KR20070087167A

KR20070087167A - 유리 봉지의 제조방법

Info

Publication number: KR20070087167A
Application number: KR1020077016563A
Authority: KR
Inventors: 조셉 에프 쉬로에더
Original assignee: 코닝 인코포레이티드
Priority date: 2004-12-20
Filing date: 2005-12-12
Publication date: 2007-08-27
Also published as: TW200633941A; CN101080368A; US7565817B2; US20060130523A1; WO2006068869A2; WO2006068869A3; EP1838635A2; JP2008524112A

Abstract

유리 시트의 기-선택된 영역의 흡광 계수가 바람직하게 증가된다. 이어서, 상기 유리 시트는 봉인 레이저를 이용하여 기판에 봉인될 수 있다. 일 실시형태에서, 상기 시트의 흡광 계수는 약 248㎚의 파장에서 상기 유리 시트를 조사함으로써, 바람직하게는 마스크를 통해서 조사함으로써 증가되어 기-결정된 형상을 갖는 유리 시트를 제조한다. 이어서, 상기 유리 시트는 열 처리되고 기판 상에 위치되며, 그리고 상기 조사된 패턴을 355㎚ 내지 532㎚ 사이 범위의 파장을 갖는 봉인 레이저 빛에 노출시킴으로써 상기 기판에 봉인되어 유리 봉지를 생성한다. 본 발명에 따른 방법은 특히 발광다이오드(LEDs), 특히 유기 발광다이오드(OLEDs)와 같은 전계발광 디바이스의 제조에 유용하다.

유리 봉지, 시트, 흡광, 전계발광

Description

유리 봉지의 제조방법 {Method of making a glass envelope}

본 발명은 유리 제품의 봉인방법에 관한 것으로서, 좀 더 상세하게는 전계발광 부재를 캡슐화하기 위한 방법에 관한 것이다.

디스클레이 적용에 있어서 OLED 디바이스에 대한 요구가 증가하고 있으며, 일반 조명용으로 OLEDs를 적용하는 방향으로 작업이 진행되고 있다. OLEDs의 사용에 있어 한가지 단점은 좀 더 통상적인 발광다이오드(LEDs)에 비하여 상대적으로 짧은 수명에 있다. 상기 디바이스의 수명에 영향을 미치는 인자들로는 상기 디바이스의 캡슐화된 전계발광 부재 내에 침투될 수 있는 수분 및/또는 산소를 포함한다. OLED 디바이스에 대한 사용 시간이 증가함에 따라 전극 산화, 전계발광층의 분리, 또는 유기 부재의 분해에 의해 초래되는 디바이스의 불량 가능성 또한 증가하고 있다. 밀봉 유리 봉지는 이러한 효과를 완화하는 한가지 방법으로서 제안되어 왔다. 그러나, 기판에 유리 캡슐화층을 봉인하는데 요구되는 상대적으로 높은 온도가 저절로 또는 그 자체로 상기 디바이스의 열적으로 민감한 유기층의 성능을 감퇴시킬 수 있다. 따라서, 유리 프릿 또는 자외선(UV) 경화 수지와 같은 다른 비-유리 접착제의 사용을 통해서와 같은, 기판에 커버 유리를 봉인하기 위한 좀 더 개선된 방법을 개발하기 위한 광범위한 연구가 산업계 내에서 진행되어 왔다. 그 러나, 비-유리 접착제는 수분 및 접착 물질에 의한 가스유출(out-gassing)에 의한 투과성에 기인하여 디바이스의 수명이 짧아 바람직하지 않은 것으로 판명되었다. 한편, 기판과 유리 커버 사이에 배치된 유리 프릿은 낮은 용융 온도를 가지며, 커버 유리 및/또는 기판과 상당히 일치되는 열팽창계수(CTE)를 갖는다.

발명의 요약

간략하면, 다른 것들 중에 유기 발광다이오드(OLED)와 같은 전계발광 디바이스에 사용하는데 적합한 유리 봉지의 제조방법의 일 실시형태가 본원에 기술된 바에 따라 실시될 수 있다.

상기 방법은 약 300㎚ 내지 600㎚ 사이 범위의 파장에서 유리 시트의 일부의 광 흡수를 증가시키는 단계, 상기 유리 시트를 기판 상에 위치시키는 단계, 및 상기 유리 시트의 일부를 상기 파장에서 광 에너지에 노출시켜 상기 유리 시트를 상기 기판에 융해시켜 유리 봉지를 형성하는 단계를 포함한다.

또 다른 실시형태에서, 유리 봉지는 제1면 및 제2면을 가지며 Ag 또는 Au로 도핑된 제1유리 시트를 준비하는 단계, 상기 유리 시트의 일부를 제1광 에너지로 조사하는 단계, 상기 유리 시트를 적어도 약 480℃의 온도에서 열 처리하는 단계, 상기 유리 시트를 기판 상에 위치시키는 단계, 및 상기 유리 시트의 조사된 부위를 제2광 에너지에 노출시켜 상기 유리 시트를 상기 기판에 융해시키고 그 사이에 캐비티(cavity)를 형성하는 단계에 의해 형성될 수 있다.

바람직하게는, 상기 유리 시트는 동일한 화학 조성을 갖는다. 상기 유리 시트의 제1면의 적어도 일부가 예를 들어, 마스크를 통해서와 같이, 약 248㎚의 파장 에서 조사된다. 바람직하게는, 상기 유리 시트의 조사된 부위는 상기 시트의 제1면 상에 기-결정된 패턴을 형성한다. 상기 기-결정된 패턴은 바람직하게는 닫힌 경로이다. 바람직하게는, 상기 유리 시트는 적어도 약 2분 동안, 좀 더 바람직하게는 적어도 약 10분 동안 열 처리된다.

또 다른 실시형태에서, 유리 봉지의 제조방법은 제1면 및 제2면을 가지며 Ag 또는 Au로 도핑된 제1유리 시트를 준비하는 단계, 상기 유리 시트의 제1면의 일부를 약 248㎚의 파장에서 조사하는 단계, 상기 유리 시트를 적어도 약 480℃의 온도에서 열 처리하는 단계, 상기 유리 시트를 기판 상에 위치시키는 단계, 및 상기 조사된 부위를 약 300㎚ 내지 600㎚ 사이의 파장에서 광 에너지에 노출시켜 상기 유리 시트를 상기 기판에 융해시키고 그 사이에 캐비티를 형성하는 단계를 포함한다. 통상적인 봉인 레이저는 예를 들어, Nd:YAG 레이저일 수 있다.

바람직하게는, 상기 기판은 전계발광 물질을 포함하며, 좀 더 바람직하게는 상기 전계발광 물질은 유기 물질이다.

본 발명의 또 다른 실시형태에서, 상기 유리 시트는 제1면과 제2면 모두에 조사된다. 이후, 상기 유리 시트는 전술한 방법에 따라 기판에 봉인될 수 있다. 다음, 상기 제2유리 시트를 상기 제1유리 시트 상에 위치시키고, 봉인 레이저로 상기 제1유리 시트의 제2면 상의 기-결정된 패턴을 조사함으로써 제2유리 시트를 제1유리 시트에 봉인시킬 수 있다.

본 발명은 첨부된 도면을 참고하여 후술되는 상세한 설명에 의하여 좀 더 명확해질 것이나, 특별히 이에 한정되는 것은 아님이 주지되어야 한다. 모든 부가적 인 시스템, 방법적 특징 및 이점은 본 설명 내에 포함되고, 본 발명의 보호 범위에 포함되며, 첨부된 청구범위에 의하여 보호된다.

도 1은 본 발명의 방법에 따른 기기의 단면도로서, 마스크를 통한 유리 시트의 조사를 나타낸다.

도 2는 본 발명의 일 실시형태에 따른 유리 시트의 평면도로서, 마스크를 통해서 조사되는 유리 시트 영역의 윤곽을 나타낸다.

도 3은 본 발명에 따른 방법의 일 실시형태의 효과를 나타내는, 공정 조건을 변화시키면서 4개의 동일한 유리 샘플에 대한 투과(흡수) 곡선을 도시한 그래프이다.

도 4는 본 발명의 일 실시형태에 따라 조사되고, 열 처리되고, 그리고 봉인 레이저에 노출되는 유리 표면의 팽창량을 도시한 도면이다.

도 5는 본 발명의 일 실시형태에 따라 형성된 유리 봉지의 단면도이다.

도 6은 본 발명의 또 다른 실시형태에 따라 형성된 유리 봉지의 단면도이다.

