KR20070110112A - 전위 비교기 - Google Patents

전위 비교기 Download PDF

Info

Publication number
KR20070110112A
KR20070110112A KR1020077022424A KR20077022424A KR20070110112A KR 20070110112 A KR20070110112 A KR 20070110112A KR 1020077022424 A KR1020077022424 A KR 1020077022424A KR 20077022424 A KR20077022424 A KR 20077022424A KR 20070110112 A KR20070110112 A KR 20070110112A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
potential
partial pressure
comparator
resistance
threshold
Prior art date
Application number
KR1020077022424A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101183932B1 (ko
Inventor
쇼지 코지마
Original Assignee
가부시키가이샤 어드밴티스트
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 어드밴티스트 filed Critical 가부시키가이샤 어드밴티스트
Publication of KR20070110112A publication Critical patent/KR20070110112A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101183932B1 publication Critical patent/KR101183932B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R19/00—Arrangements for measuring currents or voltages or for indicating presence or sign thereof
    • G01R19/165—Indicating that current or voltage is either above or below a predetermined value or within or outside a predetermined range of values
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/317—Testing of digital circuits
    • G01R31/3181—Functional testing
    • G01R31/319—Tester hardware, i.e. output processing circuits
    • G01R31/31917—Stimuli generation or application of test patterns to the device under test [DUT]
    • G01R31/31924—Voltage or current aspects, e.g. driver, receiver

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manipulation Of Pulses (AREA)
  • Measurement Of Current Or Voltage (AREA)

Abstract

검사대상(2)으로부터 출력되는 차동 신호를 입력하기 위한 입력 배선(3, 4), 입력 배선(3, 4)의 각각으로부터 차동 신호를 받아들이는 동시에 소정의 고역치 전위 (VOH) 및 받아들인 차동 신호의 전위에 기초하는 분압인 제1 분압 및 제2 분압을 생성 및 출력하는 고역치측 분압 생성부(5), 및 고역치측 분압 생성부(5)로부터 출력된 제1 및 제2 분압 간의 대소 관계를 도출하는 고역치측 전위 비교기(6)을 포함한다. 고역치측 분압 생성부(5)는 제1분압 생성부(16) 및 제2분압 생성부(17)를 포함하며, 각각은 고역치측 전위 비교기(6)에서의 제1 및 제2 분압 간의 대소 관계가 플러스 신호 및 마이너스 신호 간의 전위차와 고역치 전위 간의 대소 관계와 대응하는 값의 제1 및 제2 분압을 생성한다.
전위비교기, 전위공급원, 검사장치, 차동전송방식, 분압생성부

