KR101530026B1 - Auto guided vehicle system and the method of alignning the same - Google Patents

Auto guided vehicle system and the method of alignning the same Download PDF

Info

Publication number
KR101530026B1
KR101530026B1 KR1020130117802A KR20130117802A KR101530026B1 KR 101530026 B1 KR101530026 B1 KR 101530026B1 KR 1020130117802 A KR1020130117802 A KR 1020130117802A KR 20130117802 A KR20130117802 A KR 20130117802A KR 101530026 B1 KR101530026 B1 KR 101530026B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
automatic
fork
unit
relative position
Prior art date
Application number
KR1020130117802A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20150039345A (en
Inventor
윤희영
민병제
강종민
Original Assignee
주식회사 에스에프에이
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 에스에프에이 filed Critical 주식회사 에스에프에이
Priority to KR1020130117802A priority Critical patent/KR101530026B1/en
Publication of KR20150039345A publication Critical patent/KR20150039345A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101530026B1 publication Critical patent/KR101530026B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67778—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving loading and unloading of wafers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
    • H01L21/681—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment using optical controlling means

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)

Abstract

자동 반송대차 시스템 및 자동 반송대차 시스템의 정렬방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 반송대차 시스템은, 기판을 반송하는 자동 반송대차; 자동 반송대차를 자동 반송시키기 위한 이송라인에 인접하게 배치된 적어도 하나의 기판 적재유닛; 및 자동 반송대차에 설치되되, 자동 반송대차에 기판을 로딩 및 언로딩하기 위해 기판 적재유닛에 대해 자동 반송대차를 정렬하는 정렬유닛을 포함한다.An automatic transfer lading system and an alignment method of an automatic transfer lading system are disclosed. According to an embodiment of the present invention, there is provided an automatic conveyance truck system comprising: an automatic conveyance truck which conveys a substrate; At least one substrate stacking unit disposed adjacent to a transfer line for automatically conveying an automatic transfer bogie; And an aligning unit which is installed in the automatic conveyance truck, and which aligns the automatic conveyance truck with respect to the substrate stacking unit for loading and unloading the substrate to the automatic conveyance truck.

Description

자동 반송대차 시스템 및 자동 반송대차 시스템의 정렬방법{AUTO GUIDED VEHICLE SYSTEM AND THE METHOD OF ALIGNNING THE SAME}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a sorting method of an automatic conveyance trolley system and an automatic conveyance trolley system,

본 발명은, 자동 반송대차 시스템 및 자동 반송대차 시스템의 정렬방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 기판 적재유닛과 자동 반송대차를 용이하게 정렬할 수 있는 자동 반송대차 시스템 및 자동 반송대차 시스템의 정렬방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an aligning method of an automatic conveying and delivering system and an aligning method of an automatic conveying and conveying system. More particularly, the present invention relates to an aligning method of an automatic conveying and conveying system, ≪ / RTI >

최근 들어 반도체 산업 중 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평면 디스플레이(Flat Panel Display, FPD)가 등장하기 시작하였다.Recently, as the electronic display industry has rapidly developed in the semiconductor industry, a flat panel display (FPD) has begun to emerge.

평면디스플레이(FPD)는, TV나 컴퓨터 모니터 등에 디스플레이(Display)로 종래 주로 사용된 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube)보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치이다.The flat panel display (FPD) is thinner and lighter than a cathode ray tube (CRT) conventionally used for display on a TV or a computer monitor.

이러한 평면디스플레이는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등으로 그 종류가 다양하다.Such a flat display is variously classified into an LCD (Liquid Crystal Display), a PDP (Plasma Display Panel) and an OLED (Organic Light Emitting Diodes).

이 가운데 OLED(유기전계발광표시장치)는, 형광성 유기화합물을 전기적으로 여기시켜 발광시키는 자발광형 디스플레이 소자이다. Among them, an OLED (organic electroluminescence display) is a self-emission type display device which electrically excites a fluorescent organic compound to emit light.

OLED는 애노드와 캐소드 그리고, 애노드와 캐소드 사이에 개재된 유기막들을 포함한다.The OLED includes an anode, a cathode, and organic layers interposed between the anode and the cathode.

여기서 유기막들은 최소한 발광층을 포함하며, 발광층 이외에도 정공 주입층, 정공 수송층, 전자 수송층, 전자 주입층을 더 포함할 수 있다.Here, the organic layers include at least a light emitting layer and may further include a hole injecting layer, a hole transporting layer, an electron transporting layer, and an electron injecting layer in addition to the light emitting layer.

OLED 패널에 전원이 공급되면, 전자가 이동하면서 전류가 흐르게 되는데 음극에서는 전자(-)가 전자수송층의 도움으로 발광층으로 이동하고, 상대적으로 양극에서는 홀(Hole, +개념, 전자가 빠져나간 상태)이 홀 수송층의 도움으로 발광층으로 이동하게 된다.When power is supplied to the OLED panel, electrons move and current flows. In the cathode, electrons (-) move to the light emitting layer with the aid of the electron transport layer. In the anode, holes (+ Is moved to the light emitting layer with the help of the hole transport layer.

이때, 유기물질인 발광층에서 만난 전자(-)와 Hole(+)은 높은 에너지를 갖는 여기자를 생성하며, 여기자가 낮은 에너지로 떨어지면서 빛을 발생하게 된다.At this time, electrons (-) and holes (+) that are encountered in the organic light emitting layer generate excitons having high energy, and excitons fall to low energy and generate light.

이와 같은 원리로 구성되는 OLED는, 발광층을 구성하고 있는 유기물질이 어떤 것이냐에 따라 빛의 색깔이 달라지게 되며 R,G,B(Red, Green, Blue)를 내는 각각의 유기물질을 이용하여 풀 칼라(Full Color)를 구현할 수 있다.The organic light emitting diode (OLED) has the same principle as that of the light emitting layer. The organic light emitting layer is different in color depending on the organic material, and each organic material emitting red, green and blue Color (Full Color) can be implemented.

이러한 OLED는 LCD와 비교하여 빠른 응답속도와 시인성이 우수하며, 소비전력이 낮을 뿐만 아니라 백라이트가 없어 슬림화가 가능한 장점이 있으며, 타 디스플레이에 비해서도 두께, 무게, 가격 등에서 우월한 특성을 보이는 차세대 디스플레이로 주목받고 있다.These OLEDs have advantages such as high response speed and visibility compared to LCD, low power consumption and slimness because there is no backlight. It is a next generation display that shows superior characteristics in thickness, weight and price compared to other displays .

따라서, 현재 OLED는 휴대폰, 네비게이션, 디지털 카메라와 같은 소형기기의 디스플레이에 주로 사용되고 있으며, 기술이 점차 발전함에 따라 LCD를 대체할 정도로 급성장하고 있는 추세이다.Therefore, OLEDs are mainly used for displays of small-sized devices such as mobile phones, navigation systems, digital cameras, and the like.

한편, OLED를 비롯한 평면디스플레이용 기판(이하, 기판이라 함)은, 통상 글래스(Glass) 재질로 이루어져 외부로부터 가해지는 충격에 매우 취약한 특성을 가지고, 기판에 대한 수요가 증대됨에 따라 그 크기 또한 거대하기 때문에 이송에 있어 보다 각별한 주의가 요구된다.On the other hand, a flat panel display substrate (hereinafter, referred to as a substrate) including an OLED is generally made of a glass material and is very susceptible to impact from the outside. As the demand for a substrate increases, Therefore, special care must be taken in transportation.

이러한 기판은 증착공정, 포토리소그라피 공정, 식각 공정 등 여러 공정을 반복하게 되는데, 각각의 공정을 수행하기 위해 기판은 공정장비로 운반 및 공급되며, 이 과정 중에 기판의 운반 및 보간에 드는 시간과 노력을 절감하고자 복수의 기판을 수납하는 카세트가 사용되며, 카세트를 운반하기 위한 자동 반송대차(auto guided vehicle)가 이용된다.The substrate is repeatedly subjected to various processes such as a deposition process, a photolithography process, and an etching process. In order to perform each process, the substrate is transported and supplied to the process equipment. During this process, A cassette for storing a plurality of substrates is used, and an auto guided vehicle for conveying the cassette is used.

그리고, 자동 반송대차는 이송라인을 따라 반송되면서, 이송라인에 인접하게 배치된 기판 적재유닛에 기판을 언로딩하거나, 기판 적재유닛으로부터 기판을 로딩한다.Then, while the automatic conveyance truck is conveyed along the conveyance line, unloading the substrate to the substrate stacking unit disposed adjacent to the conveyance line, or loading the substrate from the substrate stacking unit.

따라서, 자동 반송대차와 기판 적재유닛 사이의 기판의 로딩 및 언로딩을 용이하게 하기 위해 자동 반송대차와 기판 적재유닛을 용이하고 정밀하게 정렬할 수 있는 방안이 필요하다.Therefore, there is a need for an easy and precise alignment of the automatic transfer bogie and the substrate stacking unit to facilitate loading and unloading of the substrate between the automatic transfer bogie and the substrate stacking unit.

[문헌1] 대한민국 공개특허 10-2008-0045470(엘지디스플레이 주식회사) 2008.05.23 공개[Patent Document 1] Korean Patent Publication No. 10-2008-0045470 (LG Display Co., Ltd.) 2008.05.23 Disclosure

따라서 본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 기판 적재유닛과 자동 반송대차를 용이하게 정렬하여 기판의 로딩 및 언로딩 과정에 따른 작업시간을 단축할 수 있는 자동 반송대차 시스템 및 자동 반송대차 시스템의 정렬방법을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide an automatic conveyance truck system and an automatic conveyance truck system capable of easily aligning a substrate loading unit and an automatic conveyance truck to shorten a working time due to a process of loading and unloading a substrate, Method.

본 발명의 일 측면에 따르면, 기판을 반송하는 자동 반송대차; 상기 자동 반송대차를 자동 반송시키기 위한 이송라인에 인접하게 배치된 적어도 하나의 기판 적재유닛; 및 상기 자동 반송대차에 설치되되, 상기 자동 반송대차에 상기 기판을 로딩 및 언로딩하기 위해 상기 기판 적재유닛에 대해 상기 자동 반송대차를 정렬하는 정렬유닛을 포함하는 자동 반송대차 시스템이 제공될 수 있다According to an aspect of the present invention, there is provided an automatic conveyance apparatus comprising: an automatic conveyance truck which conveys a substrate; At least one substrate stacking unit disposed adjacent to a transfer line for automatically conveying the automatic conveyance truck; And an aligning unit installed on the automatic conveyance truck for aligning the automatic conveyance truck with respect to the substrate stacking unit for loading and unloading the substrate on the automatic conveyance truck,

상기 정렬유닛은, 상기 자동 반송대차에 설치되되, 상기 기판 적재유닛에 대한 상기 자동 반송대차의 상대 위치를 검출하도록 상기 기판 적재유닛을 촬영하는 정렬 비젼모듈; 및 상기 자동 반송대차에 설치되되, 상기 정렬 비젼모듈에 의해 촬영된 상기 기판 적재유닛에 대한 영상을 기초로 상기 기판 적재유닛에 대해 상기 자동 반송대차를 이동시키는 정렬 이동모듈을 포함할 수 있다.The aligning unit includes an alignment vision module mounted on the automatic conveyance truck for photographing the substrate stacking unit to detect a relative position of the automatic conveyance truck to the substrate stacking unit; And an alignment movement module installed on the automatic conveyance truck for moving the automatic conveyance truck to the substrate stacking unit based on the image of the substrate stacking unit taken by the alignment vision module.

