KR20070119324A - Stocker system - Google Patents

Stocker system Download PDF

Info

Publication number
KR20070119324A
KR20070119324A KR1020060053816A KR20060053816A KR20070119324A KR 20070119324 A KR20070119324 A KR 20070119324A KR 1020060053816 A KR1020060053816 A KR 1020060053816A KR 20060053816 A KR20060053816 A KR 20060053816A KR 20070119324 A KR20070119324 A KR 20070119324A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cassette
shelf
stocker
port
rack master
Prior art date
Application number
KR1020060053816A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
전영오
Original Assignee
엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지.필립스 엘시디 주식회사 filed Critical 엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority to KR1020060053816A priority Critical patent/KR20070119324A/en
Publication of KR20070119324A publication Critical patent/KR20070119324A/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G60/00—Simultaneously or alternatively stacking and de-stacking of articles
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

A stocker system is provided to enable a rack master of carrying a cassette on a shelf or the loader of in-line equipment to perform bi-directional transfer, thereby improving distribution efficiency by using a cassette carrier port and a stocker shelf in common. A cassette(310) is stored to an input port(401). Substrates are mounted on the cassette, wherein the arbitrary process of the substrate is completed. Plural shelves(410) store the cassettes. The cassette is delivered from an output port(402). A rack master(500) carries the cassette while moving between the input port and the output port and between the shelf and the output port. The rack master has first and second transfer units(510,520) of mounting the cassette for loading or unloading the cassette on the shelf.

Description

스토커 시스템{stocker system}Stalker system

도 1은 일반적인 카세트 반송 라인을 나타낸 평면도1 is a plan view showing a typical cassette conveying line

도 2는 종래 기술에 따른 카세트 저장용 스토커를 나타낸 개략적인 정면도2 is a schematic front view showing a stocker for storing a cassette according to the prior art;

도 3은 도 2의 카세트를 나타낸 측면도3 is a side view showing the cassette of FIG.

도 4a 내지 도 4d는 종래 기술에 의한 스토커 시스텀의 동작을 설명하기 위한 구성도4A to 4D are diagrams for explaining the operation of the stocker system according to the prior art.

도 5는 본 발명에 따른 스토커 시스템을 개략적으로 나타낸 사시도5 is a perspective view schematically showing a stocker system according to the present invention

도 6a 및 도 6b는 도 5의 랙 마스터를 개략적으로 나타낸 구성도6A and 6B schematically illustrate the rack master of FIG. 5.

도 7은 본 발명에 의한 스토커 시스템의 동작을 설명하기 위한 평면도7 is a plan view for explaining the operation of the stocker system according to the present invention;

도면의 주요 부분에 대한 부호 설명Explanation of symbols for the main parts of the drawings

310 : 카세트 400 : 스토커310: cassette 400: stocker

401 : 입고포트 402 : 출고포트 401: Goods Receipt Port 402: Goods Receipt Port

410 : 선반 500 : 랙 마스터410: shelf 500: rack master

510 : 제 1 이재부 520 : 제 2 이재부510: first transfer part 520: second transfer part

본 발명은 스토커(stocker) 시스템에 관한 것으로서, 특히 양방향 이재가 가능한 랙 마스터(rack master)를 사용하여 공간효율을 향상시키도록 한 스토커 시스템에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a stocker system, and more particularly, to a stocker system for improving space efficiency by using a rack master capable of bidirectional transfer.

최근, LCD(Liquid Crystal Display) 장치는 콘트라스트(contrast)비가 크고, 계조 표시나 동화상 표시에 적합하며, 전력소비가 작다는 장점 때문에 CRT(Cathode Ray Tube)의 단점을 극복할 수 있는 대체 수단으로써 점차 그 사용 영역이 확대되고 있다.Recently, liquid crystal display (LCD) devices are increasingly used as an alternative means of overcoming the drawbacks of the Cathode Ray Tube (CRT) due to their high contrast ratio, suitable for gradation display or moving image display, and low power consumption. The use area is expanding.

