KR101243799B1 - cassette transfer apparatus and controlling method thereof - Google Patents
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Abstract
본 발명은 카세트 반송장치 및 그 제어방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 카세트의 각 장비로의 반송을 원활하게 하여 장비 부하율을 향상시키고, 공정 처리 용량을 상승시킬 수 있는 카세트 반송장치 및 그 제어방법에 관한 것이다.The present invention relates to a cassette conveying apparatus and a control method thereof, and more particularly, to a cassette conveying apparatus and a method of controlling the same, capable of smoothly conveying cassettes to respective equipment to improve equipment load ratio and increase process capacity. It is about.
이를 위해, 본 발명은 기판을 수납하는 카세트와, 상기 카세트를 입고 또는 출고하는 포트를 가지며, 상기 카세트를 저장하거나, 상기 기판의 처리공정을 실시하는 유닛과, 상기 유닛으로부터 카세트를 입고 또는 출고시키는 자동반송장치와, 상기 카세트를 입고 또는 출고시키기 위한 반송명령을 지시하는 호스트 및, 상기 호스트로부터 반송명령을 접수하여 상기 카세트를 입고 또는 출고시키기도록 자동반송장치를 제어하되, 상기 포트의 반송요구 상태에 따라 상기 호스트의 반송명령보다 우선하여 상기 카세트의 입고 또는 출고를 수행하도록 상기 자동반송장치를 제어하는 제어부를 포함하는 카세트 반송장치를 제공한다.To this end, the present invention has a cassette for accommodating a substrate, a port for storing or shipping the cassette, and a unit for storing the cassette or processing the substrate, and for storing or shipping the cassette from the unit. An automatic transfer apparatus, a host instructing a transfer instruction for loading or unloading the cassette, and an automatic transfer apparatus for receiving a transfer instruction from the host to load or release the cassette, wherein the port is in a transfer request state. According to the present invention, there is provided a cassette conveying apparatus including a control unit for controlling the automatic conveying apparatus to perform the receipt or release of the cassette in advance of the conveyance command of the host.
LCD, 스토커, 카세트, 반송, 기판 LCD, Stocker, Cassette, Transfer, Board
Description
도 1은 일반적인 액정표시패널의 일부를 나타낸 분해 사시도1 is an exploded perspective view showing a part of a general liquid crystal display panel
도 2는 일반적인 카세트 반송 시스템을 설명하기 위한 개요도2 is a schematic diagram for explaining a general cassette conveying system;
도 3은 카세트 반송장치의 전체적인 제어방법의 흐름을 나타낸 개념도3 is a conceptual diagram showing the flow of the overall control method of the cassette conveying apparatus;
도 4는 본 발명에 따른 카세트 반송장치 및 제어방법이 스토커에 적용되는 경우를 설명하는 개요도4 is a schematic diagram illustrating a case where a cassette conveying apparatus and a control method according to the present invention are applied to a stocker;
도 5는 본 발명에 따른 카세트 반송장치 및 제어방법이 적용되는 구체적인 실시예를 나타낸 개념도5 is a conceptual view showing a specific embodiment to which the cassette transport apparatus and the control method according to the present invention is applied;
** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **DESCRIPTION OF REFERENCE NUMERALS
80 : 유닛 100 : 호스트80: unit 100: host
200 : 제어부 300 : 자동반송장치200: control unit 300: automatic transfer device
500 : 유닛의 2개 포트가 모두 입고요구인 상태인 경우500: When both ports of the unit are in the request of wearing
510 : 유닛의 2개 포트가 모두 출고요구인 상태인 경우510: Both ports of the unit are in the factory request
520 : 유닛의 2개 포트중 하나는 입고요구 상태, 다른 하나는 출고요구 상태인 경우520: One of the two ports of the unit is in the request to receive, the other is out of the request
본 발명은 카세트 반송장치 및 그 제어방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 카세트의 각 장비로의 반송을 원활하게 하여 장비 부하율을 향상시키고, 공정 처리 용량을 상승시킬 수 있는 카세트 반송장치 및 그 제어방법에 관한 것이다.The present invention relates to a cassette conveying apparatus and a control method thereof, and more particularly, to a cassette conveying apparatus and a method of controlling the same, capable of smoothly conveying cassettes to respective equipment to improve equipment load ratio and increase process capacity. It is about.
