CN1799016A - 具有磁场传感器的流量控制阀 - Google Patents

Abstract

描述了包括磁场传感器的螺线管装置以及操作该装置的方法。该装置包括产生延伸通过至少部分由铁磁材料制成并限定实际无铁磁材料的间隙的磁通回路体的磁通的磁场发生器。设置磁通传感器以检测横过间隙延伸的磁通的一部分。该装置可用作流体流量控制阀。

Description

具有磁场传感器的流量控制阀

技术领域

本发明涉及螺线管装置，更具体地涉及螺线管流量控制阀。

背景技术

在例如半导体制造、光涂覆沉积以及平板显示器制造的许多工业制造场合中，流动气体和液体的控制和测量是重要的。例如，这些应用可能需要采用精确量的流体以形成具有要求厚度和成分的膜。质量流量控制器一般被用于流体流量控制和/或测量以支持用于这些场合的加工工具。

质量流量控制器一般包括介于流体流通过阀孔其间的螺线管阀。普通的螺线管阀具有环绕在柱塞芯周围并封装在壳体内的绝缘线圈。将电流施加到线圈可相对于或靠向阀座中的孔地定位柱塞以控制流体流动速率。柱塞芯可用具有高磁导性材料(例如铁合金)制成。柱塞芯中形成所的磁通对柱塞芯产生磁力，该磁力与由阀的弹性部件所施加力的方向相反。

可通过控制柱塞相对于阀座的位置而控制流过阀的流体。在一个操作模式中，通过选择施加于线圈的电流而选择柱塞位置。施加于柱塞的电磁力随电流的变化而变化，由此柱塞芯响应电流的改变移向阀座或移离阀座。柱塞的位置是由作用在柱塞上的力平衡确定的，例如弹性力、磁力和流体相关力。

一些流量计装置的控制系统依赖于下列假设而形成：即输入至螺线管阀线圈的给定电流在柱塞上产生校正力以及相关的流体设置。然而，计量阀具有机械和电器容限误差，它会限制响应于给定电流输入而获得的流速的精确性和可重复性。这种误差一般包括偏离分量和随机分量，两者都随所施加的电流而变化。

特别地，电磁材料会表现出剩余磁感应(例如在零电流时的残余磁化)，这会导致柱塞位置的磁滞并因此流量磁滞作为所施加电流函数。磁性材料磁导性上的温度效应也会降低对阀响应的可预测性。另外，由于难以使用螺线管电流设置以设定阀流量，因此会限制阀的可用控制范围或动态范围。

为了弥补流速的改变，流量控制阀经常包括尝试补偿该误差的控制系统。然而控制系统的补偿要求会增加阀响应时间并降低阀的性能。

作为对这些困难的回应，某些场合中依赖一组流量控制阀以控制宽范围值的流量；该组中的每个阀可提供不同的流量控制范围。然而，这种方法增加了流量控制设备的成本。

发明内容

本发明的特征为改善螺线管装置，例如螺线管阀和螺线管开关。在一个方面，具有本发明特征化的装置和方法可提供具有更精确、可再现的和/或流量的稳定控制以及更宽动态范围的螺线管流量控制阀。根据本发明原则的阀包括具有一个或多个部分的铁磁体。该铁磁体限定至少一个间隙以有效地分离铁磁材料。该间隙和铁磁体限定一个磁通回路。磁场传感器被定位以检测横跨电路间隙的磁场。

间隙实际上无磁通旁路，诸如连接由间隙分隔的铁磁材料的铁磁体桥。磁场传感器因此能够有效地监控横跨间隙的磁场。换句话说，任何横跨间隙的旁路会对穿过间隙的磁通产生限制影响并因此自用于传感器以作检测。

传感器可提供对磁回路中的磁场强度的直接测量。该测量可支持阀柱塞上的磁力的准确和可重复的确定。这种测量可用于反馈环路以获得与所要求磁场对应的磁场。或者，可实现反馈环路以提供对所选螺线管电流值的校正。因此，可缓解有损阀流量控制的速度和精确度的磁滞和其它因素的影响。

根据本发明原理实现的阀可用作例如质量流量控制器的一部分，与半导体制造工艺(诸如等离子处理、薄膜沉积以及蚀刻系统)一起使用。阀能控制包括氟气、氯气、溴气、氢气、氮气、氧气或其它用于半导体处理中的多种气体的流量。阀控制装置可将预选的流速与测量的流速相比并调节磁回路中所检测到的磁通以在预选和测得的流速之间形成一致。