상기 기판 적재유닛은, 상기 기판이 적재되는 기판 적재부; 및 상기 기판 적재부에 인접하게 설치되되, 상기 기판 적재부에 대한 상기 자동 반송대차의 상대 위치를 검출가능하게 하는 정렬마크를 포함하며, 상기 정렬 비젼모듈은, 상기 정렬마크를 촬영하고, 촬영된 상기 정렬마크를 기초로 상기 기판 적재부에 대한 상기 자동 반송대차의 상대 위치를 검출할 수 있다.The substrate loading unit may include: a substrate loading unit on which the substrate is loaded; And an alignment mark which is provided adjacent to the substrate mounting portion and enables the relative position of the automatic transporting carriage to the substrate mounting portion to be detectable, wherein the alignment vision module photographs the alignment mark, The relative position of the automatic transporting carriage to the substrate loading section can be detected based on the alignment mark.

상기 정렬마크는, 상기 기판 적재부를 중심으로 좌우 양측에 대칭되게 마련된 이미지 패턴을 포함하며, 상기 이미지 패턴은, 중심에서 좌우 양측으로 연속적으로 배치되되, 중심에서 좌우 양측으로 갈수록 폭이 증가하는 복수의 격자문양을 포함할 수 있다.Wherein the alignment mark includes an image pattern symmetrically disposed on both sides of the substrate mounting portion, the image pattern being disposed continuously from the center to both left and right sides, the plurality of It may contain a grid pattern.

상기 정렬 비젼모듈은, 상기 자동 반송대차에 설치되어 상기 이미지 패턴을 촬영하는 비젼부를 포함할 수 있다.The alignment vision module may include a vision unit installed on the automatic conveyance truck and photographing the image pattern.

상기 비젼부는, 상기 자동 반송대차에 상기 이미지 패턴의 개수에 대응되는 개수로 설치되되, 각각의 상기 이미지 패턴을 촬영하도록 상기 기판 적재부를 중심으로 좌우 양측에 마련된 상기 이미지 패턴의 간격에 대응하여 상호 이격되게 설치될 수 있다.Wherein the vision unit includes a number of image patterns corresponding to the number of the image patterns on the automatic transporting carriage and is spaced apart from each other in correspondence with intervals of the image patterns provided on both sides of the substrate loading unit, .

상기 정렬 비젼모듈은, 상기 자동 반송대차에 설치되되, 상기 비젼부에 의해 촬영된 상기 이미지 패턴을 기초로 상기 기판 적재부에 대한 상기 자동 반송대차의 상대 위치를 검출하는 위치 검출부를 더 포함할 수 있다.The alignment vision module may further include a position detection unit installed on the automatic conveyance truck for detecting a relative position of the automatic conveyance truck to the substrate loading unit based on the image pattern photographed by the vision unit have.

상기 자동 반송대차는, 본체부; 및 상기 본체부에 상기 기판 적재부 방향으로 출몰 가능하게 마련되되, 상기 기판을 로딩 및 언로딩하는 포크부를 포함하며, 상기 비젼부는, 상기 포크부에 설치되며, 상기 위치 검출부는, 상기 비젼부에 의해 촬영된 상기 이미지 패턴을 기초로 상기 기판 적재부에 대한 상기 포크부의 상대 위치를 검출할 수 있다.Wherein the automatic conveying truck comprises: a main body; And a fork portion provided on the main body portion so as to protrude / retract toward the substrate mounting portion and to load and unload the substrate, wherein the vision portion is provided on the fork portion, The relative position of the fork portion with respect to the substrate loading portion can be detected based on the image pattern photographed by the image pick-up portion.

상기 정렬 이동모듈은, 상기 위치 검출부에서 검출한 상기 기판 적재부에 대한 상기 포크부의 상대 위치를 기초로, 상기 포크부를 상기 기판 적재부 방향으로 이동시키는 제1 정렬부; 상기 위치 검출부에서 검출한 상기 기판 적재부에 대한 상기 포크부의 상대 위치를 기초로, 상기 포크부를 상기 이송라인 방향으로 이동시키는 제2 정렬부; 및 상기 위치 검출부에서 검출한 상기 기판 적재부에 대한 상기 포크부의 상대 위치를 기초로, 상기 기판 적재부에 대한 상기 포크부의 틸팅각도를 조절하도록 상기 포크부를 회전시키는 제3 정렬부를 포함할 수 있다.The aligning and moving module includes a first aligning part that moves the fork part toward the substrate mounting part based on a relative position of the fork part to the substrate mounting part detected by the position detecting part. A second aligning part for moving the fork part in the conveying line direction based on the relative position of the fork part to the substrate mounting part detected by the position detecting part; And a third aligning portion for rotating the fork portion to adjust a tilting angle of the fork portion with respect to the substrate mounting portion based on a relative position of the fork portion to the substrate mounting portion detected by the position detecting portion.

상기 자동 반송대차는, 상기 본체부에 마련되되, 상기 본체부가 상기 이송라인을 따라 주행하도록 안내하는 가이드 센서를 더 포함하며, 상기 가이드 센서는, 상기 본체부에 마련되어 상기 본체부의 상기 이송라인 방향의 주행을 센싱하는 제1 가이드 센서; 및 상기 본체부에 마련되어 상기 본체부의 상기 이송라인 방향과 교차되는 방향의 주행을 센싱하는 제2 가이드 센서를 포함할 수 있다.The automatic conveyance truck may further include a guide sensor provided on the main body and guiding the main body to travel along the conveyance line, wherein the guide sensor is provided on the main body, A first guide sensor for sensing traveling; And a second guide sensor provided on the main body to sense a traveling in a direction intersecting the direction of the transfer line of the main body.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 이송라인을 따라 반송되는 자동 반송대차를 상기 이송라인에 인접하게 배치된 기판 적재유닛에 인접하게 이동시키는 단계; 및 상기 기판 적재유닛에 적재된 기판을 상기 자동 반송대차에 로딩하거나 상기 자동 반송대차에 적재된 기판을 상기 기판 적재유닛으로 언로딩하기 위하여, 상기 기판 적재유닛에 대해 상기 자동 반송대차를 정렬하는 단계를 포함하는 자동 반송대차 시스템의 정렬방법이 제공될 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of transporting a substrate, comprising: moving an automated transport bogie carried along a transport line adjacent a substrate loading unit disposed adjacent to the transport line; And aligning the automatic transport bogie with respect to the substrate stacking unit to load the substrate stacked on the substrate stacking unit into the automatic transport bogie or unload the substrate loaded on the automatic bogie truck to the substrate stacking unit An automatic sorting method of an automatic teller machine can be provided.

상기 기판 적재유닛에 대해 상기 자동 반송대차를 정렬하는 단계는, 상기 기판 적재유닛에 대한 상기 자동 반송대차의 상대 위치를 검출하도록 상기 기판 적재유닛을 촬영하는 단계; 및 촬영된 상기 기판 적재유닛에 대한 영상을 기초로 상기 기판 적재유닛에 대해 상기 자동 반송대차를 이동시키는 단계를 포함할 수 있다.The step of aligning the automatic conveyance truck with respect to the board stacking unit includes the steps of: photographing the board stacking unit to detect a relative position of the automatic conveyance truck to the board stacking unit; And moving the automatic conveyance truck to the substrate stacking unit based on the image of the picked up substrate stacking unit.

상기 기판 적재유닛은, 상기 기판이 적재되는 기판 적재부; 및 상기 기판 적재부에 인접하게 설치되되, 상기 기판 적재부에 대한 상기 자동 반송대차의 상대 위치를 검출가능하게 하는 정렬마크를 포함하며, 상기 기판 적재유닛을 촬영하는 단계는, 상기 자동 반송대차에 설치된 비젼부를 이용하여 상기 정렬마크를 촬영할 수 있다.The substrate loading unit may include: a substrate loading unit on which the substrate is loaded; And an alignment mark which is provided adjacent to the substrate mounting portion and enables detection of a relative position of the automatic transporting carriage to the substrate mounting portion, wherein the step of photographing the substrate mounting unit comprises: The alignment mark can be photographed using the installed vision unit.

상기 정렬마크는, 상기 기판 적재부를 중심으로 좌우 양측에 대칭되게 마련된 이미지 패턴을 포함하며, 상기 이미지 패턴은, 중심에서 좌우 양측으로 연속적으로 배치되되, 중심에서 좌우 양측으로 갈수록 폭이 증가하는 복수의 격자문양을 포함할 수 있다.Wherein the alignment mark includes an image pattern symmetrically disposed on both sides of the substrate mounting portion, the image pattern being disposed continuously from the center to both left and right sides, the plurality of It may contain a grid pattern.

상기 기판 적재유닛에 대해 상기 자동 반송대차를 정렬하는 단계는, 상기 비젼부에 의해 촬영된 상기 이미지 패턴을 기초로 상기 기판 적재부에 대한 상기 자동 반송대차의 상대 위치를 검출하는 단계를 더 포함할 수 있다.The step of aligning the automatic transporting carriage with respect to the substrate stacking unit may further include detecting a relative position of the automatic transporting carriage to the substrate loading unit based on the image pattern photographed by the vision unit .

상기 기판 적재부에 대한 상기 자동 반송대차의 상대 위치를 검출하는 단계는, 상기 자동 반송대차에 상기 기판 적재부 방향으로 출몰 가능하게 마련된 포크부의 상기 기판 적재부에 대한 상대 위치를 검출할 수 있다.The step of detecting the relative position of the automatic transporting carriage to the substrate loading section may detect the relative position of the fork section provided to the automatic transporting carriage in the direction of the substrate loading section with respect to the substrate loading section.

상기 기판 적재유닛에 대해 상기 자동 반송대차를 이동시키는 단계는, 상기 기판 적재부에 대한 상기 포크부의 상대 위치를 기초로, 상기 포크부를 상기 기판 적재부 방향으로 이동시키고, 상기 포크부를 상기 이송라인 방향으로 이동시키며, 상기 기판 적재부에 대한 상기 포크부의 틸팅각도를 조절하도록 상기 포크부를 회전시킬 수 있다.Wherein the step of moving the automatic transporting carriage relative to the substrate stacking unit includes moving the fork portion toward the substrate stacking portion on the basis of the relative position of the fork portion with respect to the substrate stacking portion, And the fork portion may be rotated to adjust the tilting angle of the fork portion with respect to the substrate loading portion.

