KR20070082772A

KR20070082772A - 패널 상태 검사 장치 및 그 방법

Info

Publication number: KR20070082772A
Application number: KR1020060015830A
Authority: KR
Inventors: 최대용; 이상갑; 김창수
Original assignee: (주)알티에스
Priority date: 2006-02-17
Filing date: 2006-02-17
Publication date: 2007-08-22
Also published as: KR100768122B1

Abstract

본 발명에 따른 패널 상태 검사 장치는 그 상부에 임의의 패널 또는 보정판을 고정시키는 테이블; 상기 테이블을 이동시키는 모터; 상기 테이블의 상부에 위치하고, 상기 패널에 전원을 공급하는 프로브; 상기 프로브의 상부에 위치하고, 그 하부에 위치한 패널 또는 보정판, 프로브를 촬영하는 위치 조정용 카메라; 상기 패널에 전원이 인가된 후 패널의 상태를 검사하기 위해 패널의 영상을 획득하는 패널 상태 검사용 카메라; 및 상기 테이블에 고정되어 공급되는 보정판의 영상을 위치조정용 카메라로 획득하고, 상기 획득된 영상의 보정마크를 이용하여 위치 조정용 카메라의 기준 위치를 결정하며, 새로 테이블에 고정되어 공급되는 패널의 영상을 위치조정용 카메라로 획득하고, 상기 획득된 영상을 분석하여 상기 공급된 패널의 전원 인입선과 프로브의 전원 공급선이 일치하도록 테이블의 이동을 제어하며, 상기 프로브의 전원 공급선이 패널의 전원 인입선과 접촉하면 패널 상태 검사용 카메라에서 패널의 영상을 획득하여 패널의 상태를 검사하는 기능을 포함하는 제어부;를 포함한다.

따라서 본 발명은 패널상태를 보다 용이하고 신속하게 검사할 수 있다.

패널, 보정판, 카메라, 프로브, 오프셋

Description

패널 상태 검사 장치 및 그 방법{Apparatus for testing panel status and method thereof}

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 패널 상태 검사 장치를 간략히 도시한 도면이다.

도 2는 도 1의 테이블 위에 패널 또는 보정판이 안착된 것을 보여준 평면도이다.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 위치 조정용 카메라를 이용하여 패널 또는 보정판을 촬영했을 때, 그 영상면을 나타내는 도면이다.

도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 프로브의 전원 공급선과 패널 또는 보정판의 전원 인입선의 일치 정도를 알아보기 위해 위치 조정용 카메라를 이용하여 촬영한 것을 보여주는 사시도이다.

도 5는 프로브의 전원 공급선과 패널 또는 보정판의 전원 인입선의 일치할 경우, 그 상부에서 위치 조정용 카메라로 촬영한 평면도이다.

도 6은 프로브의 전원 공급선과 패널 또는 보정판의 전원 인입선의 일치하지 않을 경우와, 이를 보정한 것을 위치 조정용 카메라를 이용하여 그 상부에서 촬영한 평면도이다.

도 7a 내지 도 7c는 본 발명의 일시예에 따른 패널 상태 검사 방법을 설명하기 위한 순서도이다.

도 8은 일반적인 TFT-패널의 구성을 보여주기 위한 도면이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

10 : 테이블 11 ~ 13 : 스톱퍼

20 : 보정판 20a : 패널

21, 22 : 보정판의 보정 마크 21a, 22a : 패널의 정렬 마크

24 ~ 26 : 보정판의 전원 인입선 24a ~ 26a : 패널의 전원 인입선

30 : 프로브 31a ~ 31c : 프로브의 전원 공급선

41, 42 : 위치 조정용 카메라 43 : 위치조정용 카메라 영상면

43' : 위치조정용 카메라 영상면의 중심점

50 : 패널 상태 검사용 카메라 60 : 제어부

70 : 디스플레이부(모니터) 80 : 모터

본 발명은 패널 상태 검사 장치 및 그 방법에 관한 것으로, 특히 보정판 등을 이용하여 위치조정용 카메라의 기준 위치/오프셋 값을 설정하고, 실제 제공되는 패널에 상기 값들을 적용시켜 빠르면서 용이하게 패널의 상태를 검사할 수 있는 장치 및 그 방법에 관한 것이다.

먼저, 도 8을 참조하여 일반적인 패널(예 : TFT-LCD 패널) 모듈에 대해 살펴보기로 한다.

