KR20060124460A - Cylinder body of shaft for transfer apparatus and the same manufacturing method - Google Patents

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Abstract

A cylindrical body of a shaft for a feeding unit and a method for manufacturing the cylindrical body are provided to prevent damage to a fed object by preventing deflection and shaking of the cylindrical body. A cylindrical body includes a cylindrical body(2) and a reinforcing cylindrical pipe(3). The cylindrical body has a hollow portion. The reinforcing cylindrical body is inserted into the hollow portion of the cylindrical body and includes an outer cylindrical pipe(32) and a rib portion(31) to prevent deflection of the cylindrical body due to the load of the cylindrical body itself. The rib portion has a plurality of ribs radially formed by a predetermined interval.

Description

이송장치용 샤프트의 원통체 및 그의 제조 방법{Cylinder Body Of Shaft For Transfer Apparatus And The Same Manufacturing Method} Cylindrical body of shaft for transfer device and manufacturing method thereof {Cylinder Body Of Shaft For Transfer Apparatus And The Same Manufacturing Method}

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 원통체를 포함하는 이송 장치용 샤프트를 도시한 사시도.1 is a perspective view showing a shaft for a conveying device including a cylindrical body according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1의 A-A 방향 단면도.2 is a cross-sectional view along the direction A-A of FIG.

도 3은 도 1의 B-B 방향 단면도.3 is a cross-sectional view taken along the line B-B in FIG.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 원통체를 포함하는 이송 장치용 샤프트를 도시한 사시도.4 is a perspective view showing a shaft for a transfer device including a cylindrical body according to another embodiment of the present invention.

도 5는 도 4의 C-C 방향 단면도.5 is a cross-sectional view taken along the line C-C in FIG.

도 6은 도 4의 D-D방향 단면도. 6 is a sectional view taken along the D-D direction of FIG. 4.

도 7은 종래 기술에 따른 이송 장치의 개략적인 사시도.7 is a schematic perspective view of a transfer device according to the prior art;

도 8 및 도 9은 종래 기술에 따른 이송 장치용 샤프트의 원통체 단면도.8 and 9 are cylindrical cross-sectional views of a shaft for a conveying apparatus according to the prior art.

<도면의 주요 부분에 대한 부호 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

1 : 원통체1: cylindrical body

2 : 원통형 본체2: cylindrical body

21 : 중공부 21: hollow part

3 : 보강 원통체3: reinforcing cylinder

31 : 리브부 31: rib portion

311, 313 : 리브, 312 : 내부 원통관, 314 : 중공부   311, 313: rib, 312: inner cylindrical tube, 314: hollow part

32 : 외부 원통관 32: outer cylinder tube

4 : 회전축4: axis of rotation

본 발명은기판을 이송하는 장치에 포함되는 기판 이송용 샤프트나 기판 세정용 샤프트의 원통체 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 이송 장치용 샤프트의 원통체가 자체 하중에 의해 처지거나 이송물의 이송시 흔들리는 것을 방지하도록 하는 이송 장치용 샤프트의 원통체 및 그의 제조 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a cylindrical body of a substrate transfer shaft or a substrate cleaning shaft included in an apparatus for transferring a substrate and a method of manufacturing the same. It relates to a cylindrical body of a shaft for a conveying device and a method of manufacturing the same so as to prevent shaking during conveyance.

일반적으로 LCD, PDP 기판 등을 이송하기 위한 이송장치(Conveyor)라 함은, 반도체 공정에서 기판을 여러 공정 라인으로 이동시킬 경우 또는 기판의 세정시 기판을 이동시키는데 사용되는 것이다. In general, a conveyor for transferring an LCD, a PDP substrate, or the like is used to move a substrate when the substrate is moved to various process lines in a semiconductor process or when the substrate is cleaned.

이에 통상적으로 알려진 이송장치는, 도 7에 도시된 바와 같이 양측 골조(101)를 포함하는 프레임(100)과 상기 양측 골조(101) 사이에 구동수단(200)을 통해 회전되게 구비된 다수의 이송용 샤프트(300)를 포함한다. Commonly known conveying apparatus, as shown in Figure 7, a plurality of conveyance is provided to be rotated through the drive means 200 between the frame 100 including the two-sided frame 101 and the two-sided frame 101 For the shaft 300.

아울러 상기 이송용 샤프트들의 후방인 프레임의 후방부에는 상,하 한쌍을 이루는 세정용 샤프트가 구비된다.In addition, the rear portion of the frame, which is the rear of the transfer shafts are provided with a cleaning shaft forming a pair of upper and lower.

그리고, 상기 이송용 샤프트(300) 및 세정용 샤프트(306)는 횡방향으로 회전 이 가능하게 구비되는 것으로, 상기 양측 골조(101)에 회전이 가능하게 삽입되는 양 회전축(301)과 이 양 회전축(301)을 상호 연결하는 원통체(302)를 동일한 구성으로 포함한다. In addition, the transfer shaft 300 and the cleaning shaft 306 are provided to be rotatable in the lateral direction, and both rotation shafts 301 and both rotation shafts that are rotatably inserted into the two side frames 101. The cylindrical body 302 which interconnects 301 is comprised by the same structure.

한편 상기 이송용 샤프트(300)는 기판을 이송시킬 수 있도록 상기 원통체(302)의 외측에 간격을 두고 다수의 가이드 롤러(303)가 구비됨을 특징으로 하고, 상기 세정용 샤프트(306)는 원통체(302)의 외측에 다수의 브러쉬(307)를 구비한 것을 특징으로 한다. Meanwhile, the transfer shaft 300 is provided with a plurality of guide rollers 303 at intervals outside the cylindrical body 302 so as to transfer the substrate, and the cleaning shaft 306 is a cylinder. A plurality of brushes 307 are provided on the outside of the sieve 302.

따라서, 상기 이송용이나 세정용 샤프트는 이송물의 크기나 사용 목적에 따라 이송물의 이송이 요구되는 범위 내에서 설정되는 일정한 길이를 갖도록 구성된다. Therefore, the conveying or cleaning shaft is configured to have a certain length set within a range in which the conveying of the conveying object is required according to the size of the conveying object or the purpose of use.

또한 상기 원통체(302)는 중공부를 포함하는 관의 형상으로 이루어짐으로써, 상기 중공부의 양측에 상기 양 회전축(301)이 억지 끼워 맞춤 삽입을 통해 고정되는 것이다. In addition, the cylindrical body 302 is formed in the shape of a tube including a hollow portion, the two rotating shafts 301 are fixed to both sides of the hollow portion by interference fit insertion.

또한 상기 양 회전축(301) 중 하나에는 구동수단의 구동력을 밸트, 체인 등을 통해 인가 받는 풀리, 스프로킷, 기어 등의 기계요소가 구비된다. In addition, one of the rotary shaft 301 is provided with a mechanical element such as a pulley, a sprocket, a gear that receives the driving force of the driving means through a belt, a chain or the like.

그런데, 상기와 같이 구성된 이송용이나 세정용 사프트가 포함되는 이송장치를 사용할 경우에는, 기판이 올려지는 상기 원통체(302)가 내부에 중공부를 포함하는 관의 형상을 가짐에 따라 원통형 본체의 중간이 자체 하중에 의해 처지거나 흔들리게 된다. By the way, in the case of using a conveying apparatus including the conveying or cleaning shaft configured as described above, the cylindrical body 302 on which the substrate is mounted has a shape of a tube including a hollow part in the middle of the cylindrical body. It is sag or shaken by its own load.

그래서, 상기와 같은 문제점을 해소할 수 있도록 원통형 본체가 이중관으로 구성되는 것이 알려져 있다. Thus, it is known that the cylindrical body is composed of a double tube to solve the above problems.

이에 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이 종래의 이중관으로 구성된 원통체는 중공부를 갖는 원통형 본체(304)와, 상기 원통형 본체(304)의 중공부에 삽입 고정되는 원통형 보강체(305)로 구성된다. Thus, as shown in FIGS. 8 and 9, the cylindrical body composed of the conventional double tube includes a cylindrical body 304 having a hollow portion, and a cylindrical reinforcement 305 inserted into and fixed to the hollow portion of the cylindrical body 304. do.

그런데, 이송물 즉 LCD 기판의 크기가 작을 경우 이송용 샤프트를 구성하는 원통체의 길이가 짧아도 무관하기 때문에 별다른 문제없이 LCD 기판의 이송이 원활하게 이루어지지만, LCD 기판의 사이즈가 증가할수록 원통형 본체도 그에 부합되게 길어져야 하므로 상기 이중관으로 이루어지는 원통체가 자체 하중에 의해 하부로 처지거나 흔들리게 되는 문제점이 있었다. However, when the size of the conveying material, ie, the LCD substrate, is small, the length of the cylindrical body constituting the conveying shaft is irrelevant. Therefore, the LCD substrate is smoothly transported without any problems, but as the size of the LCD substrate increases, the cylindrical body also increases. Since it has to be lengthened accordingly, there is a problem that the cylindrical body formed of the double pipe sags downward or shakes due to its own load.

즉, 이중관으로 이루어진 원통체가 관의 형태로 이루어지기 때문에 원통형 본체의 내부에 삽입된 보강체에 의해 각각의 지점에서의 측벽이 지지되기는 하지만, 원통체의 중간 지점으로 갈수록 자체 하중이 집중되고, 이송물의 이송시 반복 하중을 받기 때문에 이송 장치를 장시간 사용하는 경우 하부로 처지거나 흔들리게 되는 문제점이 발생한다.That is, since the cylindrical body made of a double tube is formed in the form of a tube, the sidewalls at each point are supported by the reinforcement inserted into the cylindrical body, but the load is concentrated toward the intermediate point of the cylindrical body. Receiving a repeated load during the transfer of water causes a problem of sagging or shaking to the bottom when using the transfer device for a long time.

상기와 같이, 이송용이나 세정용 샤프트의 원통체가 자체 하중에 의해 처지거나 이송물의 하중에 의해 흔들림에 따라, LCD 기판이 이송되는 과정에서 정상적인 롤링이 이루어지지 않아 이송물의 이송 및 세정이 원활하게 이루어지지 않는바, 작업성 및 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.As described above, as the cylindrical body of the conveying or cleaning shaft sags by its own load or shakes by the load of the conveying material, normal rolling is not performed in the process of transferring the LCD substrate, so that the conveying and cleaning of the conveyed material is smoothly performed. There was a problem that the workability and productivity is reduced.

또한, 이송용 샤프트의 원통체가 처지거나 흔들림에 따라 LCD 기판이 손상되는 문제점이 발생하였다. In addition, there is a problem that the LCD substrate is damaged as the cylindrical body of the transfer shaft sag or shake.

상기 종래 기술에 따른 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 기판을 이송하는 장치에 포함되는 기판 이송용 샤프트나 기판 세정용 샤프트의 원통형 본체 중공부에 방사형의 등간격으로 형성된 다수의 리브를 내부에 포함하는 보강 원통관을 삽입, 고정하여 상기 원통체에 자체 하중 및 이송물에 의한 하중이 가해지더라도, 복원력이 강한 리브에 의해 상기 보강 원통관이 항시 본래의 형태를 유지되도록 하여 상기 원통체가 처지거나 흔들리지 않도록 함으로써 이송물의 손상을 방지할 수 있는 이송 장치용 샤프트의 원통체 및 그의 제조 방법을 제공하기 위한 것이다.An object of the present invention for solving the problem according to the prior art is a plurality of ribs formed at radial equal intervals in the hollow portion of the cylindrical body of the substrate transfer shaft or substrate cleaning shaft included in the apparatus for transferring the substrate therein Inserting and fixing a reinforcing cylindrical tube including the self-loading and the load by the conveying material, even if the load by the self-loading and conveying object, the reinforcing cylindrical tube is always kept in its original form by a strong resilient rib to sag or An object of the present invention is to provide a cylindrical body of a shaft for a conveying apparatus and a method of manufacturing the same, which can prevent damage of a conveyed object by not shaking it.

상기 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명은 이송 장치용 샤프트의 원통체에 관한 것으로, 상기 원통체는 중공부를 갖는 원통형 본체와, 상기 원통형 본체의 중공부에 삽입되어 상기 원통형 본체의 자체 하중에 의한 처짐을 방지하도록 외부 원통관과 그 내부에 리브부를 포함하는 보강 원통관으로 구성된다. The present invention for solving the above technical problem relates to a cylindrical body of the shaft for the transfer device, the cylindrical body is inserted into the hollow body of the cylindrical body, and the hollow portion of the cylindrical body deflection by the self-load of the cylindrical body It is composed of a reinforcing cylindrical tube including a rib in the outer cylindrical tube and its inside to prevent the.

본 발명의 실시예에 있어서, 상기 리브부는 외부 원통관의 내부에 방사형의 등간격으로 이루어진 다수의 리브를 포함한다. In the embodiment of the present invention, the rib portion includes a plurality of ribs made of radial equal intervals inside the outer cylindrical tube.

