KR100828970B1 - A conveyor shaft with prevention apparatus of deformation - Google Patents

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이승원
최기영
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Abstract

A conveyor shaft for preventing deformation is provided to prevent dropping of the center of a conveyor shaft by installing a wire, thereby preventing damage and deformation of a conveyed substrate. A rotating body(10) is formed in a hollow type. Both ends of the rotating body are opened. A wire(20) is inserted into the rotating body as passing through the rotating body, and installed to support the rotating body. A tension controller(50) is installed in the end of the rotating body so as to apply tension to the wire. By rotating a tension control tool, the tension control tool gets loose from a second support(31). A head part(45) of the tension control tool presses an end cap(26). Therefore, the wire is applied with tension by the end cap. A coupling unit is protruded from a cover(60) of which inside is empty and has a cylindrical shape.

Description

처짐 방지용 반송샤프트{A conveyor shaft with prevention apparatus of deformation}A conveyor shaft with prevention apparatus of deformation}

본 발명은 평판 디스플레이(FPD:Flat Panel Display) 제조장치의 기판(GLASS) 반송장치에 구비되는 반송샤프트에 관한 것으로서, 반송되는 기판을 지지하는 회전체에 와이어를 관통 삽입하고 상기 와이어에 장력을 부가할 수 있게 상기 회전체의 양단부에 장력조절부를 각각 구비하여 상기 와이어의 장력에 의해 상기 회전체의 중앙부의 하향 처짐이 방지되게 함으로써, 기판의 변형이나 파손 방지는 물론 기판 제조공정의 불량률을 최소화시키고, 또한 정밀도를 향상시킬 수 있는 처짐 방지용 반송샤프트에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a conveying shaft provided in a GLASS conveying apparatus of a flat panel display (FPD) manufacturing apparatus. The present invention relates to a conveying shaft, through which a wire is inserted into a rotating body supporting a conveyed substrate and added tension to the wire. Tension control portions are provided at both ends of the rotating body to prevent downward deflection of the central portion of the rotating body by the tension of the wire, thereby preventing deformation and damage of the substrate and minimizing the defective rate of the substrate manufacturing process. In addition, the present invention relates to a sag-preventing conveying shaft capable of improving accuracy.

일반적으로 평판 디스플레이(FPD:Flat Panel Display) 장치는 다른 디스플레이장치에 비해 두께가 얇고 경량일 뿐 아니라, 높은 해상도를 구현할 수 있어 주요 디스플레이 장치로 사용되는 것으로서, 액정표시소자(LCD:Liquid Crystal Display) 또는 플라즈마 표시소자(PDP:Plasma Display Panel) 등이 대표적인 평판 디스플레이 장치로서 실용화되어 사용되고 있다.In general, a flat panel display (FPD) device is used as a main display device because it is not only thinner and lighter than other display devices but also has high resolution, and is used as a main display device. Alternatively, plasma display panels (PDPs) and the like have been put into practical use as representative flat panel display devices.

상기와 같은 평판 디스플레이 장치는 기본적으로 평판 GLASS를 기판으로 사 용하게 되며, 기판은 표면에 절연층, 컬러층, 편광층, 등 여러 박막층이 형성되고, 반송장치에 로딩되어 이동되면서 약액도포공정, 세정공정, 건조공정 등 다양한 처리 공정을 통해 제조되게 된다.The flat panel display device as described above basically uses a flat glass GLASS as a substrate, the substrate is formed on the surface of a thin film layer, such as an insulating layer, a color layer, a polarizing layer, and is loaded on the conveying device and moved to the chemical liquid applying process, It is manufactured through various treatment processes such as washing process and drying process.

따라서 기판은 평판디스플레이 장치의 품질에 가장 큰 영향을 미치는 부품 중의 하나이다.Thus, the substrate is one of the components that most influence the quality of the flat panel display device.

이러한 일련의 기판 처리공정은 통상적으로 기판을 이송시키는 기판 반송장치와 연계되어 진행되기 때문에, 기판 반송장치는 기판의 일정한 이송속도 유지나 정밀 위치제어가 가능하도록 작동되는 것이 무엇보다도 중요하다.Since such a series of substrate processing processes typically proceed in connection with a substrate transfer device for transferring a substrate, it is important to operate the substrate transfer device to maintain a constant transfer speed of the substrate or to enable precise position control.

