KR20070088801A

KR20070088801A - 파라미터 측정 유닛을 이용하여 컨버터를 테스트하는 장치

Info

Publication number: KR20070088801A
Application number: KR1020077016690A
Authority: KR
Inventors: 어네스트 피. 워커; 로날드 에이. 사르츠체브
Original assignee: 테라다인 인코퍼레이티드
Priority date: 2004-12-23
Filing date: 2005-12-16
Publication date: 2007-08-29
Also published as: EP1829218A2; US7023366B1; JP2008526112A; WO2006071635A3; WO2006071635A2

Abstract

일 측면에서, 본 발명은 아날로그-디지털(ADC) 컨버터에 사용하는 집적회로(IC)로서, 상기 ADC로 포스 신호를 전송하도록 설정된 파라미터 측정 유닛(PMU)의 제 1 채널을 포함한다. 상기 IC는 또한 상기 PMU의 제 1 채널에 연결된 제 1 디지털-아날로그(DAC) 컨버터를 포함한다. 상기 DAC는 1 밀리볼트 미만까지 정확한 DC 레벨을 갖는다. 또다른 측면에서, 본 발명은 DACDUT로 포스 신호를 전송하도록 설정된 파라미터 측정 유닛(PMU)의 제 1 채널을 포함하고, 측적을 위한 출력 포트, 상기 PMU의 제 1 채널에 연결된 제 1 디지털-아날로그 컨버터(DAC) 및 1 밀리볼트 미만까지 정확한 DC 레벨을 가진 출력 포트에 연결된 PMU 측정 경로를 포함한다.

아날로그-디지털 컨버터, 집적회로, 포스 신호, 파라미터 측정 유닛, 제 1 채널, DC 레벨, 디지털-아날로그 컨버터, 제 1 디지털-아날로그 컨버터, 감지 신호, 제 1 감지 경로, 제 2 채널, 피시험 디바이스, 기준 포스 신호, 제 3 채널, 제 2 디지털-아날로그 컨버터, 제 2 감지 경로, 제 4 채널

Description

파라미터 측정 유닛을 이용하여 컨버터를 테스트하는 장치{USING A PARAMETRIC MEASUREMENT UNIT FOR CONVERTER TESTING}

본 출원은 그 전체가 본문에 통합되고, 2004년 12월 23일, "컨버터 시험용 파라미터 측정 유닛"이라는 제하에 출원된, 가출원 제 60/639,150의 우선권을 주장한다.

본 특허출원은 일반적으로 디바이스의 테스트, 특히 파라미터 측정 유닛(PMU)을 이용한 컨버터 테스트에 관한 것이다.

자동 검사기(ATE)는 자동, 예를 들면 반도체, 전자회로, 및 인쇄기판 어셈블리와 같은 디바이스를 테스트하는 대개는 컴퓨터로 구동되는 접근방식이다. 파라미터 측정 유닛(PMU)은 일반적으로 ATE의 부품이다. PMU는 디바이스를 테스트하는 동안에 디바이스 핀에서 전압 및 전류와 같은 파라미터를 측정하고, 그러한 파라미터들을 조정하기 위해 사용된다. PMU는 테스트 동안, 전절한 파라미터값이 피시험디바이스(DUT)에 적용되는 것을 보장한다. PMU는 일반적으로 전압 및/또는 전류를 DUT에 가하는 회로를 포함한다.

컨버터 테스트는 고 반복율에서 측정된 개별 DACs로부터의 정확한 전압을 허용함으로써 아날로그-디지털 컨버터(ADC) 및 디지털-아날로그 컨버터(DAC)의 테스트를 위한 피처이다. 이러한 기능은 일반적으로 개별 계기판 상에서 구현되어 왔다. 그러나, 정확한 DAC를 PMU 회로 내부에 추가함으로써, 상기 PMU 회로는 ADC의 컨버터 테스트에 사용될 수 있다. 정확한 측정경로를 추가함으로써, PMU 회로는 DAC의 테스트에 사용될 수 있다.

