KR20070080763A - 디스플레이의 평탄화 장비 및 이를 이용한 플렉서블디스플레이의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 플렉서블 디스플레이의 제조시 기판 상에 플렉서블 디스플레이의 접착시 플렉서블 디스플레이를 형성하는 플렉서블 기판이 휘었을 때, 이를 개선하는 디스플레이의 평탄화 장비 및 이를 이용한 플렉서블 디스플레이의 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명의 디스플레이의 평탄화 장비는 지그 바디와, 상기 지그 바디 내측의 양측에 위치하여, 외부로부터 인입되는 반송 기판을 지지하는 반송 기판 지지대와, 상기 반송 기판의 지그 바디 내측 인입시 상기 반송 기판에 압력을 가하여, 상기 반송 기판을 평탄화하는 높이 조절부 및 상기 높이 조절부의 높이를 제어하는 레버를 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.

플렉서블 디스플레이(flexible display), 지그(jig), 평탄 장비, 플렉서블 기판, 휨

Description

디스플레이의 평탄화 장비 및 이를 이용한 플렉서블 디스플레이의 제조 방법{Flatting Apparatus of Display and Method for Manufacturing With Using the Same}

도 1은 플렉서블 디스플레이의 제조 방법을 나타낸 공정도 및 이 때의 플렉서블 기판과 글래스 기판이 접착된 상태를 나타낸 단면도

도 2는 도 1의 방법으로 제조시 기판의 휨이 나타난 단면도

도 3은 도 2의 경우, 플렉서블 기판 에지부에 파손이 나타난 모습을 나타낸 도면

도 4a 및 도 4b는 각각 플렉서블 기판 외곽부의 형성되는 얼라인 키 및 도 2의 경우, 얼라인 키가 형성되지 않은 상태를 나타낸 도면

도 5a 및 도 5b 는 각각 플렉서블 기판의 단부 및 도 2의 경우, 상기 플렉서블 기판의 단부에 형성되는 패드 배선에 이상이 있는 모습을 나타낸 도면

도 6은 본 발명의 플렉서블 디스플레이의 제조시 플렉서블 기판의 휨 현상을 개선하는 평탄 장비를 위에서 바라본 평면도

도 7은 도 6의 I~I' 선상의 구조 단면도

*도면의 주요 부분을 나타내는 부호의 설명*

100 : 글래스 기판 105 : 플렉서블 기판

110 : 레버 120a, 120b : 탄성부

140a, 140b : 기판 지지대

150 : 받침대 160 : 지그 바디부

170 : 높이 조절부 180 : 금속 바

190 : 스크류 200 : 걸개

본 발명은 평판 표시 장치에 관한 것으로 특히, 플렉서블 디스플레이의 제조시 기판 상에 플렉서블 디스플레이의 접착시 플렉서블 디스플레이를 형성하는 플렉서블 기판이 휘었을 때, 이를 개선하는 디스플레이의 평탄화 장비 및 이를 이용한 플렉서블 디스플레이의 제조 방법에 관한 것이다.

최근의 정보화 사회에서 디스플레이는 시각 정보 전달매체로서 그 중요성이 더 한층 강조되고 있으며, 향후 주요한 위치를 점하기 위해서는 저소비전력화, 박형화, 경량화, 고화질화 등의 요건을 충족시켜야 한다.

상기 디스플레이는 자체가 빛을 내는 브라운관(Cathode Ray Tube: CRT), 전계발광소자(Electro Luminescence: EL), 진공 형광표시장치(Vacuum Fluorescent Display), 플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel) 등의 발광형과 액정표시장치(Liquid Crystal Display: LCD)와 같이 자체가 빛을 내지 못하는 비발광형으로 나눌 수 있다.

한편, 표시장치를 접거나 말아서 넣더라도 손상되지 않는 플렉서블 디스플레이(flexible Display)가 디스플레이 분야의 새로운 기술로 떠오를 전망이다.