특히 평판 디스플레이 장치의 대형화로 인해 기판 또한 대형화됨으로써, 기판 반송장치의 미세한 결함에 의해서도 기판의 품질이 현저히 나빠지는 문제점이 발생되고 있다.In particular, the substrate is also enlarged due to the increase in size of the flat panel display device, which causes a problem that the quality of the substrate is remarkably deteriorated by minute defects of the substrate transfer device.

따라서 기판을 지지하고 이송시킬 수 있게 기판 반송장치에 설치되는 반송샤프트의 변형은 기판의 품질을 현저히 저하시키게 되는 것이다.Therefore, the deformation of the conveying shaft installed in the substrate conveying apparatus so as to support and convey the substrate significantly reduces the quality of the substrate.

도 1은 종래의 반송샤프트를 도시한 것으로서, 일반적으로 내부가 비어 있는 원형의 회전체(1)와 회전체(1) 양단부에 각각 구비된 결합부(5)를 포함하여 구성된다.1 shows a conventional conveying shaft, and generally includes a circular rotating body 1 and an engaging portion 5 provided at both ends of the rotating body 1, respectively, of which the inside is empty.

이러한 반송샤프트는 도 6에 도시된 바와 같이, 기판 반송장치에 다수개가 배열 설치되며, 회전체(1)에는 다수개의 지지롤러(105)가 결합되고, 양단부의 결합부(5)는 지지프레임(100)에 각각 회전 가능하게 결합되어 회전됨으로써 기판(110)을 일정 방향으로 이송시키게 되는 것이다.As shown in FIG. 6, a plurality of such conveying shafts are arranged in a substrate conveying apparatus, a plurality of supporting rollers 105 are coupled to the rotating body 1, and coupling portions 5 of both ends of the conveying shaft are supported by a supporting frame ( Each of the substrates 110 is rotatably coupled to each other to transfer the substrate 110 in a predetermined direction.

그러나 이러한 반송샤프트는 중앙부가 하측 방향으로 처지게 되는 미세한 변형이 발생되게 된다.However, such a transfer shaft is caused to have a slight deformation in which the center portion sags downward.

따라서 종래에는 이러한 처짐 변형을 방지하기 위해 처짐 방지용 복합소재 등을 반송샤프트 내측에 삽입하여 사용하기도 하였다.Therefore, conventionally, in order to prevent such deflection deformation, a deflection prevention composite material or the like has been inserted into the conveying shaft and used.

그러나 상기와 같은 구조의 종래의 반송샤프트는 다음과 같은 문제점들이 있었다.However, the conventional transport shaft of the above structure has the following problems.

첫째, 기판이 대형화됨에 따라 반송샤프트의 길이도 길어지게 됨으로써, 중앙부에 처짐 변형이 발생되어 기판의 파손이나 변형을 초래할 수 있었다.First, as the size of the substrate increases, the length of the conveying shaft also increases, and thus sagging deformation may occur in the center portion, thereby causing breakage or deformation of the substrate.

둘째, 반송샤프트의 처짐 변형으로 인해 직진성이 저하되어 반송샤프트의 회전시 자체 진동 등에 의해 베어링 등의 관련부품이 손상될 수 있었고, 또한 공정의 정밀도가 현저히 감소되어 기판의 불량률이 증가되는 문제점 있었다.Second, the straightness is lowered due to the deflection deformation of the conveying shaft, and thus, related parts such as bearings may be damaged due to self-vibration during rotation of the conveying shaft, and the precision of the process is significantly reduced, thereby increasing the defect rate of the substrate.

셋째, 반송샤프트의 처짐 방지를 위해 복합소재를 사용하는 경우에는 복합소재가 고가일 뿐 아니라, 반송샤프트의 중량이 증가하게 되는 문제점이 있었다.Third, when the composite material is used to prevent sagging of the conveying shaft, the composite material is expensive and there is a problem in that the weight of the conveying shaft is increased.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 본 발명의 목적은 반송샤프트에 처짐방지를 위한 와이어를 구비하여 반송샤프트의 중앙부의 처짐을 방지함으로써, 이송되는 기판의 파손이나 변형을 방지하기 위한 것이다.The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a wire for preventing sagging on the conveying shaft to prevent sagging at the center of the conveying shaft, thereby preventing breakage or deformation of the substrate being conveyed. It is to.

