KR20080001944A - System for conveying cassette - Google Patents

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Abstract

A cassette transfer system is provided to perform a transfer process of a cassette between an in-line apparatus and an AGV(auto guided vehicle) line apparatus without passing through a stocker by installing a port for directly transferring a cassette between an in-line apparatus and an AGV line apparatus. A cassette(210) to receive a substrate is stored in a stocker. An in-line apparatus(500) is connected to the stocker wherein a fabricating process for the substrate is performed in the in-line apparatus. Various apparatuses are sequentially arranged in an auto guided vehicle(300) that guides a cassette while transferring between the apparatuses and the stocker. The AGV line apparatus includes the stocker, the in-line apparatus and the auto guided vehicle. A port(600) for transferring a cassette is installed between the in-line apparatus and the stocker or/and between the in-line apparatus and the AGV line apparatus. The stocker includes a rack master(430) for loading and unloading a cassette. The in-line apparatus includes a robot arm(510) for loading and unloading the substrate in the cassette transferred from the stocker.

Description

카세트 반송 시스템{System for conveying cassette}Cassette conveying system

도 1은 종래의 카세트 반송 시스템을 개략적으로 나타낸 구성도1 is a schematic view showing a conventional cassette conveying system

도 2는 액정표시패널의 일부를 나타낸 분해 사시도2 is an exploded perspective view showing a part of a liquid crystal display panel;

도 3은 카세트 반송 시스템의 AGV라인을 나타낸 개략도3 is a schematic diagram showing an AGV line of a cassette conveying system;

도 4는 스토커를 나타낸 정면도4 is a front view of the stalker

도 5는 본 발명의 카세트 반송 시스템을 개략적으로 나타낸 구성도Figure 5 is a schematic view showing a cassette conveying system of the present invention

도 6은 본 발명의 카세트 반송 시스템의 요부를 나타낸 사시도.6 is a perspective view showing the main portion of the cassette conveyance system of the present invention.

*도면의 주요 부호에 대한 설명** Description of Major Symbols in Drawings *

200 : AGV라인 장비 210 : 카세트200: AGV line equipment 210: cassette

300 : 자동반송장치 301 : 레일300: automatic transfer device 301: rail

400 : 스토커 410 : 선반400: Stalker 410: Lathe

420a : 입고포트 420b : 출고포트420a: Goods Receipt Port 420b: Goods Receipt Port

430 : 랙 마스터 431 : 레일430: rack master 431: rail

500 : 인라인 장비 510 : 로봇 암500: inline equipment 510: robot arm

550 : AGV라인 600 : 포트550: AGV line 600: port

610 : 스토커 포트 620 : AGV라인 포트610: Stocker port 620: AGV line port

본 발명은 AGV라인 장비 및 인라인 장비가 구비된 카세트 반송 시스템에 관한것으로서, 더욱 상세하게는 인라인 장비에 연결된 스토커의 부하를 줄이고, 상기 AGV라인 장비 및 스토커 중 어느 하나의 동작이 정지되더라도 인라인 장비의 카세트를 원활하게 반송시킬 수 있도록 개선된 카세트 반송 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a cassette conveying system equipped with an AGV line device and an inline device, and more particularly, to reduce the load of the stocker connected to the inline device, and to stop the operation of any one of the AGV line device and the stocker. The present invention relates to an improved cassette conveyance system for smoothly conveying cassettes.

정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고, 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.As the information society develops, the demand for display devices is increasing in various forms.In recent years, liquid crystal display (LCD), plasma display panel (PDP), electro luminescent display (ELD), and vacuum fluorescent display (VFD) have been developed. Various flat panel display devices have been studied, and some are already used as display devices in various devices.

그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)를 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비전, 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.Among them, LCD is the most widely used as a substitute for CRT (Cathode Ray Tube) for the use of mobile image display device because of the excellent image quality, light weight, thinness, and low power consumption, and mobile type such as monitor of notebook computer. In addition, it is being developed in various ways, such as a television for receiving and displaying broadcast signals, and a monitor of a computer.

