CN211217755U - 一种封闭炉管清洗腔结构 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种封闭炉管清洗腔结构，具有平移门和侧开门双层门结构，有效防止水汽和酸性气体从门处泄露。所述封闭炉管清洗腔的背面侧壁设置吸气腔，吸气腔通过外面板和内面板与封闭炉管清洗腔内连通，并且外面板和内面板上的第二吸气孔与第一吸气孔在竖直平面上的投影不重叠，使气体流通通道发生弯折，使水汽尽可能地留在吸气腔内，防止吸气管道带走过多水分。

Description

一种封闭炉管清洗腔结构

技术领域

本申请属于炉管清洗设备技术领域，尤其是涉及一种封闭炉管清洗腔结构。

背景技术

随着半导体领域技术的发展，半导体制造商对晶圆的洁净度要求越来越高，与晶圆直接接触的炉管的洁净度的要求也随之提高，传统的卧室炉管清洗设备已经无法满足更高的洁净度的要求。

中国专利文献CN 208853393U公开了一种立式炉管清洗机构，其中的喷管固定，由旋转机构来驱动炉管旋转，进而使炉管表面能够全面地进行清洗，然而，对炉管的清洗常常会用到酸性水溶液，因此立式炉管清洗机构的清洗腔内水分较高，且酸性物质挥发到空气中，因此，对于清洗腔的密封固定就显得非常重要了。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种能够降低水汽和酸性气体泄露风险的封闭炉管清洗腔结构。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种封闭炉管清洗腔结构，所述封闭炉管清洗腔为正面具有平移门，其余五面具有侧壁的立方体结构，所述封闭炉管清洗腔与正面相对的背面侧壁上设置有吸气腔，所述吸气腔位于封闭炉管清洗腔内壁的外面板上设置有第一吸气孔，位于所述吸气腔还设置有内面板，所述内面板上具有第二吸气孔，所述第二吸气孔与所述第一吸气孔在竖直平面上的投影不重叠；所述吸气腔的背板与吸气管道连通；

所述封闭炉管清洗腔的顶部设置有电机，电机的驱动轴穿过所述封闭炉管清洗腔的顶壁与旋转喷头组件连接，能够驱动所述封闭炉管清洗腔内旋转喷头组件进行旋转；

所述封闭炉管清洗腔的正面还具有隔离腔，所述隔离腔的正面设置有侧开门；

所述封闭炉管清洗腔内的底部设置有废液槽。

优选地，本实用新型的封闭炉管清洗腔结构，所述封闭炉管清洗腔内的侧壁上设置有置物盒，所述置物盒的正面具有能够打开关闭的门，所述置物盒的底壁具有孔，封闭炉管清洗腔内的侧壁上。

优选地，本实用新型的封闭炉管清洗腔结构，所述置物盒的一旁设置有固定件。

优选地，本实用新型的封闭炉管清洗腔结构，所述固定件，包括具有圆形凹槽的固定封闭炉管清洗腔内的侧壁上的固定底座，通过螺钉安装并封堵住凹槽开口的盖板。

优选地，本实用新型的封闭炉管清洗腔结构，所述第一吸气孔成中心中空的矩形排布，所述第二吸气孔与所述第一吸气孔的中空部分对应设置。

优选地，本实用新型的封闭炉管清洗腔结构，所述隔离腔的顶部设置有能够对准平移门进行喷吹清洗液的水平喷管。

优选地，本实用新型的封闭炉管清洗腔结构，所述废液槽的顶部设置的用于支撑炉管的支撑板。

优选地，本实用新型的封闭炉管清洗腔结构，所述支撑板设置为方形，具有位于中心的圆形固定板，连接所述支撑板四个顶角与圆形固定板的对角线固定板，连接所述支撑板四边中心与圆形固定板的中线固定板，连接所述支撑板四边中相邻两条边的中心的中心线固定板，每个所述对角线固定板上设置有固定块。

优选地，本实用新型的封闭炉管清洗腔结构，所述固定块设置在沿所述对角线固定板布置的滑轨上。

优选地，本实用新型的封闭炉管清洗腔结构，所述废液槽内设置有具有过滤孔的过滤板。

本实用新型的有益效果是：

本申请的封闭炉管清洗腔结构，具有平移门和侧开门双层门结构，有效防止水汽和酸性气体从门处泄露。所述封闭炉管清洗腔的背面侧壁设置吸气腔，吸气腔通过外面板和内面板与封闭炉管清洗腔内连通，并且外面板和内面板上的第二吸气孔与第一吸气孔在竖直平面上的投影不重叠，使气体流通通道发生弯折，使水汽尽可能地留在吸气腔内(水汽凝结后，可沿吸气腔的内壁留下)，防止吸气管道带走过多水分。