정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 증가하고 있다. 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고, 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.As the information society develops, the demand for display devices is increasing in various forms. In response to this, various flat panel display devices such as liquid crystal display (LCD), plasma display panel (PDP), electro luminescent display (ELD), and vacuum fluorescent display (VFD) have been studied. It is used as a device.
그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 장점을 가진 LCD는 현재 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)를 대체하고 있는 추세이다. 이러한 LCD는 상기한 이동형 표시장치의 용도 이외에도, 방송신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비전 및 데스크탑 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되어 보급되고 있다.Among them, LCDs, which are excellent in image quality and have advantages of light weight, thinness, and low power consumption, are currently replacing CRTs (Cathode Ray Tubes) for mobile image display devices such as monitors of notebook computers. In addition to the use of the mobile display device described above, the LCD has been developed and spread in various ways such as a monitor of a television and a desktop computer for receiving and displaying broadcast signals.
이와 같은 액정표시장치는, 화상을 표시하는 액정 패널과 상기 액정 패널에 구동신호를 인가하기 위한 구동부로 크게 구분될 수 있다. 여기서, 상기 액정 패널의 구조에 대해 간단히 살펴보면, 상기 액정 패널은 도 1에 도시된 바와 같이 공간을 갖고 합착된 제1 및 제2 기판(1, 2)과, 상기 제1 및 제2 기판(1, 2) 사이에 주입된 액정층(3)으로 구성된다.Such a liquid crystal display may be classified into a liquid crystal panel displaying an image and a driving unit for applying a driving signal to the liquid crystal panel. Herein, the structure of the liquid crystal panel will be briefly described. The liquid crystal panel includes a first and
여기서, 상기 제 1 기판(1)(TFT 어레이 기판)에는, 일정 간격을 갖고 일 방향으로 배열되는 복수개의 게이트 라인(4)과, 상기 각 게이트 라인(4)과 수직한 방향으로 일정한 간격으로 배열되는 복수개의 데이터 라인(5)과, 상기 각 게이트 라인(4)과 데이터 라인(5)이 교차되어 정의된 각 화소영역(P)에 매트릭스 형태로 형성되는 복수개의 화소 전극(6)과, 상기 게이트 라인(4)의 신호에 의해 스위칭되어 상기 데이터 라인(5)의 신호를 상기 각 화소 전극(6)에 전달하는 복수개의 박막 트랜지스터(T)가 형성되어 있다.Here, the first substrate 1 (TFT array substrate) includes a plurality of
그리고 제 2 기판(2)(컬러필터 기판)에는, 상기 화소 영역(P)을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스층(7)과, 컬러 색상을 표현하기 위한 R,G,B(Red, Green, Blue) 컬러 필터층(8)과, 화상을 구현하기 위한 공통 전극(9)이 형성되어 있다. 물론, 횡전계 방식의 액정표시장치에서는 공통전극이 제 1 기판에 형성되어 있다.The second substrate 2 (color filter substrate) includes a black matrix layer 7 for blocking light in portions other than the pixel region P, and R, G, and B (Red) for expressing color colors. , Green, Blue) The color filter layer 8 and the
상기한 구조를 가지는 액정표시장치는, 상기 제 1 기판(1)에 박막트랜지스터 어레이를 제조하는 공정, 상기 제 2 기판(2)에 칼라필터 어레이를 제조하는 공정, 상기 제 1 및 제 2 기판(1, 2)을 합착하는 공정, 상기 합착된 두 기판 사이에 액정을 주입한 후 밀봉하는 공정, 액정이 주입된 각 액정패널을 테스트한 후 수리(repair)하는 공정, 그리고 양품의 액정패널에 백 라이트 등을 장착하고 구동회로를 장착하여 액정표시모듈을 제조하는 공정 등을 거쳐 제조된다.The liquid crystal display device having the above structure includes a process of manufacturing a thin film transistor array on the
