KR20070073013A

KR20070073013A - 수평 감지용 센서의 위치 조정장치 및 그 조정 방법

Info

Publication number: KR20070073013A
Application number: KR1020060000469A
Authority: KR
Inventors: 배승준
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2006-01-03
Filing date: 2006-01-03
Publication date: 2007-07-10

Abstract

수평 감지용 센서의 수평 위치 조절을 위한 수평 감지용 센서의 위치 조정장치 및 그 조절방법을 제공한다. 그 조정장치는 발광센서 및 수광센서를 포함하는 수평 감지용 센서를 이용하는 반도체 제조 설비에 있어서, 상면이 직사각형 형태를 가진 본체; 본체 상면 양 측면으로 각각 형성된 레일; 레일 각각에 결합되고 상기 레일을 따라 이동할 수 있는 2 개의 지지대; 및 2 개의 지지대 사이에 결합되어 있고 상기 2개의 지지대 사이에서 상하 이동할 수 있는 센싱(sensing) 위치 측정판을 포함한다.

Description

수평 감지용 센서의 위치 조정장치 및 그 조정 방법{Device for controlling position of level sensing sensor and method of controlling position of the same sensor}

도 1a는 웨이퍼 차저(charger)를 개략적으로 보여주는 사시도이다.

도 1b는 도 1a의 웨이퍼 차저의 수평 감지용 센서의 에러를 보여주는 단면도이다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 수평 감지용 센서의 위치 조정장치를 개략적으로 보여주는 사시도이다.

도 3은 도 2의 위치 조정장치가 수평 감지용 센서의 위치를 조정하는 방법을 설명하기 위한 사시도이다.

도 4는 본 발명의 수평 감지용 센서의 위치 조정장치를 통해 수평 감지용 센서의 위치를 조정하는 방법에 관한 흐름도이다.

<도면에 주요 부분에 대한 설명>

100:본체........................200:레일

300:지지대......................320:이동 나사

400:센싱 위치 측정판

본 발명은 반도체 제조 설비에 관한 것으로, 특히 반도체 제조 설비에 사용되는 수평 감지용 센서의 위치 조정을 위한 장치 및 그 장치를 이용한 센서의 위치 조정방법에 관한 것이다.

반도체 제조 설비 여러 분야에서 장비의 수평을 맞추기 위한 센서가 필요하다. 예를 들면, 공정 챔버 내에서 웨이퍼의 수평 안착 상태를 검사하거나, 웨이퍼를 공정 챔버로 운반하는 웨이퍼 차저(charger)에 안치 상태를 검사할 때 수평 감지용 센서가 사용된다. 여기서, 웨이퍼 차저는 웨이퍼 이송장치로서 웨이퍼를 공정 챔버로, 공정 챔버에서 언로드 카세트(unload cassette)로 웨이퍼를 이송하는 반송계의 유닛이다.

도 1a은 웨이퍼 차저를 개략적으로 보여주는 사시도이다.

도 1a을 참조하면, 차저(10)는 사이드 플레이트(11,11a)의 사이에 일정간격을 두고 수 개의 행거(12)들이 설치되어 있고, 그 행거(12)들의 내측에는 다수개의 슬롯(13a)이 형성된 지지판(13)이 설치되어 있으며, 사이드 플레이트(11a)에는 행거(12)들을 동작시키기 위한 구동부(14)가 설치되어 있다.

그리고 일측 사이드 플레이트(11)의 내측면에는 정상적으로 장착되는 웨이퍼(미도시)들의 높이 보다 약간 높은 위치에 발광센서(32)를 설치하고, 타측 사이드 플레이트(11a)의 내측면에는 상기 발광센서(32)와 동일 높이에 수광센서(34)를 설치된다. 발광센서(32) 및 수광센서(34)가 함께 수평 감지용 센서(30)를 형성한다.

도 1b는 도 1a의 웨이퍼 차저의 수평 감지용 센서의 에러를 보여주는 웨이퍼 차저의 단면도이다.

도 1b를 참조하면, 웨이퍼 차저(10)의 양 사이드로 수평 감지용 센서(30)가 도시되고, 웨이퍼 차저(10)에는 웨이퍼(20)가 장착되어 있다. 수평 감지용 센서(30)의 작용을 간단히 설명하면, 웨이퍼(20)가 정상적으로 장착되었는 지를 검사하기 위하여, 발광 센서(32)가 빛을 조사하면, 수광센서(34) 그 빛을 수광하게 된다. 따라서, 웨이퍼(20)가 잘못 안착 되는 경우, 발광 센서(32)의 빛이 웨이퍼에 의해 차단되고, 수광센서(34)는 빛을 수광하지 못하게 되어, 웨이퍼(20)가 잘못 안착 되어 있는 것으로 인식된다.