일반적으로, LCD 장치의 LCD 패널은 게이트 배선 및 데이터 배선에 의해 정의된 화소 영역에 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor, TFT)와 화소전극을 구비한 박막 트랜지스터 기판과, 컬러 필터층과 공통전극을 구비한 컬러필터 기판과, 이 두 기판 사이에 개재된 액정층으로 구성된다.In general, an LCD panel of an LCD device includes a thin film transistor substrate having a thin film transistor (TFT) and a pixel electrode in a pixel region defined by gate wiring and data wiring, and a color having a color filter layer and a common electrode. It consists of a filter substrate and the liquid crystal layer interposed between these two substrates.

이와 같이 구성된 LCD 장치의 제조공정은 크게 기판 제조공정, 셀 제조공정 및 모듈 제조공정으로 분리된다.The manufacturing process of the LCD device configured as described above is largely divided into a substrate manufacturing process, a cell manufacturing process and a module manufacturing process.

먼저, 기판 제조공정은 세정된 유리기판(glass)을 이용한 박막 트랜지스터 제조공정과, 칼라필터 제조공정으로 분리된다.First, the substrate manufacturing process is separated into a thin film transistor manufacturing process using a cleaned glass substrate and a color filter manufacturing process.

여기서, 박막 트랜지스터 제조공정은 하부기판 상에 복수의 박막 트랜지스터와 화소전극을 제조하는 공정이며, 칼라필터 제조공정은 차광막이 형성된 상부기판 상에 염료나 안료를 사용하여 'R', 'G', 'B' 색상의 칼라 필터층을 형성하여 공통전극을 형성하는 공정이다. Here, the thin film transistor manufacturing process is a process of manufacturing a plurality of thin film transistors and pixel electrodes on the lower substrate, the color filter manufacturing process is a 'R', 'G', using a dye or pigment on the upper substrate on which the light shielding film is formed A common electrode is formed by forming a color filter layer having a 'B' color.

셀 제조공정은 박막 트랜지스터 공정이 완료된 하부기판과 칼라필터 공정이 완료된 상부기판의 두 기판 사이에 일정한 간격이 유지되도록 스페이서를 산포하여 합착하고, 액정을 주입하여 LCD 장치의 셀을 제조하는 공정이다. The cell manufacturing process is a process of manufacturing a cell of an LCD device by dispersing and bonding a spacer so as to maintain a constant distance between two substrates of a lower substrate on which a thin film transistor process is completed and an upper substrate on which a color filter process is completed.

마지막으로, 모듈 제조공정은 신호처리를 위한 회로부를 제조하고, 박막 트랜지스터를 포함하는 LCD 패널과 미리 제조된 신호처리 회로부를 연결시켜 모듈을 제조하는 공정이다.Lastly, a module manufacturing process is a process of manufacturing a module by manufacturing a circuit unit for signal processing and connecting an LCD panel including a thin film transistor to a pre-fabricated signal processing circuit unit.

이와 같은 LCD 장치의 제조공정에서는 기판 제조공정, 셀 제조공정 및 모듈 제조공정을 수행하기 위해 기판이 각각의 공정에 사용되는 제조장비로 순차적으로나 그룹형태로 반송 또는 이송되어져야만 한다. In the manufacturing process of such an LCD device, in order to perform the substrate manufacturing process, the cell manufacturing process, and the module manufacturing process, the substrates must be conveyed or transferred sequentially or in group form to the manufacturing equipment used in each process.

또한, LCD 장치의 제조공정에서는 제조공정 상 일부의 제조장치에 고장 발생시 고장 또는 수리를 위해 모든 제조공정 라인(line)을 중지시킬 수 없으므로 기판을 임시 저장할 수 있는 저장장치가 필요하다.In addition, in the manufacturing process of the LCD device, when a failure occurs in some manufacturing apparatuses in the manufacturing process, all manufacturing process lines cannot be stopped for failure or repair, so a storage device capable of temporarily storing a substrate is required.

이에 부합하는 카세트(cassette)를 사용하여 다수의 기판을 낱장으로 저장 및 이송 가능하도록 할 수 있다. Corresponding cassettes can be used to enable multiple substrates to be stored and transported in sheets.

또한, 다른 이유로 인하여 기판의 물량이 많아지고, 기판의 제조 공정이 반복적으로 이루어질 경우 카세트를 이동시켜 저장시키기 위한 스토커(stocker)가 필요하다.In addition, a stocker for moving and storing a cassette is required when the quantity of the substrate increases due to other reasons and the manufacturing process of the substrate is repeatedly performed.

