KR20010084581A - Method for controlling operate of automatic guided vehicle - Google Patents

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KR20010084581A KR1020000009751A KR20000009751A KR20010084581A KR 20010084581 A KR20010084581 A KR 20010084581A KR 1020000009751 A KR1020000009751 A KR 1020000009751A KR 20000009751 A KR20000009751 A KR 20000009751A KR 20010084581 A KR20010084581 A KR 20010084581A
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Abstract

PURPOSE: A method for controlling an operation of an AGV(Automatic Guided Vehicle) system is provided to prevent a damage of a wafer by correcting properly an error command transmitted from a host computer. CONSTITUTION: A plurality of cassette bay is transferred to a bay by a conveyer.(S10) A host computer searches information of the cassettes and transmits a system ID, a port ID, and a cassette stage number to an AGV.(S20) The AGV transfers the cassette to a corresponding system.(S30) The AGV confirms the system ID, the port ID, and the cassette stage number.(S40) The confirmed information is compared with the information transmitted from the host computer.(S50) An error message is generated if the confirmed information does not correspond to the information transmitted from the host computer.(S80) The error is corrected.(S90) The cassette is loaded on a corresponding system if the confirmed information corresponds to the information transmitted from the host computer.(S60) A result is reported to the host computer(S70).

Description

무궤도 자동 반송 장치의 작업 제어 방법{Method for controlling operate of automatic guided vehicle}Method for controlling operate of automatic trolley transporter

본 발명은 무궤도 자동 반송장치의 랏 입·출고 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 특정지역 내에 설치된 각각의 설비에 해당 ID를 부착하고 무궤도 자동 반송장치(Automatic Guided Vehicle; 이하 AGV라 함)의 티칭 데이터를 스테이션별로 관리하지 않고 각각의 설비의 ID로 관리하며, 호스트 컴퓨터에서 AGV에 작업명령을 할당한 경우 해당 AGV는 설비의 ID, 포트의 ID 및 AGV 카세트 스테이지의 번호와 호스트 컴퓨터에서 AGV에 전달한 설비 ID, 포트 ID 및 AGV 카세트 스테이지의 번호가 전부 일치할 때만 랏을 해당 설비에 입고하거나 해당설비에서 랏을 출고시킴으로써, 웨이퍼의 파손 및 AGV를 세팅하는데 걸리는 시간을 최소화하기 위한 AGV의 랏 입·출고 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for entering and leaving lots of a trolley-less automatic conveying apparatus, and more particularly, attaches a corresponding ID to each facility installed in a specific area, and teaches a non-orbital automatic conveying apparatus (hereinafter referred to as AGV). If data is managed by the ID of each facility instead of managing by station, and the host computer assigns a work order to the AGV, the AGV will send the ID of the facility, the ID of the port and the number of the AGV cassette stage and the AGV from the host computer. Inserting lots into or out of a facility only when the equipment ID, port ID, and AGV cassette stage numbers all match, so that the AGV lot entry can be minimized to minimize wafer breakage and time to set AGV. It is about a release method.

최근의 반도체 제조라인은 동일 공정을 수행하는 설비들 자체의 웨이퍼 처리과정이 자동화되어 있을 뿐만 아니라 상이한 공정을 수행하는 설비들 사이에서의웨이퍼 이송이 자동화되어 있을 정도로 작업자의 인력을 거의 필요로 하지 않는 단계까지 발전하여 왔다. 설비들 자체에서의 웨이퍼 이송은 로봇암에 의해 이루어지고 상이한 공정을 수행하는 설비들 사이에서의 웨이퍼 이송은 AGV에 의해 이루어지고 있다.Recent semiconductor manufacturing lines require little manpower, as well as the automated processing of wafers in facilities performing the same process as well as the automated transfer of wafers between facilities performing different processes. It has developed up to. Wafer transfer in the facilities themselves is done by robotic arms and wafer transfer between facilities performing different processes is done by AGV.