일측면에서, 본 발명은 아날로그-디지털(ADC) 컨버터를 테스트하는데에 사용하는 집적회로(IC)이다. 상기 IC는 포스 신호를 ADC에 전송하도록 설정된 파라미터의 측정 유닛(PMU)의 제 1 채널과 상기 PMU의 제 1 채널에 연결된 제 1 디지털-아날로그 컨버터(DAC)를 포함한다. 상기 DAC는 1 밀리볼트 미만까지 정확한 DC 레벨을 갖는다.

또다른 측면에서, 본 발명은 피시험 디지털-아날로그-컨버터 디바이스(DACDUT)를 테스트하는데에 사용하는 집적회로(IC)이다. 상기 IC는 포스 신호를 DACDUT에 전송하도록 설정되고 측정을 하기 위한 출력 포트를 구비한 파라미터 측정 유닛(PMU)의 제 1 채널, 상기 PMU의 제 1 채널에 연결된 제 1 디지털-아날로그 컨버터(DAC), 및 1 밀리볼트 미만까지 정확한 DC 레벨을 갖는 출력 포트에 연결된 PMU 측정 경로를 포함한다.

상기 측면들은 하나 이상의 하기의 특징들을 포함한다. 상기 IC는 DUT로부터의 감지 신호를 수신하고 PMU의 제 1 채널로의 제 1 감지 경로를 제공하는 PMU의 제 2 채널을 포함한다. 상기 IC는 기준 포스 신호를 전송하도록 설정된 PMU의 제 3 채널과 상기 PMU의 제 3 채널에 연결된 제 2 디지털-아날로그 컨버터(DAC)를 포함한다. 상기 IC는 기준 감지 신호를 수신하고 상기 PMU의 제 3 채널로의 제 2 감지 경로를 제공하는 PMU의 제 4 채널을 포함한다. 상기 IC는 포스 신호를 제공하고 1mV 미만까지 정확한 DC 레벨을 갖는 PMU의 제 1 채널에 연결된 포스 라인을 포함한다.

본 문에 기술된 PMU 회로는 PMU와 동일한 IC 내에 컨버터 테스트 기능을 제공하고, 그 결과로 컨버터를 테스트하는 또다른 방식을 제공하게 된다. 하나 이상의 예시의 상세는 첨부한 도면과 하기의 설명에서 기술된다. 본 발명의 또다른 특징, 측면, 및 장점은 상세한 설명, 도면, 및 청구범위로부터 명확하게 될 것이다.

도 1은 디바이스를 테스트하는 시스템의 도식도이다.

도 2는 테스터의 도식도이다.

도 3은 디지털-아날로그 컨버터(DAC)를 가진 파라미터 측정 유닛(PMU) 스테이지의 도식도이다.

상이한 도면에서 유사한 참조번호는 동일한 엘리먼트를 지시한다.

도 1을 참조하면, 반도체 디바이스와 같은 피시험 디바이스(DUT)를 테스트하는 시스템(10)은 자동 검사기(ATE) 또는 기타 유사한 테스트 디바이스 등의 테스터(12)를 포함한다. 테스터(12)를 제어하기 위해, 시스템(10)은 하드와이어 연결(16)을 통해 테스터(12)와 인터페이스하는 컴퓨터 시스템(14)을 포함한다. 일반적으로, 컴퓨터 시스템(14)은 테스터(12)로 DUT(18)를 테스트하기 위한 루틴과 기 능의 실행을 초기화하는 명령을 전송한다. 이러한 테스트 루틴의 실행은 DUT(18)로의 테스트 신호의 생성과 송신을 초기화하고 DUT로부터의 응답을 수집한다. 다양한 유형의 DUT가 시스템(10)에 의해 테스트될 수 있다. 예를 들면, DUT는 집적회로(IC)칩(예를 들면, 아날로그-디지털 컨버터, 디지털-아날로그 컨버터 등)과 같은 반도체 디바이스이다.