그러나 도시한 바와 같이 수광센서(34)의 위치가 잘못 설치되어 있는 경우, 발광센서(32)의 빛은 수평경로(A)가 아닌 약간 비스듬한 경로(B)를 따라 진행하고, 따라서, 잘못 안착 된 웨이퍼(21)를 인식 못 하는 경우가 발생한다. 이렇게 잘못 안착 된 웨이퍼(21)는 공정 챔버 투입 중에 또는, 다른 웨이퍼 이송장치나 저장 장치로 이동될 때, 깨어지거나 장치들 사이에 끼이게 되어 공정을 중지시키는 결과를 발생시킨다.

현재, 그러한 수평 감지용 센서(30)는 작업자가 눈 짐작으로 수평을 맞추고 있는 실정이고, 그에 따라 전술한 바와 같은 수평 불량에 따른 공정 에러가 종종 발생한다.

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 수평 감지용 센서의 수평 위치를 정확히 맞추기 위한 수평 감지용 센서의 위치 조정장치 및 그 조정방법을 제공하는 데에 있다.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명은 발광센서 및 수광센서를 포함하는 수평 감지용 센서를 이용하는 반도체 제조 설비에 있어서, 상면이 직사각형 형태를 가진 본체; 상기 본체 상면 양 측면으로 각각 형성된 레일; 상기 레일 각각에 결합되고 상기 레일을 따라 이동할 수 있는 2 개의 지지대; 및 상기 2 개의 지지대 사이에 결합되어 있고 상기 2개의 지지대 사이에서 상하 이동할 수 있는 센싱(sensing) 위치 측정판을 포함하는 수평 감지용 센서의 위치 조정장치를 제공한다.

본 발명의 바람직한 실시예에 의하면, 상기 측정판은 빛의 높낮이를 측정할 수 있는 눈금이 새겨져 있고, 상기 레일을 통해 전후로 이동될 수 있다. 따라서, 상기 측정판은 상기 발광센서 바로 앞에서 빛의 위치를 측정하고 다음 수광센서가 설치되는 위치에서 발광센서의 빛을 측정한 후, 그 측정 결과에 따라 발광센서를 조정하고 또한 수광센서를 설치하는데 이용된다.

본 발명은 또한 상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 상기 수평 감지용 센서의 위치 조정장치를 이용하여, 수평 감지용 센서의 위치를 조정하는 수평 감지용 센서의 위치 조정방법을 제공한다.

본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 상기 위치 조정 방법은 상기 발광센서에 인접하여 상기 발광센서의 빛의 위치를 상기 측정판을 이용하여 측정하는 단계; 상기 수광센서가 설치되는 위치 또는 발광센서에서 가장 먼 거리로 상기 측정판을 이동하고 상기 발광센서의 빛의 위치를 측정하는 단계; 상기 측정판에 빛의 위치가 일정하게 되도록 상기 발광센서를 조정하는 단계; 및 상기 발광센서의 빛이 수광되는 위치에 상기 수광센서를 설치하는 단계;를 포함한다.

상기 수평 감지용 센서 위치 조정방법은 웨이퍼 차저의 수평 감지용 센서에 이용될 수 있고, 한편, 웨이퍼 차저에 이용되는 경우 일반적으로 웨이퍼 차저에 의해 웨이퍼가 공정 챔버 내부로 투입되는 위치인 CD 포지션에서 상기 위치 조정방법을 적용하게 된다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 이하의 설명에서, 도면의 각 구성 요소의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 생략되거나 과장되었고, 도면상에서 동일 참조부호는 동일한 구성 요소를 지칭한다. 한편, 사용되는 용어들은 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다.

도 2를 참조하면, 수평 감지용 센서의 위치 조정장치(이하 '조정장치'라 한다.)는 본체(100), 레일(200), 지지대(300) 및 센싱(sensing) 위치 측정판(400)을 포함한다. 본체(100)는 전체적으로 직육면체 형태를 띠며, 상면은 한 쪽 방향(이하 '장축방향'이라 한다.)으로 길쭉한 직사각형 형태를 가진다. 본체(100) 상면으로 장축 방향을 따라 양 측단으로 레일(200)이 2 개 형성된다. 본 실시예에서는 2 개 의 레일(200)을 형성하였지만, 필요에 따라 1개 또는 3 개 이상의 레일을 형성할 수도 있음은 물론이다.