본 발명의 실시예들은, 기판 적재유닛에 대해 자동 반송대차를 정렬할 수 있도록 정렬유닛을 자동 반송대차에 마련하여 기판 적재유닛과 자동 반송대차를 용이하게 정렬할 수 있어 기판의 로딩 및 언로딩 과정에 따른 작업시간을 단축할 수 있다.The embodiments of the present invention can easily align the substrate stacking unit and the automatic transporting carriage by arranging the aligning unit on the automatic transporting carriage so that the automatic transporting carriage can be aligned with respect to the substrate stacking unit, It is possible to shorten the working time according to the operation.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 반송대차 시스템을 개략적으로 나타내는 구조도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 반송대차를 나타내는 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이 적재된 상태의 자동 반송대차를 나타내는 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재유닛을 나타내는 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재유닛과 자동 반송대차의 위치관계를 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 이미지 패턴을 나타내는 정면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따라 이미지 패턴과 정렬 비젼모듈과의 위치관계를 나타내는 정면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 정렬유닛을 나타내는 블록도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따라 비젼부의 심도에 따른 촬영된 이미지 패턴을 나타내는 정면도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따라 기판 적재부에 대한 포크부의 상대 위치관계를 설명하기 위한 개략도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 반송대차 시스템의 정렬방법을 나타내는 순서도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a schematic view showing an automatic conveyance truck system according to an embodiment of the present invention; FIG.
2 is a perspective view showing an automatic conveyance truck according to an embodiment of the present invention.
3 is a perspective view showing an automatic transporting truck in a state in which a substrate is loaded according to an embodiment of the present invention.
4 is a perspective view showing a substrate loading unit according to an embodiment of the present invention.
5 is a plan view schematically showing a positional relationship between a substrate loading unit and an automatic transporting carriage according to an embodiment of the present invention.
6 is a front view showing an image pattern according to an embodiment of the present invention.
7 is a front view illustrating a positional relationship between an image pattern and an alignment vision module according to an embodiment of the present invention.
8 is a block diagram illustrating an alignment unit according to one embodiment of the present invention.
9 is a front view showing a photographed image pattern according to the depth of vision portion according to an embodiment of the present invention.
10 is a schematic view for explaining a relative positional relationship of a fork portion with respect to a substrate mounting portion according to an embodiment of the present invention.
11 is a flowchart showing an alignment method of an automatic conveyance truck system according to an embodiment of the present invention.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, operational advantages of the present invention, and objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings and the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the preferred embodiments of the present invention with reference to the accompanying drawings. Like reference symbols in the drawings denote like elements.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 반송대차 시스템을 개략적으로 나타내는 구조도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 반송대차를 나타내는 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이 적재된 상태의 자동 반송대차를 나타내는 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재유닛을 나타내는 사시도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재유닛과 자동 반송대차의 위치관계를 개략적으로 나타내는 평면도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 이미지 패턴을 나타내는 정면도이고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따라 이미지 패턴과 정렬 비젼모듈과의 위치관계를 나타내는 정면도이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 정렬유닛을 나타내는 블록도이고, 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따라 비젼부의 심도에 따른 촬영된 이미지 패턴을 나타내는 정면도이고, 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따라 기판 적재부에 대한 포크부의 상대 위치관계를 설명하기 위한 개략도이다.FIG. 2 is a perspective view showing an automatic conveyance truck according to an embodiment of the present invention. FIG. 3 is a schematic view of an embodiment of the present invention FIG. 4 is a perspective view showing a substrate loading unit according to an embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a perspective view showing a substrate loading unit according to an embodiment of the present invention. FIG. 6 is a front view showing an image pattern according to an embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a plan view showing a positional relationship between an image pattern and an alignment vision module according to an embodiment of the present invention. Fig. 8 is a block diagram showing an alignment unit according to an embodiment of the present invention, and Fig. 9 is a view showing a position of a vision unit according to an embodiment of the present invention. 10 is a schematic view for explaining a relative positional relationship of the fork portion with respect to the substrate loading portion according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하여 본 실시예에 따른 자동 반송대차 시스템(100)을 간략하게 살펴보면 다음과 같다.Referring to FIG. 1, an automatic conveyance and delivery system 100 according to the present embodiment will be briefly described below.

이송라인(170)은 자동 반송대차(200)가 이동되는 경로를 제시하며, 이송라인(170)을 따라 적어도 하나 이상의 자동 반송대차(200)가 이동된다.The transfer line 170 indicates a path through which the automatic transfer bobbin 200 is moved, and at least one or more automatic transfer bobbins 200 are moved along the transfer line 170.

그리고, 기판(G)에 대한 해당공정을 수행하는 공정장비(130)들이 이송라인(170)에 인접하게 배치되고, 또한 이송라인(170)을 따라 기판(G)이 적재된 복수의 기판 적재유닛(300)이 마련된다.Process equipment 130 performing the process for the substrate G is disposed adjacent to the transfer line 170 and is also disposed along the transfer line 170 to a plurality of substrate stacking units (300).

즉, 자동 반송대차(200)는 이송라인(170)을 따라 이동하면서 복수의 공정장비(130) 사이 또는 공정장비(130)와 기판 적재유닛(300) 사이에서 기판(G)을 반송하게 된다.That is, the automatic transfer bobbin 200 moves along the transfer line 170 to transfer the substrate G between a plurality of process equipment 130 or between the process equipment 130 and the substrate loading unit 300.

또한, 자동 반송대차 시스템(100)에는 시스템 전체에 대한 기판(G) 반송을 제어하는 메인 제어부(110)가 마련된다. 메인 제어부(110)는 기판(G)의 반송을 제어하는 장치로써, 기판(G)이 적재되는 기판 적재유닛(300)을 제어하는 한편, 자동 반송대차(200)의 동작을 제어한다.In addition, the automatic conveyance truck system 100 is provided with a main control unit 110 for controlling the conveyance of the substrate G to the entire system. The main control unit 110 controls the conveying of the substrate G and controls the operation of the automatic conveying carriage 200 while controlling the substrate stacking unit 300 on which the substrate G is stacked.

즉, 자동 반송대차(200)는 이송라인(170)의 어느 한 지점에서 메인 제어부(110)의 반송명령을 전달받아 이를 해당 공정장비(130) 또는 기판 적재유닛(300)에 전달하는 것이다.That is, the automatic conveyance truck 200 receives the conveyance command of the main control unit 110 at one point of the conveyance line 170 and delivers the conveyance command to the corresponding processing equipment 130 or the substrate stacking unit 300.

한편, 이송라인(170)을 따라 이동되는 자동 반송대차(200)가 방전된 경우, 이송라인(170)에 인접하게 마련된 전원공급부(500)에 자동 반송대차(200)를 전기적으로 연결하여 자동 반송대차(200)를 충전하여야 한다.When the automatic transporting carriage 200 moved along the transporting line 170 is discharged, the automatic transporting carriage 200 is electrically connected to the power supply unit 500 provided adjacent to the transporting line 170, The truck 200 must be charged.

본 실시예에 따른 자동 반송대차 시스템(100)은, 기판 적재유닛(300)에 적재된 기판(G)을 자동 반송대차(200)에 로딩(loading)하거나 자동 반송대차(200)에 적재된 기판(G)을 기판 적재유닛(300)으로 언로딩(unloading)하는데 있어, 기판 적재유닛(300)과 자동 반송대차(200)를 용이하게 정렬하여 기판(G)의 로딩 및 언로딩 과정에 따른 작업시간을 단축하고자 한다.The automatic transfer trailer system 100 according to the present embodiment is configured to load the substrate G loaded on the substrate stacking unit 300 onto the automatic transfer tray 200 or to load the substrate G on the automatic transfer tray 200, The unloading operation of the substrate loading unit 300 and the automatic transporting carriage 200 can be easily performed by unloading the substrate G into the substrate loading unit 300, We want to shorten the time.

따라서, 본 실시예에 따른 자동 반송대차 시스템은 기판 적재유닛(300)과 자동 반송대차(200)를 정렬하는 정렬유닛(400)이 마련된다.Accordingly, the automatic trolley system according to the present embodiment is provided with the alignment unit 400 for aligning the substrate stacking unit 300 and the automatic trolley 200.

먼저, 기판 적재유닛(300)에 대해 자동 반송대차(200)를 정렬하는 정렬유닛(400)을 설명하기에 앞서 자동 반송대차(200) 및 기판 적재유닛(300)에 대해 설명하면 다음과 같다.First, before describing the aligning unit 400 for aligning the automatic conveyance carriage 200 with respect to the board stacking unit 300, the automatic conveyance carriage 200 and the board stacking unit 300 will be described as follows.

도 2 및 도 3을 참조하면, 본 실시예에 따른 자동 반송대차(200)는, 기판(G)이나 기판(G)이 적재된 카세트를 해당공정을 수행하는 공정장비(130)로 반송하는 역할을 한다.Referring to FIGS. 2 and 3, the automatic conveyance truck 200 according to the present embodiment is configured to transport a cassette loaded with the substrate G or the substrate G to the process equipment 130 that performs the process .

자동 반송대차(200)를 사용하는 경우에, 기판(G)의 운반 및 보관에 드는 시간 및 노력을 절감할 수 있다.In the case of using the automatic conveyance truck 200, it is possible to save time and labor for carrying and storing the substrate G.

본 실시예에 따른 자동 반송대차(200)는, 본체부(210)와, 본체부(210)에 출몰가능하게 마련되되 기판(G)을 로딩 및 언로딩하는 포크부(230)와, 본체부(210)의 하부에 마련되되 본체부(210)를 이송라인(170)을 따라 이동시키는 이동부(270)와, 본체부(210)에 마련되어 정보를 표시하는 터치패널(미도시)과, 본체부(210)에 마련되어 본체부(210)의 주행을 안내하는 가이드 센서(미도시)와, 본체부(210)에 마련된 적어도 하나 이상의 축전지(미도시)와, 본체부(210)에 마련되되 축전지에 연결되어 축전지를 충전하는 적어도 하나 이상의 충전기(미도시)를 포함한다.The automatic conveyance truck 200 according to the present embodiment includes a main body 210, a fork portion 230 which is provided in the main body 210 so as to protrude and retract and that loads and unloads the substrate G, A moving unit 270 provided at a lower portion of the main body 210 to move the main body 210 along the transfer line 170, a touch panel (not shown) provided on the main body 210 to display information, (Not shown) provided in the main body 210 and a guide sensor (not shown) provided in the main body 210 to guide the running of the main body 210. The main body 210 includes at least one storage battery And at least one charger (not shown) connected to the charger to charge the battery.

본체부(210)는 기판(G) 또는 카세트가 수용되며, 본체부(210)는 스테이지에 기판(G) 또는 카세트를 수용한 상태에서 해당공정을 수행하는 공정장비(130)로 이동된다.The main body 210 receives the substrate G or the cassette and the main body 210 moves to the processing equipment 130 that performs the process while the substrate G or the cassette is accommodated in the stage.

그리고, 포크부(230)는 본체부(210)에서 출몰가능되어 기판(G)을 로딩 및 언로딩하는 역할을 한다.The fork portion 230 is capable of protruding and retracting from the main body 210 and loading and unloading the substrate G. [

그리고, 자동 반송대차(200)는 본체부(210)에 마련되되 포크부(230)를 본체부(210)에서 출몰가능하게 하도록 포크부(230)의 일측에 연결된 암부(250)와, 암부(250)를 신축 및 회전가능하게 하는 암구동부(255)를 더 포함한다.The automatic conveyance truck 200 includes an arm portion 250 provided on the main body portion 210 and connected to one side of the fork portion 230 so as to allow the fork portion 230 to protrude and retract from the main body portion 210, 250 for expanding and retracting the vehicle.