지금까지 플렉서블 디스플레이 구현에 다양한 장애들이 존재하고 있으나, 이를 해결하기 위한 노력이 제기되고 있다. 이러한 플렉서블 디스플레이는 박막트랜지스터(TFT: Thin Film Transistor) 등과 같은 구동 소자를 포함하는 액정표시장치나 유기EL(Organic Light Emitting Diodes: OLED) 등에 적용될 수 있을 것이다.

이러한 플렉서블 디스플레이는 두루마리 디스플레이(rolling display)로 불리는데, 이러한 플렉서블 디스플레이(flexible display)는 플라스틱 등의 얇은 기판에 구현되어 종이처럼 접거나 말아도 손상되지 않는 것으로 차세대 디스플레이의 하나이며, 현재는 1㎜ 이하로 얇게 만들 수 있는 유기 EL 및 액정표시소자가 유망하다.

이러한 플렉서블 디스플레이를 구현하기 위해서는 플라스틱(plastic)과 같은 유연한 기판을 사용하는 것이 필수적이다.

그러나, 상기와 같은 지금까지 제조되는 플렉서블 디스플레이는 다음과 같은 문제점이 있다.

즉, 평판 표시 장치를 플렉서블(flexible)하게 제작하기 위해서는 플라스틱 기판과 같은 유연한 기판을 사용해야 하는데, 예를 들어, 박막 트랜지스터와 같이, 소자를 형성하는 과정에 있어, 고온의 증착 및 애슁(ashing) 등의 공정에서 고온의 공정이 진행되는데, 이 경우, 플렉서블 기판의 휨 현상이 발생된다. 플렉서블 기판 이 일단 휘게 되면, 말거나 접기에 곤란하며, 또한, 표시에 있어서도 문제를 일으킬 수 있게 된다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로 플렉서블 디스플레이의 제조시 기판 상에 플렉서블 디스플레이의 접착시 플렉서블 디스플레이를 형성하는 플렉서블 기판이 휘었을 때, 이를 개선하는 평탄 장비를 제공하는 데, 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 디스플레이의 평탄화 장비는 지그 바디와, 상기 지그 바디 내측의 양측에 위치하여, 외부로부터 인입되는 반송 기판을 지지하는 반송 기판 지지대와, 상기 반송 기판의 지그 바디 내측 인입시 상기 반송 기판에 압력을 가하여, 상기 반송 기판을 평탄화하는 높이 조절부 및 상기 높이 조절부의 높이를 제어하는 레버를 포함하여 이루어짐에 그 특징이 있다.

여기서, 상기 지그 바디 일측 상부에 상기 지그 바디와 체결되어 형성되는 금속 바를 더 포함한다.

그리고, 상기 금속 바는, 상기 반송 기판의 지그 바디 내측 인입 후 상기 지그 바디 타측과 연결되어 상기 지그 바디를 가로지르며, 상기 금속 바는 상기 반송 기판의 지그 바디로의 인입시 및 외부로의 반송시에는 상기 지그 바디 일측에 위치한다.

이 때, 상기 금속 바와 상기 지그 바디의 체결은 상기 금속 바를 관통하며 상기 지그 바디와 연결되는 체결 부재를 통해 이루어진다. 상기 체결 부재는 스크 류(screw) 등일 수 있다.

이러한 상기 반송 기판의 상기 지그 바디에 장착되는 면에는 플렉서블 디스플레이가 더 형성되어 있다.

또한, 상기 높이 조절부는 상기 반송 기판에 비해 마찰 계수가 낮은 합성 수지를 포함하여 이루어진다. 이러한 상기 합성 수지는 불소 수지 PTFE(Poly Tetra Fluoro Ethylene)를 예로 들 수 있다.

그리고, 상기 반송 기판의 외곽부에 대응하여 상기 높이 조절부를 관통하여 상기 높이 조절부의 높이 조절부 상기 반송 기판에 가해지는 충격을 완충하는 탄성 부재가 더 형성된다. 이 때, 상기 탄성 부재는 스프링을 예로 들 수 있다.

