KR100789251B1 - 가스분사관 연결장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (3)
- 챔버(10) 내부로 가스를 공급하도록 일측이 챔버(10)에 연결된 노즐(60);상기 노즐(60)의 직경만큼의 홀(71)이 형성되어 노즐(60)이 삽입되도록 하고, 노즐(60)삽입 후 노즐(60) 내부로부터의 공정가스 유출을 방지함은 물론, 상기 챔버(10)로부터 노출된 노즐(60)과 가스공급장치(40)와 연결된 가스분사관 노즐(41)의 상호 연결을 위한 역할을 하도록 내부에 일정간격으로 오링 삽입홈(73)이 형성된 노즐체결관(70);상기 노즐체결관(70)에 대한 노즐(60)의 삽입 후 노즐(60) 내부의 공정가스유출을 방지함은 물론, 유동 방지를 위해 상기 노즐체결관(70) 내부에 형성된 삽입홈(73)과 부합되는 위치에 구성된 복수 개의 오링(72);상기 노즐(60)과 가스분사관 노즐(41)이 노즐체결관(70)에 연결가능하도록 하는 나사형식의 고정부(80); 및상기 노즐체결관(70)을 통해 연결되는 상기 노즐(60)과 가스분사관 노즐(41)의 접촉면 사이와, 챔버(10)와 외부로부터 가스가 공급되는 부위에 외부충격으로 인한 접촉면 손상 방지를 위해 구성된 씰(seal) 기능의 가스켓(50)으로 구성된 것을 특징으로 하는 가스분사관 연결장치.
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2007
- 2007-02-08 KR KR1020070013098A patent/KR100789251B1/ko active IP Right Grant
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