KR20070069230A - 포토레지스터 디스펜스 노즐 센터 검출장치 및 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 포토레지스터 디스펜스 노즐 센터 검출장치 및 방법에 관한 것으로서, 아암(20)을 좌, 우 슬라이딩 이동시키도록 설치되는 수평이동수단(50)과, 감지부(110)를 구비하며 아암(20)의 좌, 우 이동시 감지부(110)로부터 감지신호가 출력되도록, 아암(20)에 장착되는 센터위치검출용 노즐(100)과, 센터위치검출용 노즐(100)의 감지부(110)로부터 출력되는 감지신호에 따라 척의 센터위치에 센터위치검출용 노즐(100)이 위치되도록 수평이동수단(50)을 제어하는 제어수단(60)을 포함한다. 그러므로 센터위치검출용 노즐을 이용하여 정확하고 빠르게 센터를 찾아내게 된다. 이로서, 센터이외의 부분에 순수가 디스펜스하여 발생하는 패턴불량을 방지하여 생산성이 향상되는 효과를 가지고 있다.

센터위치검출용 노즐, 감지부, 센터위치, 아암

Description

포토레지스터 디스펜스 노즐 센터 검출장치 및 방법{PHOTO RESIST DISPENSE NOZZLE CENTER POSITION DEVICE AND MOTHOD}

도 1에서는 종래의 트랙장비를 개략적으로 도시한 사시도이고,

도 2는 본 발명에 따른 아암과 센터위치검출용 노즐의 구성도이고,

도 3 내지 도 5는 본 발명에 따른 포토레지스터 디스펜스 아암노즐 센터 검출장치의 사용 상태도이고,

도 6은 본 발명에 따른 포토레지스터 디스펜스 아암노즐 센터 검출방법의 흐름도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

10 : 보울(bowl) 12 : 척

20 : 아암 22 : 노즐

30 : 실린더 50 : 수평이동수단

60 : 제어수단 100 : 센터위치검출용 노즐

110 : 감지부

본 발명은 포토레지스터 디스펜스 노즐 센터 검출장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 노즐의 센터 조정이 빠르고 정확한 중심 위치에 놓이도록 하는 포토레지스터 디스펜스 노즐 센터 검출장치 및 방법에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 장치는 통상 웨이퍼에 도체. 반도체, 부도체의 막을 형성하면서 이를 패터닝(patterning) 등의 가공을 통하여 전기, 전자소자를 형성하고, 이들을 회로 배선에 의해 결합시키는 장치이다. 이러한 반도체 장치는 고도의 집적도를 가진 매우 정밀하고 복잡한 장치이며, 그 제조를 위해서는 엄격하고 다양한 공정이 요구된다.

반도체 장치를 형성하는 막질을 가공하는 방법에는 여러 가지가 있으나 가장 일반적인 것이 패터닝 작업이다. 즉, 해당 막질에서 일정 형태를 이루는 부분은 남기고 여타 부분은 제거하는 작업이다. 그리고 이러한 패터닝 작업은 형성된 박막에 대한 포토리소그래픽과 에칭을 통해 이루어진다.

따라서 반도체 장치의 제조에서 가장 빈번하게 이루어지면서 정밀성이 요구되는 작업이 포토리소그래픽이라고 할 수 있다. 이 포토리소그래픽 공정을 담당하는 주요 장비로는 웨이퍼의 표면에 감광액을 도포하여 막을 형성시키는 코팅과 노광기를 거쳐나온 웨이퍼를 현상하여 패턴을 형성시키는 디벨로퍼(developer)의 공정을 담당하는 트랙(track)장비와, 코팅된 웨이퍼 위에 패턴을 찍는 스텝퍼(stepper)장비로 나누어진다.

도 1에서는 종래의 트랙장비를 개략적으로 도시한 사시도이다.

보울(10)의 내부에 웨이퍼를 지지하는 척(12)이 설치되어 있고, 척(12)의 상 부에는 척(12)위에 지지된 웨이퍼 상에 순수 또는 화학 물질을 공급할 수 있도록 하는 노즐(22)이 고정 설치된다.

이 노즐(22)은 아암(20)에 고정되어 있으며, 아암(20)은 실린더(30)에 의해 승하강됨은 물론, 수동으로 슬라이딩되어 좌, 우 수평이동도 가능하다. 여기서 노즐(22)이 척(12)의 센터 부분에 대응되도록 수평 이동된 후, 복수의 고정볼트(40)에 의하여 위치 고정된다.

이 때, 노즐(22)이 센터 위치에 놓이지 못하여 웨이퍼의 센터이외의 부분에서 순수(D.I)를 디스펜스하는 경우에는 변성된 포토레지스트가 순수에 의해 제거되지 않는 부위에 패턴 형성이 되지 않게 된다.

그런데, 종래의 트랙장치에서 아암(20)의 이동에 의한 노즐(22)의 센터 위치를 맞추는 것이 중요하며, 이를 위해서는 2개의 고정볼트(40)를 풀고 작업자의 육안 작업에 의하여 아암(20)을 적당히 이동시킨 후, 다시 2개의 고정볼트(40)를 체결하게 되지만, 작업자에 따라 또는 보는 시각의 위치에 따라 센터 오차가 발생할 수 있으며, 수동으로 진행되기 때문에 작업이 번거로운 문제점이 있었다.

본 발명은 상기한 바와 같은 결점을 해소시키기 위하여 안출된 것으로서, 센터위치검출용 노즐을 별도로 구비하고, 이 센터위치검출용 노즐을 장착한 아암이 수평 이동되면서 자동으로 센터 위치를 찾도록 함으로써, 센터이외의 부분에서 순수가 디스펜스하여 발생하는 패턴불량을 방지할 수 있는 포토레지스터 디스펜스 노즐 센터 검출장치 및 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 보울의 내부에 웨이퍼를 지지하는 척이 설치되고, 척의 상부에는 순수 또는 화학물질을 공급할 수 있도록 승하강 이동되는 아암에 포토레지스터 디스펜스노즐이 설치되어 있는 포토레지스터 디스펜스 노즐 센터 검출장치에 있어서, 아암을 좌, 우 슬라이딩 이동시키도록 설치되는 수평이동수단과, 감지부를 구비하며 아암의 좌, 우 이동시 감지부로부터 감지신호가 출력되도록, 아암에 장착되는 센터위치검출용 노즐과, 센터위치검출용 노즐의 감지부로부터 출력되는 감지신호에 따라 척의 센터위치에 센터위치검출용 노즐이 위치되도록 상기 수평이동수단을 제어하는 제어수단을 포함하는 포토레지스터 디스펜스 아암노즐 센터 검출장치를 제공한다.

또한, 본 발명은, 포토레지스터 디스펜스 노즐 센터 검출방법에 있어서, 승하강 및 수평 이동되는 아암의 일단에 센터위치검출용 노즐이 장착되는 단계(S1)와, 센터위치검출용 노즐이 미리 입력되어 있는 데이터 값에 따라 임의의 센터로 이동하고 감지부를 통하여 위치를 검출하는 단계(S2)와, 센터위치검출용 노즐이 좌, 우측 어느 일측으로 이동하면서 감지부를 통하여 출력된 빛이 수광되는 위치를 검출하는 단계(S3)와, 단계(S2)의 임의 센터 위치로부터 단계(S3)의 이동방향과는 반대로 이동하면서 감지부를 통하여 출력된 빛이 수광되는 위치를 검출하는 단계(S4)와, 센터위치검출용 노즐을 상기 단계(S3)와 단계(S4)의 이동에 따른 중간 지점을 센터로 인식하고 이동시키며, 이 위치값을 센터값으로 저장하는 단계(S5)와, 센터위치검출용 노즐의 장착을 해제하고, 분사용 노즐을 장착하여 웨이퍼 상에 순수 또는 화학 물질을 분사하게 되는 단계(S6)를 포함하는 포토레지스터 디스펜스 노즐 센터 검출방법을 제공한다.

본 발명의 상기 목적과 여러 가지 장점은 이 기술 분야에 숙련된 사람들에 의해 첨부된 도면을 참조하여 아래에 기술되는 발명의 바람직한 실시 예로부터 더욱 명확하게 될 것이다.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 상세하게 설명한다.

도 2는 본 발명에 따른 아암과 센터위치검출용 노즐의 구성도이고, 도 3 내지 도 5는 본 발명에 따른 포토레지스터 디스펜스 노즐 센터 검출장치의 사용 상태도이고, 도 6은 본 발명에 따른 포토레지스터 디스펜스 노즐 센터 검출방법의 흐름도이며, 종래의 동일 부품에 대해서는 동일 번호를 부여하였다.

도 1을 참고하면, 보울(10)의 내부에 웨이퍼를 지지하는 척(12)이 중심홀(12a)을 가지고 설치되어 있으며, 척(12)의 상부에는 척(12)위에 지지된 웨이퍼 상에 순수 또는 화학 물질을 공급할 수 있도록 하는 노즐(22)이 고정 설치된다.

이 노즐(22)은 수평의 아암(20)에 직교하여 고정되어 있으며, 아암(20)의 일단에는 승하강 실린더(30)에 의해 승하강될 수 있다.