또한, 동일한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 디스플레이의 평탄화 장비는 지그 바디와, 상기 지그 바디 내측의 양측에 위치하여, 외부로부터 인입되는 반송 기판을 지지하는 반송 기판 지지대와, 상기 지그 바디 일측 위에 연결되어 형성되며, 상기 반송 기판의 반송 기판 지지대에 장착 후 상기 지그 바디를 가로질러 상기 지그 바디 타측과 연결되는 금속 바와, 상기 금속 바와 연결되어, 상기 반송 기판의 상기 반송 기판 지지대에 장착 후 상기 반송 기판에 압력을 가하여, 상기 반송 기판을 평탄화하는 높이 조절부 및 상기 금속 바 상측에 위치하여, 상기 높이 조절부의 높이를 제어하는 레버를 포함하여 이루어짐에 또 다른 특징이 있다.

그리고, 동일한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 플렉서블 기판의 제조 방법은 반송 기판 상에 점착층을 개재하여 플렉서블 기판을 부착하는 단계와, 상기 플렉서블 기판 상에 열 공정을 진행하는 단계와, 상기 반송 기판을 반전한 후 디스플 레이의 평탄화 장비에 유입하여, 상기 반송 기판배면에 압력을 가함으로써 상기 플렉서블 기판을 포함한 상기 반송 기판을 평탄화하는 단계와, 상기 반송 기판을 외부로 반송하는 단계와, 상기 반송 기판으로부터 상기 플렉서블 기판을 분리하는 단계를 포함하여 이루어짐에 그 특징이 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 디스플레이의 평탄화 장비 및 이를 이용한 플렉서블 디스플레이의 제조 방법을 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 플렉서블 디스플레이의 제조 방법을 나타낸 공정도 및 이 때의 플렉서블 기판과 글래스 기판이 접착된 상태를 나타낸 단면도이며, 도 2는 도 1의 방법으로 제조시 기판의 휨이 나타난 단면도이다.

일반적으로 플렉서블 디스플레이(flexible display)가 형성되는 플렉서블 기판(flexible substrate)은 플라스틱(plastic) 성분이나 메탈 호일(metal foil)로 열이나 압력에 대해 변성이 일어날 수 있는 여지가 커, 도 1과 같이, 플렉서블 디스플레이의 제조 공정에서는 플렉서블 기판(12)은 그 하면을 글래스 기판(glass substrate)(10) 상에 부착한 상태로 공정을 진행한다. 이와 같이, 글래스 기판(10) 상에 공정을 진행하게 되면, 플렉서블 기판에 변형이 일어남을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 기존의 글래스 기판 상에 박막 트랜지스터 등의 어레이 공정을 진행하는 공정 라인을 그대로 플렉서블 기판 상에도 이용 가능하여, 별도의 공정 라인을 제조하지 않아도 되는 이점이 있다.

이 때, 글래스 기판(10)은 공정 중에 상기 플렉서블 기판(12)이 밀리거나 일어남을 방지하기 위해, 상기 글래스 기판(10)과 플렉서블 기판(12) 사이에 접착층 (11)을 개재하여 공정이 이루어진다. 즉, 도 1과 같이, 플렉서블 디스플레이는 글래스 기판(10) 상에 점착층(11)을 개재하여 플렉서블 기판(12)을 접착시켜, 상기 플렉서블 기판(12) 상에 박막 트랜지스터를 포함한 어레이를 형성하여 제조된다.

이와 같이, 점착제(또는 점착층)를 이용한 반송 기술을 점착 반송 기술이라 한다.

