KR20060131551A - 플렉시블 디스플레이의 전극구조 및 그 제조방법 - Google Patents

플렉시블 디스플레이의 전극구조 및 그 제조방법 Download PDF

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KR20060131551A
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Abstract

본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이의 전극제조방법은 기판을 준비하는 단계와, 탄소나노튜브를 이미다조륨계 이온성 액체와 혼합하여 겔상태의 탄소나노튜브를 형성하는 단계와, 상기 겔상태의 탄소나노튜브를 기판상에 인쇄하는 단계와, 인쇄된 탄소나노튜브를 큐어링하는 단계로 구성된다.
플렉서블 디스플레이, 탄소나노튜브, 이미다조륨, 이온성 액체, 인쇄

Description

플렉시블 디스플레이의 전극구조 및 그 제조방법{ELECTRODE STRUCTURE OF FLEXIBLE DISPLAY DEVICE AND METHOD OF FABRICATION THEREOF}
도 1a 및 도 1b는 본 발명의 제1실시예에 따른 플렉시블 디스플레이의 전극형성방법을 나타내는 도면.
도 2a 및 도 2b는 본 발명의 제2실시예에 따른 플렉시블 디스플레이의 전극형성방법을 나타내는 도면.
도 3a∼도 3c는 본 발명의 제3실시예에 따른 플렉시블 디스플레이의 전극형성방법을 나타내는 도면.
본 발명은 플렉서블 디스플레이의 전극구조 및 그 제조방법에 관한 것으로, 특히 이온성 액체에 용해된 카본나노튜브를 이용하여 전극을 형성함으로써 플렉시블한 기판에 사용가능하고 전도성이 높은 플렉서블 디스플레이의 전극구조 및 그 제조방법에 관한 것이다.
최근의 정보화사회에서 표시장치는 시각정보 전달매체로서 그 중요성이 더 한층 강조되고 있으며, 향후 주요한 위치를 점하기 위해서는 저소비전력화, 박형 화, 경량화, 고화질화 등의 요건을 충족시켜야 한다.
상기 표시장치는 자체가 빛을 내는 CRT(Cathode Ray Tube), 유기전계광소자(Electro Luminescence; EL), VFD(Vacuum Fluorescent Display), FED(Field Emission DisplayD), PDP(Plasma Display Panel) 등의 발광형과 액정표시장치(Liquid Crystal Display; LCD)와 같이 자체가 빛을 내지 못하는 비발광형으로 나눌 수 있다.
한편, 표시장치를 접거나 말아서 넣더라도 손상되지 않는 플렉서블 디스플레이(Flexible Display)가 디스플레이 분야의 새로운 기술로 떠오를 전망이다. 현재는 플렉서블 디스플레이 구현에 다양한 장애들이 존재하고 있지만, 기술개발과 함께 박막트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT) 액정표시장치(Liquid Crystal Display; LCD), 유기EL(Organic Light Emitting Diodes; OLED)과 전기영동(Electrophoretic) 기술이 주류를 이루게될 것이다.
기본적으로 플렉서블 디스플레이는 자유롭게 휠 수 있는 디스플레이를 말하는데, 이러한 디스플레이는 플라스틱과 같은 플렉서블기판으로 이루어져 있기 때문에 종이처럼 접거나 말아도 손상되지 않는 특징을 갖는다. 이러한 플렉서블 디스플레이는 그 자체가 특정 표시소자를 지칭하는 것이 아니라 플렉서블한 모든 구조의 표시소자를 지칭하는 것이다. 따라서, 플렉서블 디스플레이는 다양한 표시소자로 제작할 수 있는데, 현재는 1㎜ 이하로 얇게 만들 수 있는 유기전계발광소자(Organic Light Emitting Diodes) 및 액정표시소자가 유망하다.
유기전계발광소자는 소자 자체가 스스로 빛을 내기 때문에 어두운 곳이나 외 부 빛이 들어올 때도 시인성(是認性)이 좋으며, 모바일(mobile) 디스플레이의 성능을 판가름하는 중요한 기준인 응답속도가 현존하는 디스플레이 가운데 가장 빠르기 때문에 완벽한 동영상을 구현할 수 있다. 또한, 유기전계발광소자는 초박형 디자인이 가능해 휴대폰 등 각종 모바일 기기를 슬림(slim)화할 수 있다.
