KR20070070916A - 인쇄장비 및 이를 이용한 액정표시소자 제조방법 - Google Patents

Abstract

이동레일; 상기 이동레일 상에 위치한 인쇄판 및 기판; 상기 이동레일을 통해 상기 인쇄판 및 기판을 경유하여 패턴을 전사하는 인쇄롤; 상기 인쇄롤에 패턴물질을 전사하기 위한 코팅롤; 및 상기 코팅롤에 패턴물질을 도포하기 위한 인쇄노즐을 포함하여 이루어지는 인쇄장비에 관한 것으로서,

본 발명에 따르면, 코팅롤에 패턴물질을 도포한 후 이를 인쇄롤에 전사하기 때문에, 인쇄공정 중 용제 흡수에 의한 블랭킷의 영향을 최소화할 수 있어, 블랭킷을 자주 교체하지 않아도 되므로 제조비용이 절감된다.

인쇄롤, 코팅롤, 블랭킷, 세정노즐

Description

인쇄장비 및 이를 이용한 액정표시소자 제조방법 {Printing Apparatus and Method of manufacturing Liquid Crystal Display Device using the same}

도 1a 내지 도 1c는 종래의 포토리소그래피공정을 대략적으로 도시한 단면도이다.

도 2a 내지 도 2c는 본 발명에 따른 인쇄롤 및 인쇄판을 이용하여 기판 상에 패턴을 형성하는 공정을 도시한 단면도이다.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 인쇄장비를 개략적으로 도시한 단면도이다.

도 4a 내지 도 4d는 본 발명의 실시예에 따른 인쇄장비를 이용하여 패턴을 형성하는 방법을 개략적으로 도시한 공정 단면도이다.

도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시소자의 제조방법을 개략적으로 도시한 공정 단면도이다.

<도면의 주요부의 부호에 대한 설명>

100 : 기판 300 : 인쇄롤

320 : 블랭킷 350 : 코팅롤

500 : 인쇄판 600 : 이동레일

700 : 세정기 800 : 인쇄노즐

850 : 세정노즐 900 : 인쇄노즐 배스

본 발명은 액정표시소자에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 액정표시소자의 패턴을 형성하기 위한 장비 및 패턴형성방법에 관한 것이다.

표시화면의 두께가 수 센치미터(cm)에 불과한 초박형의 평판표시소자(Flat Panel Display), 그 중에서도 액정표시소자는 동작 전압이 낮아 소비 전력이 적고 휴대용으로 쓰일 수 있는 등의 이점으로 노트북 컴퓨터, 모니터, 우주선, 항공기 등에 이르기까지 응용분야가 넓고 다양하다.

상기 액정표시소자는 하부기판, 상부기판, 및 상기 양 기판 사이에 형성된 액정층을 포함하여 구성되며, 일반적으로 상기 하부기판 상에는 박막트랜지스터 및 화소전극이 형성되어 있고, 상기 상부 기판 상에는 차광층, 컬러필터층 및 공통전극이 형성되어 있다.

이와 같이 액정표시소자는 다양한 구성요소들을 포함하고 있으며 그 구성요소들을 형성하기 위해 수많은 공정들이 반복적으로 행해지게 된다. 특히, 다양한 구성요소들을 다양한 형태로 패터닝하기 위해서 포토리소그래피공정이 주로 사용되고 있다.

이하에서, 도면을 참조로 종래의 포토리소그래피공정을 통한 패턴 형성 방법을 설명하기로 한다.

도 1은 종래의 포토리소그래피공정을 대략적으로 도시한 단면도이다.

우선, 도 1a에서 알 수 있듯이, 투명기판(10)상에 패턴물질층(20)을 형성한다.

그 후, 도 1b에서 알 수 있듯이, 상기 패턴물질층(20) 위에 소정 패턴의 마스크(25)를 위치시킨 후 광 조사장치를 통해 광을 조사한다.

그 후, 도 1c에서도 알 수 있듯이, 현상공정을 통해 패턴(20a)을 완성한다.

그러나 상기 포토리소그래피 공정은 소정 패턴의 마스크를 이용해야 하므로 그 만큼 제조비용이 상승되는 단점이 있으며, 또한 노광 공정 및 현상 공정 등을 거쳐야 하므로 공정이 복잡하고 공정시간이 오래 걸리는 단점이 있다.