이러한 플렉서블 기판 상에는 예를 들어, 플라즈마 화학 기상 증착(PECVD : Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 방식을 이용하여 게이트 절연막이나 반도체층 또는 보호막을 증착하여 형성하며, 또한, 오븐 경화(oven curing) 공정에서 하드 베이킹(hard baking)과 소프트 베이킹(soft baking)과 같은 고온이 요구되는 열 공정을 진행하여 증착된 물질층을 패터닝하기 위한 감광막을 경화시킨다. 이러한 공정에서 열과 압력이 가해져 도 2와 같이, 플렉서블 기판(12)은 지면에 대해 휨 현상이 발생하며, 이 경우, 플렉서블 기판(12)은 글래스 기판(10)에 비해 성분이 플라스틱으로 글래스에 비해 휨성(flexibility)이 강해, 상기 글래스 기판(10)과 플렉서블 기판(12)이 휘어지는 방향은 상기 플렉서블 기판(12)이 상대적으로 글래스 기판(10)에 비해 휨 정도가 많은 방향으로, 휘게 된다. 도 2에서는 글래스 기판(10)과 플렉서블 기판(12)이 휘었을 때, 플렉서블 기판(12)이 내측으로 향하는 방향으로 휜 상태를 나타내고 있다. 여기서, 플렉서블 기판(12)이 휘는 현상은, 글래스 기판(10)과 플라스틱 성분 또는 메탈 호일 성분의 플렉서블 기판(12)과의 재료의 성질의 차이에 의해, 열 팽창율이 큰 플렉서블 기판(12)에 비해 상대적으로 글래스 기판(10)의 열 팽창율이 작은데, 이에 따라 글래스 기판(10)이 상대적으로 덜 휘게 되어, 발생하는 것으로 본다. 이는 래미네이터 장비를 이용하여 래미네이팅(laminating) 공정을 통한 점착 반송 기술 응용시에 나타나는 문제점으로, 기존 공정 과정과 결합되어 많은 열 공정 과정을 거치게 되며 그로 인해 반송되는 글래스 기판(10)와 플렉서블 기판(12) 사이에 점착층(11)이 각각의 열팽창의 차이를 보상해주지 못해(즉, 글래스 기판(10)의 팽창 정도와 플렉서블 기판(12)의 팽창 정도가 다른데, 이를 점착층(11)이 보상해주지 못하여) 플렉서블 기판(12) 및 글래스 기판(10)의 휨 현상이 발생한다.

앞서 설명한 바와 같이, 이러한 플렉서블 디스플레이에 이용되는 플렉서블 기판(12)은 플라스틱, 금속 호일(metal foil) 등의 유연한 기판이다.

이러한 점착 반송시 나타나는 현상에 기인하여 플렉서블 기판 상에 이루어지는 공정은 휨 정도에 따라, 노광 불량이나 이에 따른 패턴 불량이 나타날 수 있으며, 점착 반송시에 로딩/언로딩 과정에서 수많은 장비 문제(trouble) 및 글래스 파손률 증가를 야기한다. 이하, 도면을 참조하여 휨 정도에 따른 불량 현상을 살펴본다.

도 3은 도 2의 경우, 플렉서블 기판 에지부에 파손이 나타난 모습을 나타낸 도면이다.

도 3과 같이, 열 공정에 의해 플렉서블 기판(12)에 휨이 발생하였을 경우, 일반적으로 중앙 부위에 비해 에지부에서 지면에 대한 휨 정도가 심한 데, 제조 공정의 반송시 플렉서블 기판과 함께 글래스 기판이 반송되게 될 때, 특히 에지부에서 글래스 기판이 장착되어질 스테이지(미도시)와 밀착되어 있지 않아, 에지부에서 글래스 기판(10)이나 플렉서블 기판(12)에서 파손이 발생될 수 있다.

도 4a 및 도 4b는 각각 플렉서블 기판 외곽부의 형성되는 얼라인 키 및 도 2의 경우, 얼라인 키가 형성되지 않은 상태를 나타낸 도면이다.

도 4a와 같이, 플렉서블 기판(12)의 에지부에 십자 형상의 얼라인 키(20)를 형성하고자 할 때, 휨 현상이 발생하게 되면, 도 4b와 같이, 상기 플렉서블 기판(12a)의 에지부에 얼라인 키 형성에 필요한 노광량이 조사되지 않게 되어, 얼라인 키가 형성되지 않거나, 원하는 형상으로 형성되지 못하는 문제가 발생한다.