한편, 액정표시소자는 액정의 광학적 이방성을 이용하여 이미지를 표현하는 장치로서, 기존의 브라운관에 비해 시인성이 우수하고 평균소비전력도 같은 화면크기의 브라운관에 비해 작을 뿐만 아니라 발열량도 작기 때문에 최근에 차세대 표시장치로서 각광받고 있다.
이러한 플렉서블 액정표시소자 및 유기전계발광소자를 구현하기 위해서는 휠 수 있는 유연한 기판을 사용해야하며, 이러한 유연한 기판의 위에 액정층 및 유기발광층에 전계를 인가하는 전극 및 신호를 인가하는 스위칭소자인 박막트랜지스터를 형성해야만 한다.
일반적으로 액정표시소자와 유기전계발광소자 등에 형성되는 전극 및 스위칭소자는 사진식각공정(photolithograpy process)에 의해 형성된다. 즉, 도전성이 좋은 금속을 스퍼터링공정 등에 의해 적층한 후 식각공정을 거침으로써 형성되는 것이다. 그런데, 사진식각공정은 금속층 형성, 포토레지스트층 형성, 현상, 식각 등의 공정으로 이루어져 있기 때문에, 제조공정이 복잡해지고 제조비용이 대폭 증가하는 문제가 있었다. 더욱이, 금속층은 휠 수 없기 때문에 휠 수 있는 플렉서블 디스플레이에는 적용할 수 없다는 치명적인 문제가 있었다.
본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위한 것으로, 연성이 좋은 탄소나노튜브를 사용하여 플렉서블 디스플레이에 적용될 수 있는 전극구조 및 그 제조방법을 제공하는 것을 목적을 한다.
본 발명의 다른 목적은 인쇄방식에 의해 전극을 형성함으로써 제조공정이 단순화되고 제조비용을 절감할 수 있는 전극구조 및 그 제조방법을 제공하는 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 전극제조방법은 기판을 준비하는 단계와, 탄소나노튜브를 이미다조륨계 이온성 액체와 혼합하여 겔상태의 탄소나노튜브를 형성하는 단계와, 상기 겔상태의 탄소나노튜브를 기판상에 인쇄하는 단계와, 인쇄된 탄소나노튜브를 큐어링하는 단계로 구성된다.
겔상태의 탄소나노튜브의 인쇄는 잉크젯방식, 스크린인소방식 또는 그라비아인쇄방식을 사용하기 때문에, 종래의 사진식각공정에 비해 제조공정이 단순해지고 제조비용을 절감할 수 있게 된다.
본 발명에서는 플렉서블 디스플레이에 적용할 수 있는 전극구조를 제공한다. 플렉서블 디스플레이에 전극 등과 같은 도전층을 형성하기 위해서는 기판과 마찬가지로 유연한 특성을 보유해야만 한다. 즉, 도전성이 좋으면서도 연성을 갖고 있어야만 하는 것이다. 연성이 좋은 물질로서, 도전성을 갖는 도전성 폴리머를 사용하여 도전층을 형성할 수 있다. 특히, 도전성 폴리머는 그 자체가 배향막을 형성하는 폴리이미드성분을 포함하고 있기 때문에, 도전층으로 작용함과 동시에 배향막으로 작용하므로 플레서블 액정표시소자에 사용하는 경우 구조를 간단하게 할 수 있다는 장점이 존재한다.
그러나, 도전성 폴리머는 금속에 비해 도전성이 상대적으로 낮기 때문에, 금속층이 형성된 표시소자에 비해 신호지연이 발생한다는 문제가 있다. 또한, 도전성 폴리머는 점도가 높기 때문에 성형성이 좋지 않으므로 복잡한 구조의 전극을 형성하는데 문제가 있었다.
이러한 도전성 폴리머의 문제를 해결하기 위해, 본 발명에서는 탄소나노튜브(carbon nano tube)를 사용한다. 탄소나노튜브는 6개의 탄소로 이루어진 6각형모양이 서로 연결되어 관형상을 이루고 있는 것으로, 전도성이 좋고 강도가 좋다는 장점을 가진다. 그러나, 상기와 같이, 탄소나노튜브는 기존의 폴리머에 섞어 사용하는 경우 탄소나노튜브가 꼬여(뭉쳐) 있으므로 점도가 높게 되어 성형성이 좋지 않았다. 따라서, 이러한 탄소나노튜브를 전극으로 형성하는 것은 문제가 있었다.