Description

전위 비교기{Potential comparator}
본 발명은 검사 대상에서 출력되는 차동 신호를 형성하는 한 쌍의 신호간의 전위차와 소정의 역치 전위 간의 대소 관계를 도출하는 전위 비교기에 관한 것이다.
종래, 전자회로의 특성 등을 검사하는 검사 장치가 공지되어 있다. 이와 같은 검사 장치는, 구체적으로는 전위 비교기를 이용하여 검사 대상인 전자회로로부터 출력된 전기 신호를 소정의 역치 전압과 비교하고, 비교 결과에 기초하여 전자회로의 양호 여부 등을 판정하는 기능을 포함한다. 따라서, 검사 장치에 의한 검사의 신뢰성은 전위비교를 수행하는 전위 비교기의 비교 정밀도에 크게 의존하게 되고, 검사 장치를 구성하는 전위 비교기는 검사의 신뢰성 등의 관점에서 대단히 중요한 것이 된다.
그런데, 전송 속도의 고속화, 내노이즈 특성의 향상 등을 목적으로 하여 지금까지의 싱글 엔드 전송을 대신하여 소위 차동 전송 방식을 이용한 기술이 제안되어 있다. 차동 전송 방식은 2개의 전송선을 이용해서 신호 전송을 수행하는 기술이며, 구체적으로는 2개의 전송선을 경유해서 전송되는 2개의 전기 신호간의 전위차에 기초하여 하이(High) 또는 로우(Low)의 판정이 수행된다. 이러한 차동 전송 방식을 이용한 전자회로의 증가에 대응하여 전자회로의 특성 검사 등을 수행하는 검사 장치의 분야에서도, 차동 전송 방식에 대응한 전위 비교기를 포함한 검사 장치의 실현이 요청되고 있다.
차동 전송 방식에 대응한 검사 장치의 일례로서, 차동 신호를 구성하는 2개의 전기 신호의 각각에 대하여 전위비교를 수행하는 구성의 장치가 있다. 그러나, 이와 같은 구성의 경우, 싱글 엔드 전송에 대한 검사의 경우와 비교하여 필요로 되는 전위 비교기의 개수가 증가한다고 하는 문제가 있다. 또한, 예를 들면 각각의 전기 신호에 공통 노이즈가 혼입된 경우(즉, 전기 신호간의 전위차를 도출한 때는 노이즈가 캔슬되어 신호 전송의 관점에서는 문제가 없을 경우)에는 각각의 전기 신호에서 전송 에러가 검출될 가능성이 있으며, 이에 따라 검사의 신뢰성에 문제를 생기게 한다.
이 때문에, 다른 검사 장치의 예로서는 입력된 전기 신호간의 전위차를 도출하는 아날로그 감산 회로를 내장하고, 아날로그 감산 회로에 의해 도출된 차분 신호에 대하여 싱글 엔드 신호와 마찬가지의 전위비교를 수행하는 구성이 공지되어 있다. 이와 같은 구성의 경우, 상술한 바와 같은 문제가 생기지 않으며, 또한 싱글 엔드 전송 방식을 이용한 전자회로에 관한 전위 비교기의 기술을 유용할 수 있는 등의 이점을 갖는다. 또한, 다른 검사 장치의 예로서 차동 신호의 한 쪽의 전위를 일률적으로 변화(오프셋)시키는 오프셋 가산부 및 변화후의 한 쪽의 전기 신호와 다른 쪽의 전기 신호를 비교하는 전위 비교기를 포함한 검사 장치도 공지되어 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).
[특허문헌 1] 일본특허공개 1997-197018호 공보
[발명이 해결하고자 하는 과제]
그러나, 종래의 검사 장치는 구조가 복잡화한다는 과제를 갖는다. 즉, 아날로그 감산 회로의 구체적인 구조로서는, 특히 감산 대상의 차동 신호가 고속이며 넓은 전위 변동 범위를 가지는 경우에 선형성을 양호하게 유지한 감산기를 구성하는 전자회로의 난이도는 높으며 구조도 복잡화할 가능성이 높다.
또한, 차동 신호의 한 쪽의 전위를 오프셋시키는 검사 장치에 관해서도 구조가 복잡화한다는 점에서는 마찬가지이다. 즉, 오프셋 전압을 고도로 안정화시키는 관점에서는 피드백 기구라고 하는 것이 어떻든 필수로 되기 때문에, 종래의 검사 장치에서는 특허문헌 1의 도 2에 기재한 회로에 더하여 별도의 피드백 기구 등을 새롭게 갖출 필요가 있어서 아날로그 감산기를 갖춘 경우와 마찬가지로 구조가 복잡화한다. 또한, 오프셋 가산부를 이용한 검사 장치에서는 특허문헌 1의 도 2로부터도 명확한 바와 같이 오프셋 가산부가 에미터 폴로워를 포함하는 구성을 취하고 있으며, 입력 신호가 고속화한 경우에 파형의 상승 및 하강에 대한 응답이 비대칭이 되는 것, 구성 요소인 트랜지스터의 전기 특성에 관한 비선형성이 오프셋 전압의 정밀도에 영향을 주는 등의 문제를 야기한다.
본 발명은 상기 문제를 감안하여 이루어진 것으로, 아날로그 감산 회로 등을 이용하지 않는 단순한 구성으로 차동 신호를 형성하는 신호간의 전위차와 소정의 역치 전위 간의 대소 관계를 고정밀도로 도출하는 전위 비교기를 실현하는 것을 목적으로 한다.
[과제를 해결하기 위한 수단]
상술한 과제를 해결하고 목적을 달성하기 위해서, 청구항 1에 관한 전위 비교기는, 차동 신호를 형성하는 제1 및 제2 신호간의 전위차와 소정의 역치 전위 간의 대소 관계를 도출하는 전위 비교기에 있어서, 비교 대상인 2개의 전위의 대소 관계를 도출하는 전위 비교 수단; 소정의 제1 전위와 상기 제1 신호의 전위 간의 분압인 제1 분압을 생성하고, 당해 제1 분압을 상기 전위 비교 수단의 비교 대상의 한 쪽으로서 출력하는 제1분압 생성 수단; 및 상기 제1 전위 및 상기 역치 전위에 기초하여 결정되는 제2 전위와 상기 제2 신호의 전위 간의 분압이며, 상기 제1 분압과의 사이의 대소 관계가 상기 제1 및 제2 신호간의 전위차와 상기 역치 전위 간의 대소 관계에 대응하는 제2 분압을 생성하고, 당해 제2 분압을 상기 전위 비교 수단의 비교 대상의 다른 쪽으로서 출력하는 제2분압 생성 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.
청구항 1의 발명에 의하면, 아날로그 감산 처리 등의 복잡한 처리를 수행하지 않고, 차동 신호를 형성하는 제1 및 제2 신호의 전위 등을 이용해서 생성된 소정의 제1 및 제2 분압간의 대소 관계를 도출함으로써 차동 신호간의 전위차와 소정의 역치 전위 간의 대소 관계를 도출하기 때문에 간이한 구성으로 전위 비교기를 실현하는 것이 가능하다.
또한, 청구항 2에 관한 전위 비교기는, 상기 발명에 있어서, 상기 제1분압 생성 수단은 상기 제1 전위를 공급하는 제1전위 공급원과 상기 제1 신호를 전송하는 입력 배선의 사이에 제1 및 제2 저항부가 순차 배치되는 동시에 상기 제1 및 제2 저항부간의 접속 부분으로부터 상기 제1 분압을 출력하도록 형성되며, 상기 제2분압 생성 수단은 상기 제2 전위를 공급하는 제2전위 공급원과 상기 제2 신호를 전송하는 입력 배선의 사이에 상기 제1 및 제2 저항부간의 저항비와 동등한 저항비를 가지는 제3 및 제4 저항부가 순차 배치되는 동시에 상기 제3 및 제4 저항부간의 접속 부분으로부터 상기 제2 분압을 출력하도록 형성되며, 상기 제2전위 공급원은 상기 제1 전위와의 차분치가 상기 제3 저항부의 저항값을 상기 제4 저항부의 저항값으로 나눈 값을 상기 역치 전위에 곱한 값으로 되는 전위를 상기 제2 전위로서 공급하는 것을 특징으로 한다.
또한, 청구항 3에 관한 전위 비교기는, 상기 발명에 있어서, 상기 제1 및 제2 저항부간의 저항비 및 상기 제3 및 제4 저항부간의 저항비는 2:1이며, 상기 제1전위 공급원은 소정의 기준전위로부터 상기 역치 전위를 뺀 값의 전위를 제1 전위로서 공급하며, 상기 제2전위 공급원은 소정의 기준전위에 상기 역치 전위를 더한 값의 전위를 제2 전위로서 공급하는 것을 특징으로 한다.
또한, 청구항 4에 관한 전위 비교기는, 상기 발명에 있어서, 상기 제2 및 제4 저항부는 동일한 저항값을 가지는 동일 구조의 저항 소자로 형성되며, 상기 제1 및 제3 저항부는 상기 저항 소자 2개를 직렬로 접속함으로써 형성되는 것을 특징으로 한다.
[발명의 효과]
본 발명에 관한 전위 비교기는, 아날로그 감산 처리 등의 복잡한 처리를 수행하지 않고, 차동 신호를 형성하는 제1 및 제2 신호의 전위 등을 이용해서 생성된 소정의 제1 및 제2 분압간의 대소 관계를 도출함으로써 차동 신호간의 전위차와 소정의 역치 전위 간의 대소 관계를 도출하기 때문에, 간이한 구성으로 전위 비교기를 실현하는 것이 가능하다는 효과를 발휘한다.
또한, 상기 발명의 개요는 본 발명이 필요로 하는 특징의 모두를 열거한 것이 아니며, 이들 특징군의 서브 콤비네이션도 또한 발명이 될 수 있다.
도 1은 실시 형태 1에 관한 전위 비교기의 구성을 나타내는 모식도이다.
도 2는 실시 형태 1의 변형예 1에 관한 전위 비교기의 구성을 나타내는 모식도이다.
도 3은 실시 형태 1의 변형예 2에 관한 전위 비교기의 구성을 나타내는 모식도이다.
도 4는 실시 형태 2에 관한 전위 비교기의 구성을 나타내는 모식도이다.
도 5는 실시 형태 3에 관한 전위 비교기의 구성을 나타내는 모식도이다.
<부호의 설명>
1, 50, 71, 73 전위 비교기
2 검사 대상
3, 4 입력 배선
5, 74 고역치측 분압 생성부
6 고역치측 전위 비교기
8, 75 저역치측 분압 생성부
9 저역치측 전위 비교기
10, 11, 14, 15, 19∼24, 26∼31, 36∼41, 43∼48, 54∼65, 79a∼79h, 80a∼80h 저항 소자
12 터미네이터
13 차동신호 생성부
16, 32, 76, 82 제1분압 생성부
17, 33, 77, 83 제2분압 생성부
18, 35, 78, 84 제1전위 공급원
25, 42, 81, 85 제2전위 공급원
51 분압 생성부
52, 53, 69-1∼69-n, 70-1∼70-n 전위 공급원
67 전위 비교기
68-1∼68-n 전위 비교 유닛
[발명을 실시하기 위한 최상의 형태]
이하, 발명의 실시 형태를 통해서 본 발명을 설명하지만, 이하의 실시 형태는 청구의 범위에 따른 발명을 한정하는 것이 아니며 또한 실시 형태에서 설명되는 특징의 조합의 모두가 발명의 해결 수단에 필수적인 것은 아니다.
이하에, 본 발명에 관한 전위 비교기를 실시하기 위한 최상의 형태(이하, 간 단히 “실시 형태”라고 칭한다)에 대해서 설명한다. 또한, 이하에 나타내는 실시 형태에서는 전위 비교기를 차동 신호를 출력하는 전자회로의 전기 특성을 검사하는 검사 장치의 구성 요소로서 사용한 경우를 예로 설명하지만, 본 발명에 관한 전위 비교기의 용도가 검사 장치에 한정되지 않는 것은 물론이다.
(실시 형태 1)
우선, 실시 형태 1에 관한 전위 비교기에 대해서 설명한다. 도 1은 본 실시 형태 1에 관한 전위 비교기의 구성을 나타내는 모식도이다. 도 1 에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태 1에 관한 전위 비교기(1)는 검사대상(2)으로부터 출력되는 차동 신호를 입력하기 위한 입력 배선(3, 4), 입력 배선(3, 4)의 각각으로부터 차동 신호를 받아들이는 동시에 소정의 고역치 전위(VOH) 및 받아들인 차동 신호의 전위에 기초하는 분압인 제1 분압 및 제2 분압을 생성 및 출력하는 고역치측 분압 생성부(5), 및 고역치측 분압 생성부(5)로부터 출력된 제1 및 제2 분압간의 대소 관계를 도출하는 고역치측 전위 비교기(6)을 포함한다. 또한, 본 실시 형태 1에 관한 전위 비교기(1)는 입력 배선(3, 4)의 각각으로부터 차동 신호를 받아들이는 동시에 소정의 저역치 전위(VOL) 및 받아들인 차동 신호의 전위에 기초하는 2가지의 분압인 제1 분압 및 제2 분압을 생성 및 출력하는 저역치측 분압 생성부(8), 및 저역치측 분압 생성부(8)로부터 출력된 제1 및 제2 분압의 대소 관계를 도출하는 저역치측 전위 비교기(9)를 포함한다. 더욱이, 전위 비교기(1)는 입력 배선(3, 4)에 대한 고역치측 분압 생성부(5) 및 저역치측 분압 생성부(8)측의 임피던스를 정합하 기 위해서 입력 배선(3, 4)의 각각과 일단이 접속된 저항 소자(10, 11), 및 저항 소자(10, 11)의 타단과 접속된 터미네이터(12)를 포함한다. 터미네이터(12)는 검사대상(2)로부터 본 종단전압을 결정하는 소자이다. 이하에서 설명을 간이하게 하기 위해, 터미네이터(12)가 종단전압(VT)을 항상 발생시키는 경우를 설명하지만, 터미네이터(12)가 생성하는 전압이 종단전압(VT)에 한정되지는 않는다.
