KR20070057470A - 배스의 흄 유출 방지장치 및 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 배스의 흄 유출 방지장치 및 방법에 관한 것으로, 본 발명 배스의 흄 유출 방지장치는 배스에 마련된 타공홀의 외측에 위치하여 에어 커튼을 형성하는 에어 커튼부와, 외부에서 에어를 공급하는 에어 공급관을 상기 에어 커튼부의 일단에 연결하는 연결부와, 상기 에어 커튼부의 타단에 결합되어 에어 커튼부에 공급된 에어가 그 타단을 통해 유출되는 것을 방지함과 아울러 그 에어 커튼부를 지지하는 밀폐지지부를 포함한다. 또한, 본 발명 배스의 흄 유출 방지방법은 배스에 마련된 타공홀의 외측 단부에서 그 타공홀의 중앙부를 향해 에어를 분사하여 에어 커튼을 형성하는 것을 특징으로 한다. 이와 같이 구성된 본 발명은 배스에 마련된 타공홀의 외측에서 에어 커튼을 형성하여, 타공홀을 통해 배스 내부의 흄이 유출되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Description

배스의 흄 유출 방지장치 및 방법{Drain prevention apparatus for fume of bath and method thereof}

도 1은 본 발명에 따른 배스의 흄 유출 방지장치의 사시도이다.

도 2는 본 발명에 따른 배스의 흄 유출 방지장치의 설치 상태도이다.

도 3은 본 발명에 따른 배스의 흄 유출 방지장치의 사용상태도이다.

도 4는 본 발명에 따른 배스의 흄 유출 방지장치의 다른 실시예의 사용상태 단면도이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

1:타공홀 2:배스

10:에어 커튼부 11:에어 분사구

12:직관 13:연결관

20:에어 공급관 30:연결부

40:밀폐지지부 50:구동축

본 발명은 배스의 흄 유출 방지장치 및 방법에 관한 것으로, 특히 회동축 등의 구조에 의해 배스의 내부가 노출되는 부분에서 흄이 유출되는 것을 방지할 수 있는 배스의 흄 유출 방지장치 및 방법에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 또는 평판 디스플레이 패널 기판을 세정하는 세정장비는 배스(bath) 내부로 기판을 이송시켜, 세정용액을 이용하여 기판을 세정한다. 이와 같은 세정과정에서 불순물을 포함하는 흄(fume)이 발생 될 수 있다.

상기 발생된 흄은 배스 내에서도 각종 문제를 일으킬 수 있으나, 흄이 배스의 외부인 크린룸(clean room)으로 유출되는 경우 크린룸의 청정도를 저하시키는 문제점이 있었다.

배스로부터 흄의 유출이 가장 많은 부분은 배스에 설치한 타공 홀 부분이다.

상기 타공 홀은 배스 내부로 유체 또는 기체를 전달하기 위한 관로의 형성을 위한 것이거나, 구동축이 마련된 위치 등에 설치된다.

종래에는 상기 타공 홀을 통해 배스 내부에서 크린룸으로 흄이 유출되는 것을 방지하는 수단이 없었으며, 흄의 유출에 의하여 크린룸의 청정도에 악영향을 주며, 작업장 주변이 오염되는 등의 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명은 배스에 마련된 타공홀을 통해 흄이 유출되는 것을 방지할 수 있는 배스의 흄 유출 방지장치 및 방법을 제공함에 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명 배스의 흄 유출 방지장치는 배스에 마련된 타공홀의 외측에 위치하여 에어 커튼(air curtain)을 형성하는 에어 커튼부와, 외부에서 에어를 공급하는 에어 공급관을 상기 에어 커튼부의 일단에 연결하는 연결부와, 상기 에어 커튼부의 타단에 결합되어 에어 커튼부에 공급된 에어가 그 타단을 통해 유출되는 것을 방지함과 아울러 그 에어 커튼부를 지지하는 밀폐지지부를 포함한다.

또한, 본 발명 배스의 흄 유출 방지방법은 배스에 마련된 타공홀의 외측 단부에서 그 타공홀의 중앙부를 향해 에어를 분사하여 에어 커튼을 형성하는 것을 특징으로 한다.

상기와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시예들을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 배스의 흄 유출 방지장치의 사시도이고, 도 2는 그 설치 상태도이다.

이를 참조하면, 본 발명에 따른 배스의 흄 유출 방지장치는 타공홀(1)의 형상에 맞춰 그 타공홀(1)의 외측 주변부에 위치하여, 다수의 에어 분사구(11)를 구비하여, 타공홀(1)에 에어 커튼을 형성하는 에어 커튼부(10)와, 상기 에어 커튼부 (10)의 일측에 에어 공급관(20)을 연결하는 연결부(30)와, 상기 에어 커튼부(10)의 타측을 지지함과 아울러 에어가 새지 않도록 밀폐하는 밀폐지지부(40)를 포함하여 구성된다.

미설명 부호 50은 롤 브러시(roll brush) 등의 구동축이다.

상기 에어 커튼부(10)는 타공홀(1)의 방향으로 다수의 에어 분사구(11)가 마련된 다수의 직관(12)과, 각 직관(12)을 연결하는 연결관(13)을 포함하여 구성된다.

이하, 상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 배스의 흄 유출 방지장치의 구조 및 작용을 보다 상세히 설명한다.

먼저, 에어 커튼부(10)는 배스에 마련된 타공홀(1)의 외측 가장자리를 따라 설치된다.

본 실시예에서는 타공홀(1)의 형상이 직사각형인 것을 예로 들었으나, 원형의 타공홀인 경우 원형의 에어 커튼부를 적용할 수 있다.

