KR20070058831A - Apparatus for inspecting lcd module - Google Patents

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Abstract

An apparatus for inspecting an LCD(Liquid Crystal Display) panel is provided to accurately and automatically inspect external particles or exfoliation generated on polarizing plates respectively attached on outer surfaces of the LCD panel. A loading lift unit(10) conveys an LCD panel(1) in a vertical direction and loads the conveyed LCD panel. A cleaning unit(20) removes external particles on a surface of the LCD panel loaded by the loading unit. An aligning unit(30) aligns the cleaned LCD panel. An inspecting unit(40) inspects plural glass substrates(1b), and first and second polarizing plates(1c,1d) of the aligned LCD panel. An unloading lift unit(50) unloads the LCD panel after inspection, and carries out the LCD panel. A conveyer unit(60) is installed between the loading lift unit and the unloading lift unit. The conveyer unit conveys the LCD panel to the cleaning unit, the aligning unit, and the inspecting unit, sequentially.

Description

LCD판넬 검사장치{Apparatus for Inspecting LCD Module}LCD Panel Inspector {Apparatus for Inspecting LCD Module}

도 1은 종래의 LCD판넬 검사장치의 측면도,1 is a side view of a conventional LCD panel inspection device,

도 2는 본 발명에 의한 LCD판넬의 검사장치의 측면도,2 is a side view of the inspection device of the LCD panel according to the present invention;

도 3은 도 2에 도시된 정렬부의 확대 평면도,3 is an enlarged plan view of the alignment unit illustrated in FIG. 2;

도 4는 도 2에 도시된 검사부의 확대 측면도,4 is an enlarged side view of the inspection unit illustrated in FIG. 2;

도 5는 도 4에 도시된 검사부의 확대 사시도,5 is an enlarged perspective view of the inspection unit illustrated in FIG. 4;

도 6은 도 5에 도시된 제1반사검사 카메라부재의 확대 사시도,6 is an enlarged perspective view of the first reflection inspection camera member shown in FIG. 5;

도 7은 도 4에 도시된 블라인더의 평면도.7 is a plan view of the blinder shown in FIG.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

10: 로딩 리프트부 20: 세정부 10: loading lift part 20: washing part

30: 정렬부 40: 검사부 30: alignment unit 40: inspection unit

41: 제1반사검사 카메라부재 42: 제2반사검사 카메라부재 41: first reflective inspection camera member 42: second reflective inspection camera member

43: 투과검사 카메라부재 44: 블라인더부재 43: transmission inspection camera member 44: blinder member

50: 언로딩 리프트부 60: 컨베이어부50: unloading lift unit 60: conveyor unit

본 발명은 LCD판넬 검사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 LCD판넬의 제조시 유리기판이나 유리기판의 외측 표면에 설치되는 편광필름에 발생될 수 있는 이물이나 들뜸 등을 검사할 수 있는 LCD판넬 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to an LCD panel inspection apparatus, and more particularly, an LCD panel inspection capable of inspecting foreign substances or lifting, which may be generated in a polarizing film installed on a glass substrate or an outer surface of the glass substrate when the LCD panel is manufactured. Relates to a device.

LCD판넬(Liquid Crystal Display panel)은 두개의 유리기판과, 이 두개의 유리기판 사이에 채워지는 액정 및 두개의 유리기판의 외측 표면에 각각 설치되는 편광필름으로 구성된다. 이러한 구성을 갖는 LCD판넬의 제조시 사진식각, 박막제조 및 유리기판이나 편광필름의 조립 등과 같은 다양한 제조공정을 통해 제조됨으로 제조과정에서 유리기판이나 편광필름에 이물이나 들뜸 등이 발생될 수 있다.The liquid crystal display panel is composed of two glass substrates, a liquid crystal filled between the two glass substrates, and a polarizing film which is installed on the outer surfaces of the two glass substrates, respectively. When manufacturing an LCD panel having such a configuration, foreign materials or lifting may occur in the glass substrate or the polarizing film during the manufacturing process because it is manufactured through various manufacturing processes such as photolithography, thin film manufacturing, and assembly of a glass substrate or a polarizing film.

LCD판넬의 제조시 이물이나 들뜸 등이 발생되는 경우에 불량처리하기 위해 이를 검사하게 되며, 이러한 종래의 LCD판넬의 검사장치를 첨부된 도면을 이용하여 설명하면 다음과 같다.When foreign matter or lifting occurs during the manufacture of the LCD panel, it is inspected for defective treatment. The inspection apparatus of the conventional LCD panel will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1에 도시된 바와 같이 종래의 LCD판넬의 검사장치(100)는 몸체(110), 몸체(110)의 일측에 상/하 서로 이격되도록 설치되어 광을 조사하는 제 1,2광조사부(120,130), 제1,2 광조사부(120,130)의 인접한 타측에 설치되어 광이 선택적으로 조사되도록 하는 셔터(140) 및 셔터(140)를 통과한 광의 조사각도를 조절하기 위한 각도조절부(150)를 포함하여 구성된다. As shown in FIG. 1, the inspection apparatus 100 of the conventional LCD panel is installed so as to be spaced apart from each other up and down on one side of the body 110 and the body 110. ), The shutter 140 is installed on the other side adjacent to the first and second light irradiation units 120 and 130 to selectively irradiate the light, and the angle adjusting unit 150 to adjust the irradiation angle of the light passing through the shutter 140. It is configured to include.

LCD판넬의 검사장치(100)의 각 구성에 따른 작용을 개략적으로 설명하면 다음과 같다. Referring to the operation according to each configuration of the inspection device 100 of the LCD panel as follows.

공압실린더(142)에 의해 셔터(shutter)(140)를 수직 상승시켜 제1광조사부(120)를 개방시키고 제2 광조사부(130)는 폐쇄시킨다. 이 상태에서 제1 광조사부 (120)의 광을 각도조절부(150)의 반사플레이트(plate)(151)로 입사시킨다. 반사플레이트(151)로 광을 입사시키는 제1광조사부(120)는 각도조절바(127)를 상/하로 움직이면 제1케이스(121)가 힌지축(125)를 기준으로 상/하 힌지회동하여 광의 조사각도를 조절할 수 있게 된다.The shutter 140 is vertically raised by the pneumatic cylinder 142 to open the first light irradiator 120 and to close the second light irradiator 130. In this state, the light of the first light irradiator 120 is incident on the reflection plate 151 of the angle adjuster 150. When the first light irradiation unit 120 for injecting light into the reflective plate 151 moves the angle adjusting bar 127 up and down, the first case 121 hinges up and down based on the hinge axis 125. The irradiation angle of the light can be adjusted.

제1광조사부(120)의 광 조사 작업이 완료되면 공압실린더(142)에 의해 셔터(140)를 하강시킨다. 셔터(140)가 하강되면 제1광조사부(120)는 셔터(140)에 의해 폐쇄되고 제2광조사부(140)가 개방된다. 제2광조사부(140)가 개방되면 제2광조사부(140)에서 발새된 광이 필터(filter)(도시 않음)을 통해 각도조절부(150)로 입사된다. When the light irradiation operation of the first light irradiation unit 120 is completed, the shutter 140 is lowered by the pneumatic cylinder 142. When the shutter 140 is lowered, the first light irradiation unit 120 is closed by the shutter 140 and the second light irradiation unit 140 is opened. When the second light irradiator 140 is opened, the light emitted from the second light irradiator 140 is incident to the angle adjuster 150 through a filter (not shown).

제1 및 제2광조사부(120,140)에 의해 광을 입사받는 각도조절부(150)의 반사플레이트(151)는 입사된 광을 반사시켜 투광창(111)으로 입사시키고, 투광창(111)으로 입사된 광은 LCD판넬의 표면에 조사된다. LCD판넬의 표면으로 광이 조사되면 이 상태에서 작업자가 육안으로 확인하여 LCD판넬에 이물이나 들뜸 등이 있는지 여부를 검사하게 된다. The reflection plate 151 of the angle adjusting unit 150 that receives light by the first and second light irradiation units 120 and 140 reflects the incident light and enters the light transmission window 111, and then enters the light transmission window 111. The incident light is irradiated on the surface of the LCD panel. When light is irradiated to the surface of the LCD panel, the operator checks with the naked eye in this state to check whether there is any foreign matter or lifting on the LCD panel.