암구동부(255)의 동작에 의해 암부(250)가 신축 및 회전되며, 암부(250)의 신축에 따라 포크부(230)가 본체부(210)에서 출몰되어 후술할 기판 적재유닛(300)으로부터 본체부(210)로 기판(G)을 로딩하거나 본체부(210)에서 기판 적재유닛(300)으로 기판(G)을 언로딩하는 동작을 수행한다.The arm portion 250 is extended and rotated by the operation of the arm driving portion 255 and the fork portion 230 is projected and withdrawn from the main body portion 210 in accordance with the elongation and contraction of the arm portion 250, And performs an operation of loading the substrate G into the main body 210 or unloading the substrate G from the main body 210 to the substrate stacking unit 300.

그리고, 암구동부(255)의 회전에 의해 후술할 포크부(230)와 기판 적재유닛(300) 사이의 틸팅각도를 조절할 수 있으며, 도 3에서 도시한 바와 같이 포크부에 기판(G) 또는 카세트를 로딩할 수 있다.The tilting angle between the fork portion 230 and the substrate loading unit 300 to be described later can be adjusted by the rotation of the arm driving portion 255. As shown in FIG. 3, Lt; / RTI >

그리고, 본체부(210)의 내부에는 적어도 하나 이상의 축전지가 마련되며, 축전지는 본체부(210) 및 본체부(210)를 이동시키는 구동전력 및 그외 자동 반송대차(200)에 필요한 구동전력을 공급한다.At least one storage battery is provided in the main body 210. The storage battery supplies the driving power for moving the main body 210 and the main body 210 and the driving power required for the other automatic carrier 200 do.

그리고, 본체부(210)에는 적어도 하나 이상의 축전지와 연결되어 적어도 하나 이상의 축전지를 충전시키는 적어도 하나 이상의 충전기가 마련된다.The main body 210 is provided with at least one charger connected to at least one battery and charging the at least one battery.

충전지는 이송라인(170)에 인접하게 배치된 전원공급부(500)와 전기적으로 연결되어 충전지를 충전하는 역할을 한다.The rechargeable battery is electrically connected to the power supply unit 500 disposed adjacent to the transfer line 170 to charge the rechargeable battery.

또한, 이동부(270)는 본체부(210)를 지지 및 이동시키는 역할을 하며, 구동모터(미도시)와 구동모터에 연결되어 회전하는 구동휠(271)를 포함한다.The moving part 270 supports and moves the main body part 210 and includes a driving wheel 271 rotated by being connected to a driving motor (not shown) and a driving motor.

이동부(270)는 축전지의 구동전력을 이용하여 구동모터 및 구동휠(271)을 작동시켜 본체부(210)를 이송라인(170)을 따라 움직이게 한다.The moving unit 270 operates the driving motor and the driving wheel 271 using the driving power of the battery to move the main body 210 along the transfer line 170.

또한, 터치패널은 본체부(210)의 외면에 마련되어 자동 반송대차(200)에 대한 정보를 표시한다.In addition, the touch panel is provided on the outer surface of the main body 210, and displays information on the automatic transporting carriage 200.

예를 들어, 터치패널에는 본체부(210)에 기판(G) 또는 카세트의 수용여부, 자동 반송대차(200)의 이동방향, 자동 반송대차(200)의 현재 위치 등의 정보가 디스플레이된다.For example, in the touch panel, information such as the acceptance of the board G or the cassette, the moving direction of the automatic teller 200, and the current position of the automatic teller 200 is displayed on the main body 210.

특히, 자동 반송대차(200)의 현재 위치를 정확하게 나타냄으로써, 작업자가 원하는 위치로 자동 반송대차(200)를 이동시키고자 할 때, 자동 반송대차(200)가 정확하게 이동하고 있는 지를 확인할 수 있다.Particularly, by accurately indicating the present position of the automatic conveyance truck 200, it is possible to confirm whether the automatic conveyance truck 200 is moving accurately when the operator intends to move the automatic conveyance truck 200 to a desired position.

또한, 가이드 센서(미도시)는 본체부(210)의 주행을 안내하는 역할을 한다.In addition, a guide sensor (not shown) serves to guide the running of the main body 210.

가이드 센서는, 본체부(210)의 하부에 마련되어 본체부(210)의 이송라인(170) 방향의 주행을 센싱하는 제1 가이드 센서(미도시)와, 본체부(210)의 하부에 마련되어 본체부(210)의 이송라인(170) 방향과 교차되는 방향의 주행을 센싱하는 제2 가이드 센서(미도시)를 포함한다.The guide sensor includes a first guide sensor (not shown) provided under the main body 210 and sensing a traveling of the main body 210 in the direction of the transfer line 170, And a second guide sensor (not shown) that senses a traveling in a direction intersecting the direction of the transfer line 170 of the part 210.

제1 가이드 센서 및 제2 가이드 센서에 의해 자동 반송대차(200)는 목표지점으로 정확히 이동될 수 있다.The automatic conveyance truck 200 can be accurately moved to the target point by the first guide sensor and the second guide sensor.

그리고, 본 실시예에 따른 전원공급부(500)는 이송라인(170)에 인접하게 배치되어 자동 반송대차(200)의 충전기와 전기적으로 연결된다.The power supply unit 500 according to the present embodiment is disposed adjacent to the transfer line 170 and is electrically connected to the charger of the automatic conveyance carriage 200.

전원공급부(500)는, 자동 반송대차(200)에 마련된 충전기와 전기적으로 연결되는 전원단자를 포함한다.The power supply unit 500 includes a power supply terminal electrically connected to a charger provided in the automatic conveyance carriage 200.

그리고, 본 실시예에 따른 기판 적재유닛(300)은 이송라인(170)에 인접하게 배치되며, 기판 적재유닛(300)에 적재된 기판(G) 또는 카세트가 자동 반송대차(200)에 로딩되거나 자동 반송대차(200)에 적재된 기판(G)이 기판 적재유닛(300)으로 언로딩된다.The substrate loading unit 300 according to the present embodiment is disposed adjacent to the transfer line 170 and the substrate G or the cassette loaded in the substrate loading unit 300 is loaded on the automatic transfer bobbin 200 The substrate G loaded on the automatic conveyance truck 200 is unloaded to the substrate stacking unit 300. [

도 4를 참조하면, 기판 적재유닛(300)는, 기판(G)이 적재되는 기판 적재부(310)와, 기판 적재부(310)에 인접하게 설치되되 기판 적재부(310)에 대한 자동 반송대차(200)의 상대 위치를 검출가능하게 하는 정렬마크(330)를 포함한다.4, the substrate stacking unit 300 includes a substrate stacking unit 310 on which the substrate G is stacked, a substrate stacking unit 310 disposed adjacent to the substrate stacking unit 310, And an alignment mark 330 that enables the relative position of the carriage 200 to be detected.

기판 적재부(310)는, 해당 공정을 수행한 기판(G)이 적재되거나 해당 공정을 수행할 기판(G)을 임시로 보관하는 장소를 제공한다.The substrate loading unit 310 provides a place for temporarily storing the substrate G on which the substrate G having performed the process is loaded or the substrate G to be subjected to the process.

그리고, 정렬마크(330)는 후술할 정렬유닛(400)을 이용하여 기판 적재유닛(300)(특히, 기판 적재부(310))와 자동 반송대차(200)(특히 포크부(230))를 정렬하는 데 있어, 기판 적재부(310)에 대한 포크부(230)의 상대 위치를 안내하는 역할을 한다.The alignment mark 330 is used to align the substrate stacking unit 300 (particularly, the substrate stacking unit 310) and the automatic transporting carriage 200 (particularly, the fork portion 230) And serves to guide the relative position of the fork portion 230 with respect to the substrate mounting portion 310 in alignment.

그리고, 정렬마크(330)는 기판 적재부(310)를 중심으로 좌우 양측에 대칭되게 마련된 이미지 패턴(330)을 포함한다.The alignment mark 330 includes an image pattern 330 provided symmetrically on both left and right sides of the substrate mounting portion 310.

도 4에서 도시한 바와 같이, 본 실시예에서 이미지 패턴(330)은 기판 적재부(310)의 하부에 기판 적재부(310)를 중심으로 좌우 양측에 대칭되게 설치하여 기판 적재부(310)에 대한 포크부(230)의 상대 위치를 안내하도록 하였으나, 이에 의해 본 실시예의 권리범위가 제한되는 것은 아니며 이미지 패턴(330)은 기판 적재부(310)의 상부 또는 양측부에 설치되어 후술할 정렬 비젼모듈(410)을 이용하여 이미지 패턴(330)을 각각 촬영할 수도 있다.4, the image pattern 330 is disposed symmetrically on the left and right sides of the substrate stacking unit 310 at the lower portion of the substrate stacking unit 310 to form the image pattern 330 on the substrate stacking unit 310 The image pattern 330 may be provided on the upper or both sides of the substrate mounting part 310 so as to guide the relative position of the fork part 230, The image pattern 330 may be photographed using the module 410, respectively.

그리고, 도 5 및 도 6을 참조하여 본 실시예에 따른 이미지 패턴(330)을 상세하게 살펴보면, 이미지 패턴(330)은 중심에서 좌우 양측으로 갈수록 연속적으로 배치되며 중심에서 좌우 양측으로 갈수록 그 폭이 증가하는 복수의 격자문양(331)을 포함한다.5 and 6, the image pattern 330 according to the present embodiment will be described in detail. The image patterns 330 are continuously arranged from the center to the left and right sides, and their widths And a plurality of grid patterns 331 that increase.

이는 후술할 정렬 비젼모듈(410)을 구성하는 비젼부(411)로 이미지 패턴(330)을 촬영하는 경우에, 비젼부(411)의 중심이 이미지 패턴(330)의 중심에서 좌측 또는 우측 방향으로 어느 정도 떨어져 있는 지를 확인할 수 있도록 한다.This is because when the image pattern 330 is photographed by the vision unit 411 constituting the alignment vision module 410 to be described later, the center of the vision unit 411 is shifted leftward or rightward from the center of the image pattern 330 So that they can see how far apart they are.

그리고, 비젼부(411)의 중심이 이미지 패턴(330)의 중심에 위치되도록 자동 반송대차(200)의 이동거리를 검출할 수 있도록 하기 위함이다.The movement distance of the automatic transporting carriage 200 can be detected so that the center of the vision unit 411 is positioned at the center of the image pattern 330.

예를 들어, 도 7에서 도시한 바와 같이, 비젼부(411)가 이미지 패턴(330)의 중심에서 이격된 우측을 촬영한 경우, 촬영된 영상(P)은 우측으로 갈수록 격자문양(331)의 폭이 커지기 때문에 촬영된 영상(P)으로부터 비젼부(411)의 중심이 이미지 패턴(330)의 중심에서 우측에 위치함을 알 수 있으며, 촬영된 영상(P)의 중심의 좌표를 이미지 패턴(330)으로부터 검출할 수 있다.7, when the vision unit 411 photographs the right side remote from the center of the image pattern 330, the photographed image P is displayed on the right side of the grid pattern 331 It can be seen that the center of the vision unit 411 is located on the right side of the center of the image pattern 330 from the photographed image P because the width of the image P 330).