도 5a 및 도 5b 는 각각 플렉서블 기판의 단부 및 도 2의 경우, 상기 플렉서블 기판의 단부에 형성되는 패드 배선에 이상이 있는 모습을 나타낸 도면이다.

또한, 도 5a와 같이, 플렉서블 기판(12)의 단부에 패드 배선을 형성하고자 할 때, 도 5b 와 같이, 플렉서블 기판(12a)을 포함한 글래스 기판(10)의 휨 현상이 심하여, 패드 배선 형성시 필요한 노광량이 적절히 조사되지 못하면, 상기 플렉서블 기판(12a)의 단부에 형성되는 패드 배선(25a, 25b)의 소정 부위에 절단이 발생되거나, 혹은 원하는 형상으로 형성되지 못하는 문제점이 있다.

이하에 설명되는 본 발명의 디스플레이의 평탄화 장비는 점착층(점착제)와, 플렉서블 기판간의 열팽창 계수의 차이에 기인한 기판 휨 현상을 개선하기 위해 개발된 지그(JIG) 공정 장비이다. 이러한 지그 공정 장비를 도입하여 박막 트랜지스터의 노광 공정에서 노광 미스얼라인의 완화 및 다양한 공정 단계에서의 로딩/언로딩상의 발생하는 장비 이상 발생을 방지하고 또한 반송 기판으로 이용되는 글래스 파손을 방지할 수 있다.

이하에서는 플렉서블 디스플레이의 제조시 플렉서블 기판이 휘었을 경우, 이를 평탄하게 하는 본 발명의 디스플레이의 평탄화 장비에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.

도 6은 본 발명의 플렉서블 디스플레이의 제조시 플렉서블 기판의 휨 현상을 개선하는 평탄 장비를 위에서 바라본 평면도이며, 도 7은 도 6의 I~I' 선상의 구조 단면도이다.

도 6 및 도 7과 같이, 본 발명의 디스플레이의 평탄화 장비는 지그 바디(Jig Body, 160)와, 상기 지그 바디(160) 내측의 양측에 위치하여, 외부로부터 인입되는 반송 기판(100)을 지지하는 반송 기판 지지대(140a, 140b)와, 상기 반송 기판(100)의 지그 바디(160) 내측 인입시 상기 반송 기판(100)에 압력을 가하여, 상기 반송 기판(100)을 평탄화하는 높이 조절부(170) 및 상기 높이 조절부(170)의 높이를 제어하는 레버(110)를 포함하여 이루어진다.

상기 지그 바디(160)는 도 6에 도시된 바와 같이, 중앙 부위가 비어있는 상태로, 상기 반송 기판 지지대(140a, 140b)이 놓여지는 부위에 계단형상의 단턱면이 더 형성되어 형성될 수도 있고, 도 7에 도시된 바와 같이, 가장자리가 상대적으로 중앙 부위에 비해 높게 형성될 수도 있다.

또한, 상기 반송 기판 지지대(140a, 140b)는 상기 지그 바디(160)의 단턱면에 위치하며, 상부에 상기 지그 바디(160) 내로 인입될 반송 기판(100)이 양측이 놓여지게 된다. 도시된 바에 따르면, 상기 반송 기판(100)의 긴 방향의 양측이 상기 반송 기판 지지대(140a, 140b) 위에 놓여져 있다.

여기서, 상기 지그 바디(160) 내부로 유입되는 상기 반송 기판(100)은 중앙에 비해 에지부에 휨이 발생된 상태로, 상기 지그 바디(160) 내부로 유입시에는 평탄화하기 위함이다. 이 때, 상기 반송 기판(100)의 상기 지그 바디(160)에 장착되는 면에는 플렉서블 디스플레이(flexible display) (기판)(105)가 더 형성되어 있다. 이때, 상기 플렉서블 디스플레이(105)는 열 또는 압력을 가하는 공정을 진행한 후, 지면에 대해 소정 두께의 휨이 발생된 상태이며, 공정마다 도 6 및 도 7과 같은 평탄화 장비에 유입될 수도 있고, 복수회의 공정을 진행한 후에 유입될 수도 있다. 그러나, 앞에서 설명한 바와 같이, 반송 기판(100)이나 플렉서블 디스플레이 (기판)(105)에 휨이 발생한 경우, 노광량이 적절하지 못하거나 노광 부위가 정확하지 않게 되어, 원하는 패턴으로 형성이 되지 않는 문제가 나타날 수 있기 때문에, 열(또는 압력)이 가해지는 공정을 진행한 후에는 상기 반송 기판(100)을 본 발명의 디스플레이의 평탄화 장비에 유입하여, 휜 반송 기판(100) 및 플렉서블 디스플레이(105)를 평탄화하여 주는 것이 좋다.