여기서 본 발명의 특징에 따라서 실린더(30)와 아암(20)의 사이에 수평이동수단(50)이 설치되고, 아암(20)을 승하강 또는 수평 이동시키면서 센터 위치를 맞추기 위한 센터위치검출용 노즐(100)이 아암(20)에 임시적으로 장착되어 진다.

수평이동수단(50)은 바람직하게 실린더 또는 구동모터로 하여 자동 구동되어 진다.

센터위치검출용 노즐(100)은 복수의 일반 분사용 노즐(22)과 같이 베스(BATH:미도시)에 보관되어지며, 그 형태는 분사용 노즐(22)과 같이 노즐구를 가지며 유사하나, 노즐구의 내측으로 감지부(110)를 구비하며 이 감지부(110)로부터 출력된 감지신호에 따라 센터 위치를 찾아내게 된다.

감지부(110)는, 척(12)을 향해서 일정한 파장의 빛을 출력하는 발광소자로 이루어진 발광어레이(112)와, 발광어레이(112)와 나란히 위치되어, 발광어레이(112)로부터 출력된 빛을 수신하여 감지신호를 출력하는 수광소자로 이루어진 수광어레이(114)로 이루어진다.

그리고 감지부(110)로부터 출력되는 감지신호에 따라 척(12)의 센터위치에 센터위치검출용 노즐(100)이 위치되도록 수평이동수단(50)을 제어하는 제어수단(60)이 포함된다.

이와 같이 구성된 본 발명에 따른 포토레지스터 디스펜스 노즐 센터 검출방법을 설명하면 다음과 같다.

도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 척(12)위에 지지된 웨이퍼 상에 순수 또는 화학 물질을 공급할 수 있도록 하는 노즐(22)이 설치되기 전에, 센터위치검출용 노즐(100)을 아암(20)에 장착하게 된다.

실린더(30)에 의하여 척(12)으로부터 소정의 위치로 이격된 센터위치검출용 노즐(100)은 이 후, 아암(20)의 수평이동수단(50)에 의하여 척(12)의 중심홀(12a)을 향하여 이동된다. 이 때, 센터위치검출용 노즐(100)은 미리 제어수단(60)에 입 력되어 있는 데이터 값에 따라 임의의 센터로 이동이 이루어진다.

다음과 같이 임의의 센터 위치에서 센터위치검출용 노즐(100)은, 척(12)의 중심홀(12a)에 위치되었는지를 체크하게 된다.

이는 감지부(110)의 발광어레이(112)에서 척(12)의 중심홀(12a)을 향하여 일정한 파장의 빛을 출력하고, 이 출력빛은 중심홀(12a)을 통과하여 수광어레이(114)로 수광이 이루어지지 않게 되어 중심홀(12a)임을 인식하게 된다.

그리고 임의의 센터 위치의 센터위치검출용 노즐(100)이 제어수단(60)에 의한 수평이동수단(50)의 이동으로 좌, 우측 중 어느 일측으로 서서히 이동하게 되며, 이동 중 발광어레이(112)에서는 계속하여 빛을 출력하게 되고, 이 출력된 빛이 수광어레이(114)에 수광되는 위치에서 멈추고 위치 값을 저장하게 된다.

이와 같은 방법으로 최초 임의의 센터 위치로 복귀한 센터위치검출용 노즐(100)은 상기의 다른 반대 방향으로 이동하게 된다. 이때도 마찬가지로 이동 중 발광어레이(112)에서는 계속하여 빛을 출력하게 되고, 이 출력된 빛이 수광어레이(114)에 수광되는 위치에서 멈추고 이 위치값을 저장하게 된다.

그리고 센터위치검출용 노즐(100)이 좌측으로 수평 이동했을 때의 위치값과 우측으로 수평 이동했을 때의 위치값의 중간 지점을 센터로 인식하고 그 위치값을 데이터에 저장시키며, 아암(20)의 수평이동수단(50)으로 하여 센터위치검출용 노즐(100)이 인식된 센터 위치로 이동시키게 된다.

한편, 센터위치검출용 노즐(100)의 센터 위치가 확정되면, 센터위치검출용 노즐(100)의 장착을 해제하고, 분사용 노즐(22)을 다시 장착하여 정확한 센터 위치 에서 웨이퍼 상에 순수 또는 화학 물질을 분사하게 된다.

이는 도 6에 도시된 바와 같은 단계를 포함하게 된다.