종래와 같이 LCD판넬의 표면에 광을 조사한 후 작업자가 확인하여 LCD판넬에 이물이나 들뜸 등을 검사하는 경우 사람의 육안으로 확인함으로 검사작업의 생산성이 저하되며 작업자의 숙력도가 요구되는 등의 문제점이 있다. When the operator checks the surface of the LCD panel and then checks the LCD panel for foreign material or lifting, the productivity of the inspection work is lowered by the human eye and the skill of the operator is required. There is this.

본 발명의 목적은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 액정이 채워진 복수개의 유리판넬의 외측표면에 각각 부착된 편광필름부재에 발생될 수 있는 이물이 나 들뜸 등으로 자동으로 정확하게 검사할 수 있는 LCD판넬의 검사장치를 제공함에 있다.An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, LCD that can be automatically and accurately inspected by the foreign matter or lifting that may be generated on the polarizing film member respectively attached to the outer surface of the plurality of glass panels filled with liquid crystal In providing a panel inspection device.

본 발명의 LCD판넬 검사장치는 액정이 내측에 설치된 복수개의 유리기판과 각각의 유리기판에 부착된 제1 및 제2편광필름부재로 이루어지는 LCD판넬(panel)을 검사하는 장치에 있어서, LCD판넬이 반입되면 반입된 LCD판넬을 수직방향으로 이송시켜 로딩(loading)시키는 로딩 리프트(loading lift)부와, 로딩 리프트부의 일측에 설치되어 로딩 리프트부에서 로딩된 LCD판넬의 표면에 부착된 이물질을 세정하는 세정부와, 세정부의 일측에 설치되어 세정부에서 세정이 완료된 LCD판넬을 정렬하는 정렬부와, 정렬부의 일측에 설치되어 정렬부에서 정렬이 완료된 LCD판넬의 복수개의 유리기판과 제1 및 제2편광필름부재에 이물과 들뜸이 있는지 여부를 검사하는 검사부와, 검사부의 일측에 설치되어 검사가 완료된 LCD판넬을 언로딩하여 수직방향으로 하강시켜 반출하는 언로딩 리프트(unloading lift)부와, 로딩 리프트부와 언로딩 리프트부와 각각 LCD판넬을 반출입할 수 있도록 로딩 리프트부와 언로딩 리프트부 사이에 설치되어 LCD판넬을 세정부와 정렬부 및 검사부로 순차적으로 이송시키는 컨베이어(conveyer)부로 구비됨을 특징으로 한다.The LCD panel inspection apparatus of the present invention is a device for inspecting an LCD panel (panel) consisting of a plurality of glass substrates and the first and second polarizing film members attached to each glass substrate, the liquid crystal is provided inside, When loaded, a loading lift unit for transporting and loading the imported LCD panel in a vertical direction, and installed on one side of the loading lift unit to clean foreign substances attached to the surface of the LCD panel loaded from the loading lift unit A plurality of glass substrates of the LCD panel installed on one side of the cleaning unit, the alignment unit for aligning the LCD panel which has been cleaned at the cleaning unit, and the alignment of the LCD panel installed at one side of the alignment unit, and the first and first 2 An inspection unit for inspecting whether the polarizing film member is free from foreign matters and lifting, and an unloading LCD panel installed on one side of the inspection unit to unload the LCD panel after the inspection is completed and descending in a vertical direction. It is installed between the unloading lift part, the unloading lift part, and the loading lift part and the unloading lift part, respectively to carry in and out of the LCD panel. Characterized in that it is provided with a conveyor (conveyer) for transferring to.

(실시예)(Example)

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면을 이용하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 의한 LCD판넬 검사장치의 측면도이고, 도 3은 도 2에 도시된 정렬부의 확대 평면도이며, 도 4는 도 2에 도시된 검사부의 확대 측면도이다. 2 is a side view of the LCD panel inspection apparatus according to the present invention, Figure 3 is an enlarged plan view of the alignment unit shown in Figure 2, Figure 4 is an enlarged side view of the inspection unit shown in FIG.

도시된 바와 같이 본 발명의 LCD판넬 검사장치는, 액정(1a)이 내측에 설치된 복수개의 유리기판(1b)과 각각의 유리기판(1b)에 부착된 제1 및 제2편광필름부재(1c,1d)로 이루어지는 LCD판넬(1)을 검사하는 장치에 있어서, LCD판넬(1)이 반입되면 반입된 LCD판넬(1)을 수직방향으로 이송시켜 로딩시키는 로딩 리프트부(10)와, 로딩 리프트부(10)의 일측에 설치되어 로딩 리프트부(10)에서 로딩된 LCD판넬(1)의 표면에 부착된 이물질을 세정하는 세정부(20)와, 세정부(20)의 일측에 설치되어 세정부(20)에서 세정이 완료된 LCD판넬(1)을 정렬하는 정렬부(30)와, 정렬부(30)의 일측에 설치되어 정렬부(30)에서 정렬이 완료된 LCD판넬(1)의 복수개의 유리기판(1b)과 제1 및 제2편광필름부재(1c,1d)에 이물과 들뜸이 있는지 여부를 검사하는 검사부(40)와, 검사부(40)의 일측에 설치되어 검사가 완료된 LCD판넬(1)을 언로딩하여 수직방향으로 하강시켜 반출하는 언로딩 리프트부(50)와, 로딩 리프트부(10)와 언로딩 리프트부(50)와 각각 LCD판넬(1)을 반출입할 수 있도록 로딩 리프트부(10)와 언로딩 리프트부(50) 사이에 설치되어 LCD판넬(1)을 세정부(20)와 정렬부(30) 및 검사부(40)로 순차적으로 이송시키는 컨베이어부(60)로 구비됨을 특징으로 한다.As shown, the LCD panel inspection apparatus of the present invention includes a plurality of glass substrates 1b having liquid crystals 1a disposed therein, and first and second polarizing film members 1c attached to each glass substrate 1b. In the apparatus for inspecting the LCD panel (1d) consisting of 1d), when the LCD panel (1) is carried in, the loading lift unit 10 for transporting the loaded LCD panel (1) in the vertical direction and loading, and the loading lift unit The cleaning unit 20 is installed on one side of the cleaning unit 20 to clean the foreign matter attached to the surface of the LCD panel 1 loaded from the loading lift unit 10, and the cleaning unit is installed on one side of the cleaning unit 20 A plurality of glass of the alignment unit 30 to align the LCD panel 1, the cleaning is completed in 20, and the LCD panel 1 is installed on one side of the alignment unit 30, the alignment is completed in the alignment unit 30 An inspection unit 40 for inspecting whether the substrate 1b and the first and second polarizing film members 1c and 1d are free from foreign matter and lifting, and an inspection unit 40 installed on one side of the inspection unit 40. The unloading lift unit 50, which unloads the completed LCD panel 1 and lowers it in the vertical direction, is loaded and unloaded, and the loading lift unit 10, the unloading lift unit 50, and the LCD panel 1, respectively. The conveyor unit is installed between the loading lift unit 10 and the unloading lift unit 50 so as to sequentially transfer the LCD panel 1 to the cleaning unit 20, the alignment unit 30, and the inspection unit 40. 60) characterized in that provided.

본 발명의 구성을 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.The configuration of the present invention in more detail as follows.

도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이 본 발명의 LCD판넬 검사장치는 로딩 리프트부(10), 세정부(20), 정렬부(30), 검사부(40), 언로딩 리프트부(50) 및 컨베이어부(60)로 구성되며, 각각의 구성에 대해 순차적으로 설명하면 다음과 같다.2 to 4, the LCD panel inspection apparatus of the present invention includes a loading lift unit 10, a cleaning unit 20, an alignment unit 30, an inspection unit 40, an unloading lift unit 50 and Consisting of the conveyor unit 60, each configuration will be described as follows.

로딩 리프트부(10)는 LCD판넬(1)이 반입되면 반입된 LCD판넬(1)을 수직방향 으로 이송시켜 로딩시키며, 언로딩 리프트부(50)는 검사가 완료된 LCD판넬(1)을 언로딩하여 수직방향으로 하강시켜 반출하게 된다. The loading lift unit 10 transfers and loads the imported LCD panel 1 in the vertical direction when the LCD panel 1 is loaded, and the unloading lift unit 50 unloads the LCD panel 1 that has been inspected. It is lowered in the vertical direction and taken out.