테스트 신호를 제공하고 DUT로부터의 응답을 수집하기 위해, 테스터(12)는 DUT(18)의 내부회로에 인터페이스를 제공하는 하나 이상의 커넥터 핀에 연결된다. DUT를 테스트하기 위해, 예를 들면 64 또는 128 커넥터 핀(또는 그이상)이 테스터(12)에 인터페이스된다. 예시의 목적으로, 본 실시예에서, 반도체 디바이스 테스터(12)는 하드와이어 연결에 의해 DUT(18)의 하나의 커넥터 핀에 연결된다. 컨덕터(20)(예를 들면 케이블)는 핀(22)에 연결되고, 테스트 신호(예를 들면 PMU 테스트 신호, PE 테스트 신호 등)를 DUT(18)의 내부 회로로 전달하는 데에 사용된다. 컨덕터(20)는 또한 반도체 디바이스 테스터(12)에 의해 제공되는 테스트 신호에 응답하여 핀(22)에서 신호를 감지한다. 예를 들면, 전압 신호 또는 전류 신호가 테스트 신호에 응답하여 핀(22)에서 감지되고, 분석을 위해 테스터(12)로 컨덕터(20)를 통해 전송될 수 있다. 이러한 단일 포트 테스트는 DUT(18)에 포함된 다른 핀들 상에서 실시될 수도 있다. 예를 들면, 테스터(12)는 테스트 신호를 다른 핀들로 제공하고 컨덕터를 통해(상기 제공된 신호를 전달하는) 다시 반사된 연관된 신호들을 수집한다. 상기 반사된 신호들을 수집함으로써 핀의 입력 임피던스는 양을 테스트하는 다른 단일 포트와 함께 특성화될 수 있다. 다른 테스트 시나리오에서, 디지털 신호가 DUT(18)상에 디지털 값을 저장하기 위해 핀(22)으로 컨덕터(20)를 통해 전송될 수 있다. 저장되면, DUT(18)는 검색을 위해 액세스될 수 있고, 테스터(12)로 컨덕터(20)를 통해 저장된 디지털 값을 전송할 수 있다. 검색된 디지털 값은 그런 다음 적절한 값이 DUT(18) 상에 저장되었는 지를 판정하기 위해 식별된다.

1-포트의 측정을 실시하면서 함께, 2-포트 테스트도 반도체 디바이스 테스터(12)에 의해 실시될 수 있다. 예를 들면, 테스트 신호는 컨덕터(20)를 통해 핀(22)으로 들어올 수 있고, 응답 신호가 DUT(18)의 하나 이상의 다른 핀으로부터 수집될 수 있다. 이러한 응답 신호는 이득 응답, 위상 응답, 및 기타 스루풋 측정 량과 같은 양을 판정하기 위해 반도체 디바이스 테스터(12)로 제공된다.

도 2를 참조하면, 테스트 신호를 전송하고 DUT(또는 다수의 DUT)의 다수의 커넥터 핀들로부터 테스트 신호를 수집하기 위해, 반도체 디바이스 테스터(12)는 다수의 핀들과 통신할 수 있는 인터페이스 카드(24)를 포함한다. 예를 들면, 인터페이스 카드(24)는 테스트 신호를 예를 들면 32, 64, 128 핀들로 전송하고, 대응하는 응답을 수집한다. 핀으로의 각 통신 링크는 일반적으로 채널이라고 하는데, 테스트 신호를 다수의 채널로 제공함으로써, 다수의 테스트가 동시에 실시될 수 있기 때문에 테스트 시간이 감소된다. 인터페이스 카드 상에 다수의 채널을 가지면서 함께, 테스터(12)에 다수의 인터페이스 카드를 포함함으로써, 채널의 전체 수가 증가하고, 그에 의해 테스트 시간이 더 감소된다. 본 예시에서, 다수의 인터페이스 카드가 테스터(12)를 채우는 것을 나타내기 위해 2 개의 추가적인 인터페이스 카 드(26 및 28)가 도시된다.

각 인터페이스 카드는 특정한 테스트 기능을 실행하기 위해 전용 집적회로(IC) 칩(예를 들면 주문형 반도체(ASIC))을 포함할 수 있다. 예를 들면, 인터페이스 카드(24)는 파라미터 측정 유닛(PMU) 테스트와 핀 일렉트로닉스(PE) 테스트를 실행하기 위한 IC 칩(30)을 포함한다. IC 칩(30)은 PMU 테스트를 실행하기 위한 회로를 포함하는 PMU 스테이지(32)와 PE 테스트를 실행하기 위한 회로를 포함하는 PE 스테이지(34)를 각각 갖는다. 추가적으로 인터페이스 카드(26, 28)는 각각 PMU 및 PE 회로를 포함하는 IC 칩(36, 38)을 포함한다. 일반적으로 PMU 테스트는 입력 및 출력 임피던스, 전류 누설, 및 기타 유형의 DC 성능 특성과 같은 양들을 판정하기 위해 DUT로 DC 전압 또는 전류 신호를 제공하는 단계를 포함한다. PE 테스트는 AC 테스트 신호와 파형을 DUT(예를 들면 DUT(18))로 전송하는 단계와, DUT의 성능을 추가로 특성화하기 위한 응답을 수집하는 단계를 포함한다. 예를 들면, IC 칩(30)은 DUT 상에 저장하기 위한 벡터의 바이너리값을 나타내는 AC 테스트 신호를 (DUT로) 전송할 수 있다. 저장이 되면, 수집 바이너리 값이 저장되었는지 여부를 판정하기 위해 DUT는 테스터(12)에 의해 액세스된다. 디지털 신호가 일반적으로 급격한 전압 변이를 포함하기 때문에, IC 칩(30) 상의 PE 스테이지(34)에서의 회로는 PMU 스테이지(32)에서의 회로에 비해 상대적으로 고속으로 동작한다.

DC 및 AC 테스트 신호 모두와, 파형을 인터페이스 카드(24)에서 DUT(18)로 전달시키기 위해, 전도 트레이스(40)는, 신호가 인터페이스 보드(24)에 단속적으로 전달되도록 하는 인터페이스 보드 커넥터(42)에 IC 칩(30)을 연결시킨다. 인터페 이스 보드 커넥터(42)는 또한 신호가 테스터(12)로 전달되고 그로부터 전달되도록 하는 인터페이스 커넥터(46)에 연결된 컨덕터(44)로 연결된다. 본 예시에서, 컨덕터(20)는 테스터(12)와 DUT(18)의 핀(22) 사이에 신호를 양방향으로 전달하기 위해 인터페이스 커넥터(46)로 연결된다. 일련의 배치에서, 인터페이스 디바이스가 테스터(12)에서 DUT로 하나 이상의 컨덕터를 연결하기 위해 사용될 수 있다. 예를 들면, DUT(예를 들면 DUT(18))가 각 DUT 핀으로의 용이한 액세스를 제공하기 위해 디바이스 인터페이스 보드(DIB) 상으로 장착된다. 이러한 배치에서, 컨덕터(20)는 테스트 신호를 DUT의 적절한 핀(예를 들면 핀(22))(들) 상에 배치하기 위해 DIB로 연결될 수 있다.

본 실시예에서, 전도 트레이스(40)와 컨덕터(44) 만이 각각 신호의 전달과 수집을 위해 IC칩(30)과 인터페이스 보드(24)에 연결된다. 그러나, IC 칩(30)(IC칩(36, 38)을 함께)은 일반적으로 DUT(DIB를 통해)에 신호를 제공하고 그를 수집하기 위해 각각 다수의 전도 트레이스와 대응하는 컨덕터로 연결된 다수의 핀(예를 들면, 8, 16 등)을 갖는다. 추가로, 일부 배치에서, 테스터(12)는 인터페이스 카드(24, 26, 및 28)에 의해 제공된 채널을 하나 또는 다수의 피시험 디바이스에 인터페이싱하기 위해 2 개 이상의 DIB로 연결된다.

인터페이스 카드(24, 26, 및 28)에 의해 실시된 테스팅을 초기화하고 제어하기 위해, 테스터(12)는 테스트 신호를 생성하고 DUT 응답을 분석하기 위해 테스트 파라미터(예를 들면 테스트 신호 전압 레벨, 테스트 신호 전류 레벨, 디지털 값 등)을 제공하는 PMU 제어 회로(48) 및 PE 제어회로(50)를 포함한다. 테스터(12)는 또한 컴퓨터 시스템(14)이 테스터(12)에 의해 실행되는 동작을 제어하고 데이터(예를 들면 테스트 파라미터, DUT 응답 등)가 테스터(12)와 컴퓨터 시스템(14) 사이에 전달되도록 하는 컴퓨터 인터페이스(52)를 포함한다.

도 3은 DUT(18), 특히 디지털-아날로그 컨버터(DAC) 또는 아날로그-디지털 컨버터(ADC)를 테스트하기 위한 PMU 스테이지(32)의 블록도이다. 도 3에 도시된 바와 같이, PMU 스테이지(32)는 DUT(18)를 테스트하기 위해, PMU 채널(60)(예를 들면 PMU 채널(60a), PMU 채널(60b), PMU 채널(60c), PMU 채널(60d))과 디지털-아날로그 컨버터(DAC)(70)(예를 들면, DAC(70a) 및 DAC(70b))를 포함한다. 각 PMU는 측정 경로(92)를 통해 칩(30) 외부의 와이어드 "OR" 논리 회로(90)로 연결된 측정 출력 포트(62)를 포함한다(예를 들면, PMU 채널(60a)은 출력 포트(62a)를 가지고, PMU 채널(60b)은 출력 포트(62b)를 가지고, PMU 채널(60c)은 출력 포트(62c)를 가지고, PMU 채널(60d)은 출력 포트(62d)를 가진다).

DAC(70a)는 PMU 채널(60a)의 입력 포트(62a)로 연결되고, PMU 채널(60)을 제어하여 DUT(18)로의 "포스" 신호를 생성한다. DAC(70b)는 PMU 채널(60c)의 입력 포트(62c)로 연결되고, PMU 채널(60c)을 제어하여 DUT(18)로의 기준 "포스" 신호를 생성한다.

DAC(70a)는 PMU의 포스 전압 모드에 정확한 전압을 공급하고, 이것은 PMU의 입력으로 공급된다. PMU 채널(60a)에는 가장 높은 정확성이 요구되고, 이것은 DAC(70a)에 의해 공급되는 만큼의 전압을 가하는 데에 사용된다. DAC(70b)는 측정되는 ADC에 기준 전압을 공급한다. 기준 전압에 기인한 오류는 조정될 수 있기 때 문에, 온도와 공급 전압의 변화가 안정화될 필요가 있지만, 매우 정확할 필요는 없다.

PMU 채널(60a)은 "포스" 신호를 "포스" 라인(72)을 통해 DUT(18)로 전송하기 위한 포트(66a)를 포함한다. PMU 채널(60b)은 상기 "포스" 신호에 기초하여 "감지" 라인(74)을 통해 "감지" 신호를 DUT(38)로부터 수신하기 위한 포트(66b)를 포함하고 상기 "감지" 신호를 감지 경로(80)를 통해 PMU 채널(60a)로 제공한다. PMU 채널(60c)은 기준 "포스" 신호를 기준 "포스" 라인(76)을 통해 DUT(18)로 전송하기 위한 포트(66c)를 포함한다. PMU 채널(60d)은 상기 기준 "포스" 신호에 기초하여 기준 "감지" 라인(78)을 통해 기준 "감지" 신호를 DUT(38)로부터 수신하기 위한 포트(66d)를 포함하고 상기 기준 "감지" 신호를 감지 경로(82)를 통해 PMU 채널(60c)로 제공한다.

