KR101717380B1 - Transfer robot having Monitoring Image Function - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 기판 이송 공정을 모니터링 하기 위한 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇에 관한 것이다.The present invention relates to a transport robot to which an image monitoring function for monitoring a substrate transporting process is added.
일반적으로 로봇은 여러 산업 분야에서 다양한 목적으로 이용되고 있는데, 반도체 제조 분야에서 기판을 이송하기 위해 반송로봇을 이용하는 것을 예로 들 수 있다.Generally, robots are used for various purposes in various industrial fields. For example, in the field of semiconductor manufacturing, a transfer robot is used to transfer a substrate.
이러한 반송로봇은 반도체웨이퍼, 액정표시장치용기판, 플라즈마디스플레이(plasma display)용기판, FED(Field Emission Display)용기판, 광디스크용기판, 자기디스크용기판, 광자기디스크용기판, 포토마스크(photomask)용기판 등의 다양한 형태의 기판을 카세트(cassette)로 효율적으로 이송하기 위한 로봇 시스템이다.Such a carrier robot can be used as a semiconductor wafer, a liquid crystal display device container plate, a plasma display container plate, an FED (Field Emission Display) container plate, an optical disk container plate, a magnetic disk container plate, ) Container board, and the like, into a cassette.
이렇게 반송로봇은 공정과 공정 사이에 설치되어 제품 제작에 사용되는 기판을 특정 카세트(cassette)에서 카세트(cassette)로 이송하여 다음 공정의 작업을 수행할 수 있도록 한다.The transfer robot is installed between the process and the process so that the substrate used in the production of the product can be transferred from a specific cassette to a cassette so that the next process can be performed.
여기서, 종래 기술에 따른 반송로봇은 기판을 이송하는 과정에서 기판을 이송하기 위한 암 또는 포크가 카세트에 충돌하거나 기판이 카세트에 충돌됨으로써, 상기 기판이 손상 내지 파손되는 문제가 있다. 이 때, 종래 기술에 따른 반송로봇은 상기 기판이 손상 내지 파손되는 사고 원인이 조작자의 실수에 의한 것인지 로봇 자체의 결함으로 인한 것인지 파악하기 어려운 문제가 있다.Here, the transport robot according to the related art has a problem that the arm or the fork for transporting the substrate in the course of transporting the substrate collides with the cassette or the substrate collides with the cassette, thereby damaging or damaging the substrate. At this time, there is a problem that it is difficult for the carrying robot according to the related art to determine whether the cause of the damage or breakage of the substrate is due to an operator's fault or a defect of the robot itself.
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 기판 이송 간에 발생하는 사고 원인을 파악할 수 있는 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇을 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a transport robot with a video monitoring function capable of detecting the cause of an accident occurring between transporting a substrate.
상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.In order to solve the above-described problems, the present invention can include the following configuration.
본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇은 기판을 이송하기 위한 반송로봇으로서, 기판을 지지하기 위한 제1포크를 포함하고 상기 제1포크를 제1후퇴위치와 제1전진위치 간에 제1이송경로를 따라 이동시키는 제1이송암; 기판을 지지하기 위한 제2포크를 포함하고 상기 제2포크를 제2후퇴위치와 제2전진위치 간에 제2이송경로를 따라 이동시키는 제2이송암; 및 상기 제1이송경로를 따라 이동하는 제1포크 및 상기 제2이송경로를 따라 이동하는 제2포크 모두에 대한 이송영상을 획득하기 위해 촬영영역이 상기 제1이송경로 및 상기 제2이송경로를 향하도록 설치되는 촬영부를 포함할 수 있다.A transport robot to which a video monitoring function according to the present invention is added is a transport robot for transporting a substrate. The transport robot includes a first fork for supporting a substrate, and the first fork is moved between a first retracted position and a first advance position, A first transfer arm for moving along the transfer path; A second transfer arm including a second fork for supporting a substrate and moving the second fork along a second transfer path between a second retracted position and a second retracted position; And an imaging region for acquiring a transport image for both a first fork moving along the first transport path and a second fork moving along the second transport path, And a photographing unit installed to face the camera.
본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇에 있어서, 상기 촬영부는 상기 제1이송경로의 일부 및 상기 제2이송경로의 일부가 상기 촬영영역에 속하도록 설치될 수 있다.In the transport robot having the image monitoring function according to the present invention, the photographing unit may be installed such that a part of the first transport path and a part of the second transport path belong to the photographing area.
본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇은 상기 제1이송암을 지지하기 위한 제1암베이스, 및 상기 제2이송암을 지지하기 위한 제2암베이스를 포함할 수 있다. 상기 제1암베이스는 상기 제2암베이스로부터 상측 방향으로 이격되게 설치되며, 상기 촬영부는 상기 제1암베이스의 상측에 위치하도록 상기 제1암베이스에 설치될 수 있다.The transfer robot having the image monitoring function according to the present invention may include a first arm base for supporting the first transfer arm and a second arm base for supporting the second transfer arm. The first arm base may be spaced upward from the second arm base, and the photographing unit may be installed on the first arm base to be positioned above the first arm base.
본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇은 상기 제1이송암을 지지하기 위한 제1암베이스, 상기 제2이송암을 지지하기 위한 제2암베이스, 상기 제1암베이스와 상기 제2암베이스가 결합되는 승강부재, 및 상기 승강부재가 승강 가능하게 결합되는 지지부를 포함할 수 있다. 상기 촬영부는 상기 승강부재 또는 상기 지지부에 설치될 수 있다.The conveying robot to which the image monitoring function according to the present invention is added includes a first arm base for supporting the first transfer arm, a second arm base for supporting the second transfer arm, a second arm base for supporting the first transfer arm, An elevating member to which the arm base is coupled, and a supporting portion to which the elevating member is elevably coupled. The photographing unit may be installed on the elevating member or the supporting unit.
본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇은 상기 제1이송암에 발생하는 충격을 감지하기 위한 제1센서부, 및 상기 제2이송암에 발생하는 충격을 감지하기 위한 제2센서부를 포함할 수 있다. 상기 제1이송암은 상기 제1포크에 결합되는 제1암기구를 포함하며, 상기 제2이송암은 상기 제2포크에 결합되는 제2암기구를 포함할 수 있다. 상기 제1센서부는 상기 제1암기구와 상기 제1포크 사이에 설치되며, 상기 제2센서부는 상기 제2암기구와 상기 제2포크 사이에 설치될 수 있다.The transport robot having the image monitoring function according to the present invention includes a first sensor unit for sensing an impact generated in the first transfer arm and a second sensor unit for sensing an impact generated in the second transfer arm can do. The first transfer arm may include a first arm mechanism coupled to the first fork, and the second transfer arm may include a second arm mechanism coupled to the second fork. The first sensor unit may be installed between the first arm mechanism and the first fork, and the second sensor unit may be installed between the second arm mechanism and the second fork.
본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇은 상기 제1이송암에 발생하는 충격을 감지하기 위한 제1센서부, 상기 제2이송암에 발생하는 충격을 감지하기 위한 제2센서부, 상기 촬영부가 촬영하는 영상을 저장하는 제1저장부, 및 상기 제1센서부 및 상기 제2센서부 중에서 적어도 하나가 감지한 충격이 기설정된 기준충격값 이상이면, 충격이 발생된 충격발생시점을 기준으로 기설정된 기준시간에 속하는 이송영상을 저장하는 제2저장부를 포함할 수 있다.The conveying robot to which the image monitoring function according to the present invention is added includes a first sensor unit for sensing an impact generated in the first transfer arm, a second sensor unit for sensing an impact generated in the second transfer arm, A first storage unit for storing an image taken by the photographing unit, and a second storage unit for storing an image of the shock generated when at least one of the first sensor unit and the second sensor unit detects an impact, And a second storage unit for storing the transported images belonging to the preset reference time.
