KR20070000146A - 카세트 이송용 스태커로봇 및 이를 이용한 스토커 - Google Patents

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KR20070000146A
KR20070000146A KR1020050055657A KR20050055657A KR20070000146A KR 20070000146 A KR20070000146 A KR 20070000146A KR 1020050055657 A KR1020050055657 A KR 1020050055657A KR 20050055657 A KR20050055657 A KR 20050055657A KR 20070000146 A KR20070000146 A KR 20070000146A
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Abstract

본 발명은 카세트(cassette) 이송용 스태커로봇(stacker bobot) 및 이를 이용한 스토커(stocker)에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 상하좌우로 구획 정의된 다수의 카세트 저장용 쉘프(shelf)를 제공하는 스토커에 구비되어, 상기 스토커 내외부 및/또는 각 쉘프들 사이에서 카세트를 운반하는 스태커로봇 및 이를 이용한 스토커에 관한 것이다.
구체적으로 본 발명은 바닥을 따라 이동하는 본체와; 상기 본체의 좌우양측에서 상향 직립된 제 1 및 제 2 리프팅포스트와; 상기 제 1 및 제 2 리프팅포스트 사이에서 수평하게 승강되는 리프팅프레임과; 상기 리프팅프레임 상에 장착되어 회전, 수축, 신장하는 아암과; 상기 리프팅프레임에 대해 상기 제 1 및 제 2 리프팅포스트 중 적어도 하나의 외측으로 구비되어, 상기 아암으로 전달되거나 또는 상기 아암으로부터 전달된 카세트가 안착되는 적재쉘프를 포함하는 카세트 이송용 스태커로봇을 제공한다.
그 결과 본 발명에 따른 스태커로봇은 단위시간당 운반 가능한 카세트의 수량이 크게 증가되는 잇점이 있고, 이를 이용한 스토커 역시 카세트 운반효율이 현저하게 향상되는 장점을 나타낸다.

Description

카세트 이송용 스태커로봇 및 이를 이용한 스토커{stacker robot and stocker for transfer cassette}
본 발명은 카세트(cassette) 이송용 스태커 로봇(stacker robot) 및 이를 이용한 스토커(stocker)에 관한 것으로, 보다 구체적으로 상하좌우로 구획 정의된 다수의 카세트 저장용 쉘프(shelf)를 제공하는 스토커에 구비되어, 상기 스토커 내외부 및/또는 각 쉘프들 사이에서 카세트를 운반하는 스태커로봇 및 이를 이용한 스토커에 관한 것이다.
최근의 본격적인 정보화 시대에 발맞추어 각종 전기적 신호를 시각적으로 표시하는 디스플레이(display) 분야가 급속도로 발전하였고, 이에 부응해서 경량화, 박형화, 저소비전력화의 장점을 지닌 평판표시장치(Flat Panel Display device : FPD)로서, 액정표시장치(Liquid Crystal Display device: LCD), 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel device: PDP), 전계방출표시장치(Field Emission Display device: FED), 전기발광표시장치(Electro luminescence Display device : ELD) 등이 소개되어 기존의 브라운관(Cathode Ray Tube : CRT)을 빠르게 대체하고 있다.
이들 일반적인 평판표시장치는 평판표시패널(plat display panel)을 공통적인 필수 구성요소로 구비하고, 이는 서로 대면된 두 기판 사이로 고유의 형광 또는 편광물질층을 개재한 후 합착시킨 구성을 나타내는 바, 최근에는 특히 평판표시패널에 화상표현의 기본단위인 화소(pixel)를 행렬로 배열하고 각각을 박막트랜지스터(Thin Film Transistor : TFT)와 같은 스위칭 소자로 개별 제어하는 능동행렬 방식(active matrix type)이 동영상 구현능력과 색 재현성에서 뛰어나 널리 이용되고 있다.