입력 배선(3, 4)은 그 일단이 검사대상(2)의 신호 출력단과 전기적으로 접속되며, 검사대상(2)에 포함되는 차동 신호 생성부(13)로부터 출력되는 차동 신호를 전위 비교기(1) 내에 입력하는 기능을 갖는다. 여기서, 입력 배선(3)은 검사대상(2)에 포함되는 차동 신호 생성부(13)의 양극측과 전기적으로 접속되며, 입력 배선(4)은 차동 신호 생성부(13)의 음극측과 전기적으로 접속되는 것으로 한다. 이 때문에, 이하에서는 필요에 따라, 입력 배선(3)을 통해서 입력되는 신호를 플러스 신호(특허청구의 범위의 제1 신호에 상당)라고 하고, 입력 배선(4)를 통해서 입력되는 신호를 마이너스 신호(특허청구의 범위의 제2 신호에 상당)라고 하며, 플러스 신호와 마이너스 신호의 쌍에 의해 차동 신호가 형성되는 것으로 한다. 또한, 입력 배선(3, 4)과 차동 신호 생성부(13)의 사이이며 검사대상(2)의 내부에 해당하는 위치에는 저항 소자(14, 15)가 각각 배치되어 있으며, 검사대상(2)와의 경계부분에서의 차동 신호의 반사를 억제하는 관점에서, 입력 배선(3, 4)의 입력 임피던스는 각각 저항 소자(14, 15)의 임피던스와 동등한 값으로 하는 것이 바람직하다.
고역치측 전위 비교기(6)는 특허청구의 범위의 전위 비교 수단의 일례로서 기능하는 것이다. 구체적으로는, 고역치측 전위 비교기(6)는 비교 대상인 2개의 전위를 정입력측 단자 및 부입력측 단자를 통해서 입력하고, 정입력측의 전위가 높을 경우에 하이를 출력하며 부입력측의 전위가 높을 경우에는 로우를 출력하는 기능을 갖는다. 또한, 본 실시 형태 1에서 고역치측 전위 비교기(6)는 입력되는 제1 및 제2 분압의 값을 연구하여 고역치측 분압 생성부(5)로부터 출력되는 제1 및 제2 분압간의 대소 관계를 도출함으로써 차동 신호를 구성하는 플러스 신호 및 마이너스 신호 간의 전위차와 소정의 고역치 전위(VOH)간의 대소 관계를 도출하는 기능을 갖는다. 고역치측 전위 비교기(6) 그 자체는 입력되는 2개의 전위의 대소 관계 도출이 가능한 것이면 어떤 임의의 구성을 가져도 되며, 기존의 비교 회로 등으로 형성되는 것이 가능하다.
고역치측 분압 생성부(5)는 입력 배선(3, 4)을 통해서 입력된 차동 신호의 전위와 내부에 포함한 전위 공급원의 전위 간의 분압인 제1 및 제2 분압을 생성하고, 생성된 제1 및 제2 분압을 고역치측 전위 비교기(6)에 출력하는 기능을 갖는다. 구체적으로는, 고역치측 전위 비교기(6)는 입력 배선(3)을 통해서 입력되는 차동 신호인 플러스 신호(제1 신호)의 전위와 특허청구의 범위의 “소정의 역치 전위”의 일례인 고역치 전위(VOH)에 기초하는 분압인 제1 분압을 생성하는 제1분압 생성부(16), 및 입력 배선(4)을 통해서 입력되는 차동 신호인 마이너스 신호(제2 신호)의 전위와 고역치 전위(VOH)에 기초하는 분압인 제2 분압을 생성하는 제2분압 생성부(17)를 포함한다.
제1분압 생성부(16)는 소정의 기준전위(VT)로부터 고역치 전위(VOH)를 뺀 값인 제1 전위를 공급하는 제1전위 공급원(18), 및 각각이 동등한 전기 저항값을 가지며 서로 직렬로 접속된 저항 소자(19∼24)를 포함한다. 저항 소자(19∼24)에 의한 직렬 접속 구조에서 저항 소자(19)측의 단부는 제1전위 공급원(18)과 전기적으로 접속되며, 저항 소자(24)측의 단부는 제2전위 공급원(25)(후술)과 전기적으로 접속된다. 또한, 저항 소자(19∼24) 가운데 저항 소자(19, 20)는 특허청구의 범위의 제1 저항부의 일례로서 기능하며, 저항 소자(21)는 제2 저항부의 일례로서 기능한다.
또한, 저항 소자(21)와 저항 소자(22)가 접속하는 부분은 입력 배선(3)에 전기적으로 접속되며, 저항 소자(20)와 저항 소자(21)가 접속하는 부분은 고역치측 전위 비교기(6)의 부입력측과 전기적으로 접속된 구성을 갖는다. 이 때문에, 제1분압 생성부(16)는 저항 소자(19, 20)(제1 저항부)의 전기 저항값과 저항 소자(21)(제2 저항부)의 전기 저항값의 비율에 따라 제1 전위와 플러스 신호의 전위 간의 분압인 제1 분압을 생성하고, 생성된 제1 분압을 고역치측 전위 비교기(6)의 부입력측으로 출력한다. 또한, 제1전위 공급원(18)에 접속된 저항 소자(19∼21)가 입력 배선(3)에 접속됨으로써 검사대상(2)으로부터 본 종단전압이 VT로부터 벗어나지만, 이 이탈을 방지하기 위해 제2전위 공급원(25)(후술)에 접속된 저항 소자(22∼24를 입력 배선(3)에 접속하고 있다. 또한, 후술하는 바와 같이, 입력 배선(3)에 접속된 저항 소자(19∼24 및 10), 그리고 후술하는 저항 소자(36∼41)는 전체로 서 입력 배선(3)이 가지는 특성 임피던스와 정합시키는 것이 바람직하다.
제2분압 생성부(17)는 기준전위(VT)와 고역치 전위(VOH)를 더한 값인 제2 전위를 공급하는 제2전위 공급원(25), 및 각각이 동등한 전기 저항값을 가지며 서로 직렬로 접속된 저항 소자(26∼31)를 포함한다. 또한, 저항 소자(26∼31) 가운데 저항 소자(30, 31)은 특허청구의 범위의 제3 저항부의 일례로서 기능하며, 저항 소자(29)는 제4 저항부의 일례로서 기능한다. 또한, 저항 소자(26∼31)에 의해 형성되는 직렬 접속 구조에서 저항 소자(31)측의 단부는 제2전위 공급원(25)과 전기적으로 접속되며, 저항 소자(26)측의 단부는 제1전위 공급원(18)과 전기적으로 접속된다. 또한, 저항 소자(28)와 저항 소자(29)가 접속하는 부분은 입력 배선(4)과 전기적으로 접속되며, 저항 소자(29)와 저항 소자(30)가 접속하는 부분은 고역치측 전위 비교기(6)의 정입력측과 전기적으로 접속된 구성을 갖는다. 이 때문에, 제2분압 생성부(17)는 저항 소자(30, 31)(제3 저항부)의 전기 저항값과 저항 소자(29)(제4 저항부)의 전기 저항값 간의 비에 따라 제2 전위와 마이너스 신호의 전위 간의 분압인 제2 분압을 생성하고, 생성된 제2 분압을 고역치측 전위 비교기(6)의 정입력측으로 출력한다. 또한, 제2전위 공급원(25)에 접속된 저항 소자(29∼31)가 입력 배선(4)에 접속됨으로써 검사대상(2)으로부터 본 종단전압이 VT로부터 벗어나지만, 이 이탈을 방지하기 위해 제1전위 공급원(18)에 접속된 저항 소자(26∼28)이 입력 배선(4)에 접속되고 있다. 또한, 후술하는 바와 같이, 입력 배선(4)에 접속된 저항 소자(26∼31 및 11), 그리고 후술하는 저항 소자(43∼48)는 전체로 서 입력 배선(4)이 가지는 특성 임피던스와 정합시키는 것이 바람직하다.
다음에, 저역치측 분압 생성부(8) 및 저역치측 전위 비교기(9)에 대해서 설명한다. 단순히 전위 비교기를 구성하는 관점에서, 전위 비교기는 그 구성 요소로서 고역치측 분압 생성부(5) 및 고역치측 전위 비교기(6)의 쌍 또는 저역치측 분압 생성부(8) 및 저역치측 전위 비교기(9)의 쌍 가운데 어느 한 쪽을 포함하면 된다. 그러나, 상술한 바와 같이 본 실시 형태 1에 관한 전위 비교기는 이용 형태로서 차동 신호를 출력하는 검사대상(2)의 특성 검사를 수행하는 검사 장치에 이용되는 것을 전제로 하고 있다. 이 때문에, 본 실시 형태 1에서는 고역치 전위(VOH)에 대응한 전위비교를 수행하는 고역치측 분압 생성부(5) 및 고역치측 전위 비교기(6)에 더하여, 특허청구의 범위의 “소정의 역치 전위”의 다른 예인 저역치 전위(VOL)에 대응한 전위비교를 수행하는 저역치측 분압 생성부(8) 및 저역치측 전위 비교기(9)를 포함한 구성을 채용한다.
저역치측 전위 비교기(9)는 고역치측 전위 비교기(6)와 마찬가지로 특허청구의 범위의 전위 비교 수단의 일례로서 기능한다. 구체적인 구성에 대해서도, 고역치측 전위 비교기(6)와 마찬가지이며, 일반적인 비교 회로로 구성되는 것이 가능하다.
저역치측 분압 생성부(8)는 고역치측 분압 생성부(5)와 마찬가지로 소정의 역치 전위와 차동 신호(플러스 신호 및 마이너스 신호)의 전위를 이용한 제1 및 제2 분압을 생성 및 출력하는 기능을 갖는다. 저역치측 분압 생성부(8)는 고역치측 분압 생성부(5)와 마찬가지로 각각 소정의 분압을 생성 및 출력하는 제1분압 생성부(32) 및 제2분압 생성부(33)를 포함하는 한편, 분압생성에 이용하는 역치 전위로서 고역치측 분압 생성부(5)에서 이용한 고역치 전위(VOH)보다도 낮은 값을 갖는 저역치 전위(VOL)로 하는 점에서 고역치측 분압 생성부(5)와 다른 구성을 갖는다.
제1분압 생성부(32)는 소정의 전위를 공급하는 제1전위 공급원(35), 및 각각 동등한 전기 저항값을 가지는 동시에 서로 직렬로 접속된 저항 소자(36∼41)을 포함한다. 저항 소자(36∼41) 가운데, 저항 소자(36, 37)은 특허청구의 범위의 제1 저항부의 일례로서 기능하며, 저항 소자(38)는 제2 저항부의 일례로서 기능한다. 저항 소자(36∼41)에 의한 직렬 접속 구조에서 저항 소자(36)측의 단부는 제1전위 공급원(35)과 전기적으로 접속되며, 저항 소자(41)측의 단부는 제2전위 공급원(42)(후술)와 전기적으로 접속된다. 또한, 저항 소자(38, 39) 사이의 접속 부분은 입력 배선(3)과 전기적으로 접속되며, 저항 소자(37, 38) 사이의 접속 부분은 저역치측 전위 비교기(9)의 정입력측과 전기적으로 접속된다. 이상의 기본 구성은 고역치측 분압 생성부(5)에 포함되는 제1분압 생성부(16)와 같다. 제1분압 생성부(16)의 구성과 현저히 상이한 점은 제1전위 공급원(35)에 의해 공급되는 전위가 소정의 기준전위(VT)로부터 저역치 전위(VOL)을 뺀 값으로 되는 것이다.
제2분압 생성부(33)는 소정의 전위를 공급하는 제2전위 공급원(42), 및 각각 동등한 전기 저항값을 가지는 동시에 서로 직렬로 접속된 저항 소자(43∼48)를 포함한다. 저항 소자(43∼48) 가운데, 저항 소자(47, 48)는 특허청구의 범위의 제3 저항부의 일례로서 기능하며, 저항 소자(46)은 제4 저항부의 일례로서 기능한다. 저항 소자(43∼48)에 의한 직렬 접속 구조에서 저항 소자(43)측의 단부는 제1전위 공급원(35)과 전기적으로 접속되며, 저항 소자(48)측의 단부는 제2전위 공급원(42)과 전기적으로 접속된다. 또한, 저항 소자(45, 46) 사이의 접속 부분은 입력 배선(4)과 전기적으로 접속되며, 저항 소자(46, 47) 사이의 접속 부분은 저역치측 전위 비교기(9)의 부입력측과 전기적으로 접속된다. 고역치측 분압 생성부(5)에 포함되는 제2분압 생성부(17)와 현저히 상이한 점은 제2전위 공급원(42)에 의해 공급되는 전위가 소정의 기준전위(VT)에 저역치 전위(VOL)를 더한 값으로 되는 것이다.