따라서 상기 포토리소그래피 공정의 단점을 해결하기 위한 새로운 패턴 형성 방법이 요구되었으며, 그와 같은 요구에 따라 인쇄롤 및 인쇄판을 이용하여 패턴을 형성하는 방법이 고안되었다.

도 2a 내지 도 2c는 인쇄롤 및 인쇄판을 이용하여 기판 상에 패턴을 형성하는 공정을 도시한 단면도이다.

우선, 도 2a에서 알 수 있듯이, 인쇄노즐(40)을 이용하여 패턴물질(20)을 그 표면에 블랭킷(32)이 부착된 인쇄롤(30)에 도포한다.

그 후, 도 2b에서 알 수 있듯이, 소정 형상의 돌출부(55)가 형성된 인쇄판(50) 상에서 상기 인쇄롤(30)을 회전시켜, 상기 인쇄판(50)의 돌출부(55)에 일부 패턴물질(20b)을 전사하고 잔존하는 패턴물질(20a)에 의해 인쇄롤(30)에 소정 형상의 패턴을 형성한다.

상기 인쇄롤(30) 표면에 부착된 블랭킷(32)은 어느 정도의 탄성을 가진 수지 로 되어 있어, 상기 인쇄롤(30)에 도포된 패턴물질을 인쇄판(50)에 전사할 때, 상기 인쇄롤(30)과 인쇄판(50) 사이의 마찰을 줄여준다.

그 후, 도 2c에서 알 수 있듯이, 기판(10) 상에서 상기 인쇄롤(30)을 회전시켜 상기 기판(10) 상에 패턴물질(20a)을 전사하여 기판(10) 상에 패턴을 형성한다.

이와 같이 인쇄롤 및 인쇄판을 이용한 패턴형성방법은 소정 패턴의 마스크를 이용하지 않아도 되므로 제조비용이 절감되고, 노광 공정 및 현상 공정 등을 거칠 필요가 없으므로 공정시간이 단축된다.

다만, 상기 패턴형성방법은, 인쇄노즐을 이용하여, 블랭킷이 부착된 인쇄롤에 패턴물질을 직접 도포하기 때문에, 패턴물질에 포함된 용제가 블랭킷에 흡수되어 블랭킷이 팽윤되거나 변형이 발생한다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로,

본 발명의 제1목적은 액정표시소자를 저가의 비용으로 제조할 수 있도록 하기 위하여, 인쇄롤의 표면에 부착된 블랭킷의 변형을 최소화할 수 있는 인쇄장비를 제공하는 것이고,

본 발명의 제2목적은 상기 인쇄장비를 이용하여 패턴을 형성하는 방법을 제공하는 것이고,

본 발명의 제3목적은 상기 패턴형성방법을 이용하여 액정표시소자를 제조하는 방법을 제공하는 것이다.

본 발명은 상기와 같은 제1목적을 달성하기 위해서, 이동레일; 상기 이동레일 상에 위치한 인쇄판 및 기판; 상기 이동레일을 통해 상기 인쇄판 및 기판을 경유하여 패턴을 전사하는 인쇄롤; 상기 인쇄롤에 패턴물질을 전사하기 위한 코팅롤; 및 상기 코팅롤에 패턴물질을 도포하기 위한 인쇄노즐을 포함하여 이루어지는 인쇄장비를 제공한다.

또한 본 발명의 특징은, 코팅롤이 포함되어 구성되는 인쇄장비를 제공함으로써 제조비용을 절감하고, 코팅품질을 개선할 수 있다는 데 있다.

상기 코팅롤에는 블랭킷이 부착되어 있지 아니하므로, 패턴물질을 코팅롤에 먼저 도포하면, 즉시 상기 패턴물질에 포함된 용제가 증발한다.

상기 용제가 증발된 패턴물질을 블랭킷이 부착된 인쇄롤로 전사하기 때문에, 상기 블랭킷이 용제의 침투로 손상되는 것을 막을 수 있다.

