KR20070042722A - 2개의 웨이퍼 센서로 정확한 웨이퍼의 위치를 감지하는트랜스퍼 챔버 - Google Patents

Abstract

본 발명은 2개의 웨이퍼 센서로 정확한 웨이퍼의 위치를 감지하는 트랜스퍼 챔버에 관한 것으로,

이를 실현하기 위하여 본 발명은, 웨이퍼를 프로세서 챔버 또는 로드 락 챔버 내로 전달하는 반도체 제조 장비 내에서 상기 웨이퍼의 이동 공간을 제공하는 트랜스퍼 챔버에 있어서, 상기 트랜스퍼 챔버는 2개의 웨이퍼 센서를 이용하여 상기 웨이퍼의 직경 양쪽 끝단부에 각각 2개의 센싱 포인트를 생성하며, 상기 트랜스퍼 챔버는 상기 2 개의 센싱 포인트 모두가 정상 안착으로 인식하는 경우에만 상기 웨이퍼를 이동시키는 것을 특징으로 하는 2개의 웨이퍼 센서로 정확한 웨이퍼의 위치를 감지하는 트랜스퍼 챔버를 제공한다.

본 발명에 의하면 웨이퍼의 약간의 틀어짐이 발생해도 이를 감지할 수 있는 웨이퍼 감지 센서를 구비한 챔버를 제공함으로써 웨이퍼 운송 도중의 브로큰 발생을 방지할 수 있는 효과가 있다.

블레이드, 로보트 암, 웨이퍼 감지 센서, 웨이퍼

Description

2개의 웨이퍼 센서로 정확한 웨이퍼의 위치를 감지하는 트랜스퍼 챔버{Transfer Chamber Having Two Wafer Sensor}

도 1은 종래의 웨이퍼 관찰용 포트를 구비한 트랜스퍼 챔버를 개략적으로 나타내 보인 평면도,

도 2a, 2b 및 2c는 종래의 트랜스퍼 챔버에 구비된 웨이퍼 감지 센서의 위치를 설명하기 위한 도면,

도 3a는 본 발명의 실시예에 따른 2개의 웨이퍼 센서로 정확한 웨이퍼의 위치를 감지하는 챔버의 구성을 설명하기 위한 도면,

도 3b는 본 발명의 실시예에 따른 2개의 웨이퍼 센서로 정확한 웨이퍼의 위치를 감지하는 챔버의 동작을 설명하기 위한 도면이다.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >

302: 블레이드 304: 로보트 암

306: 웨이퍼 감지 센서 308: 트랜스퍼 챔버 리드

본 발명은 2개의 웨이퍼 센서로 정확한 웨이퍼의 위치를 감지하는 트랜스퍼 챔버에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 웨이퍼 사이드의 양쪽에 웨이퍼 감지 센서를 각각 위치시킴으로써, 양쪽 모두의 감지 센서에 웨이퍼가 정상 인식되는 경우에만 웨이퍼가 이동하도록 하는 트랜스퍼 챔버에 관한 것이다.

반도체 제조 장비, 예컨대 박막 증착 설비나, 드라이 식각 설비는 스퍼터링 공정 또는 식각 공정 등이 진행되는 프로세서 챔버와, 웨이퍼를 프로세서 챔버로 이동시키기 위한 트랜스퍼 챔버를 포함한다. 예컨대 AMT사의 센튜라 금속 에처(Centura Metal Etcher)는 트랜스퍼 챔버 주위로 복수개의 프로세서 챔버 및 로드 락 챔버가 연결되어 있는 구조로 이루어져 있다.

도 1은 종래의 웨이퍼 관찰용 포트를 구비한 트랜스퍼 챔버를 개략적으로 나타내 보인 평면도이다.

도 1을 참조하면, 트랜스퍼 챔버(100)의 주위를 따라서 2개의 로드 락 챔버(102)와 5개의 프로세서 챔버(104)가 연결되어 있으며, 상부에는 원형의 트랜스퍼 챔버 리드(106)가 있어서 상하로 개폐할 수 있도록 되어 있다. 그리고, 트랜스 챔버 리드(106)에는 트랜스 챔버(100) 내부에서 전달되는 웨이퍼의 위치를 관찰하기 위한 웨이퍼 관찰용 포트(108)가 각각의 챔버(102, 104)에 대응하여 설치되어 있다.