다음에, 터미네이터(12)와 접속된 저항 소자(10, 11), 및 고역치측 분압 생성부(5)와 저역치측 분압 생성부(8)에 포함되는 저항 소자(19∼24, 26∼31, 36∼41, 43∼48)의 전기 저항값의 상호 관계에 대해서 설명한다. 입력 배선(3, 4)을 통해서 교류 신호인 차동 신호를 입력하는 전위 비교기(1)에서는, 입력 배선(3, 4)과 그 밖의 구성요소 간의 접속 부분에서 차동 신호가 반사하지 않도록, 입력 배선(3, 4)과 그 밖의 구성요소 간에 임피던스를 정합시킬 필요가 있다. 이 때문에, 본 실시 형태 1에서는 임피던스 정합을 실현하는 관점에서 저항 소자(19∼24, 26∼31, 36∼41, 43∼48)의 전기 저항값을 각각 동등한 값 Ra로 하고, 저항 소자(10, 11)의 전기 저항값을 Rb로 한 후, 입력 배선(3, 4)의 임피던스(Zo)에 대하여 식 (1)이 성립하도록 Ra와 Rb의 값이 정해진다.
Zo = (3RaRb) / (4Rb+3Ra) (1)
다음에, 본 실시 형태 1에 관한 전위 비교기(1)의 동작에 대해서 설명한다. 상술한 바와 같이, 본 실시 형태 1에 관한 전위 비교기(1)는 차동 신호를 형성하는 플러스 신호(제1 신호)와 마이너스 신호(제2 신호)의 전위차와 소정의 역치 전위 간의 대소 관계를 도출하기 위한 것인다. 구체적으로는, 본 실시 형태 1에 관한 전위 비교기(1)는 고역치측 분압 생성부(5)에 포함되는 제1분압 생성부(16) 및 제2분압 생성부(17), 그리고 고역치측 전위 비교기(6)에 의해 고역치 전위(VOH)와 차동 신호간의 전위차 간의 대소 관계를 도출하며, 저역치측 분압 생성부(8)에 포함되는 제1분압 생성부(32) 및 제2분압 생성부(33), 그리고 저역치측 전위 비교기(9)에 의해 저역치 전위(VOL)와 차동 신호간의 전위차 간의 대소 관계를 도출한다. 양자에서의 대소 관계의 도출은 거의 동일한 원리에 기초하여 수행되므로, 이하에서는 고역치측 분압 생성부(5) 및 고역치측 전위 비교기(6)의 동작을 중심으로 설명한다.
상술한 바와 같이, 고역치측 분압 생성부(5)는 제1분압 생성부(16)과 제2분압 생성부(17)를 포함한 구성을 하며, 각각이 소정의 분압을 생성하고 고역치측 전위 비교기(6)에 출력한다. 제1분압 생성부(16)에서는 저항 소자(19)가 (VT-VOH)인 제1 전위를 공급하는 제1전위 공급원(18)과 전기적으로 접속되며, 저항 소자(21)와 저항 소자(22)의 접속 부분이 차동 신호의 한 쪽인 플러스 신호가 입력되는 입력 배선(3)과 전기적으로 접속한다. 이 때문에, 플러스 신호의 전위(VuP)를 이용하면, 각각 동등한 전기 저항값(Ra)을 갖는 저항 소자(19, 20)(제1 저항부) 및 저항 소자(21)(제2 저항부)에 의해 형성되는 직렬 접속 구조에서 저항 소자(20, 21) 사이 의 접속 부분에서의 분압인 제1 분압(VHN)은, 식 (2)로 표현된다.
VHN = {2RaVuP+Ra(VT-VOH)}/3Ra = (2VuP+VT-VOH)/3 (2)
저항 소자(20, 21) 사이의 접속 부분은 고역치측 전위 비교기(6)의 부입력측과 전기적으로 접속되므로, 식 (2)로 표현되는 제1 분압(VHN)이 고역치측 전위 비교기(6)의 부입력으로 된다.
제2분압 생성부(17)에서도 같은 원리에 의해 분압이 생성된다. 즉, 제2분압 생성부(17)을 구성하는 저항 소자(29∼31)에 의한 직렬 접속 구조는 양단에서 (VT+VOH)인 전위를 공급하는 제2전위 공급원(25) 및 차동 신호의 다른 쪽인 마이너스 신호를 입력하는 입력 배선(4)과 전기적으로 접속한다. 이 때문에, 동등한 저항값 Ra를 갖는 저항 소자(30, 31)(제3 저항부) 및 저항 소자(29)(제4 저항부)로 구성되는 직렬 접속 구조에서 저항 소자(29, 30) 사이의 접속 부분의 분압인 제2 분압(VHP)은 식 (2)의 경우와 마찬가지로 식 (3)으로 표현된다.
VHP = (2VuN+VT+VOH)/3 (3)
상술한 바와 같이, 저항 소자(29, 30) 사이의 접속 부분은 고역치측 전위 비교기(6)의 정입력측과 전기적으로 접속되므로, 식 (3)으로 표현된 제2 분압(VHP)은 고역치측 전위 비교기(6)의 정입력으로 된다.
이와 같이, 고역치측 전위 비교기(6)에 대해서는 정입력으로서 식 (3)에 나타내는 제2 분압(VHP)가 입력되고, 부입력으로서 식 (2)에 나타내는 제1 분압(VHN)이 입력되기 때문에, 고역치측 전위 비교기(6)은 직접적으로는 제2 분압(VHP)과 제1 분압(VHN) 간의 대소 관계를 도출하는 것으로 된다. 즉, 고역치측 전위 비교기(6)는,
ΔV = VHP-VHN (4)
로 표현되는 ΔV가 0보다 클 지의 여부를 판정하도록 되지만, 식 (4)는 식 (2) 및 식 (3)의 우변을 대입하면,
ΔV = {(2VuN+VT+VOH)/3} - {(2VuP+VT-VOH)/3}
= -(2/3){(VuP-VuN)-VOH} (5)
로 변형된다. 식 변형에 의해 도출된 식 (5)의 우변은 차동 신호를 형성하는 플러스 신호와 마이너스 신호의 전위차 (VuP-VuN)과 특허청구의 범위의 “소정의 역치 전위”의 일례인 고역치전위(VOH)의 차분치를 (-2/3)배 한 것이다. 따라서, 고역치측 전위 비교기(6)에 의한 제2 분압(VHP)과 제1 분압(VHN) 간의 대소 관계의 도출 결과는 식 (5)에 나타낸 바와 같이 차동 신호를 형성하는 플러스 신호와 마이너스 신호의 전위차와 역치 전위 간의 대소 관계와 대응한다. 결과로서, 본 실시 형태 1에 관한 전위 비교기(1)에서는 고역치측 전위 비교기(6)에 의해 도출된 결과를 참조함으로써 검사대상으로부터 출력되는 차동 신호를 형성하는 제1 신호(플러스 신호)와 제2 신호(마이너스 신호) 간의 전위차와 소정의 역치 전위 간의 대소 관계를 분명하게 하는 것이 가능하다. 이 결과, 고역치측 전위 비교기(6)는 차동 신호간의 전위차가 고역치 전위보다도 클 경우에는 로우를 출력하고, 고역치 전위 보다도 작을 경우에는 하이를 출력하며, 사용자는 출력 결과에 기초하여 양자간의 대소 관계를 인식한다.
이와 같은 동작은 저역치측 분압 생성부(8) 및 저역치측 전위 비교기(9)에서도 마찬가지이다. 즉, 제1분압 생성부(32)는 저항 소자(36, 37)(제1 저항부), 저항 소자(38)(제2 저항부)의 작용에 의해 제1전위 공급원(35)으로부터 공급되는 제1 전위 (VT-VOL)과 플러스 신호의 전위(VuP) 간의 분압으로서의 제1 분압(VLP)은,
VLP = (2VuP+VT-VOL)/3 (6)
으로 표현되며, 제2분압 생성부(33)에서는 저항 소자(47, 48)(제3 저항부) 및 저항 소자(46)(제4 저항부)의 작용에 의해 제2전위 공급원(42)으로부터 공급되는 제2 전위(VT+VOL)와 마이너스 신호의 전위(VuN)간의 분압으로서의 제2 분압(VLN)은,
VLN = (2VuN+VT+VOL)/3 (7)
으로 표현된다. 따라서, 저역치측 전위 비교기(9)는,
ΔV' = VLP-VLN = (2/3)(VuP-VuN-VOL) (8)
로 정의되는 ΔV'가 0과의 대소 관계를 도출하도록 되며, 식 (8)의 최우변으로부터도 명확한 바와 같이, 도출 결과는 차동 신호를 형성하는 플러스 신호와 마이너스 신호 간의 전위차와 특허청구의 범위의 “소정의 역치 전위”의 다른 예인 저역치 전위 간의 대소 관계에 대응하도록 된다. 구체적으로는, 저역치측 전위 비 교기(9)는 차동 신호 간의 전위차가 저역치 전위보다도 클 경우에는 하이를 출력하고, 저역치 전위보다도 작을 경우에는 로우를 출력한다.
다음에, 본 실시 형태 1에 관한 전위 비교기의 이점에 대해서 설명한다. 우선, 본 실시 형태 1에 관한 전위 비교기에서는 제1분압 생성부(16) 및 제2분압 생성부(17)(또는 제1분압 생성부(32) 및 제2분압 생성부(33))가 소정의 역치 전위에 따라 정해진 전위와의 사이에서 적당한 제1 분압 및 제2 분압을 생성하고, 제1 분압과 제2 분압 간의 대소 관계를 도출함으로써 차동 신호간의 전위차와 소정의 역치 전위 간의 대소 관계를 도출한다. 이와 같이, 본 실시 형태 1에서는 소정의 전위 공급원과 저항 소자 및 기존의 비교 회로를 이용하여 전위비교를 가능하게 하기 때문에, 아날로그 감산기 등을 이용한 종래의 전위 비교기와 비교하여 간이한 회로 구조에 의해 전위 비교기를 실현할 수 있다는 이점을 갖는다.
또한, 전위 비교기를 구성하는 저항 소자의 경우, 이상적으로는 그 전기 특성이 전위의 절대치 및 주파수에 의존하지는 않는다. 따라서, 종래의 전위 비교기와 달리, 넓은 전위 범위 및 고속의 (즉 고주파수의) 차동 신호에 대하여도 충분히 대응할 수 있으며, 차동 신호의 주파수 등에 관계없이 높은 정밀도의 전위비교를 수행할 수 있다는 이점을 갖는다.
더욱이, 본 실시 형태 1에 관한 전위 비교기에 있어서, 저항 소자(19∼24, 26∼31, 36∼41, 43∼48)는 동일한 전기 저항값의 소자로 형성되도록 하고 있다. 이 때문에, 본 실시 형태 1에 관한 전위 비교기를 제작할 경우, 준비하는 저항 소자로서는 식 (1)의 관계를 만족하는 전기 저항값(Ra, Rb)의 2 종류의 저항 소자를 준비하면 되며, 저항 소자의 종류의 관점에서도 단순한 구조의 전위 비교기를 실현할 수 있어서 제조 비용을 저감할 수 있다는 이점을 갖는다.
또한, 저항 소자(19∼24) 등으로서 동일한 전기 저항값의 소자를 이용할 수 있기 때문에, 저항 소자(19∼24) 등에 관해서 물리적인 구조가 동일한 것을 이용할 수 있다. 구조가 동일한 것을 이용한 경우, 예를 들면 온도 변화에 의한 전기 저항값의 변화 등 전기적인 특성의 변화가 동등하며, 온도 등의 주변 환경 조건의 변화에도 불구하고 서로의 전기 저항값의 비율이 유지되도록 된다. 상술한 바와 같이, 본 실시 형태 1에서는 저항 소자간의 전기 저항값의 비율에 기초하여 분압을 생성하고 있기 때문에, 주변 환경 조건의 변화에 의해 각각의 저항 소자의 전기 저항값이 변화되었을 경우일지라도, 전기 저항값의 비율이 유지됨으로써 여전히 고정밀도의 전위비교를 수행할 수 있다는 이점을 갖는다.
(변형예 1)
다음에, 실시 형태 1에 관한 전위 비교기의 변형예 1에 대해서 설명한다. 본 변형예 1에서는 실시 형태 1의 경우와 마찬가지로 차동 신호간의 전위차를 복수의 역치 전위와 비교하는 전위 비교기에 있어서, 고역치전위(VOH)와 저역치전위(VOL) 간에,
VOH = -VOL ((9)
의 관계가 성립한 경우에, 실시 형태 1에서의 고역치측 분압 생성부(5)와 저역치측 분압 생성부(8)를 일체화한 구성을 갖는다.