이와 같이 코팅롤을 이용하여 블랭킷의 변형을 막음으로써, 블랭킷의 사용 횟수가 증가하게 되어, 제조비용이 절감된다.

이 때, 상기 인쇄장비는 상기 코팅롤을 세정하기 위한 세정노즐을 추가로 포함할 수 있다.

상기 세정노즐은 신너, 아세톤 등 건조가 빠른 물질을 토출함으로써 압력 및 화학적 상호작용으로 코팅롤을 세정한다.

도 2b에서 알 수 있듯이, 인쇄판(50)은 한 번 이용하고 나면, 소정 형상의 돌출부(55) 상에 패턴물질(20b)이 남게 되어, 다시 이용하기 위해서는 세정공정이 필요하므로, 상기 인쇄장비는 상기 인쇄판을 세정하기 위한 세정기를 추가로 포함 할 수 있다.

상기 세정기는 세정액 분사장치 및 에어 나이프와 같은 건조장치로 이루어져 있다.

상기 세정기는 이동레일 상에 위치할 수 있고, 인쇄롤이 인쇄판에 패턴물질을 전사한 후, 인쇄판으로 이동하여 인쇄판을 세정한다.

상기 인쇄장비는 상기 인쇄노즐 내부의 패턴물질의 경화를 막기 위한 인쇄노즐 배스를 추가로 포함할 수 있다.

상기 인쇄노즐 배스는 그 내부에 신너, 아세톤 등의 유기용제가 있어, 상기 인쇄노즐 내부에 있는 패턴물질의 경화를 막아준다.

또한, 본 발명은 상기 제2목적을 달성하기 위해서, 인쇄노즐을 이용하여 코팅롤에 패턴물질을 도포하는 공정; 상기 코팅롤에 도포된 패턴물질을 인쇄롤에 전사하는 공정; 소정 형상의 돌출부가 형성된 인쇄판 상에서 상기 인쇄롤을 회전시켜 상기 인쇄판의 돌출부에 일부 패턴물질을 전사하는 공정; 및 기판 상에서 상기 인쇄롤을 회전시켜 잔존하는 패턴물질을 전사하는 공정으로 이루어진 패턴형성방법을 제공한다.

이 때, 상기 패턴형성방법은 상기 인쇄노즐을 인쇄노즐 배스로 이동시키는 공정을 추가로 포함할 수 있다.

상기 인쇄노즐은 그 내부에 패턴물질을 포함하고 있어, 인쇄공정 동안 상기 패턴물질에 포함된 용제가 증발하여 패턴물질이 굳을 염려가 있기 때문에, 신너, 아세톤 등의 유기 용제가 들어있는 인쇄노즐 배스가 필요하다.

상기 인쇄노즐을 인쇄노즐 배스로 이동시키는 공정은 상기 인쇄노즐을 이용하여 코팅롤에 패턴물질을 도포하는 공정 이후에 이루어질 수 있다.

이 때, 상기 패턴형성방법은 세정노즐을 이용하여 상기 코팅롤을 세정하는 공정을 추가로 포함할 수 있다.

상기 코팅롤에 도포된 패턴물질을 인쇄롤에 전사할 때, 코팅롤에 도포된 패턴물질 중 일부분은 인쇄롤에 전사하지 않을 수 있다.

상기 코팅롤에 도포된 패턴물질을 모두 인쇄롤에 전사하는 경우보다, 일부분을 전사시키지 않고 상기 세정노즐로 닦아 냄으로써 코팅의 효율을 높일 수 있다.

상기 세정노즐을 이용하여 상기 코팅롤을 세정하는 공정은 상기 코팅롤에 도포된 패턴물질을 인쇄롤에 전사하는 공정 이후에 이루어질 수 있다.

이 때, 상기 패턴형성방법은 세정기를 이용하여 상기 인쇄판을 세정하는 공정을 추가로 포함할 수 있다.

인쇄판은 한 번 이용하고 나면, 소정 형상의 돌출부 상에 패턴물질이 남게 되어, 다시 이용하기 위해서는 세정공정이 필요하기 때문이다.

상기 세정기를 이용하여 상기 인쇄판을 세정하는 공정은 기판 상에서 상기 인쇄롤을 회전시켜 잔존하는 패턴물질을 전사하는 공정 이후에 이루어질 수 있다.