AGV는 웨이퍼가 수납된 카세트를 로딩한 상태에서 설비와 설비 사이를 왕복하면서 이송하게 된다. 이와 같은 일련의 작업을 수행하기 위한서는 호스트 컴퓨터가 AGV의 작업 일정 및 작업 명령 등을 AGV로 송신로 송신하게 되고, AGV는 송신된 자업 일정 및 작업 명령에 의하여 일련의 작업을 수행하게 된다.The AGV transfers the equipment back and forth between the equipment while the cassette containing the wafer is loaded. In order to perform such a series of tasks, the host computer transmits the AGV's work schedule and work commands to the AGV by transmission, and the AGV performs a series of work by the transmitted self-employment schedule and work commands.

일예로, 복수개의 웨이퍼들이 삽입된 카세트들을 소정의 설비에 투입시켜 반도체 제조 공정을 진행하기 위해서 호스트 컴퓨터는 AGV에 스테이션의 번호와, 카세트들이 입고될 설비의 포트 번호 및 AGV에서 설비에 투입될 카세트들이 놓여질 카세트 스테이지 번호를 전달한다.For example, in order to proceed with the semiconductor manufacturing process by inserting cassettes into which a plurality of wafers are inserted into a predetermined facility, the host computer includes a station number in the AGV, a port number of the facility in which the cassettes are to be loaded, and a cassette to be inserted into the facility in the AGV. Conveys the cassette stage number to be placed.

그러면, AGV는 카세트가 투입될 스테이션에 대한 정보, 즉 설비의 위치 및 거리, 티칭 데이터등을 검색하여 로딩된 카세트를 호스트 컴퓨터가 지정해준 스테이션으로 이송시킨 후에 지정된 설비의 포트에 카세트를 입고시킨다.Then, the AGV retrieves the information on the station into which the cassette is to be inserted, that is, the location and distance of the equipment, the teaching data, and transfers the loaded cassette to the station designated by the host computer, and loads the cassette into the designated equipment port.

그러나, 상술한 바와 같이 AGV는 호스트 컴퓨터의 작업명령에 의해 해당설비로 카세트를 투입시키기 때문에 호스트 컴퓨터가 AGV에 스테이션 번호, 설비 포트 번호 및 AGV 카세트 스테이지 번호 중 어느 한개의 명령이라도 잘못 전달한 경우 카세트들이 서로 충돌할 수 있어 웨이퍼가 파손되는 막대한 손실을 유발시킨다.However, as described above, since the AGV inserts the cassette into the corresponding facility by the operation command of the host computer, when the host computer incorrectly transmits one of the station number, the facility port number, and the AGV cassette stage number to the AGV, the cassettes They can collide with each other, causing a huge loss of wafer damage.

또한, 카세트들이 충돌할 때 AGV가 궤도를 이탈할 하거나, 설비를 이설하거나 또는 설비를 이동시킬 경우에 AGV를 움직이면서 각 설비의 티칭 포인트를 다시세팅해야 해야하기 때문에 제품의 생산성이 저하된다.In addition, when the cassettes collide, the AGV moves off the track, moves the equipment, or moves the equipment, which reduces the productivity of the product because the teaching points of each equipment must be set again while moving the AGV.

따라서, 본 발명의 목적은 호스트 컴퓨터가 AGV에 전달한 명령 중 잘못된 명령이 있을 경우 해당 설비에 카세트를 입고, 출고시키지 않고 작업자에게 신호를 보내어 잘못된 명령을 시정하도록 함으로써, 웨이퍼 파손을 방지하는데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to prevent wafer breakage by sending a signal to a worker without correcting a cassette when the host computer transmits an incorrect command among AGVs to the AGV, and correcting the wrong command.

본 발명의 다른 목적은 AGV가 티칭 데이터를 각 설비의 ID 별로 관리하도록 함으로써, 설비를 이설하거나 이동할 경우에 AGV에 설비 ID와 티칭 데이터만을 입력해줌으로써 작업 효율을 높이는데 있다.Another object of the present invention is to increase the work efficiency by inputting only the equipment ID and teaching data to the AGV when moving or moving the equipment by allowing the AGV to manage the teaching data for each equipment ID.