상기한 바와 같이, 기판은 상기한 여러 가지 공정을 거치게 되어 액정표시장치로서 완성된다. 그런데, 생산 현장에서는 작업 효율을 높이기 위해, 도 2에 도시 된 바와 같이, 자동반송장치(30)(Automatic guided vehicle)를 이용하여 상기 기판(1)을 각 공정을 수행하는 장비(20a, 20b)들에 운반하고 있다. 이때, 자동반송장치(30)가 기판(1)을 반송하는 효율을 높이기 위해, 여러 개의 기판(1)은 하나의 카세트(10)(cassette)에 수납된 후 상기 자동반송장치(30)에 의해 운반된다.As described above, the substrate is subjected to the various processes described above to be completed as a liquid crystal display device. By the way, in order to increase the work efficiency in the production site, as shown in Figure 2, the equipment (20a, 20b) for performing each process of the
따라서, 상기 자동반송장치(30)는 도 2에 도시된 바와 같이 카세트(10)가 임시로 저장된 스토커(40)(stocker)와 공정을 수행하는 장비(20a, 20b)들 사이를 왕복하면서, 상기 카세트(10)를 상기 스토커(40)에서 각 장비(20a, 20b)들로, 그리고 각 장비(20a, 20b)들에서 상기 스토커(40)로 각각 반송하게 된다. 이를 위해, 생산 라인의 바닥에는 상기 자동반송장치(30)가 정해진 경로를 따라 이동할 수 있도록 안내해주는 레일(11)이 제공된다.Accordingly, the
한편, 이와 같은 액정표시장치의 제조를 위한 일련의 공정과정은 호스트가 반송명령을 내리고 제어부가 상기 반송명령을 접수하여 자동반송장치(30)를 제어하는 방식으로 이루어진다.On the other hand, a series of processes for the manufacturing of such a liquid crystal display device is carried out in such a way that the host gives a transfer command and the control unit receives the transfer command to control the automatic transfer device (30).
카세트 반송장치의 전체적인 제어방법의 흐름의 일례로서, 도 3에 도시된 바와 같이 제1호스트(50)에서 반송명령을 지시하면 제2호스트(60)에서 반송명령을 접수하고, 이를 제어부(70)에 전달하는 과정이 도시되어 있다.As an example of the overall control method of the cassette conveying apparatus, as shown in FIG. 3, when the
상기 제어부(70)의 제어에 의하여 상기 스토커(40)와 장비(20a, 20b) 등, 각 유닛(80)에서 반송이 수행되면, 상기 제어부(70)는 제2호스트(60)로 반송수행 결과를 보고하고, 제2호스트(60)는 이를 다시 제1호스트(50)에 보고하게 된다.When the conveyance is performed in each
이러한 종래의 카세트 반송장치에 있어서는 자동반송장치(30)의 반송용량이 한계가 있음에도 자동반송장치(30)의 반송용량보다 더 많은 반송요구가 발생하는 경우가 있다.In such a conventional cassette conveying apparatus, even if the conveying capacity of the automatic conveying
예를 들어, 자동반송장치(30)의 반송용량이 70CST/hr(CST : Cassette)임에도 불구하고, 반송요구량은 80CST/hr에 달하는 현상이 발생하게 되는 것이다.For example, even though the transport capacity of the
그런데, 상기 제어부(70)에 접수되는 반송명령은 카세트(10) 반송의 Priority, 제어부(70)로 반송명령이 접수 된 순서에 따라 우선순위가 정해지기 때문에, 상기 스토커(40)와 각 장비(20a, 20b)에서 반송이 진행되는 포트의 상태에 따라 반송을 수행하지 못하는 경우가 발생한다.By the way, since the transfer order received by the
이와 같이, 반송요구량이 자동반송장치(30)의 반송용량보다 클 경우 반송 지연 현상이 발생하게 되는데, 거기에 포트의 상태에 따른 지연 요인까지 겹침으로써 결국 생산효율의 감소를 초래하게 되고, 이를 하드웨어적 구조 변경으로 극복하는 것은 매우 어려운 실정이다.As such, when the transfer demand is larger than the transfer capacity of the
본 발명은 이와 같은 종래 기술의 문제점을 극복하기 위해 안출한 것으로, 본 발명의 목적은 하드웨어적 변경 없이 소프트웨어적 변경만으로 카세트의 각 장비로의 반송을 원활하게 하여 장비 부하율을 향상시키고, 공정 처리 용량을 상승시킬 수 있는 카세트 반송장치 및 그 제어방법을 제공하는 것이다.The present invention has been made to overcome the problems of the prior art, the object of the present invention is to facilitate the transfer of the cassette to each equipment by software changes without hardware changes to improve the equipment load ratio, process capacity It is to provide a cassette conveying apparatus and a control method thereof that can raise the.