도 2는 본 변형예 1에 관한 전위 비교기(50)의 구성을 나타내는 모식도이다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 본 변형예 1에 관한 전위 비교기(50)는 실시 형태 1과 마찬가지로 입력 배선(3, 4), 저항 소자(10, 11), 고역치측 전위 비교기(6), 및 저역치측 전위 비교기(9)를 포함하는 한편, 실시 형태 1에서의 고역치측 분압 생성부(5) 및 저역치측 분압 생성부(8)의 기능을 겸비하는 분압 생성부(51)를 새롭게 포함한 구성을 갖는다.
분압 생성부(51)는 실시 형태 1에서의 고역치측 전위 비교기(6) 등과 마찬가지로 소정의 전위를 공급하는 전위 공급원과 소정의 전기 저항값을 갖는 저항 소자를 포함한 구조를 갖는다. 구체적으로는, 분압 생성부(51)는 소정의 기준전위(VT)로부터 고역치전위(VOH)를 뺀 전위를 공급하는 전위 공급원(52) 및 기준전위(VT)에 고역치전위(VOH)를 더한 전위를 공급하는 전위 공급원(53)을 포함한다. 그리고, 전위 공급원(52)과 전위 공급원(53)의 사이에는 저항 소자(54∼59)의 직렬 접속 구조와 저항 소자(60∼65)의 직렬 접속 구조가 배치되고, 각각의 직렬 접속 구조의 저항 소자(54)측 및 저항 소자(60)측의 단부가 전위 공급원(52)과 전기적으로 접속되며, 저항 소자(59)측 및 저항 소자(65)측의 단부가 전위 공급원(53)과 전기적으로 접속된 구성을 갖는다.
저항 소자(54∼59)의 직렬 접속 구조에서 저항 소자(55, 56) 사이의 접속 부분은 고역치측 전위 비교기(6)의 부입력측과 전기적으로 접속되고, 저항 소자(56, 57) 사이의 접속 부분은 입력 배선(3)과 전기적으로 접속되며, 저항 소자(57, 58) 사이의 접속 부분은 저역치측 전위 비교기(9)의 정입력측과 전기적으로 접속된다. 또한, 저항 소자(60∼65)의 직렬 접속 구조에서 저항 소자(61, 62) 사이의 접속 부분은 저역치측 전위 비교기(9)의 부입력측과 전기적으로 접속되고, 저항 소자(62, 63) 사이의 접속 부분은 입력 배선(4)과 전기적으로 접속되며, 저항 소자(63, 64) 사이의 접속 부분은 고역치측 전위 비교기(6)의 정입력측과 전기적으로 접속된다.
또한, 저항 소자(54∼65)는 서로 동등한 전기 저항값을 갖는 저항 소자로 형성된다. 또한, 저항 소자(54∼65)의 전기 저항값(Rc)은 임피던스 정합의 관점에서 입력 배선(3, 4)측에서 본 전위 비교기(50) 내의 다른 구성 요소의 임피던스 값과 입력 배선(3, 4)의 입력 임피던스가 동등한 값이 되는 것이 바람직하다. 이 때문에, 저항 소자(54∼65)의 전기 저항값(Rc)은 입력 배선(3, 4)의 임피던스(Zo)에 대하여 저항 소자(10, 11)의 전기 저항값(Rb)과의 사이에,
Zo = (3RcRb)/(2Rb+3Rc) (10)
의 관계가 성립하는 값이 되도록 정해진다. 임피던스(Zo) 및 전기 저항값 (Rb)을 일정한 값으로 한 경우, 식 (1)과의 대비로부터 명확한 바와 같이 저항 소자(54∼65)의 전기 저항값(Rc)은 저항 소자(19) 등의 전기 저항값(Ra)의 (1/2)의 크기로 된다. 이와 같은 값으로 되는 이유는 도 1과 도 2 간의 비교로부터 명확한 바와 같이 실시 형태 1에서의 고역치측 분압 생성부(5) 및 저역치측 분압 생성부(8)에 포함되는 저항 소자의 개수에 비해 분압 생성부(51)에 포함되는 저항 소자의 개수가 절반으로 되기 때문이다.
다음에, 2가지의 역치 전위(고역치 전위 및 저역치 전위)에 대한 분압 생성 부(51)의 동작에 대해서 간단히 설명한다. 고역치 전위(VOH)를 역치 전위로 한 전위비교, 즉 고역치측 전위 비교기(6)에 의한 전위비교를 수행할 경우, 전위 공급원(52)이 실시 형태 1에서의 제1전위 공급원(18)의 대체물로서 기능하며, 저항 소자(54∼56)가 저항 소자(19∼21)의 대체물로서 기능한다. 따라서, 저항 소자(55, 56) 사이의 접속 부분의 전위는 식 (2)에 나타내는 제1 분압(VHN)이 되며, 이와 같은 제1 분압이 고역치측 전위 비교기(6)의 부입력측으로 출력된다. 한편, 전위 공급원(53)은 실시 형태 1에서의 제2전위 공급원(25)의 대체물로서 기능하며, 저항 소자(63∼65)는 저항 소자(29∼31)의 대체물로서 기능한다. 이 때문에, 저항 소자(63, 64) 사이의 접속 부분의 전위는 식 (3)에 나타내는 제2 분압(VHP)이 되며, 이와 같은 제2 분압이 고역치측 전위 비교기(6)의 정입력측으로 출력된다.
이 때문에, 실시 형태 1과 마찬가지로 고역치측 전위 비교기(6)는 식 (2)에 나타내는 제1 분압(VHN)이 부입력측으로 입력되며, 식 (3)에 나타내는 제2 분압(VHP)이 정입력측으로 입력된다. 따라서, 고역치측 전위 비교기(6)는 식 (4) 및 식 (5)에 기초하여 각각 차동 신호를 형성하는 플러스 신호와 마이너스 신호의 전위차와 고역치 전위(VOH) 간의 대소 관계를 도출하는 것이 가능하다.
다음에, 저역치 전위 VOL(=-VOH)을 역치 전위로 한 전위비교, 즉 저역치측 전위 비교기(9)에 의한 전위비교를 수행할 경우에 대해서 설명한다. 전위 공급원(53)은 실시 형태 1에서의 제1전위 공급원(35)의 대체물로서 기능하며, 저항 소 자(57, 58, 59)가 저항 소자(38, 37, 36)의 대체물로서 기능한다. 따라서, 저항 소자(57, 58) 사이의 접속 부분의 전위는 식 (6)에 나타내는 제1 분압(VLP)이 되며, 이와 같은 제1 분압이 저역치측 전위 비교기(9)의 정입력측으로 출력된다. 한편, 전위 공급원(52)은 실시 형태 1에서의 제2전위 공급원(42)의 대체물로서 기능하고, 저항 소자(60, 61, 62)는 저항 소자(48, 47, 46)의 대체물로서 기능하며, 저항 소자(61, 62) 사이의 접속 부분의 전위는 식 (7)에 나타내는 제2 분압(VLN)이 된다. 이 때문에, 저역치측 전위 비교기(9)의 정입력측 및 부입력측에 입력되는 전위는 각각 제1 분압(VLP) 및 제2 분압(VLN)이 되고, 식 (8)에 나타내는 바와 같이 차동 신호를 형성하는 플러스 신호와 마이너스 신호의 사이의 전위차와 저역치 전위(VOL) 간의 대소 관계를 도출하는 것이 가능하다.
이와 같이, 고역치 전위(VOH)와 저역치 전위(VOL) 간에 식 (9)에 나타내는 관계가 성립하였을 경우, 본 변형예 1에 나타내는 바와 같이 전위 공급원 및 저항 소자의 개수를 거의 절반으로 하는 것이 가능하여 보다 간이한 구조의 전위 비교기를 실현할 수 있다는 이점을 갖는다.
(변형예 2)
다음에, 실시 형태 1에 관한 전위 비교기의 변형예 2에 대해서 설명한다. 본 변형예 2에 관한 전위 비교기는 변형예 1에 나타낸 구성에 기초하여 차동 신호를 형성하는 플러스 신호와 마이너스 신호의 사이의 전위차와 다수의 역치 전위 간 의 대소 관계의 도출이 가능한 구성을 갖는다.
도 3은 본 변형예 2에 관한 전위 비교기의 구성을 나타내는 모식도이다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 본 변형예 2에 관한 전위 비교기(67)는 입력 배선(3, 4), 저항 소자(10, 11), 및 터미네이터(12)에 더하여, 변형예 1에서의 분압 생성부(51), 고역치측 전위 비교기(6), 및 저역치측 전위 비교기(9)와 마찬가지의 구성을 갖는 전위 비교 유닛(68-1∼68-n)(n은 2 이상의 자연수)을 포함한 구성을 갖는다.
전위 비교 유닛(68-1∼68-n)은 기본적으로는 분압 생성부(51), 고역치측 전위 비교기(6), 및 저역치측 전위 비교기(9)를 조합한 것과 같은 구성을 갖는 한편, 역치 전위로서 이용되는 고역치 전위 및 저역치 전위가 각각 다른 값이 되며, 역치 전위의 차이에 대응하여 전위 공급원(69-1∼69n, 70-1∼70n)에 의해 공급되는 전위가 서로 다른 값이 되도록 형성된다.
구체적으로는, 전위 비교 유닛(68-1)에서는 고역치 전위를 VOH1, 저역치 전위를 -VOH1, 전위 비교 유닛(68-)2에서는 고역치 전위를 VOH2, 저역치 전위를 -VOH2, ···, 전위 비교 유닛(68-n)에서는 고역치 전위를 VOHn, 저역치 전위를 -VOHn으로 설정한다. 전위 공급원(69-1∼69-n, 70-1∼70-n)의 공급 전위도 이러한 역치 전위의 차이에 대응하여, 예를 들면 전위 공급원(69-1)에 의해 공급되는 전위는 소정의 기준전위(VT)로부터 고역치 전위(VOH1)을 뺀 값이 되며, 전위 공급원(69-2)에 의해 공 급되는 전위는 기준전위(VT)로부터 고역치 전위(VOH2)를 뺀 값이 된다.
다음에, 본 변형예 2에 관한 전위 비교기의 이점에 대해서 설명한다. 본 변형예 2에 관한 전위 비교기는 상술한 바와 같이 복수의 역치 전위에 대응한 전위 비교 유닛(68)을 다수 포함한 구성을 갖는다. 따라서, 본 변형예 2에 관한 전위 비교기는 검사대상(2)으로부터 출력되는 차동 신호를 형성하는 플러스 신호와 마이너스 신호 간의 전위차와 복수의 역치 전위 간의 대소 관계를 도출하는 것이 가능하다.
이 때문에, 본 변형예 2에 관한 전위 비교기를 검사 장치의 일부로서 이용한 경우, 예를 들면 검사대상(2)로부터 출력되는 차동 신호에 대하여 상세한 아이 패턴 평가를 수행하는 것이 가능하다. 아이 패턴 평가란, 차동 신호의 시간 변화 패턴을 분석함으로써 신호 특성 등을 평가하는 것이며, 종래의 경우 예를 들면 오실로스코프 등으로 신호 파형을 관찰함으로써 아이 패턴 평가가 수행되고 있었다.
한편, 본 변형예 2에 관한 전위 비교기에서는 차동 신호를 형성하는 플러스 신호 및 마이너스 신호 간의 전위차와 복수의 역치 전위 간의 대소 관계를 도출하는 것이 가능하며, 플러스 신호 및 마이너스 신호 간의 전위차는 연속적으로 변화되므로 대소 관계가 역전되는 순간에는 플러스 신호 및 마이너스 신호 간의 전위차는 역치 전위와 일치하도록 된다. 이 때문에, 다수의 역치 전위를 설정하는 동시에 역치 전위 간의 대소 관계가 역전되는 타이밍을 검출하는 기구 등을 함께 설치함으로써 차동 신호를 형성하는 플러스 신호 및 마이너스 신호 간의 전위차의 시간 변화를 검출하는 것이 가능하게 되며, 아이 패턴 평가 등의 특성 평가를 고정밀도로 수행하는 것이 가능하다. 또한, 본 변형예 2에 관한 전위 비교기는 오실로스코프 등과 달리 전위 공급원과 저항 소자만으로 형성하는 것이 가능하므로 단순한 구조로써 아이 패턴 평가 등의 특성 검사를 수행하는 것이 가능하다는 이점을 갖는다.
(실시 형태 2)
다음에, 실시 형태 2에 관한 전위 비교기에 대해서 설명한다. 본 실시 형태 2에 관한 전위 비교기는 실시 형태 1에서의 전위 비교기와 기본적인 구성이 동일한 반면, 실시 형태 1과 달리 저항 소자(10, 11) 및 터미네이터(12)를 생략한 구성을 갖는다.
도 4는 본 실시 형태 2에 관한 전위 비교기의 구성을 나타내는 모식도이다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태 2에 관한 전위 비교기(71)는 실시 형태 1과 마찬가지로 입력 배선(3, 4), 고역치측 분압 생성부(5), 고역치측 전위 비교기(6), 저역치측 분압 생성부(8), 및 저역치측 전위 비교기(9)를 포함하는 반면, 실시 형태 1에서의 저항 소자(10, 11) 및 터미네이터(12)를 생략한 구성을 갖는다.