도 8을 참조하면, 패널은 두 개의 유리(Glass)사이에 액정이 주입된 LCD 패널(1)과, LCD 패널(10)을 구동시키기 위한 구동회로들(2, 3) 및 이들 구동회로를 제어하는 제어신호들을 발생하는 타이밍 컨트롤러(timing controller ; 4)를 포함하는 구동부, 그리고 백라이트(backlight ; 6)를 포함한 섀시(chassis) 구조물로 구성된다. 이들로 구성된 조립품들은 통상적으로 TFT-패널(또는 패널)이라고 하며, 이 패널은 노트북 컴퓨터(notebook computer), 텔레비젼(television ; TV), 모니터(monitor)와 같은 시스템에서 디스플레이 기능을 담당하는 장치로 사용된다.

도 8에서 백라이트(6)는 인버터(6a), 형광 램프(fluorescent lamp ; 6b), 반사판(6c) 등으로 구성되어, 광원으로 사용되는 형광 램프(6b)로부터 밝기가 균일한 평면광을 만든다. 램프(6b)는 크게 CCFT(Cold Cathode Fluorenscence Tube), HCFT(Hot Cathode Fluorenscence Tube)로 구분되고, 반사판(6c)은 빛의 반사각을 변화시키는 역할을 수행한다.

한편, LCD 패널(1)은, 구동회로들(2, 3)로부터 입력된 각각의 화소 신호 전압에 응답하여 백라이트(6)로부터 입사된 백색 평면광이 화소에 투과되는 빛을 제어함으로써 컬러 영상을 표시한다.

그러나 종래에는 상기와 같이 이루어지는 LCD 패널의 상태를 육안으로 검사 하였다. 이에 따라, 종래에는 상기 LCD 패널의 상태를 정확하게 검사하는 것이 어려웠다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 그 목적은 보정판 등을 이용하여 위치조정용 카메라의 기준 위치/오프셋 값을 설정하고, 실제 제공되는 패널에 상기 값들을 적용시켜 빠르면서 용이하게 패널의 상태를 검사할 수 있는 장치 및 그 방법을 제공하는 데 있다.

상기와 같은 목적을 이루기 위해 본 발명에 따른 패널 상태 검사 장치는 그 상부에 임의의 패널 또는 보정판을 고정시키는 테이블; 상기 테이블을 이동시키는 모터; 상기 테이블의 상부에 위치하고, 상기 패널에 전원을 공급하는 프로브; 상기 프로브의 상부에 위치하고, 그 하부에 위치한 패널 또는 보정판, 프로브를 촬영하는 위치 조정용 카메라; 상기 패널에 전원이 인가된 후 패널의 상태를 검사하기 위해 패널의 영상을 획득하는 패널 상태 검사용 카메라; 및 상기 테이블에 고정되어 공급되는 보정판의 영상을 위치조정용 카메라로 획득하고, 상기 획득된 영상의 보정마크를 이용하여 위치 조정용 카메라의 기준 위치를 결정하며, 새로 테이블에 고정되어 공급되는 패널의 영상을 위치조정용 카메라로 획득하고, 상기 획득된 영상을 분석하여 상기 공급된 패널의 전원 인입선과 프로브의 전원 공급선이 일치하도 록 테이블의 이동을 제어하며, 상기 프로브의 전원 공급선이 패널의 전원 인입선과 접촉하면 패널 상태 검사용 카메라에서 패널의 영상을 획득하여 패널의 상태를 검사하는 기능을 포함하는 제어부;를 포함한다.

상기 위치 조정용 카메라의 기준 위치는 상기 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점과 보정판의 보정 마크의 중심점이 일치했을 때의 그 위치를 말하고, 상기 패널의 영상 분석은 상기 패널의 정렬 마크의 중심점과 상기 기준 위치에 고정된 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점의 일치 여부를 분석하는 것을 말하며, 만약 상기 패널의 정렬 마크의 중심점과 상기 기준 위치에 고정된 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치하지 않으면 테이블을 이동시켜 두 중심점을 일치시키는 것을 특징으로 한다.

본 발명은 상기 패널의 정렬 마크의 중심점과 상기 기준 위치에 고정된 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치시킨 후, 패널의 전원 인입선과 프로브의 전원공급선이 일치하지 않는 경우, 테이블을 소정 거리(오프셋 값)만큼 더 이동시켜 두 선을 일치시키는 것을 특징으로 한다.

