KR20070084689A - Panel stage and panel inspection apparatus using the same - Google Patents

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KR20070084689A
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Abstract

A panel stage and an apparatus for examining a panel using the same are provided to realize efficient examination about small and medium panels by using unit panel stages suitable for the small medium panels. Two unit stages(410) are located on the upper portion of a receiving stage(400). At least one of the two unit stage is movable. The driving unit(500) is installed at a side of the receiving stage to move at least one of the unit stages. A support(300) connects the receiving stage to a plate. The receiving stage includes a receiving surface and a sidewall. The sidewall is vertically bent to the receiving surface. Plural receiving surfaces and plural sidewalls are formed on the unit stages in a cascade form. A coupling plate(200) is arranged on the lower portion of the receiving stage. A space is formed on the lower portion of the coupling plate. The space is connected to a vacuum pump(250).

Description

패널 스테이지 및 이를 이용한 패널 검사 장치{PANEL STAGE AND PANEL INSPECTION APPARATUS USING THE SAME}PANEL STAGE AND PANEL INSPECTION APPARATUS USING THE SAME}

도 1은 본 발명에 따른 패널 스테이지가 장착된 검사 장치를 나타낸 개략 단면도이다.1 is a schematic cross-sectional view showing a test apparatus equipped with a panel stage according to the present invention.

도 2 및 도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 패널 스테이지를 나타낸 평면도 및 배면도이다.2 and 3 are a plan view and a rear view showing a panel stage according to a first embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 패널 스테이지를 나타낸 단면도이다.4 is a cross-sectional view illustrating a panel stage according to a second embodiment of the present invention.

< 도면 주요 부분에 대한 부호의 설명 >           <Description of the code | symbol about the principal part of drawings>

100: 하부 스테이지 200: 결합 스테이지100: lower stage 200: bonding stage

250: 진공 펌프 300: 지지대250: vacuum pump 300: support

400: 안착 스테이지 410: 단위 스테이지400: seating stage 410: unit stage

500: 구동부 600: 클램프500: driving unit 600: clamp

610: 클램프 척 700: 계측기610: clamp chuck 700: instrument

본 발명은 패널 스테이지에 관한 것으로, 보다 상세하게는 중소형 패널을 스테이지에 안정적으로 안착시켜 패널을 검사하기 위한 패널 스테이지 및 이를 이용한 패널 검사 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a panel stage, and more particularly, to a panel stage for inspecting a panel by stably seating a small and medium-sized panel on the stage, and a panel inspection apparatus using the same.

최근에는 CRT(Cathode Ray Tube, 음극선관 표시 장치)를 대신하여 LCD(Liquid Crystal Display, 액정 표시 장치), PDP(Plasma Display Panel, 플라즈마 표시 장치), OLED(Organic Light Emitting Diodes, 유기 다이오드 표시 장치) 등의 평판 표시 장치가 빠르게 발전하고 있다.Recently, liquid crystal displays (LCDs), plasma display panels (PDPs), organic light emitting diodes (OLEDs) instead of cathode ray tubes (CRTs) Such flat panel display devices are rapidly developing.

특히, LCD는 다른 디스플레이 장치에 비해 얇고 가벼우며 낮은 소비 전력 및 낮은 구동 전압을 갖추고 있어서 다양한 장치에 광범위하게 사용되고 있다.In particular, LCDs are thinner and lighter than other display devices, and have low power consumption and low driving voltage, so that they are widely used in various devices.

LCD는 IC 칩들이 유리 기판의 패드 영역에 직접 탑재되는 COG(Chip On Glass) 타입의 형태로 제작되고 있다. 상기와 같은 타입의 액정 표시 패널에는 드라이브 IC와 드라이브 IC에 신호를 제공해 주는 인쇄회로기판(Printed Circuit Board, PCB)로 구성되며, 드라이버 IC와 PCB 사이를 전기적으로 연결시켜주기 위해 연성 인쇄회로기판(Flexible Printed Circuit film, FPC)이 제공된다.LCDs are manufactured in the form of a chip on glass (COG) type in which IC chips are directly mounted on a pad area of a glass substrate. The liquid crystal display panel of the above type is composed of a printed circuit board (PCB) that provides a signal to the drive IC and the drive IC, and a flexible printed circuit board (PCB) to electrically connect the driver IC and the PCB. Flexible Printed Circuit Film (FPC) is provided.

이러한, FPC는 OLB(Outer Lead Bonding)에 의해 액정 표시 패널에 일측이 본딩되며, 타측은 PCB에 본딩된다.One side of the FPC is bonded to the liquid crystal display panel by outer lead bonding (OLB), and the other side of the FPC is bonded to the PCB.

이후, FPC의 접착력 상태를 측정하기 위해 검사 장치의 스테이지로 이동하여, 접착력 상태를 측정하게 된다.Thereafter, the adhesive force state is moved to the stage of the inspection apparatus to measure the adhesive force state of the FPC.

즉, 상기 종래의 검사 장치는 패널을 스테이지 상에 안착시키고 작업자가 패널을 파지한 상태에서 패널 상에 접착된 FPC를 잡아당겨 상기 FPC의 접착력을 테스 트를 하였다. That is, the conventional inspection device was seated on the stage and the operator pulled the FPC bonded on the panel while holding the panel to test the adhesion of the FPC.

따라서, 접착력 테스트시에 작업자가 패널을 파지한 상태에서 측정 장치를 제어하기가 용이하지 않았다. 더욱이 패널의 크기가 12인치 이하인 경우 그 크기가 작아 FPC 접착력 측정시 패널을 스테이지에 안정적으로 고정하기 어려워 데이터 자체의 신뢰성이 떨어지는 문제점이 있다.Therefore, it was not easy to control the measuring device with the operator holding the panel during the adhesion test. Moreover, when the size of the panel is 12 inches or less, the size thereof is small, so that it is difficult to stably fix the panel to the stage when measuring the FPC adhesive force, thereby reducing the reliability of the data itself.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 본 발명은 중소형 패널에서 FPC의 접착력을 테스트하기 위한 패널 스테이지 및 이를 이용한 패널 검사 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.In order to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a panel stage for testing the adhesion of the FPC in the small and medium panels and a panel inspection apparatus using the same.

또한, 패널을 스테이지 상에 고정시킬 수 있는 패널 스테이지 및 이를 이용한 패널 검사 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.Moreover, it aims at providing the panel stage which can fix a panel on a stage, and a panel inspection apparatus using the same.

상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 안착 스테이지와, 상기 안착 스테이지 상부에 위치한 적어도 하나가 이동 가능한 2개의 단위 스테이지와, 상기 안착 스테이지의 일측에 설치되어 상기 단위 스테이지의 적어도 어느 하나를 이동시키는 구동부와, 상기 안착 스테이지와 플레이트를 연결하는 지지대를 포함하며, 상기 안착 스테이지는 안착면과 상기 안착면의 수직으로 절곡된 측벽을 포함하는 패널 스테이지를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a seating stage, two unit stages movable at least one located above the seating stage, and installed on one side of the seating stage to move at least one of the unit stages. And a driving unit and a support connecting the seating stage and the plate, the seating stage providing a panel stage including a seating surface and a vertically bent sidewall of the seating surface.

상기 단위 스테이지는 복수의 안착면과 복수의 측벽이 계단 형상으로 형성되어 있다. 상기 안착 스테이지의 하부에 배치된 결합 플레이트를 더 포함하고, 상기 결합 플레이트 하부에는 하부로 개방된 공간이 형성되고, 상기 공간은 진공 펌프와 연결된 것을 특징으로 한다.In the unit stage, a plurality of seating surfaces and a plurality of side walls are formed in a step shape. It further comprises a coupling plate disposed in the lower portion of the seating stage, a lower open space is formed in the lower portion of the coupling plate, the space is characterized in that connected to the vacuum pump.

상기 플레이트의 하부에 형성된 공간의 둘레에는 오링이 더 구비되어 있다.O-ring is further provided around the space formed in the lower portion of the plate.

패널 검사 장치는 패널이 안착되는 패널 스테이지와, 측정부를 포함하며, 패널상에 접착된 FPC를 파지하여 그의 접착력을 측정하는 상기 패널 스테이지는 상기 안착 스테이지 상부에 위치한 적어도 하나가 이동 가능한 2개의 단위 스테이지와, 상기 안착 스테이지의 일측에 설치되어 상기 단위 스테이지의 적어도 어느 하나를 이동시키는 구동부와, 상기 안착 스테이지와 플레이트를 연결하는 지지대를 포함하며, 상기 안착 스테이지는 안착면과 상기 안착면의 수직으로 절곡된 측벽을 포함한다.The panel inspecting apparatus includes a panel stage on which the panel is seated, and a measuring unit, wherein the panel stage, which grips the FPC adhered on the panel and measures the adhesive force thereof, includes at least one movable unit stage positioned above the seating stage. And a driving part installed at one side of the seating stage to move at least one of the unit stages, and a support connecting the seating stage and the plate, wherein the seating stage is bent vertically between the seating surface and the seating surface. Included sidewalls.

상기 패널 검사 장치는 상기 하부 스테이지를 더 포함하고, 상기 패널 스테이지는 상기 하부 스테이지에 탈착 가능하게 결합되는 것을 특징으로 한다.The panel inspecting apparatus further includes the lower stage, and the panel stage is detachably coupled to the lower stage.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 패널 스테이지 및 패널 검사 장치의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현된 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.Hereinafter, with reference to the drawings will be described an embodiment of the panel stage and panel inspection apparatus of the present invention in detail. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but is embodied in various forms, and only the embodiments are intended to complete the disclosure of the present invention and to those skilled in the art. It is provided for complete information. Like numbers refer to like elements in the figures.

도 1은 본 발명에 따른 패널 스테이지가 장착된 검사 장치를 나타낸 개략 단면도이고, 도 2 및 도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 스테이지를 나타낸 평면도 및 배면도이다.1 is a schematic cross-sectional view showing an inspection apparatus equipped with a panel stage according to the present invention, Figures 2 and 3 are a plan view and a rear view showing a substrate stage according to a first embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 검사 장치는 스테이지와, 상기 스테이지의 상부에 위치한 측정부로 구성된다.Referring to FIG. 1, the inspection apparatus includes a stage and a measuring unit positioned above the stage.

상기 스테이지는 하부 스테이지(100)와, 상기 하부 스테이지(100)의 소정 간격 이격된 상부 스테이지로 구성된다.The stage is composed of a lower stage 100 and an upper stage spaced apart from the lower stage 100 by a predetermined interval.

상기 하부 스테이지(100)는 통상 원형 플레이트 형상을 하고 있으나, 이 형상은 그에 한정되지 않는다. 상기 하부 스테이지(100)는 12인치 이상의 패널이 안착되어 측정부로부터 FPC의 접착 상태를 측정할 수 있는 역할을 한다.The lower stage 100 generally has a circular plate shape, but the shape is not limited thereto. The lower stage 100 serves to measure the adhesion state of the FPC from the measurement unit by mounting a panel 12 inches or more.

상기 하부 스테이지(100)의 상부에는 패널 스테이지 즉 상부 스테이지가 위치해 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 상부 스테이지는 안착 스테이지(400)와 상기 안착 스테이지(400) 하부에 하부 스테이지(100)와 결합하기 위한 결합 플레이트(200)와, 상기 안착 스테이지(400)를 결합 플레이트(200) 상에 지지하기 위한 지지대(300)로 구성되어 있다.The panel stage, that is, the upper stage, is positioned above the lower stage 100. As illustrated in FIG. 2, the upper stage combines the seating stage 400 and the seating stage 400 with a coupling plate 200 for coupling the lower stage 100 to the bottom of the seating stage 400. It is composed of a support 300 for supporting on the plate 200.

상기 안착 스테이지(400)에는 서로 대향하는 2개의 단위 스테이지(410)로 구성되어 있으며, 상기 2개의 단위 스테이지(410)의 상부면은 각각 안착 스테이지(400)의 중심을 향하여 하향 경사지게 형성되어 있다. 이때, 상기 상부면은 안착부와 상기 안착부로부터 상부로 90도 절곡된 측면으로 구성된 계단 형상을 띄고 있다.The seating stage 400 includes two unit stages 410 facing each other, and upper surfaces of the two unit stages 410 are inclined downward toward the center of the seating stage 400. At this time, the upper surface has a staircase shape consisting of a seating portion and a side bent upward by 90 degrees from the seating portion.

상기 안착 스테이지(400)의 일측에는 구동부(500)가 형성되어 있다. 상기 구동부(500)는 상기 한 쌍의 단위 스테이지(410)를 서로 가까워지는 방향 또는 멀어 지는 방향으로 함께 이동시킨다.The driving part 500 is formed at one side of the seating stage 400. The driving unit 500 moves the pair of unit stages 410 together in a direction of approaching or away from each other.

이때, 안착 스테이지(400)에서 한 쌍의 단위 스테이지(410)가 상기 구동부(500)에 의해 동시에 가까워지는 방향 또는 멀어지는 방향으로 이동하지만, 이에 한정되지 않고 일측의 단위 스테이지(410)는 고정되고 다른 하나의 단위 스테이지(410)만 구동부를 통해서 일측의 단위 스테이지(410)와 가까워지는 방향 또는 멀어지는 방향으로 이동할 수 있다.In this case, the pair of unit stages 410 in the seating stage 400 is moved in the direction of approaching or moving away at the same time by the drive unit 500, but is not limited to this unit stage 410 of one side is fixed and other Only one unit stage 410 may move in a direction approaching or away from the unit stage 410 on one side.

예를 들어, 1 인치의 패널이 단위 스테이지(410)의 양측 계단면의 가장 가까운 곳에 안착되게 되면 구동부(500)로 단위 스테이지(410)의 간격을 미세 조정하여 패널을 안정적으로 고정할 수 있다. For example, when the 1-inch panel is placed in the closest positions of both side surfaces of the unit stage 410, the panel 500 may be stably fixed by finely adjusting the interval of the unit stage 410 with the driving unit 500.

또한, 상기 계단면의 간격은 일정한 크기로 증가하도록 형성되고, 상기 스테이지의 간격 움직임은 약 1 인치 이내로 이동할 수 있는 것이 바람직하다.In addition, the spacing of the stepped surface is formed to increase to a constant size, the interval movement of the stage is preferably movable within about 1 inch.

상기 결합 플레이트(200)는 통상 원형 형상으로 상기 하부 스테이지(100)의 상부면보다 작게 형성되며, 이때 접착 플레이트(200)의 하부의 일부는 개방되어 있다.The coupling plate 200 is generally formed in a circular shape smaller than the upper surface of the lower stage 100, wherein a part of the lower portion of the adhesive plate 200 is open.

상기 접착 플레이트(200) 상부 일측에는 접착 플레이트(200)를 상하 관통하도록 관통홀(210)이 형성되어 있고, 상기 상부에 형성된 관통홀(210)에는 진공 라인(240)을 통하여 진공 펌프(250)가 연결되어 있다. A through hole 210 is formed on one side of the adhesive plate 200 to penetrate the adhesive plate 200 up and down, and the vacuum hole 250 is formed in the through hole 210 formed in the upper portion through the vacuum line 240. Is connected.

도 3에 도시된 바와 같이, 결합 플레이트(200)의 배면에는 소정의 공간(220)과, 하부 스테이지(100)와 접촉할 수 있는 접촉면(240)이 형성되어 있다. As shown in FIG. 3, a predetermined space 220 and a contact surface 240 that is in contact with the lower stage 100 are formed on the rear surface of the coupling plate 200.

이때, 상기 접촉면(240)을 따라 오링(230)이 형성되어 있고, 상기 오링(230) 은 결합 플레이트(200)가 진공에 의해 하부 스테이지(100)와 접착될 때 진공이 밖으로 새어나가지 않도록 하는 역할을 한다.In this case, an o-ring 230 is formed along the contact surface 240, and the o-ring 230 prevents the vacuum from leaking out when the bonding plate 200 is bonded to the lower stage 100 by vacuum. Do it.

따라서, 진공 이젝터(250)을 통해 공기를 진공 흡입하면 접착 플레이트(200)는 하부 스테이지(100)에 밀착 고정될 수 있다.Therefore, when the air is vacuum sucked through the vacuum ejector 250, the adhesive plate 200 may be tightly fixed to the lower stage 100.

이와 같이, 하부 스테이지(100) 상에 상부 스테이지를 고정시키도록 구성함으로써, 기존의 테스트 방식이 요구되는 경우 상부 스테이지를 제거하여 기존 테스트를 수행할 수 있다.As such, by configuring the upper stage to be fixed on the lower stage 100, when the existing test scheme is required, the upper stage may be removed to perform the existing test.

도 1로 돌아가서, 상기 스테이지의 상부에는 측정부가 마련되어 있다. 상기 측정부는 클램프(600)와, 상기 클램프(600)와 연결되어 있는 계측기(700)로 구성된다.1, the measuring part is provided in the upper part of the said stage. The measuring unit includes a clamp 600 and a measuring instrument 700 connected to the clamp 600.

클램프(600)는 상하 좌우로 이동 가능하며, 상기 클램프(600)는 액정 표시 패널에 본딩된 FPC를 잡을 수 있는 클램프 척(610)을 더 포함한다.The clamp 600 is movable up, down, left, and right, and the clamp 600 further includes a clamp chuck 610 for holding the FPC bonded to the liquid crystal display panel.

따라서, 상기 클램프(600)는 안착 스테이지에 안착된 패널로 이동한 후, 클램프 척(610)에 의해 FPC를 당기게 된다.Thus, the clamp 600 is moved to the panel seated on the seating stage, and then the FPC is pulled by the clamp chuck 610.

이때, 계측기(700)는 클램프(600)에 의해 FPC가 당겨질 때, 그에 작용하는 응력을 측정하게 되고, FPC가 기준 응력으로 당겨질 때 상기 FPC가 패널에서 떨어지는 즉, FPC 접착 상태가 불량일 경우 품질의 상태를 사용자에게 알려주게 된다.At this time, the meter 700 measures the stress acting on the FPC when the FPC is pulled by the clamp 600, and when the FPC is pulled to the reference stress, the FPC falls from the panel, that is, the quality of the FPC is poor. Will inform the user of the status of.

이때, 상기 기준 응력에서 FPC가 패널에서 떨어지게 되면 계측기에서 측정되는 응력은 0이 되므로 이를 이용하여 FPC의 접착 불량 여부를 판단할 수 있다.In this case, when the FPC falls from the panel at the reference stress, the stress measured by the measuring instrument becomes 0, so that it may be determined whether the adhesion of the FPC is poor.

도면에서는 측정부가 스테이지 상부면에 설치되었지만, 스테이지의 양측면에 설치될 수 있음은 당연하다.Although the measurement unit is installed in the upper surface of the stage in the drawings, it is obvious that it can be installed on both sides of the stage.

도 4는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 패널 스테이지를 나타낸 단면도이다. 이때, 제 1 실시예와 중복되는 설명은 생략한다. 4 is a cross-sectional view illustrating a panel stage according to a second embodiment of the present invention. In this case, description overlapping with the first embodiment will be omitted.

도면을 참조하면, 패널이 안착되는 상부 스테이지는 안착 스테이지(800)와 상기 안착 스테이지(800) 하부에 결합 플레이트(200)와, 상기 안착 스테이지와 접착 플레이트를 연결해주는 지지대(300)로 구성되어 있다.Referring to the drawings, the upper stage on which the panel is seated is composed of a seating stage 800, a coupling plate 200 below the seating stage 800, and a support 300 connecting the seating stage and the adhesive plate. .

상기 안착 스테이지(800)의 상부에 패널이 안착될 수 있는 안착면과 상기 안착면에 90도 상부로 절곡된 측벽으로 구성된 한 쌍의 단위 스테이지(810)로 구성되어 있다.It consists of a pair of unit stages 810 consisting of a seating surface on which the panel can be seated on the seating stage 800 and a sidewall bent upward by 90 degrees to the seating surface.

상기 안착 스테이지(800)의 일측에는 구동부(500)가 형성되어 있으며, 상기 구동부(500)는 레바 또는 모터 등이 사용될 수 있다.The driving unit 500 is formed at one side of the seating stage 800, and the driving unit 500 may be a lever or a motor.

단위 스테이지(810)는 상기 구동부(500)에 의해 멀어지는 방향 또는 가까워지는 방향으로 이동할 수 있다. 이때, 일측의 단위 스테이지(810)는 고정된 상태에서 타측의 단위 스테이지(810)만이 이동할 수도 있으며, 타측의 단위 스테이지(810)가 고정된 상태에서 일측의 안착부가 이동할 수도 있다.The unit stage 810 may move in a direction away from or close to the driving unit 500. In this case, the unit stage 810 of one side may be moved only in the other unit stage 810 in a fixed state, and the seating unit of one side may be moved in the state in which the other unit stage 810 is fixed.

따라서, 중소형 패널이 단위 스테이지(810)의 안착면에 로딩되면 상기 구동부(500)에 의해 단위 스테이지(810)를 미세 조정하여 패널을 단위 스테이지(810)의 측벽이 패널의 양측면을 파지하여 안정적으로 고정시킬 수 있다.Therefore, when the small and medium-sized panel is loaded on the seating surface of the unit stage 810, the driver unit 500 finely adjusts the unit stage 810 so that the side wall of the unit stage 810 grips both sides of the panel to stably. Can be fixed

다음은 도 1을 참조하여, FPC 접착력 테스트를 위한 스테이지 안착 및 검사 장치의 동작을 살펴본다.Next, referring to Figure 1, looks at the operation of the stage seating and inspection device for FPC adhesion test.

먼저, 상부 스테이지를 하부 스테이지(100) 상부의 적절한 위치에 놓는다. 이후, 상부 스테이지를 고정하기 위해 접착 플레이트(200)에 연결된 진공 펌프(250)를 사용하여 접착 플레이트(200) 내부에 형성된 공간(220)을 진공으로 만든다.First, the upper stage is placed in an appropriate position above the lower stage 100. Thereafter, the space 220 formed inside the adhesive plate 200 is vacuumed using the vacuum pump 250 connected to the adhesive plate 200 to fix the upper stage.

이때, 접착 플레이트(200)는 진공력에 의해 하부 스테이지(100)와 결합하게 되고, 상부 스테이지는 안정적으로 고정되게 된다.At this time, the adhesive plate 200 is coupled to the lower stage 100 by the vacuum force, the upper stage is fixed stably.

이후, 액정 표시 패널은 FPC의 접착력 검사를 받기 위해 단위 스테이지(410)에 형성된 계단면 상에 안착된다. 이때, 상기 단위 스테이지(410)의 거리는 상기 액정 표시 패널의 길이보다 멀리 위치되어 있다.Thereafter, the liquid crystal display panel is mounted on the stepped surface formed on the unit stage 410 to undergo the adhesion test of the FPC. In this case, the distance of the unit stage 410 is located farther than the length of the liquid crystal display panel.

이후, 단위 스테이지(410)의 일측에 설치된 구동부(500)를 작동시켜 좌측 또는 우측으로 미세하게 회전한다. 상기 구동부(500)에 의해 단위 스테이지(410)는 가까워지는 방향으로 이동을 하여 상기 액정 표시 패널을 고정시킨다.Thereafter, the driving unit 500 installed on one side of the unit stage 410 is operated to finely rotate to the left or the right. The unit stage 410 is moved by the driving unit 500 in a direction close to the liquid crystal display panel.

고정된 액정 표시 패널의 FPC 접착력 검사를 위해 스테이지의 상부에 위치한 클램프는 스테이지 쪽으로 하강하기 시작하고, 클램프(600)는 액정 표시 패널 가까이에 위치하게 된다.For the FPC adhesion test of the fixed liquid crystal display panel, the clamp located at the top of the stage begins to descend toward the stage, and the clamp 600 is positioned near the liquid crystal display panel.

이후, 클램프(600)에 구비된 클램프 척(610)에 의해 패널의 FPC를 파지하고, 상기 클램프(600)는 FPC를 일정한 힘으로 당기게 된다. 이때, FPC의 응력은 계측기(700)에 전달되어, FPC의 접착력을 측정하게 된다.Thereafter, the FPC of the panel is gripped by the clamp chuck 610 provided in the clamp 600, and the clamp 600 pulls the FPC with a constant force. At this time, the stress of the FPC is transmitted to the measuring instrument 700, to measure the adhesive force of the FPC.

따라서, 정해진 기준에 의해 FPC는 불량 또는 정상을 판정받게 되고, FPC의 접착력 검사를 마치게 된다.Therefore, the FPC is determined to be defective or normal by the predetermined standard, and the FPC adhesion test is completed.

상기와 같은 패널 스테이지는 FPC의 접착력을 측정하는 검사 장치에 사용되었지만, FPC 접착력 측정 외에도 패널 자체의 접착력을 측정할 수 있는 스테이지로 활용할 수도 있다.The panel stage as described above has been used in the inspection apparatus for measuring the adhesive force of the FPC, but can also be used as a stage for measuring the adhesive force of the panel itself in addition to the FPC adhesive force measurement.