본 발명의 다른 실시예에 있어서, 상기 리브부는 상기 외부 원통관의 중앙에 구비되는 내부 원통관 및 상기 외부 원통관과 내부 원통관 사이를 등간격으로 연결하는 다수의 리브를 포함한다.In another embodiment of the present invention, the rib portion includes an inner cylindrical tube provided in the center of the outer cylindrical tube and a plurality of ribs connected at equal intervals between the outer cylindrical tube and the inner cylindrical tube.

본 발명은 기판의 이송이나 세정을 하는 이송 장치용 샤프트의 원통체 제조 방법에 관한 것으로, 중공부를 갖는 원통형 본체를 제작하는 단계와, 압출 성형에 의해 외부 원통관과 외부 원통관 내부에 구비되는 리브부를 포함하는 보강 원통관을 제작하는 단계와, 상기 원통형 본체의 중공부에 상기 보강 원통관을 삽입하는 단계를 포함한다. The present invention relates to a method for manufacturing a cylindrical body of a shaft for a conveying device for transferring or cleaning a substrate, the method comprising: producing a cylindrical body having a hollow portion, and an rib provided in the outer cylindrical tube and the outer cylindrical tube by extrusion molding Producing a reinforcing cylindrical tube comprising a portion, and inserting the reinforcing cylindrical tube in the hollow portion of the cylindrical body.

상기 보강 원통관을 제작하는 단계에서는 상기 리브부를 외부 원통관의 내부에 방사형의 등간격으로 다수의 리브를 포함하도록 제작하거나, 내부 원통관 및 상기 외부 원통관과 상기 내부 원통관을 등간격으로 연결하는 다수의 리브를 포함하도록 제작할 수 있다.In the step of manufacturing the reinforcing cylindrical tube, the rib portion is produced to include a plurality of ribs at radial equal intervals inside the outer cylindrical tube, or connect the inner cylindrical tube and the outer cylindrical tube and the inner cylindrical tube at equal intervals. It can be manufactured to include a plurality of ribs.

본 발명은 첨부된 도면을 참조하여 후술하는 바람직한 실시예를 통하여 더욱 명백해질 것이다. 이하에서는 본 발명의 실시예를 통해 당업자가 용이하게 이해하고 재현할 수 있도록 상세히 설명하도록 한다. The invention will become more apparent through the preferred embodiments described below with reference to the accompanying drawings. Hereinafter will be described in detail to enable those skilled in the art to easily understand and reproduce through embodiments of the present invention.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 원통체를 포함하는 이송용 장치용 샤프트를 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1의 A-A 방향 단면도이며 도 3은 도 1의 B-B 방향 단면도로, 본 발명의 이송 장치용 샤프트는 중공부(21)를 포함하는 원통형 본체(2)와 상기 중공부(21)에 삽입되어 원통형 본체(2)의 자체 하중에 의한 처짐을 방지하도록 외부 원통관(32)과 그 내부에 리브부(31)를 포함하는 보강 원통관(3)을 구비한다. 그리고 상기 원통형 본체(2)의 양측에는 회전축(4)이 더 구비되어 있다. 1 is a perspective view showing a shaft for a conveying apparatus including a cylindrical body according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a cross-sectional view in the AA direction of Figure 1 and Figure 3 is a cross-sectional view in the BB direction of Figure 1, The shaft for the conveying device is inserted into the cylindrical body 2 including the hollow portion 21 and the hollow portion 21 to prevent sagging due to the self-loading of the cylindrical body 2 and the outer cylindrical tube 32 and the like. It is provided with the reinforcement cylindrical pipe 3 containing the rib part 31 inside. And both sides of the cylindrical body 2 is further provided with a rotating shaft (4).

상기 리브부(31)는 상기 외부 원통관(32)의 중앙을 중심으로 방사형의 등간격으로 구비되는 다수의 리브(311)를 포함하여 자체 하중 및 이송물에 의한 하중이 가해지더라도 리브에 의한 강력한 복원력을 갖기 때문에 본래의 형상으로 복원되어 휘어짐 없이 상기 보강 원통관(3)을 지지함으로써 원통체(1)의 처짐이나 흔들림을 방지한다. The rib portion 31 includes a plurality of ribs 311 provided at radial equal intervals about the center of the outer cylindrical tube 32, even if the load by its own load and the conveying object is strong by the rib Since it has a restoring force, the reinforcing cylindrical tube 3 is supported without being bent and restored to its original shape, thereby preventing sagging or shaking of the cylindrical body 1.