본 발명의 다른 목적은 반송샤프트의 회전시 처짐에 의한 자체 진동 등을 방지하여 베어링 등의 관련부품의 손상을 방지함으로써 기판 반송장치의 내구성이 증대될 수 있게 하기 위한 것이다.Another object of the present invention is to prevent the vibration of the conveyance shaft, such as self-vibration caused by the rotation of the conveying shaft to prevent damage to related parts such as bearings to increase the durability of the substrate conveying apparatus.

본 발명의 또 다른 목적은 기판의 정속(定速) 이송이 가능하게 하여 공정의 불량률을 최소화 시킬 뿐 아니라, 정밀도를 향상시킬 수 있게 하기 위한 것이다.Still another object of the present invention is to enable constant speed transfer of the substrate to minimize the defect rate of the process and to improve the precision.

본 발명의 또 다른 목적은 반송샤프트의 구조가 간단하여 제조단가를 절감할 수 있게 하고, 기존의 기판 반송장치에 설치된 종래의 반송샤프트의 형상과 동일하여 대체사용이 가능한 처짐 방지용 반송샤프트를 제공하고자 하는 것이다.Another object of the present invention is to simplify the structure of the conveying shaft to reduce the manufacturing cost, and to provide a sag-preventing conveying shaft that can be replaced by the same shape as the conventional conveying shaft installed in the existing substrate conveying apparatus It is.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 내부가 비어 있고 양단이 개방된 회전체와, 상기 회전체에 관통 삽입되어 회전체를 지지할 수 있게 설치되는 와이어 및 상기 와이어에 장력을 부가할 수 있게 상기 회전체의 단부에 설치되는 장력조절부를 포함하여 구성된다.In order to achieve the above object, the present invention provides a rotating body having a hollow inside and open at both ends, a wire inserted through the rotating body to support the rotating body, and a tension to the wire. It is configured to include a tension control unit installed at the end of the whole.

본 발명의 상기 와이어는 상기 회전체를 지지할 수 있게 상기 회전체에 압입되는 다수개의 처짐방지구가 배열 설치될 수 있다.The wire of the present invention may be provided with a plurality of deflection prevention fittings that are pressed into the rotating body to support the rotating body.

또 상기 장력조절부는 상기 회전체의 양단부에 각각 설치될 수 있다.The tension adjusting unit may be installed at both ends of the rotating body.

또한 본 발명의 상기 장력조절부는 상기 회전체의 단부에 결합되며 상기 와이어가 관통 설치되는 지지부와, 상기 와이어의 단부가 결합되되, 상기 지지부에 일단부가 나사결합되는 장력조절구로 구성된다.In addition, the tension adjusting portion of the present invention is coupled to the end of the rotating body and the wire is penetrated through the installation, the end of the wire is coupled, it is composed of a tension adjusting device screwed to one end of the support.

또 본 발명의 상기 지지부는 상기 회전체에 일단부가 압입 결합되는 제1지지대와, 상기 제1지지대의 타단부에 밀착되게 설치하되, 상기 장력조절구가 단부에 나사결합되는 제2지지대로 구성된다.In addition, the support portion of the present invention is installed to be in close contact with the first end of the first support and the other end of the first support and the rotating body, the tension support is composed of a second support screwed to the end .

한편 본 발명의 상기 장력조절구는 용이하게 회전시킬 수 있게 절취면이 형성된 머리부가 단부에 구비될 수 있다.On the other hand, the tension adjusting device of the present invention may be provided at the end of the head portion formed with a cutting surface to be easily rotated.

또 본 발명의 상기 제1지지대에는 상기 제2지지대와 상기 장력조절구를 덮어씌우는 커버가 결합된다.In addition, the first support of the present invention is coupled to the cover to cover the second support and the tension adjusting device.