한편, 일반적인 평판표시장치 제조공정에는 기판을 대상으로 그 표면에 소정 박막을 형성하는 박막증착(deposition)공정, 상기 박막의 선택된 일부를 노출시키는 포토리소그라피(photo-lithography)공정, 상기 박막의 노출된 부분을 제거함으로써 목적하는 형태로 패터닝(patterning) 하는 식각(etching) 공정이 수 차례 반복 포함되고, 아울러 세정, 합착, 절단 등의 수많은 공정이 수반된다.
그리고 이 같은 평판표시장치의 제조공정에 있어 처리 대상물인 기판은 해당공정을 수행하는 별도의 공정장비에 순차적 또는 그룹형태로 반송 또는 이송되는데, 이 과정 중에 기판의 운반과 저장에 소요되는 시간과 노력을 절감할 수 있도록 다수의 기판을 수납하는 카세트(cassette)가 동원되며, 이는 현재의 평판표시장치 제조공정에서 기판 보관의 최소단위를 이루고 있다.
이에 일반적인 평판표시장치의 제조설비에는 일정한 청정도를 유지하면서 카세트를 보관하는 일종의 창고 역할의 스토커(stocker)가 마련되고, 여기에는 일례로 공정장비의 수리나 점검 또는 기판처리능력의 차이로 인한 대기 중의 카세트 또는 소정 기준에 의해 선별된 기판을 수납하는 카세트가 보관된다.
첨부된 도 1은 일반적인 스토커를 나타낸 사시도로서, 카세트(2)가 안착되는 복수개의 쉘프(shelf : 12)가 상하좌우로 구획 제공되고, 이러한 스토커 내외부 간 및/또는 각각의 쉘프(12)들 사이에서 카세트(2)를 운반하는 소위 랙마스터(rack master)라 불리는 스태커로봇(30)이 구비되어 있다.
이에 비록 도면에 따로 표시하지 않았지만 AGV(Auto Guided Vehicle) 등에 의해 스토커의 입고포트로 카세트(2)가 운반되면 스태커로봇(30)이 이를 옮겨 받아 적절한 쉘프(12)로 운반 및 적재하고, 임의의 쉘프(12)로부터 스태커로봇(30)이 카세트(2)를 꺼내 스토커의 출고포트로 옮기면 AGV에 의해 목적하는 장소로 운반된다. 또한 스태커로봇(30)은 각 쉘프(12) 사이에서 소정 기준에 의해 카세트(2)를 옮겨 정리하는 동작을 수행하는 바, 이를 위해 쉘프(12)의 입구면 선단을 가로질러 부설된 트롤리 레일(trolley rail : 20)을 따라 좌우로 평면 이동하는 본체(32)와, 이의 좌우측 가장자리로부터 상향 직립된 한 쌍의 리프팅포스트(lifting post : 34)와, 이들 한 쌍의 리프팅포스트(34) 사이에서 수평하게 승강되는 리프팅프레임(lifting frame : 36) 및 이의 상부에 회전 및 수축신장 가능하게 장착되어 직접적으로 카세트를 운반하는 아암(arm : 38)을 포함한다.
보다 구체적으로, 첨부된 도 2는 일반적인 스태커로봇(30) 만을 개략적으로 나타낸 사시도로서, 앞서의 도 1과 함께 참조하면, 이의 본체(32)는 전체하중을 지탱하는 베이스프레임(base frame) 역할을 겸하고, 이의 좌우측에서 직립된 한 쌍의 리프팅포스트(34) 내에는 각각 서보모터(servo moter)와 같은 구동수단에 의해 순환 회전하는 체인(chain)이 길이방향으로 내장되어 있다. 그리고 리프팅프레임(36)은 각 리프팅포스트(34)에 내장된 체인에 연결되어 이들의 순환방향을 따라 수평을 유지한 상태로 수직 승강되며, 회전디스크(40)를 매개로 리프팅프레임(36) 상면에 장착된 아암(38)은 평면적인 회전과 수축 및 신장 동작을 통해 카세트(2)를 직접적으로 운반하는 역할을 담당한다.
따라서 일반적인 스태커로봇(30)은 본체(32)의 좌우측 평면이동과 리프팅프레임(36)의 승강 그리고 아암(38)의 회전 및 수축 신장동작을 연계하여 목적하는 바에 따라 카세트를 운반하고 적재 및 하역할 수 있다.
하지만, 일반적인 스태커로봇(30)은 매 운행 시 최대 운반 가능한 카세트(2)의 수량이 하나로 한정되어 장비 운용적 측면에서 효율이 다소 떨어지고, 그 결과 많은 수량의 카세트(2)를 운반할 경우에 운행횟수를 비롯한 전체 소요시간이 지나치게 길어지는 단점을 나타낸다.
특히 최근 들어 평판표시장치의 크기가 급격하게 대형화되면서 기판의 면적과 하중은 물론 이를 수납하는 카세트(2)의 사이즈 역시 증가하는 추세에 있는데, 이로 인한 진동 등의 여러 가지 부작용으로 인해 AGV 사용이 지양되는 반면, 각각 고유의 평판표시장치 제조공정을 수행하는 공정장비를 스토커에 직접 인라인 (in-line) 방식으로 연결시켜 공정효율과 작업환경을 개선하려는 시도가 계속되고 있다.
이에 스토커는 현 평판표시장치의 제조공정에 있어서 점차 기판반송의 중추적인 역할로 급부상하고 있으며, 이에 부응하여 단위 시간당 운반 가능한 카세트 수량으로 표시될 수 있는 스태커로봇(30)의 운반효율이 크게 중요시되고 있다. 하지만 앞서 살펴본 바와 같이 일반적인 스태커로봇(30)은 한번의 운행 시 최대 하나의 카세트(2) 만을 운반할 수 있어 운반효율 향상에 한계를 나타내며, 이로 인해 전체 평판표시장치 제조공정효율을 저하시키는 단점을 드러내고 있다.
이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 운반효율이 크게 향상된 스태커로봇 및 이를 이용한 스토커를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명은 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 바닥을 따라 이동하는 본체와; 상기 본체의 좌우양측에서 상향 직립된 제 1 및 제 2 리프팅포스트와; 상기 제 1 및 제 2 리프팅포스트 사이에서 수평을 유지한 상태로 승강되는 리프팅프레임과; 상기 리프팅프레임 상에 장착되어 회전, 수축, 신장하는 아암과; 상기 제 1 및 제 2 리프팅포스트 중 적어도 하나의 외측으로 구비되어, 상기 아암으로 전달되거나 또는 상기 아암으로부터 전달된 카세트가 안착되는 적재쉘프를 포함하는 카세트 이송용 스태커로봇을 제공한다.
이때 상기 제 1 및 제 2 리프팅포스트 중 적어도 하나는 상기 카세트 폭보다 큰 간격을 유지하며 전후방으로 이격된 한 쌍의 서브포스트로 이루어지고, 상기 적재쉘프는 상기 한 쌍의 서브포스트에 고정된 것을 특징으로 한다. 또한 상기 적재쉘프는 상하의 적어도 2단 복층으로 이루어져 각각 상기 카세트가 안착되는 것을 특징으로 한다.
이때 상기 리프팅프레임에 연결된 상태로 상기 제 1 및 제 2 리프팅포스트 각각의 길이방향을 따라 실장된 순환체인과; 상기 각 순환체인의 순환방향을 제어하여 상기 리프팅프레임을 승강시키는 구동수단을 더욱 포함하는 것을 특징으로 하고, 상기 구동수단은 서보모터를 포함하는 것을 특징으로 하며, 상기 구동수단은 상기 본체에 고정되는 것을 특징으로 한다. 또한 이때 상기 제 1 리프팅포스트 만이 상기 한 쌍의 서브포스트로 분리되고, 상기 적재쉘프는 상기 한 상의 서브포스트 외측에 고정되며, 상기 구동수단은 상기 제 2 리프팅포스트 측으로 치우쳐 고정되는 것을 특징으로 한다.