상기 각각의 리브(311)는 자체 하중 또는 이송물에 의한 하중을 모든 방향에 대하여 동일하게 분산시키도록 하기 위해 등간격의 동일 길이로 구비됨이 바람직하다.Each of the ribs 311 is preferably provided with the same length at equal intervals in order to distribute the load by its own load or the conveyed object equally in all directions.

상기 원통형 본체(2)는 스테인레스스틸(SUS) 또는 폴리염화비닐(PVC)로 이루어질 수 있고, 상기 보강 원통관(3)은 알루미늄, 플라스틱 또는 탄소섬유강화플라스틱(CFRP : Carbon Fiber Reinforced Plastic)으로 형성하는 것이 바람직하나, 이에 한정하는 것을 아니며 다양한 재료로 형성할 수 있다. The cylindrical body 2 may be made of stainless steel (SUS) or polyvinyl chloride (PVC), and the reinforcement cylindrical tube 3 is formed of aluminum, plastic, or carbon fiber reinforced plastic (CFRP). It is preferable, but not limited thereto, and may be formed of various materials.

상기 원통체(1)가 포함된 이송 장치용 샤프트는 아래의 방법에 의해 제조 할 수 있다. The shaft for the conveying apparatus including the cylindrical body 1 can be manufactured by the following method.

우선, 스테인레스스틸(SUS) 또는 폴리염화비닐(PVC)로 이루어지고 내부에 중공부(21)를 갖는 원통형 본체(2)를 제작한다.First, a cylindrical body 2 made of stainless steel (SUS) or polyvinyl chloride (PVC) and having a hollow portion 21 therein is manufactured.

그리고, 압출 성형을 통해 상기 알루미늄, 플라스틱 또는 탄소섬유강화플라스틱(CFRP : Carbon Fiber Reinforced Plastic)으로 이루어지는 보강 원통관(3)을 제작한다. 상기 보강 원통관(3)은 원통형 본체(2)의 중공부(21)에 삽입되어 상기 원통형 본체(2)의 자체 하중에 의한 처짐을 방지하도록 외부 원통관(32)과 그 내부에 리브부(31)를 포함하도록 제작한다. Then, through the extrusion molding to produce a reinforced cylindrical tube (3) made of the aluminum, plastic or carbon fiber reinforced plastic (CFRP). The reinforcing cylindrical tube (3) is inserted into the hollow portion 21 of the cylindrical body (2) to prevent the deflection due to the self-load of the cylindrical body (2) and the outer cylindrical tube (32) and ribs therein ( 31) to be included.

상기 리브부(31)는 상기 외부 원통관(32) 내부에 방사형의 등간격으로 이루어진 다수의 리브(311)를 포함하도록 제작할 수 있다.The rib portion 31 may be manufactured to include a plurality of ribs 311 having radial equal intervals inside the outer cylindrical tube 32.

그런 다음, 상기 원통형 본체(2)와 상기 보강 원통관(3)이 상호 미끄러지지 않도록 상기 원통형 본체의 중공부(21)에 상기 보강 원통관(3)을 삽입하여 상기 보강 원통관(112)을 상기 원통형 본체(2)의 내경에 고정시킨다. Then, the reinforcement cylindrical tube 112 is inserted into the reinforcement cylindrical tube 3 by inserting the reinforcement cylindrical tube 3 into the hollow portion 21 of the cylindrical body 2 so that the cylindrical body 2 and the reinforcement cylindrical tube 3 do not slip together. The inner diameter of the cylindrical body 2 is fixed.

상기 보강 원통관(3) 삽입 단계에서는 상기 보강 원통관(3)을 상기 원통형 본체(2)의 중공부(21)에 억지 끼워 맞춤으로 삽입 고정할 수 있다.In the step of inserting the reinforcement cylindrical tube 3, the reinforcement cylindrical tube 3 may be inserted into and fixed to the hollow portion 21 of the cylindrical body 2 by interference fit.

또는, 상기 보강 원통관(3) 삽입 단계에서는 상기 원통형 본체(2)의 중공부에 공간부를 갖도록 상기 보강 원통관(3)을 삽입한 후 상기 보강 원통관(3)과 원통형 본체(2)를 인발 공정으로 일체화시켜 상호 미끄러지지 않도록 한다. Alternatively, in the reinforcing cylindrical tube (3) inserting step, the reinforcing cylindrical tube (3) and the cylindrical body (2) after inserting the reinforcing cylindrical tube (3) to have a space in the hollow portion of the cylindrical body (2) Integrate with the drawing process to prevent slipping.