본 발명의 또 다른 목적은 다음의 상세한 설명과 첨부된 도면으로부터 보다 명확해 질 것이다.Still other objects of the present invention will become more apparent from the following detailed description and the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 의한 무궤도 자동 반송 장치의 작업 제어 순서를 나타낸 플로우 차트.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a flowchart showing a job control procedure of an automated trolley transport apparatus according to the present invention.

이와 같은 목적을 달성하기 위해서 본 발명은 소정지역에 설치된 복수개의 설비들 각각에 해당 ID를 부착한 후에 소정지역으로 복수개의 카세트들이 입고되면 호스트 컴퓨터에서는 입고된 커세트들에 대한 정보를 검색하고 카세트들이 투입될 상기 설비의 ID와, 상기 설비의 포트의 ID 및 AGV에서 상기 카세트들이 위치할 카세트 스테이지 번호를 AGV에 전달하고, AGV는 호스트 컴퓨터에서 전달된 명령을 토대로 입고된 카세트를 호스트 컴퓨터가 명령한 카세트 스테이지 번호에 로딩시켜 호스트 컴퓨터가 설비로 이동하고, AGV는 화상인식기를 통해 설비 ID, 설비 포트 ID 및 카세트 스테이지 번호를 읽어 들인 후에 화상인식기를 통해 입력된 데이터들과 상기 호스트 컴퓨터에서 전달될 명령이 전부 일치하는 지를 확인하며, 호스트 컴퓨터에서 전달된 명령과 화상인식기를 통해 AGV에 입력된 데이터들이 정확히 일치하면 해당 설비의 해당 포트에 카세트를 투입시킨다.In order to achieve the above object, the present invention attaches a corresponding ID to each of a plurality of facilities installed in a predetermined area, and then inserts a plurality of cassettes into a predetermined area. The ID of the equipment to be loaded, the ID of the port of the equipment and the cassette stage number where the cassettes are to be located in the AGV are transmitted to AGV, and the AGV instructs the host computer to insert the cassette received based on the instructions transmitted from the host computer. Loading into one cassette stage number causes the host computer to move to the equipment, and AGV reads the equipment ID, equipment port ID and cassette stage number through the image reader, and then transfers the data entered through the image reader and the host computer. Verify that all commands match and match the commands passed from the host computer. If the data entered in the AGV through the image reader are exactly the same, the cassette is inserted into the corresponding port of the equipment.

그리고, 화상인식기를 통해 상기 AGV에 입력된 상기 데이터들이 호스트 컴퓨터에서 AGV에 전달한 명령들 중 어느 하나라도 일치하지 않을 경우 경보신호를 발생시키고, 호스트 컴퓨터에서 AGV에 잘못 전달해준 명령을 바르게 정정해주며, AGV가 릿셋되면 호스트 컴퓨터에서 전달한 명령과 화상인식기를 통해 AGV에 입력된 데이터가 일치하는 단계로 피드백하여 호스트 컴퓨터가 전달한 명령과 화상인식기를 통해 AGV에 입력된 데이터가 일치하면, 해당 설비의 해당 포트에 카세트를 투입시킨다.When the data input to the AGV through the image recognizer does not match any of the commands transmitted from the host computer to the AGV, an alarm signal is generated and the host computer incorrectly corrects the command incorrectly transmitted to the AGV. When the AGV is reset, the command sent from the host computer and the data input to the AGV are fed back through the image recognizer. When the command transmitted from the host computer matches the data input to the AGV through the image recognizer, the corresponding equipment of the equipment Insert a cassette into the port.