因此，在第一方面，本发明的特征为螺线管装置。该装置可以是例如开关或阀。该装置包括部分由铁磁材料形成并限定实际上无任何铁磁材料的间隙的磁通回路体。该装置还包括磁通传感器以检测沿间隙延伸的磁通部分，另外还包括磁场发生器，例如产生磁通的线圈。

磁通回路体可包括一个或多个部分，它们彼此间可以间隔一个或多个间隙。磁通回路体例如包括靠近磁场发生器的壳体以及可移动地安装在壳体附近的柱塞。磁通回路体还包括例如安装在柱塞移动方向上的止回件。壳体、柱塞和止回件中的两个彼此之间由间隙分隔。该间隙限定实际上在间隙各侧分离铁磁材料的边界区域。

间隙从本质上不包含在间隙各侧上旁路铁磁体部分的铁磁材料。也就是说，较为有利地不存在磁通旁路，例如没有连接给间隙定边界的两个铁磁部分的实质的磁通路径。该狭缝可完全不含铁磁部分，但可以包括其它材料以提供由间隙分隔的两部分之间的直接物理联系。这样，任何横跨或桥接间隙的材料均基本上不含铁磁材料。

装置包括磁通传感器以感应出横跨间隙延伸的部分磁通。该传感器可完全地或部分地定位在间隙中或间隙附近。该间隙可被对称地配置并具有一致的宽度以在间隙中形成一致的磁通。磁通传感器可以是例如霍尔传感器、磁阻传感器或磁致收缩型传感器。

间隙可包括具有磁导性低于壳体的磁导性和止回件的磁导性的材料。该材料可以是气体、液体和/或固体。传感器可具有与间隙中的材料相同的磁导性。

在第二方面，本发明的特征为用于操作螺线管装置的方法。该方法包括将所测得的阀流速与所预选的流速进行比较；检测阀的磁通回路中的磁通的一部分；并使所测得的磁通改变，直至所测得的流速与预选的流速一致为止。

附图说明

在所附权利要求中对本发明作了详细的描述。通过结合附图而参照后面的说明，本发明上述和其它优点将更容易理解，其中：

图1a是螺线管装置的实施例的横截面的侧视图；

图1b是图1a所示螺线管装置的横截面在平面1b的俯视图；

图1c是图1a所示螺线管装置的横截面在平面1c的俯视图；

图2a是螺线管装置的实施例的横截面图；

图2b是图2a的螺线管装置在平面2b处的横截面图；

图2c是图2a的螺线管装置在平面2c处的横截面图；

图3是用于操作螺线管装置的方法的实施例的流程图；

图4是控制电路的实施例的示意图；

图5a和图5b是根据本发明原理对已装配的采样阀所施加电流以及所测得的磁场分别作为函数的流体流速的曲线图。

具体实施方式

词语“磁滞”在这里表示由于改变磁化力而导致的磁性材料中的磁化值的滞后。

词语“剩余”在这里表示残留在不再处于外部磁场影响下的磁化物质中的磁感应。例如，螺线管的铁磁柱塞在没有电流施加于螺线管时可表现出残余的磁化。

词语“磁阻”在这里表示磁阻磁回路中对磁通的阻碍，并可以定义为与相应磁通的磁势差的比值。磁通回路中的磁阻部分类似于电流电路中的电阻部分。

这里使用的“铁磁体材料”表示使磁通以超过大约10倍的因数聚集的材料。铁磁体材料的相对磁导性作为与真空磁导性的比值可高达大约1000000。铁磁性材料包括例如软铁和某些钢以及镍合金。本发明的较佳实施例在磁通回路中不包括永久磁性材料。

术语“磁场传感器”和“磁通传感器”在这里可互换地表示能检测磁场并支持磁场特性测量的传感器。例如，一种能够支持对与磁场有关的场强和磁通密度值的测量的传感器。

图1a示出螺线管装置100的实施例的横截面图。该装置100包括磁通回路体的一个或多个铁磁部分110，磁场源120以及至少一个磁场传感器150。如图所示，铁磁部分110选择地包括柱塞部分114，它可相对于其它铁磁部分110移动。如图所示，柱塞部分114与磁通回路体的其它铁磁部分110物理地隔开。在装置100的另一种实现中，柱塞部分114被固定于一个或多个其它铁磁部分110或其延伸部分上。