도 7은 본 발명의 또 다른 실시형태에 따른 유리 봉지의 단면도로서, 연속적인 유리 시트가 스택되어 봉인된 것을 나타낸다.

다음의 상세한 설명에서, 설명을 위한 목적으로 제한 없이 본 발명의 보다 나은 이해를 위해서 세부적인 사항들을 기술하는 구체적인 실시형태가 개진된다. 그러나, 당업자에게는 이러한 설명으로부터 본 발명이 여기에 기술되는 구체적인 설명 외에도 다른 실시형태로서 실시될 수 있음이 분명할 것이다. 나아가, 잘 알려진 디바이스, 방법 및 물질의 설명은 본 발명의 설명을 좀 더 명확하게 하기 위해서 생략될 수 있다. 유사한 부재는 유사한 참조부호로 언급된다.

대체로, 본 발명의 일 실시형태에 따르면, 감광성 유리 시트의 일부의 광 흡수는 바람직하게는 레이저를 이용하여, 기-결정된 패턴으로 적합한 소스로부터 기-결정된 파장에서 광 에너지에의 노출 및 이어진 상기 유리의 열 처리에 의하여 선택적으로 증가될 수 있다. 이어서, 상기 유리 시트는 상기 시트의 조사되고 열 처리된 부위에 의해 흡수된 파장에서 광 에너지를 발산하는 봉인 레이저를 이용하여 기판에 봉인될 수 있다. 상기 조사되고 열 처리된 유리 시트 부위에 의한 흡수는 상기 조사된 부위를 적어도 상기 유리의 연화 온도로 가열함으로써 상기 유리 시트를 기판에 결합시킨다.

도 1에 도시된 실시형태에서, 은(Ag) 또는 금(Au)으로 도핑된 유리 시트(100)는 약 248㎚의 파장에서의 광 에너지에 노출된다. 일부 예에서, 상기 유리는 상기 노출에 대한 유리의 감응성을 증가시키기 위하여 할라이드를 포함할 수 있다. 바람직하게는, 상기 할라이드는 염소(Cl), 브롬(Br), 요오드(I), 불소 또는 이들의 조합이다. 상기 유리 시트는 바람직하게는 실리카계이며, 여기서 상기 유리 시트 조성의 대부분(>50%)의 성분은 SiO₂이다. 하나의 예시적인 유리 조성은 약 60중량% 내지 70중량% 사이의 실리카(SiO₂), 약 14.5중량% 내지 17중량% 사이의 B₂O₃, 약 5중량%의 ZnO, 약 1.7중량%의 F, 약 0 내지 2중량% 사이의 Sb₂O₃, 약 0.22 내지 0.66중량% 사이의 Ag, 및 약 0.22중량%의 Cl을 포함한다. 예를 들어, 적합한 유리 시트는 약 64.55중량%의 SiO₂, 16.06중량%의 B₂O₃, 0.32중량%의 Ag, 0.21중량%의 Cl, 7.02중량%의 Na₂O, 1.64중량%의 F, 0.96중량%의 Sb₂O₃, 4.81중량%의 ZnO, 및 2.89중량%의 Al₂O₃를 포함할 수 있다.

도 1에 도시된 바와 같이, 크롬 마스크와 같은 마스크(102)는 제1면(104)과 제2면(106)을 포함하는 유리 시트(100) 상에 위치될 수 있으며, 여기서 상기 유리 시트의 제1면(104)은 상기 유리 시트의 영역(112)을 우선적으로 조사하기 위하여 소스(110)에 의해 방출된 빛(108)에 의해 마스크(102)를 통해서 연속적으로 조사된다. 바람직하게는, 빛(108)은 약 248㎚의 파장을 포함한다. 마스크(102)는 유리 시트(100)와 접할 수 있으나, 바람직하게는 거리 d에 의해 상기 유리 시트로부터 분리된다(어프셋). 통상적인 분리 거리 d는 0.22㎜이다. 바람직하게는, 빛 소스(110)는 펄스 모드로 작동되는 KF 엑시머 레이저를 포함한다. 통상적인 조사 파워는 약 20mJ/㎠ 내지 40mJ/㎠ 사이일 수 있다. 상기 유리 시트는 약 1분 내지 5분 사이의 시간 동안 조사된다. 통상적인 조사 시간은 상기 레이저가 약 10hz의 펄스 속도에서 작동될 때 약 1분이다. 상기 영역(112)의 깊이는 펄스 속도를 증가시키거나, 총 노출 시간을 증가시키거나, 또는 이들 둘 모두를 조합하는 것과 같은, 영역(112)의 노출을 조정함으로써 조절될 수 있다.