이하, 본 발명에 의한 AGV의 랏 입·출고 방법을 첨부된 도면 도 1을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a method for entering and leaving a lot of AGV according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

먼저, 특정 지역, 즉 베이에 설치된 복수개의 설비들 각각에 ID를 부착하는데, 각 설비에 부착되는 ID는 호스트 컴퓨터에 기록된 ID와 일치시켜 부착하고, AGV에 설치된 화상인식기가 설비의 ID를 읽을 수 있도록 바코드 레벨로 부착한다. 바람직하게, 설비 ID는 AGV가 설비의 정위치에 정지한 후 AGV의 Ｘ,Ｙ 값을 보정하여 AGV의 티칭 테이터와 설비의 티칭 포인트를 맞출 수 있도록 설비에 형성된 비젼 마크(vision mark)에 포함시킴으로써, AGV의 작업시간을 단축킨다. 비젼 마크가 형성된 위치에 설비 ID를 포함시키기 어려울 경우에는 AGV의 주행부쪽에 화상인식기를 설치하고, 화상인식기와 대응되는 설비의 소정부분에 설비의 ID를 형성한다.First, an ID is attached to each of a plurality of facilities installed in a specific area, that is, a bay. The ID attached to each facility is matched with the ID recorded on the host computer, and the image recognizer installed in the AGV reads the ID of the facility. Attach at bar code level to ensure Preferably, the equipment ID is included in a vision mark formed in the equipment so that the AGV's teaching data and the teaching points of the equipment can be aligned by correcting the AGV's Ｘ and Ｙ values after the AGV stops at the correct position of the equipment. This shortens the working time of the AGV. If it is difficult to include the equipment ID in the position where the vision mark is formed, an image recognizer is provided on the running side of the AGV, and the equipment ID is formed in a predetermined portion of the equipment corresponding to the image recognizer.

한편, 선행공정이 완료된 복수개의 카세트들이 컨베이어에 의해 베이로 입고되면(S10), 호스트 컴퓨터는 베이로 입고된 각 카세트들에 대한 정보를 데이터 베이스에서 검색한 후에 각 카세트들이 투입될 설비의 ID, 설비에 형성된 포트의 ID및 AGV에서 카세트들이 위치할 카세트 스테이지 번호를 AGV로 무선 송신한다.(S20)On the other hand, when a plurality of cassettes having completed the preceding process is received into the bay by the conveyor (S10), the host computer retrieves information about the cassettes entered into the bay in the database, the ID of the equipment to which each cassette is to be inserted, The cassette stage number where cassettes are to be located is transmitted to the AGV wirelessly from the ID of the port formed in the facility and the AGV (S20).

이후, AGV는 호스트 컴퓨터에서 전달된 명령을 수신한 후에 컨베이어로 하여 수신된 명령을 토대로 컨베이어에 놓인 카세트를 호스트 컴퓨터가 명령한 카세트 스테이지 번호에 로딩시킨다. 그리고는 AGV의 카세트 스테이지에 놓여진 카세트를 후속공정이 진행될 설비에 투입시키기 위해서 AGV는 호스트 컴퓨터가 명령한 해당설비로 이동한다(S30).Then, after receiving the command transmitted from the host computer, the AGV loads the cassette placed on the conveyor into the cassette stage number commanded by the host computer based on the received command. Then, the AGV moves to the corresponding facility instructed by the host computer in order to inject the cassette placed on the cassette stage of the AGV into the facility where the subsequent process will proceed (S30).

이와 같이 AGV가 해당 설비 앞에 도착하면 AGV는 화상인식기를 통해 비젼 마크와 함께를 설비 ID를 읽어 들인 후에 비전마크를 토대로 AGV의 티칭 테이타와 설비의 티칭 포인트를 정확히 일치시키고 화상리더기를 통해 읽어들이 설비 ID와 호스트 컴퓨터에서 명령한 설비의 ID가 정확한지 비교한다.When the AGV arrives in front of the equipment, the AGV reads the equipment ID along with the vision mark through the image reader, and then accurately matches the teaching data of the AGV with the teaching point of the equipment based on the vision mark, and loads the equipment through the image reader. Compare the ID with the ID of the equipment commanded by the host computer.

