KR20070082847A - 평면판의 유지체 - Google Patents

Abstract

(과제)노광장치 등에 이용되는 대형 마스크나 평면거울 등의 평면판을 자중 굴곡을 막으면서 유지하는 것을 가능하게 한 유지체를 제공하는 것.

(해결 수단)평면판(6)을 유지하는 복수의 막대 모양의 유지부재로 이루어지는 유지체에 있어서, 상기 유지부재는 평면판(6)과 접하는 부분이 평면으로 구성됨과 동시에, 상기 유지부재는, 요잉, 롤링 및 피칭 이동이 허용된 상태로, 유지체의 베이스(4)에 대해서 1개소에서 지지되는 제1유지부재(2)와, 롤링과 제2유지부재가 연장되는 방향으로의 팽창이 가능한 상태로, 피칭 및 요잉이 규제되고, 유지체의 베이스(4)에 대해서 2개소에서 지지되는 제2유지부재(3)로 구성되는 것을 특징으로 하는 유지체이다.

Description

평면판의 유지체{SUPPORTING BODY OF PLATE}

도 1은 제1실시형태의 발명에 관한 유지체의 구성을 나타내는 사시도.

도 2는 제1유지부재(2) 및 제2유지부재(3)에 관한 상세한 구성을 나타내는 단면도 내지 사시도.

도 3은 제2실시형태의 발명에 관한 유지체의 구성을 나타내는 사시도 및 제3 또는 제4유지부재(7, 8)에 관한 구성을 나타내는 단면도.

도 4는 제3실시형태의 발명에 관한 평면판을 유지하는 유지체의 구성예를 나타내는 도면.

도 5는 종래 기술에 관한 노광장치의 개략 구성을 나타내는 도면.

도 6은 도 5에 나타낸 노광장치 등에 이용되는 종래 기술에 관한 마스크 스테이지의 구성을 나타내는 도면.

도 7은 마스크(141)가 대형인 경우, 3점만의 지지에서는, 마스크(141)의 지지되고 있지 않은 부분에서, 자중에 의한 굴곡이 생기는 것을 설명하기 위한 도면.

*도면의 간단한 설명에 대한 부호의 설명*

1 유지체 2, 10, 13 제1유지부재

21 지주 22, 23, 33, 71, 72, 73, 81, 82, 83 누름 용수철

24,34 구면 베어링 25, 37 진공 흡착홈

26, 39 원추구멍 27, 36, 38 볼

3, 11, 14 제2유지부재 31, 32 지주

35 V홈 40 샤프트

41 부쉬 4 스테이지 베이스

5 개구 6 마스크

7, 15 제3유지부재 8 제4유지부재

9, 12 평면판

본 발명은, 평면판의 유지체에 관한 것이며, 예를 들면, 노광장치 등에 이용되는 마스크나 평면거울을 유지하는 유지체에 관한 것이다.

도 5는, 종래 기술에 관한 노광장치의 개략 구성을 나타내는 도면이다.

동도에 나타내는 바와 같이, 이 노광장치는, 크게 나눠서, 노광광을 출사하는 광조사부(110)와, 패턴이 형성된 마스크를 유지하는 마스크 스테이지부(120)와, 노광되는 워크를 탑재유지하는 워크 스테이지부(130)로 구성된다.

광조사부(110)에는, 노광광을 방사하는 램프(111), 램프(111)로부터의 광을 반사하여 집광하는 집광거울(112), 피조사면에서의 노광광의 조도 분포를 균일하게 하는 인터그레이터(integrator)(113)(플라이아이렌즈라고도 한다), 노광광의 광로를 되돌리는 평면거울(114)(여기에서는 3장 사용되고 있다), 평면거울(114)을 지지 하는 스테이지베이스(115) 및 지지체(116), 노광광을 평행광으로 하는 시준기(collimator)(117) 등이 설치되고, 광출사구(118)로부터 노광광이 출사된다.