또한, 본 발명은 상기 제3목적을 달성하기 위해서, 제1기판 상에 차광층을 형성하는 공정; 상기 차광층을 포함하는 제1기판 상에 컬러필터층을 형성하는 공정; 제2기판을 준비하는 공정; 및 상기 제1기판 및 제2기판 사이에 액정층을 형성하는 공정을 포함하여 이루어지며,

상기 제1기판 상에 차광층을 형성하는 공정, 상기 컬러필터층을 형성하는 공정 중 적어도 하나의 공정은, 전술한 인쇄장비를 이용하여 패턴을 형성하는 공정으로 이루어질 수 있다.

상기 제2기판을 준비하는 공정은, 전술한 인쇄장비를 이용하여 상기 제2기판 상에 서로 종횡으로 교차되어 화소영역을 정의하는 게이트 배선 및 데이터 배선과, 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차 영역에 박막트랜지스터와, 상기 박막트랜지스터와 연결되는 화소전극을 형성하는 공정을 포함하여 이루어질 수 있다.

이 때, 상기 제1기판 및 제2기판 사이에 액정층을 형성하는 공정은, 상기 제1기판 또는 제2기판 중 어느 하나의 기판에 주입구 없는 씨일재를 형성하고, 상기 씨일재가 형성된 기판에 액정을 적하한 후 양 기판을 합착하는 공정으로 이루어질 수 있다.

또한, 상기 제1기판 및 제2기판 사이에 액정층을 형성하는 공정은, 상기 제1기판 또는 제2기판 중 어느 하나의 기판에 주입구가 형성되도록 씨일재를 형성한 후 양 기판을 합착하고, 그 후에 상기 주입구를 통해 액정을 주입하여 형성할 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.

1. 인쇄장비

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 인쇄장비를 개략적으로 나타낸 단면도이다.

도 3에서 알 수 있듯이, 본 발명의 실시예에 따른 인쇄장비는 이동레일 (600), 상기 이동레일(600) 상에 위치한 인쇄판(500) 및 기판(100), 상기 이동레일(600)을 통해 상기 인쇄판(500) 및 기판(100)을 경유하여 패턴을 전사하는 인쇄롤(300), 상기 인쇄롤(300)에 패턴물질(200)을 전사하기 위한 코팅롤(350), 및 상기 코팅롤(350)에 패턴물질(200)을 도포하기 위한 인쇄노즐(800)을 포함하여 이루어진다.

이 때, 상기 인쇄롤(300)은 그 표면에 Si계 수지층으로 이루어진 블랭킷(320)이 부착되어 있다.

상기 블랭킷(320)은 Si계 수지층으로 이루어져 있기 때문에, 어느 정도의 탄성을 가지고 있어, 인쇄롤(300)이 인쇄판(500)에 패턴물질을 전사할 때 및 인쇄롤(300)이 기판(100)에 패턴물질을 전사할 때, 인쇄롤(300)과 인쇄판(500), 인쇄롤(300)과 기판(100) 사이의 마찰을 줄여준다.

다만, 종래기술에 따르면 상기 인쇄롤(300)에 패턴물질(200)을 직접 도포하기 때문에, 패턴물질(200)에 포함된 용제가 블랭킷(320)에 흡수되어, 블랭킷(320)이 팽윤되거나 변형이 발생한다.

본 발명의 구성에 따르면, 상기 코팅롤(350)은 블랭킷(320)이 부착되지 아니하여, 패턴물질(200)을 도포된 후, 즉시 용제가 증발하기 때문에, 인쇄롤(300)로 패턴물질(200)을 전사하더라도 인쇄롤(300)의 블랭킷(320)은 영향을 받지 않는다.

또한, 상기 코팅롤(350)을 이용하여 인쇄롤(300)에 패턴물질(200)을 도포하는 경우, 코팅롤(350)이 인쇄롤(300)에 어느 정도의 압력을 주므로, 인쇄노즐(800)을 이용하여 바로 인쇄롤(300)에 패턴물질(200)을 도포하는 경우보다 패턴물질 (200)의 막균일도를 높일 수 있다.

세정노즐(850)은 상기 코팅롤(350)이 인쇄롤(300)에 패턴물질(200)을 전사한 후, 상기 코팅롤(350)에 잔존하는 패턴물질(200)을 제거하기 위해 구비된다.

상기 세정노즐(850)은 신너, 아세톤 등 건조가 빠른 물질을 토출함으로써 압력 및 화학적 상호작용으로 코팅롤(350)을 세정한다.

세정기(700)는 인쇄판(500)을 세정하기 위해 구비된다.

상기 인쇄판(500)도 한 번 패턴을 형성한 후, 세정이 필요하기 때문이다.

상기 세정기(700)는 이동레일(600) 상에 위치하여, 세정시 인쇄판 상으로 이동하여 세정공정을 수행한다.

또한, 상기 세정기(700)는 세정액 분사장치 및 에어 나이프 같은 건조장치를 구비하고 있어, 이를 통해 세정 및 건조공정을 수행한다.

슬릿노즐 배스(900)는 상기 인쇄노즐(800) 내부에 있는 패턴물질(200)이 굳지 않게 하기 위해 구비된다.

상기 인쇄노즐(800)은 그 내부에 패턴물질(200)을 포함하고 있는데, 인쇄공정 동안 상기 패턴물질(200)에 포함된 용제가 증발하여 패턴물질이 굳을 염려가 있기 때문이다.

또한, 상기 슬릿노즐 배스(900)는 그 내부에 신너, 아세톤 등의 유기 용제가 들어 있어 인쇄노즐(800) 내부에 있는 패턴물질(200)이 경화되는 것을 방지한다.

2. 패턴형성방법

도 4a 내지 도 4d는 본 발명의 실시예에 따른 인쇄장비를 이용하여 패턴을 형성하는 방법을 개략적으로 도시한 단면도이다.

우선, 도 4a에서 알 수 있듯이, 인쇄노즐(800)을 이용하여 코팅롤(350)에 패턴물질(200)을 도포한다.

그 후, 도 4b에서 알 수 있듯이, 상기 코팅롤(350)에 도포된 패턴물질(200)을 블랭킷(320)이 부착된 인쇄롤(300)에 전사한다.

상기 코팅롤(350)에 패턴물질(200)을 도포할 때, 상기 패턴물질(200)에 포함된 용제는 즉시 증발하기 때문에 상기 인쇄롤(300)에 패턴물질(200)을 전사하여도, 그 표면에 부착된 블랭킷(320)이 팽윤되거나 변성되지 않는다.

도 4b에서는 상기 인쇄롤(300)이 상기 코팅롤(350)로 이동하여 패턴물질(200)을 전사하는 경우를 도시하였으나, 상기 코팅롤(350)이 상기 인쇄롤(300)로 이동하여 패턴물질(200)을 전사할 수도 있다.

상기 코팅롤(350)에 도포된 패턴물질(200)을 상기 인쇄롤(300)로 전사할 때, 코팅의 품질을 높이기 위하여 코팅롤(350)에 도포된 패턴물질(200) 중 일부는 전사하지 않는다.

이는 상기 코팅롤(350)에 도포된 패턴물질(200)을 모두 인쇄롤(300)로 전사하는 경우, 인쇄롤(300)에 전사된 패턴물질(200)의 막균일도가 저하될 수 있기 때문이다.

그 후, 도 4c에서 알 수 있듯이, 소정 형상의 돌출부가 형성된 인쇄판(500) 상에서 상기 인쇄롤(300)을 회전시켜, 상기 인쇄판(500)의 돌출부에 일부 패턴물질(200b)을 전사하고 잔존하는 패턴물질(200a)에 의해 인쇄롤에 소정 형상의 패턴을 형성한다.

이 때, 상기 인쇄노즐(800)은 그 내부에 포함된 패턴물질(200)의 경화 및 불순물 유입을 막기 위하여, 인쇄노즐 배스(900)로 이동된다.

또한, 세정노즐(850)은 상기 코팅롤(350) 상으로 이동하여, 일부 전사되지 아니한 패턴물질을 세정한다.

그 후, 도 4d에서 알 수 있듯이, 기판(100) 상에서 상기 인쇄롤(300)을 회전시켜 상기 기판(100) 상에 패턴을 형성한다.

3. 액정표시소자 제조방법.

도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시소자의 제조방법을 개략적으로 도시한 공정 단면도이다.

우선, 도 5a에서 알 수 있듯이, 제1기판(130) 상에 차광층(210)을 형성한다.

그 후, 도 5b에서 알 수 있듯이, 상기 차광층(210)을 포함하는 제1기판(130) 상에 컬러필터층(230)을 형성한다.

여기서, 상기 차광층(210)을 형성하는 공정(도 5a 참조), 상기 컬러필터층(230)을 형성하는 공정(도 5b 참조) 중 적어도 하나의 공정은, 전술한 패턴형성방법을 이용하여 패턴을 형성하는 공정으로 이루어질 수 있다.

그 후, 도 5c에서 알 수 있듯이, 제2기판(160)을 준비한다.

상기 제2기판(160)을 준비하는 공정은, 도시하지는 않았으나, 전술한 패턴형성방법을 이용하여 상기 제2기판 상에 서로 종횡으로 교차되어 화소영역을 정의하는 게이트 배선 및 데이터 배선과, 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차 영역에 박막트랜지스터와, 상기 박막트랜지스터와 연결되는 화소전극을 형성하는 공정을 포함하여 이루어질 수 있다.

그 후, 도 5d에서 알 수 있듯이, 상기 제1기판(130) 및 제2기판(160) 사이에 액정층(250)을 형성한다.

이 때, 상기 액정층(250)을 형성하는 공정은 제1기판(130) 및 제2기판(160) 중 어느 하나의 기판에 주입구 없는 씨일재를 형성하고, 씨일재가 형성된 기판에 액정(250)을 적하한 후 양 기판(130,160)을 합착하여 형성할 수 있다.

또한, 상기 액정층을 형성하는 공정은 제1기판(130) 및 제2기판(160) 중 어느 하나의 기판에 주입구 형성되도록 씨일재를 형성한 후 양 기판을 합착하고, 그 후에 상기 주입구를 통해 모세관 현상과 압력차를 이용하여 액정(250)을 주입하여 형성할 수 있다.

상기 구성에 의한 본 발명에 따르면, 비교적 고가인 마스크를 이용하지 않으므로 제조비용이 절감되고, 노광, 현상 공정 등을 거치지 않아도 되어 공정이 단순하고, 공정 시간이 단축된다.

또한, 코팅롤에 패턴물질을 도포할 때, 패턴물질에 포함된 용제가 즉시 증발하기 때문에, 인쇄롤의 표면에 부착된 블랭킷이 용제에 의해 영향을 받지 않는다. 블랭킷이 용제에 의해 영향을 받지 않으므로, 자주 교체해 주지 않아도 되어 제조비용을 줄일 수 있다.

또한, 인쇄노즐을 이용하여 바로 인쇄롤에 패턴물질을 도포하는 경우보다 코 팅롤을 이용할 경우 패턴물질의 막균일도도 향상시킬 수 있다.

Claims (18)

1. 이동레일;

   상기 이동레일 상에 위치한 인쇄판 및 기판;

   상기 이동레일을 통해 상기 인쇄판 및 기판을 경유하여 패턴을 전사하는 인쇄롤;

   상기 인쇄롤에 패턴물질을 전사하기 위한 코팅롤; 및

   상기 코팅롤에 패턴물질을 도포하기 위한 인쇄노즐을 포함하여 이루어지는 인쇄장비.
2. 제1항에 있어서,

   상기 인쇄장비는

   상기 코팅롤을 세정하기 위한 세정노즐을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄장비.
3. 제1항에 있어서,

   상기 인쇄장비는

   상기 인쇄판을 세정하기 위한 세정기를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄장비.
4. 제1항에 있어서,

   상기 인쇄장비는

   상기 인쇄노즐 내부의 패턴물질의 경화를 막기 위한 인쇄노즐 배스를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄장비.
5. 제1항에 있어서,

   상기 인쇄롤은

   그 표면에 블랭킷이 부착된 것을 특징으로 하는 인쇄장비.
6. 제2항에 있어서,

   상기 블랭킷은 Si계 수지층으로 구성된 것을 특징으로 하는 인쇄장비.
7. 인쇄노즐을 이용하여 코팅롤에 패턴물질을 도포하는 공정;

   상기 코팅롤에 도포된 패턴물질을 인쇄롤에 전사하는 공정;

   소정 형상의 돌출부가 형성된 인쇄판 상에서 상기 인쇄롤을 회전시켜 상기 인쇄판의 돌출부에 일부 패턴물질을 전사하는 공정; 및

   기판 상에서 상기 인쇄롤을 회전시켜 잔존하는 패턴물질을 전사하는 공정으로 이루어진 패턴형성방법.
8. 제7항에 있어서,

   상기 코팅롤에 도포된 패턴물질을 인쇄롤에 전사하는 공정은

   코팅롤에 도포된 패턴물질 중 일부분은 인쇄롤에 전사하지 않는 것을 특징으로 하는 패턴형성방법.
9. 제7항에 있어서,

   상기 인쇄노즐을 인쇄노즐 배스로 이동시키는 공정을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴형성방법.
10. 제9항에 있어서,

    상기 인쇄노즐을 인쇄노즐 배스로 이동시키는 공정은

    상기 인쇄노즐을 이용하여 코팅롤에 패턴물질을 도포하는 공정 이후에 이루어지는 것을 특징으로 하는 패턴형성방법.
11. 제7항에 있어서,

    세정노즐을 이용하여 상기 코팅롤을 세정하는 공정을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴형성방법.
12. 제11항에 있어서,

    상기 세정노즐을 이용하여 상기 코팅롤을 세정하는 공정은

    상기 코팅롤에 도포된 패턴물질을 인쇄롤에 전사하는 공정 이후에 이루어지 는 것을 특징으로 하는 패턴형성방법.
13. 제7항에 있어서,

    세정기를 이용하여 상기 인쇄판을 세정하는 공정을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴형성방법.
14. 제13항에 있어서,

    상기 세정기를 이용하여 상기 인쇄판을 세정하는 공정은

    기판 상에서 상기 인쇄롤을 회전시켜 잔존하는 패턴물질을 전사하는 공정 이후에 이루어지는 것을 특징으로 하는 패턴형성방법.
15. 제1기판 상에 차광층을 형성하는 공정;

    상기 차광층을 포함하는 제1기판 상에 컬러필터층을 형성하는 공정;

    제2기판을 준비하는 공정; 및

    상기 제1기판 및 제2기판 사이에 액정층을 형성하는 공정을 포함하여 이루어지며,

    상기 제1기판 상에 차광층을 형성하는 공정, 상기 컬러필터층을 형성하는 공정 중 적어도 하나의 공정은, 상기 제7항 내지 제14항 중 어느 한 항에 의해 패턴을 형성하는 공정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조방법.
16. 제15항에 있어서,

    상기 제2기판을 준비하는 공정은,

    상기 제7항 내지 제14항 중 어느 한 항에 의한 패턴형성방법을 이용하여 상기 제2기판 상에 서로 종횡으로 교차되어 화소영역을 정의하는 게이트 배선 및 데이터 배선과, 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차 영역에 박막트랜지스터와, 상기 박막트랜지스터를 포함하는 제1기판 상에 보호막과, 상기 보호막 상부에 상기 박막트랜지스터의 드레인 전극에 접속되는 화소전극을 형성하는 공정을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조방법.
17. 제15항에 있어서,

    상기 제1기판 및 제2기판 사이에 액정층을 형성하는 공정은

    상기 제1기판 또는 제2기판 중 어느 하나의 기판에 주입구 없는 씨일재를 형성하고,

    상기 씨일재가 형성된 기판에 액정을 적하한 후, 양 기판을 합착하는 공정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조방법.
18. 제15항에 있어서,

    상기 제1기판 및 제2기판 사이에 액정층을 형성하는 공정은

    상기 제1기판 또는 제2기판 중 어느 하나의 기판에 주입구가 형성되도록 씨일재를 형성하고,

    양 기판을 합착한 후, 상기 액정 주입구에 액정을 주입하는 공정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조방법.

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