附图说明

下面结合附图和实施例对本申请的技术方案进一步说明。

图1是具有本申请实施例的封闭炉管清洗腔的清洗设备的结构示意图；

图2是图1隐藏掉侧开门后的结构示意图；

图3是图2隐藏掉平移门内槽内部件后的结构示意图；

图4是图3隐藏掉外面板后的结构示意图；

图5是从背板观测图4时的结构示意图；

图6是本申请实施例的封闭炉管清洗腔的结构图；

图7是本申请实施例的清洗槽的结构示意图；

图8是本申请实施例的支撑板的结构示意图；

图9是本申请实施例的固定件的结构示意图；

图中的附图标记为：

1 平移门；

2 吸气腔；

3 电机；

4 隔离腔；

7 废液槽；

8 吸气管道；

9 炉管；

20 置物盒；

21 外面板；

22 内面板；

41 侧开门；

51 旋转喷头组件；

52 竖直喷管；

53 水平喷管；

61 固定件；

71 过滤板；

72 支撑板；

73 喷管；

211 第一吸气孔；

212 第二吸气孔；

213 背板；

611 固定底座；

612 盖板；

721 铰链；

722 圆形固定板；

723 对角线固定板；

724 中线固定板；

725 中心线固定板；

726 固定块；

727 支撑块。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请保护范围的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请的技术方案。

实施例

本实施例提供一种封闭炉管清洗腔结构，如图1所示，封闭炉管清洗腔为正面具有平移门1(为3扇门板，可以向一侧推开而打开)，其余五面具有侧壁的立方体结构，所述封闭炉管清洗腔与正面相对的背面侧壁上设置有吸气腔2，所述吸气腔2位于封闭炉管清洗腔内壁的外面板21上设置有第一吸气孔211，位于所述吸气腔2还设置有内面板22，所述内面板22上具有第二吸气孔212，所述第二吸气孔212与所述第一吸气孔211在竖直平面上的投影不重叠；所述吸气腔2的背板213与吸气管道8连通，吸气管道8与抽气泵连通，用于将封闭炉管清洗腔内的气体抽走，以抽走清洗液中挥发的酸性气体(使用酸性清洗液时)，抽走的气体通常不能直接排放到空气中，可以通入碱性池内以去除酸性物质；如图2和3所示，所述第一吸气孔211成中心中空的矩形排布，所述第二吸气孔212与所述第一吸气孔211的中空部分对应设置。

所述封闭炉管清洗腔的顶部设置有电机3，电机3的驱动轴穿过所述封闭炉管清洗腔的顶壁与旋转喷头组件51连接，能够驱动所述封闭炉管清洗腔内的所述旋转喷头组件51进行旋转。

所述封闭炉管清洗腔的正面还具有隔离腔4，所述隔离腔4的正面设置有侧开门41(为左右两扇，分别通过铰链固定，能够旋转打开)，也即形成了双门结构，且隔离腔4的顶部设置有能够对准平移门1进行喷吹清洗液的水平喷管53，以对平移门1进行清洗。

上述实施例的封闭炉管清洗腔结构，具有平移门1和侧开门41双层门结构，有效防止水汽和酸性气体从门处泄露。所述封闭炉管清洗腔的背面侧壁设置吸气腔2，吸气腔2通过外面板21和内面板22与封闭炉管清洗腔内连通，并且外面板21和内面板22上的第二吸气孔212与第一吸气孔211在竖直平面上的投影不重叠，使气体流通通道发生弯折，使水汽尽可能地留在吸气腔2内(水汽凝结后，可沿吸气腔2的内壁留下)，防止吸气管道8带走过多水分。

封闭炉管清洗腔内的侧壁上设置有置物盒20，所述置物盒20的正面具有能够打开关闭的门，所述置物盒20的底壁具有孔，封闭炉管清洗腔内的侧壁上，所述置物盒20的一旁设置有固定件61，用于容纳无需清洗的热电偶接线盒，热电偶的导线从置物盒20底部的孔中穿出，将热电偶的绝缘套管(内部有电极)固定到两条竖直喷管52之间。置物盒20能够防止清洗液喷洒到接线盒上，防止对接线盒造成损伤。

固定件61，包括具有圆形凹槽的固定封闭炉管清洗腔内的侧壁上的固定底座611，通过螺钉安装并封堵住凹槽开口的盖板612。

封闭炉管清洗腔内的底部设置有废液槽7和位于所述废液槽7的顶部设置的支撑板72；

所述支撑板72为方形，具有位于中心的圆形固定板722，连接所述支撑板72四个顶角与圆形固定板722的对角线固定板723，连接所述支撑板72四边中心与圆形固定板722的中线固定板724，连接所述支撑板72四边中相邻两条边的中心的中心线固定板725，每个所述对角线固定板723上设置有固定块726。