LCD판넬(1)을 반입받아 로딩하거나 언로딩받아 반출하는 로딩 리프트부(10)와 언로딩 리프트부(50)는 각각 반출입 컨베이어(11,51), 가변 컨베이어(12,52) 및 리프트(lift)(13,53)로 구성되며, 각각의 구성을 순차적으로 설명하면 다음과 같다. The loading lift unit 10 and the unloading lift unit 50 for carrying in loading or unloading the LCD panel 1 into and out of the LCD panel 1 are loaded and unloaded conveyors 11 and 51, variable conveyors 12 and 52 and lifts, respectively. ), Consisting of (13, 53), each configuration is described as follows.

제1메인프레임(main frame)(2)의 하측에 설치되어 LCD판넬(1)을 반출입하는 반출입 컨베이어(11,51)는 로딩 리프트부(10)와 언로딩 리프트부(50)에 각각 동일하게 설치되며, 가변 컨베이어(12,52)는 슬라이딩가이드(12a), 복수개의 이동블록(12b), 제1롤러부재(12c) 및 제2롤러부재(12d)로 구성된다. 여기서, 언로딩 리프트부(50)에 설치된 가변 컨베이어(52)는 로딩 리프트부(10)에 설치된 가변 컨베이어(12)와 동일한 구성을 가짐으로 상세한 설명은 생략한다.The loading and unloading conveyors 11 and 51 installed below the first main frame 2 to carry in and out of the LCD panel 1 are identical to the loading lift unit 10 and the unloading lift unit 50, respectively. The variable conveyors 12 and 52 are composed of a sliding guide 12a, a plurality of moving blocks 12b, a first roller member 12c and a second roller member 12d. Here, the variable conveyor 52 installed in the unloading lift unit 50 has the same configuration as the variable conveyor 12 installed in the loading lift unit 10, and thus detailed description thereof will be omitted.

로딩 리프트부(10)에 설치된 가변 컨베이어(12)의 슬라이딩가이드(12a)는 제1메인프레임(2)의 상측에 각각 설치되고, 복수개의 이동블록(12b)은 슬라이딩가이드(12a)을 따라 이동되도록 설치된다. 또한, 제1롤러부재(12c)는 복수개의 이동블록(12b) 중 어느 한 이동블록(12b)에 설치되며 나머지 하나의 이동블록(12b)에 제2롤러부재(12d)가 설치된다. The sliding guides 12a of the variable conveyor 12 installed in the loading lift unit 10 are respectively installed above the first main frame 2, and the plurality of moving blocks 12b move along the sliding guide 12a. It is installed as possible. In addition, the first roller member 12c is installed in any one of the moving blocks 12b of the plurality of moving blocks 12b, and the second roller member 12d is installed in the other moving block 12b.

가변 컨베이어(11,51)와 반출입 컨베이어(12,52)사이를 수직방향으로 이동되어 LDC판넬(1)을 승/하강시키는 리프트(13,53)는 각각 제1메인프레임(2)의 수직방향으로 슬라딩가이드(13a,53a)가 설치된다. 이 슬라딩가이드(13a,53a)에는 수직방 향으로 승/하강되도록 이동블록(13b,53b)이 각각 설치되며, 이동블록(13b,53b)의 일단에는 각각 아암(13c,53c)이 회전축(13d,53d)을 중심으로 90도 회전되도록 설치되어 구성된다. The lifts 13 and 53 which move between the variable conveyors 11 and 51 and the import and export conveyors 12 and 52 in the vertical direction to lift and lower the LDC panel 1 are respectively vertical in the first main frame 2. Sliding guides (13a, 53a) are installed. Moving blocks 13b and 53b are respectively installed on the sliding guides 13a and 53a so as to move up and down in the vertical direction, and arms 13c and 53c are provided at one end of the moving blocks 13b and 53b, respectively. 13d, 53d) is installed and configured to rotate 90 degrees.

세정부(20)는 로딩 리프트부(10)의 일측에 설치되어 로딩 리프트부(10)에서 로딩된 LCD판넬(1)의 표면에 부착된 이물질을 세정하며, LCD판넬(1)의 상/하 표면에 부착된 이물질을 제거하기 위해 로딩 리프트부(10)의 일측에 적어도 하나 이상이 설치된다. 즉, LCD 판넬(1)의 상/하면에서 이물질을 제거하기 위해 도 2에 실선과 점선으로 도시된 것과 같이 세정부(20)를 설치한다.The cleaning unit 20 is installed at one side of the loading lift unit 10 to clean foreign substances attached to the surface of the LCD panel 1 loaded from the loading lift unit 10, and the upper and lower portions of the LCD panel 1. At least one is installed on one side of the loading lift unit 10 to remove the foreign matter attached to the surface. That is, the cleaning unit 20 is installed as shown in solid and dashed lines in FIG. 2 to remove foreign substances from the upper and lower surfaces of the LCD panel 1.

적어도 하나 이상 설치되는 세정부(20)는 이오나이저(ionizer)(21), 송풍기(22), 집진기(23), 집진관(24) 및 송풍관(25)으로 구성된다. 이러한 구성을 세정부(20)는 이오나이저(21)를 통해 LCD판넬(1)의 표면의 정전기를 제거하여 부착된 이물질을 탈착시키고, 탈착된 이물질은 송풍광(25)을 통해 흡입되는 공기를 송풍기(22)를 통해 출력하여 이물질을 집진기(23)로 보내며, 집진기(23)로 보내진 이물질은 집진관(24)를 통해 외부로 배출되도록 구성된다. The at least one cleaning unit 20 includes at least one ionizer 21, a blower 22, a dust collector 23, a dust collector 24, and a blower tube 25. The cleaning unit 20 removes the static electricity on the surface of the LCD panel 1 through the ionizer 21 to desorb the attached foreign matter, and the desorbed foreign matter absorbs the air sucked through the blowing light 25. Output through the blower 22 to send foreign matter to the dust collector 23, the foreign matter sent to the dust collector 23 is configured to be discharged to the outside through the dust collector (24).

정렬부(30)는 세정부(20)의 일측에 설치되어 세정부(20)에서 세정이 완료된 LCD판넬(1)의 좌/우 틀어짐을 정렬하기 위해 정렬플레이트(plate)(31), 복수개의 제1슬라이딩가이드(32), 복수개의 풀리(pulley)(33), 타이밍벨트(timing belt)(34), 복수개의 제1이동블록(35) 및 푸시(push)부재(36)로 구성된다.The alignment unit 30 is installed at one side of the cleaning unit 20 so as to align the left / right distortion of the LCD panel 1 which has been cleaned in the cleaning unit 20. The first sliding guide 32, a plurality of pulleys 33, a timing belt 34, a plurality of first moving blocks 35, and a push member 36 are included.

정렬플레이트(31)는 세정부(20)의 일측 즉, 제2메인프레임(3)에 설치된 세정부(20)의 일측에 설치되며, 이 정렬플레이트(31)의 길이방향으로 복수개의 제1슬라 이딩가이드(32)가 각각 설치된다.정렬플레이트(31)의 길이방향의 양측에 각각 복수개의 풀리(33)가 각각 설치되며, 이 복수개의 풀리(33)에는 각각 타이밍 벨트(34)가 설치된다. 여기서 풀리(33)의 하측에는 풀리(33)를 회전시키기 위한 모터(33a)가 구비된다. The alignment plate 31 is installed on one side of the cleaning unit 20, that is, one side of the cleaning unit 20 installed in the second main frame 3, and the plurality of first slabs in the longitudinal direction of the alignment plate 31. The guiding guides 32 are provided, respectively. A plurality of pulleys 33 are provided on both sides of the alignment plate 31 in the longitudinal direction, respectively, and each of the plurality of pulleys 33 is provided with a timing belt 34. . The lower side of the pulley 33 is provided with a motor 33a for rotating the pulley 33.