이 때, 상기 반송 기판(100)을 눌려 평탄화하게 하는 상 높이 조절부(170)는 상기 반송 기판(100)에 비해 마찰 계수가 낮은 합성 수지를 포함하여 이루어진다. 이러한 상기 합성 수지는 불소 수지 PTFE(Poly Tetra Fluoro Ethylene)를 예로 들 수 있다. 왜냐하면, 상기 반송 기판(100)은 주로 글래스 성분으로 이루어지기 때문에, 심한 압력이 가해지면, 파손이 될 수 있고, 마찰이 심할 경우에는 파손될 위험이 있기 때문에, 어느 정도 연성이 있고, 접촉시 마찰력이 작은 불소 수지 계열의 합성 수지를 이용하는 것이 좋다.

이러한 구성을 최소로 하며, 본 발명의 디스플레이의 평탄화 장비는 다음의 구성 요소를 더 추가할 수 있다.

즉, 상기 지그 바디(160) 일측 상부에 상기 지그 바디(160)와 체결되어 형성되는 금속 바(metal bar, 180)를 더 포함할 수 있다. 이러한 금속 바(190)는, 평탄화를 위해 상기 반송 기판(100)이 지그 바디(160) 내측 인입 후에는 상기 지그 바디(160) 타측에 형성되는 걸개(200)에 체결되어 상기 지그 바디(160)를 가로지르며, 상기 금속 바(190)를 관통하여 상기 높이 조절부(170)와 연결된 레버(110)를 회전시켜, 상기 반송 기판(100)의 평탄화를 진행한다. 도 6에서는 상기 금속 바(180)가 상기 지그 바디(160)를 가로질러 위치한 것을 나타낸 것으로, 상기 반송 기판(100)의 평탄화 진행시를 나타내고 있다.

그리고, 상기 금속 바(180)는 상기 반송 기판(100)의 지그 바디(160)로의 인입시나 평탄화를 진행한 후 상기 반송 기판(100)의 외부로의 반송시에는 상기 지그 바디(160) 일측에 위치한다.

이러한 상기 금속 바(180)와 상기 지그 바디(160)의 체결은 상기 금속 바(190)를 관통하며 상기 지그 바디(160)와 연결되는 체결 부재를 통해 이루어진다. 상기 체결 부재는 스크류(screw)(190) 등 일 수 있다. 여기서, 상기 반송 기판(100)의 평탄화 진행과, 인입시나 외부로의 반송시점에서의 상기 금속 바(180)의 이동은 상기 스크류(190)를 기준으로 하여, 도 6에서, 시계 방향(하측)으로 하거나 혹은 시계 반대방향(상측)으로 할 수 있다.

그리고, 상기 반송 기판(100)의 외곽부에 대응하여 상기 높이 조절부(170)를 관통하여 상기 높이 조절부(170)에서 상기 반송 기판(100)에 가해지는 충격을 완충하는 탄성 부재가 더 형성될 수 있다. 이 때, 상기 탄성 부재는 스프링(120a, 120b)을 예로 들 수 있다. 여기서, 상기 높이 조절부(170)는 상기 금속 바(180) 하측에 위치하며, 상기 높이 조절부(170)나 그 상부에 형성되는 금속 바(180)는 상기 반송 기판 지지대(140a, 140b)와 평행한 방향으로 위치한다.

