KR20070069904A - 웨이퍼 트랜스퍼 완드장치 - Google Patents

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KR20070069904A
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서진혁
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동부일렉트로닉스 주식회사
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Abstract

본 발명은 챔버(Chamber)와 로드락(Loadlock)간의 웨이퍼 이송 적재를 위해 사용되는 웨이퍼 트랜스퍼 완드(Wafer Transfer Wand)에 얹혀지는 웨이퍼의 슬라이딩을 방지하도록 상기 웨이퍼를 이송하는 방식을 기존의 질소 가스에 의해 진공을 형성하는 완드타입(Wand Type)이 아닌 포크타입(Fork Type)의 포크부로 변경하고, 상기 포크부에 의해 상기 웨이퍼 트랜스퍼 완드에 웨이퍼의 로딩 또는 언로딩이 가능하도록 서포트부가 구비된 웨이퍼 트랜스퍼 완드장치에 관한 것이며, 이를 위해 본 발명은, 웨이퍼 트랜스퍼 완드에 있어서, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 완드에 구비되며 웨이퍼가 얹혀지도록 일단이 회전축에 연결되어 연장되고, 타단이 상부 외측으로 경사진 서포트가 구비된 서셉터 서포트부; 및 상기 서셉터 서포트부상에 웨이퍼를 이송할 수 있도록 웨이퍼가 적재되는 포크바디, 상기 포크바디의 전후면에 형성된 제 1웨이퍼 가이드부를 포함하는 포크부가 구비되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 트랜스퍼 완드장치를 제공한다.
웨이퍼, 서포트부, 포크부