本实施例的立式炉管清洗机废液收集机构，设置在立式炉管清洗机的清洗工位底部，用于固定炉管9并承接来自清洗喷管喷出的清洗废液，所述支撑板72设置为方形，具有位于中心的圆形固定板722，连接所述支撑板72四个顶角与圆形固定板722的对角线固定板723，连接所述支撑板72四边中心与圆形固定板722的中线固定板724，连接所述支撑板72四边中相邻两条边的中心的中心线固定板725，每个所述对角线固定板723上设置有固定块726。通过上述设置在能保证支撑板72具有较强的结构强度以支撑炉管9的同时，尽可能扩大了镂空的区域，防止顶部漏下的清洗液滴落到支撑板72而发生溅起的可能，提高了清洗效果。

所述固定块726设置在沿所述对角线固定板723布置的滑轨上。通过7个可以滑动所述固定块726实现四角定位从而根据不同的炉管9尺寸调节固定块726的位置，进而可以适应不同尺寸的炉管9。

所述废液槽7内侧顶部还设置有喷管73，所述喷管73能够喷出清洗液以在必要时清洗废液槽7，并促进废液槽7内液体流动。所述喷管73设置在所述废液槽7内侧顶部长度方向两侧。所述喷管73通过泵和管道与所述废液槽7底部连接。所述喷管73上的喷嘴以30°-60°倾斜朝下。

所述支撑板72的一条边通过铰链721与废液槽7顶部连接，所述废液槽7内部上设置有支撑块727以对所述支撑板72上相对的另一条边进行支撑。为了过滤杂质所述废液槽7内设置有具有过滤孔的过滤板71。

以上述依据本申请的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项申请技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项申请的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (10)

1.一种封闭炉管清洗腔结构，其特征在于，所述封闭炉管清洗腔为正面具有平移门(1)，其余五面具有侧壁的立方体结构，所述封闭炉管清洗腔与正面相对的背面侧壁上设置有吸气腔(2)，所述吸气腔(2)位于封闭炉管清洗腔内壁的外面板(21)上设置有第一吸气孔(211)，位于所述吸气腔(2)还设置有内面板(22)，所述内面板(22)上具有第二吸气孔(212)，所述第二吸气孔(212)与所述第一吸气孔(211)在竖直平面上的投影不重叠；所述吸气腔(2)的背板与吸气管道(8)连通；

所述封闭炉管清洗腔的顶部设置有电机(3)，电机(3)的驱动轴穿过所述封闭炉管清洗腔的顶壁与旋转喷头组件(51)连接，能够驱动所述封闭炉管清洗腔内旋转喷头组件(51)进行旋转；

所述封闭炉管清洗腔的正面还具有隔离腔(4)，所述隔离腔(4)的正面设置有侧开门(41)；

所述封闭炉管清洗腔内的底部设置有废液槽(7)。

2.根据权利要求1所述的封闭炉管清洗腔结构，其特征在于，所述封闭炉管清洗腔内的侧壁上设置有置物盒(20)，所述置物盒(20)的正面具有能够打开关闭的门，所述置物盒(20)的底壁具有孔，封闭炉管清洗腔内的侧壁上。

3.根据权利要求2所述的封闭炉管清洗腔结构，其特征在于，所述置物盒(20)的一旁设置有固定件(61)。

4.根据权利要求3所述的封闭炉管清洗腔结构，其特征在于，所述固定件(61)，包括具有圆形凹槽的固定封闭炉管清洗腔内的侧壁上的固定底座(611)，通过螺钉安装并封堵住凹槽开口的盖板(612)。

5.根据权利要求1所述的封闭炉管清洗腔结构，其特征在于，所述第一吸气孔(211)成中心中空的矩形排布，所述第二吸气孔(212)与所述第一吸气孔(211)的中空部分对应设置。

6.根据权利要求1所述的封闭炉管清洗腔结构，其特征在于，所述隔离腔(4)的顶部设置有能够对准平移门(1)进行喷吹清洗液的水平喷管(53)。

7.根据权利要求1所述的封闭炉管清洗腔结构，其特征在于，所述废液槽(7)的顶部设置的用于支撑炉管的支撑板(72)。

8.根据权利要求7所述的封闭炉管清洗腔结构，其特征在于，所述支撑板(72)设置为方形，具有位于中心的圆形固定板(722)，连接所述支撑板(72)四个顶角与圆形固定板(722)的对角线固定板(723)，连接所述支撑板(72)四边中心与圆形固定板(722)的中线固定板(724)，连接所述支撑板(72)四边中相邻两条边的中心的中心线固定板(725)，每个所述对角线固定板(723)上设置有固定块(726)。

9.根据权利要求8所述的封闭炉管清洗腔结构，其特征在于，所述固定块(726)设置在沿所述对角线固定板(723)布置的滑轨上。

10.根据权利要求7所述的封闭炉管清洗腔结构，其特征在于，所述废液槽(7)内设置有具有过滤孔的过滤板(71)。

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