그리고 상기 본체는 상기 바닥에 부설된 트롤리 레일을 따라 좌우측으로 수평 이동하는 것을 특징으로 한다.
아울러 본 발명은 상기의 기재에 따른 스태커로봇이 구비된 스토커로서, 각각의 입구면이 상기 스태커로봇을 향하도록 상기 스태커로봇의 전방이나 후방 또는 두 방향 모두에 마련된 다수의 쉘프를 제공하는 스토커를 제공한다.
이하 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 설명한다.
첨부된 도 3은 본 발명에 따른 카세트 이송용 스태커로봇(100)을 개략적으로 나타낸 사시도로서, 이 역시 상하좌우로 구획 정의된 다수의 쉘프를 제공하는 스토커 내에서 상기 스토커 내외부 및/또는 각 쉘프들 사이에서 카세트를 운반하고 적재 및 하역하는 역할을 수행한다.
이를 위해 본 발명에 따른 스태커로봇(100)은 수평이동이 가능한 하단의 본체(110)와, 이의 좌우측 가장자리로부터 상향 직립된 제 1 및 제 2 리프팅포스트(122,124)와, 이들 제 1 및 제 2 리프팅포스트(122,124) 사이에서 수평하게 승강하는 리프팅프레임(140) 그리고 이의 상부에 장착되어 회전과 수축 및 신장하면서 직접적으로 카세트를 운반하는 아암(144)을 포함하며, 이와 더불어 특히 제 1 및 제 2 리프팅포스트(122,124) 중 적어도 하나의 외측으로는 별도의 카세트가 안착되는 적재쉘프(130)가 마련되어 있다.
각각을 살펴보면, 먼저 본체(110)는 스태커로봇(100) 전체를 지탱하는 베이스프레임 역할을 겸하며, 바닥에 부설된 트롤리레일을 따라 좌우측으로 수평이동할 수 있다.
그리고 이러한 본체(110)의 좌우측 가장자리로부터는 각각 제 1 및 제 2 리프팅포스트(122,124)가 상향 직립되어 리프팅프레임(140)의 승강운동을 가이드 하는데, 본 발명에 따른 스태커로봇(100)에는 특히 이들 제 1 및 제 2 리프팅유닛(122,124) 중 적어도 하나의 외측으로 별도의 적재쉘프(130)가 구비된 것을 특징으로 하는 바, 상기 적재쉘프(130)는 리프팅프레임(140)에 장착된 아암(144)으로 전달되어질 카세트 또는 이로부터 전달된 카세트가 안착되는 부분이다.
따라서 이러한 적재쉘프(130)와 아암(144) 사이로 카세트 이동경로가 확보되도록 한 쌍의 제 1 및 제 2 리프팅포스트(122,124) 중 적어도 하나, 임의로 제 2 리프팅포스트(124)는 카세트 폭 보다 큰 간격을 유지하면서 전후방으로 이격된 한 쌍의 제 1 및 제 2 서브포스트(126,128)로 구분되며, 적재쉘프(130)는 이들 두 서브포스트(126,128) 외측에서 이들을 연결하도록 고정된다.
다음으로 이러한 제 1 리프팅포스트(122) 그리고 제 2 리프팅포스트(124)의 두 서브포스트(126,128) 사이로는 리프팅프레임(140)이 위치하여 수평을 유지한 상태로 상승 또는 하강되는데, 이를 위해 제 1 리프팅포스트(122) 그리고 제 2 리프팅포스트(124)의 제 1 및 제 2 서브포스트(126,128) 중 적어도 하나의 내부로는 서보모터와 같은 구동수단에 의해 순환하는 순환체인이 각각의 길이방향을 따라 실장되며, 리프팅프레임(140)은 이들 체인에 연결되어 있다. 따라서 이들 체인의 순환방향에 따라 리프팅프레임(140)은 승강된다.