在装置100的另一实现中，一个或多个铁磁部分110可相对于磁场源120移动。例如，在磁场源120可移动地设置的同时，铁磁部分110可被固定地设置，或铁磁部分110可移动地设置而磁场源120被固定地设置。就象对本领域内技术人员而言很明显的那样，装置100可以实现为例如流量控制阀、开关或音圈。

磁通回路体的铁磁部分110由一种或多种铁磁材料制成并限定一个或多个间隙G1、G2、G3、G4。磁场源120在由磁通回路体和一个或多个间隙G1、G2、G3、G4限定的磁通回路中产生磁通，所产生的磁通作为磁通回路中的磁阻分量。

设置一个或多个磁场传感器150以检测穿过间隙G1、G2、G3、G4中的至少一个延伸的磁通。较为有利地，具有相关传感器150的间隙G1、G2、G3、G4是完全或实际上不含铁磁材料的。实际上不含任何铁磁材料的间隙G1、G2、G3、G4迫使磁通以使传感器能有效地检测出磁通的方式延伸穿过间隙G1、G2、G3、G4。

横过间隙延伸的实际不含任何铁磁材料的间隙G1、G2、G3、G4不具有充分的铁磁材料以允许磁通旁路于间隙G1、G2、G3、G4。因此，穿过间隙G1、G2、G3、G4延伸的磁通将例如基本上通过具有例如由空气或真空提供的相对较高磁滞的间隙G1、G2、G3、G4部分。另外，具有相同间隙分隔的对称成形的间隙可望将一致的磁通提供到间隙中。

装置100可以通过控制由传感器150检测的磁场而操作。因此装置工作中所遇上的磁滞可小于前述缺少上述特征的螺线管装置所遇上的磁滞。

图1b是如图1a所示的平面1b的螺线管装置100的平面1b的横截面的俯视图。间隙G1限定分隔磁通回路体的相邻铁磁部分110的边界。间隙G1是环形的并由不足以实际地旁路间隙G1的铁磁材料的较薄剩余部分所横跨。间隙G1由此在磁通回路中提供具有相对高磁导的分量。

图1c是是图1a所示螺线管装置100的横截面在平面1c的俯视图。间隙G2的结构特征类似于间隙G1的。如所示那样，其它间隙G3、G4无铁磁材料横跨于其上。如上所述，间隙G1、G2、G3、G4中的任何一个或多个具有相关的磁场传感器150以监控磁通回路中的磁通。

图2a是示出包括图1所示装置特征的螺线管装置100A的实施例的横截面图。装置100A具有包括壳体111、柱塞114A和止回件113的磁通回路体。装置100A还包括磁场源120A和一个或多个磁场传感器150A、150B、150C。装置100A包括控制电路200。柱塞114A至少部分地位于由壳体111所限定的孔内。柱塞114A可沿由壳体111限定的轴向移动。

装置100A可作为阀实现。阀包括位于柱塞114A相对于止回件113一侧的阀座116。阀座116包括流体孔。柱塞114A和阀座116的协同作用能对流过阀的流体流动进行控制。

图2b示出螺线管装置100A的沿平面2b剖切的横截面的俯视图。图2c示出螺线管装置100A的沿平面2c剖切的横截面的俯视图。具有一致宽度的对称环形间隙将壳体111和止回件114A分隔开。对称的间隙和和/或具有一致宽度的间隙提高了横过间隙延伸的磁通的一致性。

磁场源120A产生磁场。磁场源120A可被安装在壳体111和/或止回件113上。120A可包括线圈，当电流流过线圈时它感应出磁场。线圈可沿朝向或顺着止回件113的方向延伸超过柱塞114A，同时柱塞114A可沿相反方向延伸超过线圈。就如本领域内人员所知那样，由柱塞114A上的磁场所作用的力将柱塞114A拉向线圈，即远离阀座116。可改变柱塞114A和线圈的相对位置以使磁场源120A产生的磁场将朝向阀座116推动柱塞114A。

为了抵消由磁场引起的柱塞114A上的力，装置100可包括弹性装置，例如一个或多个弹簧以将柱塞114A朝向阀座116地推出线圈。由弹簧装置和磁场引起的柱塞114A上的平衡力控制柱塞114A和阀座116之间的间隔。当柱塞114A接触阀座116时，弹簧装置和磁场的合成作用对施加到阀座116的力进行控制。