본 발명은 상기 테이블에 구비된 다수개의 스톱퍼와 진공 흡입부를 이용하여 상기 패널 또는 보정판을 테이블에 고정시키는 것을 특징으로 하는 패널상태 검사 장치.

한편, 본 발명에 따른 패널 상태 검사 방법은 보정판을 테이블의 상부에 고정시킨 후, 프로브쪽으로 공급하는 단계; 보정판의 영상을 위치조정용 카메라로 획득하는 단계; 상기 획득된 보정판의 보정마크의 중심점과 위치 조정용 카메라 영상 면의 중심점이 일치하는지 그 여부를 판단하는 단계; 상기 보정판의 보정마크의 중심점과 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치하면 그 위치(위치 조정용 카메라의 기준 위치)를 저장하는 단계; 임의의 패널을 테이블의 상부에 고정시킨 후, 프로브쪽으로 공급하는 단계; 상기 패널의 영상을 위치조정용 카메라로 획득하는 단계; 상기 획득된 패널의 정렬 마크의 중심점과 기준 위치에 고정된 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치하는지 그 여부를 판단하는 단계; 상기 패널의 정렬 마크의 중심점과 기준 위치에 고정된 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치하면 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선이 일치하는지 그 여부를 판단하는 단계; 및 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선이 일치하면 프로브를 하향시켜 패널에 전원을 공급하고, 패널의 상태를 검사하는 단계를 포함함을 특징으로 한다.

본 발명은 상기 보정판의 보정마크의 중심점과 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치하지 않으면 테이블을 x, y, θ 방향으로 이동시켜 두 중심점을 일치시키는 단계를 더 포함함을 특징으로 한다.

또한, 본 발명은 상기에서 패널의 정렬 마크의 중심점과 기준 위치에 고정된 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치하지 않으면 테이블을 x, y, θ 방향으로 이동시켜 두 중심점을 일치시키는 단계; 및 상기 테이블의 이동 거리(x, y, θ)인 오프셋 값을 저장하는 단계를 더 포함함을 특징으로 한다.

또한, 본 발명은 상기에서 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선이 일치하지 않으면 테이블을 x, y, θ 방향으로 이동시켜 상기 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선을 일치시키는 단계를 더 포함함을 특징으로 한다.

또한, 본 발명은 다른 하나의 패널을 테이블의 상부에 고정시킨 후, 프로브쪽으로 공급하는 단계; 상기 패널의 영상을 위치조정용 카메라로 획득하는 단계; 상기 획득된 패널의 정렬 마크의 중심점을 상기 위치 조정용 카메라의 기준 위치와 일치시키는 단계; 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선이 일치하는지 그 여부를 판단하는 단계; 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선이 일치하지 않으면 오프셋 값을 적용하여 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선을 일치시키는 단계; 및 프로브를 하향시켜 패널에 전원을 공급하고, 패널의 상태를 검사하는 단계를 더 포함함을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에서는 프로브에서 패널로의 전원 공급이 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선의 접촉으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에서는 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선이 일치/불일치 여부 판단은 프로브 상부에 위치한 위치 조정용 카메라를 이용하여 상기 프로브의 전원 공급선과 보정판의 전원 인입선을 동시에 촬영하여 상기 두 선의 일치/불일치 여부로 판단하는 것을 특징으로 한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세하게 설명하고자 한다.

먼저, 도면부호 표기 방식을 간략히 설명하면 다음과 같다.

본 발명에서는 테이블의 상부에 보정판 또는 패널을 위치시키는 데, 상기 테 이블의 상부에 보정판을 위치시킬 때에는 도면부호를 20 내지 26으로 표기하였으며, 상기 테이블의 상부에 패널을 위치시킬 때에는 도면부호를 20a 내지 26a로 표기하였다. 일례로, 도면부호 20은 보정판, 21은 보정판의 보정 마크, 24는 보정판의 전원 인입선을 나타내며, 도면부호 20a는 패널, 21a는 패널의 정렬(얼라이먼트) 마크, 24a는 패널의 전원 인입선을 나타낸다.

