KR20070074105A - 전류를 피드백신호로 하여 구동전압을 제어하는 정전척구동전압 제어장치 - Google Patents

전류를 피드백신호로 하여 구동전압을 제어하는 정전척구동전압 제어장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20070074105A
KR20070074105A KR1020060001858A KR20060001858A KR20070074105A KR 20070074105 A KR20070074105 A KR 20070074105A KR 1020060001858 A KR1020060001858 A KR 1020060001858A KR 20060001858 A KR20060001858 A KR 20060001858A KR 20070074105 A KR20070074105 A KR 20070074105A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
driving voltage
electrostatic chuck
current
voltage supply
supply device
Prior art date
Application number
KR1020060001858A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100814636B1 (ko
Inventor
허재영
진대규
김기남
장성욱
박헌욱
Original Assignee
코닉시스템 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 코닉시스템 주식회사 filed Critical 코닉시스템 주식회사
Priority to KR1020060001858A priority Critical patent/KR100814636B1/ko
Publication of KR20070074105A publication Critical patent/KR20070074105A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100814636B1 publication Critical patent/KR100814636B1/ko

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21—LIGHTING
    • F21V—FUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F21V19/00—Fastening of light sources or lamp holders
    • F21V19/0075—Fastening of light sources or lamp holders of tubular light sources, e.g. ring-shaped fluorescent light sources
    • F21V19/008—Fastening of light sources or lamp holders of tubular light sources, e.g. ring-shaped fluorescent light sources of straight tubular light sources, e.g. straight fluorescent tubes, soffit lamps
    • F21V19/009—Fastening of light sources or lamp holders of tubular light sources, e.g. ring-shaped fluorescent light sources of straight tubular light sources, e.g. straight fluorescent tubes, soffit lamps the support means engaging the vessel of the source
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21—LIGHTING
    • F21V—FUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F21V15/00—Protecting lighting devices from damage
    • F21V15/04—Resilient mountings, e.g. shock absorbers 
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21—LIGHTING
    • F21V—FUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F21V17/00—Fastening of component parts of lighting devices, e.g. shades, globes, refractors, reflectors, filters, screens, grids or protective cages
    • F21V17/10—Fastening of component parts of lighting devices, e.g. shades, globes, refractors, reflectors, filters, screens, grids or protective cages characterised by specific fastening means or way of fastening
    • F21V17/16—Fastening of component parts of lighting devices, e.g. shades, globes, refractors, reflectors, filters, screens, grids or protective cages characterised by specific fastening means or way of fastening by deformation of parts; Snap action mounting

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Jigs For Machine Tools (AREA)

Abstract

본 발명은 챔버 내에 설치되어 정전기력에 의해 기판을 흡착 고정하는 정전척의 구동전압을 제어하는 정전기척 구동전압 제어장치에 관한 것으로서, 정전기척에 구동전압을 공급하는 구동전압 공급장치와, 상기 구동전압 공급장치에서 정전기척에 인가되는 전류를 측정하는 전류측정장치와, 상기 구동전압 공급장치에서 상기 정전기척으로 일정한 정격전류가 흐르도록 상기 전류측정장치에서 측정된 값을 입력받아 이를 귀환신호로서 상기 구동전압 공급장치로 출력하여 상기 구동전압 공급장치의 출력전압을 제어하는 정전류 제어장치를 구비하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 정전척이 기판을 흡착 고정시킬 정도의 정전기력을 발휘하도록 하면서도 특정압력범위에서 아크 방전이 발생하지 않도록 할 수 있다.
아크 방전, 파센 곡선, 압력, 정격전류, 정전척, 구동전압, 방전전압

