KR20070052457A - 버퍼챔버 - Google Patents

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KR20070052457A
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최광민
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Abstract

본 발명은 버퍼챔버에 관한 것이다. 본 발명은 러핑라인이 연통되는 진공포트가 형성된 버퍼챔버에 있어서, 상기 진공포트는 이물질 투과 방지막에 의해 폐쇄되는 것을 특징으로 하는 버퍼챔버를 제공한다.
본 발명의 버퍼챔버에 의하면, 버퍼챔버에 형성된 진공포트에 이물질 투과 방지막을 설치함으로써, 클리닝 작업이나 PM 작업 등을 수행할 때 클리닝 툴이 진공포트에 빠지거나 이물질이 진공포트에 삽입되는 것을 방지할 수 있으므로 이물질로 인한 펌프교체 및 설비다운을 문제를 해결할 수 있다.
버퍼챔버, 진공포트, 진공펌프, 이물질 투과 방지막

Description

버퍼챔버{BUFFER CHAMBER}
도 1은 일반적인 반도체 제조장치의 개략적 구성도.
도 2는 버퍼챔버의 평면도.
도 3은 이물질 투과 방지막이 구비된 버퍼챔버의 부분 사시도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
9; 버퍼챔버 10; 진공포트
10a: 진공홀 30; 이물질 투과 방지막
본 발명은 버퍼챔버에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 버퍼챔버에 형성된 진공포트로 이물질이 투과되는 것을 방지할 수 있는 버퍼챔버에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자는 웨이퍼 상에 사진공정, 확산공정, 이온주입공정, 식각공정 및 박막형성공정 등의 일련의 반도체 제조공정을 수행하여 제조된다.
반도체 제조공정은 각 제조공정에 적합한 반도체 제조장치 내에서 실시되는데, 도 1을 참조하여 반도체 제조장치에 대하여 설명한다.
도 1은 일반적인 반도체 제조장치의 개략적 구성도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 반도체 제조장치는 로드포트(1)(load port), 얼라이너(5)(aligner), 제1 로봇(3)(first robot), 로드락챔버(7)(loadlock chamber), 제2 로봇(11)(second robot), 공정챔버(13)(process chamber) 및 쿨링스테이션(15)(cooling station)으로 이루어진다.
로드포트(1)에 탑재되어 있는 웨이퍼는 제1 로봇(3)에 의해 얼라이너(5)로 이송되어 정렬된다.
얼라이너(5)에서 정렬을 마친 웨이퍼는 제1 로봇(3)에 의해 로드락챔버(7)로 이송된다. 로드락챔버(7)에는 엘리베이터(미도시)가 구비되어 있고 엘레베이터에는 카세트(미도시)가 장착되어 있다.
제1 로봇(3)이 웨이퍼를 하나씩 이송하여 로드포트(1)에 있는 웨이퍼를 모두 로드락챔버(7) 내의 카세트로 이송하면 로드락챔버의 도어(미도시)가 닫힌다. 로드락챔버의 도어가 닫히고 난 후, 불순물이 들어가지 않도록 공기를 뽑아내어 로드락챔버(7)를 진공상태로 만든다
이후, 제2 로봇(11)이 로드락챔버(7)의 카세트에 탑재된 웨이퍼를 공정챔버(13)로 이송하면, 공정챔버(13)에서 소정의 공정이 진행된다.
공정챔버(13)에서 소정의 공정이 완료되면, 제2 로봇(11)은 공정이 완료된 웨이퍼를 쿨링스테이션(15)으로 이송하게 되고, 쿨링스테이션(15)에서 웨이퍼는 공정 전의 온도로 냉각된다.
쿨링스테이션(15)에서 냉각된 웨이퍼는 제2 로봇(11)에 의해 로드락챔버(7)로 이송되고, 모든 웨이퍼가 이송되어 로드락챔버(7) 내의 카세트에 탑재되면 제1 로봇(3)이 웨이퍼를 로드포트(1)로 이송한다.
이와 같이 구성되는 반도체 제조장치에서, 로드락챔버(7)와 버퍼챔버(9) 및 공정챔버(13)는 순차적으로 연결되어 있으며, 도어 개폐에 의해 서로 인접한 챔버간이 상호 연통 또는 밀폐되도록 구성되어 있다.
로드락챔버(7)는 대기압상태에서 외부로부터 미가공상태의 웨이퍼를 전달받아 이를 공정챔버(13)로 전달하거나 공정챔버(13)에서 공정이 완료된 웨이퍼를 반송받을 때에는 공정챔버(13)와 동일한 진공분위기를 유지하고, 반송된 웨이퍼를 후속 공정으로 이송시킬 때에는 대기압상태를 유지하게 된다.
따라서 로드락챔버(7)에는 이러한 대기압상태와 진공상태를 상호 교차하여 유지되도록 하기 위해 진공라인(미도시)과 가스공급 라인(미도시) 및 배기라인(미도시)을 갖추고 있다.