마스크 스테이지부(120)에는, 광출사구(118)의 광출구측에, 회로 등의 패턴이 형성된 마스크(121)(레티클이라고 불리기도 한다)가, 마스크 스테이지(122)에 유지 고정되어 있다. 또한, 동도에서는, 마스크(121)는 마스크 스테이지(122)의 상면측에 장착되어 있지만, 하면측에 장착되는 경우도 있다.

워크 스테이지부(130)에는, 감광제가 도포 또는 부착된 프린트 기판이나 웨이퍼 등의 워크(131)가, 워크 스테이지(132)에 유지된다.

마스크 스테이지부(120) 및/또는 워크 스테이지부(130)에는, 마스크 스테이지 이동기구(123) 및/또는 워크 스테이지 이동기구(133)가 설치되고, 마스크(121) 및/또는 워크(131)가, XYθ방향(마스크(121) 및/또는 워크(131) 평면의 직교하는 2방향, 및 상기 평면에 직교하는 축 둘레의 회전 방향)으로 이동하고, 마스크(121)와, 워크(131)가 소정의 위치 관계가 되도록 위치 맞춤이 행해진다.

마스크(121)와 워크(131)의 위치 맞춤 종료 후, 워크 스테이지(132)가 워크스테이지 이동기구(133)에 의해, 상기 평면에 직교하는 Z방향으로 이동하고, 마스크(121)와 워크(131)가 소정의 간격으로 설정된다.

그 후, 광조사부(110)로부터 마스크(121)를 통해 감광제가 도포된 워크(131)에 노광광이 조사되고, 마스크 패턴이 노광 전사된다. 노광이 끝난 워크(131)는 워크 스테이지(132)로부터 반출되고, 다음에 처리되는 워크(131)가 반입된다.

또한, 상기에 있어서는, 노광장치를 예로 하여 설명했지만, 액정 패널의 부 착공정에 있어서, 차광부가 형성된 마스크를 통해, 광경화형 접착제가 도포된 영역에만 자외선을 조사하고, 접착제를 경화시켜 2장의 패널을 부착하는 장치도, 도 5에 나타내는 노광장치와 같은 장치가 이용된다.

그 경우, 워크는, 형성되는 패널의 윤곽에 맞춰서 접착제가 도포된 유리 패널 기판이며, 마스크는, 상기 접착제에 광이 조사되고, 액정 등의 부분은 차광되도록 패턴이 형성된 것이다. 광조사부로부터 조사되는 광은, 광경화형 접착제를 경화시키는 파장을 갖는 광이다. 광경화형 접착제의 상당수는, 자외선에 의해 경화되는 것이 많고, 200㎚~400㎚의 자외선을 포함하는 광이 이용된다.

도 6은, 도 5에 나타낸 노광장치 등에 이용되는 종래 기술에 관한 마스크 스테이지의 구성을 나타내는 도면이다.

마스크 스테이지(140)는, 주로, 마스크(141)을 유지하는 스테이지 베이스(142)와, 스테이지 베이스(142)를 XYθ방향(마스크(141)의 평면내의 직교하는 2방향, 및 상기 평면에 직교하는 축 둘레의 회전방향), 또한, 경우에 따라서는 Z방향(마스크(141)의 평면에 대해서 직교하는 방향)으로도 이동시키는 스테이지 이동 기구(143)로 구성된다.

스테이지 베이스(142)에는, 마스크(141)를 통해 워크에 조사되는 광(노광광·자외선)이 통과하는 개구(144)가 설치되어 있다. 또, 개구(144)의 주변부에는, 마스크(141)를 유지하기 위한 진공 흡착홈(145)이 형성되고, 마스크(141)의 주변부를 흡착함으로써, 마스크(141)를 스테이지 베이스(142)에 유지 고정하고 있다.