또 본 발명의 상기 장력조절구는 상기 와이어가 관통되어 용접 결합될 수 있다.In addition, the tension adjusting device of the present invention can be welded through the wire.

또 본 발명의 상기 장력조절구는 상기 와이어가 관통 설치되고, 상기 와이어의 단부에는 와이어가 상기 장력조절구로부터 이탈되지 않고 지지될 수 있게 앤드캡이 결합될 수 있다.In addition, the tension adjusting device of the present invention is installed through the wire, the end of the wire end cap may be coupled so that the wire can be supported without being separated from the tension adjusting device.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명은 첫째, 기판을 지지하는 반송샤프트의 중앙부의 처짐을 방지함으로써, 이송되는 기판의 파손이나 변형을 방지하는 효과가 있다.As described above, the present invention, firstly, by preventing the sag of the central portion of the transport shaft for supporting the substrate, there is an effect of preventing damage or deformation of the substrate to be transferred.

둘째, 반송샤프트의 직진성이 향상되어 회전에 의한 자체 진동이 방지됨으로써, 베어링 등의 관련부품의 손상이 방지되어 기판 반송장치의 내구성이 증대될 수 있는 효과가 있다.Second, since the straightness of the conveying shaft is improved to prevent self-vibration caused by rotation, damage to related parts such as bearings is prevented, thereby increasing durability of the substrate conveying apparatus.

셋째, 기판의 정속 이송이나 정밀한 위치제어가 가능하여 공정의 불량률 감소 및 정밀도를 향상시킬 수 있어 공정효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.Third, it is possible to reduce the defect rate and improve the accuracy of the process by constant speed transfer or precise position control of the substrate, thereby improving the process efficiency.

넷째, 반송샤프트의 제조단가를 절감할 수 있고, 기존의 기판 반송장치에 설치된 종래의 반송샤프트를 대체하여 사용 가능함으로써, 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.Fourth, it is possible to reduce the manufacturing cost of the transport shaft, it is possible to replace the conventional transport shaft installed in the existing substrate transport apparatus, it is possible to reduce the cost.

이하 본 발명에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 처짐 방지용 반송샤프트의 사시도를 나타낸 것이고, 도 3은 도 1의 부분 분해사시도를 나타낸 것이다.2 is a perspective view of the sag-prevention transport shaft of the present invention, Figure 3 is a partial exploded perspective view of FIG.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 처짐 방지용 반송샤프트는 회전체(10)와 와이어(20) 및 장력조절부(50)로 구성된다.As illustrated in FIG. 2, the sag-preventing conveying shaft of the present invention includes a rotating body 10, a wire 20, and a tension adjusting unit 50.

회전체(10)는 내부가 비어 있고 양단이 개방된 일정 길이의 원형 관 형상으로서, 기판(110)(도6에 도시함)을 지지하여 일정방향으로 이송시키는 역할을 하게 된다.The rotating body 10 has a circular tubular shape of a predetermined length having an empty inside and opening at both ends thereof, and serves to support the substrate 110 (shown in FIG. 6) and to transfer it in a predetermined direction.

한편 와이어(20)는 회전체(10)의 중앙부의 처짐을 방지할 수 있게 회전체(10)에 관통 삽입되는 것으로서, 중앙부에는 처짐방지구(25)가 일정 간격으로 이격되게 배열 설치된다.On the other hand, the wire 20 is inserted into the rotating body 10 so as to prevent sagging of the central portion of the rotating body 10, the sagging prevention device 25 is installed in the center spaced apart at regular intervals.

처짐방지구(25)는 중앙부에 관통공이 형성된 일정 두께의 원기둥 형상으로서, 와이어(20)에 끼워져 용접 결합될 수 있으며, 외주면은 회전체(10)의 내주면으로부터 이격되지 않고 최대한 밀착될 수 있도록 형성된다.The sag prevention device 25 is a cylindrical shape having a predetermined thickness having a through hole formed at the center thereof, and may be inserted into and welded to the wire 20, and the outer circumferential surface thereof is formed to be as close as possible without being spaced apart from the inner circumferential surface of the rotating body 10. do.