본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇은 상기 제2저장부에 충격발생 영상이 저장되면, 알람신호를 출력하는 신호발생부를 포함할 수 있다.The transport robot having the image monitoring function according to the present invention may include a signal generator for outputting an alarm signal when an impact image is stored in the second storage unit.
본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 도모할 수 있다.According to the present invention, the following effects can be achieved.
본 발명은 하나의 영상장치로 복수개의 이송암이 기판을 이송하는 이송과정을 모니터링 할 수 있도록 구현됨으로써, 기판 이송영상을 획득하기 위한 비용을 절감할 수 있다.The present invention can reduce the cost of acquiring a substrate transfer image by being implemented to monitor a transfer process of transferring a plurality of transfer arms by a single imaging device.
본 발명은 기판 이송 과정을 모니터링 할 수 있는 영상장치를 설치함으로써 기판 이송 과정을 실시간으로 모니터링함으로써, 기판 이송 간에 발생하는 사고 원인을 정확하게 파악할 수 있다.The present invention monitors the substrate transfer process in real time by providing an imaging device capable of monitoring the substrate transfer process, so that the cause of the accident occurring between the substrate transfer can be grasped accurately.
도 1은 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇의 사시도
도 2는 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇에서 촬영부를 설명하기 위한 개략적인 개념도
도 3은 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇에서 제1이송암을 설명하기 위한 평면도
도 4는 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇에서 제2이송암을 설명하기 위한 평면도
도 5는 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇에서 제1암베이스 및 제2암베이스를 설명하기 위한 측면도
도 6은 본 발명의 변형된 실시예에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇을 설명하기 위한 평면도
도 7은 본 발명의 다른 변형된 실시예에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇을 설명하기 위한 평면도
도 8은 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇에서 제1저장부 및 제2저장부를 설명하기 위한 개략적인 블록도
도 9는 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇에서 제1센서부를 설명하기 위한 도 1의 P부분을 확대한 확대도
도 10은 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇에서 제2센서부를 설명하기 위한 도 1의 Q부분을 확대한 확대도1 is a perspective view of a conveying robot to which a video monitoring function according to the present invention is added;
2 is a schematic conceptual diagram for explaining a photographing unit in a carrying robot to which the image monitoring function according to the present invention is added.
3 is a plan view for explaining the first transfer arm in the transfer robot with the image monitoring function according to the present invention.
4 is a plan view for explaining the second transfer arm in the transfer robot with the image monitoring function according to the present invention.
FIG. 5 is a side view for explaining the first arm base and the second arm base in the carrying robot to which the image monitoring function according to the present invention is added
6 is a plan view for explaining a transport robot to which a video monitoring function according to a modified embodiment of the present invention is added
7 is a plan view for explaining a carrying robot to which an image monitoring function according to another modified embodiment of the present invention is added
8 is a schematic block diagram for explaining the first storage unit and the second storage unit in the transport robot to which the image monitoring function according to the present invention is added
FIG. 9 is an enlarged view of an enlarged portion P of FIG. 1 for explaining a first sensor unit in a carrying robot to which an image monitoring function according to the present invention is added; FIG.
FIG. 10 is an enlarged view of the Q portion of FIG. 1 for explaining the second sensor unit in the transport robot to which the image monitoring function according to the present invention is added
본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.The terms and words used in the present specification and claims should not be construed as limited to ordinary or dictionary meanings and the inventor may properly define the concept of the term to describe its invention in the best possible way And should be construed in accordance with the principles and meanings and concepts consistent with the technical idea of the present invention.
이하에서는 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of a transport robot to which an image monitoring function according to the present invention is added will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇의 사시도, 도 2는 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇에서 촬영부를 설명하기 위한 개략적인 개념도, 도 3은 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇에서 제1이송암을 설명하기 위한 평면도, 도 4는 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇에서 제2이송암을 설명하기 위한 평면도, 도 5는 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇에서 제1암베이스 및 제2암베이스를 설명하기 위한 측면도, 도 6은 본 발명의 변형된 실시예에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇을 설명하기 위한 평면도, 도 7은 본 발명의 다른 변형된 실시예에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇을 설명하기 위한 평면도, 도 8은 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇에서 제1저장부 및 제2저장부를 설명하기 위한 개략적인 블록도, 도 9는 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇에서 제1센서부를 설명하기 위한 도 1의 P부분을 확대한 확대도, 도 10은 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇에서 제2센서부를 설명하기 위한 도 1의 Q부분을 확대한 확대도이다.FIG. 1 is a perspective view of a conveying robot to which an image monitoring function according to the present invention is added, FIG. 2 is a schematic conceptual view for explaining a photographing unit in a conveying robot to which an image monitoring function according to the present invention is added, FIG. 4 is a plan view for explaining a second transfer arm in a transfer robot to which an image monitoring function according to the present invention is added, FIG. 5 is a plan view for explaining a second transfer arm in the transfer robot according to the present invention FIG. 6 is a side view for explaining a first arm base and a second arm base in a transport robot to which an image monitoring function according to a second embodiment of the present invention is added. FIG. 7 is a plan view for explaining a transport robot to which an image monitoring function according to another modified embodiment of the present invention is added, and FIG. 8 is a plan view FIG. 9 is a schematic block diagram for explaining the first storage unit and the second storage unit in the transport robot to which the monitoring function is added, FIG. 9 is a schematic block diagram for explaining the first sensor unit in the transport robot to which the image monitoring function according to the present invention is added, FIG. 10 is an enlarged view of the Q portion of FIG. 1 for explaining the second sensor unit in the transport robot to which the image monitoring function according to the present invention is added.