마스크(102)는 조사되는 유리 시트의 단지 선택된 영역(112)에 대한 조사를 제공하는 오프닝(114)을 포함한다. 도 2에 좀 더 명확하게 나타낸 바와 같이, 유리 봉지가 유리 시트(100)를 이용하여 제작되는 경우의 예에서, 조사된 영역(112)은 유리하게는 프레임 접경 영역(116)의 형상일 수 있으며, 상기 프레임 접경 영역(116)은 조사되지 않고 프레임이 상기 유리 시트를 따라 좌우되며, 바람직하게는 상기 유리 시트의 주변에 인접한다. 조사된 영역(112)은 유리 시트 상에서 바람직한 조사된 영역을 형성하는 모든 적합한 형상일 수 있으나, 상기 형상은 바람직하게는 닫힌 경로를 한정하며; 좀 더 바람직하게는 대략 다각형 형상을 형성하는 닫힌 경로를 한정할 수 있음이 인식될 것이다. 상기 다각형 형상이 의미하는 바는 개략적으로 예를 들어 둥근 코너 세그먼트를 가질 수 있다. 바람직한 실시형태에서, 다수의 조사된 영역(112)은 이후 다수의 좀 더 작은 유리 시트로 분리되며, 각각의 좀 더 작은 유리 시트가 하나 이상의 조사된 영역을 갖는 단일 유리 시트 상에 형성될 수 있다. 다음, 조사된 영역을 갖는 각각의 유리 시트는 상기 기판에 결합되어 유리 봉지를 형성할 수 있다.

선택적인 접근에서, 상기 조사 레이저는 유리 시트에 대해 집중된 레이저 빔을 이동시킴으로써 마스크 없이 유리 시트 상에 패턴을 "기입"하는데 사용될 수 있으나, 이러한 방법들은 노출 시간이 비용적 측면에서 제한되는 제조 환경에서는 덜 바람직할 수 있다.

일단 상기 유리 시트(100)가 조사되면, 이후 상기 유리 시트는 열 처리된다. 바람직하게는, 상기 유리 시트는 적어도 약 480℃의 온도에서; 좀 더 바람직하게는 약 500℃ 내지 600℃ 사이의 온도에서 열 처리된다. 바람직하게는 상기 유리 시트는 적어도 약 2분 동안; 좀 더 바람직하게는 적어도 약 10분 동안 열 처리된다. 열 처리는 최대 약 2시간까지 계속될 수 있으나, 약 2시간을 초과하는 열 처리는 상기 조사된 유리와 조사되지 않은 유리 사이의 명암비(contrast)를 감소시킬 수 있다. 즉, 유리의 조사된 부위와 조사되지 않은 부위 사이의 흡수 변화가 덜 급격할 수 있다.

도 3은 공정 조건을 달리하면서 4개의 유리 샘플에 대한 흡광도 스펙트럼 곡선(흡광도가 ㎜^-1로 표시됨)을 나타낸 것이다. 상기 유리 시트 샘플은 각각 약 64.55중량%의 SiO₂, 16.06중량%의 B₂O₃, 0.32중량%의 Ag, 0.21중량%의 Cl, 7.02중량%의 Na₂O, 1.64중량%의 F, 0.96중량%의 Sb₂O₃, 4.81중량%의 ZnO, 및 2.89중량%의 Al₂O₃, 0.01중량%의 CaO, 0.01중량%의 SO₃, 및 1.52중량%의 H₂O를 포함할 수 있다.

