210)를 로딩 또는 언로딩하는 제 2 버퍼 포트(230)를 포함하여 구성된다.As shown in FIGS. 6A and 6B, the
여기서, 상기 제 1 버퍼 포트(220)와 제 2 포트 포트(230)에는 상기 카세트(210)를 지지하기 위한 카세트 서포트(cassette support)(240)가 구성되어 있고, 상기 카세트(210)는 상하로 이동이 가능한 리프트(lifter)(250)에 의해 상기 카세트 서포트(240) 위에 안착되게 된다.Here, a
즉, 상기 리프트(250)는 상기 제 2 버퍼 포트(230)의 카세트 서포트(240)가 접어진 상태에서 카세트(210)를 제 1 버퍼 포트(220)와 제 2 버퍼 포트(230)로 이동시켜주는 승강기 역할을 하고 있다.That is, the
한편, 상기 카세트 서포트(240)는 좌우로 이동이 가능하게 구성되어 상기 리프트(250)를 통해 카세트(210)가 제 2 버퍼 포트(230)를 통해 제 1 버퍼 포트(220)로 로딩될 때 좌우로 들어간 상태에서 제 1 버퍼 포트(220)에 카세트(210)가 로딩되면 다시 원 상태로 복귀하여 상기 카세트(210)를 지지하게 된다.On the other hand, the
즉, 상기 카세트 서포트(240)는 카세트(210)를 제 1, 제 2 버퍼 포트(220,230)에 위치할 수 있도록 하는 받침대로써, 상기 카세트(210)의 승하강시 방해되지 않도록 좌우로 이동할 수 있다.That is, the
상기와 같이 구성된 본 발명에 의한 스토커 시스템의 동작을 설명하면 다음 과 같다.Referring to the operation of the stocker system according to the present invention configured as described above are as follows.
먼저, 입고 포트인 경우를 설명하면, 랙 마스터(R/M) 옆에서 제 1 버퍼 포트(220)로 카세트(210)를 로딩한다(이때 상기 카세트 서포트(240)는 펼쳐져 고정된 상태이다).First, in the case of the receiving port, the
이어, 상기 리프트(250)를 상승하여 상기 제 1 버퍼 포트(220)의 카세트(210)를 제 2 버퍼 포트(230)로 하강시킨다(이때 상기 리프트(250) 상승 후 카세트(210)를 인식하면 상기 커세트 서포트(240)는 해제된다.Subsequently, the
그리고 상기 리프트(250)를 하강하여 상기 카세트(210)를 제 2 버퍼 포트(230)로 이동하면 상기 카세트 서포트(240)는 원래 상태로 복위하여 상기 랙 마스터가 다음 카세트(210)를 로딩할 수 있도록 한다.When the
또한, 카세트의 출고 포트인 경우를 설명하면, AGV가 제 2 버퍼 포트(230)로 카세트(210)를 로딩한다.In addition, a case where the cassette is a shipping port will be described. The AGV loads the
이어, 리프트(250)를 상승하여 제 1 버퍼 포트(220)로 카세트(210)를 이동시킨다.Then, the
그리고 상기 제 1 버퍼 포트(220)로 이동된 카세트(210)가 카세트 서포트(240)에 의해 고정되면 상기 리프트(250)는 하강한다.When the
이어, 상기 제 2 버퍼 포트(230)는 AGV가 카세트(210)를 로딩할 수 있는 상태가 된다.Subsequently, the
이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변 형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.The present invention described above is not limited to the above-described embodiments and the accompanying drawings, and various substitutions, modifications, and changes are possible in the technical field of the present invention without departing from the technical spirit of the present invention. It will be clear to those of ordinary knowledge.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명에 의한 스토커 시스템 및 그의 제어방법은 다음과 같은 효과가 있다.As described above, the stocker system and the control method thereof according to the present invention have the following effects.
즉, 출고 포트 또는 입고 포트에 반송능력을 향상시키기 위해 추가한 버퍼 스테이지를 수직 구조로 적층하여 구성함으로써 AGV 라인 변경 및 축소 등을 하지 않고 스토커의 공간 사용의 효율성을 향상시킬 수 있다.That is, by stacking the added buffer stage in a vertical structure in order to improve the carrying capacity at the shipping port or the receiving port, it is possible to improve the efficiency of the stocker's space without changing or reducing the AGV line.
Claims (6)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060045628A KR101309859B1 (en) | 2006-05-22 | 2006-05-22 | Stocker system and method for controlling the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060045628A KR101309859B1 (en) | 2006-05-22 | 2006-05-22 | Stocker system and method for controlling the same |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20070112568A true KR20070112568A (en) | 2007-11-27 |
KR101309859B1 KR101309859B1 (en) | 2013-09-16 |
Family
ID=39090837
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020060045628A KR101309859B1 (en) | 2006-05-22 | 2006-05-22 | Stocker system and method for controlling the same |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101309859B1 (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101421435B1 (en) * | 2013-03-05 | 2014-08-13 | 주식회사 선익시스템 | Chamber for Storaging Substrates |
KR20160090020A (en) * | 2015-01-21 | 2016-07-29 | (주)신성하이텍 | Apparatus for bonding multilayer substrate with speedy and efficiency in the given space |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102618152B1 (en) * | 2021-07-29 | 2023-12-27 | 채원식 | Workpiece stored and released equipment |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001010702A (en) | 1999-06-29 | 2001-01-16 | Murata Mach Ltd | Automated storage and retrieval system |
JP3662154B2 (en) * | 1999-12-13 | 2005-06-22 | 東京エレクトロン株式会社 | Substrate processing system |
KR20050068237A (en) * | 2003-12-29 | 2005-07-05 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | Cassette loader |
KR20060000932A (en) * | 2004-06-30 | 2006-01-06 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | A stocker for storing a cassette |
-
2006
- 2006-05-22 KR KR1020060045628A patent/KR101309859B1/en active IP Right Grant
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR101421435B1 (en) * | 2013-03-05 | 2014-08-13 | 주식회사 선익시스템 | Chamber for Storaging Substrates |
KR20160090020A (en) * | 2015-01-21 | 2016-07-29 | (주)신성하이텍 | Apparatus for bonding multilayer substrate with speedy and efficiency in the given space |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101309859B1 (en) | 2013-09-16 |
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