도 1 및 도 2를 참조하여 설명하면, 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇(1)은 카세트와 카세트 간에 또는 공정챔버와 카세트 간에 기판을 이동시키는 이송영상을 획득하기 위한 것이다.1 and 2, a
이를 위해, 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇(1)은 기판을 지지하기 위한 제1포크(21)를 포함하고 상기 제1포크(21)를 제1이송경로를 따라 이동시키는 제1이송암(2), 기판을 지지하기 위한 제2포크(31)를 포함하고 상기 제2포크(31)를 제2이송경로를 따라 이동시키는 제2이송암(3), 및 상기 제1포크(21) 및 상기 제2포크(31) 모두에 대한 이송영상을 획득하기 위한 촬영부(4)를 포함한다.To this end, the conveying
상기 기판(S)은 공정챔버에서 식각공정, 박막공정 등 소정의 공정이 완료된 기판일 수 있다. 상기 기판(S)은 상기 공정이 수행되기 전의 기판일 수도 있다. 상기 제1포크(21) 및 상기 제2포크(31)는 기판(S)을 지지한 상태에서 이동할 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 공정챔버나 카세트에 기판(S)을 반입시킨 후 다른 기판(S)을 이동시키기 위해 기판(S)을 지지하지 않은 상태에서 이동할 수도 있다.The substrate S may be a substrate on which a predetermined process such as an etching process or a thin film process is completed in the process chamber. The substrate S may be a substrate before the process is performed. The
상기 촬영부(4)가 촬영하는 영역을 촬영영역(F, 도 2에 도시됨)이라 한다. 상기 촬영부(4)는 상기 촬영영역(F, 도 2에 도시됨)이 상기 제1포크(21)가 기판(S)을 이송시키는 제1이송경로(R1, 도 2에 도시됨) 및 상기 제2포크(31)가 기판(S)을 이송시키는 제2이송경로(R2, 도 2에 도시됨)를 향하도록 설치될 수 있다.An area photographed by the photographing
이에 따라, 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇(1)은 다음과 같은 작용 효과를 도모할 수 있다.Accordingly, the carrying
첫째, 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇(1)은 상기 촬영영역(F)이 상기 제1이송경로(R1) 및 상기 제2이송경로(R2)를 향하도록 상기 촬영부(4)를 설치함으로써, 상기 제1포크(21) 및 상기 제2포크(31)가 상기 기판(S)을 이송하는 이송영상을 모두 획득할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇(1)은 상기 제1이송경로(R1) 및 상기 제2이송경로(R2) 각각에 촬영장치를 설치하지 않아도 되므로, 상기 기판(S)에 대한 이송영상을 획득하기 위한 설치비용을 절감할 수 있다.First, the conveying
둘째, 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇(1)은 상기 기판(S) 이송 과정에서 상기 기판(S), 상기 제1이송암(2), 상기 제2이송암(3) 중 적어도 하나가 공정챔버나 카세트 등에 충돌하는 영상을 실시간으로 모니터링할 수 있다.The
이하에서는 상기 제1이송암(2), 상기 제2이송암(3) 및 상기 촬영부(4)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the
도 2 및 도 3을 참고하면, 상기 제1이송암(2)은 기판(S)을 이송하기 위해 설치된다. 상기 제1이송암(2)은 기판(S)을 지지하기 전에는 상기 기판(S)을 향해 이동할 수 있다. 상기 제1이송암(2)은 기판(S)을 지지한 후에는 상기 기판(S)을 이송할 수 있다.Referring to FIGS. 2 and 3, the
상기 제1이송암(2)은 상기 제1포크(21)를 제1후퇴위치(B1, 도 2에 도시됨)와 제1전진위치(A1, 도 2에 도시됨) 간에 제1이송경로(R1, 도 2에 도시됨)를 따라 이동시킬 수 있다. 상기 제1이송암(2)은 상기 기판(S)을 이송하기 위해 제1포크(21) 및 제1암기구(22)를 포함할 수 있다. 상기 제1포크(21)는 상기 제1암기구(22)에 회전 가능하게 결합될 수 있다.The
상기 제1후퇴위치(B1)는 상기 제1이송암(2)이 접힌 상태일 경우에 제1포크(21)의 위치이다. 상기 제1이송암(2)이 접힌 상태는 상기 제1포크(21)와 상기 제1암기구(22)가 상측에서 보았을 때 중첩되는 경우이다. 상기 제1포크(21)가 상기 제1후퇴위치(B1)에 위치할 경우는, 상기 제1포크(21)가 공정챔버나 카세트로부터 기판을 반출한 경우이거나 공정챔버나 카세트에 기판을 반입하기 위해 대기하는 경우일 수 있다.The first retracted position B1 is the position of the
상기 제1전진위치(A1)는 상기 제1이송암(2)이 편 상태일 경우에 제1포크(21)의 위치이다. 상기 제1이송암(2)이 편 상태는 상기 제1포크(21)와 상기 제1암기구(22)가 상측에서 보았을 때 중첩되지 않는 경우이다. 상기 제1포크(21)가 상기 제1전진위치(A1)에 위치할 경우는, 상기 제1포크(21)가 공정챔버나 카세트로부터 기판을 반출하기 위해 공정챔버나 카세트에 삽입되는 경우이거나, 공정챔버나 카세트에 기판을 반입하기 위해 공정챔버나 카세트에 삽입되는 경우일 수 있다.The first advancing position A1 is a position of the
상기 제1이송경로(R1)는 상기 제1포크(21)가 상기 제1후퇴위치(B1)와 상기 제1전진위치(A1) 간에 이동하는 경로이다. 이에 따라, 상기 제1이송암(2)은 상기 제1포크(21)를 상기 제1후퇴위치(B1)와 상기 제1전진위치(A1) 간에 제1이송경로(R1)를 따라 이동시킬 수 있다.The first conveyance path R1 is a path through which the
상기 제1포크(21)는 기판(S)을 지지한다. 상기 제1포크(21)는 상기 제1암기구(22)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1포크(21)는 상기 제1암기구(22)의 회전에 관계없이 직선으로 기판(S)을 이송시키도록 할 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 곡선 등 다른 형태로 기판(S)을 이송시키도록 할 수도 있다.The
상기 제1포크(21)는 흡착공(미도시)을 포함할 수 있다. 상기 흡착공은 기판(S)과 접촉되는 접촉부분에 형성된 공기를 흡입함으로써, 접촉부분을 진공상태로 만들 수 있다. 이에 따라, 상기 제1포크(21)는 이송 간에 기판(S)이 떨어지는 것을 방지할 수 있다. 상기 흡착공은 상기 제1포크(21)에 복수개 형성될 수도 있다.The
상기 제1암기구(22)는 상기 제1포크(21)에 결합된다. 상기 제1암기구(22)는 한 개 이상의 제1암부재를 포함할 수 있다. 상기 제1암기구(22)는 서로 다른 방향으로 회전하는 복수개의 제1암부재를 이용하여 상기 제1포크(21)를 직선 혹은 곡선으로 이동시킬 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니고, 직선으로 이동하는 제1암부재를 이용하여 상기 제1포크(21)를 직선으로 이동시킬 수도 있다.The
도 2 및 도 4를 참고하면, 상기 제2이송암(3)은 기판(S)을 이송하기 위해 설치된다. 상기 제2이송암(3)은 상기 제1이송암(2)과 이격되게 설치될 수 있다. 예컨대, 상기 제2이송암(3)은 상기 제1이송암(2)의 하측에 이격되게 설치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2이송암(3) 및 상기 제1이송암(2)은 기판(S) 이송 간에 서로 간섭되지 않을 수 있다. 상기 제2이송암(3)은 기판(S)을 지지하기 전에는 상기 기판(S)을 향해 이동할 수 있다. 상기 제2이송암(3)은 기판(S)을 지지한 후에는 상기 기판(S)을 이송할 수 있다.2 and 4, the