더욱 상세하게는, 상기 보강 원통관(3)을 상기 원통형 본체(2)의 중공부에 헐겁게 삽입한 후 보강 원통관(3)이 삽입된 원통형 본체(2)를 당김에 의해 인발 장치의 금형을 통과하도록 한다. 이에 따라, 상기 원통형 본체(2)의 직경이 단면 수축에 의해 감소하고, 결국 상기 원통형 본체(2)의 내경이 상기 보강 원통관(3)의 외경에 밀착되어 상호 고정된다. More specifically, the mold of the drawing device is removed by loosely inserting the reinforcing cylindrical tube 3 into the hollow portion of the cylindrical body 2 and pulling the cylindrical main body 2 into which the reinforcing cylindrical tube 3 is inserted. Pass it through. Accordingly, the diameter of the cylindrical body 2 is reduced by the cross-sectional shrinkage, and eventually the inner diameter of the cylindrical body 2 is in close contact with the outer diameter of the reinforcing cylindrical tube 3 to be fixed to each other.

이후, 상기 원통체(1)가 프레임에 결합되어 모터 구동에 의한 회전력에 의해 회전 가능하도록 상기 프레임과 결합되는 회전축(4)을 상기 원통체(1)의 양측 끝단을 나사 체결로 고정시킨 용접을 통해 상호 연결한 후 상기 원통체(1) 외주면의 표면을 균일하게 하기 위한 연마 공정을 진행한다. 이때, 나사 체결은 상기 외부 원통관(32)의 양측 끝단과 상기 회전축을 체결하도록 한다. Thereafter, the cylindrical body 1 is coupled to the frame to weld the rotary shaft 4 coupled to the frame so as to be rotatable by a rotational force driven by a motor, and fixing both ends of the cylindrical body 1 by screwing. After interconnecting through a polishing process for uniformizing the surface of the outer peripheral surface of the cylindrical body (1). At this time, the screw fastening to fasten both ends of the outer cylindrical tube 32 and the rotary shaft.

상기 연마 공정에 의해 상기 원통체 외주면의 표면이 균일하게되기 때문에 이송용 샤프트의 회전시 원통체의 표면 불균일에 따라 이송물에 가해지는 충격으로 이송물의 표면이 손상되는 것이 방지된다.Since the surface of the cylindrical outer circumferential surface is made uniform by the polishing process, the surface of the conveyed object is prevented from being damaged by the impact applied to the conveyed object by the surface unevenness of the cylindrical body when the conveying shaft rotates.

또한, 원통체 외주면의 표면이 균일하기 때문에 이송용 샤프트의 회전시 각 부위에서의 회전력이 동일하게 됨으로써 이송물의 손상 없이 이송물을 이송시킬 수 있다. In addition, since the surface of the cylindrical outer circumferential surface is uniform, the rotational force at each part is equal during rotation of the conveying shaft, so that the conveyed object can be conveyed without damaging the conveyed object.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 원통체를 포함하는 이송 장치용 샤프트를 도시한 사시도이고, 도 5는 도 4의 C-C 방향 단면도이며 도 6은 도 4의 D-D 방향 단면도로, 본 발명의 다른 실시예는 중공부(21)를 포함하는 원통형 본체(2)와 상기 중공부(21)에 삽입되어 원통형 본체(2)를 보강하도록 외부 원통관(32)과 상기 외부 원통관(32) 내부에 구비되는 리브부(31)를 포함하는 보강 원통관(3)을 구비한다. Figure 4 is a perspective view showing a shaft for a transfer device including a cylindrical body according to another embodiment of the present invention, Figure 5 is a cross-sectional view of the CC direction of Figure 4 and Figure 6 is a cross-sectional view of the DD direction of Figure 4, Another embodiment is a cylindrical body 2 including a hollow portion 21 and the outer cylindrical tube 32 and the inside of the outer cylindrical tube 32 is inserted into the hollow portion 21 to reinforce the cylindrical body (2) The reinforcement cylindrical pipe 3 containing the rib part 31 provided in is provided.

상기 리브부(31)는 상기 외부 원통관(32)의 중앙에 구비되는 내부 원통관(312) 및 상기 외부 원통관(32)과 내부 원통관(312) 사이를 등간격으로 연결하는 다수의 리브(313)를 포함으로써, 자체 하중 및 이송물에 의한 하중이 가해지더라도 리브에 의한 강력한 복원력을 갖기 때문에 본래의 형상으로 복원되어 휘어짐 없이 상기 보강 원통관(3)을 지지함으로써 원통체(1)의 처짐이나 흔들림을 방지한다. The rib portion 31 has a plurality of ribs connected at an equal interval between the inner cylindrical tube 312 and the outer cylindrical tube 32 and the inner cylindrical tube 312 is provided in the center of the outer cylindrical tube (32). By including 313, even if the load by the self load and the conveyed material has a strong restoring force by the rib, the original shape is restored to support the reinforcement cylindrical tube 3 without bending and thus the cylindrical body 1 Prevent sag or shake.