또한, 설비에 설치된 적어도 한개 이상의 포트에서 호스트 컴퓨터가 AGV에게 명령한 설비의 포트 ID와 화상인식기를 통해 입력된 설비의 포트 ID가 동일한지 확인한 후에 마지막으로, AGV의 카세트 스테이지 번호를 확인한다(S40).In addition, after confirming that the port ID of the facility commanded by the host computer to the AGV and the port ID of the facility input through the image reader are the same at least one or more ports installed in the facility, finally, the cassette stage number of the AGV is checked (S40). ).

이후에 호스트 컴퓨터에서 AGV에 전달한 설비 ID, 설비 포트 ID 및 AGV 카세트 스테이지 번호가 화상인식기를 통해 AGV에 입력된 설비 ID, 설비 포트 ID 및 AGV 카세트 스테이지 번호가 정확히 일치하면(S50) 해당 설비의 해당 포트에 카세트를 투입시킨다(S60).If the equipment ID, equipment port ID, and AGV cassette stage number, which the host computer subsequently transferred to the AGV, exactly match the equipment ID, equipment port ID, and AGV cassette stage number input to the AGV through the image reader (S50), the corresponding equipment of the equipment Insert the cassette into the port (S60).

그리고는, 카세트가 해당 설비의 해당 포트에 투입되었음을 호스트 컴퓨터에 보고한다(S70).Then, it reports to the host computer that the cassette has been put into the corresponding port of the facility (S70).

하지만, 화상인식기를 통해 AGV에 입력된 설비 ID, 설비 포트 ID 및 AGV 카세트 스테이지 번호가 호스트 컴퓨터에서 AGV에 전달한 설비 ID, 설비 포트 ID 및AGV 카세트 스테이지의 번호 중 하나라도 일치하지 않을 경우 AGV는 발광 다이오드 또는 알람등과 같은 여러가지 경보수단을 통해 호스트 컴퓨터가 AGV에 잘못된 명령을 전달했음을 작업자에게 알린다(S80).However, if the equipment ID, equipment port ID and AGV cassette stage number entered into the AGV through the image reader do not match any of the equipment ID, equipment port ID and AGV cassette stage number passed from the host computer to the AGV, the AGV will emit light. Through various alarm means such as a diode or an alarm, the host computer notifies the operator that the wrong command is transmitted to the AGV (S80).

그러면 작업자는 AGV가 정지해 있는 해당설비로 이동하여 호스트 컴퓨터에서 AGV에 잘못 전달해준 명령을 바르게 정정해준다(S90).Then, the operator moves to the corresponding equipment where the AGV is stopped and corrects the command incorrectly transmitted to the AGV from the host computer (S90).

이와 같이 작업자가 AGV를 다시 릿셋시키면, S50으로 피드백하여 호스트 컴퓨터가 송신한 설비 ID, 설비 포트 ID 및 AGV 스테이지 번호와 화상인식기를 통해 AGV가 읽어 들인 설비 ID, 설비 포트 ID 및 AGV 스테이지 번호가 정확히 일치하는 지를 비교하여 정확히 일치하면 해당포트에 랏을 투입시킨다(S60).In this way, when the operator resets the AGV again, the equipment ID, equipment port ID and AGV stage number transmitted by the host computer by feeding back to S50 and the equipment ID, equipment port ID and AGV stage number read by the AGV through the image recognizer are correct. Comparing whether or not the exact match puts the lot into the corresponding port (S60).

그리고, 카세트가 해당 설비의 해당 포트에 투입되었음을 호스트 컴퓨터에 보고한다(S70).Then, the cassette is reported to the host computer that the cassette has been put into the corresponding port of the facility (S70).