상기 제2이송암(3)은 상기 제2포크(31)를 제2후퇴위치(B2, 도 2에 도시됨)와 제2전진위치(A2, 도 2에 도시됨) 간에 제2이송경로(R2, 도 2에 도시됨)를 따라 이동시킬 수 있다. 상기 제2이송암(3)은 상기 기판(S)을 이송하기 위해 제2포크(31) 및 제2암기구(32)를 포함할 수 있다. 상기 제2포크(31)는 상기 제2암기구(32)에 회전 가능하게 결합될 수 있다.The
상기 제2후퇴위치(B2)는 상기 제2이송암(3)이 접힌 상태일 경우에 제2포크(31)의 위치이다. 상기 제2이송암(3)이 접힌 상태는 상기 제2포크(31)와 상기 제2암기구(32)가 상측에서 보았을 때 중첩되는 경우이다. 상기 제2포크(31)가 상기 제2후퇴위치(B2)에 위치할 경우는, 상기 제2포크(31)가 공정챔버나 카세트로부터 기판을 반출한 경우이거나 공정챔버나 카세트에 기판을 반입하기 위해 대기하는 경우일 수 있다.The second retracted position B2 is the position of the
상기 제2전진위치(A2)는 상기 제2이송암(3)이 편 상태일 경우에 제2포크(31)의 위치이다. 상기 제2이송암(3)이 편 상태는 상기 제2포크(31)와 상기 제2암기구(32)가 상측에서 보았을 때 중첩되지 않는 경우이다. 상기 제2포크(31)가 상기 제2전진위치(A2)에 위치할 경우는, 상기 제2포크(31)가 공정챔버나 카세트로부터 기판을 반출하기 위해 공정챔버나 카세트에 삽입되는 경우이거나, 공정챔버나 카세트에 기판을 반입하기 위해 공정챔버나 카세트에 삽입되는 경우일 수 있다.The second advancing position A2 is the position of the
상기 제2이송경로(R2)는 상기 제2포크(31)가 상기 제2후퇴위치(B2)와 상기 제2전진위치(A2) 간에 이동하는 경로이다. 이에 따라, 상기 제2이송암(3)은 상기 제2포크(31)를 상기 제2후퇴위치(B2)와 상기 제2전진위치(A2) 간에 제2이송경로(R2)를 따라 이동시킬 수 있다.The second transport path R2 is a path through which the
상기 제2포크(31)는 기판(S)을 지지한다. 상기 제2포크(31)는 상기 제2암기구(32)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2포크(31)는 상기 제2암기구(32)의 회전에 관계없이 직선으로 기판(S)을 이송시키도록 할 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 곡선 등 다른 형태로 기판(S)을 이송시키도록 할 수도 있다.The
상기 제2포크(31)는 흡착공(미도시)을 포함할 수 있다. 상기 흡착공은 기판(S)과 접촉되는 접촉부분에 형성된 공기를 흡입함으로써, 접촉부분을 진공상태로 만들 수 있다. 이에 따라, 상기 제3포크(31)는 이송 간에 기판(S)이 떨어지는 것을 방지할 수 있다. 상기 흡착공은 상기 제2포크(31)에 복수개 형성될 수도 있다.The
상기 제2암기구(32)는 상기 제2포크(31)에 결합된다. 상기 제2암기구(32)는 한 개 이상의 제2암부재를 포함할 수 있다. 상기 제2암기구(32)는 서로 다른 방향으로 회전하는 복수개의 제2암부재를 이용하여 상기 제2포크(31)를 직선 혹은 곡선으로 이동시킬 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니고, 직선으로 이동하는 제2암부재를 이용하여 상기 제2포크(31)를 직선으로 이동시킬 수도 있다.The second arm mechanism (32) is coupled to the second fork (31). The
도 2 내지 도 4를 참고하면, 상기 제1이송암(2) 및 상기 제2이송암(3)은 기판(S)을 카세트에 반입시키거나 카세트로부터 반출시키기 위해 순차적으로 카세트에 삽입될 수 있다. 이 경우, 상기 제1이송경로(R1) 및 상기 제2이송경로(R2)는 순차적으로 상기 촬영영역(F)에 위치될 수 있다.2 to 4, the
예컨대, 상기 제1이송암(2)이 상기 제1전진위치(A1)에 위치될 경우, 상기 제2이송암(3)은 상기 제2후퇴위치(B2)에 위치될 수 있다. 이 경우, 상기 제1이송암(2)은 카세트에 기판(S)을 반입시키거나 카세트로부터 기판(S)을 반출시킬 수 있다. 이 경우, 상기 촬영부(4)는 상기 제1이송암(2)이 상기 제1이송경로(R1)를 따라 기판(S)을 이송하는 이송 과정을 촬영할 수 있다.For example, when the
예컨대, 상기 제2이송암(3)이 상기 제2전진위치(A2)에 위치될 경우, 상기 제1이송암(2)은 상기 제1후퇴위치(B1)에 위치될 수 있다. 이 경우, 상기 제2이송암(3)은 카세트에 기판(S)을 반입시키거나 카세트로부터 기판(S)을 반출시킬 수 있다. 이 경우, 상기 촬영부(4)는 상기 제2이송암(3)이 상기 제2이송경로(R2)를 따라 기판(S)을 이송하는 이송 과정을 촬영할 수 있다.For example, when the
이에 따라, 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇(1)은 상기 제1이송암(2) 및 상기 제2이송암(3)이 카세트에 순차적으로 삽입되도록 구현됨으로써, 기판 이송 간에 서로 충돌되는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 카세트에 안정적으로 기판(S)을 반입시키거나 카세트로부터 안정적으로 기판(S)을 반출시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇(1)은 상기 제1이송암(2) 및 상기 제2이송암(3)이 카세트에 순차적으로 삽입되도록 구현됨으로써, 상기 제1이송암(2) 및 상기 제2이송암(3)이 카세트에 동시에 삽입될 경우에 상기 제1이송암(2)으로 인해 상기 제2이송암(3)이 기판을 이송하는 과정을 상기 촬영부(4)가 촬영하지 못하는 것을 방지할 수 있다.Accordingly, the conveying
도시되지 않았지만, 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇(1)은 상기 제1이송암(2) 및 상기 제2이송암(3)이 동시에 카세트에 삽입되도록 구현될 수도 있다. 이 경우, 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇(1)은 카세트에 기판(S)을 반입시키거나 카세트로부터 기판(S)을 반출시키는 속도를 향상시킬 수 있다.Although not shown, the conveying
도 2 내지 도 4를 참고하면, 상기 촬영부(4)는 기판(S)을 이송하는 기판 이송영상을 획득하기 위해 설치된다. 예컨대, 상기 촬영부(4)는 상기 촬영영역(F, 도 2에 도시됨)이 상기 제1이송경로(R1) 및 상기 제2이송경로(R2)를 향하도록 상기 반송로봇(1)에 설치됨으로써, 상기 제1이송경로(R1)를 따라 이동하는 제1포크(21) 및 상기 제2이송경로(R2)를 따라 이동하는 제2포크(31) 모두에 대한 이송영상을 획득할 수 있다.2 to 4, the photographing
상기 촬영부(4)는 상기 반송로봇(1)에 고정되게 설치됨으로써, 고정된 촬영영역에서 기판(S)을 이송하는 이송과정을 촬영할 수 있다. 상기 촬영부(4)는 상기 반송로봇(1)에 회전 가능하게 설치됨으로써, 다양한 촬영영역에서 기판(S)을 이송하는 이송과정을 촬영할 수도 있다. 이 경우, 상기 촬영부(4)는 작업자에 의해 기설정된 방향으로 회전할 수도 있고, 작업자에 의해 수동으로 회전할 수도 있다. 상기 촬영부(4)는 전기모터와 같은 구동장치(미도시)에 의해 회전될 수 있다.The photographing
도시되지 않았지만, 상기 촬영부(4)는 영상을 표시하는 디스플레이 장치(미도시)에 유선통신 및 무선통신 중 적어도 하나의 통신 방법으로 연결될 수 있다. 이에 따라, 상기 촬영부(4)는 촬영하는 이송영상을 상기 디스플레이 장치로 전달할 수 있다. 예컨대, 상기 촬영부(4)는 작업자가 휴대하고 다니는 핸드폰과 같은 모바일 디스플레이 장치에 무선통신으로 연결될 수 있다. 이 경우, 작업자는 멀리 떨어진 곳에서도 기판 이송 공정을 확인할 수 있을 뿐만 아니라, 이동하면서도 실시간으로 기판 반송 공정을 확인할 수 있다. 상기 촬영부(4)는 CCD(Charge Coupled Device)를 포함하는 CCTV(Closed Circuit Television)와 같은 카메라일 수 있다.Although not shown, the photographing