이러한 디스플레이의 평탄화 장비는 이하에서 설명하는 플렉서블 기판에 적용될 수도 있지만, 그 외에 공정 중에 휨이 발생되는 액정 표시 장치나, 유기 EL 소자와 같은 평판 표시 장치의 어느 경우에나 적용 가능할 것이다.

이하, 상술한 본 발명의 디스플레이의 평탄화 장비를 이용한 본 발명의 플렉서블 기판의 제조 방법을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 반송 기판(100) 상에 점착층(미도시)을 개재하여 플렉서블 기판(105)을 부착한다.

이어, 상기 플렉서블 기판(105) 상에 박막 트랜지스터 어레이를 형성한다.

이러한 박막 트랜지스터 어레이 형성시 열 공정 등에 의해 상기 플렉서블 기판(105) 및 반송 기판(100)의 표면이 휘게 되면, 상기 박막 트랜지스터 어레이가 형성된 반송 기판을 반전한 후 도 6 및 도 7에서 설명한 디스플레이의 평탄화 장비에 유입한다.

이어, 상기 반송 기판(100)의 배면에 압력을 가함으로써 상기 플렉서블 기판(105)을 포함한 상기 반송 기판(100)을 평탄화한다. 즉, 에지부와 중앙 부위에 나타나는 단차를 없애고, 표면을 평탄화한다.

이어, 상기 반송 기판(100)을 외부로 반송한다.

이어, 상기 반송 기판(100) 상부의 상기 플렉서블 기판(105) 상에 박막 트랜지스터 어레이 형성 공정의 나머지 공정을 진행하며, 공정 중 휨이 발생하면, 앞서 설명한 평탄화를 진행하여, 박막 트랜지스터 어레이 형성 공정을 완료한다.

이러한 공정을 통해 상기 플렉서블 기판의 표면이 중앙부나 에지부에 관계없이 평탄해지면, 노광량의 차이가 영역별로 발생하지 않아, 노광으로 원하는 형상을 얻을 수 있을 것이며, 노광에 의해 형성된 패턴들에 단선이나 불규칙한 패턴 경향이 발생하지 않는 박막 트랜지스터 어레이의 형성이 가능할 것이다.

이어, 상기 반송 기판(100)으로부터 상기 플렉서블 기판(105)을 분리한다.

본 발명의 디스플레이의 평탄화 장비를 통해 제조되는 플렉서블 디스플레이는, 액정 표시 장치나 유기 EL 소자와 같이 이루어질 수 있으며, 예를 들어, 액정 표시 장치의 경우에는 형성시 COT(Color-filter On TFT) 구조와 같이, 상기 플렉서블 디스플레이를 이루는 서로 대향된 플렉서블 기판 중 하나의 플렉서블 기판 상에 박막 트랜지스터와 컬러 필터 어레이가 형성되며, 그 사이에 액정이 구동되어 표시가 이루어질 수 있을 것이다. 이 경우, 박막 트랜지스터 및 컬러 필터 어레이가 형성되지 않은 나머지 플렉서블 기판 측에는 대향 전극이 형성될 수 있을 것이다.

한편, 이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.

상기와 같은 본 발명의 디스플레이의 평탄화 장비 및 이를 이용한 제조 방법은 다음과 같은 효과가 있다.

본 발명의 디스플레이의 평탄화 장비를 적용하여 플렉서블 디스플레이를 제조시 열공정으로 인한 플렉서블 기판의 기판 휨 발생시에 글래스 비해 마찰 계수가 작은 높이 조절부를 통해 휨이 발생된 반송 기판에 배면을 눌러주어, 반송 기판과 함께 플렉서블 기판을 평탄화할 수 있어, 개발 지그 장비를 이용하여 기판을 다시 평탄하게 펴줄 수 있어, 휨 현상으로 초래되는 노광 불량 및 이로 인한 패턴 형성 불량을 방지하고, 또한, 기판 파손 등의 여러 가지 문제점을 방지할 수 있다.