따라서, 비젼부(411)의 중심과 이미지 패턴(330)의 중심 위치를 정렬함에 있어서, 미리 설정된 격자문양(331)의 간격에 대응하여 본체부(210)를 좌측으로 이동시켜 비젼부(411)의 중심을 이미지 패턴(330)의 중심위치에 대응되는 위치로 이동시킬 수 있다.Accordingly, when aligning the center of the vision unit 411 and the center position of the image pattern 330, the body unit 210 is moved to the left in correspondence with the interval of the preset grid pattern 331, The center of the image pattern 330 can be moved to a position corresponding to the center position of the image pattern 330.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 반송대차 시스템(100)은, 기판 적재유닛(300)에 대해 자동 반송대차(200)를 정렬하기 위한 정렬유닛(400)이 마련된다.Meanwhile, an automatic trolley system 100 according to an embodiment of the present invention is provided with an alignment unit 400 for aligning the automatic trolley 200 with respect to the substrate stacking unit 300.

본 실시예에 따른 정렬유닛(400)은, 자동 반송대차(200)에 설치되어 자동 반송대차(200)에 기판(G) 또는 카세트를 로딩 및 언로딩하기 위해 기판 적재유닛(300)에 대해 자동 반송대차(200)를 정렬하는 역할을 한다.The aligning unit 400 according to the present embodiment is provided in the automatic transporting carriage 200 and is capable of automatically moving the substrate loading unit 300 to the automatic transporting carriage 200 in order to load and unload the substrate G or the cassette. And serves to align the conveying carriage 200.

도 8을 참조하면, 정렬유닛(400)은, 자동 반송대차(200)에 설치되되 기판 적재유닛(300)에 대한 자동 반송대차(200)의 상대 위치를 검출하도록 기판 적재유닛(300)을 촬영하는 정렬 비젼모듈(410)과, 자동 반송대차(200)에 설치되되 정렬 비젼모듈(410)에 의해 촬영된 기판 적재유닛(300)에 대한 영상을 기초로 기판 적재유닛(300)에 대해 자동 반송대차(200)를 이동시키는 정렬 이동모듈(430)을 포함한다.8, the aligning unit 400 is mounted on the automatic conveyance truck 200 and photographs the board stacking unit 300 so as to detect the relative position of the automatic conveyance truck 200 relative to the board stacking unit 300 The image forming unit 300 is mounted on the automatic transporting carriage 200 and mounted on the automatic loading and unloading unit 300. The automatic loading / And an alignment movement module 430 for moving the carriage 200.

본 실시예에 따른 정렬 비젼모듈(410)은 전술한 이미지 패턴(330)을 촬영하여 기판 적재부(310)에 대한 포크부(230)의 상대 위치를 검출하는 역할을 한다.The alignment vision module 410 according to the present embodiment photographs the image pattern 330 described above and detects the relative position of the fork portion 230 with respect to the substrate mounting portion 310.

여기서, 정렬 비젼모듈(410)은, 자동 반송대차(200)에 설치되어 이미지 패턴(330)을 촬영하는 비젼부(411)를 포함한다.Here, the alignment vision module 410 includes a vision unit 411 installed on the automatic conveyance truck 200 and capturing an image pattern 330.

비젼부(411)는 이미지 패턴(330)을 촬영하기 위해 기판 적재부(310)에 대향되는 자동 반송대차(200)에 설치된다.The vision unit 411 is installed in the automatic conveyance carriage 200 facing the substrate loading unit 310 for photographing the image pattern 330.

도 5에서 도시한 바와 같이, 구체적으로 본 실시예에서 비젼부(411)는 포크부(230)의 양측부에 이미지 패턴(330)의 개수에 대응되는 개수, 즉 기판 적재부(310)의 좌우 양측에 각각 마련된 이미지 패턴(330)의 개수에 대응되는 개수로 설치된다.5, in the present embodiment, the vision unit 411 has a number corresponding to the number of the image patterns 330 on both sides of the fork unit 230, that is, And the number of image patterns 330 provided on both sides.

따라서, 도 5에서 도시한 바와 같이, 이미지 패턴(330)이 기판 적재부(310)를 중심으로 좌우 양측에 마련된 경우에, 비젼부(411)는 이미지 패턴(330)의 개수에 대응되는 개수로 포크부(230)에 설치되어 각각의 이미지 패턴(330)을 촬영한다.5, when the image pattern 330 is provided on both the left and right sides of the substrate mounting portion 310, the vision portion 411 may be formed in a number corresponding to the number of the image patterns 330 And is mounted on the fork portion 230 to photograph each of the image patterns 330.

또한, 본 실시예에서는 이미지 패턴(330)의 중심위치에 대응되게 비젼부(411)의 중심을 위치시켜 기판 적재부(310)와 포크부(230)를 정렬하므로, 기판 적재부(310)를 중심으로 좌우 양측에 소정간격 이격되게 두 개의 이미지 패턴(330)이 마련된 경우에, 이미지 패턴(330)의 간격에 대응하여 두 개의 비젼부(411)를 소정간격 이격되게 포크부(230)의 양측에 설치한다.In this embodiment, since the center of the vision unit 411 is positioned corresponding to the center position of the image pattern 330 to align the substrate mounting unit 310 and the fork unit 230, When two image patterns 330 are provided on the left and right sides of the fork portion 230, the two vision portions 411 are spaced apart from each other by a predetermined distance corresponding to the interval of the image pattern 330, Respectively.

한편, 도 5에서 도시한 바와 같이, 자동 반송대차(200)가 기판 적재부(310) 및 이미지 패턴(330)과 팽행되게 배치된 경우에, 촬영된 이미지 패턴(330)에 대해 비젼부(411)를 이송라인(170) 방향인 X방향으로 상대 이동시켜 기판 적재부(310)와 포크부(230)를 정렬할 수 있으나, 이에 앞서 기판 적재부(310)와 포크부(230) 간의 거리가 일정한 거리에 위치되게 정렬하여야 한다.5, in the case where the automatic transporting carriage 200 is arranged so as to be swung with the substrate stacking portion 310 and the image pattern 330, it is preferable that the vision portion 411 The substrate stacking portion 310 and the fork portion 230 may be aligned with each other in the X direction relative to the transfer line 170 so that the distance between the substrate stacking portion 310 and the fork portion 230 It should be aligned at a certain distance.

이는, 비젼부(411)의 초점거리에 따라 이미지 패턴(330)이 선명하게 촬영되는지 여부를 통해 기판 적재부(310)와 포크부(411) 간의 거리를 일정하게 유지할 수 있다.This can keep the distance between the substrate mounting portion 310 and the fork portion 411 constant through whether or not the image pattern 330 is clearly photographed according to the focal distance of the vision portion 411.

즉, 비젼부(411)의 심도를 이용하여 기판 적재부(310)와 포크부(411) 간의 거리를 일정하게 유지할 수 있다.That is, the distance between the substrate mounting portion 310 and the fork portion 411 can be kept constant by using the depth of the vision portion 411.

도 9는 자동 반송대차(200)를 기판 적재부(310), 특히 이미지 패턴(330) 방향(Y방향)으로 이동시키는 경우에, 비젼부(411)의 심도에 따라 촬영된 이미지 패턴(330)을 예시적으로 나타내는 것으로서, 본체부(210) 및 포크부(230)를 이동시켜 이미지 패턴(330)의 중심 위치에 대응되는 위치에 비젼부(411)의 중심을 이동시키기에 앞서 이미지 패턴(330)과 비젼부(411) 사이의 거리를 조정하기 위함이다.9 shows an image pattern 330 photographed according to the depth of the vision unit 411 when the automatic transporting carriage 200 is moved in the direction of the substrate loading unit 310, particularly the image pattern 330 (Y direction) The main body 210 and the fork 230 are moved to move the center of the vision part 411 to a position corresponding to the center position of the image pattern 330. In this case, ) And the vision unit 411. [0060]

즉, 비젼부(411)의 심도에 의해 선명한 영상을 얻을 수 있도록 이미지 패턴(330) 방향(Y방향)으로 본체부(210) 및 포크부(230)를 이동시킨다.That is, the body portion 210 and the fork portion 230 are moved in the direction of the image pattern 330 (Y direction) to obtain a clear image by the depth of the vision portion 411.

이때, 포크부(230)의 양측부에 각각 마련된 비젼부(411)로부터 이미지 패턴(330)에 대한 선명한 영상을 얻기 위해, 포크부(230)를 기판 적재부(310) 및 이미지 패턴(330)에 대해 소정각도 회전시킬 수 있다.The fork portion 230 may be mounted on the substrate stacking portion 310 and the image pattern 330 so as to obtain a clear image of the image pattern 330 from the vision portion 411 provided on both sides of the fork portion 230. [ As shown in Fig.

이처럼, 본체부(210) 및 포크부(230)를 이미지 패턴(330) 방향인 Y방향으로 이동시키거나, 본체부(210) 및 포크부(230)를 이미지 패턴(330)에 대해 소정각도를 회전시킴으로써, 비젼부(411)의 심도에 따른 선명한 영상을 얻을 수 있다.The body portion 210 and the fork portion 230 are moved in the Y direction in the direction of the image pattern 330 or the body portion 210 and the fork portion 230 are rotated at a predetermined angle with respect to the image pattern 330 A clear image corresponding to the depth of the vision unit 411 can be obtained.

이로써, 특히 포크부(230)를 기판 적재부(310) 및 이미지 패턴(330)에 대해 평행되게 배치할 수 있고, 기판 적재부(310)와 포크부(230) 간의 거리를 검출할 수 있다.The fork portion 230 can be disposed parallel to the substrate mount 310 and the image pattern 330 and the distance between the substrate mount 310 and the fork portion 230 can be detected.

또한, 포크부(230)를 기판 적재부(310) 및 이미지 패턴(330)에 대해 평행되게 배치한 경우에, 비젼부(411)를 이용하여 이미지 패턴(330)을 다시 촬영한다.When the fork portion 230 is arranged parallel to the substrate mounting portion 310 and the image pattern 330, the image pattern 330 is again photographed using the vision portion 411. [

도 7을 참조하면, 이미지 패턴(330)은, 중심에서 좌우 방향으로 대칭되는 격자문양(331)이 연속적으로 배치되고 격자문양(331)의 폭이 좌우 방향으로 갈수록 폭이 증가하므로, 전술한 바와 같이 비젼부(411)가 이미지 패턴(330)의 중심에서 이격된 우측을 촬영한 경우에, 촬영된 영상(P)이 우측으로 갈수록 격자문양(331)의 폭이 커지기 때문에 촬영된 영상(P)으로부터 비젼부(411)가 이미지 패턴(330)의 중심에서 우측에 위치함을 알 수 있다.7, in the image pattern 330, the lattice patterns 331 symmetrical from the center to the left and right are continuously arranged and the width of the lattice pattern 331 increases in the left and right direction, When the photographed image P is photographed on the right side as viewed from the center of the image pattern 330, the width of the lattice pattern 331 becomes larger as the photographed image P goes to the right side, It can be seen that the vision part 411 is located on the right side from the center of the image pattern 330. [

따라서, 미리 설정된 격자문양(331)의 간격에 대응하여 포크부(230)를 좌측으로 이동하여 비젼부(411)의 중심을 이미지 패턴(330)의 중심위치에 대응되는 위치로 이동시켜 기판 적재부(310)에 대해 포크부(230)를 정렬한다.The center of the vision unit 411 is moved to a position corresponding to the center position of the image pattern 330 by moving the fork unit 230 to the left in correspondence with the interval of the preset grid pattern 331, And aligns the fork portion 230 with respect to the base portion 310.