도 1은 일반적인 카세트 반송 라인을 나타낸 평면도이다.1 is a plan view showing a typical cassette conveying line.

도 1에 도시된 바와 같이, 기판에 각 공정을 수행하는 장비(20a, 20b)들에 운반하기 위해서 카세트 반송 장치(30)(cassette transfer vehicle; CTV)가 사용된다. As shown in FIG. 1, a cassette transfer vehicle (CTV) is used to convey to the equipment 20a, 20b performing each process on the substrate.

이때, 상기 카세트 반송 장치(30)의 반송 효율을 높이기 위해 상기 기판들을 다수개 수납할 수 있는 카세트(10)에 수납한 뒤, 상기 카세트(10)를 상기 카세트 반송 장치(30)가 반송하게 된다.In this case, in order to increase the conveyance efficiency of the cassette conveying apparatus 30, the cassette conveying apparatus 30 conveys the cassette 10 after storing the plurality of substrates in the cassette 10. .

따라서, 상기 카세트 반송 장치(30)는 주행 경로를 안내하는 라인(11)을 따라 카세트(10)가 임시로 저장된 스토커(40)와 각 공정을 수행하는 장비(20a, 20b)들 사이를 왕복하면서 상기 카세트(10)를 상기 스토커(40)에서 각 장비(20a, 20b)들로, 그리고 각 장비(20a, 20b)들에서 상기 스토커(40)로 각각 반송하게 된다.Accordingly, the cassette conveying apparatus 30 reciprocates between the stocker 40 temporarily storing the cassette 10 along the line 11 guiding the travel route and the equipment 20a and 20b performing each process. The cassette 10 is conveyed from the stocker 40 to the respective equipments 20a and 20b and from each of the equipment 20a and 20b to the stocker 40.

한편, 각 공정을 수행하는 상기 장비(20a, 20b)들의 기판 처리 능력 및 처리 시간은 다르기 때문에 어느 하나의 장비에서 다른 하나의 장비로 상기 카세트(10)를 반송하게 되면 버퍼링(buffering)이 발생하게 된다. On the other hand, since the substrate processing capability and processing time of the equipments 20a and 20b performing each process are different, when the cassette 10 is returned from one equipment to another equipment, buffering occurs. do.

따라서, 버퍼링 문제를 효과적으로 해소하기 위해 어느 하나의 장비에서 처리된 기판이 수납된 카세트(10)를 상기 스토커(40)에 저장한 후 다른 장비로 반송하는 것이다.Therefore, in order to effectively solve the buffering problem, the cassette 10 containing the substrate processed by any one device is stored in the stocker 40 and then returned to another device.

이하, 첨부된 도면을 참고하여 종래 기술에 의한 카세트 저장용 스토커를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a cassette storage stocker according to the related art will be described with reference to the accompanying drawings.

도 2는 종래 기술에 따른 카세트 저장용 스토커를 나타낸 개략적인 평면도이다.Figure 2 is a schematic plan view showing a stocker for storing cassettes according to the prior art.

도 2에 도시한 바와 같이, 종래 기술에 따른 스토커(100)는, 스토커(100) 내부의 시스템을 통제하는 SMC(Stocker Master Controller(도시되지 않음)와, 다수개의 기판이 수납된 카세트(110)와, 상기 SMC의 제어에 따라 카세트(110)를 로 딩(loading) 또는 언로딩(unloading)하기 위한 랙 마스터(rack master)(120)와, 상기 랙 마스터(120)에 의해 로딩된 카세트(110)를 보관하는 쉘프(shelf)(140)와, 상기 랙 마스터(120)가 이동되는 이동 레일(150)을 포함하여 구성되어 있다.As shown in FIG. 2, the stocker 100 according to the related art includes an SMC (Stocker Master Controller (not shown)) that controls a system inside the stocker 100, and a cassette 110 in which a plurality of substrates are stored. And a rack master 120 for loading or unloading the cassette 110 under the control of the SMC, and the cassette 110 loaded by the rack master 120. It is configured to include a shelf (140) for storing a) and a moving rail 150 to which the rack master 120 is moved.

여기서, 상기 쉘프(140)는 여러 층으로 나누어져 상기 카세트(110)를 적재토록 하고 있으며, 상기 랙 마스터(120)를 기준으로 양쪽으로 설치되어 있다.Here, the shelf 140 is divided into several layers to load the cassette 110, and is installed at both sides of the rack master 120.