ADC인 DUT(18)를 테스트하기 위해, DAC(70a, 70b)는 1 밀리볼트(mV) 미만까지 정확한 DC 레벨을 갖는다. 추가하여, "포스" 라인(72), "감지" 라인(74), 감지 경로(80), 기준 "포스" 라인(76), 기준 포스 라인(78) 및 감지 경로(82)는 1mV 미만 까지 정확한 DC 레벨을 갖는다.

DAC인 DUT(18)를 테스트하기 위해, 출력 포트(62b 및 62d)로부터의 PMU 측정 경로(92)는 1 밀리볼트(mV) 미만까지 정확한 DC 레벨을 갖는다. 상기 측정 결로(92)는 칩(30) 외부에서 측정되는 와이어 "OR" 논리 포트(90)를 통해 지나간다. 다른 실시예에서, PMU 측정 경로(92)는 칩(30)상에 측정 회로를 포함할 수 있다. 추가하여, "감지" 라인(74) 및 "감지" 라인(78)은 1mV 미만까지 정확한 DC 레벨을 갖는다.

본문에 기술된 테스터는 상술한 하드웨어 및 소프트웨어를 가지고 사용되는 것에 한정되지 않는다. 상기 테스터는 디지털 전자회로, 또는 컴퓨터 하드웨어, 펌웨어, 소프트웨어, 또는 그의 조합의 형태로 구현될 수 있다.

상기 테스터는 예를 들면 프로그래밍가능한 프로세서, 컴퓨터, 또는 다수의 컴퓨터와 같은 데이터 처리장치에 의해 실행하거나 또는 그 데이터 처리장치의 동작을 제어하기 위해, 컴퓨터 프로그램 제품, 즉, 예를 들면 기계-판독가능한 저장장치 또는 전달 신호와 같은 정보 전달체로 실질적으로 구현되는 컴퓨터 프로그램을 통해서 적어도 부분적으로 구현될 수 있다. 컴퓨터 프로그램은 컴파일되거나 또는 기계번역되는 언어를 포함하는 임의의 형태의 프로그래밍 언어로 작성될 수 있고, 그것은 스탠드-어론 프로그램, 또는 모듈, 컴포넌트, 서브루틴, 또는 컴퓨팅 환경에서 사용하기에 적합한 기타의 단위를 포함하는 임의의 형태로 배치될 수 있다. 컴퓨터 프로그램은 하나의 컴퓨터, 또는 하나의 사이트나 다수의 사이트에 걸쳐서 배포되고 통신네트워크에 의해 상호 접속되는 다수의 컴퓨터 상에서 실행되도록 배치될 수 있다.

ATE를 구현하도록 연관된 방법의 단계는 ATE의 기능들을 실행하기 위한 하나 이상의 컴퓨터 프로그램을 실행하는 하나 이상의 프로그래밍가능한 프로세서에 의해 실시될 수 있다. 모든 ATE, 또는 그 일부는 예를 들면 FPGA(필드 프로그래밍 게이트 어레이) 및/또는 ASIC(주문형 집적회로)와 같은 전용 목적의 논리회로로서 구현될 수 있다.

컴퓨터 프로그램의 실행에 적합한 프로세서는 예시의 방법으로, 범용 및 전용 마이크로 프로세서와, 임의의 종류의 디지털 컴퓨터의 하나 이상의 프로세서를 포함한다. 일반적으로, 프로세서는 읽기전용 메모리나 램, 또는 그 모두로부터 명령어 또는 데이터를 수신한다. 컴퓨터의 엘리먼트는 명령어를 실행하기 위한 프로세서와 명령어와 데이터를 저장하기 위한 하나 이상의 메모리 장치를 포함한다.

상기 회로는 본문에 기술된 특정한 예에 한정되지 않는다. 예를 들면, 본 설명이 자동 검사기 내의 회로를 기술하였지만, 본 문에 기술된 회로는 컨버터 테스트를 필요로하는 임의의 회로 환경에서 사용될 수 있다.