이와 같은 LCD(이하 '액정표시장치')는, 여러 기판들이 여러 제조 공정을 거치면서 완성되는데, 상기 액정표시장치의 공정이 이루어지기 위해서는 도 1에 도시된 바와 같이 다수의 기판들이 수납된 카세트가 반송되면서 각각에 맞는 공정이 이루어지기 위한 카세트 반송 시스템이 요구된다.Such an LCD (hereinafter, referred to as a 'liquid crystal display device') is completed by a plurality of substrates through various manufacturing processes. In order to accomplish the process of the liquid crystal display device, as shown in FIG. There is a need for a cassette conveying system for carrying out a process that is adapted to each other while being conveyed.

상기 카세트 반송 시스템을 도 1을 참조하여 설명하면 다음과 같다.The cassette conveying system will be described with reference to FIG. 1 as follows.

카세트 반송 시스템은 기판들이 수납된 카세트를 반송시키는 자동반송장치(Automatic guided vehicle)(11), 상기 자동반송장치(11)가 이동되면서 각 장비별로 기판의 액정표시장치 공정이 수행되는 AGV라인 장비(10), 기판의 액정표시장치 공정이 이루어지는 인라인 장비(20), 상기 각 장비 간에 공정이 이루어지는 동안에 장비간의 과부하를 방지하기 위한 스토커(30)를 포함하여 구성된다. 이때, 스토커(30)에는 카세트의 수납을 자동으로 수행하는 랙 마스터(31)가 설치된다.The cassette conveying system includes an automatic guided vehicle 11 for conveying a cassette in which substrates are stored, and an AGV line device in which a liquid crystal display device process of a substrate is performed for each device while the automatic conveying device 11 is moved. 10), an inline equipment 20 in which a liquid crystal display device process of a substrate is performed, and a stocker 30 for preventing an overload between equipments during a process between the respective equipments. At this time, the stocker 30 is provided with a rack master 31 for automatically storing the cassette.

또한, 상기 인라인 장비(20)에는 스토커(30)와 인라인 장비(20)간에 카세트의 반송이 이루어질때, 경유하는 포트(40)가 설치된다.In addition, the inline equipment 20 is provided with a port 40 passing through when the cassette is transported between the stocker 30 and the inline equipment 20.

또한, 상기 인라인 장비(20)에는 로봇암(21)이 설치된다. 상기 로봇암(21)은 스토커(30)로부터 랙 마스터(31)에 의해 인라인 장비(20)의 포트(40)로 반송된 카세트를 인라인 장비(20)내에서 별도의 공정이 이루어지도록 반송시키거나, 인라인 장비(20)에서 공정을 마친 카세트를 포트(40)로 반송시키는 역할을 한다.In addition, the robot arm 21 is installed in the inline equipment 20. The robot arm 21 conveys a cassette conveyed from the stocker 30 to the port 40 of the inline equipment 20 by the rack master 31 so that a separate process is performed in the inline equipment 20 or In addition, the in-line equipment 20 serves to convey the finished cassette to the port 40.

상기 인라인 장비(20)로부터 포트(40)로 반송된 카세트는 스토커(30)의 랙 마스터(31)에 의해 스토커(30)내로 저장된다. 이후, 랙 마스터(31)에 의해 AGV라인 장비(10)의 자동반송장치(11)로 반송되고, 자동반송장치(11)는 AGV라인 장비(10)를 이동하면서 각 장비에 따른 공정이 이루어진다.The cassette conveyed from the inline equipment 20 to the port 40 is stored into the stocker 30 by the rack master 31 of the stocker 30. Thereafter, the rack master 31 is conveyed to the automatic conveying apparatus 11 of the AGV line equipment 10, and the automatic conveying apparatus 11 performs a process according to each equipment while moving the AGV line equipment 10.

그러나, 상기한 구조를 가지는 카세트 반송 시스템은 다음과 같은 문제가 발생되었다.However, the following problems arise in the cassette conveying system having the above-described structure.

첫째, 인라인 장비(20)와 AGV라인 장비(10) 사이에 카세트의 반송이 이루어 지기 위해서는 상기 인라인 장비(20)와 AGV라인 장비(10) 사이에 설치된 스토커(30)를 반드시 경유해야 한다. 이에 따라, 스토커(30)의 동작에 오류가 발생될 경우, 상기 스토커(30)가 복구될 때 까지 상기 스토커(30)와 연관된 모든 카세트 반송 시스템이 제 기능을 발휘할 수 없게 된다.First, in order for the cassette to be transported between the inline device 20 and the AGV line device 10, the stocker 30 provided between the inline device 20 and the AGV line device 10 must pass through the stocker 30. Accordingly, if an error occurs in the operation of the stocker 30, all cassette conveying systems associated with the stocker 30 may not function until the stocker 30 is restored.