또한, 상기 스토커(100) 내에는 대략 평행하게 배치되는 쉘프(140)에는 카세트 반송장치에 의해 반송된 카세트(110)를 상기 스토커(100)에 입고하기 위한 입고 포트(142a)와 상기 쉘프(140)에 저장된 카세트(110)를 출고하기 위한 출고 포트(142b)가 구비된다.In addition, the shelf 140 disposed substantially parallel in the stocker 100 includes a receiving port 142a and a shelf 140 for receiving the cassette 110 conveyed by the cassette conveying apparatus into the stocker 100. A shipping port 142b is provided for leaving the cassette 110 stored in the package.

또한, 상기 두 개의 쉘프(140)들 사이에는 한 대의 랙 마스터(120)가 배치되는데, 상기 랙 마스터(120)는 이동 레일(150)을 따라 이동하면서 상기 입고 포트(142a)에 입고된 카세트(110)를 쉘프(140)에 저장하거나, 상기 쉘프(140)에 저장된 카세트(110)를 상기 출고 포트(142b)로 출고한다. In addition, one rack master 120 is disposed between the two shelves 140. The rack master 120 moves along the moving rail 150 to receive a cassette (received in the receiving port 142a). 110 is stored in the shelf 140, or the cassette 110 stored in the shelf 140 is shipped to the delivery port (142b).

그리고 상기 출고 포트(142b)로 반송된 카세트(110)는 카세트 반송장치에 의해 장비(도 1의 20a, 20b)까지 반송된다.And the cassette 110 conveyed to the said delivery port 142b is conveyed to equipment (20a, 20b of FIG. 1) by a cassette conveying apparatus.

도 3은 도 2의 카세트를 나타낸 측면도이다.3 is a side view illustrating the cassette of FIG. 2.

도 3에 도시한 바와 같이, 복수의 기판(111)을 차례로 수납하여 이동하는 카세트(110)는, 상기 기판(111)이 출입될 수 있도록 글래스 반입구를 갖는 외장 케이스(113)와, 상기 외장 케이스(113)로 둘러싸인 내부공간의 양측면에 일정한 간격을 갖고 고정되어 상기 기판(111)의 양측단을 지지하는 다수의 슬롯 바(slot bar)(115)와, 상기 기판(111)이 출입되는 기판 반입구의 반대 면에는 상기 삽입되는 기판(111)을 정지시키기 위한 스토퍼(117)를 포함하여 구성되어 있다.As shown in FIG. 3, the cassette 110, which receives and moves a plurality of substrates 111 in order, includes an exterior case 113 having a glass entry hole to allow the substrate 111 to enter and exit, and the exterior. A plurality of slot bars 115 fixed to both sides of an inner space surrounded by the case 113 to support both ends of the substrate 111, and a substrate into and out of the substrate 111; The opposite side of the carrying-in opening is comprised including the stopper 117 for stopping the said board | substrate 111 to be inserted.

한편, 상기 카세트(110)는 기판(111)이 반입될 수 있도록 일측면에는 기판 반입구가 구성되어 있다. 따라서 상기 카세트(110)는 운반하여 도 2에서와 같이 입고포트(142a)와 출고 포트(142b)에는 상기 카세트(110)를 반전하기 위한 별도의 반전 기능을 추가하여만 한다. On the other hand, the cassette 110 has a substrate inlet is formed on one side so that the substrate 111 can be carried. Therefore, the cassette 110 must be transported to add a separate reversing function for inverting the cassette 110 to the receiving port 142a and the delivery port 142b as shown in FIG. 2.

도 4a 내지 도 4d는 종래 기술에 의한 스토커 시스텀의 동작을 설명하기 위한 구성도이다.4A to 4D are diagrams for explaining the operation of the stocker system according to the prior art.

도 4a에서와 같이, 카세트 반송장치(30)에 탑재된 카세트(110)를 스토커 포트(stocker port)(도 2의 입고 포트)(142)로 이재한다. 이때 상기 카세트(110)는 기판이 반입되는 취출구은 일방향을 향하고 있다.As shown in FIG. 4A, the cassette 110 mounted on the cassette conveying apparatus 30 is transferred to a stocker port (stocker port of FIG. 2) 142. At this time, the cassette 110, the ejection opening into which the substrate is loaded is directed in one direction.