타이밍벨트(34)와 복수개의 제1슬라이딩가이드(32)에는 복수개의 제1이동블록(35)이 설치되어 타이밍벨트(34)의 회전에 따라 서로 간격이 좁아지거나 멀어지도록 제1슬라이딩가이드를 따라 이동되며, 이러한 복수개의 제1이동블록(35)에 각각 푸시부재(36)가 설치된다. 제1이동블록(35)에 각각 설치된 복수개의 푸시부재(36)는 LCD판넬(1)이 이송되면 LCD판넬(1)의 야측면을 푸시하여 정렬하게 된다.The timing belt 34 and the plurality of first sliding guides 32 are provided with a plurality of first moving blocks 35 so that the interval between the timing belts 34 and the first sliding guides narrows or moves away from each other according to the rotation of the timing belt 34. The push member 36 is installed on each of the plurality of first moving blocks 35. Each of the plurality of push members 36 installed on the first moving block 35 is aligned by pushing the night side surface of the LCD panel 1 when the LCD panel 1 is transferred.

검사부(40)는 정렬부(30)에서 정렬이 완료된 LCD판넬(1)의 복수개의 유리기판(1b)과 제1 및 제2편광필름부재(1c,1d)에 이물과 들뜸이 있는지 여부를 검사하기 위해 정렬부(30)의 일측에 설치되며, 제1반사검사 카메라부재(41), 제2반사검사 카메라부재(42), 투과검사 카메라부재(43) 및 블라인드(blind)부재(44)로 구성된다. The inspection unit 40 inspects whether the glass substrate 1b and the first and second polarizing film members 1c and 1d of the LCD panel 1, which have been aligned in the alignment unit 30, are free of foreign matter and floating. It is installed on one side of the alignment unit 30, the first reflection camera member 41, the second reflection camera member 42, the transmission camera member 43 and the blind (44) blind member (44) It is composed.

제1반사검사 카메라부재(41)는 제2메인프레임(3)의 가운 위치에서 상측에 설치되고, 제2반사검사 카메라부재(42)는 제2메인프레임(3)의 하측에 설치된다. 제1반사검사 카메라부재(41)와 제2반사검사 카메라부재(42) 사이에 위치한 투과검사 카메라부재(43)는 제2메인프레임(2)의 상/하측에 각각 설치되며, 블라인드부재(44)는 LCD판넬(1)의 양측단을 가리기 위해 컨베이어부(60)의 상측에 설치되어 구성된다.The first reflection inspection camera member 41 is installed above the second main frame 3 in the gown position, and the second reflection inspection camera member 42 is installed below the second main frame 3. The transmission inspection camera member 43 positioned between the first reflection inspection camera member 41 and the second reflection inspection camera member 42 is installed on the upper and lower sides of the second main frame 2, and the blind member 44 is disposed. ) Is installed on the upper side of the conveyor unit 60 to cover both ends of the LCD panel (1).

컨베이어부(60)의 상측에 설치된 블라인드부재(44)는 컨베이어부(60)에 의해 LCD판넬(1)이 검사위치로 이송되면 LCD판넬(1)의 양측단을 가리게 되며, 이 상태에서 제1반사검사 카메라부재에 의해 LCD판넬(1)의 제1편광필름부재(1c)를 검사하고, 투과검사 카메라부재(43)에 의해 LCD판넬(1)의 복수개의 유리기판(1b)의 검사를 실시하며, 제2반사검사 카메라부재(42)에 의해 LCD판넬(1)의 제2편광필름부재(1d)를 검사하게 된다. The blind member 44 installed on the upper side of the conveyor unit 60 covers both ends of the LCD panel 1 when the LCD panel 1 is transferred to the inspection position by the conveyor unit 60, and in this state, the blind member 44 is disposed. The first polarizing film member 1c of the LCD panel 1 is inspected by the reflection inspection camera member and the plurality of glass substrates 1b of the LCD panel 1 are inspected by the transmission inspection camera member 43. In addition, the second polarization film member 1d of the LCD panel 1 is inspected by the second reflection inspection camera member 42.

LCD판넬(1)의 제1편광필름부재(1c)와 제2편광필름부재(1d)와 이 제1편광필름부재(1c)와 제2편광필름부재(1d)이 부착된 복수개의 유리기판(1b)를 각각 검사하여 각각에 부착되는 이물이나 들뜸 상태의 불량여부를 검사하는 제1반사검사 카메라부재(41)와 제2반사검사 카메라부재(42)와 투과검사 카메라부재(43)는 각각 조명(41a,42a,43a), 카메라(41b,42b,43b), 마이크로미터(micrometer)(41c,42c,43c), 제1경사조정부재(41d,42d,43d) 및 제2경사조정부재(41e,42e,43e)로 구성된다. A plurality of glass substrates on which the first polarizing film member 1c and the second polarizing film member 1d of the LCD panel 1 and the first polarizing film member 1c and the second polarizing film member 1d are attached ( 1b) and the first reflection inspection camera member 41, the second reflection inspection camera member 42 and the penetration inspection camera member 43, respectively, for inspecting whether the foreign matter attached to each other or the lifting state is defective, respectively, are illuminated. (41a, 42a, 43a), cameras (41b, 42b, 43b), micrometers (41c, 42c, 43c), first tilt adjustment members 41d, 42d, 43d, and second tilt adjustment members 41e. , 42e, 43e).

조명(41a,42a,43a)은 각각 소정 각도로 경사지게 설치되어 광원을 발생하여 LCD판넬(1)의 표면으로 조사하고, 카메라(41b,42b,43b)는 LCD판넬(1)의 표면에서 반사되는 광이미지를 촬영할 수 있도록 소정 각도로 경사지게 설치된다. 여기서, 제1반사검사 카메라부재(41)와 제2반사검사 카메라부재(42)의 카메라(41b,42b)의 제1경사각도(a1)는 LCD판넬(1)의 표면을 기준으로 50 내지 70도 중 이물이나 들뜸을 가장 적절하게 검사할 수 있는 경사각도를 설정하여 설치되며, 조명(41a,42a)의 제2경사각도(a2)는 30 내지 50도로 경사지게 설치한다. 또한, 투과검사 카메라부재(43)의 카메라(43b)와 조명(43a)의 각각의 제1경사각도(a1) 및 제2경사각도(a2)는 각각 LCD판넬(1)의 표면을 기준으로 각각 직각이 되도록 카메라(43b)와 조명(43a) 이 각각 제2메인프레임(3)에 설치된다.Illuminations 41a, 42a and 43a are inclined at predetermined angles, respectively, to generate a light source to irradiate the surface of the LCD panel 1, and the cameras 41b, 42b and 43b are reflected from the surface of the LCD panel 1. It is installed to be inclined at a predetermined angle so that the optical image can be taken. Here, the first inclination angle a1 of the cameras 41b and 42b of the first reflection inspection camera member 41 and the second reflection inspection camera member 42 is 50 to 70 based on the surface of the LCD panel 1. In the figure is installed by setting the inclination angle that can be most appropriately inspected foreign matter or lifting, the second inclination angle (a2) of the lights (41a, 42a) is installed to be inclined 30 to 50 degrees. In addition, each of the first inclination angle a1 and the second inclination angle a2 of the camera 43b and the illumination 43a of the transmission inspection camera member 43 is based on the surface of the LCD panel 1, respectively. The camera 43b and the illumination 43a are installed in the second main frame 3 so as to be perpendicular to each other.

조명(41a,42a,43a)과 카메라(41b,42b,43b)를 그 경사각도 또는 수직방향으로 연장되는 방향으로 직선 이동시키기 위해 마이크로미터(41c,42c,43c)가 구비되며, 카메라(41b,42b,43b)를 각각 제1회동각도(m1: 도 5에 도시됨)와 제2회동각도(m2: 도 5에 도시됨)로 경사지게 회동시킬 수 있도록 제1경사조정부재(41d,42d,43d)와 제2경사조정부재(41e,42e,43e)가 구비된다. Micrometers 41c, 42c, 43c are provided for linearly moving the lights 41a, 42a, 43a and the cameras 41b, 42b, 43b in the direction of inclination or extending in the vertical direction, and the cameras 41b, The first tilt adjusting members 41d, 42d, 43d so as to be able to rotate 42b, 43b at a first rotation angle (m1: shown in FIG. 5) and a second rotation angle (m2: shown in FIG. 5), respectively. ) And second inclination adjustment members 41e, 42e, 43e.