그러나, 본 발명에서는 이러한 탄소나노튜브를 이온성 액체, 특히 이미다조륨(imidazolium)계 이온성 액체에 혼합시켜 낮은 점도를 갖는 겔(gel)상태로 만들어 사용하므로, 원하는 패턴의 전극을 형성할 수 있게 된다.
일반적으로 이온성 액체는 환경조화용 용제로서 거의 0에 가까운 증기압을 가지는 점과 인화성이나 가연성이 없어 기존의 유기제 용매를 대체할 수 있는 환경 친화적 용매로서 주로 이용되고 있다. 특히, 높은 극성을 갖고 있기 때문에, 많은 유기화합물을 용해하는데 사용될 수 있다. 본 발명에서 사용되는 이미다조륨계 이온성 액체는 탄소나노튜브와 혼합했을 때, 일반적인 이온성 액체에 비해 꼬여있는 탄소나노튜브속으로 더욱 깊숙이 침투하여 탄소나노튜브를 분산시킬 수 있게 되며, 이러한 분산에 의해 이온성 액체가 낮은 점도를 갖는 겔상태로 되는 것이다.
상기와 같이, 이미다조륨계 이온성 액체에 용해된 겔상태의 탄소나노튜브는 기존의 전도성 폴리머에 비해 전도성이 약 10만배 정도 우수할 뿐만 아니라 낮은 점도를 보유하고 있어서 성형성도 우수하며, 특히 연성을 갖고 있기 때문에 플렉서블 디스플레이의 전극재료로서 훌륭하게 사용될 수 있게 된다. 또한, 탄소나노튜브는 강도가 강하기 때문에 내구성이 강하고, 투명한 이미다조륨계 이온성 액체에 나노크기로 용해되어 있기 때문에 투명하다는 장점도 있다.
한편, 본 발명에서는 상기와 같은 겔상태의 탄소나노튜브에 의해 전극구조가 형성되는 기판으로 중량이 가볍고 충격에 강할 뿐만 아니라 플렉시블한 특성을 보유하여 휴대성을 강화시킨 플라스틱기판을 사용한다. 이러한 플라스틱기판은 폴리에틸렌에테르프탈레이트, 폴리에틸렌나프탈레이트, 폴리카보네이트, 폴리아릴레이트, 폴리에테르이미드, 폴리에테르술폰, 폴리이미드 등과 같은 투명한 물질로 이루어진 것으로, 유리에 비해 전이온도(transition temperature)가 낮다는 단점은 있으나 가볍고 플렉시블하다는 장점을 보유하고 있기 때문에 주로 사용된다.
이하, 상기 첨부한 도면을 참조하여 상기와 같은 겔상탱의 탄소나노튜브를 이용한 본 발명의 플렉서블 디스플레이의 전극구조를 형성방법을 설명한다.
도 1a 및 도 1b는 본 발명의 일실시예에 따른 전극구조 형성방법을 나타내는 도면으로, 이 실시예에서는 잉크젯(ink jet) 프린팅에 의해 전극을 형성한다. 우선, 도 1a에 도시된 바와 같이, 플렉서블한 플라스틱기판(120) 위에 일정 크기의 개구를 갖는 노즐(130)을 위치시킨다.
도면에는 도시하지 않았지만, 상기 노즐(131)은 이미다조륨계와 혼합된 겔상태의 탄소나노튜브가 채워진 공급수단과 연결되어 상기 겔상태의 탄소나노튜브(135)가 노즐(130)의 내부에 공급된다.
상기 노즐(130)에 공급된 탄소나노튜브(135)는 노즐(130)의 개구에서 분출되어 기판(120)상에 적층된다. 이때, 상기 노즐(130)에는 분출되는 탄소나노튜브(135)의 양을 조절하기 위한 밸브(132)가 설치되어 있기 때문에, 원하는 양의 탄소나노튜브(135)를 기판(120) 위에 적층할 수 있게 된다. 상기 노즐(130)은 기판(120) 위에서 일정 속도(v1)로 진행하기 때문에 기판(120) 전체에 걸쳐서 탄소나노튜브(135)를 적층할 수 있을 뿐만 아니라, 밸브(132)를 조작함으로써 원하는 위치에만 탄소나노튜브(135)를 적층할 수 있게 된다.
상기와 같이, 노즐(130)에서 분출된 탄소나노튜브(135)는 겔상태로서 일정한 유동성을 갖고 있기 때문에, 견고한 전극(123)을 형성하기 위해서는 도 1b에 도시된 바와 같이 적층된 겔상태의 탄소나노튜브(135)를 설정된 온도에서 큐어링(curing)해야만 한다. 이러한 큐어링은 적층된 탄소나노튜브(135)의 점도나 두께 등에 의해 결정된다.
상기와 같이, 본 발명에서는 이미다조륨계 이온성 액체에 의해 용해된 겔상태의 탄소나노튜브를 잉크젯프린팅에 의해 플렉서블한 플라스틱기판에 적하한 후 큐어링함으로써 전극(123)을 형성한다. 이때, 형성된 전극(123)은 금속층과는 달리 연성을 갖고 있기 때문에 기판(120)이 휨에 따라 같이 휠수 있게 되며, 금속과 유사한 전도성을 갖고 있기 때문에 신호의 지연이 발생하지 않게 된다.
이러한 겔상태의 탄소나노튜브는 플렉서블 액정표시소자나 플렉서블 유기전계발광소자와 같은 다양한 구조의 플렉서블 디스플레이에 적용될 수 있을 것이다.
도 2a 및 도 2b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 플렉서블 액정표시소자의 전극형성방법에 관한 것으로서, 이 실시예에서는 스크린인쇄방식을 적용하여 전극을 형성한다.
도 2a에 도시된 바와 같이, 플라스틱과 같이 플렉서블한 기판(120)위에 위치한 스크린(140)에는 겔상태의 탄소나노튜브(도면표시하지 않음)가 도포되어 있으며, 상기 스크린(140)에는 스퀴즈(142)가 맞닿아 있다. 스퀴즈(142)는 스크린(140)에 일정 압력(P)을 가하고 있는 상태에서 일정 속도(v)로 움직이며, 상기 압력(P)에 의해 스크린(140)에 충진된 탄소나노튜브가 기판(120)에 적층된다. 이때, 상기 기판(120)에 적층되는 탄소나노튜브의 양은 기판(120)과 스크린(140)의 간격, 스퀴즈(142)의 압력(P) 및 스퀴즈(142)의 진행속도(v)에 따라 달라지는데, 이러한 조건들은 형성하고자 하는 전극의 크기나 두께에 따라 임의로 설정될 것이다.
도 2b에 도시된 바와 같이, 스크린(140)은 기판(120)으로부터 일정 간격을 두고 위치해 있으며, 스퀴즈(142)의 압력에 의해 기판(120)과 맞닿게 된다. 스크린(140) 위에는 겔상태의 탄소나노튜브(135)가 분포되어 있고 스퀴즈(142)의 압력에 의해 스크린(140) 위의 탄소나노튜브(135)가 기판(120)에 도포된다. 스퀴즈(142)가 진행함에 따라 스크린(140) 위의 탄소나노튜브(135)가 스퀴즈(142)와 스크린(140) 사이에 고이게 되고, 스퀴즈(142)의 진행에 의해 결국 이 탄소나노튜브(135)가 기판(120)에 적층된다.
상기와 같이, 스크린인쇄방법에 의한 전극형성은 기판(120)의 크기와 동일한 스크린과 스퀴즈를 준비한 후 인쇄공정을 진행함으로써 1회의 인쇄공정에 의해 기판 전체에 걸쳐 원하는 전극을 형성할 수 있게 된다.
도 3은 본 발명의 제3실시예에 따른 전극형성방법을 나타내는 도면이다. 도면에 도시된 방법은 그라비아(gravure)인쇄방식을 이용한 금속패턴 형성방법이다. 일반적으로 그라비아인쇄는 클리체(cliche)에 잉크를 묻혀 여분의 잉크를 긁어내고 인쇄를 하는 인쇄방식으로서, 출판용, 포장용, 셀로판용, 비닐용, 폴리에틸렌용 등의 각종 분야의 인쇄방법으로서 알려져 있다. 본 실시예에서는 이러한 그라비아인쇄방식을 전극의 형성에 적용하였다.
그라비아인쇄는 전사롤을 이용하여 기판상에 겔상태의 탄소나노튜브를 전사하기 때문에, 기판의 면적에 대응하는 전사롤을 이용함으로써 대면적의 기판의 경우에도 1회의 전사에 의해 전극을 형성할 수 있는데, 이를 설명하면 다음과 같다.
도 3a에 도시된 바와 같이, 우선 플라스틱과 같이 플렉서블한 기판에 형성하고자 하는 전극에 대응하는 오목판 또는 클리체(150)의 특정 위치에 홈(152)을 형성한 후 상기 홈(152) 내부에 겔상태의 탄소나노튜브(135)를 충진한다. 상기 클리체(150)에 형성되는 홈(152)은 일반적인 포토리소그래피방법에 의해 미세하게 형성되며, 홈(152) 내부로의 탄소나노튜브(135) 충진은 클리체(150)의 상부에 탄소나노튜브(135)를 도포한 후 닥터블레이드(151)를 클리체(150)에 접촉한 상태에서 진행시킴으로써 이루어진다. 따라서, 닥터블레이드(151)의 진행에 의해 홈(152) 내부에 탄소나노튜브(135)가 충진됨과 동시에 클리체(150) 표면에 남아 있는 탄소나노튜브 (135)는 제거된다.
도 3b에 도시된 바와 같이, 상기 클리체(150)의 홈(152) 내부에 충진된 겔상태의 탄소나노튜브(135)는 상기 클리체(150)의 표면에 접촉하여 회전하는 전사롤(157)의 표면에 전사된다. 전사롤(157)은 전극이 형성되는 기판의 폭과 동일한 폭으로 형성되며, 기판의 길이와 동일한 길이의 원주를 갖는다. 따라서, 1회의 회전에 의해 클리체(150)의 홈(152)에 탄소나노튜브(135)가 모두 전사롤(157)의 원주 표면에 전사된다. 이후, 도 3c에 도시된 바와 같이, 상기 전사롤(157)을 기판(120)의 표면과 접촉시킨 상태에서 회전시킴에 따라 상기 전사롤(157)에 전사된 탄소나노튜브(135)가 기판(120)에 전사되며, 이 전사된 탄소나노튜브(135)를 설정된 온도에서 설정된 시간 동안 큐어링함으로써 전극(123)을 형성한다. 이때에도 상기 전사롤(157)의 1회전에 의해 기판(120) 전체에 걸쳐 원하는 전극(123)을 형성할 수 있게 된다.
상기한 바와 같이, 그라비아인쇄를 이용한 전극형성방법에서는 클리체(150)와 전사롤(157)을 원하는 기판(120)의 크기에 따라 제작할 수 있으며, 1회의 전사에 의해 기판(120)에 전극을 형성할 수 있으므로, 플라스틱 기판의 전극도 한번의 공정에 의해 형성할 수 있게 된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에서는 탄소나노튜브를 이미다조륨계 이온성 액체에 용해하여 겔상태로 만들어 이를 플라스틱 기판과 같이 유연한 기판위에 인쇄함으로써 원하는 전극패턴을 형성한다. 이미다조륨계 이온성 액체를 사용하는 이유는 상기 이미다조륨계 이온성 액체가 탄소나노튜브속으로 더욱 깊숙이 침투하여 탄소 나노튜브를 잘 분산시킬 수 있기 때문이다. 따라서, 탄소나노튜브 속으로 침투하여 잘 분산시킬 수만 있다면, 어떠한 종류의 이온성 액체도 본 발명에 사용할 수 있으며, 더욱이 다른 종류의 용매도 사용할 수 있을 것이다.
그리고, 본 발명의 전극구조 및 전극 형성방법은 실질적으로 플렉서블 디스플레이에 대한 것이지만, 본 발명의 전극 구조는 유리기판과 같은 강직성의 기판에도 형성할 수 있을 것이다. 이미다조륨계 이온성 액체에 용해된 겔상태의 탄소나노튜브는 전도성이 좋고 내구성이 좋기 때문에, 유리기판과 같은 강직성이 기판에 형성되어 액정표시소자나 유기전계발광소자의 전극으로 형성될 수 있을 것이다. 이 경우에도 인쇄법에 의해 전극을 형성할 수 있기 때문에 제조공정을 단순화할 수 있고, 미시적인 탄소나노튜브를 사용하기 때문에 미세한 선폭의 전극 형성이 가능하게 될 것이다.
상술한 본 발명의 상세한 설명에서는 바람직한 실시예에 대해 기술하고 있지만, 본 발명이 이러한 바람직한 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 다른 실시예나 변형예는 본 발명의 기본적인 개념을 응용하면 본 발명의 속하는 기술분야에 있어서 통상의 지식을 가진 자라면 누구나 용이하게 창안할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 권리의 범위는 상기한 상세한 설명에 의해 결정되는 것이 아니라 첨부한 특허청구범위에 의해 결정되어야만 할 것이다.
상술한 바와 같이, 본 발명에서는 탄소나노튜브를 이미다조륨계 이온성 액체와 혼합하여 점도가 낮은 겔상태로 만든 후 인쇄방법에 의해 기판에 적층하여 전극 을 형성한다. 상기 탄소나노튜브는 전도성이 좋고 연성이 좋기 때문에, 플라스틱과 같은 플렉서블한 기판의 전극재료로서 훌륭하게 적용될 수 있게 된다. 또한, 본 발명에서는 사진식가공정이 아니라 인쇄공정에 의해 겔상태의 탄소나노튜브를 적층한 후 쿠어링하여 전극을 형성하므로, 공정을 단순화시킬 수 있게 되고 그 결과 제조비용을 절감할 수 있게 된다.

Claims (13)

  1. 기판을 준비하는 단계;
    탄소나노튜브를 이미다조륨계 이온성 액체와 혼합하여 겔상태의 탄소나노튜브를 형성하는 단계; 및
    상기 겔상태의 탄소나노튜브를 기판상에 인쇄하는 단계로 구성된 전극형성방법.
  2. 제1항에 있어서, 인쇄된 탄소나노튜브를 큐어링하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 전극형성방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 겔상태의 탄소나노튜브를 인쇄하는 단계는,
    기판 위에 위치한 노즐에 겔상태의 탄소나노튜브를 공급하는 단계; 및
    기판위에서 상기 노즐을 진행시키면서 노즐의 개구를 통해 겔상태의 탄소나노튜브를 분출하여 적층하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 전극형성방법.
  4. 제3항에 있어서, 기판상에 적층되는 겔상태의 탄소나노튜브의 두께는 노즐 개구의 크기, 노즐에 설치된 밸브의 개폐, 노즐의 진행속도에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는 전극형성방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 겔상태의 탄소나노튜브를 인쇄하는 단계는,
    기판 위에 스크린을 배치하는 단계;
    상기 스크린에 겔상태의 탄소나노튜브를 도포하는 단계; 및
    스퀴즈로 상기 스크린에 압력을 가한 상태로 진행시켜 겔상태의 탄소나노튜브를 상기 스크린으로 투과시켜 기판상에 겔상태의 탄소나노튜브를 적층하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 전극형성방법.
  6. 제5항에 있어서, 기판상에 적층되는 전도성 유기물질의 두께는 기판과 스크린의 간격, 스크린에 가해지는 스퀴즈의 압력, 스퀴즈의 진행속도에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는 전극형성방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 겔상태의 탄소나노튜브를 인쇄하는 단계는,
    형성하고자 하는 금속패턴 위치에 대응하는 클리체의 홈내부에 겔상태의 탄소나노튜브를 충진하는 단계;
    전사롤을 상기 클리체와 접촉시킨 상태에서 회전하여 홈내에 충진된 겔상태의 탄소나노튜브를 전사롤의 표면으로 전사하는 단계; 및
    상기 전사롤을 기판에 접촉시킨 상태에서 회전하여 전사롤 표면의 겔상태의 탄소나노튜브를 상기 기판에 재전사하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 전극형성방법.
  8. 제7항에 있어서, 포토리소그래피공정에 의해 클리체에 홈을 형성하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 전극형성방법.
  9. 제1항에 있어서, 상기 기판은 플라스틱 기판인 것을 특징으로 하는 전극형성방법.
  10. 제9항에 있어서, 폴리에틸렌에테르프탈레이트, 폴리에틸렌나프탈레이트, 폴리카보네이트, 폴리아릴레이트, 폴리에테르이미드, 폴리에테르술폰, 폴리이미드로 이루어진 일군으로부터 선택된 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 전극형성방법.
  11. 기판; 및
    탄소나노튜브와 이미다조륨계 이온성 액체가 혼합되어 상기 기판에 형성된 전극으로 구성된 전극구조.
  12. 제11항에 있어서, 상기 기판은 플라스틱 기판인 것을 특징으로 하는 전극형성방법.
  13. 제12항에 있어서, 폴리에틸렌에테르프탈레이트, 폴리에틸렌나프탈레이트, 폴리카보네이트, 폴리아릴레이트, 폴리에테르이미드, 폴리에테르술폰, 폴리이미드로 이루어진 일군으로부터 선택된 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 전극형성방법.
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