웨이퍼 관찰용 포트(108)는 육안으로도 트랜스퍼 챔버 내부를 볼 수 있도록 원형의 투명한 창으로 되어 있으며, 트랜스퍼 챔버(100) 내부의 웨이퍼 유무를 감지하는 웨이퍼 감지 센서(110)가 웨이퍼 관찰용 포트(108)의 중심을 지나도록 설치되어 있다.

그러나 이러한 구성의 종래 트랜스퍼 챔버는 웨이퍼 관찰용 포트(108)가 웨이퍼 감지 센서(110)에 의해 상당 부분 가리워져 있기 때문에 육안으로 웨이퍼의 정확한 위치를 확인할 수가 없으며, 또한 웨이퍼 감지 센서(110)에 의해 웨이퍼의 슬라이딩을 감지한다 하여도 도 2a에 도시된 바와 같이 웨이퍼 감지 센서(202)가 블레이드의 정 중앙에 위치하고 있어서 미세한 슬라이딩이 발생하는 경우 웨이퍼 감지 센서(202)에서 슬라이딩 발생을 감지하지 못하고 운송 도중 브로큰(Broken) 발생의 소지가 있었다.

즉, 도 2b에 도시한 바와 같이 웨이퍼 감지 센서에서 투사되는 감지 광의 센싱 포인트(204)가 웨이퍼의 정중앙에 위치하게 되므로 도 2c와 같이 웨이퍼의 미약한 슬라이딩이 발생하는 경우에는 웨이퍼 감지 센서가 이를 감지하지 못하고 블레이드 상부에 안착된 것으로 인식하게 되므로 운송도중 브로큰이 발생되는 문제점이 있었다.

이러한 문제점을 해결하기 위해 본 발명은, 웨이퍼 사이드의 양쪽에 웨이퍼 감지 센서를 각각 위치시킴으로써, 양쪽 모두의 감지 센서에 웨이퍼가 정상 인식되는 경우에만 웨이퍼가 이동하도록 하는 트랜스퍼 챔버를 제공하는 것을 목적으로 한다.

이러한 목적을 달성하기 위해 본 발명은, 웨이퍼를 프로세서 챔버 또는 로드 락 챔버 내로 전달하는 반도체 제조 장비 내에서 상기 웨이퍼의 이동 공간을 제공 하는 트랜스퍼 챔버에 있어서, 상기 트랜스퍼 챔버는 2개의 웨이퍼 센서를 이용하여 상기 웨이퍼의 직경 양쪽 끝단부에 각각 2개의 센싱 포인트를 생성하며, 상기 트랜스퍼 챔버는 상기 2 개의 센싱 포인트 모두가 정상 안착으로 인식하는 경우에만 상기 웨이퍼를 이동시키는 것을 특징으로 하는 2개의 웨이퍼 센서로 정확한 웨이퍼의 위치를 감지하는 트랜스퍼 챔버를 제공한다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소 들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.

도 3a는 본 발명의 실시예에 따른 2개의 웨이퍼 센서로 정확한 웨이퍼의 위치를 감지하는 챔버의 구성을 설명하기 위한 도면이다.

도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 트랜스퍼 챔버는, 블레이드(302), 로보트 암(304), 웨이퍼 감지 센서(306), 트랜스퍼 챔버 리드(308)를 포함할 수 있다.

블레이드(302)는 웨이퍼를 안착하는 수단이다. 특히 본 발명의 실시예에서 블레이드(302)는 2 개의 웨이퍼 감지 센서(306)를 이용하여 웨이퍼가 미세한 슬라이딩 없이 정 중앙에 위치할 수 있도록 하는 환경을 제공한다.