상기 촬영부(4)는 상기 제1이송경로(R1) 및 상기 제2이송경로(R2)가 상기 촬영영역(F)에 모두 속하도록 설치될 수 있다. 예컨대, 상기 촬영부(4)는 상기 제1이송경로(R1) 및 상기 제2이송경로(R2)로부터 멀리 이격된 위치에 설치됨으로써, 상기 제1이송경로(R1) 및 상기 제2이송경로(R2) 전체를 촬영할 수 있다. 이 경우, 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇(1)은 상기 제1포크(21) 및 상기 제2포크(31)가 이동하는 이동거리 전체에 대한 이송영상을 획득할 수 있으므로, 기판 이송 과정 전체를 빠짐없이 모니터링 할 수 있다.The photographing
상기 촬영부(4)는 상기 제1이송경로(R1)의 일부 및 상기 제2이송경로(R2)의 일부가 상기 촬영영역(F)에 속하도록 설치될 수 있다. 예컨대, 상기 촬영부(4)는 상기 제1이송경로(R1) 및 상기 제2이송경로(R2)에 가까운 위치에 설치됨으로써, 상기 제1이송경로(R1) 및 상기 제2이송경로(R2)의 일부를 촬영할 수 있다. 이 경우, 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇(1)은 상기 제1이송경로(R1) 및 상기 제2이송경로(R2) 전체를 촬영하도록 설치되는 경우에 비해 높은 해상도의 기판 이송영상을 획득할 수 있다.The photographing
따라서, 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇(1)은 다음과 같은 작용 효과를 도모할 수 있다.Therefore, the conveying
첫째, 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇(1)은 상기 촬영부(4)가 상기 제1이송경로(R1) 및 상기 제2이송경로(R2)의 전체 또는 일부를 촬영하도록 구현됨으로써, 상기 제1이송경로(R1) 및 상기 제2이송경로(R2) 각각에 촬영장치를 설치하지 않아도 되므로 기판 이송영상을 획득하기 위한 설치비용을 절감할 수 있다.First, the
둘째, 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇(1)은 기판(S) 이송 과정에서 상기 기판(S), 상기 제1이송암(2), 상기 제2이송암(3) 중 적어도 하나가 공정챔버나 카세트 등에 충돌하는 영상을 실시간으로 모니터링할 수 있으므로, 상기 기판(S) 이송 과정에서 발생하는 사고에 대한 원인을 정확하게 파악할 수 있다.The
도 3 내지 도 5를 참고하면, 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇(1)은 제1암베이스(5), 제2암베이스(6), 승강부재(7) 및 지지부(8)를 포함할 수 있다.3 to 5, the conveying
상기 제1암베이스(5)는 상기 제1이송암(2)을 지지한다. 예컨대, 상기 제1암베이스(5)는 일측이 승강부재(7, 도 5에 도시됨)에 결합됨으로써, 타측에 결합되는 상기 제1이송암(2)을 지지할 수 있다. 이 경우, 상기 제1이송암(2)은 상기 제1암베이스(5)의 하측에 위치하도록 상기 제1암베이스(5)에 결합될 수 있다. 상기 제1암베이스(5)는 상기 승강부재(7)가 상기 지지부(8)를 따라 승강함으로써 승강할 수 있다. 이 경우, 상기 제1이송암(2)은 상기 제1암베이스(5)에 지지된 상태에서 승강될 수 있다. 상기 제1암베이스(5)는 상기 승강부재(7)에 승강 가능하게 설치될 수도 있다.The first arm base (5) supports the first transfer arm (2). For example, the
상기 제1암베이스(5)는 상기 승강부재(7)에서 돌출되게 상기 승강부재(7)에 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1이송암(2)은 상기 승강부재(7)에 간섭되지 않고 기판(S)을 상기 제1후퇴위치(B1)와 상기 제1전진위치(A1) 간에 제1이송경로(R1)를 따라 이송시킬 수 있다.The
상기 제2암베이스(6)는 상기 제2이송암(3)을 지지한다. 예컨대, 상기 제2암베이스(6)는 일측이 상기 승강부재(7)에 결합됨으로써, 타측에 결합되는 상기 제2이송암(3)을 지지할 수 있다. 상기 제2암베이스(6)는 상기 제1암베이스(5)에 이격되게 설치될 수 있다. 예컨대, 상기 제2암베이스(6)는 상기 제1암베이스(5)의 하측으로 이격되게 설치될 수 있다. 이 경우, 상기 제2이송암(3)은 상기 제2암베이스(6)의 상측에 위치하도록 상기 제2암베이스(6)에 결합될 수 있다. 상기 제2암베이스(6)는 상기 승강부재(7)가 상기 지지부(8)를 따라 승강함으로써 승강할 수 있다. 이 경우, 상기 제2이송암(3)은 상기 제2암베이스(6)에 지지된 상태에서 승강될 수 있다. 상기 제2암베이스(6)는 상기 승강부재(7)에 승강 가능하게 설치될 수도 있다.The second arm base (6) supports the second transfer arm (3). For example, the
상기 제2암베이스(6)는 상기 승강부재(7)에서 돌출되게 상기 승강부재(7)에 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2이송암(3)은 상기 승강부재(7)에 간섭되지 않고 기판(S)을 상기 제2후퇴위치(B2)와 상기 제2전진위치(A2) 간에 제2이송경로(R2)를 따라 이송시킬 수 있다.The
상기 제1암베이스(5)는 상기 제2암베이스(6)로부터 상측 방향으로 이격되게 설치된다. 이에 따라, 상기 제1이송암(2) 및 상기 제2이송암(3)은 상기 제1암베이스(5)와 상기 제2암베이스(6) 사이로 상기 제1포크(21)가 지지하는 기판 및 상기 제2포크(31)가 지지하는 기판을 이송시킬 수 있다. 즉, 상기 제1이송경로(R1) 및 상기 제2이송경로(R2)는 상기 제1암베이스(5)와 상기 제2암베이스(6) 사이를 관통하여 형성될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇(1)은 상기 제1암베이스(5)와 상기 제2암베이스(6)가 이격되게 설치됨으로써, 상기 제1이송암(2) 및 상기 제2이송암(3)이 기판(S) 이송 간에 서로 충돌하는 것을 방지할 수 있다. 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇(1)은 상기 제1이송암(2)이 이송하는 기판 및 상기 제2이송암(3)이 이송하는 기판이 서로 충돌하지 않고 더 안전하게 이송될 수 있도록 상기 제1암베이스(5)와 상기 제2암베이스(6)의 이격된 이격거리를 더 증가시킬 수도 있다.The
상기 승강부재(7)에는 상기 제1암베이스(5) 및 상기 제2암베이스(6)가 결합된다. 상기 승강부재(7)는 상기 지지부(8)에 승강 가능하게 결합된다. 이에 따라, 상기 제1암베이스(5) 및 상기 제2암베이스(6)는 상기 승강부재(7)가 승강함에 따라 승강될 수 있다. 따라서, 상기 제1이송암(2) 및 상기 제2이송암(3)도 함께 승강될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 승강부재(7)는 승강구동부(미도시)로부터 구동력을 제공받아 승강할 수 있다. 이 경우, 상기 승강구동부는 상기 지지부(8)에 설치될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 승강부재(7)를 승강 시킬 수 있으면 다른 위치에 설치될 수도 있다. 상기 승강부재(7)가 승강함에 따라 상기 제1이송암(2) 및 상기 제2이송암(3)은 높은 곳에 위치된 기판(S) 또는 낮은 곳에 위치된 기판(S)을 카세트에 용이하게 반입시키거나 카세트로부터 용이하게 반출시킬 수 있다.The first arm base (5) and the second arm base (6) are coupled to the elevation member (7). The elevating