상기 직사각형의 타공홀(1)에 적용되는 에어 커튼부(10)는 3개의 직관(12)과, 90도 절곡된 2개의 연결관(13)을 포함한다.

상기 3개의 직관 각각은 일정한 간격 이격된 일렬 다수의 에어 분사구(11)가 마련되어 있다.

이와 같이 3개의 직관(12)의 사이를 2개의 연결관(13)을 이용하여 연결하여, 상기 타공홀(1)의 상단부 및 측단부에 인접하는 에어 커튼부(10)를 설치한다.

이때, 상기 직관(12)에 마련된 에어 분사구(11)는 모두 타공홀(1)의 방향을 향하도록 설치한다.

그 다음, 상기 설치된 에어 커튼부(10)의 일단에 연결부(30)를 이용하여 에어 공급관(20)을 통해 공급되는 에어가 에어 커튼부(10)로 유입될 수 있도록 한다.

또한, 상기 에어 커튼부(10)의 타단은 에어 커튼부(10)에 유입된 공기가 유출되지 않도록 밀폐하며, 상기 연결부(30)와 함께 에어 커튼부(10)를 지지할 수 있는 밀폐지지부(40)가 결합된다.

이와 같이 결합된 상태에서 상기 에어 공급관(20)을 통해 유입되는 에어는 에어 커튼부(10)의 내측으로 유입되며, 그 에어 커튼부(10)의 에어 분사구(11)를 통해 분사되어 에어 커튼을 형성한다.

이처럼 에어 커튼부(10)에 의해 형성된 에어 커튼은 타공홀(1)을 통해 배스 내부에서 발생된 흄이 외부로 유출되는 것을 방지할 수 있다.

상기 에어 커튼부(10)에 의해 형성된 에어 커튼의 분사압력은 배스 내부의 압력에 비하여 60%정도의 수준을 유지하여도 흄이 유출되는 것을 방지할 수 있다.

도 3은 본 발명에 따른 배스의 흄 유출 방지장치의 사용상태도이다.

이를 참조하면, 본 발명에 따른 흄 유출 방지장치는 구동축(50)의 연결 등을 위하여 배스(2)에 형성된 타공홀(1)의 외측 가장자리에 설치되어 있으며, 그 타공홀(1)의 외측 가장자리로부터 중앙측으로 에어를 분사하여 배스(2) 내부에서 발생된 흄이 배스(1)의 내부 압력의 증가에 의해 외부로 유출되는 것을 방지할 수 있다.

도 4는 본 발명에 따른 배스의 흄 유출 방지장치의 다른 실시예의 사용상태도이다.

이를 참조하면, 에어 커튼부(10)에 마련된 에어 분사구(11)는 타공홀(1)의 내측으로 에어를 분사할 수 있도록 경사지게 설치될 수 있다. 이는 타공홀(1)의 내측인 배스 내부에 에어 커튼을 형성한 것으로, 배스의 외벽과 에어커튼의 사이에 틈이 생기는 것을 방지할 수 있다.

즉, 에어 커튼과 타공홀(1)의 단부가 밀착되도록 함으로써 배스 내부에서 발생한 흄이 에어 커튼과 타공홀(1)의 틈새로 유출되는 것을 방지할 수 있다.

이때, 상기 에어 분사구(11)에서 분사된 에어의 분사각은 타공홀(1)과 이루는 각도가 약 5도 내지 10도 정도가 적당하다.

이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시 예들을 들어 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시 예들에 한정되지 않으며 본 발명의 개념을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능하다.

상기한 바와 같이 본 발명에 따른 배스의 흄 유출 방지장치 및 방법은 배스에 마련된 타공홀의 외측에서 에어 커튼을 형성하여, 타공홀을 통해 배스 내부의 흄이 유출되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명에 따른 배스의 흄 유출 방지장치 및 방법은 간단한 구조 및 낮은 압력의 에어를 공급받아, 배스의 타공홀을 통해 흄이 유출되는 것을 방지할 수 있어, 사용효율이 높으며, 크린룸의 오염을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims (5)

1. 배스에 마련된 타공홀의 외측에 위치하여 에어 커튼(air curtain)을 형성하는 에어 커튼부;

   외부에서 에어를 공급하는 에어 공급관을 상기 에어 커튼부의 일단에 연결하는 연결부; 및

   상기 에어 커튼부의 타단에 결합되어 에어 커튼부에 공급된 에어가 그 타단을 통해 유출되는 것을 방지함과 아울러 그 에어 커튼부를 지지하는 밀폐지지부를 포함하는 배스의 흄 유출 방지장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 에어 커튼부는 상호 소정거리 이격된 위치에 위치하여, 상기 타공홀을 향해 에어를 분사하는 다수의 에어 분사구를 구비하는 관을 포함하는 배스의 흄 유출 방지장치.
3. 제2항에 있어서,

   상기 에어 분사구는 배스의 외면과 평행한 각도이거나, 에어 커튼이 타공홀을 통해 배스의 내측에 위치하도록 경사진 각도로 마련된 것을 특징으로 하는 배스의 흄 유출 방지장치.
4. 배스에 마련된 타공홀의 외측에서 그 타공홀을 향해 에어를 분사하여 에어 커튼을 형성하는 것을 특징으로 하는 배스의 흄 유출 방지방법.
5. 제4항에 있어서,

   상기 에어 커튼은 타공홀의 외측 단부에서 배스와 평행하게 에어를 분사하여 형성하거나, 타공홀의 외측에서 내측으로 에어를 분사하여 형성한 것을 특징으로 하는 배스의 흄 유출 방지방법.

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