즉, 스토커(30)의 고장시, 인라인 장비와 AGV라인 장비간에 카세트 반송은 전혀 이루어질 수 없게 되는 것이다.That is, when the stocker 30 breaks down, the cassette conveyance between the inline equipment and the AGV line equipment cannot be performed at all.

둘째, 카세트(10)가 인라인 장비(50)와 AGV라인 장비간에 상호 반송되기 위해서는 반드시 스토커(40)를 경유하므로, 상기 스토커(40)에 과부하가 발생되어 카세트 반송 시스템의 기능이 현저히 저하된다.Second, since the cassette 10 must be via the stocker 40 in order to be mutually conveyed between the inline equipment 50 and the AGV line equipment, the stocker 40 is overloaded, which significantly reduces the function of the cassette conveying system.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로써, 본 발명의 목적은 스토커의 부하를 줄이고, 스토커에 오류가 발생되더라도 전체 시스템의 원활한 동작이 수행되도록 한 카세트 반송 시스템을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a cassette conveying system which reduces the load of the stocker and enables the smooth operation of the entire system even if an error occurs in the stocker. have.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 실시예는 기판이 수납된 카세트가 저장되는 스토커; 상기 스토커에 연결되며, 상기 기판에 대한 제조 공정이 이루어지는 인라인 장비; 여러 장비들이 순차적으로 배열되고, 상기 장비들과 스토커를 이동하면서 카세트를 반송하는 무인 반송차를 포함하는 AGV라인 장비; 상기 인라인 장비와 스토커 또는/및 인라인 장비와 AGV라인 장비간에 카세트의 반송을 위한 포트:를 포함하여 구성된 카세트 반송 시스템을 제공한다.In order to achieve the above object, an embodiment of the present invention provides a stocker for storing a cassette in which a substrate is stored; An inline device connected to the stocker and having a manufacturing process performed on the substrate; AGV line equipment including an unmanned carrier for conveying a cassette while several equipments are sequentially arranged and moving the equipment and the stocker; And a port for conveying a cassette between the inline equipment and the stocker and / or the inline equipment and the AGV line equipment.

이때, 상기 포트는 인라인 장비의 스토커측에 설치되어 인라인 장비와 스토커간에 카세트의 반송을 위한 스토커 포트와 인라인 장비의 AGV라인측에 설치되어 인라인 장비와 AGV라인 장비간에 카세트의 반송을 위한 AGV라인 포트를 포함하여 구성됨이 바람직하다.At this time, the port is installed on the stocker side of the inline equipment, the stocker port for conveying the cassette between the inline equipment and the stocker and AGV line port of the inline equipment is installed on the AGV line port for conveying the cassette between the inline equipment and AGV line equipment It is preferably configured to include.

또한, 상기 스토커는 카세트를 로딩 및 언로딩 하는 랙 마스터를 더 포함하는 것이 바람직하다.In addition, the stocker preferably further comprises a rack master for loading and unloading cassettes.

또한, 상기 인라인 장비는 스토커로부터 반송된 카세트의 기판을 로딩 및 언로딩하는 로봇 암을 더 포함하는 것이 바람직하다.In addition, the inline equipment preferably further comprises a robot arm for loading and unloading the substrate of the cassette conveyed from the stocker.

또한, 상기 스토커와 AGV라인에는 각각 레일이 더 형성됨이 바람직하고, 상기 무인 반송차와 랙 마스터는 각각 레일에 의해 이동이 안내 되는 것이 더욱 바람직하다.In addition, the stocker and the AGV line is preferably further formed on each rail, the driverless carriage and the rack master is more preferably guided by the rail, respectively.

이하, 첨부된 도 2 내지 도 6을 참조하여 본 발명에 따른 카세트 반송 시스템을 설명하도록 한다.Hereinafter, a cassette conveying system according to the present invention will be described with reference to FIGS. 2 to 6.

액정표시장치는 화상을 표시하는 액정 패널과 상기 액정 패널에 구동신호를 인가하기 위한 구동부로 크게 구분될 수 있으며, 상기 액정 패널은 도 2에 도시된 바와 같이 공간을 갖고 합착된 제1 및 제2 기판(100, 110)과, 상기 제1 및 제2 기판(100, 110) 사이에 주입된 액정층(120)으로 구성된다.The liquid crystal display may be broadly classified into a liquid crystal panel displaying an image and a driving unit for applying a driving signal to the liquid crystal panel, and the liquid crystal panel may have a space and be bonded to each other as shown in FIG. 2. And a liquid crystal layer 120 injected between the substrates 100 and 110 and the first and second substrates 100 and 110.

여기서, 상기 제 1 기판(100)(TFT 어레이 기판)에는, 일정 간격을 갖고 일 방향으로 배열되는 복수개의 게이트 라인(130)과, 상기 각 게이트 라인(130)과 수직한 방향으로 일정한 간격으로 배열되는 복수개의 데이터 라인(140)과, 상기 각 게이트 라인(130)과 데이터 라인(140)이 교차되어 정의된 각 화소영역(P)에 매트릭스 형태로 형성되는 복수개의 화소 전극(150)과 상기 게이트 라인(130)의 신호에 의해 스위칭되어 상기 데이터 라인(140)의 신호를 상기 각 화소 전극(P)에 전달하는 복수개의 박막 트랜지스터(T)가 형성되어 있다.The first substrate 100 (TFT array substrate) may include a plurality of gate lines 130 arranged in one direction at predetermined intervals, and arranged at regular intervals in a direction perpendicular to the gate lines 130. A plurality of pixel electrodes 150 and gates formed in a matrix form in each pixel region P defined by crossing a plurality of data lines 140 and the gate lines 130 and the data lines 140. A plurality of thin film transistors T, which are switched by the signal of the line 130 and transfer the signal of the data line 140 to the pixel electrodes P, are formed.

그리고 제 2 기판(110)(컬러필터 기판)에는, 상기 화소 영역(P)을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스층(160)과, 컬러 색상을 표현하기 위한 R,G,B 컬러 필터층(170)과 화상을 구현하기 위한 공통 전극(180)이 형성되어 있다. 물론, 횡전계 방식의 액정표시장치에서는 공통전극이 제 1 기판에 형성되어 있다.The second substrate 110 (color filter substrate) includes a black matrix layer 160 for blocking light in portions other than the pixel region P, and R, G, and B color filter layers for expressing color colors. A common electrode 180 for forming an image with the 170 is formed. Of course, in the transverse electric field type liquid crystal display device, the common electrode is formed on the first substrate.

상기한 구조를 가지는 액정표시장치는 상기 제 1 기판(100)에 박막트랜지스터 어레이를 제조하는 공정, 상기 제 2 기판(110)에 칼라필터 어레이를 제조하는 공정, 상기 제 1 및 제 2 기판(100, 110)을 합착하는 공정, 상기 합착된 두 기판 사이에 액정을 주입한 후 밀봉하는 공정, 액정이 주입된 각 액정패널을 테스트한 후 수리(repair)하는 공정, 그리고 양품의 액정패널에 백 라이트 등을 장착하고 구동회로를 장착하여 액정표시모듈을 제조하는 공정 등을 통해 제조된다.In the liquid crystal display having the above structure, a process of manufacturing a thin film transistor array on the first substrate 100, a process of manufacturing a color filter array on the second substrate 110, and the first and second substrates 100. , 110) adhering the liquid crystal, injecting and sealing the liquid crystal between the two bonded substrates, testing and repairing each liquid crystal panel in which the liquid crystal is injected, and backlit the good liquid crystal panel It is manufactured through a process of manufacturing a liquid crystal display module by mounting a lamp and a driving circuit.