상기 지지부(8)는 상기 승강부재(7)가 승강 가능하도록 상기 승강부재(7)를 지지한다. 상기 지지부(8)는 상기 승강부재(7)에 비해 긴 길이로 형성됨으로써, 상기 승강부재(7)가 높은 위치로 올라오게 할 수 있다. 이에 따라, 상기 제1이송암(2) 및 상기 제2이송암(3)도 높은 위치로 올라올 수 있으므로, 상기 제1이송암(2) 및 상기 제2이송암(3)은 높은 위치에 위치된 기판(S)을 이송시킬 수 있다. 상기 지지부(8)는 선회부에 결합됨으로써, 상기 선회부가 회전함에 따라 함께 회전될 수 있다. 상기 지지부(8)는 상기 제1이송암(2) 및 상기 제2이송암(3)이 상기 승강부재(7)에 결합된 제1방향에 대해 수직한 제2방향으로 상기 승강부재(7)에 결합될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇(1)은 상기 기판(S)을 이송시키기 위한 회전 반경을 줄임으로써, 좁은 설치공간에도 설치될 수 있다.The
도 6 및 도 7은 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇(1)에서 상기 촬영부(4)가 다양한 위치에 설치된 변형된 실시예를 나타낸 것이다. 도 6은 상기 촬영부(4)가 상기 지지부(8)에 설치된 경우이고, 도 7은 상기 촬영부(4)가 상기 승강부재(7)에 설치된 경우이다. 도 3은 상기 촬영부(4)가 상기 제1암베이스의 상면(5a)에 설치된 경우이다. 도 1은 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇의 사시도로, 상기 촬영부(4)의 설치위치에 대한 이해를 돕기 위해 함께 참고하기로 한다.6 and 7 show modified embodiments in which the photographing
도 1 및 도 6을 참고하면, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇(1)은 상기 촬영부(4)가 상기 지지부의 상면(8a)에 설치된 경우이다. 이 경우, 도 1을 참고하면 상기 촬영부(4)는 상기 반송로봇(1)에서 가장 높은 위치에 설치된다. 이에 따라, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇(1)은 가장 넓은 촬영영역(F)을 가지므로, 가장 긴 제1이송경로(R1) 및 제2이송경로(R2)를 따라 이동하는 제1포크(21) 및 제2포크(31)의 이송영상을 획득할 수 있다. 따라서, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇(1)은 가장 광범위한 기판 이송영상을 획득할 수 있다.Referring to FIGS. 1 and 6, a
도 1 및 도 7을 참고하면, 본 발명의 다른 변형된 실시예에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇(1)은 상기 촬영부(4)가 상기 승강부재의 상면(7a)에 설치된 경우이다. 이 경우, 상기 촬영부(4)는 상기 변형된 실시예에 비해 상기 제1이송경로(R1) 및 상기 제2이송경로(R2)에 가깝게 위치되게 설치된다. 이에 따라, 본 발명의 다른 변형된 실시예에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇(1)은 상기 변형된 실시예에 비해 더 높은 해상도를 가지는 기판 이송영상을 획득할 수 있다.Referring to FIGS. 1 and 7, the
도 1 및 도 3을 참고하면, 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇(1)은 상기 촬영부(4)가 상기 제1암베이스의 상면(5a)에 설치된 경우이다. 이 경우, 상기 촬영부(4)는 도 6 및 도 7에 비해 상기 제1이송경로(R1) 및 상기 제2이송경로(R2)에 가장 가깝게 위치되게 설치된다. 또한, 상기 촬영부(4)는 도 6 및 도 7에 비해 상기 제1이송암(2) 및 상기 제2이송암(3)이 기판(S)을 카세트에 반입시키거나 반출시키는 방향과 거의 일직선 상에 위치되도록 설치된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇(1)은 도 6 및 도 7에 비해 더 높은 해상도를 가지는 기판 이송영상을 획득할 수 있을 뿐만 아니라, 편심되지 않는 위치에서 기판 이송영상을 획득할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇(1)은 높은 해상도 및 정확한 기판 이송에 대한 최적의 영상을 획득할 수 있다.Referring to FIGS. 1 and 3, the carrying
도 8 내지 도 10을 참고하면, 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇(1)은 제1센서부(9), 제2센서부(10), 제1저장부(11), 제2저장부(12) 및 신호발생부(13)를 포함할 수 있다.8 to 10, the conveying
상기 제1센서부(9)는 상기 제1이송암(2)에 발생하는 충격을 감지하기 위해 설치된다. 예컨대, 상기 충격은 기판(S)과 기판(S)이 충돌하는 경우, 기판(S)과 공정챔버가 충돌하는 경우, 기판(S)과 카세트가 충돌하는 경우, 상기 제1이송암(2)과 기판(S)이 충돌하는 경우, 상기 제1이송암(2)과 공정챔버가 충돌하는 경우, 상기 제1이송암(2)과 카세트가 충돌하는 경우, 상기 제1이송암(2)과 상기 제2이송암(3)이 충돌하는 경우 등 다양한 경우에 발생할 수 있다.The
상기 제1센서부(9)는 상기 제1포크(21)와 상기 제1암기구(22) 사이에 설치되어 충격을 감지할 수 있다. 상기 제1센서부(9)는 충격을 감지하되, 감지하는 정도는 작업자에 의해 미리 설정될 수 있다. 상기 제1센서부(9)는 기판 이송 간에 충격을 감지할 수 있으면 상기 반송로봇(1)의 다른 위치에 설치될 수 있다. 상기 제1센서부(9)는 상기 제1이송암(2)에 복수개 이격되게 설치됨으로써, 다양한 위치에서 기판(S) 또는 상기 제1이송암(2)에 대한 충격을 감지할 수 있다. 예컨대, 상기 제1센서부(9)는 충격감지센서일 수 있다. 상기 제1센서부(9)는 유선통신 및 무선통신 중 적어도 하나의 방법으로 상기 제2저장부(12)에 연결될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1센서부(9)는 감지한 충격값을 상기 제2저장부(12)에 제공할 수 있다.The
상기 제2센서부(10)는 상기 제2이송암(3)에 발생하는 충격을 감지하기 위해 설치된다. 상기 제2센서부(10)는 상기 제1센서부(9)에서 설명한 다양한 충격을 감지할 수 있다. 상기 제2센서부(10)는 상기 제2포크(31)와 상기 제2암기구(32) 사이에 설치되어 충격을 감지할 수 있다. 상기 제2센서부(10)가 충격을 감지하는 정도는 작업자에 의해 미리 설정될 수 있다. 상기 제2센서부(10)는 기판 이송 간에 충격을 감지할 수 있으면 상기 반송로봇(1)의 다른 위치에 설치될 수 있다. 상기 제2센서부(10)는 상기 제2이송암(3)에 복수개 이격되게 설치됨으로써, 다양한 위치에서 기판(S) 또는 상기 제2이송암(3)에 대한 충격을 감지할 수 있다. 예컨대, 상기 제2센서부(10)는 충격감지센서일 수 있다. 상기 제2센서부(10)는 유선통신 및 무선통신 중 적어도 하나의 방법으로 상기 제2저장부(12)에 연결될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2센서부(10)는 감지한 충격값을 상기 제2저장부(12)에 제공할 수 있다.The
상기 제1저장부(11)는 상기 촬영부(4)가 촬영하는 영상을 모두 저장한다. 상기 제1저장부(11)는 저장하는 저장용량이 부족할 경우, 이미 저장된 기판 이송영상을 덮어씌우는 방식으로 기판 이송영상을 계속 저장할 수 있다. 상기 제1저장부(11)는 일측이 상기 촬영부(4)에 연결되고, 타측이 상기 제2저장부(12)에 연결되게 설치된다. 상기 제1저장부(11)는 유선통신 및 무선통신 중 적어도 하나의 방법으로 상기 촬영부(4) 및 상기 제2저장부(12)에 연결될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1저장부(11)는 상기 촬영부(4)로부터 획득한 이송영상을 제공받아 저장할 수 있다. 예컨대, 상기 제1저장부(11)는 하드디스크드라이브(Hard Disk Drive) 또는 SDD 카드 일 수 있다. 상기 제1저장부(11)는 상기 촬영부(4)가 설치되는 위치에 함께 설치될 수 있다. 예컨대, 상기 제1저장부(11)는 상기 제1암베이스(5)에 설치될 수 있다. 상기 제1저장부(11)는 저장된 이송영상 중 일부를 상기 제2저장부(12)에 제공할 수 있다.The