도 4b에서와 같이, 상기 스토커 포트(142)로 이재된 카세트(110)를 랙 마스터가 이재 가능하도록 상기 스토커 포트(142)에서 카세트(110)를 회전한다.As shown in FIG. 4B, the cassette 110 rotates at the stocker port 142 so that the rack master may transfer the cassette 110 transferred to the stocker port 142.

도 4c에서와 같이, 상기 랙 마스터(120)를 이용하여 상기 스토커 포트(142)에 이재된 카세트(110)를 각 공정장비로 이송하기 위하여 상기 카세트(110)를 이재한다.As shown in Figure 4c, using the rack master 120 transfers the cassette 110, which is transferred to the stocker port 142 to each process equipment.

그리고 도 4d에서와 같이, 상기 랙 마스터(120)를 이재된 카세트(110)를 장비 로더나 쉘프(140)에 이재한다.As shown in FIG. 4D, the cassette 110 having the rack master 120 is transferred to the equipment loader or the shelf 140.

한편, 이재 로봇(150)이 카세트(110)에 수납된 기판을 취출하기 위해 상기 쉘프(140)에 이재된 카세트(110)의 방향은 기판 취출구 방향이 되어야만 한다. On the other hand, in order for the transfer robot 150 to take out the substrate stored in the cassette 110, the direction of the cassette 110 transferred to the shelf 140 should be the direction of the substrate outlet.

그러나 상기와 같은 종래 기술에 의한 스토커 시스템에 있어서 다음과 같은 문제점이 있었다.However, there have been the following problems in the stocker system according to the prior art as described above.

첫째, 카세트 반송장치와 스토커의 랙 마스터는 카세트의 같은 방향을 들어서 이재해야 하므로 스토커내의 입고 포트나 출고 포트에서 카세트가 회전하는 구조로 되어 있기 때문에 회전으로 인한 포트 공간 활용이 떨어지고, 카세트 반송장치의 포트 수 제한을 가져오게 된다.First, since the cassette carrier and the rack master of the stocker have to be moved in the same direction of the cassette, the cassette is rotated at the storage port and the storage port of the stocker, so the utilization of the port space is reduced due to the rotation. You will get a limit on the number of ports.

둘째, 카세트 반송장치와 스토커간에 카세트를 넘겨주기 위해선 반드시 포트에서 카세트를 회전시키기 위한 구동부를 가지고 있어야 하기 때문에 카세트 반송장치의 포트는 스토커의 쉘프와 구조가 다르고 동시 사용이 불가능하다.Second, in order to pass the cassette between the cassette conveying apparatus and the stocker, the port of the cassette conveying apparatus is different from the shelf of the stocker and cannot be used at the same time because it must have a driving unit for rotating the cassette at the port.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제를 해결하기 위해 안출한 것으로 양방향 이재가 가능한 랙 마스터를 구성함으로써 공간 효율을 향상시키도록 한 스토커 시스템을 제공하는데 그 목적이 있다.An object of the present invention is to provide a stocker system to improve space efficiency by configuring a rack master capable of two-way transfer to solve the conventional problems as described above.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 스토커 시스템은 임의의 공정이 완료된 기판들이 탑재된 카세트가 입고되는 입고 포트와, 상기 카세트들을 저장하는 다수의 쉘프들과, 상기 카세트가 출고되는 출고 포트와, 그리고 상기 입고 포트와 쉘프 사이 및 상기 쉘프와 출고 포트 사이를 이동하면서 상기 카세트를 운반하는 랙 마스터를 포함하여 이루어지고, 상기 랙 마스터는 상기 쉘프에 상기 카세트를 로딩 또는 언로딩하기 위해 상기 카세트를 탑재하는 제 1, 제 2 이재부를 갖는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a stocker system according to the present invention includes a storage port in which a cassette on which substrates are completed is loaded, a plurality of shelves storing the cassettes, and a shipping port in which the cassette is shipped. And a rack master carrying the cassette while moving between the receiving port and the shelf and between the shelf and the leaving port, wherein the rack master comprises the cassette for loading or unloading the cassette into the shelf. It is characterized by having a 1st, 2nd transfer material part to mount | attach.