Description

전류를 피드백신호로 하여 구동전압을 제어하는 정전척 구동전압 제어장치{Apparatus for controlling driving voltage of electrostatic chuck by using current as a feedback signal}
도 1은 두개의 평행판 구리전극 사이에 공기가 존재토록 하고 전극 간격은 1인치로 하여 압력에 따른 방전전압을 측정한 파센 곡선;
도 2는 본 발명에 따른 정전기척 구동전압 제어장치를 설명하기 위한 도면;
도 3a는 압력에 따라 도 2의 구동전압 공급장치(30)로부터 정전척(10)에 인가되는 구동전압 그래프;
도 3b는 압력에 따라 도 2의 구동전압 공급장치(30)로부터 정전척(10)에 인가되는 정격전류 그래프이다.
본 발명은 정전척 구동전압 제어장치에 관한 것으로서, 특히 아크가 생기지 않으면서 기판을 흡착 고정시킬 수 있도록 정전척의 구동전압을 제어하는 정전척 구동전압 제어장치에 관한 것이다.
FPD 제조과정은 10-5 torr - 760 torr의 압력대역에서 진행된다. 이 때 기판을 고정하기 위하여 정전척이 사용되는데, 정전척을 통하여 기판을 흡착 고정하기 위해서는 어느 정도 이상의 구동전압을 정전척에 인가해야만 한다. 그런데, 이러한 구동전압이 압력에 상관없이 일정하게 인가되기 때문에 특정압력범위에서는 정전척에서 아크 방전이 발생하여 정전척 제어장치가 고장나는 사태가 발생한다. 이러한 아크 방전을 염려하여 전압력범위에서 구동전압을 낮게 인가하면 상기 특정압력을 벗어난 압력에서는 기판 흡착력이 떨어지게 된다.
도 1은 두개의 평행판 구리전극 사이에 공기가 존재토록 하고 전극 간격은 1인치(inch)로 하여 압력에 따른 방전전압을 측정한 파센 곡선(Paschen Curve)이다. 도 1을 참조하면, 다소 높은 압력범위에서는 압력이 낮아질수록 방전전압이 낮아지다가 어느 한도로 압력이 낮아지면 그 이하에서는 압력이 낮아질수록 오히려 방전전압이 높아진다. 즉 참조부호 A로 표시한 부분과 같이 방전전압이 최소치가 되는 부분이 존재한다. 파센 법칙에 따르면 방전전압은 챔버 내의 압력, 가스종류, 정전척 전극 사이의 거리 등에 따라 달라지므로 구체적인 상황에 따라서 참조부호 A로 표시한 부분의 위치가 달라진다. 그럼에도 불구하고 종래에는 압력범위에 상관없이 일정한 구동전압을 정전척에 인가하였기 때문에 참조부호 A로 표시한 부분의 압력대역에서는 정전척에서 아크 방전이 발생하는 문제가 생긴 것이다.
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, FPD 제조과정에서 정전척이 기판을 흡착 고정시킬 정도의 정전기력을 발휘하면서도 아크 방전은 발생하지 않도록 정전척의 구동전압을 제어하는 정전척 구동전압 제어장치를 제공하는 데 있다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 정전척 구동전압 제어장치는, 챔버 내에 설치되어 정전기력에 의해 기판을 흡착 고정하는 정전척의 구동전압을 제어하는 정전기척 구동전압 제어장치로서, 정전기척에 구동전압을 공급하는 구동전압 공급장치와, 상기 구동전압 공급장치에서 정전기척에 인가되는 전류를 측정하는 전류측정장치와, 상기 구동전압 공급장치에서 상기 정전기척으로 일정한 정격전류가 흐르도록 상기 전류측정장치에서 측정된 값을 입력받아 이를 귀환신호로서 상기 구동전압 공급장치로 출력하여 상기 구동전압 공급장치의 출력전압을 제어하는 정전류 제어장치를 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 정전류 제어장치에 의해서 상기 구동전압 공급장치가 0.1 - 100 torr 의 챔버 압력 범위에서 더 낮은 구동전압을 출력하는 것이 바람직하다.
이하에서, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 아래의 실시예는 본 발명의 내용을 이해하기 위해 제시된 것일 뿐이며 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상 내에서 많은 변형 이 가능할 것이다. 따라서 본 발명의 권리범위가 이러한 실시예에 한정되는 것으로 해석돼서는 안 된다.
도 2는 본 발명에 따른 정전기척 구동전압 제어장치를 설명하기 위한 도면이다. 본 발명은 궁극적으로는 구동전압 공급장치(30)에서 정전기척(10)으로 흐르는 전류를 제어하여 구동전압 공급장치(30)에서 정전기척(10)에 도 3a와 같은 구동전압이 인가되도록 하는 데 특징이 있다. 이 때의 구동전압은 도 1에 의한 방전전압보다 낮은 전압으로서 도 1의 그래프와 유사한 형태를 갖는다.
도 2를 참조하면, 정전기척(10)은 구동전압 공급장치(30)로부터 구동전압을 공급받는다. 이 때 구동전압 공급장치(30)에서 정전기척(10)으로 전류가 흐르게 되는데 이러한 전류는 전류측정장치(40)로 측정한다. 챔버(100) 내의 압력에 따라 방전전압이 도 1과 같은 양상으로 변하므로 구동전압 공급장치(30)는 도 1의 방전전압보다 낮은 값을 가지는 구동전압을 도 3a와 같은 형태로 공급한다.
도 3a와 같이 구동전압 곡선을 얻기 위해서는 도 3b와 같이 정전기척(10)에 일정한 정격전류가 입력되어야 한다. 따라서 정전기척(10)에 흘러들어가는 전류를 전류측정장치(40)로 측정하여 정전기척(10)에 흐르는 정격전류가 일정하게 유지되도록 정전류제어장치(30)를 통하여 구동전압 공급장치(30)의 출력전압을 제어한다. 이 때, 챔버의 압력이 0.1 - 100 torr 범위일 때 구동전압 공급장치(30)가 더 낮은 구동전압을 출력하도록 제어되는 것이 바람직하다.
상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 정전척이 기판을 흡착 고정시킬 정도의 정전기력을 발휘하도록 하면서도 특정압력범위에서 아크 방전이 발생하지 않도록 할 수 있다.