壳体111、柱塞114A以及止回件113规定磁通回路体的诸部件，当被磁场源120A感应时，磁通穿过磁通回路体。壳体111、柱塞114A以及止回件113由能够汇聚磁通的材料制成。这种材料包括磁导性高于磁回路部件周围环境的材料。周围环境可以是例如空气。材料可因此为铁磁材料。

铁磁材料具有高磁导性并因此能更好地将磁通约束在磁通回路的诸部件中。磁通回路的诸部件包括一种材料或多种材料的组合。磁通汇聚材料(例如铁磁材料)增加了线圈的感应系数，该感应系数远高于其它类似空心线圈可获得的感应系数。

例如传感器150A、150B、150C的一个或多个磁场传感器可完全地设置于、部分设置于相关间隙内或紧挨着间隙设定。传感器150A、150B、150C无需整个或部分地容纳于间隙内，只要它能够有效地检测出沿间隙延伸的磁场即可。磁场传感器150A、150B、150C可包括霍尔元件、磁阻元件或磁致收缩型元件。一个或多个传感器150A、150B、150C能通过检测与一个或多个间隙相关的磁通(例如磁通密度)而监控磁通回路中的磁通。相对于施加到螺线管的经验电流所提供的监控而言，传感器150A、150B、150C能更精确地监控施加于柱塞的磁力。

传感器可位于其它位置以检测磁通。例如，传感器可位于由装置100A的诸部件限定的磁通回路中的任何适当间隙内。例如，如图2a所示，传感器150B可位于壳体111和柱塞114A之间的间隙内或传感器150C可位于止回件113和柱塞114A之间的间隙内。或者，阀座116可以是磁通回路的一部分而传感器(未图示)可位于阀座116和壳体111之间的间隙内。装置100A可包括位于一个或多个位置的一个以上传感器。

与传感器相关的间隙较为有利地完全不包括铁磁部分。也就是说，较为有利地不包括有效磁通旁路，即没有连接限定间隙两部分的顺畅的磁通路径。

提供本质上无磁通旁路的间隙使得磁通相当数量的部分延伸通过传感器150A所在的间隙部分。该间隙由此作为磁通回路中的阻抗部分。传感器150A因此能有效地检测与间隙相关的磁通。

壳体111和止回件113可由充满空气的环形间隙完全地分开。限定该间隙的结构是对称的，而间隙宽度是一致的，从而在间隙中提供基本一致的磁场以便于磁场的精确检测。

间隙不一定是无材料的。可在间隙内设置实际上低导磁率的固体、液体和/或气体材料。桥接间隙的固体材料可在壳体111和止回件113之间提供间接的机械联系以供机械支承。如上所述，横过过间隙延伸的机械支承结构的材料基本上不具有铁磁成分和顺磁性成分。

现在参阅图3，可通过控制所检测到的磁通而不是通过线圈电流的传统控制而对根据本发明原理的螺线管装置进行控制。图3示出用于操作螺线管装置的方法300的实施例的流程图。该方法可通过上述装置100、100A实现。方法300包括在包括间隙和磁通回路体(例如包括壳体、柱塞和/或止回件)的磁通回路中感应出磁通(步骤310)。方法300还包括检测出沿间隙延伸的磁通部分(步骤S320)。

感应磁通的步骤(步骤310)可包括响应所检测到的磁通部分而调节感应磁通(步骤S311)。可调整磁通以获得磁通的选择值(步骤S311a)。可选择该值以获得流速、柱塞位置、施加于柱塞的基于磁通的力和/或由柱塞施加到阀座的力中所选择的至少一个。

所选择的磁通值可通过将所测量得到的装置值与预选的装置值进行比较而获得。所测得的装置值和预选的装置值分别为测得的流速值以及所要求的流速值。因此当所测得的装置值偏离所预选的装置值时，可调节所选择的磁通值。由此，在方法300的一种实现中，当预选值和测得值之间具有所希望的一致时，则停止对所选磁通值的调整(步骤370)。

可将所选择的磁通值以磁场设定点的形式提供给功率源。功率源控制将功率传输到阀中的磁场发生器以调节所检测到的磁通，从而使其与磁场设定点一致。

方法300还包括：获取所检测到的磁通对螺线管装置的物理参数值相对的校正值(步骤350)。物理参数包括流速、施加于柱塞的电磁力和/或由柱塞施加到阀座的压力。可通过参考校正值而选择所选择的磁通。