상기 버퍼챔버(9) 또한 공정챔버(13)와 동일한 조건인 진공상태를 유지해야 한다. 따라서, 진공펌프의 작동에 의해 버퍼챔버(9) 내부의 부산물을 펌핑하는데, 상기 부산물은 도 2에 도시된 버퍼챔버(9)에 형성된 진공포트(10) 및 진공포트에 형성된 진공홀(10a)을 통해 외부로 배기된다.
그러나, 이와 같이 구성되는 종래의 버퍼챔버에는 다음과 같은 문제점이 있다.
즉, 각종 부산물의 배출통로인 진공포트가 개방되어 있으므로 버퍼챔버를 클리닝하거나 PM 작업을 수행할 때 상기 진공포트에 이물질이 들어가거나 클리닝 툴 등이 빠져서 펌프에 로드가 가해질 수 있으며, 이와 같이 진공펌프에 로드가 가해 지면 펌프를 교체하거나 설비의 운영을 다운해야 하는 문제점이 발생한다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은, 버퍼챔버에 형성된 진공포트에 이물질 투과 방지막을 설치함으로써, 클리닝 작업이나 PM 작업 등을 수행할 때 클리닝 툴이 진공포트에 빠지거나 이물질이 진공포트에 삽입되는 것을 방지할 수 있는 버퍼챔버를 제공하는 데 있다.
이상과 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 러핑라인이 연통되는 진공포트가 형성된 버퍼챔버에 있어서, 상기 진공포트는 이물질 투과 방지막에 의해 폐쇄되는 것을 특징으로 하는 버퍼챔버를 제공한다.
바람직하게는 상기 이물질 투과방지막은, 상기 진공포트에 탈부착이 가능하도록 장착된다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 버퍼챔버에 대하여 도 3을 참조하여 설명한다. 도 3에서 도 1 및 도 2와 동일한 구성요소는 동일한 부호를 붙여 이에 대한 자세한 설명은 생략한다.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 의한 버퍼챔버(9)에는 진공라인(미도시)이 연결되는 진공포트(10)가 형성되어 있다.
상기 진공포트(10)를 통해 버퍼챔버(9) 내부의 물질이 배기됨으로써 버퍼챔버(9)는 진공상태를 유지할 수 있게 된다.
이때, 버퍼챔버(9) 내부를 진공상태로 만들기 위해서는 진공펌프(미도시)가 필요하며, 진공포트(10)에 진공라인을 연결하여 버퍼챔버(9) 내부의 물질을 외부로 배기해야 한다.
상기 진공포트(10) 바닥면에는 버퍼챔버(9) 내부의 물질이 배출되는 진공홀(10a)이 형성되어 있다. 따라서 진공포트(10)에 모인 물질은 진공홀(10a) 및 진공라인을 통해 외부로 배기된다.
한편, 진공포트(10)의 개방된 상부에 이물질 투과 방지막(30)이 장착되는데, 이물질 투과 방지막(30)은 진공포트(10)의 개방된 상부와 대응되게 형성되어 클리닝 툴이나 다른 이물질이 진공포트(10)를 투과하는 것을 방지하기 위해 설치된다.
상기 이물질 투과 방지막(30)은 도 3과 같이 그물망 형상으로 형성되지만, 반드시 이러한 형상으로 한정되는 것은 아니며, 진공포트(10)를 폐쇄할 수 있는 형상이라면 그 형상이나 재질 등과 상관없이 본 발명의 권리범위에 속한다.
상기 이물질 투과 방지막(30)은 진공포트(10)에 탈부착이 가능하도록 장착되는 것이 바람직하다. 왜냐하면, 진공포트(10)의 내부를 클리닝하고자 할 경우 용이하게 이물질 투과 방지막(30)을 제거할 수 있어야 하기 때문이다.
이와 같이 본 발명에서는 종래기술과 달리 진공포트에 이물질 투과 방지막을 장착함으로써, 클리닝 작업 등을 시행할 때 클리닝 툴이 진공포트에 빠지는 것을 방지할 수 있으므로 진공포트에 이물질이 삽입되어 발생하는 펌프로드나 설비 다운 문제를 해결할 수 있다.
이상에서는 도면과 명세서에 최적 실시예를 개시하였다. 여기서는 설명을 위해 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이며, 의미를 한정하거나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 한다.
본 발명에 의하면, 버퍼챔버에 형성된 진공포트에 이물질 투과 방지막을 설치함으로써, 클리닝 작업이나 PM 작업 등을 수행할 때 클리닝 툴이 진공포트에 빠지거나 이물질이 진공포트에 삽입되는 것을 방지할 수 있으므로 이물질로 인한 펌프교체 및 설비다운을 문제를 해결할 수 있다.

Claims (2)

  1. 러핑라인이 연통되는 진공포트가 형성된 버퍼챔버에 있어서,
    상기 진공포트는 이물질 투과 방지막에 의해 폐쇄되는 것을 특징으로 하는 버퍼챔버.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 이물질 투과방지막은,
    상기 진공포트에 탈부착이 가능하도록 장착되는 것을 특징으로 하는 버퍼챔버.
KR1020050110116A 2005-11-17 2005-11-17 버퍼챔버 KR20070052457A (ko)

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