한편, 본 발명에 따른 보정판과 패널은 그 외형적인 형태는 유사하다. 다만, 패널은 실제 제품(LCD 패널, PDP 패널 등)에 해당하고, 보정판은 가상의 패널이라 보면 될 것이다. 따라서 본 명세서에서는 위치 조정용 카메라의 기준 위치값을 보정판을 이용하여 구하였으나, 실제 제품인 패널을 사용하여 구할 수도 있다.

도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 패널 상태 검사 장치는 테이블(10), 모터(80), 프로브(30), 하나 이상의 위치 조정용 카메라(41)(42), 패널 상태 검사용 카메라(50) 및 제어부(60)를 포함한다.

또한, 본 발명에서는 상기 제어부(60)로부터 신호를 전달받아 상기에서 진행되는 일련의 작업을 디스플레이하는 디스플레이부(예 : 모니터 등)(70) 및 카메라로부터 전달받은 데이터를 저장하고, 제어부가 다양한 연산을 수행할 수 있도록 다양한 정보를 포함하고 있는 메모리부를 더 포함할 수 있다.

테이블(10)은 x, y, θ방향으로 이동 가능하다. 즉, 테이블(10)은 x방향, y 방향으로 이동 가능할 뿐만 아니라 그 중심을 기준으로 소정각도(θ)만큼 회전도 가능하다.

또한, 테이블(10)은 보정판(20) 또는 임의의(새로운) 패널(20a)을 그 상부에 위치시켜 x, y, θ방향으로 이동시킨다.

상기 테이블(10)의 상부에는 보정판(20) 또는 패널(20a)을 위치시킬 수 있는 공간과 장치가 구비된다. 그 장치의 일례로는, 패널(20a)을 고정시키기 위해 3개 정도의 스톱퍼(Stopper)(11~13)를 구비하며, 또한 상기 테이블의 하부에 진공 흡입부(미도시)를 설치하여 상기 보정판 또는 패널을 테이블과 밀착시킨다. 이에 따라, 본 발명에서는 보정판(20) 또는 패널(20a)을 이동시킬 때 자리 이탈을 방지할 수 있다.

보정판(20) 및 패널(20a)의 구조는 앞에서도 언급한 바와 같이 거의 유사하다. 즉, 보정판(20) 및 패널(20a)의 양 가장자리에는 각각 보정마크 및 정렬마크(얼라인먼트 마크){도 2에서의 21, 22(21a, 22a)에 해당함}가 형성되며, 보정판(20) 및 패널(20a)의 앞부분에는 다수개의 전원 인입선{도 4에서의 24 ~ 26(24a ~ 26a)에 해당함}이 있다.

상기에서 보정마크 및 정렬마크는 바람직하게는 그 형태, 크기 및 위치 등이 같다. 다만, 상기 보정마크는 사용자가 임의로 그 형태 또는 크기를 변경할 수는 있지만, 그 위치는 같아야 한다. 보다 정확히 설명하면, 보정판 및 패널에 있는 보정마크 및 정렬마크의 중심점 위치는 같아야 한다.

모터(80)는 제어부(60)의 제어에 따라 테이블을 x, y, θ방향으로 이동시킨 다.

프로브(30)는 패널(20a)에 전원을 공급하며, 바람직하게는 테이블(10)의 상부에 위치한다.

프로브(30)에는 패널(20a)에 전원을 공급시키기 위한 다수개의 전원 공급선(도 4에서의 31a ~ 31c에 해당함)이 구비된다.

위치 조정용 카메라(41)(42)는 프로브(30)의 상부에 위치하여 그 하부에 위치한 패널 또는 보정판, 프로브를 촬영하여 그 영상을 획득한다. 여기서, 획득된 영상은 제어부(60)에 전달된다.

상기 위치 조정용 카메라(41)(42)는 하나 이상 구비시키는데, 바람직하게는 얼라인먼트 마크(정렬 마크)의 개수(예: 2개)에 맞춰 구비시킨다.

패널 상태 검사용 카메라(50)는 프로브(30)와 패널(20a)간 전기적 연결이 이루어진 후, 패널의 상태를 검사하기 위해 패널의 영상을 획득하는 장치이다. 여기서, 획득된 영상은 제어부(60)에 전달된다.

제어부(60)에서는 상기 장치들(위치조정용 카메라, 모터, 프로브, 패널 상태 검사용 카메라, 디스플레이부 등)을 제어한다.