그리고 이러한 리프팅프레임(140) 상에는 회전과 수축 및 신장 가능한 아암(144)이 장착되는 바, 일례로 아암(144)은 도면에 보인 바와 같이 리프팅프레임(140) 상에 부설된 회전디스크(142)에 그 말단이 고정된 다관절 구조를 나타낼 수 있다. 따라서 회전디스크(142)에 의해 회전되며, 자체의 다관절 구조를 이용하여 수축 및 신장이 가능하다.
이에 상기한 구성을 나타내는 본 발명에 따른 스태커로봇(100)은 본체(110)의 수평이동과 리프팅프레임(140)의 승강 그리고 아암(144)의 회전과 수축 및 신장동작을 연계하여 목적하는 장소로 카세트를 운반해서 적재하거나 하역하여 반송할 수 있고, 이 과정 중에 적재쉘프(130)에는 아암(144)으로 전달될 카세트 또는 이로부터 전달되어온 카세트가 중간 적재된다.
즉, 앞서의 설명을 토대로 할 경우에 리프팅프레임(140)의 승강과 아암(144)의 회전 그리고 수축 및 신장동작을 통해서 두 서브포스트(126,128) 사이를 관통하는 경로를 따라 아암(144) 상에 놓여진 카세트를 적재쉘프(130)에 옮겨 안착시키거나 또는 여기에 안착된 카세트를 아암(144)이 전달받을 수 있음은 쉽게 예상할 수 있는 바, 결국 본 발명에 따른 스태커로봇(100)에 있어서 카세트가 적재될 수 있는 위치는 아암(144) 그리고 적재쉘프(130)의 두 지점이 된다.
이때 적재쉘프(130)는 스태커로봇(100) 일측의 제 2 리프팅포스트(124) 외측으로 마련되므로 해당 부분에 하중이 집중될 수 있고, 따라서 서보모터와 같은 구동수단을 비롯해서 이의 회전력을 각 순환체인으로 전달하기 위한 기어 등의 구동부(150) 일부는 제 2 리프팅포스트(124) 반대편인 제 1 리프팅포스트(122) 측으로 치우친 본체(110)의 적절한 위치에 장착되는 것이 바람직하다.
더 나아가 비록 별도의 도면으로 표시되지는 않았지만, 두 서브포스트(126,128)의 높이가 허락하는 한 적재쉘프(130)는 상하 2 단 이상의 복층 구성을 갖는 것도 가능하며, 이 경우 각 층을 이루는 적재쉘프 사이의 상하 이격거리를 카세트의 높이 보다 크게 조절함으로써 각각에 카세트가 안착되도록 할 수 있다. 아울러 제 1 리프팅포스트(122) 또한 전후방으로 이격된 한 쌍의 서브포스트로 구분되어진 경우 이들의 외측으로 또 다른 적재쉘프가 마련되는 것도 가능한 바, 본 발명에 따른 스태커로봇(110)에 적재 가능한 카세트의 숫자는 사실상 제한이 없다 하겠지만, 지나치게 많은 수의 카세트가 적재될 경우 스태커로봇(100)의 이동에 무리가 따를 수 있으므로 적절한 수량은 아암(144) 상에 안착되는 하나를 포함하여 총 2 내지 5개 정도가 알맞다.
한편, 앞서 잠시 본 발명에 따른 스태커로봇(100)은 상하좌우로 구획된 다수의 쉘프를 제공하는 스토커 내에 구비되어 상기 스토커 내외부 및/또는 각 쉘프들 사이에서 카세트를 운반하고 적재 및 하역하는 역할을 수행한다 하였는데, 첨부된 도 4는 본 발명에 따른 스태커로봇이 구비된 스토커에 대한 블록도이다.