Claims (2)

  1. 챔버 내에 설치되어 정전기력에 의해 기판을 흡착 고정하는 정전척의 구동전압을 제어하는 정전기척 구동전압 제어장치에 있어서,
    정전기척에 구동전압을 공급하는 구동전압 공급장치;
    상기 구동전압 공급장치에서 정전기척에 인가되는 전류를 측정하는 전류측정장치; 및
    상기 구동전압 공급장치에서 상기 정전기척으로 일정한 정격전류가 흐르도록 상기 전류측정장치에서 측정된 값을 입력받아 이를 귀환신호로서 상기 구동전압 공급장치로 출력하여 상기 구동전압 공급장치의 출력전압을 제어하는 정전류 제어장치;를 구비하는 것을 특징으로 하는 정전기척 구동전압 제어장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 정전류 제어장치에 의해서 상기 구동전압 공급장치가 0.1 - 100 torr 의 챔버 압력 범위에서 더 낮은 구동전압을 출력하는 것을 특징으로 하는 정전기척 구동전압 제어장치.
KR1020060001858A 2006-01-06 2006-01-06 전류를 피드백신호로 하여 구동전압을 제어하는 정전척구동전압 제어장치 KR100814636B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060001858A KR100814636B1 (ko) 2006-01-06 2006-01-06 전류를 피드백신호로 하여 구동전압을 제어하는 정전척구동전압 제어장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060001858A KR100814636B1 (ko) 2006-01-06 2006-01-06 전류를 피드백신호로 하여 구동전압을 제어하는 정전척구동전압 제어장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20070074105A true KR20070074105A (ko) 2007-07-12
KR100814636B1 KR100814636B1 (ko) 2008-03-18

Family

ID=38508334

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060001858A KR100814636B1 (ko) 2006-01-06 2006-01-06 전류를 피드백신호로 하여 구동전압을 제어하는 정전척구동전압 제어장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100814636B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111381194A (zh) * 2018-12-28 2020-07-07 东京毅力科创株式会社 测定方法和测定治具

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06104595A (ja) * 1991-12-27 1994-04-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd 特定基板の区別方法
KR100479766B1 (ko) 1996-03-29 2005-07-07 램 리서치 코포레이션 동적피이드백정전기웨이퍼척
JP2004111310A (ja) * 2002-09-20 2004-04-08 Nissin Ion Equipment Co Ltd 基板の帯電電圧計測装置およびイオンビーム照射装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111381194A (zh) * 2018-12-28 2020-07-07 东京毅力科创株式会社 测定方法和测定治具
US11456199B2 (en) * 2018-12-28 2022-09-27 Tokyo Electron Limited Measurement method and measuring jig

Also Published As

Publication number Publication date
KR100814636B1 (ko) 2008-03-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100802910B1 (ko) 전자접촉기의 코일 구동장치
TW201313060A (zh) 驅動電路與相關之錯誤偵測電路以及錯誤偵測方法
US20100044581A1 (en) Ionizer and Static Elimination Method
WO2008036210A3 (en) Methods of and apparatus for measuring and controlling wafer potential in pulsed rf bias processing
CA2471987A1 (en) Plasma surface processing apparatus
JP2007150012A5 (ko)
KR20080071123A (ko) 직류식 이오나이저
KR100814636B1 (ko) 전류를 피드백신호로 하여 구동전압을 제어하는 정전척구동전압 제어장치
CN1799016A (zh) 具有磁场传感器的流量控制阀
JP4860202B2 (ja) Ｘ線発生装置
JP2006202939A (ja) 吸着方法、脱離方法、プラズマ処理方法、静電チャック及びプラズマ処理装置
WO2020096873A3 (en) Orbital welding device with simplified handling
KR100769472B1 (ko) 압력을 피드백신호로 하여 구동전압을 제어하는 정전기척구동전압 제어장치
CN109311242A (zh) 表面改性设备
JP5723099B2 (ja) Ｘ線発生装置、及び除電装置
ZA200607437B (en) Online analysis device
DE502006008145D1 (de) Werkstücken mit einer zwischen der düse und dem werkstück geführten zusatz-schmelzbaren elektrode
WO2017082001A1 (ja) Ｔｉｇ溶接装置
JP2018187662A (ja) Ｔｉｇ溶接装置
JP2018022599A (ja) プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法
JP2020038907A (ja) プラズマ処理装置
JP4315710B2 (ja) 除電器
JPH0866071A (ja) 静電吸着装置
TW202343508A (zh) 負離子生成裝置
CN111756338A (zh) 高频供给装置和高频电功率的供给方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee