KR20060133380A - 배향막 검사장치 및 이를 이용한 액정표시장치의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (27)
- 증기를 발생시키는 증기 발생장치; 및상기 증기를 기판 표면에 분사시켜 기판 표면에 형성된 배향막을 검사하는 증기 분사장치를 포함하는 배향막 검사장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 증기 발생장치는1차 증기를 발생하는 제 1 증기 발생장치; 및상기 1차 증기를 열원으로 2차 증기를 발생하는 제 2 증기 발생장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 검사장치.
- 제 2 항에 있어서, 상기 제 1 증기 발생장치는 DI를 이용하여 1차 증기를 발생시키는 것을 특징으로 하는 배향막 검사장치.
- 제 2 항에 있어서, 상기 제 1 증기 발생장치는DI를 급수하는 급수 펌프; 및상기 급수된 DI를 히터를 통해 1차 증기로 만드는 열 교환 탱크를 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 검사장치.
- 제 4 항에 있어서, 상기 제 1 증기 발생장치는 상기 열 교환 탱크의 수면의 상, 하부에 설치되어 급수된 DI의 수준을 체크하는 수위 레벨 센서를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 검사장치.
- 제 4 항에 있어서, 상기 제 1 증기 발생장치는 상기 열 교환 탱크 내부의 압력을 조절하는 압력 조절기를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 검사장치.
- 제 6 항에 있어서, 상기 압력 조절기는 열 교환 탱크 내부의 압력을 2~6Kg/cm2 범위로 조절하는 것을 특징으로 하는 배향막 검사장치.
- 제 4 항에 있어서, 상기 열 교환 탱크 내부의 압력이 설정치를 오버하는 경우에 소정의 증기를 외부로 방출시키는 안전밸브를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 검사장치.
- 제 2 항에 있어서, 상기 제 2 증기 발생장치는 상기 제 1 증기 발생장치에서 발생한 1차 증기를 이용하여 2차 열 교환을 통해 순수증기를 발생시키는 것을 특징으로 하는 배향막 검사장치.
- 제 2 항에 있어서, 상기 제 2 증기 발생장치는DI를 저장하는 급수 탱크;상기 급수 탱크에 저장된 DI를 급수하는 급수 펌프; 및상기 급수된 DI를 상기 1차 증기를 열원으로 이용하여 2차 증기로 만드는 열 교환기를 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 검사장치.
- 제 10 항에 있어서, 상기 열 교환기는 다중 관로로 구성되는 것을 특징으로 하는 배향막 검사장치.
- 제 10 항에 있어서, 상기 1차 증기의 공급량을 조절하는 공급조절 밸브를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 검사장치.
- 제 10 항에 있어서, 상기 열 교환기의 내부 압력을 체크하는 압력 센서 및 상기 열 교환기의 내부 압력이 설정치를 오버하는 경우에는 소정의 증기를 외부로 방출시키는 안전밸브를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 검사장치.
- 제 10 항에 있어서, DI를 자동으로 보충하기 위해 상기 급수 탱크에 설치된 수위 레벨 센서를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 검사장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 증기 분사장치는상기 증기 안에 포함되어 있는 수분을 분리하는 기수 분리기; 및상기 기수 분리기를 통해 수분이 제거된 증기를 글라스에 분사하는 분사파이프를 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 검사장치.
- 제 15 항에 있어서, 상기 증기 분사장치는 상기 증기를 증발시키는 재증발 챔버를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 검사장치.
- 제 15 항에 있어서, 상기 기수 분리기와 분사파이프 사이에 설치되어 상기 분사파이프 내부의 증기 유입을 조절하는 컨트롤 밸브를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 검사장치.
- 제 15 항에 있어서, 상기 분사파이프는 다중 관로로 구성되는 것을 특징으로 하는 배향막 검사장치.
- 제 15 항에 있어서, 상기 분사파이프 외곽으로 스팀이 순환하여 상기 증기의 응축을 방지하는 스팀 보존기를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 검사장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 증기 분사장치는 기판과의 거리를 10~100cm 범위로 하여 증기를 상기 기판 표면에 분사하는 것을 특징으로 하는 배향막 검사장치.
- 제 1 기판과 제 2 기판을 제공하는 단계;상기 제 1 기판에 어레이공정을 통해 스위칭소자를 형성하며, 상기 제 2 기판에 컬러필터공정을 통해 컬러필터를 형성하는 단계;상기 제 1 기판과 제 2 기판 표면에 배향막을 형성하는 단계;증기를 발생시키는 증기 발생장치 및 상기 증기를 기판 표면에 분사시키는 증기 분사장치로 구성되는 배향막 검사장치를 이용하여 상기 기판 표면에 형성된 배향막을 검사하는 단계; 및상기 제 1 기판과 제 2 기판을 합착하는 단계를 포함하는 액정표시장치의 제조방법.
- 제 21 항에 있어서, 상기 증기 발생장치는1차 증기를 발생하는 제 1 증기 발생장치; 및상기 1차 증기를 열원으로 2차 증기를 발생하는 제 2 증기 발생장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
- 제 21 항에 있어서, 상기 증기 분사장치는상기 증기 안에 포함되어 있는 수분을 분리하는 기수 분리기; 및상기 기수 분리기를 통해 수분이 제거된 증기를 글라스에 분사하는 분사파이프를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
- 제 21 항에 있어서, 상기 증기 분사장치는 기판과의 거리를 10~100cm 범위로 하여 증기를 상기 기판 표면에 분사하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
- 제 21 항에 있어서, 상기 제 1 기판과 제 2 기판 사이에 액정층 형성하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
- 제 21 항에 있어서, 상기 배향막을 검사하는 단계는 기판 표면에 배향막을 도포한 후에 도포된 배향막의 표면에 얼룩, 줄무늬 또는 핀홀(pin hole) 등의 존재여부를 검사하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
- 제 21 항에 있어서, 상기 배향막을 검사하는 단계는 배향막에 대한 러빙 후 러빙된 배향막 표면의 균일도와 스크래치(scratch) 등의 존재여부를 검사하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050053196A KR100919205B1 (ko) | 2005-06-20 | 2005-06-20 | 배향막 검사장치 및 이를 이용한 액정표시장치의 제조방법 |
US11/315,628 US7492437B2 (en) | 2005-06-20 | 2005-12-23 | Apparatus for inspecting alignment film and method for fabricating liquid crystal display device using the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050053196A KR100919205B1 (ko) | 2005-06-20 | 2005-06-20 | 배향막 검사장치 및 이를 이용한 액정표시장치의 제조방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20060133380A true KR20060133380A (ko) | 2006-12-26 |
KR100919205B1 KR100919205B1 (ko) | 2009-09-28 |
Family
ID=37573894
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020050053196A KR100919205B1 (ko) | 2005-06-20 | 2005-06-20 | 배향막 검사장치 및 이를 이용한 액정표시장치의 제조방법 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7492437B2 (ko) |
KR (1) | KR100919205B1 (ko) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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US10619870B2 (en) | 2015-06-08 | 2020-04-14 | Koh Young Technology Inc. | Humid air forming device, inspection device comprising same, and inspection method |
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-
2005
- 2005-06-20 KR KR1020050053196A patent/KR100919205B1/ko active IP Right Grant
- 2005-12-23 US US11/315,628 patent/US7492437B2/en active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7492437B2 (en) | 2009-02-17 |
US20060286701A1 (en) | 2006-12-21 |
KR100919205B1 (ko) | 2009-09-28 |
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FPAY | Annual fee payment |
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