상기한 바와 같이 기판은 카세트 반송 시스템을 통해 여러 가지 공정을 거치게 되어 액정표시장치로서 완성된다. 그 중에, 도 3은 AGV라인의 공정을 나타낸 개략도로서, 기판이 수납된 카세트(210)가 자동 반송 장치(300)(Automatic guided vehicle)에 의해 각 AGV라인 장비(200a,200b)들로 운반되면서 각각의 AGV라인 장비(200a,200b)에 대응되는 액정표시장치의 공정이 수행된다.As described above, the substrate is subjected to various processes through the cassette transport system, thereby completing the liquid crystal display device. 3 is a schematic view showing the process of the AGV line, the cassette 210 containing the substrate is transported to each AGV line equipment (200a, 200b) by an automatic guided vehicle (300) A process of the liquid crystal display device corresponding to each AGV line device 200a or 200b is performed.

AGV라인에는 자동반송장치(300)가 각 AGV라인 장비(200a,200b)들을 경유할 수 있도록 레일(301)이 설치된다. 즉, 자동반송장치(300)는 레일(301)을 따라 이동되면서 각 AGV라인 장비(200a,200b)들에 카세트(210)를 반송시키는 것이다.In the AGV line, a rail 301 is installed so that the automatic transport device 300 may pass through the AGV line equipments 200a and 200b. That is, the automatic transfer device 300 is to move the cassette 210 to each AGV line equipment (200a, 200b) while moving along the rail 301.

이때, 각 공정을 수행하는 상기 AGV라인 장비(200a, 200b)들의 기판 처리 능력 및 처리 시간은 다르다. 따라서, 어느 하나의 장비에서 다른 하나의 장비로 상기 카세트(210)를 반송하게 되면 버퍼링(buffering)이 발생하게 된다.At this time, the substrate processing capacity and processing time of the AGV line equipment 200a, 200b performing each process is different. Therefore, when the cassette 210 is returned from one device to another device, buffering occurs.

따라서, 버퍼링 문제를 효과적으로 해소하기 위해 어느 하나의 장비에서 처리된 기판이 수납된 카세트(210)를 어느 한 곳에 저장한 후 다른 장비로 반송하게 된다. 이때, 저장공간을 제공하는 것이 스토커(400)이다. Therefore, in order to effectively solve the buffering problem, the cassette 210 containing the substrate processed by one device is stored in one place and then returned to another device. In this case, the stocker 400 provides a storage space.

이때, 상기 자동 반송 장치(300)는 카세트(210)가 임시로 저장된 스토커(400)와 각 공정을 수행하는 AGV라인 장비(200a, 200b)들 사이를 왕복하면서 상기 카세트(210)를 상기 스토커(400)에서 각 AGV라인 장비(200a, 200b)들로, 그리고 각 AGV라인 장비(200a, 200b)들로부터 상기 스토커(400)로 각각 반송하게 된다. In this case, the automatic conveying apparatus 300 reciprocates between the stocker 400 temporarily stored in the cassette 210 and the AGV line equipment 200a or 200b performing each process, and moves the cassette 210 to the stocker ( 400 to each AGV line equipment 200a, 200b and from each AGV line equipment 200a, 200b to the stocker 400, respectively.

도 4 및 도 5에는 상기한 역할을 하는 스토커(400)의 구조가 개략적으로 도시되어 있는데, 이하에서는 상기 도면들을 참조하여 상기 스토커(400) 및 카세트 반송 시스템에 대해 보다 상세하게 설명한다.4 and 5 schematically show the structure of the stocker 400, which plays the above-described role. Hereinafter, the stocker 400 and the cassette conveying system will be described in more detail with reference to the drawings.

상기 스토커(400) 내에는 대략 평행하게 선반(410)들이 배치되고, 상기 각 선반(410)에는 자동 반송 장치(300)에 의해 반송된 카세트(210)를 상기 스토커(400)에 입고하기 위한 입력 포트(420a)와 상기 선반(410)에 저장된 카세트(210)를 출고하기 위한 출력 포트(420b)가 구비된다. Shelves 410 are disposed in the stocker 400 substantially in parallel, and each shelf 410 has an input for receiving the cassette 210 conveyed by the automatic conveying apparatus 300 into the stocker 400. A port 420a and an output port 420b for leaving the cassette 210 stored in the shelf 410 are provided.

또한, 상기 두 개의 선반(410)들 사이에는 레일(431)이 설치되고, 상기 레 일(431)위에는 한 대의 랙 마스터(430)가 이동 가능하게 배치되는데, 상기 랙 마스터(430)는 스토커(400)내에서 이동되면서 상기 입력 포트(420a)에 입고된 카세트(210)를 선반(410)에 저장하거나, 선반(410)에 저장된 카세트(210)를 상기 출력 포트(420b)로 출고한다. 그리고 상기 출력 포트(420b)로 반송된 카세트(210)는 상기 자동 반송 장치(300)에 의해 AGV라인 장비(200a, 200b)까지 반송된다.In addition, a rail 431 is installed between the two shelves 410, a rack master 430 is disposed on the rail 431 to be movable, the rack master 430 is a stocker (stocker) While moving in 400, the cassette 210 stored in the input port 420a is stored in the shelf 410, or the cassette 210 stored in the shelf 410 is released to the output port 420b. The cassette 210 conveyed to the output port 420b is conveyed to the AGV line equipment 200a and 200b by the automatic conveying apparatus 300.

한편, 상기 스토커(400)에는 도 5에 도시된 바와 같이 액정표시장치 제조 공정을 수행하는 인라인 장비(500)가 연결된다. 이와 같이 스토커(400)에 인라인 장비(500)가 연결되면, 상기 랙 마스터(430)가 상기 인라인 장비(500)에 직접 카세트(210)를 공급할 수 있으므로 반송 효율이 향상되고 생산성이 높아진다.On the other hand, the stocker 400 is connected to the in-line equipment 500 for performing a liquid crystal display manufacturing process as shown in FIG. As such, when the inline equipment 500 is connected to the stocker 400, the rack master 430 may directly supply the cassette 210 to the inline equipment 500, thereby improving the conveyance efficiency and increasing the productivity.

이때, 인라인 장비(500)에는 포트(600)가 설치된다. 상기 포트(600)는 인라인 장비(500)와 스토커(400) 상호간에 카세트(210)가 반송되기 위해 경유되는 스토커 포트(610)와, 인라인 장비(500)와 AGV 라인(550) 상호간에 카세트가 반송되기 위해 경유되는 AGV 라인 포트(620)로 구성된다.In this case, the port 600 is installed in the inline equipment 500. The port 600 includes a stocker port 610 via which the cassette 210 is transported between the inline equipment 500 and the stocker 400, and a cassette between the inline equipment 500 and the AGV line 550. It consists of an AGV line port 620 which is routed to be conveyed.

또한, 인라인 장비(500)에는 인라인 장비(500)내의 카세트(210)를 스토커 포트(610) 또는 AGV 라인 포트(620)로 각각 반송하는 로봇암(510)이 설치된다.In addition, the inline equipment 500 is provided with a robot arm 510 for transferring the cassette 210 in the inline equipment 500 to the stocker port 610 or the AGV line port 620, respectively.

상기한 구성에 따른 카세트 반송 시스템의 작용을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the cassette conveyance system according to the above configuration is as follows.

도 5 및 도 6을 통해 알 수 있듯이, 인라인 장비 또는 AGV 라인 장비에서 액정표시장치의 공정이 이루어진다. 이때, 자동반송장치는 AGV라인 장비와 스토커 사이를 오가며 카세트를 반송한다. As can be seen through Figures 5 and 6, the process of the liquid crystal display device is performed in the in-line equipment or AGV line equipment. At this time, the automatic transfer device transfers the cassette between the AGV line equipment and the stocker.

자동반송장치(300)에 의해 스토커(400)로 반송된 카세트(210)는 랙 마스 터(430)에 의해 스토커(400)의 일정한 위치의 선반에 저장되고, 선반에 저장되어 있는 카세트(210)는 랙 마스터(430)에 의해 인라인 장비(500)와 연결된 스토커 포트(610)로 반송된다. The cassette 210 conveyed to the stocker 400 by the automatic transfer device 300 is stored on the shelf at a fixed position of the stocker 400 by the rack master 430, and the cassette 210 stored on the shelf. Is returned to the stocker port 610 connected with the inline equipment 500 by the rack master 430.

이후, 인라인 장비(500)의 로봇암(510)은 스토커 포트(610)로 반송된 카세트(210)를 인라인 장비(500)내로 이송시켜 인라인 장비(500)내에서 액정표시장치의 공정이 이루어지도록 한다. Thereafter, the robot arm 510 of the inline device 500 transfers the cassette 210 conveyed to the stocker port 610 into the inline device 500 so that a process of the liquid crystal display device is performed in the inline device 500. do.