在方法300的某些实现中，电流被施加到线圈以感应出回路中的磁通，另外选择所施加电流的值以控制回路的物理参数。方法300还包括将校正值添加到施加于线圈的电流选定值以获得响应所测得的磁通值而施加到线圈的电流实际值(步骤360)。以这种方式，可调节由用户选择的电流以获得施加到线圈的正确电流。由此，这种调节可弥补响应于所施加电流而遇上的磁滞。

方法300可包括反馈特征，通过这种特征所检测到的磁通支持装置的控制。装置100和方法300都能缓解磁滞造成的影响，并因此能提供更准确和可重复的流量控制，特别是在低流速情况下。可通过对装置100的手动或自动操作而实现这些优点。

在手动操作模式中，装置100的操作员可以监控来自例如传感器150A的读数。该操作员可对施加到源120A的电流进行控制以获得所需的磁场读数或获得对所选择的施加电流值的适当校正以获得所希望的响应(例如所要求的流速)。若干可替换的操作模式对本领域技术人员而言是很明显的。例如，操作员可参照将柱塞压力或流体流速与磁场磁通相关联的校正表并调节磁场发生器，直到获得所要求的磁通为止。

另外，控制电路200可至少部分自动地控制装置100A的功能。图4示出控制电路200A的一个实施例的示意图。控制电路200A提供对图1a所示的装置100A的控制，或作为如图2a所示装置100A的控制电路200。控制电路200A包括从装置操作员处接收所测得信号MS和预选值PV的运算放大器210。预选值PV可以是所要求的流速或所要求的磁通。所测得的信号可以是所测得的流速或由装置中的磁场传感器提供的所检测到的磁通。

控制电路200A可包括响应接收自发送器210的磁场设定点信号而将功率提供给磁场发生器的功率源220。例如，控制电路200A可实现反馈回路以将所测得的磁场保持在由阀操作员所选定的值上。功率源220可以是电流源而磁场发生器可以是线圈。

如上面提到的那样，检测到的磁场信号可以是所测得的信号MS以支持反馈环路，从而在螺线管中获得对应于磁场预选值PV的磁场。另外，由磁场传感器所提供的所测得信号MS可支持对所选螺线管电流的校正，并由此有效地减少对阀流量控制的速度和精确性产生影响的磁滞或其它效果。

在控制电路200A的另一种实现中，所测得的信号MS可由参数计(例如流速计)提供。而所预选值PV是所要求的参数值，例如所要求的流速值。

在该实施例中，磁场信号被指向功率源220。运算放大器210随后将所测得的信号MS与预选值进行比较，例如将测得的流速与预选的流速比较；运算放大器210将磁场设定点值提供给电流源220。因此，如方法300的上述步骤370所述那样，运算放大器210更新磁场设定点值，直到预选值PV和测量信号MS具有希望的一致为止。对磁设定点值的每次更新，功率源220更新传递给磁场发生器的功率以实现在磁场设定点值和所检测到的磁场之间的一致。

图5A和图5B示出由装置100、100A示出的根据本发明特征进行装配的采样阀所通过的空气流速的曲线图。流速数据可作为采样阀所施加电流(见图5A)和作为所测得磁场(图5B)的函数而被收集。曲线图示出当使用测得的磁场信号作为传感器提供的信号而控制流量的情况与将所选择的电流施加到线圈进行控制的情况相比，可获得的流速磁滞减少。

图5A示出作为施加到采样阀线圈的电流函数而获得的流速。大量磁滞出现在流速曲线弯曲点。即，当电流被循环通过相同的电流值时，可获得明显不同的流速。

相反地，当通过选择由霍尔效应传感器检测到的磁场而控制阀时，流速中的大多数磁滞消失。因此，相比所施加的力和所施加的电流之间的关系，在施加于柱塞的力与检测到的磁场之间具有更紧密的关联。

根据上述本发明原理可实现用于半导体制造场合的质量流量控制阀。可实现该阀以控制各种气体并获得较宽范围的流速和压力。例如，可在0.001托至1000托范围内的压力下以及0.001sscm至200slm范围的流速下进行气体传送。气体可包括惰性气体、反应气体或惰性气体与反应气体的混合。