실시 형태 1에서도 설명한 바와 같이, 입력 배선(3, 4)과 고역치측 전위 비교기(6) 등과의 경계부분에서 차동 신호가 반사하는 것을 억제 또는 방지하기 위해서 입력 배선(3, 4)의 임피던스(Zo)에 대하여 임피던스 정합을 실현하도록 저항 소자(19) 등의 전기 저항값(Ra)과 저항 소자(10, 11)의 전기 저항값(Rb)은 식 (1)에 나타낸 관계를 갖는다. 여기서, 식 (1)의 우변에 관해서 Rb의 값을 무한대로 한 극한을 도출하면,
Figure 112007070548027-PCT00001
(11)
의 관계가 성립한다. 이 때문에, 전기 저항값 Rb의 값을 무한대로 한 경우, 즉 저항 소자(10, 11)을 생략한 경우에도 임피던스 정합을 실현하는 것이 가능하다. 구체적으로는, 식 (11)을 만족하도록 저항 소자(19) 등의 전기 저항값(Ra)을 정함으로써 저항 소자(10, 11) 및 터미네이터(12)를 생략하면서 임피던스 정합을 실현한 전위 비교기를 실현하는 것이 가능하다. 이와 같은 구성을 가짐으로써 본 실시 형태 2에 관한 전위 비교기는 더욱 단순한 구성으로 전위 비교기를 실현할 수 있다는 이점을 갖는다.
(실시 형태 3)
다음에, 실시 형태 3에 관한 전위 비교기에 대해서 설명한다. 본 실시 형태 3에 관한 전위 비교기는 실시 형태 1의 개념을 확장한 것이며, 제1 및 제2 저항부 간의 저항값의 비율과 분압 생성용의 전위 공급원의 전위 간의 관계를 일반화한 것이다.
도 5는 본 실시 형태 3에 관한 전위 비교기(73)의 구성을 나타내는 모식도이다. 도 5에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태 3에 관한 전위 비교기는 실시 형태 1과 마찬가지로 입력 배선(3, 4), 고역치측 전위 비교기(6), 저역치측 전위 비교기(9), 저항 소자(10, 11), 및 터미네이터(12)를 포함하는 한편, 소정의 분압을 생성해서 고역치측 전위 비교기(6)으로 출력하는 고역치측 분압 생성부(74) 및 소정 의 분압을 생성해서 저역치측 전위 비교기(9)로 출력하는 저역치측 분압 생성부(75)가 실시 형태 1에서의 고역치측 분압 생성부(5) 및 저역치측 분압 생성부(8)와 다른 구성을 갖는다.
고역치측 분압 생성부(74)는 제1분압 생성부(76)와 제2분압 생성부(77)를 포함한다. 제1분압 생성부(76)는 제1 전위를 공급하는 제1전위 공급원(78)과 저항 소자(80a, 79a, 79b, 80b)를 포함한다. 여기서, 저항 소자(80a)는 특허청구의 범위의 제1 저항부의 일례로서 기능하며, 저항 소자(79a)는 제2 저항부의 일례로서 기능한다. 또한, 제1전위 공급원(78)은 저항 소자(80a, 79a, 79b, 80b)가 직렬로 순차 접속됨으로써 형성된 직렬 접속 구조의 저항 소자(80a) 측의 단부와 전기적으로 접속된다. 또한, 직렬 접속 구조의 저항 소자(80b) 측의 단부는 후술하는 제2전위 공급원(81)과 전기적으로 접속된다. 또한, 저항 소자(80a, 79a) 간의 접속 부분은 고역치측 전위 비교기(6)의 부입력측과 전기적으로 접속되며, 저항 소자(79a, 79b) 간의 접속 부분은 입력 배선(3)과 전기적으로 접속된다.
제2분압 생성부(77)는 제2 전위를 공급하는 제2전위 공급원(81)과 저항 소자(80c, 79c, 79d, 80d)를 포함한다. 여기서, 저항 소자(80c)는 특허청구의 범위의 제3 저항부의 일례로서 기능하며, 저항 소자(79c)는 제4 저항부의 일례로서 기능한다. 또한, 제2전위 공급원(81)은 저항 소자(80c, 79c, 79d, 80d)가 직렬로 순차 접속됨으로써 형성된 직렬 접속 구조의 저항 소자(80c) 측의 단부와 전기적으로 접속된다. 또한, 직렬 접속 구조의 저항 소자(80d) 측의 단부는 제1전위 공급원(78)과 전기적으로 접속된 구성을 갖는다. 또한, 저항 소자(80c, 79c) 간의 접 속 부분은 고역치측 전위 비교기(6)의 정입력측과 전기적으로 접속되며, 저항 소자(79c, 79d) 간의 접속 부분은 입력 배선(4)과 전기적으로 접속된다.
다음에, 고역치측 분압 생성부(74)를 구성하는 제1전위 공급원(78) 및 제2전위 공급원(81)에 의해 공급되는 제1 전위 및 제2 전위의 값과, 저항 소자(80a)(제1 저항부), 저항 소자(79a)(제2 저항부), 저항 소자(80c)(제3 저항부), 저항 소자(79c)(제4 저항부)의 전기 저항값 간의 관계에 대해서 설명한다. 본 실시 형태 3에서는 적어도 저항 소자(80a)의 전기 저항값과 저항 소자(79a)의 전기 저항값 간의 비율이 저항 소자(80c)의 전기 저항값과 저항 소자(79c)의 전기 저항값 간의 비율과 동등해지도록 각각의 전기 저항값이 정해져 있다. 본 실시 형태 3에서는 이와 같은 조건에 더하여 구성을 단순화하는 관점에서 저항 소자(80a∼80d)는 전기 저항값 Re를 가지며, 저항 소자(79a∼79d)는 전기 저항값 Rd를 가지도록 형성되며, 저항 소자(80a, 79a)(저항 소자(80c, 79c)) 간의 저항비는 Re:Rd로 된다.
또한, 제1 전위 및 제2 전위는 제2 전위로부터 제1 전위를 뺀 값이 저항 소자(79a)(저항 소자(79c))의 전기 저항값을 저항 소자(80a)(저항 소자(80c))의 전기 저항값으로 나눈 값을 고역치 전위에 곱한 값과 동등해지도록 정해진다. 즉, 제1 전위(V1) 및 제2 전위(V2)는 저항 소자(79a)의 전기 저항값(Rd), 저항 소자(80a)의 전기 저항값(Re), 및 고역치 전위(VOH)를 이용하여,
V2-V1 = (Re/Rd)VOH (12)
의 관계를 만족하도록 설정된다. 또한, 본 실시 형태 3에서는 제1 전위(V1) 및 제2 전위(V2)의 구체적인 값을,
V1 = VT-(Re/2Rd)VOH (13)
V2 = VT+(Re/2Rd)VOH (14)
로 설정함으로써 식 (12)에 나타내는 관계를 만족하도록 하고 있다.
다음에, 제1분압 생성부로부터 고역치측 전위 비교기(6)의 부입력측에 출력되는 제1 분압(VHN')과 제2분압 생성부로부터 고역치측 전위 비교기(6)의 정입력측에 출력되는 제2 분압(VHP')의 값에 대해서 설명한다. 실시 형태 1의 경우와 마찬가지로 이들 분압은 입력 배선(3, 4)에서의 플러스 신호 및 마이너스 신호의 전위(VuP, VuN), 식 (12)의 조건을 만족하는 제1 전위(V1), 제2 전위(V2), 저항 소자(80a, 80c)의 전기 저항값(Re), 및 저항 소자(79a, 79c)의 전기 저항값(Rd)에 기초하여 정해진다. 즉, 식 (2) 및 식 (3)의 경우와 마찬가지로,
VHN' = (ReVuP+RdV1)/(Rd+Re) (15)
VHP' = (ReVuN+RdV2)/(Rd+Re) (16)
으로 구해진다. 그리고, 제1 분압(VHN')은 고역치측 전위 비교기(6)의 부입력측으로 출력되며, 제2 분압(VHP')은 고역치측 전위 비교기(6)의 정입력측으로 출력되므로 고역치측 전위 비교기(6)는,
ΔV' = VHP'-VHN' (17)
로 나타나는 ΔV'의 값이 0보다 클 것인가 아닌가를 판정하도록 되며, 0보다 클 경우에 하이, 0보다 작을 경우에 로우를 출력한다. 식 (17)에 식 (15), 식 (16), 및 식 (12)를 대입하면,
ΔV' = (Rd+Re)-1 {Re(VuN-VuP)+Rd(V2-V1)}
= {-Re/(Rd+Re)} {(VuP-VuN)-VOH} (18)
이 성립한다. 식 (18)에 나타내는 관계는 실시 형태 1에서의 식 (5)와 마찬가지의 식이며, 고역치측 전위 비교기(6)은 입력되는 제1 분압과 제2 분압 간의 대소 관계를 도출함으로써 차동 신호를 형성하는 플러스 신호와 마이너스 신호 간의 전위차와 고역치 전위 간의 대소 관계를 도출한다.
저역치측 분압 생성부(75)도 고역치측 분압 생성부(74)의 경우와 같다. 즉, 저역치측 분압 생성부(75)는 제1분압 생성부(82)와 제2분압 생성부(83)를 포함한다. 여기서, 제1분압 생성부(82)에서는 제1전위 공급원(84)이 저항 소자(80e, 79e, 79f, 80f)에 의해 형성된 직렬접속 구조의 저항 소자(80e) 측의 단부와 전기적으로 접속되며, 제2전위 공급원(85)(후술)이 저항 소자(80f) 측의 단부와 전기적으로 접속된 구조를 가지며, 저항 소자(79e, 79f) 간의 접속 부분이 입력 배선(3)과 전기적으로 접속되며, 저항 소자(79e, 80e) 간의 접속 부분이 저역치측 전위 비교기(9)의 정입력측과 전기적으로 접속한다. 또한, 제2분압 생성부(83)에서는 제2전위 공급원(85)이 저항 소자(80g, 79g, 79h, 80h)에 의해 형성된 직렬접속 구조의 저항 소자(80g) 측의 단부와 전기적으로 접속되고, 제1전위 공급원(84)이 저항 소 자(80h) 측의 단부와 전기적으로 접속되며, 저항 소자(79g, 79h) 간의 접속 부분은 입력 배선(4)과 전기적으로 접속되고, 저항 소자(80g, 79g) 간의 접속 부분은 저역치측 전위 비교기(9)의 부입력측과 전기적으로 접속된다.
이들 구성 요소의 전기 저항값 및 공급 전위 간의 관계에 대해서도 고역치측 분압 생성부(74)와 마찬가지로 정해져 있다. 즉, 저항 소자(79e, 80e) 간의 전기 저항값의 비율과 저항 소자(79g, 80g) 간의 전기 저항값의 비율을 동등하게 한다는 조건을 만족시키기 위하여, 저항 소자(79e∼79h)는 서로 동등한 전기 저항값 Rd를 가지도록 형성되며, 저항 소자(80e∼80h)는 서로 동등한 전기 저항값 Re를 가지도록 형성된다. 또한, 제1전위 공급원(84) 및 제2전위 공급원(85)은 각각 제1 전위(V1')및 제2 전위(V2')에 관해서 식 (12) 내지 식 (14)에서 고역치 전위(VOH)를 저역치 전위(VOL)로 치환한 관계가 성립하도록 정해진다. 이와 같이, 저역치측 분압 생성부(75)에서는 고역치측 분압 생성부(74)에 관한 식 (12) 내지 식 (18)의 관계가 고역치 전위(VOH)를 저역치 전위(VOL)로 치환한 형태로 성립하며, 결론적으로 저역치측 전위 비교기(9)는 입력되는 제1 분압 및 제2 분압의 대소 관계를 도출함으로써 차동 신호를 형성하는 플러스 신호와 마이너스 신호 간의 전위차와 저역치 전위 간의 대소 관계를 도출하도록 된다.
이와 같이, 제1 전위, 제2 전위와 저항 소자의 전기 저항값 간에 일정한 관계를 만족하고 있으면, 실시 형태 1에 나타내는 구성 이외의 것이어도 전위 비교를 수행하는 것이 가능하며, 실시 형태 1과 마찬가지의 이점을 얻는 것이 가능하다. 또한, 본 실시 형태 3에 관한 전위 비교기에서는 상술한 관계를 만족하고 있으면 저항 소자의 전기 저항값 및 제1 및 제2 전위 공급원으로부터 공급되는 전위를 임의로 정할 수 있기 때문에, 설계의 자유도가 향상된다는 이점을 갖는다.
이상, 실시 형태 1 내지 3 및 변형예에 걸쳐 본 발명을 설명하였지만, 본 발명은 상술한 실시 형태 등에 한정해서 해석되지 않으며, 당업자라면 여러 가지 실시예 및 변형예에 도달하는 것이 가능하다. 예를 들면, 다른 실시 형태, 변형예 간의 사상을 조합시킨 전위 비교기를 실현하는 것이 가능하며, 예를 들면 실시 형태 3에 관한 전위 비교기에서 실시 형태 2와 마찬가지로 저항 소자(10, 11) 및 터미네이터(12)를 생략한 구성을 채용하는 것 등이 가능하다.