마스크(141)는, 사방에 걸쳐서 스테이지 베이스(142)에 흡착 유지되므로, 스 테이지 베이스(142)의 평면도는 정밀도 좋게 가공할 필요가 있다. 스테이지 베이스(142)의 평면도가 나쁘면, 워크에 전사되는 패턴에 왜곡이 생기거나, 광이 조사되는 위치가 어긋나는 등, 노광 정밀도나 광조사 정밀도가 나빠진다.

(특허문헌1) 일본국 특허공개평11-186124호공보

(특허문헌2) 일본국 특허공개평10-335204호공보

그러나, 노광되는 워크(예를 들면 프린트 기판)나, 부착을 행하는 액정 패널은, 해마다 대형화되고 있다. 예를 들면, 부착을 행하는 액정패널용 유리기판은, 한변이 2m를 넘는 것도 나와 있다. 워크가 대형화됨에 따라, 광(노광광·자외선)을 조사하는 영역도 넓어지기 때문에 마스크도 대형화된다. 마스크가 대형화됨에 따라, 마스크를 유지하는 마스크 스테이지의 스테이지 베이스도 대형화된다.

도 6에 나타낸 바와 같은 개구(144)를 갖는 큰 스테이지 베이스(142)는, 평면도 좋게 가공하는 것이 어렵다. 개구(144)를 갖는 부재를 평면가공하는 것은 원래 어려우며, 평면가공하고 나서 개구(144)를 설치하고자 하면, 개구(144)를 설치하는 가공시에 휨이나 왜곡이 생기고, 마스크(141)는 평면 정밀도 좋게 제작되어 있음에도 불구하고, 스테이지 베이스(142)에 유지됨으로써, 휨이나 왜곡이 생긴다.

그 대책으로서 스테이지 베이스(142)에 의해 마스크(141)의 사방을 흡착 유지하는 방법 대신에, 도 7에 나타내는 바와 같이, 스테이지 베이스(142) 위에 지지체(146)를 세우고, 마스크(141)를 3점에서 지지하는 것이 생각된다. 마스크(141)는 기본적으로는 평면판이기 때문에, 3점 지지하면, 이상적으로는 평면이 될 것이다.

그러나, 도 7에 나타내는 바와 같이, 마스크(141)가 대형인 경우, 3점만의 지지에서는, 마스크(141)가 지지되어 있지 않은 부분에서, 자중에 의한 굴곡이 생긴다. 마스크(141)가 휘면, 마스크 패턴이, 워크 상에 왜곡되어 투영되기 때문에, 노광 정밀도가 저하한다.

또, 상기에 있어서는, 마스크와 마스크 스테이지에 있어서의 문제점에 관해서 설명했지만, 도 5에 나타낸 노광장치의 광조사부(110)에서는, 광로를 되돌리기 위한 평면거울(114)의 지지에 있어서도 마찬가지의 문제가 발생한다. 평면거울(114)에 굴곡이 발생하면, 반사된 광선이 넓어지거나 좁아지거나 하여, 평행한 광을 얻을 수 없다. 평행한 광이 얻어지지 않으면, 예를 들면 마스크(121)와 워크(131)를 근접시켜 노광하는 노광장치에 있어서는, 마스크 패턴이 워크(131) 상에 왜곡되어 투영되기 때문에, 노광 정밀도가 저하한다.

본 발명의 목적은 가공이 어렵고 평면정밀도를 얻기 어려운 스테이지를 이용하는 일 없이, 노광장치 등에 이용되는 대형의 마스크나 평면거울 등의 평면판을, 자중 굴곡을 방지하면서 유지하는 것을 가능하게 한 유지체를 제공하는 것에 있다.

본 발명은, 상기의 과제를 해결하기 위해서, 다음과 같은 수단을 채용했다.

제1수단은, 평면판을 유지하는 복수의 막대 모양의 유지부재로 이루어지는 유지체에 있어서, 상기 유지부재는 상기 평면판과 접하는 부분이 평면에 구성됨과 동시에, 상기 유지부재는, 요잉, 롤링 및 피칭 이동이 허용된 상태로, 유지체의 베이스에 대해서 1개소에서 지지되는 제1유지부재와, 롤링과 제2유지부재가 연장되는 방향으로의 팽창이 가능한 상태로, 피칭 및 요잉이 규제되고, 유지체의 베이스에 대해서 2개소에서 지지되는 제2유지부재로 구성되는 것을 특징으로 하는 유지체이다.