상기 각각의 리브(313)는 자체 하중 또는 이송물에 의한 하중을 모든 방향에 대하여 동일하게 분산시키도록 하기 위해 등간격의 동일 길이로 구비됨이 바람직하다.Each of the ribs 313 is preferably provided with the same length at equal intervals so as to distribute the load by its own load or the conveyed material equally in all directions.

상기 본 발명의 다른 실시예에 따른 원통체(1)가 포함된 이송용 샤프트의 제조 방법은, 상기 실시예에 따른 이송용 샤프트의 제조 방법에 있어서 상기 리브부 (31)를 외부 원통관(32)과 내부 원통관 및 상기 외부 원통관(32)과 내부 원통관 사이를 등간격으로 연결하는 다수의 리브(313)를 포함하도록 제작할 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a transfer shaft including a cylindrical body (1), wherein the rib portion (31) is formed in an outer cylindrical tube (32) in the manufacturing method of the transfer shaft according to the embodiment. ) And an inner cylindrical tube and a plurality of ribs 313 connecting the outer cylindrical tube 32 and the inner cylindrical tube at equal intervals.

상술한 바와 같이 본 발명은 이기판을 이송하는 장치에 포함되는 기판 이송용 샤프트나 기판 세정용 샤프트의 원통형 본체 중공부에 방사형의 등간격으로 형성된 다수의 리브를 내부에 포함하는 보강 원통관을 삽입, 고정하여 상기 원통체에 자체 하중 및 이송물에 의한 하중이 가해지더라도, 복원력이 강한 리브에 의해 상기 보강 원통관이 항시 본래의 형태를 유지하도록 하여 상기 원통체가 처지거나 흔들리지 않도록 함으로써 이송물의 손상을 방지할 수 있다.As described above, the present invention inserts a reinforcement cylindrical tube including a plurality of ribs formed at radial equal intervals inside a hollow portion of the cylindrical body of the substrate transfer shaft or the substrate cleaning shaft included in the apparatus for transferring the substrate. Even though the cylindrical body is fixed and subjected to its own load and the load by the object, the reinforcing rib keeps the reinforcing cylinder tube in its original shape at all times by the strong restoring ribs, so that the cylindrical body does not sag or shakes. You can prevent it.

본 고안은 첨부된 도면을 참조하여 바람직한 실시예를 중심으로 기술되었지만 당업자라면 이러한 기재로부터 본 발명의 범주를 벗어남이 없이 많은 다양한 자명한 변형이 가능하다는 것은 명백하다. 따라서 본 발명의 범주는 이러한 많은 변형예들을 포함하도록 기술된 청구범위에 의해서 해석되어져야 한다.Although the present invention has been described with reference to the accompanying drawings, it will be apparent to those skilled in the art that many various obvious modifications are possible without departing from the scope of the invention from this description. Therefore, the scope of the invention should be construed by the claims described to include many such variations.

Claims (8)