Claims (4)

  1. 차동 신호를 형성하는 제1 및 제2 신호간의 전위차와 소정의 역치 전위 간의 대소 관계를 도출하는 전위 비교기에 있어서,
    비교 대상인 2개의 전위의 대소 관계를 도출하는 전위 비교 수단;
    소정의 제1 전위와 상기 제1 신호의 전위 간의 분압인 제1 분압을 생성하고, 당해 제1 분압을 상기 전위 비교 수단의 비교 대상의 한 쪽으로서 출력하는 제1분압 생성 수단; 및
    상기 제1 전위 및 상기 역치 전위에 기초하여 결정되는 제2 전위와 상기 제2 신호의 전위 간의 분압이며, 상기 제1 분압과의 사이의 대소 관계가 상기 제1 및 제2 신호간의 전위차와 상기 역치 전위 간의 대소 관계에 대응하는 제2 분압을 생성하고, 당해 제2 분압을 상기 전위 비교 수단의 비교 대상의 다른 쪽으로서 출력하는 제2분압 생성 수단
    을 포함하는 전위 비교기.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1분압 생성 수단은 상기 제1 전위를 공급하는 제1전위 공급원과 상기 제1 신호를 전송하는 입력 배선의 사이에 제1 및 제2 저항부가 순차 배치되는 동시에 상기 제1 및 제2 저항부간의 접속 부분으로부터 상기 제1 분압을 출력하도록 형성되며,
    상기 제2분압 생성 수단은 상기 제2 전위를 공급하는 제2전위 공급원과 상기 제2 신호를 전송하는 입력 배선의 사이에 상기 제1 및 제2 저항부간의 저항비와 동등한 저항비를 가지는 제3 및 제4 저항부가 순차 배치되는 동시에 상기 제3 및 제4 저항부간의 접속 부분으로부터 상기 제2 분압을 출력하도록 형성되며,
    상기 제2전위 공급원은 상기 제1 전위와의 차분치가 상기 제3저항부의 저항값을 상기 제4저항부의 저항값으로 나눈 값을 상기 역치 전위에 곱한 값으로 되는 전위를 상기 제2 전위로서 공급하는 전위 비교기.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 저항부간의 저항비 및 상기 제3 및 제4 저항부간의 저항비는 2:1이며,
    상기 제1전위 공급원은 소정의 기준전위로부터 상기 역치 전위를 뺀 값의 전위를 제1 전위로서 공급하며,
    상기 제2전위 공급원은 소정의 기준전위에 상기 역치 전위를 더한 값의 전위를 제2 전위로서 공급하는 전위 비교기.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제2 및 제4 저항부는 동일한 저항값을 가지는 동일 구조의 저항 소자로 형성되며, 상기 제1 및 제3 저항부는 상기 저항 소자 2개를 직렬로 접속함으로써 형성되는 전위 비교기.
KR1020077022424A 2005-03-03 2006-03-02 전위 비교기 KR101183932B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2005-00059408 2005-03-03
JP2005059408 2005-03-03
PCT/JP2006/303994 WO2006093230A1 (ja) 2005-03-03 2006-03-02 電位比較器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20070110112A true KR20070110112A (ko) 2007-11-15
KR101183932B1 KR101183932B1 (ko) 2012-09-18