상기한 바와 같이, 기판 적재부(310)에 대한 포크부(230)의 상대 위치를 검출하기 위해, 정렬 비젼모듈(410)은 자동 반송대차(200)에 설치되되 자동 반송대차(200), 특히 포크부(230)가 기판 적재부(310)에 접근하여 비젼부(411)로 이미지 패턴(330)을 촬영한 경우에 비젼부에 의해 촬영된 이미지 패턴(330)을 기초로 기판 적재부(310)에 대한 포크부(230)의 상대 위치를 검출하는 위치 검출부(413)를 더 포함한다.As described above, in order to detect the relative position of the fork portion 230 with respect to the substrate mounting portion 310, the alignment vision module 410 is mounted on the automatic conveyance carriage 200, When the fork portion 230 approaches the substrate stacking portion 310 and images the image pattern 330 to the vision portion 411, the substrate stacking portion 310 The position detecting unit 413 detects the relative position of the fork portion 230 with respect to the fork portion 230.

위치 검출부(413)는 촬영된 이미지 패턴(330)을 기초로 적재부(310)에 대한 포크부(230)의 상대 위치를 검출하는 역할을 하며, 이미지 패턴(330)을 이루는 복수의 격자문양(331)의 간격, 크기 등에 관한 정보를 기초로 촬영된 이미지 패턴(330)으로부터 기판 적재부(310)에 대한 포크부(230)의 상대 위치를 검출한다.The position detection unit 413 detects the relative position of the fork unit 230 with respect to the loading unit 310 based on the photographed image pattern 330 and detects a plurality of grid patterns The relative position of the fork portion 230 with respect to the substrate loading portion 310 is detected from the photographed image pattern 330 based on the information on the interval,

한편, 전술한 비젼부(411)의 심도를 이용하여 기판 적재부(310)와 포크부(230)간의 거리를 일정하게 유지하고 포크부(230)를 기판 적재부(310) 및 이미지 패턴(330)에 대해 평행되게 배치한 경우에도, 기판 적재부(310)에 대해 포크부(230)가 정밀하게 정렬되지 못하고 소정각도 틸팅되거나 기판 적재부(310)의 중심에서 소정 거리 이격되는 경우가 발생될 수 있다.The distance between the substrate mounting portion 310 and the fork portion 230 may be maintained constant by using the depth of the vision portion 411 and the distance between the fork portion 230 and the substrate mounting portion 310 and the image pattern 330 The fork portion 230 may not be precisely aligned with respect to the substrate mounting portion 310 and may be tilted at a predetermined angle or spaced a predetermined distance from the center of the substrate mounting portion 310 .

상기한 경우에, 포크부(230)에 설치된 두 개의 비젼부(411)에서 촬영된 이미지 패턴(330)을 기초로 기판 적재부(310)와 포크부(230)를 정밀하게 정렬하여야 한다.The substrate loading unit 310 and the fork unit 230 are accurately aligned based on the image pattern 330 photographed by the two visions 411 provided on the fork unit 230. In this case,

이하, 두 개의 비젼부(411)를 이용하여 기판 적재부(310)와 포크부(230)를 정밀하게 정렬하는 방법을 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a method of precisely aligning the substrate mounting portion 310 and the fork portion 230 using the two visions 411 will be described.

도 10을 참조하면, 기판 적재부(310)에 대해 포크부(230)를 정렬하기 위해 기판 적재부(310)와 포크부(230) 사이의 거리를 G라고 하고, 두 개의 이미지 패턴(330)의 중심간의 거리 및 두 개의 비젼부(411) 사이의 거리를 H라고 하고, 포크부를 회전시키는 암구동부(255)와 비젼부(411)사이의 거리를 V/2라고 하고, 기판 적재부(310)의 좌측에 설치된 이미지 패턴(330)의 중심에서 포크부(230)의 좌측에 설치된 비젼부(411)에 의해 촬영된 이미지 패턴(330)까지의 거리를 A라고 하고, 기판 적재부(310)의 우측에 설치된 이미지 패턴(330)의 중심에서 포크부(230)의 우측에 설치된 비젼부(411)에 의해 촬영된 이미지 패턴(330)까지의 거리를 B라고 한다.10, when the distance between the substrate mounting portion 310 and the fork portion 230 is G and two image patterns 330 are arranged to align the fork portion 230 with respect to the substrate mounting portion 310, And the distance between the two vision parts 411 is H and the distance between the arm driving part 255 for rotating the fork part and the vision part 411 is V / The distance from the center of the image pattern 330 installed on the left side of the fork portion 230 to the image pattern 330 photographed by the vision portion 411 disposed on the left side of the fork portion 230 is A, B is the distance from the center of the image pattern 330 installed on the right side of the fork portion 230 to the image pattern 330 photographed by the vision portion 411 provided on the right side of the fork portion 230. [

그리고, 실선으로 표시된 실제 포크부(230)의 제1 위치(P1)에서 이점쇄선으로 표시된 포크부(230)의 제2 위치(P2)로 포크부(230)를 회전 및 이동시키기 위하여 기판 적재부(310)에 대한 포크부(230)의 틸팅각도(Θ)와, 포크부(230)의 제2 위치(P2)에 대해 제1 위치(P1)의 포크부(230)가 이동해야할 X방향 이동거리 M을 구하면 다음과 같다.In order to rotate and move the fork portion 230 to the second position P2 of the fork portion 230 indicated by the two-dot chain line at the first position P1 of the actual fork portion 230 indicated by the solid line, The tilting angle? Of the fork portion 230 with respect to the first position P1 and the tilting angle? Of the fork portion 230 with respect to the second position P2 of the fork portion 230, The distance M is obtained as follows.

여기서, 포크부(230)의 제2 위치(P2))에서의 암구동부(255)의 위치를 X-Y좌표의 중심(0,0)으로 한다.Here, the position of the arm driver 255 at the second position P2 of the fork portion 230 is set as the center (0, 0) of the X-Y coordinate.

먼저, 기판 적재부(310)에 대한 포크부(230)의 틸팅각도(Θ)는,First, the tilting angle (?) Of the fork portion 230 with respect to the substrate mounting portion 310 is calculated as follows:

수학식

Figure 112013089553794-pat00001
로 부터
Figure 112013089553794-pat00002
로 구해진다.Equation
Figure 112013089553794-pat00001
from
Figure 112013089553794-pat00002
.

그리고, 포크부(230)가 틸팅각도(Θ) 만큼 회전되고, X방향으로 M만큼 이동시키기 위해서 포크부(230)의 이동거리(M)을 구하면 다음과 같다.Then, the moving distance M of the fork portion 230 is calculated as follows, so that the fork portion 230 is rotated by the tilting angle? And moved by M in the X direction.

①점을 Θ만큼 회전시켜 ②점으로 이동시켜 이동거리(M)을 구한다.① Rotate the point by Θ and move to point ② to obtain the moving distance (M).

즉, ①점의 좌표는

Figure 112013089553794-pat00003
에 해당하고 ①점을 Θ 만큼 회전시킨 X좌표(①점을 X-Y좌표의 중심(0,0)좌표계로 -M만큼 이동한 후 다시 원래 자표계로 이동하여 ②점의 X좌표를 계산)는
Figure 112013089553794-pat00004
에 해당된다.That is, (1)
Figure 112013089553794-pat00003
(1) Move the point by Θ to the X coordinate (Move the point ① to the center coordinate system (0,0) of the XY coordinate system by -M and then move it back to the original coordinate system and calculate the X coordinate of the point 2)
Figure 112013089553794-pat00004
.

그리고, ②점의 X좌표인

Figure 112013089553794-pat00005
과 비교하여 M을 구한다.And (2) the X coordinate of the point
Figure 112013089553794-pat00005
To obtain M.

따라서,

Figure 112013089553794-pat00006
에 해당된다.therefore,
Figure 112013089553794-pat00006
.

상기한 바와 같이, 위치 검출부(413)는 포크부(230)에 설치된 두 개의 비젼부(411)로 기판 적재부(310)의 양측에 설치된 이미지 패턴(330)으로부터 기판 적재부(310)에 대한 포크부(230)의 상대 위치, 즉 포크부(230)의 틸팅각도(Θ)와 X방향 이동거리(M)를 산출한다.As described above, the position detection unit 413 detects the position of the substrate loading unit 310 from the image pattern 330 installed on both sides of the substrate loading unit 310 with two visions 411 provided on the fork unit 230, The relative position of the fork portion 230, that is, the tilting angle? Of the fork portion 230 and the X-direction moving distance M are calculated.

그리고, 정렬 이동모듈(430)은 위치 검출부(413)에 의해 산출된 기판 적재부(310)에 대한 포크부(230)의 상대 위치를 기초로 포크부(230)를 회전시키거나 X방향 또는 Y방향으로 이동시킨다.The alignment moving module 430 rotates the fork portion 230 based on the relative position of the fork portion 230 with respect to the substrate mounting portion 310 calculated by the position detecting portion 413, Direction.

이때, 도 8에서 도시한 바와 같이, 정렬 이동모듈(430)은, 위치 검출부(413)에서 검출한 기판 적재부(310)에 대한 포크부(230)의 상대 위치를 기초로 포크부(230)를 기판 적재부(310) 방향인 Y방향으로 이동시키는 제1 정렬부(431)와, 위치 검출부(413)에서 검출한 기판 적재부(310)에 대한 포크부(230)의 상대 위치를 기초로 포크부(230)를 이송라인(170) 방향인 X방향으로 이동시키는 제2 정렬부(433)와, 위치 검출부(413)에서 검출한 기판 적재부(310)에 대한 포크부(230)에 대한 상대 위치를 기초로 기판 적재부(310)에 대한 포크부(230)의 틸팅각도(Θ)를 조절하도록 포크부(230)를 회전시키는 제3 정렬부(435)를 포함한다.8, the aligning / moving module 430 moves the fork portion 230 based on the relative position of the fork portion 230 with respect to the substrate mounting portion 310 detected by the position detecting portion 413, Based on the relative position of the fork portion 230 with respect to the substrate mounting portion 310 detected by the position detecting portion 413, based on the relative position of the fork portion 230 to the substrate mounting portion 310, A second aligning portion 433 for moving the fork portion 230 in the X direction in the direction of the transfer line 170 and a second aligning portion 433 for moving the fork portion 230 relative to the substrate stacking portion 310 detected by the position detecting portion 413 And a third aligning part 435 for rotating the fork part 230 to adjust the tilting angle? Of the fork part 230 with respect to the substrate mounting part 310 based on the relative position.