이러한 마이크로미터(41c,42c,43c), 제1경사조정부재(41d,42d,43d) 및 제2경사조정부재(41e,42e,43e)는 모두 동일하게 구성되어 대표적으로 제1반사검사 카메라부재(41)에 구비된 마이크로미터(41c), 제1경사조정부재(41d) 및 제2경사조정부재(41e)를 첨부된 도 5를 이용하여 설명하면 다음과 같다.The micrometers 41c, 42c and 43c, the first tilt adjusting members 41d, 42d and 43d, and the second tilt adjusting members 41e, 42e and 43e are all configured in the same manner, and typically, the first reflection inspection camera member. The micrometer 41c, the first inclination adjustment member 41d and the second inclination adjustment member 41e provided at 41 will be described with reference to FIG. 5.

도 5에 도시된 바와 같이 마이크로미터(41c)는 제1고정블럭(41h)과 제2고정블럭(41i)에 각각 설치되며, 제1고정블럭(41h)은 고정플레이트(41f)에 설치되고, 제2고정블럭(41i)는 이동플레이트(41g)에 설치되어 마이크로미터(41c)를 조정시 고정플레이트(41f)를 따라 이동플레이트(41g)가 전/후진되어 카메라(41b)를 경사각도로 연장되는 방향으로 직선 이동시킨다.As shown in FIG. 5, the micrometer 41c is installed at each of the first fixing block 41h and the second fixing block 41i, and the first fixing block 41h is installed at the fixing plate 41f. The second fixing block 41i is installed on the moving plate 41g so that when the micrometer 41c is adjusted, the moving plate 41g is moved forward / backward along the fixed plate 41f to extend the camera 41b at an inclination angle. To move in a straight line.

카메라(41b)를 제1회동각도(m1)와 제2회동각도(m2)로 회동시키는 제1경사조정부재(41d)와 제2경사조정부재(41e)는 도 6에 도시된 바와 같이, 볼록 곡면을 갖는 제1회동블럭(41j)와 오목 곡면을 갖는 제2회동블럭(41k)으로 각각 구성되며, 제1회동블럭(41j)의 볼록곡면과 제2회동블럭(41k)의 오목곡면이 서로 접하게 설치한 후 제1회동블록(41j)의 볼록곡면을 제2회동블럭(41k)의 오목곡면을 따라 이동시켜 카메라(41b)를 제1회동각도(m1)와 제2회동각도(m2)로 회동시키게 된다. As shown in FIG. 6, the first tilt adjusting member 41d and the second tilt adjusting member 41e which rotate the camera 41b at the first rotation angle m1 and the second rotation angle m2 are convex. The first rotating block 41j having a curved surface and the second rotating block 41k having a concave curved surface, respectively, and the convex curved surface of the first rotating block 41j and the concave curved surface of the second rotating block 41k are each other. After installation, the convex curved surface of the first pivot block 41j is moved along the concave curvature of the second pivot block 41k to move the camera 41b at the first pivot angle m1 and the second pivot angle m2. Rotated.

특히, 검사부(40)에서 투과검사 카메라부재(43)는 복수개의 곡선형 고정부재(43f)와 투과검사 이동부재(43g)가 더 구비된다. 복수개의 곡선형 고정부재(43f)는 제2메인프레임(3)에 고정 설치되며, 복수개의 투과검사 이동부재(43g)는 각각 곡선형 고정부재(43f)의 곡선을 따라 이동되도록 설치된다. 곡선을 따라 이동되는 복수개의 투과검사 이동부재(43g)에는 각각 조명(43a)과 카메라(43b)가 각각 고정 설치된다. In particular, in the inspection unit 40, the penetration inspection camera member 43 is further provided with a plurality of curved fixing members 43f and the penetration inspection moving member 43g. The plurality of curved fixing members 43f are fixed to the second main frame 3, and the plurality of transmission inspection moving members 43g are installed to move along the curves of the curved fixing members 43f, respectively. The illumination 43a and the camera 43b are fixed to the plurality of transmission inspection moving members 43g respectively moving along the curve.

이와 같이 복수개의 곡선형 고정부재(43f), 투과검사 이동부재(43g), 마이크로미터(41c,42c,43c), 제1경사조정부재(41d,42d,43d) 및 제2경사조정부재(41e,42e,43e)로 경사각도의 간격이 조절되면 조명(41a,42a,43a)과 카메라(41b,42b,43b)를 이용하여 LCD판넬(1)을 검사하기 위해 블라인드부재(44)가 구비된다.Thus, the plurality of curved fixing members 43f, the permeation inspection moving member 43g, the micrometers 41c, 42c, 43c, the first tilt adjusting members 41d, 42d, 43d, and the second tilt adjusting member 41e. When the interval of the inclination angle is adjusted by 42e and 43e, a blind member 44 is provided to inspect the LCD panel 1 by using the lights 41a, 42a and 43a and the cameras 41b, 42b and 43b. .

블라인드부재(44)는 조명(41a,42a,43a) 특히, 투과검사 카메라부재(43)의 조명(43a)이 LCD판넬(1)의 가장자리 부근에서 확산되어 침투됨으로 인한 검사 오류를 방지하기 위해 설치되며, 도 7에 도시된 바와 같이 복수개의 제2슬라이딩가이드(44b), 복수개의 제2이동블록(44c) 및 복수개의 조명가림부재(44d)로 구성된다. The blind member 44 is installed to prevent an inspection error caused by the illumination 41a, 42a, 43a, in particular, the illumination 43a of the penetration inspection camera member 43 spreading and penetrating near the edge of the LCD panel 1. As shown in FIG. 7, the plurality of second sliding guides 44b, the plurality of second moving blocks 44c, and the plurality of illumination blocking members 44d are provided.

복수개의 제2슬라이딩가이드(44b)는 블라인드 프레임(44a)에 설치되며, 복수개의 제2이동블록(44c)은 각각 제2슬라이딩가이드(44b)를 따라 이동되도록 설치된다. 제2슬라이딩가이드(44b)를 따라 각각 이동되는 제2이동블록(44c)에는 각각 조명가림부재(44d)가 설치된다. 이와 같이 제2이동블록(44c)에 각각 설치된 복수개의 조명가림부재(44d)는 컨베이어부(60)에 의해 LCD판넬(1)이 검사위치로 이송되면 LCD판넬(1)의 양측단에서 광이 확산되는 것을 방지하기 위해 LCD판넬(1)의 양측단을 가리게 된다. The plurality of second sliding guides 44b are installed in the blind frame 44a, and the plurality of second moving blocks 44c are installed to move along the second sliding guide 44b, respectively. Illumination obstruction members 44d are respectively installed on the second moving blocks 44c which are respectively moved along the second sliding guide 44b. As described above, when the LCD panel 1 is transferred to the inspection position by the conveyor unit 60, the plurality of illumination cover members 44d respectively installed in the second moving block 44c have light at both ends of the LCD panel 1. Both ends of the LCD panel 1 are covered to prevent diffusion.

블라인드부재(44)에 의해 LCD판넬(1)의 양측단이 가려진 상태에서 검사부(40)에 LCD판넬(1)의 검사가 완료되면 이를 컨베이어부(60)에 의해 언로딩 리프트부(50)로 언로딩시킨다. When the inspection of the LCD panel 1 is completed in the inspection unit 40 in a state in which both sides of the LCD panel 1 are covered by the blind member 44, the conveyor unit 60 is transferred to the unloading lift unit 50 by the conveyor unit 60. Unload

컨베이어부(60)는 LCD판넬(1)을 세정부(20)와 정렬부(30) 및 검사부(40)로 순차적으로 이송시키기 위해 도 2에 도시된 바와 같이 로딩 리프트부(10)와 언로딩 리프트부(50)와 각각 LCD판넬(1)을 반출입할 수 있도록 로딩 리프트부(10)와 언로딩 리프트부(50) 사이에 설치되어 구성된다. The conveyor unit 60 unloads the loading lift unit 10 as shown in FIG. 2 to sequentially transfer the LCD panel 1 to the cleaning unit 20, the alignment unit 30, and the inspection unit 40. The lift unit 50 and the LCD panel 1, respectively, to be carried in and out between the loading lift unit 10 and the unloading lift unit 50 is configured.

로딩 리프트부(10)와 언로딩 리프트부(50) 사이에 설치된 컨베이어부(60)는 도 2에 도시된 바와 같이 세정부 컨베이어(61), 정렬부 컨베이어(62), 검사부 컨베이어(63) 및 복수개의 버퍼 컨베이어(64)로 구성된다. The conveyor unit 60 installed between the loading lift unit 10 and the unloading lift unit 50 may include a washing unit conveyor 61, an alignment unit conveyor 62, an inspection unit conveyor 63, and the like as shown in FIG. 2. It consists of a plurality of buffer conveyors 64.

세정부 컨베이어(61)는 로딩 리프트부(10)에서 로딩된 LCD판넬(1)을 세정부(20)로 이송시키기 위해 제2메인프레임(3)의 타측에 설치되며, 정렬부 컨베이어(62)는 세정부(20)에서 정렬부(30)로 LCD판넬(1)을 이송시키기 위해 세정부 컨베이어(61)의 타측에 설치된다.The cleaning unit conveyor 61 is installed at the other side of the second main frame 3 to transfer the LCD panel 1 loaded from the loading lift unit 10 to the cleaning unit 20, and the alignment unit conveyor 62. Is installed on the other side of the cleaning unit conveyor 61 to transfer the LCD panel 1 from the cleaning unit 20 to the alignment unit 30.

정렬부(30)에서 정렬된 LCD판넬(1)을 검사부(40)로 이송시키기 위해 세정부 컨베이어(61)의 타측에 검사부 컨베이어(63)가 설치되며, 검사부(40)에서 언로딩 리프트부(50)로 LCD판넬(1)을 이송시 일시 대기시키기 위해 검사부 컨베이어(63)의 타측에 복수개의 버퍼(buffer) 컨베이어(64,65)각각 설치된다.In order to transfer the LCD panel 1 aligned in the alignment unit 30 to the inspection unit 40, the inspection unit conveyor 63 is installed at the other side of the cleaning unit conveyor 61, and the unloading lift unit ( 50, a plurality of buffer conveyors 64 and 65 are respectively installed on the other side of the inspection unit conveyor 63 in order to temporarily wait for the LCD panel 1 to be transferred.

이상과 같이 구성된 본 발명의 LCD판넬 검사장치를 이용하여 LCD판넬(1)을 검사하는 작용을 도 2 내지 도 4를 이용하여 개략적으로 설명하면 다음과 같다.The operation of inspecting the LCD panel 1 using the LCD panel inspection apparatus of the present invention configured as described above will be described schematically with reference to FIGS. 2 to 4.

먼저, 언로딩 리프트(10)의 반출입 컨베이어(11)에 LCD판넬(1)을 로딩하면 리프트(13)의 아암(13c)이 90도 회전하여 LCD판넬(1)을 파지하여 가변 컨베이어(12)로 이송한다. 가변 컨베이어(12)로 아암(13c)이 이송되면 아암(13c)은 가변 컨베이어(12)에 LCD판넬(1)을 안착시킨다. First, when the LCD panel 1 is loaded on the loading and unloading conveyor 11 of the unloading lift 10, the arm 13c of the lift 13 is rotated 90 degrees to hold the LCD panel 1 to adjust the variable conveyor 12. Transfer to. When the arm 13c is transferred to the variable conveyor 12, the arm 13c seats the LCD panel 1 on the variable conveyor 12.

가변 컨베이어(12)는 안착된 LCD판넬(1)을 컨베이어부(60)로 로딩한다. 컨베이어부(60)는 로딩된 LDC판넬(1)을 세정부(20)로 이송시킨다. 세정부(20)는 이송된 LCD판넬(1)의 표면에 부착된 이물질을 제거한다. 컨베이어부(60)에 의해 연속적으로 이송되면 세정부(20)에서 표면에 부착된 이물질이 제거된 LCD판넬(1)는 정렬부(30)로 이송된다. The variable conveyor 12 loads the seated LCD panel 1 into the conveyor unit 60. The conveyor unit 60 transfers the loaded LDC panel 1 to the cleaning unit 20. The cleaning unit 20 removes foreign matter attached to the surface of the transferred LCD panel 1. When continuously conveyed by the conveyor unit 60, the LCD panel 1 from which the foreign matter attached to the surface is removed from the cleaning unit 20 is transferred to the alignment unit 30.

정렬부(30)로 이송된 LCD판넬(1)이 위치가 틀어지는 경웨 정렬부(30)의 푸시부재(36)가 LCD판넬(1)의 양측면을 푸시하여 바르게 정렬한다. LCD판넬(1)이 컨베이어부(60)에 의해 연속적으로 이송되면서 정렬부(30)를 통해 정렬되면 검사부(40)로 이송된다. 검사부(40)로 이송된 LCD판넬(1)는 블라인드부재(44)에 의해 그 양측단이 가려진다. When the LCD panel 1 transferred to the alignment unit 30 is displaced, the push member 36 of the alignment unit 30 pushes both sides of the LCD panel 1 and aligns it correctly. When the LCD panel 1 is continuously aligned by the conveyor unit 60 and aligned through the alignment unit 30, the LCD panel 1 is transferred to the inspection unit 40. Both ends of the LCD panel 1 transferred to the inspection unit 40 are covered by the blind member 44.

블라인드부재(44)에 의해 LCD판넬(1)의 양측단이 가려지면 제1반사검사 카메라부재(41), 제2반사검사 카메라부재(42) 및 투과검사 카메라부재(43)를 통해 LCD판넬(1)를 구비하고 있는 복수개의 유리기판(1b)와 제1 및 제2편광필름부재(1c,1d) 에 이물이 부착되었는지 또는 들뜸이 발생되었는지 여부를 검사하게 된다.If both ends of the LCD panel 1 are covered by the blind member 44, the LCD panel (eg, the first reflective camera member 41, the second reflective camera member 42, and the transmission camera member 43) may be used. It is checked whether foreign matter is attached to the plurality of glass substrates 1b and the first and second polarizing film members 1c and 1d provided with 1) or if there is lifting.

보다 구체적으로는 제1반사검사 카메라부재(41) 및 제2반사검사 카메라부재(42)에 의해 제1 및 제2편광필름부재(1c,1d)에 이물이 부착되었는지 또는 들뜸이 발생되었는지 여부를 검사하고, 투과검사 카메라부재(43)를 통해 복수개의 유리기판(1b)에 이물이 부착되었는지 또는 들뜸이 발생되었는지 여부를 검사한다.More specifically, whether the foreign matter is attached to the first and second polarizing film members 1c and 1d by the first reflection inspection camera member 41 and the second reflection inspection camera member 42, or whether the lifting is generated. It is inspected, and whether the foreign matter is attached to the plurality of glass substrate (1b) through the permeation inspection camera member 43 or whether the lifting is generated.

LCD판넬(1)의 검사는 컨베이어부(60)에 의해 연속적으로 이송되면서 검사작업이 실시되며, 검사가 완료된 LCD판넬(1)은 컨베이어부(60)에 의해 언로딩 리프트부(50)로 언로딩된다. 언로딩된 LCD판넬(1)은 가변 컨베이어(52)에서 로딩받으며, LCD판넬(1)이 가변 컨베이어(52)로 언로딩되면 이를 리프트(53)의 아암(51c)이 파지한다. The inspection of the LCD panel 1 is continuously carried out by the conveyor unit 60, and the inspection operation is carried out. The LCD panel 1, which has been inspected, is unloaded by the conveyor unit 60 to the unloading lift unit 50. Loaded. The unloaded LCD panel 1 is loaded on the variable conveyor 52, and when the LCD panel 1 is unloaded by the variable conveyor 52, the arm 51c of the lift 53 is gripped.

검사가 완료되어 언로딩된 LCD판넬(1)를 파지한 아암(51c)은 수직방향으로 하강하여 검사가 완료된 LCD판넬(1)를 반출입 컨베이어(51)에 안착시킨다. 반출입 컨베이어(51)에 LCD판넬(1)이 안착되면 반출입 컨베이어(51)는 이를 외부로 반출하여 검사작업을 완료하게 된다. The arm 51c holding the unloaded LCD panel 1 after the inspection is completed is lowered in the vertical direction to seat the finished LCD panel 1 on the loading / unloading conveyor 51. When the LCD panel 1 is seated on the loading and unloading conveyor 51, the loading and unloading conveyor 51 is carried out to the outside to complete the inspection work.

이상에 설명한 바와 같이 본 발명의 LCD판넬 검사장치 액정이 채워진 복수개의 유리판넬에 발생될 수 있는 이물이나 들뜸을 검사함과 아울러 복수개의 유리판넬에 각각 부착되는 제1 및 제2편광필름부재에 발생될 수 있는 이물이나 들뜸을 자동으로 정확하게 검사함으로써 LCD판넬의 검사작업의 생산성을 개선하는 이점을 제공한다.As described above, the LCD panel inspection device according to the present invention inspects foreign substances or lifting which may occur in a plurality of glass panels filled with liquid crystal, and occurs in the first and second polarizing film members respectively attached to the plurality of glass panels. By automatically and accurately inspecting possible foreign objects or lifting, it provides the advantage of improving the productivity of the inspection operation of the LCD panel.

Claims (12)

액정이 내측에 설치된 복수개의 유리기판과 각각의 유리기판에 부착된 제1 및 제2편광필름부재로 이루어지는 LCD판넬을 검사하는 장치에 있어서,An apparatus for inspecting an LCD panel comprising a plurality of glass substrates having liquid crystals provided therein and first and second polarizing film members attached to respective glass substrates. 상기 LCD판넬이 반입되면 반입된 LCD판넬을 수직방향으로 이송시켜 로딩시키는 로딩 리프트부,When the LCD panel is brought in, a loading lift unit for transporting and loading the imported LCD panel in the vertical direction, 상기 로딩 리프트부의 일측에 설치되어 로딩 리프트부에서 로딩된 상기 LCD판넬의 표면에 부착된 이물질을 세정하는 세정부와,A cleaning unit installed at one side of the loading lift unit to clean foreign substances attached to the surface of the LCD panel loaded from the loading lift unit; 상기 세정부의 일측에 설치되어 세정부에서 세정이 완료된 상기 LCD판넬을 정렬하는 정렬부와,An alignment unit installed at one side of the cleaning unit to align the LCD panel which has been cleaned at the cleaning unit; 상기 정렬부의 일측에 설치되어 정렬부에서 정렬이 완료된 상기 LCD판넬의 상기 복수개의 유리기판과 상기 제1 및 제2편광필름부재에 이물과 들뜸이 있는지 여부를 검사하는 검사부와,An inspection unit installed at one side of the alignment unit and inspecting whether the plurality of glass substrates and the first and second polarizing film members of the LCD panel, which are aligned at the alignment unit, are free of foreign substances and lifting; 상기 검사부의 일측에 설치되어 검사가 완료된 상기 LCD판넬을 언로딩하여 수직방향으로 하강시켜 반출하는 언로딩 리프트부와,An unloading lift unit installed at one side of the inspection unit and unloading the LCD panel which has been inspected and lowered in a vertical direction to be carried out; 상기 로딩 리프트부와 상기 언로딩 리프트부와 각각 상기 LCD판넬을 반출입할 수 있도록 상기 로딩 리프트부와 상기 언로딩 리프트부 사이에 설치되어 LCD판넬을 상기 세정부와 상기 정렬부 및 상기 검사부로 순차적으로 이송시키는 컨베이어부로 구비됨을 특징으로 하는 LCD판넬 검사장치.The loading lift unit and the unloading lift unit are respectively installed between the loading lift unit and the unloading lift unit to carry in and out of the LCD panel, and the LCD panel is sequentially disposed to the cleaning unit, the alignment unit, and the inspection unit. LCD panel inspection device, characterized in that provided with a conveyor to transfer. 제 1 항에 있어서, 상기 로딩 리프트부와 상기 언로딩 리프트부는 각각 제1메인프레임의 하측에 설치되어 상기 LCD판넬을 반출입하는 반출입 컨베이어와,The loading and unloading conveyor of claim 1, wherein the loading lift unit and the unloading lift unit are respectively installed below the first main frame, and carry in and out the LCD panel. 제1메인프레임의 상측에 설치되어 상기 컨베이어부로 상기 LCD판넬을 로딩하거나 검사가 완료된 LCD판넬을 상기 컨베이어부로부터 이송받아 언로딩시키는 가변 컨베이어와,A variable conveyor installed on an upper side of a first main frame to load the LCD panel to the conveyor unit or to unload the LCD panel that has been inspected from the conveyor unit; 제1메인프레임에 수직방향으로 이동되도록 설치되어 상기 반출/입 컨베이어와 상기 가변 컨베이어로 LCD판넬을 승/하강시키는 리프트로 구비됨을 특징으로 하는 LCD판넬 검사장치.LCD panel inspection apparatus is installed so as to move in the vertical direction on the first main frame is provided as a lift to lift / lower the LCD panel to the export / entry conveyor and the variable conveyor. 제 1 항에 있어서, 상기 세정부는 상기 로딩리프트부의 일측 적어도 하나 이상이 설치됨을 특징으로 하는 LCD판넬 검사장치.According to claim 1, wherein the cleaning unit LCD panel inspection apparatus, characterized in that at least one side of the loading lift unit is installed. 제 3 항에 있어서, 상기 세정부는 LCD판넬의 표면의 정전기를 제거하는 이오나이저와,The cleaning apparatus of claim 3, wherein the cleaning unit comprises: an ionizer for removing static electricity from the surface of the LCD panel; 정전기가 제거된 LCD판넬의 표면에 부착된 이물질을 탈착시키는 송풍기와,Blower for detaching foreign matter attached to the surface of LCD panel which has removed static electricity, 상기 송풍기에 의해 탈착된 이물질을 집진하여 집진관을 통해 외부로 배출하는 집진기로 구비됨을 특징으로 하는 LCD판넬 검사장치. LCD panel inspection device, characterized in that the dust collector is provided with a dust collector for collecting the foreign matter detached by the blower to the outside through the dust collecting pipe. 제 1 항에 있어서, 상기 정렬부는 정렬플레이트에 각각 설치되는 복수개의 제1슬라이딩가이드와,According to claim 1, wherein the alignment unit A plurality of first sliding guides respectively installed on the alignment plate, 정렬플레이트의 양측에 각각 설치되는 복수개의 풀리와,A plurality of pulleys respectively installed on both sides of the alignment plate, 상기 복수개의 풀리에 연결되는 타이밍벨트와, A timing belt connected to the plurality of pulleys, 상기 제1슬라이딩가이드와 상기 타이밍벨트에 각각 설치되어 타이밍벨트의 회전에 따라 서로 간격이 좁아지거나 멀어지도록 제1슬라이딩가이드를 따라 이동하는 복수개의 제1이동블록과,A plurality of first moving blocks installed on the first sliding guide and the timing belt, respectively, and moving along the first sliding guide so as to be narrowed or separated from each other according to the rotation of the timing belt; 상기 제1이동블록에 각각 설치되어 상기 LCD판넬의 측면을 푸시하는 정렬시키는 푸시부재로 구비됨을 특징으로 하는 LCD판넬 검사장치. LCD panel inspection apparatus, characterized in that provided in each of the first moving block is provided with a push member for aligning the push of the side of the LCD panel. 제 1 항에 있어서, 상기 검사부는 제2메인프레임의 상측에 설치되는 제1반사검사 카메라부재와,The method of claim 1, wherein the inspection unit and the first reflection inspection camera member installed on the upper side of the second main frame, 제2메인프레임의 하측에 설치되는 제2반사검사 카메라부재와,A second reflection inspection camera member installed below the second main frame, 제2메인프레임의 상/하측에 각각 설치되는 투과검사 카메라부재와,A transmission inspection camera member respectively installed on the upper and lower sides of the second main frame; 상기 LCD판넬의 양측단을 가리는 블라인드부재로 구비되어,It is provided with a blind member covering both ends of the LCD panel, 상기 컨베이어부에 의해 상기 LCD판넬이 검사위치로 이송되면 상기 블라인드부재에 의해 LCD판넬의 양측단을 가린 상태에서 상기 제1반사검사 카메라부재에 의해 LCD판넬의 상기 제1편광필름부재를 검사하고, 상기 투과검사 카메라부재에 의해 LCD판넬의 상기 복수개의 유리기판의 검사를 실시하며, 상기 제2반사검사 카메라부재에 의해 LCD판넬의 상기 제2편광필름부재를 검사함을 특징으로 하는 LCD판넬 검사장치. When the LCD panel is transferred to the inspection position by the conveyor unit, the first polarization film member of the LCD panel is inspected by the first reflection inspection camera member while both sides of the LCD panel are covered by the blind member. And inspecting the plurality of glass substrates of the LCD panel by the transmission inspection camera member, and inspecting the second polarizing film member of the LCD panel by the second reflection inspection camera member. . 