Family

ID=36941259

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020077022424A KR101183932B1 (ko) 2005-03-03 2006-03-02 전위 비교기

Country Status (6)

Country Link
US (1) US7576571B2 (ko)
JP (1) JP4956419B2 (ko)
KR (1) KR101183932B1 (ko)
CN (1) CN100580461C (ko)
DE (1) DE112006000544T5 (ko)
WO (1) WO2006093230A1 (ko)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7772892B2 (en) * 2009-01-15 2010-08-10 Advantest Corporation Differential hybrid circuit
TWI413790B (zh) * 2010-02-24 2013-11-01 Tatung Co 量測校正系統及其方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4241372A (en) * 1979-03-01 1980-12-23 Entron, Inc. Power supply protective circuit
DE3043053C1 (de) * 1980-11-14 1982-06-09 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Schaltungsanordnung zur Auswertung von Signalen
JPH01223360A (ja) * 1988-03-03 1989-09-06 Fujitsu Ltd 電圧監視回路
US5146154A (en) * 1991-08-27 1992-09-08 Delco Electronics Corp. Circuit with ratiometric analog inputs
JP3331109B2 (ja) * 1996-01-23 2002-10-07 株式会社アドバンテスト 半導体試験装置の比較器
JPH10319054A (ja) 1997-05-16 1998-12-04 Fanuc Ltd 電流センサのオフセット電圧補正方法および補正装置

Also Published As

Publication number Publication date
WO2006093230A1 (ja) 2006-09-08
KR101183932B1 (ko) 2012-09-18
US20080218218A1 (en) 2008-09-11
JP4956419B2 (ja) 2012-06-20
US7576571B2 (en) 2009-08-18
CN101133333A (zh) 2008-02-27
JPWO2006093230A1 (ja) 2008-08-07
CN100580461C (zh) 2010-01-13
DE112006000544T5 (de) 2008-03-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100832172B1 (ko) 스큐 조정 방법, 스큐 조정 장치 및 시험 장치
JP4255284B2 (ja) 差動動作のためのシングル・エンド・チャネルの較正
JP4313799B2 (ja) キャリブレーション用比較回路
KR20100081352A (ko) 시험 장치 및 캘리브레이션 방법
KR101250498B1 (ko) 출력 장치 및 시험 장치
KR101138296B1 (ko) 시험 장치, 드라이버 컴퍼레이터 칩, 응답 측정 장치, 교정 방법 및 교정 장치
US9772351B2 (en) Pulsed current source with internal impedance matching
JP5093590B2 (ja) パルスｉ−ｖ測定系統を修正する方法
KR101183932B1 (ko) 전위 비교기
KR101123825B1 (ko) 보정 회로 및 시험 장치
JPWO2010023924A1 (ja) 相互接続基板、スキュー測定方法および試験装置
KR101123826B1 (ko) 시험 장치 및 전송 장치
US6285206B1 (en) Comparator circuit
JP2009156580A (ja) 入力容量測定回路
KR20090038818A (ko) 시험장치
KR102664683B1 (ko) 내부 임피던스 매칭을 가진 펄스 전류 소스
CN114070040A (zh) 直流电源及提高直流电源输出电压精度的方法
CN115932537A (zh) 一种低电压差分驱动器的交流参数测试系统及方法
KR20070076819A (ko) 케이블의 특성임피던스 검사 장치
JP2008051582A (ja) サンプリング回路および試験装置
JP2015152477A (ja) 半導体集積回路の試験回路及び試験方法
JP2009074897A (ja) 半導体試験装置
JP2011196926A (ja) 配線遅延時間測定装置及び配線遅延時間測定方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150819

Year of fee payment: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee