KR20070068892A - 카세트의 장착상태를 감지하는 에스아이엠에프의 헤드 및제어방법 - Google Patents

카세트의 장착상태를 감지하는 에스아이엠에프의 헤드 및제어방법 Download PDF

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KR20070068892A
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문남식
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Abstract

본 발명은 카세트를 장착하는 과정에서 카세트가 이탈하는 것을 방지하도록 카세트의 장착상태를 감지하는 SMIF의 헤드 및 제어방법에 관한 것이다.
본 발명은 SMIF의 암의 자유단에 고정된 헤드 몸체와, 상기 몸체의 양측면에서 바끝쪽 또는 안쪽으로 미끄러져 이동하며 그 단부가 절곡되어 카세트의 상단에 형성된 컬림턱과 정합하는 복수의 그리퍼를 포함하는 SMIF의 헤드에 있어서,
상기 그리퍼의 측면에 지지 가이드를 설치하고, 상기 지지 가이드의 내측부와 상기 몸체의 하단에 복수의 마이크로 스위치가 설치된 것을 특징으로 한다.
본 발명은 이와 같은 구성으로서 카세트의 변형에 의한 로딩 오류( Loading fail)을 방지할 수 있고, 카세트 이송 중에 발생 할 수 있는 웨이퍼의 드롭(drop)을 방지할 수 있으며, 이로 인하여 SMIF 장비의 가동율을 높일 수 있는 장점이 있다.
SMIF(Standard Mechanical Interface), 그리퍼

Description

카세트의 장착상태를 감지하는 에스아이엠에프의 헤드 및 제어방법 {SMIF head and controle method that can detect cassette attachig status}
도1은 종래기술에 따른 카세트를 나타낸 사시도.
도2는 종래기술에 따른 SMIF의 헤드의 사시도.
도3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 SMIF의 사시도.
도4는 본 발명에 따른 카세트의 장착상태를 감지하는 SMIF의 헤드 제어방법의 순서도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
110: SMIF 113: 암
124: 그리퍼 125: 절곡부
127, 128: 마이크로 스위치 129: 패드
201: 지지 가이드
본 발명은 웨이퍼가 수용된 카세트를 이송하는 SMIF(Standard Mechanical Interface)에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 카세트를 장착하는 과정에서 이송 중에 카세트가 이탈하는 것을 방지하도록 카세트의 장착상태를 감지하는 SMIF의 헤드 및 제어방법에 관한 것이다.
SMIF(Standard Mechanical Interface)는 좁은 공간의 청정실 등에서 대기 컨트롤 및 프로세스 처리시에 인위적인 실수 등을 방지하기 위해 개발된 반도체 제조공정의 주변장치로서, 웨이퍼가 저장된 카세트를 이송하는 데 이용된다. 이런 SMIF를 이용하여 카세트를 이송하기 위해서는 먼저 카세트가 SMIF에 장착되어야 한다.
도1은 종래기술에 따른 카세트를 나타낸 사시도이며, 도2는 도1에 도시된 카세트를 이송하는 종래 기술에 따른 SMIF의 헤드를 나타낸 사시도이다.
도1에 도시된 바와 같이 카세트(1)는 직육면체의 일측면이 개방된 구조를 갖고 있으며, 마주하는 내측면 각각에는 받침대(3)가 가로방향으로 형성되는데, 다수 개의 받침대(3)가 내측면 세로방향으로 평행하게 배치된다. 웨이퍼(W)는 마주하는 내측면에 대응하게 위치한 한쌍의 받침대에 걸쳐 수용된다.
한편, 카세트(1)의 외측면 상단에는 걸림턱(5)이 가로방향으로 형성되고, 이런 걸림턱(5)은 SMIF 암(13)의 그리퍼(24)에 고정된다. 이런 SMIF 암(13)의 헤드(20)는 카세트(1)의 상면과 대응하는 몸체(22)와, 상기 몸체(22)의 양측면에서 바깥방향으로 또는 몸체(22) 안쪽방향으로 공압시스템에 의해 미끄러져 이동하며 상기 카세트(1)의 걸림턱(5)과 정합하는 한 쌍의 그리퍼(24)와, 상기 몸체(22)의 저면에 위치하는 카세트(1)가 장착되면 전기적 신호를 발생하는 카세트 감지부(27)를 포함한다.
여기에서 한 쌍의 그리퍼(24)의 단부는 헤드(20)의 안쪽방향으로 두 번 절곡된 형상을 갖고 있다. 따라서, 한 쌍의 그리퍼(24)가 몸체(22)의 바깥방향으로 이동한 상태에서, 몸체(22)를 카세트(1)의 상면에 밀착하고, 그리퍼(24)를 몸체(22)의 안쪽방향으로 이동하게 되면, 그리퍼(24)의 절곡부(25) 안쪽으로 카세트(1)의 걸림턱(5)이 삽입되어 정합된다.
이런 상태에서 SMIF(10)의 헤드(20)는 SMIF(1)의 암(13) 이동에 따라 3차원으로 이동하면서, 카세트(1)를 목표지점으로 이송한다.
이와 같이 SMIF의 헤드에 카세트를 장착하여 장시간 동안 이송하다 보면, 웨이퍼가 수용한 카세트의 무게에 의해 헤드가 변형된다. 최근에는 직경이 큰 웨이퍼가 개발되면서 카세트 및 웨이퍼의 무게는 더욱 증가하게 되고, 그로 인해 그리퍼의 변형이 보다 빨리 발생한다.
이와 같은 그리퍼의 변형은 카세트 및 웨이퍼의 무게에 의해 그리퍼의 절곡부가 하부 방향으로 개방되는 현상으로 변형된다. 이와 같이 변형된 상태에서 카세트를 이송하다 보면, 이송 중에 카세트가 그리퍼의 변형된 방향으로 미끄러지면서 그리퍼에서 이탈하거나 한쪽으로 쏠려 카세트의 안쪽에 수용된 웨이퍼가 쏟아지는 문제점이 있다.
본 발명은 상기 문제점을 개선하기 위하여 안출한 것으로서, 그리퍼에 지지가이드를 설치하고, 상기 지지가이드와 몸체에 다수의 마이크로 스위치를 설치하는 카세트의 장착상태를 감지하는 SMIF의 헤드 및 제어방법를 제공하고자 함에 발명의 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은 SMIF의 암의 자유단에 고정된 헤드 몸체와, 상기 몸체의 양측면에서 바끝쪽 또는 안쪽으로 미끄러져 이동하여 그 단부가 절곡되어 카세트의 상단에 형성된 걸림턱과 정합하는 복수의 그리퍼를 포함하는 SMIF의 헤드에 있어서,
상기 그리퍼의 측면에 지지 가이드를 설치하고, 상기 지지 가이드의 내측부와 상기 몸체의 하단에 복수의 마이크로 스위치가 설치된 것을 특징으로 한다.
이하 본 발명의 바람직한 일 실시예를 첨부도면을 참조로 상세히 설명하겠다.
도3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 SMIF의 사시도이다. 도3을 참조하면, SMIF(110), 암(113), 헤드(120), 몸체(120), 그리퍼(124), 절곡부(125), 마이크로 스위치(127, 128), 패드(129), 지지 가이드(201)이 도시되어 있다.
도3에 도시된 바와 같이 본 발명은 마이크로 스위치(127, 128), 패드(129), 지지 가이드(201)을 설치한 것이 특징이다.
마이크로 스위치(127, 128)는 몸체(120)의 저면과 지지 가이드(201)에 설치하는 것이 바람직하다. 마이크로 스위치(127,128)는 카세트와 그리퍼(124)가 정상적으로 결합되었는 지 여부를 알려주는 일종의 센서이다. 따라서, 마이크로 스위치(127, 128)의 설치위치는 카세트와 SMIF(110)가 접촉하는 부위에 설치하는 것이 바 람직하다. 가장 바람직한 곳은 몸체(120)의 저면부와 지지 가이드(120)와 카세트와의 접촉부가 될 것이다.
지지 가이드(201)는 그리퍼(124)에 부착되어 있으며, 하단부에는 미끄럼 방지 패드(129)가 부착되어 있다. 또한 패드(129)의 끝단에는 마이크로 스위치(128)을 설치하는 것이 바람직하다. 지지 가이드(201)는 카세트의 흔들림을 방지하는 역할을 한다. 한편, 지지 가이드(201) 끝단에 패드(129)가 설치될 경우 미끌림을 방지하는 기능이 더욱더 향상된다 하겠다. 패드(129)는 일반적으로 고무 재질을 사용하는 것이 바람직하다.
패드(129)의 끝단에는 마이크로 센서(128)을 설치할 경우 카세트의 기울어짐을 더욱더 정확히 감지할 수 있게 된다. 패드(129)는 고무재질을 사용하는 것이 바람직하다.
상기 구조로서 본 발명의 작동발명을 설명하면 다음과 같다. 도4는 본 발명에 따른 카세트의 장착상태를 감지하는 SMIF의 헤드 제어방법의 순서도이다. SMIF(110)는 구동부의 작동에 의하여 그리퍼(124)를 도1의 카세트의 걸림턱(5)과 결합하게 한다.(S11) 걸림턱(5)과 그리퍼(124)가 정확하게 결합할 경우, 마이크로 스위치(127, 128)는 카세트의 압력에 의하여 작동하게 되고, 그 신호는 제어부에 전달이 된다.(S12)
제어부는 마이크로 스위치(127, 128)의 신호를 분석하여, 카세트가 정확히 그리퍼(124)에 결합된 경우에는 SMIF(110)의 동작을 진행하게 하고(S15), 만약, 이 상이 있는 경우에는 SMIF(110)의 구동을 멈추게 한다(S14). 따라서 제어부는 SMIF(110)의 구동부와 전기적으로 연결되는 것이 바람직하다.
본 발명의 기술 사상이 상술한 실시예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상술한 실시예는 그 설명을 위한 것이지 그 제한을 위한 것이 아니며, 본 발명의 기술분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.
상기와 같은 구성으로서 본 발명은 카세트의 변형에 의한 로딩 오류( Loading fail)을 방지할 수 있고, 카세트 이송 중에 발생할 수 있는 웨이퍼의 드롭(drop)을 방지할 수 있으며, 이로 인하여 SMIF 장비의 가동율을 높일 수 있는 장점이 있다.

Claims (4)

  1. SMIF의 암의 자유단에 고정된 헤드 몸체와, 상기 몸체의 양측면에서 바끝쪽 또는 안쪽으로 미끄러져 이동하며 그 단부가 절곡되어 카세트의 상단에 형성된 걸림턱과 정합하는 복수의 그리퍼를 포함하는 SMIF의 헤드에 있어서,
    상기 그리퍼의 측면에 지지 가이드를 설치되고, 상기 지지 가이드의 내측부와 상기 몸체의 하단에 복수의 마이크로 스위치가 설치된 것을 특징으로 하는 카세트의 장착상태를 감지하는 SMIF의 헤드.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 마이크로 스위치와 지지 가이드 사이에 미끄럼 방지 패드가 설치된 것을 특징으로 하는 카세트의 장착상태를 감지하는 SMIF의 헤드.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 패드는 고무 재질을 포함하는 카세트의 장착상태를 감지하는 SMIF의 헤드.
  4. (a) SMIF가 구동하여 그리퍼의 절곡부가 카세트의 걸림턱에 결합되는 단계;
    (b) 마이크로 스위치가 작동하여 카세트와 그리퍼의 결합이 양호한지 여부를 제어부에 전달하는 단계;
    (c) 상기 제어부는 카세트와 그리퍼의 결합이 양호한 경우에는 SMIF의 구동을 진행하고, 양호하지 않은 경우 SMIF의 구동을 멈추는 카세트의 장착상태를 감지하는 SMIF의 헤드 제어방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190068786A (ko) * 2017-12-11 2019-06-19 삼성전자주식회사 그리퍼

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