또한, AGV라인(550)으로부터 인라인 장비(500)로의 카세트(210) 반송이 이루어질 뿐 아니라, 인라인 장비(500)로부터 AGV라인(550)으로의 카세트(210)가 반송된다. In addition, the cassette 210 from the in-line equipment 500 to the AGV line 550 is conveyed, as well as the cassette 210 from the AGV line 550 to the inline equipment 500.

이 과정을 설명하면, 인라인 장비(500)의 로봇암(510)이 인라인 장비(500)내의 카세트(210)를 스토커 포트(610)로 반송하고, 랙 마스터(430)는 레일(431)을 따라 이동하면서 상기 카세트(210)를 스토커에 저장한다.In describing this process, the robot arm 510 of the inline equipment 500 conveys the cassette 210 in the inline equipment 500 to the stocker port 610, and the rack master 430 follows the rail 431. The cassette 210 is stored in the stocker while moving.

이후, 랙 마스터(430)는 스토커(400)에 저장된 카세트(210)를 자동반송장치(300)에 반송하여, 상기 자동반송장치(300)로 하여금, AGV라인 장비(200a,200b)들에 운반되도록 한다.Thereafter, the rack master 430 conveys the cassette 210 stored in the stocker 400 to the automatic transporting device 300, and causes the automatic transporting device 300 to carry the AGV line equipment 200a and 200b. Be sure to

즉, AGV라인(550)과 인라인 장비(500) 상호간에 카세트(210)의 반송이 지속적으로 이루어지면서 카세트(210)에 수납된 기판의 액정표시장치 공정이 이루어진 것이다. That is, while the transfer of the cassette 210 is continuously performed between the AGV line 550 and the inline equipment 500, the liquid crystal display device process of the substrate accommodated in the cassette 210 is performed.

이때, 상기와 같이 AGV라인(550) 및 인라인 장비(500)로부터 카세트(210)가 스토커(400)를 계속 경유하게될 경우, 상기 스토커(400)에 과부하가 발생될 수 있 다. At this time, when the cassette 210 continues to pass through the stocker 400 from the AGV line 550 and the inline equipment 500 as described above, an overload may occur in the stocker 400.

이 경우에는, 상기 카세트(210)의 반송이 스토커(400)를 통해 경유되어지는 것과 더불어, 상기 스토커(400)를 거치지 않고 인라인 장비(500)와 AGV라인(550) 상호간에 카세트(210)가 직접 반송되도록 한다.In this case, the conveyance of the cassette 210 is passed through the stocker 400, and the cassette 210 is interposed between the inline equipment 500 and the AGV line 550 without passing through the stocker 400. To be returned directly.

즉, 인라인 장비(500)와 AGV라인 장비(200a,200b)사이에 설치된 AGV라인 포트(620)를 통해 상기 인라인 장비(500)와 AGV라인 장비(200a,200b)간에 카세트(210)의 반송이 직접 이루어지는 것이다. That is, the transfer of the cassette 210 between the inline equipment 500 and the AGV line equipment 200a and 200b is performed through the AGV line port 620 installed between the inline equipment 500 and the AGV line equipment 200a and 200b. It is done directly.

이에 따라, 카세트(210)의 반송이 스토커(400) 및 AGV라인 포트(620)를 통해 분산되면서 카세트(210)의 반송이 스토커(400)에만 편중되면서 발생될 수 있는 스토커(400)의 과부하를 방지할 수 있게 된다.Accordingly, while the conveyance of the cassette 210 is distributed through the stocker 400 and the AGV line port 620, the overload of the stocker 400 may be generated while the conveyance of the cassette 210 is biased only to the stocker 400. It can be prevented.

그리고, 상기한 공정들이 이루어지는 과정에서, 스토커(400)에 고장이 발생되더라도 스토커(400)를 경유하지 않고 AGV라인 장비(200a,200b)와 인라인 장비(500) 상호간에 카세트(210)가 직접 반송될 수 있게 됨으로써, 카세트 반송 시스템의 작업은 원활하게 진행될 수 있다.In addition, even when a failure occurs in the stocker 400 in the process described above, the cassette 210 is directly conveyed between the AGV line equipment 200a and 200b and the inline equipment 500 without passing through the stocker 400. By doing so, the operation of the cassette conveying system can be smoothly progressed.