승하강 및 수평 이동되는 아암의 일단에 센터위치검출용 노즐이 장착되는 단계(S1)와, 센터위치검출용 노즐이 미리 입력되어 있는 데이터 값에 따라 임의의 센터로 이동하고 감지부를 통하여 위치를 검출하는 단계(S2)와, 센터위치검출용 노즐이 좌, 우측 어느 일측으로 이동하면서 감지부를 통하여 출력된 빛이 수광되는 위치를 검출하는 단계(S3)와, 단계(S2)의 임의의 센터 위치로부터 단계(S3)의 이동방향과는 반대로 이동하면서 감지부를 통하여 출력된 빛이 수광되는 위치를 검출하는 단계(S4)와, 센터위치검출용 노즐을 상기 단계(S3)와 단계(S4)의 이동에 따른 중간 지점을 센터로 인식하고 이동시키며, 이 위치값을 센터값으로 저장하는 단계(S5)와, 센터위치검출용 노즐의 장착을 해제하고, 분사용 노즐을 장착하여 웨이퍼 상에 순수 또는 화학 물질을 분사하게 되는 단계(S6)를 포함한다.

이처럼 종래에 수동으로 이루어졌던 센터 위치 작업을 감지부가 구비된 센터위치검출용 노즐을 통하여 자동으로 구현됨으로써, 작업 효율 향상 및 작업 공수 시간의 단축, 그리고 무엇보다도 작업자에 의해 발생할 수 있는 오차를 줄이게 되어 생산성 향상을 가져온다.

이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 포토레지스터 디스펜스 노즐 센터 검출장치 및 방법을 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라 면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의한 포토레지스터 디스펜스 노즐 센터 검출장치 및 방법에서는, 센터 이외의 부분에서 순수가 디스펜스하여 발생하는 패턴불량을 방지하여 생산성이 향상되는 효과를 가지고 있다.

Claims (4)

1. 보울의 내부에 웨이퍼를 지지하는 척이 설치되고, 상기 척의 상부에는 순수 또는 화학물질을 공급할 수 있도록 승하강 이동되는 아암에 포토레지스터 디스펜스노즐이 설치되어 있는 포토레지스터 디스펜스 노즐 센터 검출장치에 있어서,

   상기 아암을 좌, 우 슬라이딩 이동시키도록 설치되는 수평이동수단과,

   감지부를 구비하며 상기 아암의 좌, 우 이동시 상기 감지부로부터 감지신호가 출력되도록, 상기 아암에 장착되는 센터위치검출용 노즐과,

   상기 센터위치검출용 노즐의 감지부로부터 출력되는 감지신호에 따라 상기 척의 센터위치에 상기 센터위치검출용 노즐이 위치되도록 상기 수평이동수단을 제어하는 제어수단,

   을 포함하는 포토레지스터 디스펜스 아암노즐 센터 검출장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 수평이동수단은,

   실린더 또는 구동모터로 구동되는 포토레지스터 디스펜스 노즐 센터 검출장치.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 감지부는,

   상기 척을 향해서 일정한 파장의 빛을 출력하는 발광소자로 이루어진 발광어레이와,

   상기 발광어레이와 나란히 상기 센터위치검출용 노즐의 내부에 설치되어, 상기 발광어레이로부터 출력된 빛을 수신하여 감지신호를 출력하는 수광소자로 이루어진 수광어레이로 이루어지는,

   포토레지스터 디스펜스 노즐 센터 검출장치.
4. 포토레지스터 디스펜스 노즐 센터 검출방법에 있어서,

   승하강 및 수평 이동되는 아암의 일단에 센터위치검출용 노즐이 장착되는 단계(S1)와,

   상기 센터위치검출용 노즐이 미리 입력되어 있는 데이터 값에 따라 임의의 센터로 이동하고 감지부를 통하여 위치를 검출하는 단계(S2)와,

   상기 센터위치검출용 노즐이 좌, 우측 어느 일측으로 이동하면서 상기 감지부를 통하여 출력된 빛이 수광되는 위치를 검출하는 단계(S3)와,

   상기 단계(S2)의 임의의 센터 위치로부터 상기 단계(S3)의 이동방향과는 반대로 이동하면서 상기 감지부를 통하여 출력된 빛이 수광되는 위치를 검출하는 단계(S4)와,

   상기 센터위치검출용 노즐을 상기 단계(S3)와 단계(S4)의 이동에 따른 중간 지점을 센터로 인식하고 이동시키며, 이 위치값을 센터값으로 저장하는 단계(S5)와,

   상기 센터위치검출용 노즐의 장착을 해제하고, 분사용 노즐을 장착하여 웨이퍼 상에 순수 또는 화학 물질을 분사하게 되는 단계(S6)를,

   포함하는 포토레지스터 디스펜스 노즐 센터 검출방법.

Images