기판을 이송하는 장치에 포함되는 기판 이송용 샤프트나 기판 세정용 샤프트의 원통체에 있어서, In the cylindrical body of the board | substrate conveyance shaft and the board | substrate cleaning shaft contained in the apparatus which conveys a board | substrate, 상기 원통체(1)는;The cylindrical body (1) is; 중공부(21)를 갖는 원통형 본체(2)와, 상기 원통형 본체(2)의 중공부(21)에 삽입되어 상기 원통형 본체(2)의 자체 하중에 의한 처짐을 방지하도록 외부 원통관(32)과 그 내부에 리브부(31)를 포함하는 보강 원통관(3)으로 구성됨을 특징으로 하는 이송 장치용 샤프트의 원통체.A cylindrical body 2 having a hollow portion 21 and an outer cylindrical tube 32 inserted into the hollow portion 21 of the cylindrical body 2 to prevent sagging due to its own load on the cylindrical body 2. And a reinforcing cylindrical tube (3) including a rib portion (31) therein. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 리브부(31)는 방사형의 등간격으로 이루어진 다수의 리브(311)를 포함함을 특징으로 하는 이송 장치용 샤프트의 원통체.The rib portion 31 is a cylindrical body of a shaft for a transfer device, characterized in that it comprises a plurality of ribs (311) made of radial equal intervals. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 리브부(31)는 상기 외부 원통관(32)의 중앙에 구비되는 내부 원통관(312) 및 상기 외부 원통관(32)과 내부 원통관(312) 사이를 등간격으로 연결하는 다수의 리브(313)를 포함함을 특징으로 하는 이송 장치용 샤프트의 원통체.The rib portion 31 has a plurality of ribs connected at an equal interval between the inner cylindrical tube 312 and the outer cylindrical tube 32 and the inner cylindrical tube 312 is provided in the center of the outer cylindrical tube (32). A cylindrical body of a shaft for a conveying device, characterized in that it comprises a (313). 기판을 이송하는 장치에 포함되는 기판 이송용 샤프트나 기판 세정용 샤프트 의 원통체를 제조함에 있어서,In manufacturing the cylindrical body of the substrate transfer shaft and the substrate cleaning shaft included in the apparatus for transferring the substrate, 중공부를 갖는 원통형 본체를 제작하는 단계와;Manufacturing a cylindrical body having a hollow portion; 압출 성형에 의해 외부 원통관과 외부 원통관 내부에 구비되는 리브부를 포함하는 보강 원통관을 제작하는 단계와;Manufacturing a reinforcing cylindrical tube including an outer cylindrical tube and a rib portion provided in the outer cylindrical tube by extrusion molding; 상기 원통형 본체의 중공부에 상기 보강 원통관을 삽입하는 단계;Inserting the reinforcing cylindrical tube into the hollow portion of the cylindrical body; 를 포함함을 특징으로 하는 이송 장치용 샤프트의 원통체 제조 방법.Cylindrical manufacturing method of the shaft for the transfer device comprising a. 제 4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 보강 원통관을 제작하는 단계에서는 상기 리브부를 방사형의 등간격으로 다수의 리브를 포함하도록 제작하는 것을 특징으로 하는 이송 장치용 샤프트의 원통체 제조 방법. The manufacturing method of the cylindrical body of the shaft for a conveying apparatus, characterized in that in the step of producing the reinforcement cylindrical tube, the rib portion includes a plurality of ribs at radial equal intervals. 제 4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 보강 원통관을 제작하는 단계에서는 상기 리브부를 내부 원통관 및 상기 외부 원통관과 상기 내부 원통관을 등간격으로 연결하는 다수의 리브를 포함하도록 하는 것을 특징으로 하는 이송 장치용 샤프트의 원통체 제조 방법.In the step of producing the reinforcing cylindrical tube manufacturing the cylindrical body of the shaft for the transfer device, characterized in that the rib portion comprises a plurality of ribs connecting the inner cylindrical tube and the outer cylindrical tube and the inner cylindrical tube at equal intervals. Way. 제 4 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 4 to 6, 상기 보강 원통관을 삽입 단계에서는 상기 보강 원통관을 상기 원통형 본체의 중공부에 억지 끼워 맞춤으로 삽입 고정하는 것을 특징으로 하는 이송 장치용 샤프트의 원통체 제조 방법.In the step of inserting the reinforcing cylindrical tube, the cylindrical body manufacturing method of the shaft for the transfer device, characterized in that the reinforcement cylindrical tube is inserted into the hollow portion of the cylindrical body by interference fit. 제 4항 내지 제 6항중 어느 한 항에 있어서, The method according to any one of claims 4 to 6, 상기 보강 원통관 삽입 단계에서는 상기 원통형 본체의 중공부에 공간부를 갖도록 상기 보강 원통관을 삽입한 후 상기 보강 원통관과 원통형 본체를 인발 공정으로 밀착시키는 것을 특징으로 하는 이송 장치용 샤프트의 원통체 제조 방법.In the reinforcing cylindrical tube inserting step, the cylindrical body of the shaft for the transfer device is characterized in that the reinforcing cylindrical tube and the cylindrical body is in close contact with the drawing process after inserting the reinforcing cylindrical tube to have a space in the hollow portion of the cylindrical body. Way.
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KR100828970B1 (en) * 2007-09-12 2008-05-13 주식회사 디엠에스 A conveyor shaft with prevention apparatus of deformation
KR101041448B1 (en) * 2005-10-21 2011-06-16 세메스 주식회사 Transfer shaft and method of manufacturing the same

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