즉, 상기 제어부(60)는 테이블(10)에 고정되어 공급되는 보정판(20)의 영상을 위치조정용 카메라(41)(42)로 획득하고, 상기 획득된 영상의 보정마크를 이용하여 위치 조정용 카메라(41)(42)의 기준 위치를 결정한다.

상기에서 위치 조정용 카메라(41)(42)의 기준 위치는 상기 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점과 보정판(20)의 보정 마크의 중심점이 일치했을 때의 그 위치 를 말한다.(도 3 참조)

또한, 상기 제어부는 새로 테이블에 고정되어 공급되는 패널(20a)의 영상을 위치 조정용 카메라(41)(42)로 획득하고, 상기 획득된 영상을 분석하여 상기 공급된 패널(20a)의 전원 인입선과 프로브(30)의 전원 공급선이 일치하도록 테이블(10)의 이동을 제어한다.

상기 패널의 영상 분석은 상기 패널의 정렬 마크의 중심점과 상기 기준 위치에 고정된 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점의 일치 여부를 분석하는 것을 말한다.(도 3 참조)

만약, 상기 공급된 패널(20a)의 전원 인입선과 프로브(30)의 전원 공급선이 일치하면 제어부(60)는 프로브(30)를 하향시켜 프로브(30)의 전원 공급선과 패널(20a)의 전원 인입선을 접촉시킨다. 또한, 상기에서 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선을 접촉하면 제어부(60)는 패널 상태 검사용 카메라(50)를 제어하여 패널의 영상을 획득하여 패널의 상태(휘도 등)를 검사한다.

본 발명에서는 보정판(20)을 이용하여 위치 조정용 카메라(41)(42)의 기준 위치를 결정한 후, 새로운 패널(20a)을 공급하게 된다.

그리고나서, 상기 패널의 정렬마크의 중심점과 상기 기준 위치에 고정된 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점과 일치시킨 후, 프로브의 전원 인입선과 패널의 전원 인입선이 일치하는지 그 상부에서 카메라(41)(42)를 이용하여 촬영한다. 그 결과, 프로브(30)의 전원 인입선과 패널(20a)의 전원 인입선이 일치하면 앞에서도 언급한 바와 같이 프로브(30)를 하향시켜 패널에 전원을 공급한다.

그러나 프로브(30)의 전원 인입선과 패널(20a)의 전원 인입선이 일치하지 않으면 본 발명에서는 테이블(10)을 소정거리만큼 이동시켜 프로브(30)의 전원 인입선과 패널(20a)의 전원 인입선이 일치시킨다. 여기서, 상기 테이블(10)의 이동 거리를 오프셋 값(x, y, θ)이라 한다.(도 6 참조)

추후, 다른 패널이 공급되면 상기 패널의 정렬마크의 중심점과 상기 기준 위치에 고정된 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점과 일치시킨 후 곧바로 상기 오프셋 값을 이용하여 테이블을 이동시키면 프로브의 전원 인입선과 패널의 전원 인입선이 일치시킬 수 있다.

앞에서도 언급한 바와 같이, 본 발명에서는 보정판(20)을 이용하여 위치 조정용 카메라의 기준 위치값을 구할 수 있다.

상기 위치 조정용 카메라의 기준 위치값을 구하기 위해서는 보정판의 보정마크(21)(22)의 중심점과 위치 조정용 카메라 영상면(43)의 중심점(43')을 일치시켜야 한다. 그런 후 상기 위치 조정용 카메라(41)(42)의 현 위치값(위치 조정용 카메라의 기준 위치값)을 저장하면 된다.

만약, 보정판의 보정마크(21)(22)의 중심점과 위치 조정용 카메라 영상면(43)의 중심점(43')을 일치하지 않은 경우에는 모터(80)를 제어하여 테이블(10)을 x, y, θ 방향으로 이동시켜 보정한다.

도 4를 참조하면, 제일 하부에는 보정판(20) 또는 패널(20a)이 위치하고, 그 상부에는 프로브(30)가 위치하며, 상기 프로브(30)의 상부에는 위치 조정용 카메라(41)(42)가 위치한다.

물론 상기 보정판(20) 또는 패널(20a)의 하부에는 테이블(10)이 위치한다.

상기 각 구성 요소에 관한 설명은 도 1 설명부분에서 상세히 이루어졌으므로 여기서는 생략하기로 한다.