“惰性气体”是那种在许多情况下为无反应的或具有低反应率的气体，包括氩和个其它稀有气体。“稀有气体”是包括氦、氖、氩、氪、氙有时为氡并表现出化学稳定性和低反应率的一组很少见的气体。“反应气体”是包含易于卷入一种或多种化学反应的某些种类的气体。“活跃气体”包括任何离子、自由基团、中性反应原子和分子。

尽管已结合特定较佳实施例对本发明进行详细的阐述和说明，但要知道，本领域内技术人员能在不脱离由所附权利要求限定的本发明的精神和范围的前提下，作出多种形式上和细节上的变化。例如，根据本发明原理实现的螺线管装置可适用于多种场合，诸如电磁铁、电子电路中的电感器、接收天线以及开关。

Claims (20)

1.一种螺线管装置，包括：

磁通回路体，至少部分由铁磁材料形成，并限定有效摆脱铁磁体桥的间隙；

磁场发生器，在包含磁通回路体和间隙的电路中产生磁通；以及

磁通传感器，对跨间隙延伸的磁通的一部分进行检测。

2.如权利要求1所述的螺线管装置，其特征在于，磁通回路体包括壳体和可移动地相对于壳体安装的柱塞。

3.如权利要求2所述的螺线管装置，其特征在于，磁通回路体还包括横贯于柱塞移动方向的止回件，其中壳体、柱塞和止回件中的两个彼此由间隙分隔。

4.如权利要求2所述的螺线管装置，其特征在于，还包括与柱塞协同地控制流体流速的阀座。

5.如权利要求1所述的螺线管装置，其特征在于，所述传感器被设置在间隙中。

6.如权利要求1所述的螺线管装置，其特征在于，间隙是对称的，由此在间隙中提供一致的磁通。

7.如权利要求1所述的螺线管装置，其特征在于，所述间隙具有一致的宽度。

8.如权利要求1所述的螺线管装置，其特征在于，间隙限定一个环形。

9.如权利要求1所述的螺线管装置，其特征在于，还包括设置在间隙中并具有低于铁磁材料磁导率的磁导率的材料。

10.如权利要求9所述的螺线管装置，其特征在于，位于间隙中的材料包括气体、液体和固体中的至少一种。

11.如权利要求1所述的螺线管装置，其特征在于，磁场发生器包括线圈。

12.如权利要求1所述的螺线管装置，其特征在于，还包括与磁通传感器以及磁场发生器电气连接的控制电路，从而通过响应磁通检测到的部分而控制施加到磁场发生器的信号以保持间隙中磁通的所选择值。

13.如权利要求1所述的螺线管装置，其特征在于，螺线管装置是开关。

14.一种螺线管装置，包括：

磁通回路体，至少部分由铁磁材料形成，并限定有效摆脱铁磁体桥的间隙；

用于在包含磁通回路体和间隙的电路中感应出磁通的装置；以及

用于检测跨间隙延伸的磁通的一部分的装置。

15.一种用于操作螺线管装置的方法，包括：

提供磁通回路体，该磁通回路体至少部分由铁磁材料形成并限定有效摆脱铁磁体桥的间隙；

在包含磁通回路体和间隙的电路中感应出磁通，由此使磁通基本通过磁通回路体并横跨间隙延伸；以及

检测出横跨间隙延伸的磁通的一部分。

16.如权利要求15所述的方法，其特征在于，感应出磁通的步骤包括：响应磁通检测到的部分而控制横跨间隙延伸的磁通值，以控制施加到柱塞的磁力。

17.如权利要求15所述的方法，其特征在于，材料被设置在间隙中并具有低于磁通回路体的磁导率的磁导率。

18.如权利要求15所述的方法，其特征在于，磁通回路体包括柱塞，另外还包括：提供协同于柱塞而控制流量流速的阀座；响应所检测到的磁通部分保持间隙中的磁通值以提供与磁通值相关的流体流速值。

19.一种操作流体控制阀的方法，包括：

将测得的阀流速与预选的流速进行比较；

检测阀磁通回路中的磁通的一部分；以及

使所检测到的磁通改变，直到测得的流速与预选的流速一致。

20.如权利要求19所述的方法，其特征在于，将测得的流速与预选流速进行比较的步骤包括：当所测得的流速与预选流速偏离时改变磁场设定点；且使所检测到的磁通改变的步骤包括：使检测到的磁通对应于磁场设定点。

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