상기 제2저장부(12)는 상기 제1센서부(9) 및 상기 제2센서부(10) 중에서 적어도 하나가 감지한 충격이 기설정된 기준충격값 이상이면, 충격이 발생된 충격발생시점을 기준으로 기설정된 기준시간에 속하는 이송영상을 저장한다. 예컨대, 상기 제2저장부(12)는 SDD카드일 수 있다. 이를 위해, 상기 제2저장부(12)는 일측이 상기 제1저장부(11)에 연결되고, 타측이 상기 제1센서부(9) 및 상기 제2센서부(10)에 연결되게 설치된다.If the shock sensed by at least one of the
상기 기준충격값은 기판 이송 간에 기판(S), 상기 제1이송암(2) 및 상기 제2이송암(3) 중 적어도 하나가 손상 내지 파손되지 않는 범위의 충격값을 의미하며, 작업자에 의해 미리 설정될 수 있다. 예컨대, 상기 기준충격값이 작은 경우는 기판(S)의 두께가 얇아서 손상 내지 파손되기 쉽거나 기판(S)에 대한 높은 정밀도가 요구되는 경우일 수 있다. 기준충격값 이상의 충격이 발생하면, 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇(1)은 기판 이송 공정을 중지할 수 있다.The reference impact value means an impact value in a range in which at least one of the substrate (S), the first transfer arm (2), and the second transfer arm (3) is not damaged or damaged between the substrate transfers, Can be set in advance. For example, when the reference impact value is small, the thickness of the substrate S may be thin, which may cause damage or breakage, or a high accuracy with respect to the substrate S may be required. When an impact equal to or greater than the reference impact value occurs, the conveying
예컨대, 상기 기준충격값이 큰 경우는 충격 감지에 대한 민감도를 낮출 경우일 수 있다. 이 경우, 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇(1)은 기판 이송 공정이 자주 중지되는 것을 방지하여 기판 이송 공정이 신속하게 수행되도록 할 수 있다.For example, when the reference impact value is large, the sensitivity to impact detection may be lowered. In this case, the
상기 기준시간은 상기 충격발생시점을 기준으로 충격발생시점 전의 소정 시간 및 충격발생시점 후의 소정 시간을 의미하며, 작업자에 의해 미리 설정될 수 있다. 예컨대, 상기 기준충격값이 10, 상기 기준시간이 10분이라고 할 경우 상기 제1센서부(9) 및 상기 제2센서부(10) 중에서 적어도 하나가 감지한 충격값이 13이면, 상기 제2저장부(12)는 상기 제1저장부(11)가 저장하는 이송영상 중 상기 충격이 발생한 충격발생시점 10분 전부터 충격발생시점 10분 후까지의 이송영상을 별도로 저장한다. 이에 따라, 상기 제2저장부(12)는 용량이 부족할 경우 이미 저장된 이송영상을 덮어씌우고 새로운 이송영상을 저장하는 제1저장부(11)와 달리 충격발생시점 전후의 이송영상을 작업자가 확인하거나 삭제하기 전까지 저장하고 있을 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇(1)은 기설정된 기준충격값 이상일 경우의 충격발생 영상이 포함된 이송영상만을 저장함으로써, 상기 촬영부(4)가 촬영하는 이송영상을 모두 저장하는 경우에 비해 이송영상에 대한 저장 용량을 줄일 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇(1)은 상기 제2저장부(12)의 저장 용량을 감소시킴에 따라 전체적인 크기를 줄일 수 있으므로, 좁은 설치공간에도 용이하게 설치될 수 있다.The reference time refers to a predetermined time before the occurrence of the impact and a predetermined time after the occurrence of the impact on the basis of the occurrence time of the impact, and may be set in advance by the operator. For example, if the reference impact value is 10 and the reference time is 10 minutes, if the impact value sensed by at least one of the
상기 신호발생부(13)는 상기 제2저장부(12)에 충격발생 영상이 저장되면, 알람신호를 출력한다. 예컨대, 상기 신호발생부(13)는 일측이 상기 제2저장부(12)에 연결되게 설치되고, 타측이 작업자가 모니터링 할 수 있는 디스플레이 장치에 연결되게 설치될 수 있다. 상기 신호발생부(13)는 상기 제2저장부(12) 및 상기 디스플레이 장치에 유선통신 및 무선통신 중 적어도 하나의 방법으로 연결될 수 있다. 상기 신호발생부(13)는 상기 제2저장부(12)가 설치된 곳에 함께 설치되어 알람신호를 출력할 수 있지만, 이에 한정되지 않으며 작업자가 모니터링 하는 곳 등 다른 곳에 설치되어 알람신호를 출력할 수도 있다. 이에 따라, 상기 신호발생부(13)는 충격발생 영상이 저장된 알람신호를 상기 작업자에게 출력할 수 있다. 예컨대, 상기 알람신호는 소리 또는 메세지일 수 있다. The
도시되지 않았지만, 상기 촬영부(4), 상기 제1저장부(11), 상기 제2저장부(12) 및 상기 신호발생부(13) 중 적어도 2개 이상이 일체로 형성됨으로써, 상기 반송로봇(1)에 용이하게 설치될 수 있다.Although not shown, at least two or more of the photographing
따라서, 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇(1)은 다음과 같은 작용 효과를 도모할 수 있다.Therefore, the conveying
첫째, 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇(1)은 작업자가 실시간으로 충격발생 영상을 확인하도록 구현됨으로써, 유지보수 작업 및 부품 교체와 같은 후속 조치를 신속하게 취하도록 할 수 있다.First, the
둘째, 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇(1)은 상기 제2저장부(12)에 저장된 충격발생 영상을 작업자가 삭제하기 전까지 계속 저장하도록 구현된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇(1)은 작업자가 상기 제2저장부(12)에 저장된 충격발생 영상을 수 회에 걸쳐 재확인할 수 있으므로, 충격발생 원인을 정확하게 파악하도록 할 수 있다.Second, the carrying
한편, 본 발명은 앞서 설명한 실시예로 한정되는 것이 아니라 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 수정 및 변형하여 실시할 수 있고, 그러한 수정 및 변형이 가해진 것도 본 발명의 기술적 사상에 속하는 것으로 보아야 한다.While the present invention has been described with reference to exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the appended claims. .