도 4에서 위치조정용 카메라(41)(42)의 촬영 결과, 프로브의 전원 공급선(31a ~ 31c)과 패널의 전원 인입선(24a ~ 26a)이 일치되면 프로브(30)를 하향시켜 패널(20a)에 전원공급이 이루어지도록 할 수 있다. 만약 두 선이 일치하지 않으면 제어부에서는 모터를 제어하여 테이블의 위치를 조정하게 된다.

도면부호 24, 25, 26은 보정판의 전원 인입선을 나타내며, 21, 22는 보정판의 보정마크를 나타낸다.

도 5 및 도 6은 도 4에서 위치 조정용 카메라를 이용하여 그 하부에 위치한 프로브의 전원 공급선과 패널 또는 보정판의 전원 인입선을 촬영한 것을 보여준다.

앞에서도 언급한 바와 같이 보정판을 이용하여 위치조정용 카메라의 기준 위치값을 구할 수 있다. 또한, 새로운 패널이 공급되었을 때, 우선 상기 패널의 정렬 마크의 중심점과 기준 위치에 고정된 위치조정용 카메라의 영상면의 중심점을 일치시킨다. 그런 후 프로브의 전원 공급선(31a ~ 31c)과 패널의 전원 인입선(24a ~ 26a)이 일치 여부를 확인한다.

만약, 도 5에 도시된 바와 같이, 프로브의 전원 공급선(31a ~ 31c)과 패널의 전원 인입선(24a ~ 26a)이 일치하면 프로브를 하향시켜 패널에 전원을 공급시키면 된다.

그러나 도 6에 도시된 바와 같이, 프로브의 전원 공급선(31a ~ 31c)과 패널의 전원 인입선(24a ~ 26a)이 일치하지 않는 경우에는 테이블을 소정거리(x,y,θ)만큼 이동시켜 상기 프로브의 전원 공급선(31a ~ 31c)과 패널의 전원 인입선(24a ~ 26a)이 일치시켜야 한다. 여기서, 상기 테이블의 이동거리(x,y,θ)를 '오프셋 값'이라 한다.

상기와 같이, 오프셋 값을 구하면 추후에 새로운 다른 패널을 공급하였을 때 상기 패널의 정렬마크의 중심점과 상기 기준 위치에 고정된 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점과 일치시킨 후 곧바로 상기 오프셋 값을 이용하여 테이블을 이동시키면 프로브의 전원 인입선과 패널의 전원 인입선을 일치시킬 수 있다.

도 1, 도 7a를 참조하면, 본 발명에서는 먼저, 테이블(10) 위에 보정판(20)을 고정시킨다. 여기서, 테이블(10) 위에 보정판(20)을 위치시킬 때 스톱퍼(11 ~ 13) 및 진공 흡입부를 구비하여 이동시 자리 이탈이 이루어지지 않도록 한다.

그런 후, 본 발명에서는 상기 보정판(20)을 프로브(30) 쪽으로 공급시킨다. 물론 상기 패널(20a)의 이동은 모터 구동에 따른 테이블(10)의 이동에 의해 이루어진다.(S101)

상기와 같이 보정판을 테이블의 상부에 고정시킨 후, 프로브쪽으로 공급한 후, 본 발명에서는 위치 조정용 카메라(41)(42)를 이용하여 그 하부에 위치한 보정판(20)의 영상을 획득한다.(S102)

그런 후, 상기 획득된 보정판의 보정마크의 중심점과 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치하는지 그 여부를 판단한다.(S103)

상기 단계 103에서 보정판의 보정마크의 중심점과 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치하면 그 위치(위치 조정용 카메라의 기준 위치)값을 저장한다.(S104)

만약 단계 103에서 보정판의 보정마크의 중심점과 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치하지 않으면 테이블을 x, y, θ 방향으로 이동시켜 두 중심점을 일치시킨다.(S105)

상기에 나타난 바와 같이 본 발명에서는 단계 101 내지 단계 105를 거쳐 위치 조정용 카메라의 기준 위치값을 구한 후, 도 7b에 도시된 바와 같이 임의의 패널을 테이블의 상부에 고정시킨 후, 프로브쪽으로 공급하고(S201), 위치 조정용 카메라를 이용하여 패널의 영상을 획득한다.(S202)

그런 후, 상기 획득된 패널의 정렬 마크의 중심점과 기준 위치에 고정된 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치하는지 그 여부를 판단한다.(S203)