따라서 처짐방지구(25)는 회전체(10)의 내주면에 대응되는 직경을 형성하며, 와이어(20)에 끼워져 결합된 상태에서 회전체(10)의 내측에 압입된다.Therefore, the sag prevention tool 25 forms a diameter corresponding to the inner circumferential surface of the rotating body 10 and is pressed into the inside of the rotating body 10 in a state of being fitted to the wire 20.

처짐방지구(25)는 원기둥 형상으로 한정되는 것은 아니며, 구(球) 형태로 형성될 수도 있고, 한개 또는 다수개가 구비될 수 있다.The deflection prevention tool 25 is not limited to a cylindrical shape, but may be formed in a sphere shape, and one or more may be provided.

따라서 와이어(20)는 회전체(10)의 중심부에 위치하게 되고, 처짐방지구(25)에 의해 회전체(10)를 지지하게 된다.Accordingly, the wire 20 is positioned at the center of the rotating body 10 and supports the rotating body 10 by the deflection prevention tool 25.

장력조절부(50)는 와이어(20)에 장력을 부가할 수 있게 회전체(10)의 양단부에 각각 설치되는 것으로서, 지지부(30)와 장력조절구(40)로 구성된다.The tension adjusting unit 50 is installed at both ends of the rotating body 10 so as to add tension to the wire 20, and is composed of a support 30 and a tension adjusting device 40.

한편 지지부(30)는 제1지지대(35)와 제2지지대(31)로 구성된다.On the other hand, the support 30 is composed of a first support 35 and a second support (31).

제1지지대(35)는 회전체(10)와 동일한 직경으로 형성하되, 일단부는 회전체(10)에 압입될 수 있게 형성됨으로써 외주면에는 단차가 형성되며, 중앙부에는 와이어(20)가 삽입될 수 있도록 관통공(36)이 형성된다.The first support 35 is formed to the same diameter as the rotating body 10, but one end is formed to be press-fitted to the rotating body 10, the step is formed on the outer peripheral surface, the wire 20 can be inserted in the center The through hole 36 is formed to be.

따라서 제1지지대(35)는 회전체(10)의 양단부에 마개(뚜껑)처럼 끼워지게 된다.Therefore, the first support 35 is fitted to both ends of the rotating body 10 as a cap (cap).

한편 제2지지대(31)는 중앙부에 결합공(32)이 관통 형성된 원통 형상으로서, 결합공(32)의 내주면에는 나사산이 형성된다.On the other hand, the second support 31 has a cylindrical shape in which a coupling hole 32 penetrates through a central portion thereof, and a thread is formed on an inner circumferential surface of the coupling hole 32.

장력조절구(40)는 제2지지대(31)에 나사결합되는 것으로서 외주면에는 나사 산이 형성되고, 단부에는 회전이 용이하도록 머리부(45)가 형성되며, 중앙부에는 와이어(20)가 삽입될 수 있도록 관통공(41)이 형성된다.The tension adjusting device 40 is screwed to the second support 31, the screw thread is formed on the outer circumferential surface, the head 45 is formed at the end to facilitate rotation, the wire 20 can be inserted in the center portion The through hole 41 is formed to be.

머리부(45)는 용이하게 회전시킬 수 있도록 절취면(46)이 형성되는 것이 바람직하다.Head 45 is preferably formed with a cutting surface 46 to be easily rotated.

한편 와이어(20)의 양단부에는 와이어(20)가 장력조절구(40)로부터 이탈되지 않도록 앤드캡(26)이 결합된다.On the other hand, the end cap 26 is coupled to both ends of the wire 20 so that the wire 20 is not separated from the tension adjusting device 40.

앤드캡(26)은 와이어(20)에 용접 결합될 수 있다.The end cap 26 may be welded to the wire 20.

또한 와이어(20)는 앤드캡(26)을 결합시키지 않고, 장력조절구(40)의 관통공(41)에 삽입한 후 장력조절구(40)와 용접하여 결합시킬 수도 있다.In addition, the wire 20 may be inserted into the through hole 41 of the tension adjusting device 40 without coupling the end cap 26, and then welded to the tension adjusting device 40.