본 발명에 따른 카세트 반송 시스템에 의하면, AGV라인 장비와 인라인 장비간에 카세트가 직접 반송될 수 있는 포트가 설치됨으로써, 인라인 장비와 AGV라인 장비간에 카세트의 반송 작업이 스토커를 반드시 경유하지 않더라도 가능해진다.According to the cassette conveying system according to the present invention, a port through which a cassette can be directly conveyed between the AGV line equipment and the inline equipment is provided, so that the conveyance work of the cassette between the inline equipment and the AGV line equipment can be performed without necessarily passing through the stocker.

이에 따라, 카세트의 반송이 스토커에만 편중되어 발생되었던 스토커의 과부하가 방지된다.This prevents the overload of the stocker, which has occurred because the conveyance of the cassette is biased only to the stocker.

또한, 스토커에 고장이 발생되더라도 상기 스토커를 반드시 경유하지 않아도 됨으로써, 카세트 반송 시스템의 동작은 원활하게 진행될 수 있다.In addition, even if a fault occurs in the stocker, the cassette conveying system can be smoothly operated by not necessarily passing through the stocker.

즉, 인라인 장비와 AGV라인 장비간에 카세트의 반송이 직접이루어짐으로써, 카세트 반송 시스템에는 별다른 영향이 미치지 않는 것이다.In other words, since the conveyance of the cassette is directly performed between the in-line equipment and the AGV line equipment, the cassette conveying system has little effect.

Claims (6)

기판이 수납된 카세트가 저장되는 스토커;A stocker for storing a cassette in which a substrate is stored; 상기 스토커에 연결되며, 상기 기판에 대한 제조 공정이 이루어지는 인라인 장비;An inline device connected to the stocker and having a manufacturing process performed on the substrate; 여러 장비들이 순차적으로 배열되고, 상기 장비들과 스토커를 이동하면서 카세트를 반송하는 무인 반송차를 포함하는 AGV라인 장비;AGV line equipment including an unmanned carrier for conveying a cassette while several equipments are sequentially arranged and moving the equipment and the stocker; 상기 인라인 장비와 스토커 또는/및 인라인 장비와 AGV라인 장비간에 카세트의 반송을 위한 포트:를 포함하여 구성된 카세트 반송 시스템. And a port for conveying the cassette between the inline equipment and the stocker or / and the inline equipment and the AGV line equipment. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 포트는 인라인 장비의 스토커측에 설치되어 인라인 장비와 스토커간에 카세트의 반송을 위한 스토커 포트와 인라인 장비의 AGV라인측에 설치되어 인라인 장비와 AGV라인 장비간에 카세트의 반송을 위한 AGV라인 포트를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 반송 시스템.The port is installed on the stocker side of the inline equipment and includes a stocker port for conveying the cassette between the inline equipment and the stocker and an AGV line port for the conveyance of the cassette between the inline equipment and the AGV line equipment. Cassette conveying system, characterized in that. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 스토커는 카세트를 로딩 및 언로딩 하는 랙 마스터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 반송 시스템.The stocker further comprises a rack master for loading and unloading cassettes. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 인라인 장비는 스토커로부터 반송된 카세트의 기판을 로딩 및 언로딩하는 로봇 암을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 반송 시스템.The inline equipment further comprises a robot arm for loading and unloading a substrate of the cassette conveyed from the stocker. 제 1항 또는 제 3항에 있어서,The method according to claim 1 or 3, 상기 스토커와 AGV라인에는 각각 레일이 더 형성됨을 특징으로 하는 카세트 반송 시스템.And a rail is further formed on the stocker and the AGV line. 제 5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 무인 반송차와 랙 마스터는 각각 레일에 의해 이동이 안내 되는 것을 특징으로 하는 카세트 반송 시스템.And the unmanned carrier and the rack master are guided by rails, respectively.
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US20180233785A1 (en) * 2015-08-20 2018-08-16 Itm Semiconductor Co., Ltd. Battery protection circuit module and battery pack comprising same

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