제2수단은, 평면판을 유지하는 복수의 막대 모양의 유지부재로 이루어지는 유지체에 있어서, 상기 유지부재는 상기 평면판과 접하는 부분이 평면으로 구성됨과 동시에, 상기 유지부재는, 볼과 받침의 관계로서, 지주에 의해 유지체의 베이스에 대해서 1개소에서 지지되는 제1유지부재와, 볼과 받침의 관계로서, 지주에 의해 유지체의 베이스에 대해서 2개소에서 지지됨과 동시에, 제2유지부재가 연장되는 방향으로 팽창 가능한 상태로 지지되는 제2유지부재로 구성되는 것을 특징으로 하는 유지체이다.

제3수단은, 제1수단 또는 제2수단에 있어서, 상기 제1유지부재 및 상기 제2 유지부재 이외에, 상기 평면판을 유지하는 막대 모양의 다른 유지부재를 가지며, 해당 다른 유지부재는 상기 평면판과 접하는 부분이 평면으로 구성됨과 동시에, 유지체의 베이스에 대해서 용수철 또는 에어 실린더에 의해 지지되는 것을 특징으로 하는 유지체이다.

(실시예)

본 발명의 제1실시형태를 도 1 또는 도 2를 이용하여 설명한다.

도 1은 본 실시형태의 발명에 관한 유지체의 구성을 나타내는 사시도이다.

동도에 있어서, 1은 노광장치 등에 있어서 사각 마스크(6) 등의 평면판을 유지하는 유지체, 2는 마스크(6)의 한 변을 유지하는 제1유지부재, 21은 지주, 22, 23은 누름 용수철, 3은 마스크(6)의 상기 한 변에 대향하는 한 변을 유지하는 제2유지부재, 31, 32는 지주, 33은 누름 용수철, 4는 스테이지 베이스, 5는 개구, 6은 마스크이다.

또한, 동도에 있어서, 마스크(6) 평면 내의 도면 중 좌우 방향을 X축, 마스크(6) 평면 내에서 X축으로 직교하는 방향을 Y축, 마스크(6) 평면에 직교하는 방향을 Z축으로 하고, X축 둘레의 회전을 롤링(R), Y축 둘레의 회전을 피칭(P), Z축 둘레의 회전을 요잉(Y)으로 한다.

동도에 나타내는 바와 같이, 마스크(6)는, 마스크(6)의 4변 중 대향하는 두 변의 각각의 변에 대응하는 부분이 평면으로 가공된 막대 모양의 제1유지부재(2) 및 제2유지부재(3)에 의해 유지된다.

제1 및 제 2유지부재(2, 3)의 표면은, 후술하는 도 2에 나타내는 바와 같이, 진공흡착홈(25, 37)이 형성되어 진공으로 끌리고 있으며, 탑재된 마스크(6)를 흡착 유지한다. 또, 제1 및 제2유지부재(2, 3)도, 마스크(6)를 통과한 광이 통과하도록 개구(5)가 설치된 스테이지 베이스(4) 상에 장착되어 있다.

제1유지부재(2)는, 지주(21)에 의해, 스테이지 베이스(4)에 대해서 요잉(Y), 롤링(R), 피칭(P)의 이동이 허용되도록 하고, 1점에서 지지된다.

한편, 제2유지부재(3)는, 지주(31, 32)에 의해, 스테이지 베이스(4)에 대해서 롤링(R)의 이동만이 허용되고, 요잉(Y), 피칭(P)의 이동이 규제되도록 하여 2점에서 지지된다.

또, 제1 및 제2유지부재(2, 3)가 길고, 자신의 자중에 의해 굴곡이 생기는 경우는, 제1유지부재(2)를 지지하고 있는 지주(21) 이외의 부분에 있어서의 자중 굴곡이 없어지도록 들어올리는 누름 용수철(22, 23)을 설치하고, 제2유지부재(3)를 지지하고 있는 지주(31, 32) 이외의 부분에 있어서의 자중 굴곡이 없어지도록 들어올리는 누름 용수철(33)을 설치한다. 또한, 누름 용수철 대신에 에어 실린더를 이용하도록 해도 좋다.

도 2는, 제1유지부재(2) 및 제2유지부재(3)에 관한 상세한 구성을 나타내는 단면도 내지 사시도이다.

도 2(a)는, 제1유지부재(2)에 관한 구성을 나타내는 도면이며, 1개의 지주(21)에 의해, 구면 베어링(24)을 통해 제1유지부재(2)를 유지하고 있으며, X축, Y축, Z축방향의 이동은 규제되고, 요잉(Y), 롤링(R), 피칭(P)의 이동이 허용되는 상태로 지지된다. 또한, 구면 베어링(24) 대신에, 도 2(b)에 나타내는 바와 같이, 제1유지부재(2)에 형성한 원추구멍(26) 안에, 날카롭게 한 선단에 볼(27)을 설치한 지주(21)를 삽입하도록 구성해도 좋다. 단, Z방향으로 제1유지부재(2)가 들리지않도록 하는 연구가 필요하다.

도 2(c)는, 제2유지부재(3)에 관한 구성을 나타내는 도면이며, 제2유지부재(3)는, 2개의 지주(31, 32)에 의해 2점에서 지지된다. 한쪽의 지주(32)는 구면 베어링(34)을 통해 제2유지부재(3)을 지지하고 있고, 다른 쪽의 지주(31)는, 제2유지부재(3)가, 열변화에 의해, 제2유지부재(3)의 길이방향(제2유지부재(3)가 연장되는 방향)으로 팽창 신축하는 것을 고려하여, 제2유지부재(3)의 일부에 길이방향을 따라 V홈(35)을 형성하고, 그 V홈(35) 안에, 날카롭게 한 선단에 볼(36)을 설치한 지 주(31)를 삽입함으로써 제2유지부재(3)를 유지하고 있다. 이와 같이 구성함으로써, 제2유지부재(3)는, 롤링(R)의 이동과 제2유지부재(3)가 연장되는 방향으로의 팽창이 가능하지만, 요잉(Y)과 피칭(P)의 이동 및 X축, Y축, Z축방향의 이동은 규제된 상태로 지지된다.

도 2(d)는, 제2유지부재(3)의 다른 구성을 나타내는 도면이다. 한쪽의 지주(32)에 있어서, 구면 베어링(34) 대신에, 제1유지부재(2)의 경우와 같이, 볼(38)과 원추구멍(39)에 의해서 구성해도 좋다. 또, 다른 쪽의 지주(31)에 있어서는, 제2유지부재(3)의 길이방향의 팽창 신축을 고려한, V홈(35)과 볼(36)의 구성 대신에, 샤프트(40)와 부쉬(41)를 이용한 스플라인구조로 해도 좋다. 이 경우, 제2유지부재(3)의 길이방향에 따라서 연장되는 샤프트(40)을 설치하고, 이 샤프트(40)에 지주(31)의 선단에 설치한 부쉬(41)를 부착한다.

도 1로 돌아와, 제1 및 제2유지부재(2, 3)에 관한 구성을 도 2에 나타내는 구성을 채용하고, 제1유지부재(2)와 제2유지부재(3)를 유지틀로서, 이 위에 마스크(6)를 탑재하면, 제1 및 제2유지부재(2, 3)는, 평면 정밀도 좋게 제작된 마스크(6)의 평면을 따라서 마스크(6)를 흡착한다. 이로 인해, X방향으로 연장되는 제1 및 제2유지부재(2, 3)에 의해서, 마스크(6)는 자중 굴곡없이 유지된다. 마스크(6)는, 요잉(Y)과 피칭(P)의 이동은 제2지지부재(3)에 의해, 또 롤링(R)의 이동은 마스크(6) 자체에 의해 규제되어 위치가 정해진다.