전술한 바와 같이, 정렬 비젼모듈(410)로 기판 적재부(310)에 대한 포크부(230)의 상대 위치를 검출하고, 정렬 이동모듈(430)을 이용하여 기판 적재부(310)에 대해 포크부(230)를 용이하고 신속하게 정렬함으로써, 기판(G)의 로딩 및 언로딩 과정에 따른 작업시간을 단축할 수 있다.As described above, the alignment-vision module 410 detects the relative position of the fork portion 230 with respect to the substrate loading portion 310, and detects the relative position of the fork portion 230 with respect to the substrate loading portion 310 using the alignment- The time required for loading and unloading the substrate G can be shortened by aligning the portion 230 easily and quickly.

상기와 같이 구성되는 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 반송대차 시스템의 정렬방법을 설명하면 다음과 같다.The alignment method of the automatic conveyance truck system according to an embodiment of the present invention will now be described.

도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 반송대차 시스템의 정렬방법을 나타내는 순서도이다.11 is a flowchart showing an alignment method of an automatic conveyance truck system according to an embodiment of the present invention.

도 11을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 반송대차 시스템의 정렬방법은, 이송라인(170)을 따라 반송되는 자동 반송대차(200)를 기판 적재유닛(300)에 인접하게 이동시키는 단계(S100)와, 기판 적재유닛(300)에 적재된 기판(G)을 자동 반송대차(200)에 로딩하거나 자동 반송대차(200)에 적재된 기판(G)을 기판 적재유닛(300)으로 언로딩하기 위하여 기판 적재유닛(300)에 대해 자동 반송대차(200)를 정렬하는 단계(S200)를 포함한다.11, an aligning method of an automatic conveying and delivering system according to an embodiment of the present invention includes moving an automatic conveying carriage 200 conveyed along a conveying line 170 to a position adjacent to a substrate stacking unit 300 A step S100 of loading the substrate G stacked on the substrate stacking unit 300 onto the automatic transporting carriage 200 or mounting the substrate G loaded on the automatic transporting carriage 200 to the substrate stacking unit 300 And aligning the automatic transporting carriage 200 with respect to the substrate loading unit 300 for unloading (S200).

기판 적재유닛(300)에 적재된 기판(G)을 자동 반송대차(200)에 로딩하거나 자동 반송대차(200)에 적재된 기판(G)을 기판 적재유닛(300)으로 언로딩하고자 하는 경우에, 자동 반송대차(200)를 이송라인(170)에 인접하게 기판 적재유닛(300)에 인접하게 이동시킨다(S100).When it is desired to load the substrate G loaded on the substrate loading unit 300 into the automatic carrying bobbin 200 or unload the substrate G loaded on the automatic carrying bobbin 200 to the substrate loading unit 300 , The automatic conveyance truck 200 is moved adjacent to the boarding unit 300 adjacent to the transfer line 170 (S100).

자동 반송대차(200)의 이동은 본체부(210)의 하부에 마련된 구동모터와 구동휠(231)을 포함하는 이동부(270)의 동작에 의해 본체부(210)를 기판 적재유닛(300)에 인접하게 이동시킨다(S100).The movement of the automatic transfer bobbin 200 is performed by moving the main body 210 to the substrate stacking unit 300 by the operation of the moving unit 270 including the driving motor and the driving wheel 231 provided below the main body 210. [ (S100).

그리고, 자동 반송대차(200)를 기판 적재유닛(300)에 인접하게 이동시킨 경우, 기판 적재유닛(300)에 대해 자동 반송대차(200)를 정렬한다(S200).When the automatic transporting carriage 200 is moved adjacent to the substrate loading unit 300, the automatic transporting carriage 200 is aligned with respect to the substrate loading unit 300 (S200).

기판 적재유닛(300)에 대해 자동 반송대차(200)를 정렬하기 위해, 먼저 기판 적재유닛(300)에 대한 자동 반송대차(200)의 상대 위치를 검출하도록 기판 적재유닛(300)을 촬영한다(S210).The substrate stacking unit 300 is first photographed to detect the relative position of the automatic transfer bobbin 200 to the substrate stacking unit 300 in order to align the automatic transfer bobbin 200 with respect to the substrate stacking unit 300 S210).

즉, 기판 적재유닛(300)의 기판 적재부(310)에 대향되는 자동 반송대차(200)의 포크부(230)에 마련된 비젼부(411)를 이용하여 기판 적재부(310)를 중심으로 좌우 양측에 대칭되게 설치된 이미지 패턴(330)을 촬영한다.That is, by using the vision unit 411 provided on the fork unit 230 of the automatic transporting carriage 200 opposed to the substrate loading unit 310 of the substrate loading unit 300, The image pattern 330 installed symmetrically on both sides is photographed.

그리고, 촬영된 이미지 패턴(330)을 기초로 기판 적재부(310)에 대한 자동 반송대차(200)의 포크부(230)의 상대 위치를 검출한다(S230).The relative position of the fork portion 230 of the automatic transporting carriage 200 to the substrate loading portion 310 is detected based on the photographed image pattern 330 (S230).

즉, 비젼부(411)에 의해 촬영된 이미지 패턴(330)으로부터 기판 적재부(310)에 대한 포크부(230)의 상대 위치를 검출한다.That is, the relative position of the fork portion 230 with respect to the substrate loading portion 310 is detected from the image pattern 330 photographed by the vision portion 411.

기판 적재부(310)에 대한 포크부(230)의 상대 위치는 전술한 바와 같이, 기판 적재부(310)에 대한 포크부(230)의 틸팅각도(Θ), X방향 이동거리 및 Y방향 이동거리를 검출한다.The relative position of the fork portion 230 with respect to the substrate mounting portion 310 is determined by the tilting angle? Of the fork portion 230 with respect to the substrate mounting portion 310, the X- The distance is detected.

그리고, 검출된 기판 적재부(310)에 대한 포크부(230)의 상대 위치를 기초로 하여 기판 적재부(310)에 대해 포크부(230)를 정렬하도록 포크부(230)를 회전, X방향 및 Y방향으로 이동시다(S250).The fork part 230 is rotated to align the fork part 230 with respect to the substrate mounting part 310 based on the relative position of the fork part 230 with respect to the detected substrate mounting part 310, And moves in the Y direction (S250).

즉, 포크부(230)를 기판 적재부(310) 방향인 Y방향으로 이동시키고, 포크부(230)를 이송라인(170) 방향인 X방향으로 이동시키며, 포크부(230)를 기판 적재부(310)에 대한 틸팅 각도(Θ)만큼 회전시킨다.That is, the fork portion 230 is moved in the Y direction toward the substrate mounting portion 310, the fork portion 230 is moved in the X direction in the direction of the transfer line 170, (&Amp;thetas;) relative to the tilting angle &thetas;

그리고, 포크부(230)를 기판 적재부(310) 방향으로 이동시켜 기판 적재부(310)에 적재된 기판(G)을 로딩하거나 포크부(230)에 적재된 기판(G)을 기판 적재부(310)로 언로딩한다(S300).The fork part 230 is moved in the direction of the substrate mounting part 310 to load the substrate G mounted on the substrate mounting part 310 or the substrate G mounted on the fork part 230, (S300). ≪ / RTI >

이와 같이 본 발명은 기재된 실시 예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정 예 또는 변형 예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Accordingly, such modifications or variations are intended to fall within the scope of the appended claims.

110: 메인 제어부 130: 공정장비
170: 이송라인 200: 자동 반송대차
210: 본체부 230: 포크부
300: 기판 적재유닛 310: 기판 적재부
330: 이미지 패턴 400: 정렬유닛
410: 정렬 비젼모듈 411: 비젼부
413: 위치 검출부 430: 정렬 이동모듈110: main control unit 130: process equipment
170: Transfer line 200: Automatic conveyance truck
210: main body part 230: fork part
300: substrate mounting unit 310: substrate mounting unit
330: image pattern 400: alignment unit
410: alignment vision module 411: vision part
413: position detecting section 430: alignment moving module

Claims (17)