도 3에서, 곡선(118)은 KF 엑시머 레이저로 조사되기 전의 제1유리 샘플에 대한 흡광도 곡선을 도시한 것이다. 가파른 자외선(UV) 흡수 변화가 약 275㎚의 파장에서 보여질 수 있다. 즉, 약 275㎚에서 상기 유리는 흡수에 있어 빠른 감소를 나타내는 것으로 보여진다. 곡선(120)은 조사되었으나 열 처리되지 않은 유리 샘플에 대한 흡광도 곡선을 도시한 것이다. 곡선(118)의 의해 도시된 것과 유사한 UV 변화가 보여진다. 곡선(122)은 단지 열 처리된 유리 시트 샘플에 대한 흡광도 곡선을 도시한 것이다. 곡선(118 및 120)과 유사한 UV 변화가 관찰되나, 상기 샘플은 약 400㎚의 파장에서의 최대 흡광도를 가지면서 약 350㎚를 초과하는 파장에서 증가된 흡광도(곡선(118)과 비교하여)를 나타내는 것으로 보여진다. 마지막으로, 곡선(124)은 본 발명에 따라 처리된 유리 샘플을 나타내며, 여기서 상기 유리는 약 4분 동안 약 248㎚의 파장을 갖는 빛으로 먼저 조사된 후, 약 1.5시간 동안 550℃의 온도에서 열 처리되었다. 곡선(124)은 약 400㎚ 내지 약 500㎚ 범위의 파장에 걸쳐 브로드한 피크 흡수를 가지면서 약 325㎚ 내지 약 600㎚ 범위의 파장에 걸쳐 상당히 증가된 흡광도를 나타낸다. 500㎚ 후에 상기 유리의 흡광도는 빠르게 감소한다. 상기 유리 시트가 열 처리된 후, 상기 열 처리된 유리 시트는 기판(126)과 접하는 유리 시트의 조사된 제1면(104)으로 기판 상에 위치될 수 있다. 기판(126)은 통상적으로 유리 또는 유리 세라믹을 포함하며, 바람직하게는 증착된 물질(128)을 발산하는 하나 이상의 빛 층을 포함한다. 예를 들어, 상기 빛 발산 물질은 하나 이상의 유기 빛 발산층을 포함할 수 있다. 애노드 또는 캐소드층과 같은 다른 층들이 또한 포함될 수 있다. 그 다음, 상기 유리 시트는 기 조사된 영역(112)을 따라서 적합한 봉인 레이저에 의해서와 같이 가열될 수 있다. 바람직하게는, 상기 봉인 레이저는 약 300㎚ 내지 600㎚ 사이; 좀 더 바람직하게는 약 355㎚ 내지 532㎚ 사이 범위의 파장에서 발산 피크를 가지며; 좀 더 바람직하게는 상기 봉인 레이저는 약 420㎚에서 발산 피크를 갖는다. 예를 들어, Nd:YAG 레이저가 적합한 봉인 레이저이다. 유리하게, 상기 조사된 영역은 화살표(130)로 나타낸 바와 같이 유리 시트의 제2면(106)을 통해서 봉인 레이저 빛에 상기 조사된 영역을 노출시킴으로써 가열될 수 있으며, 또는 만약 상기 기판이 상기 가열 레이저 빛의 파장에서 실질적으로 투과성을 갖는다면, 상기 조사된 영역은 화살표(132)로 나타낸 바와 같이 기판(126)을 통해서 조사된 영역 상의 가열 레이저로부터 광 에너지를 향하게 함으로써 가열될 수 있다. 따라서, 본 실시형태는 상기 기판의 바닥 또는 상기 유리 시트의 상부 중 어느 하나로부터 상기 기판에 유리 커버 시트를 봉인하는 방법을 제공한다. 유리하게, 기판(126)은 유리 시트(100)와 동일한 유리 조성으로 될 수 있으나, 약 248㎚의 파장에서 제1조사되지 않고 이어서 열 처리됨으로써 기판과 유리 시트에 대한 별개의 조성을 이용하기 보다는 단일 유리 조성을 이용한 유리 봉지의 제작이 가능하도록 한다. 좀 더 단순하게는, 상기 유리 시트는 커버 유리의 아래 또는 위로부터 봉인 레이저에 의해 상기 기판에 봉인될 수 있다. 나아가, 그 전체에서 흡수되는 유리 시트를 이용하는 종래 기술과 달리, 본 발명에 따르면 유리 시트의 좁은 표면 영역이, 통상적으로 약 300㎛ 미만의 깊이 D로 조사 및 연속적인 열 처리에 의해 흡수되도록 제작된다. 상기 기판에 상기 유리 시트를 봉인하는 것은 본 발명의 방법을 이용하여, 예를 들어 상기 커버 유리와 기판 사이의 봉인 계면에서 유리의 좁은 조사된 영역(112)만을 우선적으로 가열함으로써 크게 개선된다. 덧붙여, 유리 시트(100) 상의 조사된 영역(112)만이 흡수에 있어서 주목할만한 증가를 경험하므로, 유리 시트(100)의 나머지 부분들은 고 투과성(예를 들어, >90%)을 유지하여 전계발광 디바이스가 상기 커버 유리 및/또는 기판을 통해서 효율적으로 투과하는 것이 가능하도록 한다.