이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명에 의한 스토커 시스템을 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in more detail the stocker system according to the present invention.

도 5는 본 발명에 따른 스토커 시스템을 개략적으로 나타낸 사시도이다.5 is a perspective view schematically showing a stocker system according to the present invention.

도 5에 도시한 바와 같이, 스토커(400)는 임의의 공정이 완료된 기판들이 탑재된 카세트(310) 들을 다음 공정을 수행하는 다른 임의의 장비로 공급하기 전에, 각 공정을 수행하는 각 장비들의 기판 처리 능력 및 처리 시간의 차이에 의해 발생하는 버퍼링(buffering) 문제를 해소하기 위해, 상기 카세트(310)를 임시로 보관하는 설비이다. As shown in FIG. 5, the stocker 400 supplies substrates of the respective equipments performing the respective processes before supplying the cassettes 310 on which the substrates are completed to any other equipment performing the next process. In order to solve the buffering problem caused by the difference in processing capacity and processing time, the cassette 310 is temporarily stored.

따라서, 임의의 장비에서 소정 공정을 마친 기판들이 탑재된 카세트(310)들은 상기 스토커(400)에 임시로 저장된 후 다른 공정을 수행하는 다른 장비에 공급된다.Therefore, the cassettes 310 on which substrates which have been finished in a certain process are mounted are temporarily stored in the stocker 400 and then supplied to other equipment which performs another process.

상기와 같은 기능을 하는 스토커(400)에는, 임의의 공정이 완료된 기판들이 탑재된 카세트(310)가 입고되는 입고 포트(input port)(401), 상기 카세트(310)들을 저장하는 다수의 쉘프(410)들, 상기 카세트(310)가 출고되는 출고 포트(out port)(402), 그리고 상기 입고 포트(401)와 쉘프(410) 사이 및 상기 쉘프(410)와 출고 포트(402) 사이를 이동하면서 상기 스토커(400) 내에서 상기 카세트(310)를 운반하는 랙 마스터(500)를 포함하여 이루어진다.The stocker 400 having the above function includes an input port 401 on which a cassette 310 on which substrates are completed is loaded, and a plurality of shelves for storing the cassettes 310. 410, an out port 402 from which the cassette 310 is shipped, and between the goods receipt port 401 and the shelf 410 and between the shelf 410 and the goods delivery port 402. While it comprises a rack master 500 for transporting the cassette 310 in the stocker (400).

여기서, 상기 쉘프(410)들은 예를 들면 두 개가 서로 나란하게 배치되며, 상기 랙 마스터(500)는 상기 쉘프(410)들 사이의 공간에 배치된다. 그리고, 상기 각 쉘프(410)에는 하나의 카세트(310)를 수납할 수 있는 수납 공간(411)이 다수 개 구비된다.Here, the shelf 410 is, for example, two are arranged side by side with each other, the rack master 500 is disposed in the space between the shelves (410). Each shelf 410 is provided with a plurality of storage spaces 411 for storing one cassette 310.

상기와 같이 배치된 랙 마스터(500)가 안정적으로 안내 받아 주행할 수 있도록 상기 쉘프(410)들 사이공간에는 상기 쉘프(410)와 대략 나란하게 레일(420)이 더 구비된다.The rail 420 is further provided in a space between the shelves 410 so as to stably guide the rack master 500 arranged as described above, in parallel with the shelf 410.

상기 랙 마스터(500)는 상기 레일(420)을 따라 왕복 이동하면서 상기 입고 포트(401)에 입고된 카세트(310)를 상기 쉘프(410)에 저장하거나, 상기 쉘프(410)에 저장된 카세트(310)를 상기 출고 포트(402)로 출고하는 역할을 한다. The rack master 500 stores the cassette 310 received at the receiving port 401 on the shelf 410 while reciprocating along the rail 420, or the cassette 310 stored at the shelf 410. ) Serves to issue the delivery to the delivery port 402.

이러한 랙 마스터(500)는 상기 레일(420) 위를 주행하는 주행부(501), 그리고 카세트(310)를 로딩하거나 언로딩하는 제 1, 제 2 이재부(510,520)를 포함하여 이루어져 있다.The rack master 500 includes a driving part 501 traveling on the rail 420, and first and second transfer parts 510 and 520 for loading or unloading a cassette 310.

따라서 본 발명에 의한 스토커 시스템에서는 랙 마스터(500)를 구성하는 이재부를 제 1, 제 2 이재부(510,520)로 구성하여 카세트(310)를 양방향 동시에 이재가 가능하도록 하여 선반(410)에 로딩 또는 언로딩하게 된다.Therefore, in the stocker system according to the present invention, the transfer part constituting the rack master 500 may be configured as the first and second transfer parts 510 and 520 so that the cassette 310 may be bi-directionally transferred at the same time and loaded on the shelf 410. It will be unloaded.

즉, 기존의 이재부에 슬라이딩 방식의 이재 테이블을 더 추가하여 카세트(310)를 서로 다른 방향으로 이재가 가능하도록 하고 있다.In other words, by adding a sliding transfer table to the existing transfer portion to the cassette 310 to be transferred in different directions.

한편, 상기 제 1, 제 2 이재부(510,520)는 카세트(310)의 이재방향을 두 가지로 결정할 수 있는데, 상기 이재 방향에 따라 선택적으로 사용할 수가 있다.The first and second transfer parts 510 and 520 may determine two transfer directions of the cassette 310, and may be selectively used according to the transfer direction.

도 6a 및 도 6b는 도 5의 랙 마스터를 개략적으로 나타낸 구성도이다.6A and 6B are schematic diagrams illustrating the rack master of FIG. 5.

도 6a 및 도 6b에 도시한 바와 같이, 카세트(310)를 쉘프(shelf)에 로딩 또 는 언로딩하는 랙 마스터(500)는 주행부(501)의 상부에 장착되고 상하 방향으로 이동하거나 회전할 수 있는 주축(530), 그리고 상기 주축(530)에 장착되고 수평 방향으로 신축될 수 있는 슬라이더(540)를 포함하여 이루어진다.6A and 6B, the rack master 500 for loading or unloading the cassette 310 to the shelf is mounted on the upper portion of the traveling portion 501 and moved or rotated up and down. The main shaft 530, and the slider 540 which is mounted to the main shaft 530 and can be stretched in the horizontal direction.

한편, 상기와 같이 구성된 랙 마스터(500)는 도 6a에서와 같이 일방향인 쉘프(420)에 카세트(310)를 로딩할 때는 하나의 이재부만을 사용하여 쉘프(420)위로 카세트(310)를 이재하게 된다.Meanwhile, the rack master 500 configured as described above transfers the cassette 310 onto the shelf 420 using only one transfer part when loading the cassette 310 into the shelf 420 in one direction as shown in FIG. 6A. Done.

그리고 일방향과 다른 타방향인 인라인 장비의 로더(loader)로 카세트(310)를 이재할 경우에는 다른 하나의 이재부를 사용하여 카세트(310)를 이재하게 된다.When the cassette 310 is transferred to a loader of an inline device which is different from one direction, the cassette 310 is transferred using another transfer part.

도 7은 본 발명에 의한 스토커 시스템의 동작을 설명하기 위한 평면도이다.7 is a plan view for explaining the operation of the stocker system according to the present invention.

도 7에서와 같이, 양방향 이재가 가능한 랙 마스터(500)는 입고 포트(401)와 쉘프(410) 사이 및 쉘프(410)와 출고 포트(402) 사이를 이동하면서 상기 스토커(400) 내에서 상기 카세트(310)를 회전시키면서 운반하게 된다.As shown in FIG. 7, the rack master 500 capable of bidirectional transfer moves between the receipt port 401 and the shelf 410 and between the shelf 410 and the delivery port 402. The cassette 310 is transported while being rotated.

따라서 본 발명에 의한 스토커 시스템은 스토커의 카세트 반송장치에서 회전이 필요없게 되고, 스토커의 1단 포트를 카세트 반송장치 포트로 사용할 수 있다.Therefore, the stocker system according to the present invention does not require rotation in the cassette conveying apparatus of the stocker, and the first stage port of the stocker can be used as the cassette conveying apparatus port.

이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.The present invention described above is not limited to the above-described embodiments and the accompanying drawings, and it is common in the art that various substitutions, modifications, and changes can be made without departing from the technical spirit of the present invention. It will be evident to those who have knowledge of.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명에 의한 스토커 시스템은 다음과 같은 효 과가 있다.The stocker system according to the present invention as described above has the following effects.

첫째, 쉘프나 인라인 장비의 로더 위로 카세트를 반송하는 랙 마스터를 양방향 이재가 가능하게 함으로써 카세트 반송장치 포트와 스토커 쉘프를 공용으로 사용하여 물류 효율을 향상시킬 수 있다.First, by enabling bidirectional transfer of the rack master carrying the cassette over the loader of the shelf or the inline equipment, the cassette conveyer port and the stocker shelf can be used in common to improve the logistics efficiency.

둘째, 회전 기능이 부가된 카세트 반송장치의 구성으로 인한 공간 효율 저하를 방지할 수 있어 스토커의 공간효율을 향상시킬 수 있다.Second, the space efficiency can be prevented from being lowered due to the configuration of the cassette conveying apparatus to which the rotation function is added, thereby improving the space efficiency of the stocker.

Claims (3)

임의의 공정이 완료된 기판들이 탑재된 카세트가 입고되는 입고 포트와, A receiving port into which a cassette on which substrates of any process are completed is received; 상기 카세트들을 저장하는 다수의 쉘프들과, A plurality of shelves for storing the cassettes, 상기 카세트가 출고되는 출고 포트와, 그리고 A release port from which the cassette is shipped, and 상기 입고 포트와 쉘프 사이 및 상기 쉘프와 출고 포트 사이를 이동하면서 상기 카세트를 운반하는 랙 마스터를 포함하여 이루어지고,A rack master carrying the cassette while moving between the receiving port and the shelf and between the shelf and the leaving port, 상기 랙 마스터는 상기 쉘프에 상기 카세트를 로딩 또는 언로딩하기 위해 상기 카세트를 탑재하는 제 1, 제 2 이재부를 갖는 것을 특징으로 하는 스토커 시스템.And said rack master has first and second transfer parts for mounting said cassettes for loading or unloading said cassettes to said shelf. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1, 제 2 이재부는 회전이 가능하게 구성되는 것을 특징으로 하는 스토커 시스템.The stocker system of claim 1, wherein the first and second transfer parts are configured to be rotatable. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 이재부 또는 제 2 이재부는 적어도 어느 하나가 슬라이딩 방식인 것을 특징으로 하는 스토커 시스템.The stocker system according to claim 1, wherein at least one of the first transfer part and the second transfer part is a sliding type.
KR1020060053816A 2006-06-15 2006-06-15 Stocker system KR20070119324A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060053816A KR20070119324A (en) 2006-06-15 2006-06-15 Stocker system

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060053816A KR20070119324A (en) 2006-06-15 2006-06-15 Stocker system

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20070119324A true KR20070119324A (en) 2007-12-20

Family

ID=39137673

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060053816A KR20070119324A (en) 2006-06-15 2006-06-15 Stocker system

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20070119324A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20160007946A (en) Carriage for stocker conveyor
KR20080056049A (en) Stocker and method for transfering substrate using the same
KR101264681B1 (en) the stocker for storage cassette
KR101290026B1 (en) Apparatus for transferring a cassette
KR20050038134A (en) Glass substrate stocking system
KR101340786B1 (en) Delivering equipment using over head shuttle
KR20070119324A (en) Stocker system
KR100959127B1 (en) Stocker with multi-access port for automatic guided vehicle
KR101309859B1 (en) Stocker system and method for controlling the same
KR20080001944A (en) System for conveying cassette
KR20160009713A (en) Stocker conveyor
KR100989157B1 (en) System for conveying cassette and method for conveying the same
KR101534000B1 (en) Rail assembly for stocker conveyor
KR20120028423A (en) Apparatus for transferring panel and method for transferring
KR20090024412A (en) Transfer apparatus of panel
KR101243799B1 (en) cassette transfer apparatus and controlling method thereof
KR102623307B1 (en) Vehicle for over head conveyor
KR101264686B1 (en) A cassette loader and a stocker including the same
KR101048709B1 (en) Stalker Control System
KR20050060371A (en) Stocker
KR100983573B1 (en) Stalker system and cassette control method
KR100731602B1 (en) Cluster tool for fabricating a LCD and method of operating the same
KR20080012582A (en) Stocker system
KR20060000932A (en) A stocker for storing a cassette
KR20070120854A (en) Cassette transferring system and stocker

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Withdrawal due to no request for examination