전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 카세트 반송장치는 기판을 수납하는 카세트와, 상기 카세트를 입고 또는 출고하는 포트를 가지며, 상기 카세트 를 저장하거나, 상기 기판의 처리공정을 실시하는 유닛과, 상기 유닛으로부터 카세트를 입고 또는 출고시키는 자동반송장치와, 상기 카세트를 입고 또는 출고시키기 위한 반송명령을 지시하는 호스트 및, 상기 호스트로부터 반송명령을 접수하여 상기 카세트를 입고 또는 출고시키기도록 자동반송장치를 제어하되, 상기 포트의 반송요구 상태에 따라 상기 호스트의 반송명령보다 우선하여 상기 카세트의 입고 또는 출고를 수행하도록 상기 자동반송장치를 제어하는 제어부를 포함한다.The cassette conveying apparatus according to the present invention for achieving the above object has a cassette for accommodating the substrate, a port for receiving or shipping the cassette, the unit for storing the cassette, or performs a process of processing the substrate; An automatic conveyance apparatus for receiving or releasing cassettes from the unit, a host for instructing a conveying instruction for receiving or releasing the cassette, and an automatic conveying apparatus for receiving or conveying the cassette from the host. The control unit includes a control unit for controlling the automatic transfer device to perform the receipt or release of the cassette in advance of the transfer command of the host according to the transfer request state of the port.
상기 제어부는 상기 유닛의 2개 포트의 반송요구 상태가 모두 입고요구 상태인 경우, 상기 호스트의 다른 반송명령에 우선하여 상기 카세트의 입고를 수행하도록 상기 자동반송장치를 제어한다.The control unit controls the automatic transfer device to perform the receipt of the cassette in advance of the other transfer instruction of the host when the transfer request states of the two ports of the unit are both the wear request states.
또한, 상기 제어부는 상기 유닛의 2개 포트의 반송요구 상태가 모두 출고요구 상태인 경우, 상기 호스트의 다른 반송명령에 우선하여 상기 카세트의 출고를 수행하도록 상기 자동반송장치를 제어한다.In addition, the control unit controls the automatic transport apparatus to perform the delivery of the cassette in advance of the other transport instruction of the host when the transport request status of the two ports of the unit is the shipment request status.
그리고, 상기 제어부는 상기 유닛의 2개 포트의 반송요구 상태가 하나는 입고요구 상태이고, 다른 하나는 출고요구 상태인 경우, 상기 호스트의 다른 반송명령에 우선하여 상기 입고요구 상태의 포트에서 카세트 입고를 수행하도록 상기 자동반송장치를 제어하며, 상기 카세트의 입고 수행 후에, 상기 호스트의 다른 반송명령에 우선하여 상기 출고요구 상태의 포트에서 카세트 출고를 수행하도록 상기 자동반송장치를 제어한다.And, if the transfer request state of the two ports of the unit is one of the receipt request state, and the other is the release request state, the control unit has a cassette in the port of the receipt request state in preference to the other transfer command of the host The automatic transport apparatus is controlled to perform the automatic transport apparatus, and after the receipt and carrying out of the cassette, the automatic transport apparatus is controlled to perform the cassette release at the port in the shipment request state in preference to the other transport instruction of the host.