레일(200) 각각의 상부로는 지지대(300)가 형성되는데, 도시한 바와 같이 레일(200) 위를 움직일 수 있는 구조로 형성된다. 한편, 지지대(300) 어느 한쪽에는 눈금이 형성되어 센싱 위치 측정판(400)의 위치를 확인할 수 있도록 되어 있다.

지지대(300)를 가로질러 센싱 위치 측정판(400)이 형성되는데, 센싱 위치 측정판(400)은 지지대(300) 사이에서 상하로 이동할 수 있는 구조로 형성된다. 센싱 위치 측정판(400)의 상하 운동은 지지대(300) 양 측면에 형성되어 있는 상하 이동 나사(320)를 통해 조절된다. 한편, 센싱 위치 측정판에도 눈금이 형성되어 있는데, 지지대(200)에 형성된 눈금과 함께 발광 센서에서 나오는 빛의 높낮이를 측정하는 역할을 한다. 도면상 수직 방향으로는 눈금이 새겨져 있지 않지만, 발광 센서의 빛의 높낮이뿐만 아니라 좌우 방향으로도 정확히 조절하기 위해서 센싱 위치 측정판의 수직방향으로 눈금이 새겨질 수 있음은 물론이다.

도 3을 참조하면, 조정장치의 측정판(400)은 전후(화살표 방향)로 움직임이 가능하므로, 처음 발광센서가 있는 부분에 최대로 조정장치를 밀착하고, 측정판(400)을 앞으로 최대로 이동(점선부분까지)시킨 후, 발광센서로부터의 빛의 위치를 측정한다. 그 후 측정판(400)을 수광센서가 위치되는 곳까지 이동(L)시킨 후 다시 발광센서의 빛의 위치를 측정한다. 조정장치의 길이가 수광센서가 위치하는 곳까지 의 거리보다 작은 경우에는 최대로 측정판(400)을 후퇴시키고 발광센서의 빛의 위치를 측정한다.

이때, 발광센서의 빛이 처음과 틀어지면, 발광센서를 조절하여 그 위치를 맞춘다. 수평 감지용 센서의 높낮이만이 중요한 경우는 눈금을 통해 그 높낮이만 조절할 수 있으나, 좌우 위치도 조절하는 것이 바람직하다. 예를 들면, 웨이퍼 차저와 같은 경우는 높낮이가 중요하므로 어느 정도의 좌우 위치는 약간 틀어질 수 있다. 발광센서의 위치조정이 끝나면, 발광센서의 빛이 측정판(400)에 조사되는 위치에 수광센서를 설치 또는 조정하게 된다.

본 실시예에서는 조정장치를 이용하여 수평 감지용 센서의 수평 위치를 맞춤으로써, 종래 작업자의 눈을 통해 대충 수평을 맞춤으로 인해 발생했던 에러를 근본적으로 차단할 수 있다.

본 발명의 조정장치는 전술한 웨이퍼 차저의 수평 감지용 센서의 수평 위치조정에도 유용하게 활용될 수 있다. 웨이퍼 차저에 이용되는 경우, 웨이퍼가 공정 챔버 내부로 투입되는 위치인 CP 포지션에서의 웨이퍼의 위치 불량이 가장 문제가 되므로, CD 포지션에서 본 발명의 조정장치를 적용하여 웨이퍼 차저의 수평 감지용 센서의 수평 위치를 조정하는 것이 바람직하다.

도 4는 본 발명의 수평 감지용 센서의 위치 조정장치를 통해 수평 감지용 센서의 위치를 조정하는 방법을 개략적으로 보여주고 있는 흐름도이다. 이하, 도 2의 조정장치를 인용하여 설명한다.

도 4를 참조하면, 먼저 수평 감지용 센서의 위치를 조정하기 위한 도 2의 조 정장치를 준비한다(S100), 다음 조정장치를 조정하고자 하는 수평 감지용 센서의 발광센서에 밀착하고 측정판(400)을 발광센서에 최대한 접근시켜 발광센서의 빛의 위치를 측정한다(S200). 이후 측정판(400)을 수광센서가 설치되는 위치 또는 조정장치의 최후단으로 이동하여 발광센서의 빛의 위치를 측정한다(S300). 측정된 빛의 위치를 처음과 동일한 위치로 유지시키기 위해 발광센서를 조정한다(S400). 발광센서의 조정이 끝난 후, 발광센서의 빛이 위치하는 곳에 수광센서를 설치 또는 조정한다(S500).

본 발명의 수평 감지용 센서의 위치 조정장치 및 그 조정방법은 센서의 수평 조정은 웨이퍼 차저의 수평 감지용 센서에 이용될 수 있음은 전술한 바와 같고, 한편 웨이퍼 차저뿐만 아니라 센서의 수평 조정이 필요한 반도체 제조 설비의 다양한 곳에 본 발명의 조정장치 및 조정방법이 채용될 수 있음은 물론이다.

지금까지, 본 발명을 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명의 수평 감지용 센서 위치 조정장치는 전후 및 좌우 이동이 자유로운 센싱 위치 측정판을 구비하고, 그 측정판을 이용함으로써, 수평 감지용 센서의 정확한 수평 위치를 조절할 수 있다.

또한, 본 발명의 조정장치 및 그 조정방법은 수평 조정이 필요한 반도체 제조 설비의 다양한 분야에서 손쉽게 이용될 수 있는 장점을 가진다.

Claims

발광센서 및 수광센서를 포함하는 수평 감지용 센서를 이용하는 반도체 제조 설비에 있어서,

상면이 직사각형 형태를 가진 본체;

상기 본체 상면 양 측면으로 각각 형성된 레일;

상기 레일 각각에 결합되고 상기 레일을 따라 이동할 수 있는 2 개의 지지대; 및

상기 2 개의 지지대 사이에 결합되어 있고 상기 2개의 지지대 사이에서 상하 이동할 수 있는 센싱(sensing) 위치 측정판을 포함하는 수평 감지용 센서의 위치 조정장치.
제1 항에 있어서,

상기 조정장치는 상기 발광센서의 빛의 높낮이를 측정할 수 있는 수단이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 수평 감지용 센서의 위치 조정장치.
제2 항에 있어서,

상기 측정 수단은 상기 지지대의 어느 한쪽 및 상기 측정판에 새겨진 눈금인 것을 특징으로 하는 수평 감지용 센서의 위치 조정장치.
제1 항에 있어서,

상기 측정판은 상기 발광센서의 빛이 일정 높이에서 수광되도록 상기 수광센서를 설치하는데 이용되는 것을 특징으로 하는 수평 감지용 센서의 위치 조정장치.
제4 항에 있어서,

상기 측정판은 상기 발광센서의 근처에서 상기 수광센서가 설치되는 위치로 이동되면서, 상기 발광센서의 빛이 일정 높이를 유지하도록 상기 발광센서를 조정하는 데 이용되는 것을 특징으로 하는 수평 감지용 센서의 위치 조정장치.
제1 항에 있어서,

상기 조정장치는 다수의 웨이퍼를 이동시키는 웨이퍼 차저(charger)의 수평 감지용 센서의 위치조정에 사용되는 것을 특징으로 하는 수평 감지용 센서의 위치 조정장치.
제6 항에 있어서,

상기 조정장치는 상기 웨이퍼가 공정 챔버(chamber)로 투입되는 위치인 CD 포지션에서 상기 수평 감지용 센서의 적정 위치 측정에 이용되고,

상기 위치 측정 결과에 따라 상기 웨이퍼 차저의 상기 수평 감지용 센서가 조정되는 것을 특징으로 하는 수평 감지용 센서의 위치 조정장치.
제1 항의 센서 위치 조정장치를 이용하여,

수평 감지용 센서의 위치를 조정하는 수평 감지용 센서의 위치 조정방법.
제8 항에 있어서,

상기 지지대의 어느 한쪽 및 상기 측정판에는 눈금이 새겨져 있고,

상기 위치 조정 방법은,

상기 발광센서에 인접하여 상기 발광센서의 빛의 위치를 상기 측정판을 이용하여 측정하는 단계;

상기 수광센서가 설치되는 위치 또는 발광센서에서 가장 먼 거리로 상기 측정판을 이동하고 상기 발광센서의 빛의 위치를 측정하는 단계;

상기 측정판에 빛의 위치가 일정하게 되도록 상기 발광센서를 조정하는 단계; 및

상기 발광센서의 빛이 수광되는 위치에 상기 수광센서를 설치하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 수평 감지용 센서의 위치 조정방법.
제9 항에 있어서,

상기 위치 조정방법을 다수의 웨이퍼를 이동시키는 웨이퍼 차저(charger)의 수평 감지용 센서의 위치조정에 이용하는 것을 특징으로 하는 수평 감지용 센서의 위치 조정방법.
제10 항에 있어서,

상기 조정방법을 상기 웨이퍼가 공정 챔버(chamber)로 투입되는 위치인 CD 포지션에서 수행하는 것을 특징으로 하는 수평 감지용 센서의 위치 조정방법.