이때 스토커 내에는 다수의 쉘프(104)가 제공되며, 본 발명에 따른 스태커로봇(100)은 이들 쉘프(104)의 입구면 선단을 가로지르는 트롤리 레일(108) 상에 안착되어 슬라이딩 이동하면, AGV에 의해 스토커의 입고포트(102)로 카세트가 운반되면 스태커로봇(100)이 이를 옮겨 받아 적절한 쉘프(104)로 운반 및 적재하고, 임의의 쉘프(104)로부터 스태커로봇(100)이 카세트를 꺼내 스토커의 출고포트(106)로 옮기면 AGV에 의해 목적하는 장소로 운반된다.
그리고 본 발명에 따른 스태커로봇(100)은 아암(도 3의 144 참조)에 하나 그리고 적어도 하나의 적재쉘프(도 3의 130 참조)에 각각 하나 씩, 총 두 개 이상의 카세트를 운반할 수 있는 바, 편의상 적재쉘프(도 3의 130 참조)가 하나라는 전제 하에, 입고포트(102)로부터 두 개의 카세트를 한꺼번에 싣고 이동하여 쉘프 A, B에 각각 적재할 수 있고, 반대로 쉘프 A, B 각각에 놓인 두 개의 카세트를 한꺼번에 운반하여 출고포트로 하역할 수 있다. 아울러 마찬가지 동작을 통해 각 쉘프(104)들 사이에서 카세트를 옮겨 정리하는 동작을 수행하게 된다.
한편, 이상의 설명에 있어서, 아암(144)에 의해 수행되어지는 적재쉘프(130)로의 카세트 적재 및 하역 과정을 보다 구체적으로 살펴본다.
이를 위해 첨부된 도 5a와 도 5b는 각각, 아암(144)이 적재쉘프(130)로 카세트를 적재하는 과정 그리고 적재쉘프(130)의 카세트를 아암(144)이 옮겨 받는 과정을 설명하기 위한 평면도로서, 편의상 적재쉘프(130)가 하나이고, 도 4의 로더포트(102)로부터 쉘프 A, B에 각각 카세트를 적재하는 경우로 설명하며, 그 외 리프팅플레이트(140)의 승강에 대한 언급 등은 생략한다.
이에 최초 스토커의 로더포트(102)로부터 첫 번째 카세트를 꺼내올 수 있도록 아암(144)은 전방을 향한 채 도 5a의 화살표 ①, ②와 같이 신장, 수축하며, 이 과정 중에 아암(144)에는 첫 번째 카세트가 적재된다. 이어서 화살표 ③과 같이 회전하여 아암(144)이 적재쉘프(130)를 향해 정렬되고, 도 5b의 화살표 ④, ⑤와 같이 아암(144)이 신장, 수축하면서 적재쉘프(130)로 첫 번째 카세트를 옮겨 적재한다. 그리고 화살표 ⑥과 같이 회전하여 아암(144)은 도 5a와 같이 다시 전방의 로더포트(102)를 향하고, 화살표 ①, ②와 같이 신장, 수축하여 두 번째 카세트가 아암(144) 상단에 적재된다.
다음으로 스태커로봇(100)은 트롤리 레일(108)을 따라 이동하여 목적하는 쉘프 A에 도달한 후, 도 5a의 화살표 ①, ②와 같이 신장, 수축하여 아암(144)에 안착되어 있던 두 번째 카세트를 쉘프 A에 옮겨 적재한다. 그 결과 아암(144)은 비어있다.
이어서 스태커로봇은 트롤리 레일(108)을 따라 이동하여 쉘프 B에 도달하고, 이 과정 중에 도 5a의 화살표 ③과 같이 회전하여 아암(144)이 적재쉘프(130)를 향해 정렬된 후 도 5b의 화살표 ④, ⑤와 같이 신장, 수축하면서 적재쉘프(130)에 안착되어 있던 두 번째 카세트를 옮겨 받는다. 그리고 후속해서 화살표 ⑥과 같이 회전하여 아암(144)은 전방의 쉘프 B 입구면을 향하고, 도 5a의 화살표 ①, ②와 같이 신장, 수축하여 두 번째 카세트를 쉘프 B에 옮겨 적재한다.