한편, 본 발명에 따른 카세트 반송장치의 제어방법은 상기 제어부가 상기 호스트로부터 반송명령을 접수하는 단계 및, 상기 제어부가 상기 포트의 반송요구 상 태에 따라 상기 호스트의 반송명령보다 우선하여 상기 카세트의 입고 또는 출고를 수행하도록 상기 자동반송장치를 제어하는 단계를 포함한다.On the other hand, the control method of the cassette conveying apparatus according to the present invention includes the step of the control unit accepts a transfer command from the host, the control unit in accordance with the transfer request status of the port prior to the transfer command of the host of the cassette Controlling the automatic transfer device to perform the goods receipt or the goods issue.
상기 자동반송장치를 제어하는 단계에서는 상기 유닛의 2개 포트의 반송요구 상태가 모두 입고요구 상태인 경우, 상기 호스트의 다른 반송명령에 우선하여 상기 카세트의 입고를 수행하도록 상기 자동반송장치를 제어한다.In the step of controlling the automatic transfer device, when the transfer request states of the two ports of the unit are both the wear request states, the automatic transfer device is controlled to perform the receipt of the cassette in advance of the other transfer instruction of the host. .
또한, 상기 자동반송장치를 제어하는 단계는 상기 유닛의 2개 포트의 반송요구 상태가 모두 출고요구 상태인 경우, 상기 호스트의 다른 반송명령에 우선하여 상기 카세트의 출고를 수행하도록 상기 자동반송장치를 제어한다.The controlling of the automatic transporting device may include the automatic transporting device configured to perform the delivery of the cassette in advance of the other transport command of the host when the transport request state of the two ports of the unit is in the shipment request state. To control.
그리고, 상기 자동반송장치를 제어하는 단계는 상기 유닛의 2개 포트의 반송요구 상태가 하나는 입고요구 상태이고 다른 하나는 출고요구 상태인 경우, 상기 호스트의 다른 반송명령에 우선하여 상기 입고요구 상태의 포트에서 카세트 입고를 수행하도록 상기 자동반송장치를 제어하며, 상기 카세트의 입고 수행 후에, 상기 호스트의 다른 반송명령에 우선하여 상기 출고요구 상태의 포트에서 카세트 출고를 수행하도록 상기 자동반송장치를 제어하는 단계를 더 포함하게 된다.The controlling of the automatic transfer device may include: when the transfer request state of the two ports of the unit is one of the receipt request state and the other of the shipment request state, the receipt request state in preference to the other transfer instruction of the host. Control the automatic transfer device to perform cassette receipt at the port of the cassette; and control the automatic transfer device to perform cassette release at the port in the delivery request state in advance of another transfer instruction of the host after performing the cassette receipt. It will further comprise a step.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록, 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein and may be embodied in other forms. Rather, the embodiments disclosed herein are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the concept of the invention to those skilled in the art. Like numbers refer to like elements throughout.
도 4는 본 발명에 따른 카세트 반송장치 및 제어방법이 스토커에 적용되는 경우를 설명하는 개요도이고, 도 5는 본 발명에 따른 카세트 반송장치 및 제어방법이 적용되는 구체적인 실시예를 나타낸 개념도이다.4 is a schematic diagram illustrating a case where a cassette conveying apparatus and a control method according to the present invention are applied to a stocker, and FIG. 5 is a conceptual diagram illustrating a specific embodiment to which the cassette conveying apparatus and the control method according to the present invention are applied.