한편 제1지지대(35)에는 제2지지대(31)와 장력조절구(40)를 덮어씌울 수 있게 커버(60)가 결합된다.Meanwhile, the cover 60 is coupled to the first support 35 to cover the second support 31 and the tension adjusting device 40.

커버(60)는 기존의 기판 반송장치에 설치된 반송샤프트를 대체하여 결합시킬 수 있도록 도 2에 도시된 종래의 반송샤프트의 양단부와 동일하게 형성하는 것이 바람직하다.The cover 60 is preferably formed in the same manner as both ends of the conventional conveying shaft shown in FIG. 2 so as to replace the conveying shaft installed in the existing substrate conveying apparatus.

커버(60)는 내부가 비어 있고, 일단부는 개방되며 회전체(10)와 동일한 직경을 가진 원통 형상으로 형성된다.The cover 60 is empty inside, and is open at one end thereof and is formed in a cylindrical shape having the same diameter as that of the rotating body 10.

이때 일측 단부에는 몸체보다 직경이 작은 결합부(65)가 돌출 형성된다.At this time, one end portion is formed with a protrusion 65 is smaller than the diameter of the body.

커버(60)는 반송샤프트의 양단부에 각각 결합되어 기판 반송장치의 지지프레임(100)(도6에 도시함)에 회전 가능하게 결합됨으로써 반송샤프트를 지지하게 된다.The cover 60 is respectively coupled to both ends of the transport shaft and rotatably coupled to the support frame 100 (shown in FIG. 6) of the substrate transport apparatus to support the transport shaft.

도 4는 본 발명의 처짐 방지용 반송샤프트의 단면도를 나타낸 것이다.4 is a cross-sectional view of the sag-prevention transport shaft of the present invention.

도시된 바와 같이, 와이어(20)는 처짐방지구(25)와 제1지지대(35) 및 장력조절구(40)를 관통하여 설치되고, 양단부에 앤드캡(26)을 각각 결합시켜 장력조절구(40)에 지지되어 고정되게 된다.As shown, the wire 20 is installed through the deflection prevention device 25, the first support 35 and the tension adjusting device 40, the end caps 26 are coupled to both ends of the tension adjusting device, respectively. It is supported by 40 and fixed.

이때 처짐방지구(25)는 와이어(20)에 용접 결합되어 회전체(10)의 중앙부에 압입된 상태로 설치되게 된다.At this time, the sag prevention device 25 is welded to the wire 20 to be installed in a state pressed into the central portion of the rotating body (10).

또한 제2지지대(31)는 와이어(20)의 장력에 의해 제1지지대(35)에 밀착된 상태를 유지하게 된다.In addition, the second support 31 is maintained in close contact with the first support 35 by the tension of the wire (20).

커버(60)는 장력조절구(40)로 와이어(20)의 장력을 조절한 후 제1지지대(31)에 용접 결합한다.The cover 60 is welded to the first support 31 after adjusting the tension of the wire 20 by the tension adjusting device (40).

이하, 본 발명의 장력조절 과정을 상세히 설명한다.Hereinafter, the tension control process of the present invention will be described in detail.

도 5는 본 발명의 처짐 방지용 반송샤프트의 작동상태를 나타낸 단면도이다.5 is a cross-sectional view showing an operating state of the sag-prevention transport shaft of the present invention.

도시된 바와 같이, 반송샤프트는 기판(110)(도6에 도시함)이 대형화됨에 따라 길이가 길어지게 됨으로써, 점선으로 표시된 것과 같이 중앙부가 하측으로 처지는 현상이 발생된다.As shown, the conveying shaft is lengthened as the substrate 110 (shown in FIG. 6) becomes larger, whereby the center portion sags downward as indicated by the dotted line.

이때 장력조절은 와이어(20)가 제1지지대(35)와 장력조절구(40)에 관통 설치된 상태에서 장력조절구(40)를 화살표와 같이 풀리는 방향으로 회전시킴으로써 이루어진다.At this time, the tension control is made by rotating the tension control device 40 in the unwinding direction as shown in the arrow in the state in which the wire 20 is penetrated through the first support 35 and the tension control device (40).