한편, 최초 해당 설비의 티칭시에 설비 AGV에 반드시 설비의 ID를 입력시키고, 작업시에는 AGV가 해당 설비 포트의 티칭 데이터만을 읽어와서 작입이 가능하도록 한다. 이와 같이 AGV가 설비의 ID 별로 티칭 데이터를 관리하면 이설 설비를 투입하거나 설비를 이동시킬 경우에 설비 ID와 티칭 데이터만을 AGV에 입력시켜 주면 AGV가 입력된 각 설비의 티칭 데이터에 따라 각 설비의 티칭 포인트를 찾기 때문에 이설 설비 투입 또는 설비 이통시에 AGV를 일일이 이동시키면서 티칭 데이터를 확인시키지 않아도 된다.On the other hand, when teaching the equipment for the first time, the equipment ID must be input to the equipment AGV, and during operation, the AGV reads only the teaching data of the equipment port so that the writing is possible. In this way, if AGV manages the teaching data for each equipment ID, if only the equipment ID and the teaching data are inputted to AGV when the relocation equipment is input or moved, the AGV teaches each equipment according to the teaching data of each equipment. Finding points eliminates the need to check the teaching data while moving the AGV during relocation or transfer.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 특정지역 내에 설치된 각각의 설비에 해당 ID를 부착하여 AGV의 티칭 데이터를 스테이션별로 관리하지 않고 각각의 설비의 ID로 관리하도록 한다. 그러면 특정지역에 설비를 이설하거나 설비를 이동시킬 경우에 이설된 설비 ID와 티칭 데이터만을 AGV에 입력시켜 주면 AGV가 입력된 각 설비의 티칭 데이터에 따라 각 설비의 티칭 포인트를 찾기 때문에 작업 효율 및 제품의 생산성이 향상될 수 있는 효과가 있다.As described above, the present invention attaches a corresponding ID to each facility installed in a specific region so that the teaching data of the AGV is managed by the ID of each facility, rather than the station-specific management data. Then, when relocating or moving equipment in a specific area, if only the installed equipment ID and teaching data are inputted to AGV, AGV will find the teaching point of each equipment according to the teaching data of each equipment. There is an effect that the productivity of the can be improved.

또한, 호스트 컴퓨터에서 AGV에 작업 명령을 할당한 경우 해당 AGV는 설비의 ID, 포트의 ID 및 AGV 카세트 스테이지의 번호와 호스트 컴퓨터에서 AGV에 전달한 설비 ID, 포트 ID 및 AGV 카세트 스테이지의 번호가 전부 일치할 때만 랏을 해당 설비에 입고하거나 해당설비에서 랏을 출고시킴으로써, 웨이퍼가 파손되는 것을 방지하고, AGV의 티칭 포인트가 틀어져 장시간 AGV를 사용하지 않는 현상을 없앨 수 있어 제품의 생산성이 향상될 수 있는 효과가 있다.In addition, if the host computer assigned a work command to an AGV, the AGV matches the equipment ID, port ID, and AGV cassette stage number with the equipment ID, port ID, and AGV cassette stage number that the host computer passed to AGV. By putting the lot into the facility only or leaving the lot out of the facility, the wafer can be prevented from breaking and the teaching points of the AGV can be distorted to eliminate the phenomenon of not using AGV for a long time. It works.

Claims (3)