기판을 반송하는 자동 반송대차;
상기 자동 반송대차를 자동 반송시키기 위한 이송라인에 인접하게 배치되며 상기 기판이 적재되는 기판 적재부와, 상기 기판 적재부에 인접하게 설치되며 상기 기판 적재부에 대한 상기 자동 반송대차의 상대 위치를 검출가능하게 하는 정렬마크를 구비한 적어도 하나의 기판 적재유닛; 및
상기 자동 반송대차에 설치되어 상기 정렬마크를 촬영하고 촬영된 상기 정렬마크를 기초로 상기 기판 적재부에 대한 상기 자동 반송대차의 상대 위치를 검출하는 정렬 비젼모듈과, 상기 자동 반송대차에 설치되어 상기 정렬 비젼모듈에 의해 촬영된 상기 정렬마크에 대한 영상을 기초로 상기 기판 적재부에 대해 상기 자동 반송대차를 이동시키는 정렬 이동모듈을 구비한 정렬유닛을 포함하며,
상기 정렬마크는 상기 기판 적재부를 중심으로 좌우 양측에 대칭되게 마련된 이미지 패턴을 포함하며, 상기 이미지 패턴은 중심에서 좌우 양측으로 연속적으로 배치되고 중심에서 좌우 양측으로 갈수록 폭이 증가하는 복수의 격자문양을 포함하는 자동 반송대차 시스템.An automatic transport bogie for transporting a substrate;
A substrate loading section disposed adjacent to a transfer line for automatically transferring the automatic transfer bogie and on which the substrate is loaded; and a transfer section for transferring the substrate to the substrate loading section, detecting a relative position of the automatic transfer bogie to the substrate loading section At least one substrate stacking unit having an alignment mark enabling the substrate to be aligned; And
A sorting vision module installed on the automatic transporting carriage to photograph the alignment mark and detect the relative position of the automatic transporting carriage to the substrate loading section based on the picked up alignment mark; And an aligning and moving module for moving the automatic conveying carriage relative to the substrate stacking section based on the image of the alignment mark taken by the alignment vision module,
Wherein the alignment mark includes an image pattern symmetrically disposed on both sides of the substrate mounting part, the image pattern being continuously arranged from the center to both sides and having a plurality of grid patterns increasing in width from the center to both sides Including an automatic bounce lane system. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 정렬 비젼모듈은,
상기 자동 반송대차에 설치되어 상기 이미지 패턴을 촬영하는 비젼부를 포함하는 자동 반송대차 시스템.The method according to claim 1,
Wherein the alignment vision module comprises:
And a vision unit installed on the automatic conveyance truck for photographing the image pattern. 제5항에 있어서,
상기 비젼부는,
상기 자동 반송대차에 상기 이미지 패턴의 개수에 대응되는 개수로 설치되되, 각각의 상기 이미지 패턴을 촬영하도록 상기 기판 적재부를 중심으로 좌우 양측에 마련된 상기 이미지 패턴의 간격에 대응하여 상호 이격되게 설치되는 것을 특징으로 하는 자동 반송대차 시스템.6. The method of claim 5,
The vision unit includes:
Wherein the plurality of image forming units are provided on the automatic transporting carriage in a number corresponding to the number of the image patterns and are spaced apart from each other in correspondence to the intervals of the image patterns provided on both sides of the substrate loading unit Features an automatic bogie system. 제5항에 있어서,
상기 정렬 비젼모듈은,
상기 자동 반송대차에 설치되되, 상기 비젼부에 의해 촬영된 상기 이미지 패턴을 기초로 상기 기판 적재부에 대한 상기 자동 반송대차의 상대 위치를 검출하는 위치 검출부를 더 포함하는 자동 반송대차 시스템.6. The method of claim 5,
Wherein the alignment vision module comprises:
Further comprising: a position detection unit that is provided on the automatic transporting carriage and detects a relative position of the automatic transporting carriage to the substrate loading unit based on the image pattern photographed by the vision unit. 제7항에 있어서,
상기 자동 반송대차는,
본체부; 및
상기 본체부에 상기 기판 적재부 방향으로 출몰 가능하게 마련되되, 상기 기판을 로딩 및 언로딩하는 포크부를 포함하며,
상기 비젼부는, 상기 포크부에 설치되며,
상기 위치 검출부는, 상기 비젼부에 의해 촬영된 상기 이미지 패턴을 기초로 상기 기판 적재부에 대한 상기 포크부의 상대 위치를 검출하는 것을 특징으로 하는 자동 반송대차 시스템.8. The method of claim 7,
Wherein the automatic conveying truck includes:
A body portion; And
And a fork portion provided on the main body portion so as to protrude / retract toward the substrate mounting portion and to load and unload the substrate,
Wherein the vision unit is provided on the fork portion,
Wherein the position detection section detects a relative position of the fork section with respect to the substrate mounting section based on the image pattern photographed by the vision section. 제8항에 있어서,
상기 정렬 이동모듈은,
상기 위치 검출부에서 검출한 상기 기판 적재부에 대한 상기 포크부의 상대 위치를 기초로, 상기 포크부를 상기 기판 적재부 방향으로 이동시키는 제1 정렬부;
상기 위치 검출부에서 검출한 상기 기판 적재부에 대한 상기 포크부의 상대 위치를 기초로, 상기 포크부를 상기 이송라인 방향으로 이동시키는 제2 정렬부; 및
상기 위치 검출부에서 검출한 상기 기판 적재부에 대한 상기 포크부의 상대 위치를 기초로, 상기 기판 적재부에 대한 상기 포크부의 틸팅각도를 조절하도록 상기 포크부를 회전시키는 제3 정렬부를 포함하는 자동 반송대차 시스템.9. The method of claim 8,
The alignment movement module comprises:
A first aligning part for moving the fork part toward the substrate mounting part based on a relative position of the fork part to the substrate mounting part detected by the position detecting part;
A second aligning part for moving the fork part in the conveying line direction based on the relative position of the fork part to the substrate mounting part detected by the position detecting part; And
And a third aligning portion for rotating the fork portion so as to adjust a tilting angle of the fork portion with respect to the substrate stacking portion, based on a relative position of the fork portion to the substrate stacking portion detected by the position detecting portion . 제8항에 있어서,
상기 자동 반송대차는,
상기 본체부에 마련되되, 상기 본체부가 상기 이송라인을 따라 주행하도록 안내하는 가이드 센서를 더 포함하며,
상기 가이드 센서는,
상기 본체부에 마련되어 상기 본체부의 상기 이송라인 방향의 주행을 센싱하는 제1 가이드 센서; 및
상기 본체부에 마련되어 상기 본체부의 상기 이송라인 방향과 교차되는 방향의 주행을 센싱하는 제2 가이드 센서를 포함하는 자동 반송대차 시스템.9. The method of claim 8,
Wherein the automatic conveying truck includes:
Further comprising a guide sensor provided in the main body part, the guide sensor guiding the main body part to travel along the transfer line,
Wherein the guide sensor comprises:
A first guide sensor provided in the main body to sense a travel of the main body in the direction of the transfer line; And
And a second guide sensor provided on the main body to sense a traveling in a direction intersecting with the conveyance line direction of the main body. 기판이 적재되는 기판 적재부와 상기 기판 적재부에 인접하게 설치되며 상기 기판 적재부에 대한 자동 반송대차의 상대 위치를 검출가능하게 하는 정렬마크를 구비한 기판 적재유닛에 인접하게 이송라인을 따라 자동 반송대차를 이동시키는 단계;
상기 기판 적재부에 대한 상기 자동 반송대차의 상대 위치를 검출하도록 상기 자동 반송대차에 설치된 비젼부를 이용하여 상기 정렬마크를 촬영하는 단계; 및
촬영된 상기 정렬마크에 대한 영상을 기초로 상기 기판 적재부에 대해 상기 자동 반송대차를 이동시키는 단계를 포함하며,
상기 정렬마크는 상기 기판 적재부를 중심으로 좌우 양측에 대칭되게 마련된 이미지 패턴을 포함하며, 상기 이미지 패턴은 중심에서 좌우 양측으로 연속적으로 배치되고 중심에서 좌우 양측으로 갈수록 폭이 증가하는 복수의 격자문양을 포함하는 자동 반송대차 시스템 정렬방법.A substrate stacking apparatus comprising: a substrate stacking section for stacking a substrate thereon; and a substrate stacking section provided adjacent to the substrate stacking section and having an alignment mark for detecting a relative position of an automatic transporting carriage to the substrate stacking section, Moving the conveying carriage;
Photographing the alignment mark using a vision part provided on the automatic conveyance truck to detect a relative position of the automatic conveyance truck to the board stacking part; And
Moving the automatic transporting bogie with respect to the substrate loading section based on the image of the alignment mark taken,
Wherein the alignment mark includes an image pattern symmetrically disposed on both sides of the substrate mounting part, the image pattern being continuously arranged from the center to both sides and having a plurality of grid patterns increasing in width from the center to both sides Comprising an automated teller machine system sorting method. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제11항에 있어서,
상기 비젼부에 의해 촬영된 상기 정렬마크를 기초로 상기 기판 적재부에 대한 상기 자동 반송대차의 상대 위치를 검출하는 단계를 더 포함하는 자동 반송대차 시스템의 정렬방법.12. The method of claim 11,
And detecting the relative position of the automatic transporting carriage to the substrate loading section based on the alignment mark taken by the vision section. 제15항에 있어서,
상기 기판 적재부에 대한 상기 자동 반송대차의 상대 위치를 검출하는 단계는,
상기 자동 반송대차에 상기 기판 적재부 방향으로 출몰 가능하게 마련된 포크부의 상기 기판 적재부에 대한 상대 위치를 검출하는 것을 특징으로 하는 자동 반송대차 시스템의 정렬방법.16. The method of claim 15,
Wherein the step of detecting the relative position of the automatic transporting carriage to the substrate loading section comprises:
Wherein a relative position of the fork portion provided in the automatic carrier to the substrate loading portion in a direction toward the substrate loading portion relative to the substrate loading portion is detected. 제16항에 있어서,
상기 기판 적재부에 대해 상기 자동 반송대차를 이동시키는 단계는,
상기 기판 적재부에 대한 상기 포크부의 상대 위치를 기초로, 상기 포크부를 상기 기판 적재부 방향으로 이동시키고, 상기 포크부를 상기 이송라인 방향으로 이동시키며, 상기 기판 적재부에 대한 상기 포크부의 틸팅각도를 조절하도록 상기 포크부를 회전시키는 것을 특징으로 하는 자동 반송대차 시스템의 정렬방법.17. The method of claim 16,
Wherein the step of moving the automatic transporting truck with respect to the substrate loading section comprises:
Wherein the fork portion is moved in the direction of the substrate mounting portion and the fork portion is moved in the direction of the transfer line based on a relative position of the fork portion with respect to the substrate loading portion, And the fork portion is rotated so as to adjust the fork portion.
KR1020130117802A 2013-10-02 2013-10-02 Auto guided vehicle system and the method of alignning the same KR101530026B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130117802A KR101530026B1 (en) 2013-10-02 2013-10-02 Auto guided vehicle system and the method of alignning the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130117802A KR101530026B1 (en) 2013-10-02 2013-10-02 Auto guided vehicle system and the method of alignning the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20150039345A KR20150039345A (en) 2015-04-10
KR101530026B1 true KR101530026B1 (en) 2015-06-18

Family

ID=53029666

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020130117802A KR101530026B1 (en) 2013-10-02 2013-10-02 Auto guided vehicle system and the method of alignning the same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101530026B1 (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010084581A (en) * 2000-02-28 2001-09-06 윤종용 Method for controlling operate of automatic guided vehicle
JP2003321102A (en) * 2002-05-02 2003-11-11 Tokyo Electron Ltd System for automatic guided vehicle
KR20080045470A (en) * 2006-11-20 2008-05-23 엘지디스플레이 주식회사 Cassette transfer vehicle and substrate transfer system using the same
KR20090023840A (en) * 2007-09-03 2009-03-06 엘지디스플레이 주식회사 Automatic guided vehicle system and control methode of the same

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010084581A (en) * 2000-02-28 2001-09-06 윤종용 Method for controlling operate of automatic guided vehicle
JP2003321102A (en) * 2002-05-02 2003-11-11 Tokyo Electron Ltd System for automatic guided vehicle
KR20080045470A (en) * 2006-11-20 2008-05-23 엘지디스플레이 주식회사 Cassette transfer vehicle and substrate transfer system using the same
KR20090023840A (en) * 2007-09-03 2009-03-06 엘지디스플레이 주식회사 Automatic guided vehicle system and control methode of the same

Also Published As

Publication number Publication date
KR20150039345A (en) 2015-04-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI770232B (en) Transport vehicle and transport facility
KR101771094B1 (en) Aline loading device for glass panel ane loading method for glass panel using it
JP4296914B2 (en) Position teaching device and transport system including the same
JP7288336B2 (en) Alignment system, deposition apparatus, alignment method, deposition method, and electronic device manufacturing method
JP7224165B2 (en) Alignment equipment, vapor deposition equipment, and electronic device manufacturing equipment
US20190148201A1 (en) Wafer positioning and loading system
KR20200074006A (en) Vapor deposition apparatus, manufacturing apparatus of electronic device, and vapor deposition method
KR101746605B1 (en) System for transferring cassette
US20200190660A1 (en) Transport carrier, deposition apparatus, and electronic device manufacturing apparatus
WO2022206791A1 (en) Picking system and method
US20150207108A1 (en) Deposition apparatus, method of manufacturing organic light emitting display apparatus, and organic light emitting display apparatus
KR101530026B1 (en) Auto guided vehicle system and the method of alignning the same
CN111717673A (en) Tray conveying device and panel conveying system
CN114735459A (en) Automatic transfer system and automatic transfer method
KR101640125B1 (en) Apparatus for exchanging battery of automatic guided vehicle
CN112680696B (en) Film forming apparatus, electronic device manufacturing apparatus, film forming method, and electronic device manufacturing method
CN106455473A (en) Tray conveying device and installation device
JP4927776B2 (en) Component mounting method
KR101687297B1 (en) Apparatus for aligning transport carriage
KR101717380B1 (en) Transfer robot having Monitoring Image Function
TWI829780B (en) Loading system
KR102180636B1 (en) Modular in-line system to manufacture camera module and a manufacturing method using the system
CN113025985A (en) Rotary driving device, film forming apparatus, and method for manufacturing electronic device
KR100924267B1 (en) Chamfering apparatus for glass
KR101781550B1 (en) Cassette align port

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180515

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190401

Year of fee payment: 5