상기 단계 203에서 패널의 정렬 마크의 중심점과 기준 위치에 고정된 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치하면 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선이 일치하는지 그 여부를 판단한다.(S204)

또한, 상기 단계 204에서 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선이 일치하면 프로브를 하향시켜 패널을 전원을 공급한(S205) 후, 패널의 상태를 검사한다.(S206)

만약, 단계 203에서 패널의 정렬 마크의 중심점과 기준 위치에 고정된 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치하지 않으면 테이블을 x, y, θ 방향으로 이동시켜 패널의 정렬 마크의 중심점과 기준 위치에 고정된 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점을 일치(S207)시킨 후, 상기 테이블의 이동거리(x, y, θ)인 오프셋 값을 저장한다(S208). 그런 후 단계 205 및 단계 206을 수행하면 된다.

또한, 단계 204에서 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선이 일치하지 않으면 테이블을 x, y, θ 방향으로 이동(S209)시켜 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선을 일치시킨다.

도 7c를 참조하여 다른 하나의 패널을 공급시킨 경우에 대해 살펴보기로 한다. 즉, 본 발명에서는 다른 하나의 패널을 테이블의 상부에 고정시킨 후, 프로브쪽으로 공급한다.(S301)

그런 후, 상기 패널의 영상을 위치조정용 카메라로 획득한다.(S302)

본 발명에서는 상기 획득된 패널의 정렬 마크의 중심점을 단계 104에서 획득한 위치 조정용 카메라의 기준 위치와 일치시킨다.(S303)

그런 후, 본 발명에서는 상기 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선이 일치하는지 그 여부를 판단한다.(S304)

만약, 상기 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선이 일치하지 않으면 단계 208에서 획득한 오프셋 값을 적용하여 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선을 일치시킨다.(S307)

상기와 같이 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선을 일치시키면 본 발명에서는 프로브를 하향시켜 패널을 전원을 공급한(S305) 후, 패널의 상태를 검사한다.(S306)

상기와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

따라서 본 발명은 보정판을 이용하여 위치조정용 카메라의 위치값과 패널 오프셋 값을 구한 후, 실제 제공되는 패널에 상기 값들을 적용시키는 패널 상태 검사 장치 및 그 방법을 제공함으로써 종래의 기술보다 용이하고 신속하게 패널의 상태를 검사할 수 있다.

Claims

그 상부에 임의의 패널 또는 보정판을 고정시키는 테이블;

상기 테이블을 이동시키는 모터;

상기 테이블의 상부에 위치하고, 상기 패널에 전원을 공급하는 프로브;

상기 프로브의 상부에 위치하고, 그 하부에 위치한 패널 또는 보정판, 프로브를 촬영하는 위치 조정용 카메라;

상기 패널에 전원이 인가된 후 패널의 상태를 검사하기 위해 패널의 영상을 획득하는 패널 상태 검사용 카메라; 및

상기 테이블에 고정되어 공급되는 보정판의 영상을 위치조정용 카메라로 획득하고, 상기 획득된 영상의 보정마크를 이용하여 위치 조정용 카메라의 기준 위치를 결정하며,

새로 테이블에 고정되어 공급되는 패널의 영상을 위치조정용 카메라로 획득하고, 상기 획득된 영상을 분석하여 상기 공급된 패널의 전원 인입선과 프로브의 전원 공급선이 일치하도록 테이블의 이동을 제어하며,

상기 프로브의 전원 공급선이 패널의 전원 인입선과 접촉하면 패널 상태 검사용 카메라에서 패널의 영상을 획득하여 패널의 상태를 검사하는 기능을 포함하는 제어부;를 포함하는 패널 상태 검사 장치.
제 1항에 있어서,

상기 위치 조정용 카메라의 기준 위치는 상기 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점과 보정판의 보정 마크의 중심점이 일치했을 때의 위치이고,

상기 패널의 영상 분석은 상기 패널의 정렬 마크의 중심점과 상기 기준 위치에 고정된 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점의 일치 여부를 분석하는 것이며,

만약 상기 패널의 정렬 마크의 중심점과 상기 기준 위치에 고정된 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치하지 않으면 테이블을 이동시켜 두 중심점을 일치시키는 것을 특징으로 하는 패널 상태 검사 장치.
제 2항에 있어서,