유리 시트(100) 상의 조사된 영역(112)이 봉인 레이저에 의하여 연화 온도까지 가열될 때, 조사된 영역(112)은 그 반응으로서 팽창하여 상기 전계발광 부재를 함유하기 위한 캐비티(134)를 형성하고 조사된 영역(112)에서 기판(126)에 유리 시트(100)가 결합한다. 도 5는 64.55중량%의 SiO₂, 16.06중량%의 B₂O₃, 0.32중량%의 Ag, 0.21중량%의 Cl, 7.02중량%의 Na₂O, 1.64중량%의 F, 0.96중량%의 Sb₂O₃, 4.81중량%의 ZnO, 및 2.89중량%의 Al₂O₃, 0.01중량%의 CaO, 0.01중량%의 SO₃, 및 1.52중량%의 H₂O의 조성을 갖는 유리 샘플에 의해 나타나는 통상적인 팽창 거리를 도시한 것이다. 상기 샘플은 10hz에서 작동하는 펄스 KF 엑시머 레이저를 이용하여 248㎚의 파장에서 4분 동안 조사되었다. 다음, 상기 샘플은 약 1.5시간 동안 약 550℃의 온도에서 열 처리되었으며, 그 중 일부는 상기 조사된 영역의 반대편 면으로부터 Nd:YAG 봉인 레이저로 연속적으로 가열되었다. 나타낸 바와 같이, 조사되고 열 처리된 후 봉인 레이저로 가열된 유리 시트 영역은 팽창되어 상기 유리 시트의 조사된 영역의 표면이 248㎚에서 조사되지 않은 유리 시트 표면 상으로 대략 10㎛ 확장되도록 하였다.

또 다른 실시형태에서, 도 6에 도시된 바와 같이, 제1유리 시트(200)는 마스크를 통해서 248㎚의 파장에서 우선적으로 조사되어 상술한 바와 같은 기-결정된 형상을 갖는 조사된 영역(212)을 생성할 수 있다. 도 6에 도시된 실시예에서, 유리 시트(200)의 양면은 우선적으로 조사될 수 있다. 그 다음, 유리 시트(200)는 전술한 바에 따라 열 처리되고, 제1면(204)이 적합한 봉인 레이저를 이용하여 기판(126)에 봉인됨으로써 전술한 바와 같이 캐비티(234)를 형성한다. 바람직하게는, 유리 시트(200)는 상기 기판을 통해서 상기 봉인 레이저로부터의 빛을 향하게 함으로써 기판(126)에 봉인된다. 다음, 하나 이상의 전계발광층이 증착될 수 있는 제2기판(126)은 바람직하게는 상기 제2유리 시트 또는 기판을 통해서 봉인 레이저로부터 빛을 향하게 함으로써, 제1유리 시트(200)의 제2면(206)에 유사하게 봉인될 수 있다.

또 다른 실시형태에서, 유리 시트의 기-결정된 부위의 흡광도 계수는 이온 교환법에 의해 변형된다. 예를 들어, 유리 시트의 기-결정된 부위는 이온 교환을 통해서 기-결정된 패턴에 따라 유리 내에 구리 이온을 함침시킬 수 있다. 일단 상기 유리 시트의 기-결정된 부위가 흡광도 계수 변화를 경험하면, 상기 기-결정된 부위에 의해 괄목할만큼 흡수된 파장에서 발산하는 봉인 레이저가 전술한 바와 유사한 방법으로 기판에 유리 시트를 봉인하는데 사용된다.