소정지역에 설치된 복수개의 설비들 각각에 해당 ID를 부착하는 단계;Attaching a corresponding ID to each of a plurality of facilities installed in a predetermined region; 상기 소정지역으로 복수개의 카세트들이 입고되고, 호스트 컴퓨터는 입고된 상기 카세트들에 대한 정보를 검색한 후에 상기 카세트들이 투입될 상기 설비의 ID와, 상기 설비의 포트의 ID 및 AGV에서 상기 카세트들이 위치할 카세트 스테이지 번호를 상기 AGV에 전달하는 단계;A plurality of cassettes are loaded into the predetermined area, and after the host computer retrieves information on the cassettes received, the IDs of the equipment to which the cassettes are to be inserted, the ID of the port of the equipment, and the cassettes are located in the AGV. Passing the cassette stage number to the AGV; 상기 AGV는 상기 호스트 컴퓨터에서 전달된 명령을 토대로 입고된 상기 카세트를 상기 호스트 컴퓨터가 명령한 상기 카세트 스테이지 번호에 로딩시킨 후에 상기 호스트 컴퓨터가 설비로 이동하는 단계;The AGV moves the host computer to a facility after loading the cassette received on the basis of the instruction transmitted from the host computer to the cassette stage number instructed by the host computer; 상기 AGV는 화상인식기를 통해 상기 설비 ID, 상기 설비 포트 ID 및 상기 카세트 스테이지 번호를 읽어 들인 후에 상기 화상인식기를 통해 입력된 데이터들과 상기 호스트 컴퓨터에서 전달될 명령이 전부 일치하는 지를 확인하는 단계;The AGV reads the equipment ID, the equipment port ID, and the cassette stage number through the image recognizer, and then confirms whether the data inputted through the image recognizer and the command to be transmitted from the host computer are all identical; 상기 호스트 컴퓨터에서 전달된 상기 명령과 상기 화상인식기를 통해 상기 AGV에 입력된 상기 데이터들이 정확히 일치하면 해당 설비의 해당 포트에 상기 카세트를 투입시키는 단계;Inserting the cassette into a corresponding port of a corresponding facility if the command transmitted from the host computer and the data inputted to the AGV through the image recognizer are exactly matched; 상기 화상인식기를 통해 상기 AGV에 입력된 상기 데이터들이 상기 호스트 컴퓨터에서 상기 AGV에 전달한 상기 명령들 중 어느 하나라도 일치하지 않을 경우 경보신호를 발생시키는 단계;Generating an alarm signal when the data inputted to the AGV through the image recognizer do not match any of the commands transmitted from the host computer to the AGV; 상기 호스트 컴퓨터에서 AGV에 잘못 전달해준 명령을 바르게 정정해주는 단계;Correcting a command incorrectly delivered to the AGV by the host computer; 상기 AGV가 릿셋되면 상기 호스트 컴퓨터에서 전달한 명령과 상기 화상인식기를 통해 상기 AGV에 입력된 데이터가 일치하는 단계로 피드백하여 상기 호스트 컴퓨터가 전달한 명령과 상기 화상인식기를 통해 상기 AGV에 입력된 데이터가 일치하면, 해당 설비의 해당 포트에 상기 카세트를 투입시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 AGV의 랏 입, 출고 방법.When the AGV is reset, the command transmitted from the host computer and the data input to the AGV through the image recognizer are fed back to match the command transmitted from the host computer to the data input to the AGV through the image recognizer. And inserting the cassette into the corresponding port of the facility. 제 1 항에 있어서, 상기 설비들 각각에 부착되는 ID는 상기 호스트 컴퓨터에 기록된 ID와 일치되어야 하고, 상기 화상인식기가 상기 설비의 ID를 읽을 수 있도록 바코드 레벨로 부착되는 것을 특징으로 하는 AGV의 랏 입, 출고 방법.The method of claim 1, wherein the ID attached to each of the facilities must match the ID recorded in the host computer, and the image recognizer is attached at a bar code level so that the ID of the facility can be read. Lot mouth, delivery method. 제 2 항에 있어서, 상기 설비 ID는 상기 AGV가 설비의 정위치에 정지한 후 AGV의 Ｘ,Ｙ 값을 보정하여 AGV의 티칭 테이터와 설비의 티칭 포인트를 맞출 수 있도록 설비에 형성된 비젼 마크(vision mark)에 포함시켜 형성하는 것을 특징으로 하는 AGV의 랏 입, 출고 방법.According to claim 2, wherein the equipment ID is a vision mark (vision) formed on the equipment to align the AGV teaching data and the teaching point of the equipment by correcting the 가, Ｙ value of AGV after the AGV stops at the correct position of the equipment lot) and release method for AGV.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101243799B1 (en) * 2006-06-29 2013-03-18 엘지디스플레이 주식회사 cassette transfer apparatus and controlling method thereof
KR101530026B1 (en) * 2013-10-02 2015-06-18 주식회사 에스에프에이 Auto guided vehicle system and the method of alignning the same

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