상기 패널의 정렬 마크의 중심점과 상기 기준 위치에 고정된 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치시킨 후, 패널의 전원 인입선과 프로브의 전원공급선이 일치하지 않는 경우, 테이블을 소정 거리(오프셋 값)만큼 더 이동시켜 두 선을 일치시키는 것을 특징으로 하는 패널 상태 검사 장치.
제 1항에 있어서,

테이블에 구비된 다수개의 스톱퍼와 진공 흡입부를 이용하여 상기 패널 또는 보정판을 테이블에 고정시키는 것을 특징으로 하는 패널상태 검사 장치.
패널 상태 검사 장치를 이용한 패널 상태 검사 방법에 있어서,

보정판을 테이블의 상부에 고정시킨 후, 프로브쪽으로 공급하는 단계;

보정판의 영상을 위치조정용 카메라로 획득하는 단계;

상기 획득된 보정판의 보정마크의 중심점과 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치하는지 그 여부를 판단하는 단계;

상기 보정판의 보정마크의 중심점과 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치하면 그 위치(위치 조정용 카메라의 기준 위치)를 저장하는 단계;

임의의 패널을 테이블의 상부에 고정시킨 후, 프로브쪽으로 공급하는 단계;

상기 패널의 영상을 위치조정용 카메라로 획득하는 단계;

상기 획득된 패널의 정렬 마크의 중심점과 기준 위치에 고정된 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치하는지 여부를 판단하는 단계;

상기 패널의 정렬 마크의 중심점과 기준 위치에 고정된 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치하면 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선이 일치하는지 여부를 판단하는 단계; 및

프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선이 일치하면 프로브를 이동시켜패널에 전원을 공급하고, 패널의 상태를 검사하는 단계를 포함함을 특징으로 하는 패널 상태 검사 방법.
제 5항에 있어서,

상기 보정판의 보정마크의 중심점과 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치하지 않으면 테이블을 x, y, θ 방향으로 이동시켜 두 중심점을 일치시키는 단계를 더 포함함을 특징으로 하는 패널 상태 검사 방법.
제 5항 또는 6항에 있어서,

상기 패널의 정렬 마크의 중심점과 기준 위치에 고정된 위치 조정용 카메라 영상면의 중심점이 일치하지 않으면 테이블을 x, y, θ 방향으로 이동시켜 두 중심점을 일치시키는 단계; 및

상기 테이블의 이동 거리(x, y, θ)인 오프셋 값을 저장하는 단계를 더 포함함을 특징으로 하는 패널 상태 검사 방법.
제 5항 또는 6항에 있어서,

상기 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선이 일치하지 않으면 테이블을 x, y, θ 방향으로 이동시켜 상기 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선을 일치시키는 단계를 더 포함함을 특징으로 하는 패널 상태 검사 방법.
제 7항에 있어서,

다른 하나의 패널을 테이블의 상부에 고정시킨 후, 프로브쪽으로 공급하는 단계;

상기 패널의 영상을 위치조정용 카메라로 획득하는 단계;

상기 획득된 패널의 정렬 마크의 중심점을 상기 위치 조정용 카메라의 기준 위치와 일치시키는 단계;

프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선이 일치하는지 그 여부를 판단하 는 단계;

프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선이 일치하지 않으면 오프셋 값을 적용하여 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선을 일치시키는 단계;

프로브를 하향시켜 패널에 전원을 공급하고, 패널의 상태를 검사하는 단계를 더 포함함을 특징으로 하는 패널 상태 검사 방법.
제 6항 내지 8항 중 어느 한 항에 있어서,

프로브에서 패널로의 전원 공급은 프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선의 접촉으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 패널 상태 검사 방법.
제 5 항 또는 6항에 있어서,

프로브의 전원 공급선과 패널의 전원 인입선이 일치/불일치 여부 판단은 프로브 상부에 위치한 위치 조정용 카메라를 이용하여 상기 프로브의 전원 공급선과 보정판의 전원 인입선을 동시에 촬영하여 상기 두 선의 일치/불일치 여부로 판단하는 것을 특징으로 하는 패널 상태 검사 방법.
제 5 항 또는 6항에 있어서,

테이블에 구비된 다수개의 스톱퍼와 진공 흡입부를 이용하여 상기 패널 또는 보정판을 테이블에 고정시키는 것을 특징으로 하는 패널상태 검사 방법.