도 4와 도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 카세트 반송장치는 크게 기판을 수납하는 카세트(350)와 상기 카세트(350)를 입고 또는 출고하는 포트(420)를 가지며, 상기 카세트(350)를 저장하거나, 상기 기판(미도시)의 처리공정을 실시하는 유닛과, 상기 유닛으로부터 카세트(350)를 입고 또는 출고시키는 자동반송장치(300)와, 상기 카세트(350)를 입고 또는 출고시키기 위한 반송명령을 지시하는 호스트(100) 및, 상기 호스트(100)로부터 반송명령을 접수하여 상기 카세트(350)를 입고 또는 출고시키기도록 자동반송장치(300)를 제어하되, 상기 포트(420)의 반송요구 상태에 따라 상기 호스트(100)의 반송명령보다 우선하여 상기 카세트(10)의 입고 또는 출고를 수행하도록 상기 자동반송장치(300)를 제어하는 제어부(200)를 포함하여 이루어진다.4 and 5, the cassette conveying apparatus according to the present invention has a
여기서는 상기 유닛 중 카세트(350)를 저장하는 스토커(400)를 중심으로 본 발명의 실시예를 설명하도록 한다.Here, an embodiment of the present invention will be described based on the
상기 스토커(400) 내에는 대략 평행하게 두 개의 선반(410)이 배치되고, 상기 각 선반(410)들에는 카세트(350)를 상기 스토커(400)에 입고하거나 출고할 수 있는 포트(420)가 구비된다.Two
그리고, 상기 두 개의 선반(410)들 사이에는 스태커(430)가 배치되며, 비록 도시하지는 않았으나, 상기 포트(420)와 상기 스태커(430) 사이에는 컨베이어가 구 비된다.In addition, a
따라서, 상기 포트(420)에 입고된 카세트(350)는 컨베이어에 의해 스태커(430)까지 이동하고, 상기 스태커(430)는 상기 카세트(350)가 저장될 위치를 찾아 이동한 후 상기 선반(410)에 상기 카세트(350)를 저장한다. Accordingly, the
그리고, 출고되어야할 카세트(350)는 상기 스태커(430)에 의해 상기 컨베이어까지 이동되며, 상기 컨베이어가 카세트(350)를 상기 포트(420)로 반송하게 된다. Then, the
그리고, 상기 포트(420)로 반송된 카세트(350)는 상기 자동반송장치(300)에 의해 장비(20a, 20b 도 2참조)까지 반송된다.Then, the
한편, 상기 스토커(400)에는 시스템의 오류 등에 의해 상기 카세트(350)를 자동으로 입고하거나 출고할 수 없을 때, 작업자가 카세트(350)를 수동으로 입고하거나 출고할 수 있는 수동 입출고 포트(470)가 구비되고, 카세트(350)의 수동 입출고 시 사용되는 수동 반송 장치(Manual Guided Vehicle)(미도시)가 구비된다. On the other hand, when the
상기와 같은 구성을 가지는 스토커(400)는 도 4에 도시된 바와 같이 하나의 제어부(200)에 의해 유기적으로 제어된다. 즉, 다수개의 선반(410) 및 스태커(430)가 구비된 하나의 스토커(400)가 하나의 제어부(200)에 연결된다.The
그리고, 상기 제어부(200)는 호스트(100)로부터 반송명령을 하달받아 스토커(400) 내의 선반(410), 포트(420), 스태커(430)의 상태 등을 확인하여 반송명령을 수행하게 되고, 제공 상태의 변화를 호스트(100)에 통보한다.In addition, the
여기서, 상기 호스트(100)의 반송명령은 카세트(350) 반송의 Priority, 제어 부(200)로 반송명령이 접수 된 순서에 따라 우선순위가 정해진다.Here, the transfer command of the
이때, 상기 제어부(200)는 호스트(100)의 반송명령을 수행함에 있어, 상기 포트(420)의 반송요구 상태에 따라 상기 호스트(100)의 반송명령보다 우선하여 상기 카세트(350)의 입고 또는 출고를 수행하도록 상기 자동반송장치(300)를 제어한다.At this time, the
상기 포트(420)의 상태는 입고요구 상태(LD Request), 출고요구 상태(ULD Request), 대기(CST Process) 상태의 경우가 있다.The state of the
여기서, 상기 2개 포트(420)의 반송요구 상태가 모두 입고요구 상태인 경우(500), 상기 호스트(100)의 다른 반송명령에 우선하여 상기 카세트(350)의 입고를 수행하도록 상기 자동반송장치(300)를 제어한다.In this case, when the transfer request state of the two
또한, 상기 2개 포트(420)의 반송요구 상태가 모두 출고요구 상태인 경우(510), 상기 호스트(100)의 다른 반송명령에 우선하여 상기 카세트(350)의 출고를 수행하도록 상기 자동반송장치(300)를 제어한다.In addition, when the transfer request state of the two
만일, 상기 2개 포트(420)의 반송요구 상태가 하나는 입고요구 상태이고, 다른 하나는 출고요구 상태인 경우(520), 상기 호스트(100)의 다른 반송명령에 우선하여 상기 입고요구 상태의 포트(420)에서 카세트(350) 입고를 수행하도록 상기 자동반송장치(300)를 제어한다.If one of the two
그리고, 상기 카세트(350)의 입고 수행 후에, 상기 호스트(100)의 다른 반송명령에 우선하여 상기 출고요구 상태의 포트(420)에서 카세트 출고를 수행하도록 상기 자동반송장치(300)를 제어한다.Then, after the receipt of the
이는 자동반송장치(300)가 상기와 같이 입고요구 상태인 포트(420)에서의 반송을 먼저 수행하여 카세트(350)를 포트(420)로 반송하고 나면, 자동반송장치(300) 위에서 카세트(350)가 빠져나가므로, 바로 옆 포트(420)의 출고요구가 있을 경우 다른 반송보다 먼저 수행하여 자동반송장치(300)의 이동거리를 최소화 하고 반송효율을 향상시키기 위함이다.This is because when the