또한, 본 실시형태의 발명에 관한 유지체에 있어서, 유지한 마스크(6)의 Y축방향의 굴곡이, 문제가 되지 않을 정도로 작은 경우는, 상술과 같이, 제1 및 제2의 2개의 유지부재(2, 3)에 의한 유지로도 된다. 그러나, 마스크(6)가 상당히 대형이고 Y축방향으로 굴곡이 생기는 경우는, 마스크(6)의 나머지 두 변을 유지하는 막대 모양의 제3 및 제4유지부재를 설치하여 유지틀을 구성할 필요가 있다.

다음에, 본 발명의 제2실시형태를 도 3을 이용하여 설명한다.

도 3(a)는 본 실시형태의 발명에 관한 유지체의 구성을 나타내는 사시도, 도 3(b)는 제3 또는 제4유지부재(7, 8)에 관한 구성을 나타내는 단면도이다.

이들 도면에 있어서, 7은 마스크(6)의 한 변을 유지하는 제3유지부재, 71, 72, 73은 누름 용수철, 8은 마스크(6)의 상기 한 변에 대향하는 한 변을 유지하는 제4유지부재, 81, 82, 83은 누름 용수철이다. 또한, 그 외의 구성은 도 1에 나타낸 동부호의 구성에 대응하므로, 설명을 생략한다.

이들 도면에 나타내는 바와 같이, 제3 및 제4유지부재(7, 8)의 표면은, 제1및 제2유지부재(2, 3)와 같이, 평면으로 가공되고, 진공 흡착홈(74, 84)이 형성되어 진공으로 끌리고, 탑재된 마스크(6)를 흡착 유지한다. 제3 및 제4유지부재(7, 8)는, 지주에 의해서는 유지되지 않고, 스테이지 베이스에(4)에 대해서 복수의 누름 용수철(71~73, 81~83)에 의해서만 지지된다. 누름 용수철(71~73, 81~83)의 용수철 정수는, 제3 및 제4유지부재(7, 8)가 마스크(6)에 흡착했을 때, 1개의 평면이 되도록 정해져 있다. 또한 누름 용수철 대신에 에어 실린더를 사용하는 것도 가능하다.

도 3(a)에 나타내는 바와 같이, 마스크(6)는, 제1 및 제2유지부재(2, 3)에 의해서 유지됨과 동시에, 제3 및 제4 유지부재(7, 8)에 의해서 유지된다. Y축방향 으로 연장되는 제3 및 제4의 유지부재가, 평면 정밀도 좋게 제작된 마스크(6)의 평면을 따라서 흡착됨으로써, Y축방향의 자중 굴곡이 없어지도록 유지된다.

상기의 제1실시형태 및 제2실시형태에 있어서는, 노광장치에 사용되는 마스크(6)를 유지하는 유지체를 예로서 설명했지만, 이것에 한정되는 일없이, 노광장치에 이용되는 평면거울이나 그 외 광조사기에 이용되는 반사거울 등의 평면판을 유지하는 유지체에 적용할 수도 있다.

다음에, 본 발명의 제3실시형태를 도 4를 이용하여 설명한다.

도 4는, 본 실시형태의 발명에 관한 평면판을 유지하는 유지체의 구성예를 나타내는 도면이다.

도 4(a)는, 평면판(9)이 삼각형상인 경우, 1개의 지주로 지지된 제1유지부재(10)를 세로로, 2개의 지주로 지지되는 제2유지부재(11)를 가로로 하여, T자형으로 조합하여, 평면판(9)을 유지하는 예를 나타내는 평면도이다.