본 발명의 상술한 실시형태는, 특히 모든 "바람직한" 실시형태는 단지 본 발명의 가능한 실시예이며, 단지 본 발명의 원리를 명확하게 이해시키기 위하여 기술되는 것임이 주지되어야 한다. 본 발명의 사상 및 원리를 실질적으로 벗어나지 않고 본 발명의 전술한 실시형태들에 대한 여러가지 변화 및 변형이 이루어질 수 있다. 예를 들어, 도 7에 나타낸 바와 같이, 제1유리 시트(100)는 단지 일면 상에 조사되고, 전술한 바와 같이 열 처리되고 기판에 밀봉될 수 있다. 제2유리 시트(100)가 또한 일면 상에 조사되고, 열 처리되고, 그리고 제2유리 시트(100)의 조사된 부위(112)를 통해서 제1유리 시트(100)의 제2면(106)에 봉인될 수 있다. 이러한 방법으로 연속적으로 다수의 유리 시트가 스택으로 서로서로 봉인될 수 있다. 제1유리 시트(100)는 부가적인 전계발광 부재에 대한 기판 역할을 할 수 있다. 이러한 모든 변형 및 변화는 본 상세한 설명 및 본 발명의 범위 내에 포함되며, 다음의 청구범위에 의해 보호되는 범위 내에 포함되는 것으로 의도된다.

Claims

300㎚ 내지 600㎚ 사이 범위의 파장에서 유리 시트의 일부의 광 흡수를 증가시키는 단계;

상기 유리 시트를 기판 상에 위치시키는 단계; 및

상기 유리 시트의 일부를 상기 파장에서 광 에너지에 노출시켜 상기 유리 시트를 상기 기판에 융해시켜 유리 봉지를 형성하는 단계;

를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 봉지의 제조방법.
제1면 및 제2면을 가지며 Ag 또는 Au로 도핑된 제1유리 시트를 준비하는 단계;

상기 유리 시트의 일부를 제1광 에너지로 조사하는 단계;

상기 유리 시트를 적어도 480℃의 온도에서 열 처리하는 단계;

상기 유리 시트를 기판 상에 위치시키는 단계; 및

상기 유리 시트의 조사된 부위를 제2광 에너지에 노출시켜 상기 유리 시트를 상기 기판에 융해시키고 그 사이에 캐비티(cavity)를 형성하는 단계;

를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 봉지의 제조방법.
제2항에 있어서, 상기 제1광 에너지는 248㎚의 파장에 있는 것을 특징으로 하는 방법.
제2항에 있어서, 상기 제2광 에너지는 300㎚ 내지 600㎚ 사이의 파장에 있는 것을 특징으로 하는 방법.
제2항에 있어서, 상기 조사 단계는 마스크를 통해서 조사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
제2항에 있어서, 상기 조사된 부위는 상기 제1면 상의 닫힌 경로를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
제2항에 있어서, 상기 유리 시트는 복수의 조사된 패턴을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
제2항에 있어서, 상기 캐비티 내에 배치된 전계발광층을 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
제8항에 있어서, 상기 전계발광층은 유기 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
제5항에 있어서, 상기 제2광 에너지는 420㎚의 파장을 갖는 것을 특징으로 하는 방법.
제2항에 있어서, 상기 유리 시트의 화학 조성 및 상기 기판의 화학 조성은 실질적으로 동일한 것을 특징으로 하는 방법.
제2항에 있어서, 상기 유리 시트는 적어도 2분의 기간 동안 열 처리되는 것을 특징으로 하는 방법.
제2항에 있어서, 상기 유리 시트는 적어도 1시간 동안 열 처리되는 것을 특징으로 하는 방법.
제2항에 있어서, 상기 유리 시트는 0.22중량% 내지 0.66중량% 사이의 양으로 Ag 또는 Au를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
제2항에 있어서, 상기 조사된 부위는 300㎜ 미만의 깊이를 갖는 것을 특징으로 하는 방법.
제1면 및 제2면을 가지며 Ag 또는 Au로 도핑된 제1유리 시트를 준비하는 단계;

상기 유리 시트의 제1면의 일부를 248㎚의 파장에서 조사하는 단계;

상기 유리 시트를 적어도 480℃의 온도에서 열 처리하는 단계;

상기 유리 시트를 기판 상에 위치시키는 단계; 및

상기 조사된 부위를 300㎚ 내지 600㎚ 사이의 파장에서 광 에너지에 노출시켜 상기 유리 시트를 상기 기판에 융해시키고 그 사이에 캐비티를 형성하는 단계;

를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 봉지의 제조방법.
제16항에 있어서, 상기 제1유리 시트의 제2면의 일부를 248㎚의 파장에서 조사하는 단계를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
제16항에 있어서, 상기 제1유리 시트에 제2유리 시트를 봉인하는 단계를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.