로보트 암(304)은 확장 또는 수축하는 운동을 하면서 웨이퍼를 로드락 챔버 에서 공정 챔버내로 이송하거나 공정 챔버로부터 로드락 챔버로 이송하는 역할을 수행하며 그 끝단에 상기 블레이드(302)가 설치되어 있다.

웨이퍼 감지 센서(306)는 웨이퍼가 로보트 암(304)의 기 설정된 위치에 정확하게 파지되었는지를 측정하기 위한 장치이다. 본 발명의 실시예에서 웨이퍼 감지 센서(306)는 광섬유 센서를 사용하는 것이 바람직하다. 이러한 광섬유 센서는 광섬유 자신이 검지(檢知) 기능을 가진 것과, 센서는 따로 있으며 그 신호를 전달하는 경로로서 광섬유를 사용하는 것의 두가지가 있다. 본 발명에 상기 웨이퍼 감지 센서(306)는 자체적으로 검지 기능을 가진 광섬유 센서를 사용하는 것이 바람직하다.

특히 본 발명의 실시예에서 웨이퍼 감지 센서(306)는 종래 센싱 포인트가 블레이드의 정중앙에 위치함으로써 발생하였던 웨이퍼의 미세한 슬라이딩 불포착 문제점을 개선하였다. 즉, 본 발명의 실시예에서 웨이퍼 감지 센서(306)는 웨이퍼 직경 양끝쪽에 각각 센싱 포인트(a, b)를 위치시키며, 상기 각각 센싱 포인트(a, b)에 웨이퍼가 존재하는 것으로 인식되는 경우에만 웨이퍼가 블레이드(302) 위에 정상 안착된 것으로 신호를 발생시킨다.

상기 2개의 센싱 포인트(a, b)를 위치시키기 위해 상기 웨이퍼 감지 센서(306)는 관찰용 포트의 일측부에 각각 2개가 구비되어 있어야 하며, 상기 관찰용 포트의 직경은 종래의 공지된 관찰용 포트의 직경보다 더 크게 구성해야 한다.

본 발명에 의할 경우 도 3b에서 도시한 바와 같이 2개의 웨이퍼 감지 센서(306)가 웨이퍼 직경 양끝쪽에 각각 센싱 포인트(a, b)를 위치시킴으로써 정상 안착 유무를 판단하므로, 도 2b에서와 같이 종래 미세한 슬라이딩이 발생해도 센싱 포인트가 웨이퍼 중앙에 위치함으로써 상기 슬라이딩을 포착하지 못하고 정상 안착된 것으로 인식하였던 문제점을 개선할 수 있다.

더욱 상세하게는, 상기 도 3b와 같이 약간의 웨이퍼 슬라이딩이 발생해도 a 포인트의 웨이퍼 감지센서가 웨이퍼 안착 "불량"으로 판단하게 되므로 상기 슬라이딩을 포착하지 못할 경우에 발생하는 웨이퍼 브로큰(Broken) 발생의 문제점을 미연에 방지하게 된다.

트랜스퍼 챔버 리드(308)는 상기 트랜스퍼 챔버를 개폐하는 역할을 수행한다.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 웨이퍼의 약간의 틀어짐이 발생해도 이를 감지할 수 있는 웨이퍼 감지 센서를 구비한 챔버를 제공함으로써 웨이퍼 운송 도중의 브로큰 발생을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims (1)

1. 웨이퍼를 프로세서 챔버 또는 로드 락 챔버 내로 전달하는 반도체 제조 장비 내에서 상기 웨이퍼의 이동 공간을 제공하는 트랜스퍼 챔버에 있어서,

   상기 트랜스퍼 챔버는 2개의 웨이퍼 센서를 이용하여 상기 웨이퍼의 직경 양쪽 끝단부에 각각 2개의 센싱 포인트를 생성하며, 상기 트랜스퍼 챔버는 상기 2 개의 센싱 포인트 모두가 정상 안착으로 인식하는 경우에만 상기 웨이퍼를 이동시키는 것을 특징으로 하는 2개의 웨이퍼 센서로 정확한 웨이퍼의 위치를 감지하는 트랜스퍼 챔버.

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