제 6 항에 있어서, 상기 제1반사검사 카메라부재와 상기 제2반사검사 카메라부재와 상기 투과검사 카메라부재는 각각 제2경사각도로 경사지게 설치되어 광원을 발생하여 상기 LCD판넬의 표면으로 조사하는 조명과,[7] The apparatus of claim 6, wherein the first reflection camera member, the second reflection inspection camera member, and the transmission inspection camera member are respectively inclined at a second inclination angle to generate a light source and irradiate the surface of the LCD panel. , 상기 LCD판넬의 표면에서 반사되는 광이미지를 촬영할 수 있도록 제1경사각도로 경사지게 설치된 카메라와,A camera inclined at a first inclination angle so as to photograph an optical image reflected from the surface of the LCD panel; 상기 조명과 상기 카메라를 직선방향으로 이동시키는 마이크로미터와,A micrometer for moving the illumination and the camera in a linear direction; 상기 카메라를 제1회동각도로 회동되도록 조정하는 제1경사조정부재와,A first tilt adjusting member for adjusting the camera to be rotated at a first rotational angle; 상기 카메라를 제2회동각도로 회동되도록 조정하는 제2경사조정부재로 구비됨을 특징으로 하는 LCD판넬 검사장치.LCD panel inspection device, characterized in that provided with a second tilt adjusting member for adjusting the camera to rotate at a second rotation angle. 제 6 항 또는 제 7 항에 있어서, 상기 제1반사검사 카메라부재와 상기 제2반사검사 카메라부재의 상기 카메라의 제1경사각도는 LCD판넬의 표면을 기준으로 50 내지 70도로 경사지게 설치되며, 상기 조명의 제2경사각도는 30 내지 50도로 경사지게 설치됨을 특징으로 하는 LCD판넬 검사장치.The method according to claim 6 or 7, wherein the first inclination angle of the camera of the first reflection inspection camera member and the second reflection inspection camera member is installed at an angle of 50 to 70 degrees relative to the surface of the LCD panel, LCD panel inspection apparatus, characterized in that the second inclination angle of the illumination is installed inclined 30 to 50 degrees. 제 6 항 또는 제 7 항에 있어서, 상기 투과검사 카메라부재의 상기 카메라의 제1경사각도와 상기 조명의 제2경사각도는 LCD판넬의 표면을 기준으로 각각 직각되도록 설치됨을 특징으로 하는 LCD판넬 검사장치.The apparatus of claim 6, wherein the first tilt angle of the camera and the second tilt angle of the illumination of the transmission inspection camera member are installed to be perpendicular to the surface of the LCD panel. . 제 6 항 또는 제 7 항에 있어서, 상기 투과검사 카메라부재는 복수개의 곡선 형 고정부재와,The method of claim 6 or 7, wherein the transmission camera member is a plurality of curved fixing member, 상기 복수개의 곡선형 고정부재의 곡면에 이동되도록 설치되어 상기 카메라와 상기 조명을 이동시키는 투과검사 이동부재로 구비됨을 특징으로 하는 LCD판넬 검사장치.LCD panel inspection apparatus, characterized in that provided as a transmissive inspection moving member for moving the camera and the illumination is installed to move on the curved surface of the plurality of curved fixing member. 제 6 항에 있어서, 상기 블라인드부재는 블라인드 프레임에 설치되는 복수개의 제2슬라이딩가이드와,The method of claim 6, wherein the blind member is a plurality of second sliding guides installed in the blind frame, 상기 제2슬라이딩가이드에 각각 이동되도록 설치되는 복수개의 제2이동블록과, A plurality of second moving blocks installed on the second sliding guide, respectively; 상기 제2이동블록에 각각 설치되어 상기 LCD판넬이 검사위치로 이송되면 LCD판넬의 양측단에서 광이 확산되는 것을 방지하기 위해 LCD판넬의 양측단을 가리는 복수개의 조명가림부재로 구비됨을 특징으로 하는 LCD판넬 검사장치.Installed on the second moving block, respectively, when the LCD panel is moved to the inspection position, characterized in that it is provided with a plurality of illumination covering members covering both ends of the LCD panel to prevent light from being diffused from both ends of the LCD panel. LCD panel inspection device. 제 1 항에 있어서, 상기 컨베이어부는 LCD판넬을 상기 로딩 리프트부에서 상기 세정부로 이송하기 위해 제2메인프레임의 타측에 설치되는 세정부 컨베이어와,The cleaning part conveyor of claim 1, wherein the conveyor part is installed at the other side of the second main frame to transfer the LCD panel from the loading lift part to the cleaning part. LCD판넬을 상기 세정부에서 상기 정렬부로 이송시키기 위해 상기 세정부 컨베이어의 일측에 설치되는 정렬부 컨베이어와,An alignment unit conveyor installed at one side of the cleaning unit conveyor to transfer the LCD panel from the cleaning unit to the alignment unit; LCD판넬을 상기 정렬부에서 상기 검사부로 이송시키기 위해 상기 정렬부 컨베이어의 일측에 설치되는 검사부 컨베이어와,An inspection unit conveyor installed at one side of the alignment unit conveyor to transfer the LCD panel from the alignment unit to the inspection unit; 상기 검사부에서 상기 언로딩 리프트부로 LCD판넬을 이송시 일시 대기시키기 위해 상기 검사부 컨베이어의 일측에 설치되는 복수개의 버퍼 컨베이어로 구비됨을 특징으로 하는 LCD판넬 검사장치.LCD panel inspection apparatus, characterized in that provided with a plurality of buffer conveyors installed on one side of the inspection conveyor to temporarily wait during the transfer of the LCD panel from the inspection unit to the unloading lift.
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100863340B1 (en) * 2008-02-29 2008-10-15 와이즈플래닛(주) Particle inspection device for conveyor establishment
KR100915691B1 (en) * 2008-03-04 2009-09-08 주식회사 케이엔제이 Inspection apparatus flat display pannel and inspection method thereby
KR20100035518A (en) * 2008-09-26 2010-04-05 주식회사 디엠에스 Substrate treatment apparatus
KR101104188B1 (en) * 2010-04-23 2012-01-09 주식회사 프로텍 Led chip cleaning apparatus
KR101118229B1 (en) * 2010-03-31 2012-03-16 쿠퍼 에스 케이 쿠오 Support Mechanism for inspection systems
KR101948916B1 (en) * 2017-09-14 2019-02-18 (주)인비츠 Adhesion part inspection device for honeycomb blind fabric

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100375733B1 (en) * 1999-04-19 2003-03-15 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 System for cleaning/transferring a LCD cell
JP2004144913A (en) * 2002-10-23 2004-05-20 Yodogawa Medekku Kk Bonding device for polarizing plate

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100863340B1 (en) * 2008-02-29 2008-10-15 와이즈플래닛(주) Particle inspection device for conveyor establishment
KR100915691B1 (en) * 2008-03-04 2009-09-08 주식회사 케이엔제이 Inspection apparatus flat display pannel and inspection method thereby
KR20100035518A (en) * 2008-09-26 2010-04-05 주식회사 디엠에스 Substrate treatment apparatus
KR101118229B1 (en) * 2010-03-31 2012-03-16 쿠퍼 에스 케이 쿠오 Support Mechanism for inspection systems
KR101104188B1 (en) * 2010-04-23 2012-01-09 주식회사 프로텍 Led chip cleaning apparatus
KR101948916B1 (en) * 2017-09-14 2019-02-18 (주)인비츠 Adhesion part inspection device for honeycomb blind fabric

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