Description

웨이퍼 트랜스퍼 완드장치{The Apparatus Of Wafer Transfer Wand}
도 1은 본 발명에 의한 웨이퍼 트랜스퍼 완드장치를 도시한 도면.
도 2는 본 발명에 의한 웨이퍼 트랜스퍼 완드장치의 작동 상태도.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
2 : 웨이퍼 10 : 서셉터 서포트부
20 : 포크부 22 : 포크바디
24 : 제 1웨이퍼 가이드부 14 : 제 2웨이퍼 가이드부
14a : 베이스 플레이트 14b : 가이드 플레이트
본 발명은 챔버(Chamber)와 로드락(Loadlock)간의 웨이퍼 이송 적재를 위해 사용되는 웨이퍼 트랜스퍼 완드(Wafer Transfer Wand)에 얹혀지는 웨이퍼의 슬라이딩을 방지하도록 상기 웨이퍼를 이송하는 방식을 기존의 질소 가스에 의해 진공을 형성하는 완드타입(Wand Type)이 아닌 포크타입(Fork Type)의 포크부로 변경하고, 상기 포크부에 의해 상기 웨이퍼 트랜스퍼 완드에 웨이퍼의 로딩 또는 언로딩이 가능하도록 서포트부가 구비된 웨이퍼 트랜스퍼 완드장치에 관한 것이다.
일반적으로, 웨이퍼 트랜스퍼 완드(Wafer Transfer Wand)는 웨이퍼의 상부로 완드(Wand)가 진입하여 상기 웨이퍼를 상부로 끌어 올리는 방식이다.
상기한 완드(Wand)에는 하부로 질소 가스 방출을 위한 방출공이 다수개 설치되어 있으며, 상기한 방출공에서 방출되는 질소 가스로 인하여 완드의 하측에 국부적인 진공이 형성되며, 이로 인해 상기 웨이퍼가 위쪽으로 끌어 올려지게 된다.
상기한 완드는 웨이퍼를 이송하기 위해 진공을 형성하여 웨이퍼를 끌어올리며, 이송된 웨이퍼를 언로딩 하기 위해 진공상태를 해제하게된다.
이때, 상기한 웨이퍼를 언로딩할 때 웨이퍼가 슬라이딩되는 현상이 발생하게되는데, 상기한 웨이퍼의 슬라이딩 현상은 웨이퍼의 파손 및 드롭(Drop)을 발생시키는 문제점이 있었다.
또한, 상기 완드에 구비된 주변 구조물과의 충돌로 인해 웨이퍼에 치명적인 결함이 발생될 수 있는 문제점을 안고 있었다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 웨이퍼 트랜스퍼 완드(Wafer Transfer Wand)에 얹혀지는 웨이퍼의 슬라이딩을 방지하는데 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 웨이퍼 트랜스퍼 완드에 구비되며 웨이퍼가 얹혀지도록 일단이 회전축에 연결되어 연장되고, 타단이 상부 외측으로 경사진 서포트가 구비된 서셉터 서포트부; 및 상기 서셉터 서포트부상에 웨이퍼를 이송할 수 있도록 웨이퍼가 적재되는 포크바디, 상기 포크바디의 전후면에 형성된 제 1웨이퍼 가이드부를 포함하는 포크부가 구비된다.
상기 서포트의 상측에는 제 2웨이퍼 가이드부가 구비된다.
상기 제 2웨이퍼 가이드부는 웨이퍼의 하면이 지지되는 베이스 플레이트, 상기 베이스 플레이트의 상부에 형성되며 상기 웨이퍼의 이탈을 방지하도록 내측으로 라운드지게 형성된 가이드 플레이트를 포함하여 구성된다.
상기 제 1웨이퍼 가이드부는 포크바디의 내측으로 라운드지게 형성된다.
상기 포크바디의 선단부에는 서포트와의 간섭을 방지하도록 포크바디의 내측으로 라운드진 요입부가 형성된다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명에 의한 웨이퍼 트랜스퍼 완드장치를 도시한 도면이다.
첨부된 도 1을 참조하면, 웨이퍼 트랜스퍼 완드에 구비되며 웨이퍼(2)가 얹혀지도록 일단이 회전축에 연결되어 연장되고, 타단이 상부 외측으로 경사진 서포트(12)가 구비된 서셉터 서포트부(10); 및 상기 서셉터 서포트부(10)상에 웨이퍼(2)를 이송할 수 있도록 웨이퍼(2)가 적재되는 포크바디(22)와, 상기 포크바디(22)의 전후면에 형성된 제 1웨이퍼 가이드부(24)를 포함하는 포크부(20)가 구비된다.
상기 서포트(12)는 회전축을 중심으로 3개가 120°간격으로 이격되어 설치된다.
상기 서포트(12)의 상측에는 제 2웨이퍼 가이드부(14)가 구비된다.
상기 제 2웨이퍼 가이드부(14)는 웨이퍼(2)의 하면이 지지되는 베이스 플레이트(14a)와, 상기 베이스 플레이트(14a)의 상부에 형성되며 상기 웨이퍼(2)의 이탈을 방지하도록 내측으로 라운드지게 형성된 가이드 플레이트(14b)를 포함하여 구성된다.
상기 제 1웨이퍼 가이드부(24)는 포크바디(22)의 내측으로 라운드지게 형성된다.
상기 포크바디(22)의 선단부에는 서포트(12)와의 간섭을 방지하도록 포크바디(22)의 내측으로 라운드진 요입부(22a)가 형성된다. 상기 요입부(22a)는 포크부(20)가 서셉터 서포트부(10)로 진입시에 서포트(12)와의 간섭을 방지하기 위해 형성된다.
상기와 같이 구성되는 본 발명에 의한 웨이퍼 트랜스퍼 완드장치의 작동 상태를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
첨부된 도 2a를 참조하면, 포크부(20)가 진입할 수 있도록 로드락(Loadlock) 엘리베이터(미도시)가 업(Up) 작동된다.
상기 로드락(Loadlock) 엘리베이터가 업(Up) 작동된 후에 상기 포크부(20)가 전방으로 이동하고, 상기 로드락(Loadlock) 엘리베이터가 하강 작동되면서 도면에 도시된 바와 같이, 웨이퍼(2)가 상기 포크부(20)의 포크바디(22)상에 얹혀진다.
상기 포크바디(22)의 전후면에는 제 1웨이퍼 가이드부(24)가 형성되어 있어서, 상기 웨이퍼(2)의 이탈을 방지한다.
상기와 같이 포크부(20)는 포크바디(22)상에 웨이퍼(2)가 적재된 상태에서 공정챔버(미도시) 쪽으로 회전 작동되며, 서셉터 서포트부(10)가 하강 작동된다.
상기 서셉터 서포트부(10)가 하강된 상태에서 상기 포크부(20)는 서셉터 서포트부(10) 쪽으로 이동하게 된다. 상기 포크부(20)가 서셉터 서포트부(10)의 영역 내부로 진입된 상태에서 서셉터 서포트부(10)가 승강되면, 상기 포크부(20)에 위치한 웨이퍼(2)가 서셉터 서포트부(10)에 구비된 제 2웨이퍼 가이드부(14)의 베이스 플레이트(14a)상에 얹혀진다.
상기 웨이퍼(2)가 얹혀질 때, 상기 서셉터 서포트부(10)의 서포트(12)는 도면에 도시된 바와 같이“θ”의 간격(바람직하게는 120°)의 개방된 영역이 존재하게 되어 상기 웨이퍼(2)가 포크부(20)에서 서셉터 서포트부(10)로 안전하게 이송된다.
상기 웨이퍼(2)가 서셉터 서포트부(10)의 베이스 플레이트(14a)상에 얹혀질 때, 가이드 플레이트(14b)는 웨이퍼(2)의 슬라이딩에 의한 미끄러짐을 방지하여 상기 웨이퍼(2)의 드롭(Drop)에 의한 파손을 방지하게 된다.
이와 같이, 상기한 웨이퍼(2)가 안정적으로 서셉터 서포트부(10)에 얹혀진뒤에 포크부(20)는 최초 진입된 반대 방향으로 이동되며, 상기 웨이퍼(2)가 적재된 서셉터 서포트부(10)가 하강 작동되어 다음 공정이 원할하게 진행된다.
한편, 본 발명은 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능할 것이다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 웨이퍼 트랜스퍼 완드장치는 기 존의 완드타입(Wand Type)이 아닌 포크타입(Fork Type)의 포크부로 변경함으로써, 상기 웨이퍼의 슬라이딩에 의한 파손이 발생하지 않아 원할한 장비 운영이 이루어지는 효과가 있다.
또한, 슬라이딩에 의한 웨이퍼간의 불균일한 두께의 제품의 발생이 방지되어 정밀도가 일정한 제품 생산이 이루어지는 효과가 있다.