도 4(b)는, 평면판(12)이 도 4(a)에 나타내는 평면판(9)과 다른 삼각형상인 경우, 제1유지부재(13)와 제2유지부재(14)를 L자형으로 조합하여 두 변을 유지하고, 나머지 1변을 도시하지 않은 누름 용수철 또는 에어 실린더로 지지된 제3유지부재(15)에 의해 지지하는 예를 나타내는 평면도이다.

이와 같이, 제1유지부재(10, 13)와 제2유지부재(11, 14)는, 대향하여 병행하여 배치할 뿐만 아니라, 유지하는 평면판(9, 12)의 형상이나 크기에 따라, 적절히 조합하여 배치되고, 또, 제3유지부재(15)도, 제1 및 제2유지부재(13, 14)로 유지할 수 없는 부분을 보충하도록 설치된다.

청구항 1에 기재된 발명에 의하면, 노광장치 등에 이용되는 대형의 마스크나 평면거울 등의 평면판을, 자중 굴곡을 막으면서 유지하는 것이 가능해진다.

청구항 2에 기재된 발명에 의하면, 노광장치 등에 이용되는 대형의 마스크나 평면거울 등의 평면판을, 자중 굴곡을 막으면서 유지하는 것이 가능해진다. 또, 제1유지부재를, 볼과 받침의 관계로서 지주에 의해 1개소에서 지지함으로써, 요잉, 롤링 및 피칭 이동이 허용된 상태로 1개소에서 지지할 수 있다. 또, 제2유지부재를, 볼과 받침의 관계로서 지주에 의해 2개소에서 지지함과 동시에, 제2유지부재의 연장되는 방향으로 팽창 가능한 상태로 지지함으로써, 피칭 및 요잉이 규제되어 2개소에서 지지하는 것이 가능함과 동시에, 길이방향의 열변화에 의한 팽창 신축에 대처하는 것이 가능해진다.

청구항 3에 기재된 발명에 의하면, 유지하는 평면판의 형상이나 크기에 따라서, 제1 및 제2유지부재와 다른 유지부재를 적절히 조합함으로써, 제1 및 제2유지부재로 유지할 수 없는 부분을 보충할 수 있다.

Claims (3)

1. 평면판을 유지하는 복수의 막대 모양의 유지부재로 이루어지는 유지체에 있어서, 상기 유지부재는 상기 평면판과 접하는 부분이 평면으로 구성됨과 동시에, 상기 유지부재는, 요잉, 롤링 및 피칭이동이 허용된 상태로, 유지체의 베이스에 대해서 1개소에서 지지되는 제1유지부재와, 롤링과 제2유지부재가 연장되는 방향으로의 팽창이 가능한 상태로, 피칭 및 요잉이 규제되고, 유지체의 베이스에 대해서 2개소에서 지지되는 제2유지부재로 구성되는 것을 특징으로 하는 유지체.
2. 평면판을 유지하는 복수의 막대 모양의 유지부재로 이루어지는 유지체에 있어서, 상기 유지부재는 상기 평면판과 접하는 부분이 평면으로 구성됨과 동시에, 상기 유지부재는, 볼과 받침의 관계로서, 지주에 의해 유지체의 베이스에 대해서 1개소에서 지지되는 제1유지부재와, 볼과 받침의 관계로서, 지주에 의해 유지체의 베이스에 대해서 2개소에서 지지됨과 동시에, 제2유지부재가 연장되는 방향으로 팽창가능한 상태로 지지되는 제2유지부재로 구성되는 것을 특징으로 하는 유지체.
3. 청구항 1항 또는 2항에 있어서, 상기 제1유지부재 및 상기 제2유지부재 이외에, 상기 평면판을 유지하는 막대 모양의 다른 유지부재를 갖고, 해당 다른 유지부재는 상기 평면판과 접하는 부분이 평면으로 구성됨과 동시에, 유지체의 베이스에 대해서 용수철 또는 에어실린더에 의해 지지되는 것을 특징으로 하는 유지체.

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