Claims (13)

1. 지그 바디;

   상기 지그 바디 내측의 양측에 위치하여, 외부로부터 인입되는 반송 기판을 지지하는 반송 기판 지지대;

   상기 반송 기판의 지그 바디 내측 인입시 상기 반송 기판에 압력을 가하여, 상기 반송 기판을 평탄화하는 높이 조절부; 및

   상기 높이 조절부의 높이를 제어하는 레버를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 디스플레이의 평탄화 장비.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 지그 바디 일측 상부에 상기 지그 바디와 체결되어 형성되는 금속 바를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이의 평탄화 장비.
3. 제 2항에 있어서,

   상기 금속 바는, 상기 반송 기판의 지그 바디 내측 인입 후 상기 지그 바디 타측과 연결되어 상기 지그 바디를 가로지르는 것을 특징으로 하는 디스플레이의 평탄화 장비.
4. 제 2항에 있어서,

   상기 금속 바는 상기 반송 기판의 지그 바디로의 인입 및 외부로의 반송시에는 상기 지그 바디 일측에 위치하는 것을 특징으로 하는 디스플레이의 평탄화 장비.
5. 제 2항에 있어서,

   상기 금속 바와 상기 지그 바디의 체결은 상기 금속 바를 관통하며 상기 지그 바디와 연결되는 체결 부재를 통해 이루어지는 것을 특징으로 하는 디스플레이의 평탄화 장비.
6. 제 5항에 있어서,

   상기 체결 부재는 스크류인 것을 특징으로 하는 디스플레이의 평탄화 장비.
7. 제 1항에 있어서,

   상기 반송 기판의 상기 지그 바디에 장착되는 면에는 플렉서블 디스플레이가 더 형성된 것을 특징으로 하는 디스플레이의 평탄화 장비.
8. 제 1항에 있어서,

   상기 높이 조절부는 상기 반송 기판에 비해 마찰 계수가 낮은 합성 수지로 이루어진 것을 특징으로 하는 디스플레이의 평탄화 장비.
9. 제 8항에 있어서,

   상기 합성 수지는 불소 수지 PTFE(Poly Tetra Fluoro Ethylene)인 것을 특징으로 하는 디스플레이의 평탄화 장비.
10. 제 1항에 있어서,

    상기 반송 기판의 외곽부에 대응하여 상기 높이 조절부를 관통하여 상기 높이 조절부의 높이 조절부 상기 반송 기판에 가해지는 충격을 완충하는 탄성 부재가 더형성된 것을 특징으로 하는 디스플레이의 평탄화 장비.
11. 제 10항에 있어서,

    상기 탄성 부재는 스프링인 것을 특징으로 하는 디스플레이의 평탄화 장비.
12. 지그 바디;

    상기 지그 바디 내측의 양측에 위치하여, 외부로부터 인입되는 반송 기판을 지지하는 반송 기판 지지대;

    상기 지그 바디 일측 위에 연결되어 형성되며, 상기 반송 기판의 반송 기판 지지대에 장착 후 상기 지그 바디를 가로질러 상기 지그 바디 타측과 연결되는 금속 바;

    상기 금속 바와 연결되어, 상기 반송 기판의 상기 반송 기판 지지대에 장착 후 상기 반송 기판에 압력을 가하여, 상기 반송 기판을 평탄화하는 높이 조절부; 및

    상기 금속 바 상측에 위치하여, 상기 높이 조절부의 높이를 제어하는 레버를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 디스플레이의 평탄화 장비.
13. 반송 기판 상에 점착층을 개재하여 플렉서블 기판을 부착하는 단계;

    상기 플렉서블 기판 상에 열 공정을 진행하는 단계;

    상기 반송 기판을 반전한 후 디스플레이의 평탄화 장비에 유입하여, 상기 반송 기판배면에 압력을 가함으로써 상기 플렉서블 기판을 포함한 상기 반송 기판을 평탄화하는 단계;

    상기 반송 기판을 외부로 반송하는 단계; 및

    상기 반송 기판으로부터 상기 플렉서블 기판을 분리하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이의 제조 방법.

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