이상에서는 도면 및 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명은 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although described above with reference to the drawings and embodiments, those skilled in the art that the present invention can be variously modified and changed within the scope without departing from the spirit of the invention described in the claims below. I can understand.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 패널 스테이지 및 이를 이용한 패널 검사장치는 중소형 패널 전용의 패널 스테이지를 제작하였다. 그러므로, 중소형 패널에 대한 효율적인 검사가 가능한 효과가 있다.As described above, the panel stage and the panel inspection apparatus using the same according to the present invention produced a panel stage dedicated to small and medium panels. Therefore, there is an effect capable of efficient inspection of small and medium panels.

또한, 패널의 고정시킬 수 있도록 패널 스테이지를 제작함으로써, 검사 측정시 데이타 자체의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, by manufacturing the panel stage so that the panel can be fixed, there is an effect that can improve the reliability of the data itself during the inspection measurement.

Claims (6)

안착 스테이지와,A seating stage, 상기 안착 스테이지 상부에 위치한 적어도 하나가 이동 가능한 2개의 단위 스테이지와,Two unit stages at least one of which is located above the seating stage is movable; 상기 안착 스테이지의 일측에 설치되어 상기 단위 스테이지의 적어도 어느 하나를 이동시키는 구동부와,A driving unit installed at one side of the seating stage to move at least one of the unit stages; 상기 안착 스테이지와 플레이트를 연결하는 지지대를 포함하며,It includes a support for connecting the seating stage and the plate, 상기 안착 스테이지는 안착면과 상기 안착면의 수직으로 절곡된 측벽을 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 스테이지.And the seating stage comprises a seating surface and a sidewall bent vertically between the seating surface. 청구항 1에 있어서, 상기 단위 스테이지는 복수의 안착면과 복수의 측벽이 계단 형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 패널 스테이지.The panel stage of claim 1, wherein the unit stage has a plurality of seating surfaces and a plurality of side walls formed in a step shape. 청구항 1에 있어서, 상기 안착 스테이지의 하부에 배치된 결합 플레이트를 더 포함하고, 상기 결합 플레이트 하부에는 하부로 개방된 공간이 형성되고, 상기 공간은 진공 펌프와 연결된 것을 특징으로 하는 패널 스테이지.The panel stage as set forth in claim 1, further comprising a coupling plate disposed under the seating stage, wherein a space open downward is formed under the coupling plate, and the space is connected to a vacuum pump. 청구항 3에 있어서, 상기 플레이트의 하부에 형성된 공간의 둘레에는 오링이 구비된 것을 특징으로 하는 패널 스테이지.The panel stage of claim 3, wherein an O-ring is provided around a space formed at the bottom of the plate. 패널이 안착되는 패널 스테이지와, 측정부를 포함하며,A panel stage on which the panel is seated, and a measuring unit, 패널상에 접착된 FPC를 파지하여 그의 접착력을 측정하는 상기 패널스테이지는 안착 스테이지와, 상기 안착 스테이지 상부에 위치한 적어도 하나가 이동 가능한 2개의 단위 스테이지와, 상기 안착 스테이지의 일측에 설치되어 상기 단위 스테이지의 적어도 어느 하나를 이동시키는 구동부와, 상기 안착 스테이지와 플레이트를 연결하는 지지대를 포함하며, 상기 안착 스테이지는 안착면과 상기 안착면의 수직으로 절곡된 측벽을 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 검사 장치.The panel stage, which grips the FPC bonded on the panel and measures its adhesion, is provided with a seating stage, two unit stages at least one of which is located above the seating stage, and a unit stage provided at one side of the seating stage. And a support connecting the seating stage and the plate to move at least one of the seating stages, wherein the seating stage includes a seating surface and a vertically bent sidewall of the seating surface. 청구항 5에 있어서, 상기 하부 스테이지를 더 포함하고, 상기 패널 스테이지는 상기 하부 스테이지에 탈착 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 패널 검사 장치.The apparatus of claim 5, further comprising the lower stage, wherein the panel stage is detachably coupled to the lower stage.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101399158B1 (en) * 2012-10-25 2014-05-30 희성전자 주식회사 Manufacturing device and method for integrated touch screen panel

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