Claims (5)

  1. 웨이퍼 트랜스퍼 완드에 있어서,
    상기 웨이퍼 트랜스퍼 완드에 구비되며 웨이퍼(2)가 얹혀지도록 일단이 회전축에 연결되어 연장되고, 타단이 상부 외측으로 경사진 서포트(12)가 구비된 서셉터 서포트부(10); 및
    상기 서셉터 서포트부(10)상에 웨이퍼(2)를 이송할 수 있도록 웨이퍼(2)가 적재되는 포크바디(22), 상기 포크바디(22)의 전후면에 형성된 제 1웨이퍼 가이드부(24)를 포함하는 포크부(20)가 구비되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 트랜스퍼 완드장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 서포트(12)의 상측에는 제 2웨이퍼 가이드부(14)가 구비되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 트랜스퍼 완드장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 제 2웨이퍼 가이드부(14)는 웨이퍼(2)의 하면이 지지되는 베이스 플레이트(14a), 상기 베이스 플레이트(14a)의 상부에 형성되며 상기 웨이퍼(2)의 이탈을 방지하도록 내측으로 라운드지게 형성된 가이드 플레이트(14b)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 트랜스퍼 완드장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1웨이퍼 가이드부(24)는 포크바디(22)의 내측으로 라운드지게 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 트랜스퍼 완드장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 포크바디(22)의 선단부에는 서포트(12)와의 간섭을 방지하도록 포크바디(22)의 내측으로 라운드진 요입부(22a)가 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 트랜스퍼 완드장치.
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