1 : 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇 2 : 제1이송암
3 : 제2이송암 4 : 촬영부
5 : 제1암베이스 6 : 제2암베이스
7 : 승강부재 8 : 지지부
9 : 제1센서부 10 : 제2센서부
11 : 제1저장부 12 : 제2저장부
13 : 신호발생부1: conveying robot with image monitoring function 2: first conveying arm
3: second transfer arm 4: photographing unit
5: first arm base 6: second arm base
7: lifting member 8: supporting member
9: first sensor unit 10: second sensor unit
11: first storage unit 12: second storage unit
13: Signal generator
Claims (7)
기판을 지지하기 위한 제1포크를 포함하고, 상기 제1포크를 제1후퇴위치와 제1전진위치 간에 제1이송경로를 따라 이동시키는 제1이송암;
기판을 지지하기 위한 제2포크를 포함하고, 상기 제2포크를 제2후퇴위치와 제2전진위치 간에 제2이송경로를 따라 이동시키는 제2이송암;
상기 제1이송경로를 따라 이동하는 제1포크 및 상기 제2이송경로를 따라 이동하는 제2포크 모두에 대한 이송영상을 획득하기 위해 촬영영역이 상기 제1이송경로 및 상기 제2이송경로를 향하도록 설치되는 촬영부;
상기 제1이송암에 발생하는 충격을 감지하기 위한 제1센서부; 및
상기 제2이송암에 발생하는 충격을 감지하기 위한 제2센서부를 포함하고,
상기 제1이송암은 상기 제1포크에 결합되는 제1암기구를 포함하며,
상기 제2이송암은 상기 제2포크에 결합되는 제2암기구를 포함하고,
상기 제1센서부는 상기 제1암기구와 상기 제1포크 사이에 설치되며,
상기 제2센서부는 상기 제2암기구와 상기 제2포크 사이에 설치되는 것을 특징으로 하는 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇.A transport robot for transporting a substrate,
A first transfer arm including a first fork for supporting a substrate and moving the first fork along a first transfer path between a first retracted position and a first retracted position;
A second transfer arm including a second fork for supporting a substrate and moving the second fork along a second transfer path between a second retracted position and a second retracted position;
The imaging region is moved toward the first transport path and the second transport path to obtain a transport image for both the first fork moving along the first transport path and the second fork moving along the second transport path A photographing unit installed to the photographing apparatus;
A first sensor unit for sensing an impact generated in the first transfer arm; And
And a second sensor unit for sensing an impact generated in the second transfer arm,
Wherein the first transfer arm includes a first arm mechanism coupled to the first fork,
The second transfer arm including a second arm mechanism coupled to the second fork,
Wherein the first sensor unit is installed between the first arm mechanism and the first fork,
And the second sensor unit is installed between the second arm mechanism and the second fork.
상기 촬영부는 상기 제1이송경로의 일부 및 상기 제2이송경로의 일부가 상기 촬영영역에 속하도록 설치되는 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇.The method according to claim 1,
Wherein the photographing unit is provided with a video monitoring function in which a part of the first conveyance path and a part of the second conveyance path belong to the photographing area.
상기 제1이송암을 지지하기 위한 제1암베이스, 및 상기 제2이송암을 지지하기 위한 제2암베이스를 포함하고,
상기 제1암베이스는 상기 제2암베이스로부터 상측 방향으로 이격되게 설치되며,
상기 촬영부는 상기 제1암베이스의 상측에 위치하도록 상기 제1암베이스에 설치되는 것을 특징으로 하는 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇.The method according to claim 1,
A first arm base for supporting the first transfer arm, and a second arm base for supporting the second transfer arm,
The first arm base is spaced upward from the second arm base,
Wherein the photographing unit is installed on the first arm base so as to be positioned above the first arm base.
상기 제1이송암을 지지하기 위한 제1암베이스, 상기 제2이송암을 지지하기 위한 제2암베이스, 상기 제1암베이스와 상기 제2암베이스가 결합되는 승강부재, 및 상기 승강부재가 승강 가능하게 결합되는 지지부를 포함하고,
상기 촬영부는 상기 승강부재 또는 상기 지지부에 설치되는 것을 특징으로 하는 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇.The method according to claim 1,
A first arm base for supporting the first transfer arm, a second arm base for supporting the second transfer arm, an elevating member to which the first arm base and the second arm base are coupled, And a support portion that is capable of being lifted up,
Wherein the photographing unit is installed on the elevating member or the supporting unit.
기판을 지지하기 위한 제1포크를 포함하고, 상기 제1포크를 제1후퇴위치와 제1전진위치 간에 제1이송경로를 따라 이동시키는 제1이송암;
기판을 지지하기 위한 제2포크를 포함하고, 상기 제2포크를 제2후퇴위치와 제2전진위치 간에 제2이송경로를 따라 이동시키는 제2이송암;
상기 제1이송경로를 따라 이동하는 제1포크 및 상기 제2이송경로를 따라 이동하는 제2포크 모두에 대한 이송영상을 획득하기 위해 촬영영역이 상기 제1이송경로 및 상기 제2이송경로를 향하도록 설치되는 촬영부;
상기 제1이송암에 발생하는 충격을 감지하기 위한 제1센서부;
상기 제2이송암에 발생하는 충격을 감지하기 위한 제2센서부;
상기 촬영부가 촬영하는 영상을 저장하는 제1저장부; 및
상기 제1센서부 및 상기 제2센서부 중에서 적어도 하나가 감지한 충격이 기설정된 기준충격값 이상이면, 충격이 발생된 충격발생시점을 기준으로 기설정된 기준시간에 속하는 이송영상을 저장하는 제2저장부를 포함하는 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇.A transport robot for transporting a substrate,
A first transfer arm including a first fork for supporting a substrate and moving the first fork along a first transfer path between a first retracted position and a first retracted position;
A second transfer arm including a second fork for supporting a substrate and moving the second fork along a second transfer path between a second retracted position and a second retracted position;
The imaging region is moved toward the first transport path and the second transport path to obtain a transport image for both the first fork moving along the first transport path and the second fork moving along the second transport path A photographing unit installed to the photographing apparatus;
A first sensor unit for sensing an impact generated in the first transfer arm;
A second sensor unit for detecting an impact generated in the second transfer arm;
A first storage unit for storing an image taken by the photographing unit; And
Wherein when the impact detected by at least one of the first sensor unit and the second sensor unit is equal to or greater than a preset reference impact value, A transport robot having a video monitoring function including a storage unit.
상기 제2저장부에 충격발생 영상이 저장되면, 알람신호를 출력하는 신호발생부를 포함하는 영상 모니터링 기능이 부가된 반송로봇.The method according to claim 6,
And a signal generator for outputting an alarm signal when an impact image is stored in the second storage unit.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR20150127116 | 2015-09-08 | ||
| KR1020150127116 | 2015-09-08 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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ID=58501871
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020150174797A KR101717380B1 (en) | 2015-09-08 | 2015-12-09 | Transfer robot having Monitoring Image Function |
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| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR101717380B1 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10724967B2 (en) | 2018-04-20 | 2020-07-28 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Inspection apparatus for semiconductor process and semiconductor process device |
| WO2023210561A1 (en) * | 2022-04-27 | 2023-11-02 | 川崎重工業株式会社 | Semiconductor manufacturing device system |
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| JP2003039376A (en) * | 2001-07-30 | 2003-02-13 | Yaskawa Electric Corp | Collision sensor |
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