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 당업자는 이하에서 서술하는 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경 실시할 수 있을 것이다. 그러므로 변형된 실시가 기본적으로 본 발명의 특허청구범위의 구성요소를 포함한다면 모두 본 발명의 기술적 범주에 포함된다고 보아야 한다.Although the above has been described with reference to a preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art to various modifications and changes to the present invention without departing from the spirit and scope of the invention described in the claims described below You can do it. It is therefore to be understood that the modified embodiments are included in the technical scope of the present invention if they basically include elements of the claims of the present invention.
상술한 본 발명에 따른 카세트 반송장치와 그 제어방법에 따르면, 하드웨어적 변경 없이 소프트웨어적 변경만으로 카세트의 각 장비로의 반송을 원활하게 하여 장비 부하율을 향상시키고, 공정 처리 용량을 상승시킬 수 있다.According to the cassette conveying apparatus and the control method thereof according to the present invention described above, it is possible to smoothly convey the cassette to each piece of equipment without changing the hardware, thereby improving the equipment load ratio and increasing the processing capacity.
또한, 반송 처리 시간이 감소하므로 생산성이 증대되고, 하드웨어적 변경 없이 처리 우선순위의 변경을 위한 프로그래밍만으로 제약사항을 극복하므로, 비용절감의 효과가 있다.In addition, since the return processing time is reduced, productivity is increased, and the constraints are only overcome by programming for changing the processing priority without changing the hardware, thereby reducing the cost.
Claims (10)
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KR1020060059206A KR101243799B1 (en) | 2006-06-29 | 2006-06-29 | cassette transfer apparatus and controlling method thereof |
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---|---|---|---|---|
KR20010084581A (en) * | 2000-02-28 | 2001-09-06 | 윤종용 | Method for controlling operate of automatic guided vehicle |
KR20030036871A (en) * | 2001-07-31 | 2003-05-09 | 아사히 가세이 마이크로시스템 가부시끼가이샤 | Semiconductor manufacturing apparatus control system |
KR20040053418A (en) * | 2002-12-14 | 2004-06-24 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | System for Auto Guided Vehicle and Control Methode of the same |
KR20060072943A (en) * | 2004-12-24 | 2006-06-28 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | Automatic transfer system |
-
2006
- 2006-06-29 KR KR1020060059206A patent/KR101243799B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20010084581A (en) * | 2000-02-28 | 2001-09-06 | 윤종용 | Method for controlling operate of automatic guided vehicle |
KR20030036871A (en) * | 2001-07-31 | 2003-05-09 | 아사히 가세이 마이크로시스템 가부시끼가이샤 | Semiconductor manufacturing apparatus control system |
KR20040053418A (en) * | 2002-12-14 | 2004-06-24 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | System for Auto Guided Vehicle and Control Methode of the same |
KR20060072943A (en) * | 2004-12-24 | 2006-06-28 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | Automatic transfer system |
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