본문에 기술된 상이한 실시예의 엘리먼트들은 상기에서 특정하게 기술되지 않은 기타 실시예를 형성하도록 결합될 수 있다. 본 문에 특정하게 기술되지 않은 다른 실시예들 또한 하기의 청구범위의 영역 내에 있다.

Claims

아날로그-디지털 컨버터를 테스트하는데에 사용하는 집적회로(IC)에 있어서,

포스 신호를 전송하도록 설정된 파라미터 측정 유닛(PMU)의 제 1 채널; 및

1 밀리볼트 미만까지 정확한 DC 레벨을 갖는 디지털-아날로그 컨버터로서, 상기 PMU의 제 1 채널에 연결된 제 1 디지털-아날로그 컨버터(DAC);를 포함하는 것을 특징으로 하는 아날로그-디지털 컨버터를 테스트하는데에 사용하는 집적회로.
제 1 항에 있어서,

감지 신호를 수신하고 상기 PMU의 제 1 채널로의 제 1 감지 경로를 제공하는 PMU의 제 2 채널을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 아날로그-디지털 컨버터를 테스트하는데에 사용하는 집적회로.
제 2 항에 있어서,

피시험 디바이스(DUT)로 기준 포스 신호를 전송하도록 설정된 PMU의 제 3 채널; 및

상기 PMU의 제 3 채널에 연결된 제 2 디지털-아날로그 컨버터(DAC);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 아날로그-디지털 컨버터를 테스트하는데에 사용하는 집적회로.
제 3 항에 있어서,

상기 DUT로부터 기준 감지 신호를 수신하고 상기 PMU의 제 3 채널로의 제 2 감지 경로를 제공하는 PMU의 제 4 채널을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 아날로그-디지털 컨버터를 테스트하는데에 사용하는 집적회로.
제 1 항에 있어서,

포스 신호를 제공하고, 1 밀리볼트 미만까지 정확한 DC 레벨을 갖는 PMU의 제 1 채널에 연결된 포스 라인을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 아날로그-디지털 컨버터를 테스트하는데에 사용하는 집적회로.
피시험 디지털-아날로그 컨버터 디바이스(DACDUT)를 테스트하는 데에 사용하는 집적회로(IC)에 있어서,

포스 신호를 전송하도록 설정되고 측정을 하기위한 출력 포트를 포함하는 파라미터 측정 유닛(PMU)의 제 1 채널;

상기 PMU의 제 1 채널에 연결된 제 1 디지털-아날로그 컨버터(DAC); 및

1 밀리볼트 미만까지 정확한 DC 레벨을 갖는 출력 포트에 연결된 PMU 측정경로;를 포함하는 것을 특징으로 하는 피시험 디지털-아날로그 컨버터 디바이스를 테스트하는 데에 사용하는 집적회로.
제 6 항에 있어서,

감지 라인을 통해 감지 신호 f를 수신하고 상기 PMU의 제 1 채널로의 제 1 감지 경로를 제공하는 PMU의 제 2 채널을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 피시험 디지털-아날로그 컨버터 디바이스를 테스트하는 데에 사용하는 집적회로.
제 7 항에 있어서,

피시험 디바이스(DUT)로 기준 포스 신호를 전송하도록 설정된 PMU의 제 3 채널; 및

PMU의 제 3 채널에 연결된 제 2 DAC;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 피시험 디지털-아날로그 컨버터 디바이스를 테스트하는 데에 사용하는 집적회로.
제 8 항에 있어서,

기준 감지 신호를 수신하고 PMU의 제 3 채널로의 제 2 감지 경로를 제공하는 PMU의 제 4 채널을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 피시험 디지털-아날로그 컨버터 디바이스를 테스트하는 데에 사용하는 집적회로.
제 7 항에 있어서,

상기 감지 라인은 1 밀리볼트 미만까지 정확한 DC 레벨을 가지는 것을 특징으로 하는 피시험 디지털-아날로그 컨버터 디바이스를 테스트하는 데에 사용하는 집적회로.