이때 임의로 쉘프 A, B 로부터 카세트를 출고포트(106)로 전달하는 방법 그리고 각 쉘프 들 사이에서 카세트를 운반 적재하는 방법은 상술한 설명을 토대로 충분히 예상할 수 있으므로 이에 대한 설명은 생략하는 바, 본 발명에 따른 스태커로봇(100)은 매 운행 시 적어도 두 개의 카세트를 한꺼번에 운반할 수 있다.
그 결과 본 발명에 따른 스태커로봇은 단위시간당 운반 가능한 카세트의 수량이 크게 증가되는 잇점이 있고, 이를 이용한 스토커 역시 카세트 운반효율이 현저하게 향상되는 장점을 나타낸다.
도 1은 일반적인 스토커에 대한 내부사시도.
도 2는 일반적인 스태커로봇에 대한 개략적인 사시도.
도 3은 본 발명에 따른 스태커로봇에 대한 개략적인 사시도.
도 4는 본 발명에 따른 스태커로봇이 구비된 스토커에 대한 블록도.
도 5a와 5b는 각각 본 발명에 따른 스태커로봇의 아암부에 대한 작동 상태도
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100 : 스태커로봇 110 : 본체
122, 124 : 제 1 및 제 2 리프팅포스트
126, 128 : 제 1 및 제 2 서브포스트
130 : 적재쉘프 140 : 리프팅프레임
142 : 회전디스크 144 : 아암
150 : 구동부

Claims (9)

  1. 바닥을 따라 이동하는 본체와;
    상기 본체의 좌우양측에서 상향 직립된 제 1 및 제 2 리프팅포스트와;
    상기 제 1 및 제 2 리프팅포스트 사이에서 수평을 유지한 상태로 승강되는 리프팅프레임과;
    상기 리프팅프레임 상에 장착되어 회전, 수축, 신장하는 아암과;
    상기 제 1 및 제 2 리프팅포스트 중 적어도 하나의 외측으로 구비되어, 상기 아암으로 전달되거나 또는 상기 아암으로부터 전달된 카세트가 안착되는 적재쉘프
    를 포함하는 카세트 이송용 스태커로봇.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 리프팅포스트 중 적어도 하나는 상기 카세트 폭보다 큰 간격을 유지하며 전후방으로 이격된 한 쌍의 서브포스트로 이루어지고, 상기 적재쉘프는 상기 한 쌍의 서브포스트에 고정된 카세트 이송용 스태커 로봇.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 적재쉘프는 상하의 적어도 2단 복층으로 이루어져 각각 상기 카세트가 안착되는 카세트 이송용 스태커 로봇.
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 리프팅프레임에 연결된 상태로 상기 제 1 및 제 2 리프팅포스트 각각의 길이방향을 따라 실장된 순환체인과;
    상기 각 순환체인의 순환방향을 제어하여 상기 리프팅프레임을 승강시키는 구동수단
    을 더욱 포함하는 카세트 이송용 스태커 로봇.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 구동수단은 서보모터를 포함하는 카세트 이송용 스태커 로봇.
  6. 제 4항에 있어서,
    상기 구동수단은 상기 본체에 고정되는 카세트 이송용 스태커 로봇.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 제 1 리프팅포스트 만이 상기 한 쌍의 서브포스트로 분리되고, 상기 적재쉘프는 상기 한 상의 서브포스트 외측에 고정되며, 상기 구동수단은 상기 제 2 리프팅포스트 측으로 치우쳐 고정되는 카세트 이송용 스태커 로봇.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 본체는 상기 바닥에 부설된 트롤리 레일을 따라 좌우측으로 수평이동하는 카세트 이송용 스태커 로봇.
  9. 제 1항 내지 제 8항 중 선택된 어느 하나의 항의 기재에 따른 스태커로봇이 구비된 스토커로서,
    각각의 입구면이 상기 스태커로봇을 향하도록 상기 스태커로봇의 전방이나 후방 또는 두 방향 모두에 마련된 다수의 쉘프를 제공하는 스토커.
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