따라서 회전체(10) 양단에 각각 구비된 장력조절구(40)를 화살표와 같이 회전시키게 되면, 장력조절구(40)는 제2지지대(31)로부터 풀려나오게 되어 장력조절 구(40)의 머리부(45)는 앤드캡(26)을 가압하게 되고, 와이어(20)는 앤드캡(26)에 의해 화살표와 같이 서로 대칭되게 외측 방향으로 힘을 받게 됨으로써, 장력이 부가되게 되는 것이다.Therefore, when the tension adjusting device 40 provided at each end of the rotating body 10 is rotated as shown by the arrow, the tension adjusting device 40 is released from the second support 31 to the head of the tension adjusting device 40. The portion 45 presses the end cap 26, and the wire 20 is forced by the end cap 26 in an outward direction symmetrically with each other like an arrow, thereby adding tension.

이때 와이어(20)는 팽팽하게 긴장된 상태를 유지하게 되며, 처짐방지구(25)는 회전체(10)를 지지하게 됨으로써, 회전체(10)의 자체 중량에 의한 중앙부의 하향 처짐을 방지할 수 있게 되는 것이다.At this time, the wire 20 is maintained in a tense state, the sag prevention device 25 is to support the rotating body 10, it can prevent the downward sag due to the weight of the rotating body 10 itself. Will be.

한편 와이어(20)는 장력조절구(40)와 앤드캡(26)의 마찰로 인해 축방향으로 비틀림 변형을 받게 되나, 이는 제1지지대(35)와 제2지지대(31)의 밀착부 및 앤드캡(26)과 장력조절구(40)의 머리부(45)의 밀착부에서 발생되는 슬립에 의해 원상태로 복귀될 수 있다.Meanwhile, the wire 20 is subject to torsional deformation in the axial direction due to the friction between the tension adjusting device 40 and the end cap 26, which is in close contact with the first support 35 and the second support 31. It may be returned to the original state by the slip generated in the close contact of the head 26 of the cap 26 and the tension adjusting device 40.

커버(60)는 상기와 같이 장력을 조절 한 후, 제1지지대(35)에 결합시키면 된다.The cover 60 may be coupled to the first support 35 after adjusting the tension as described above.

도 6은 본 발명의 처짐 방지용 반송샤프트가 기판 반송장치에 설치된 것을 나타낸 개략적인 사시도로서, 도시된 바와 같이, 본 발명의 처짐 방지용 반송샤프트는 일정 간격으로 지지프레임(100)에 양단부가 회전 가능하게 결합되어 배열 설치되게 되며, 이때 회전체(10)의 외주면에는 기판(110)을 지지하여 일정방향으로 이송시킬 수 있게 다수의 지지롤러(105)가 이격되게 설치된다.6 is a schematic perspective view showing that the sag-prevention conveying shaft of the present invention is installed in the substrate conveying apparatus. As shown, the sag-preventing conveying shaft of the present invention is rotatable at both ends of the support frame 100 at regular intervals. A plurality of supporting rollers 105 are spaced apart from each other so as to be coupled and arranged, and the outer circumferential surface of the rotating body 10 is supported to transport the substrate 110 in a predetermined direction.

이때 반송샤프트는 일단부가 체인(도시하지 않음)이나 벨트(도시하지 않음) 등으로 구동모터(120)와 연결되어 회전됨으로써, 기판(110)을 이송시키게 된다.At this time, the transport shaft is rotated by being connected to the driving motor 120 by a chain (not shown) or a belt (not shown), thereby transferring the substrate 110.

따라서 본 발명의 처짐 방지용 반송샤프트는 와이어(20)에 의해 처짐이 방지 됨으로써, 기판(110)의 변형이나 파손을 방지할 수 있고, 또한 직진성이 향상되어 회전시 처짐에 의한 진동 등이 발생되지 않아 베어링 등의 관련 부품의 내구성이 증대될 수 있을 뿐 아니라, 기판(110)의 정속 이송과 정밀한 위치제어가 가능하여 공정의 불량률을 최소화시킬 수 있게 되는 것이다.Therefore, the sag-preventing conveying shaft of the present invention is prevented from being deflected by the wire 20, thereby preventing deformation or breakage of the substrate 110, and further improving the straightness so that vibration due to sag during rotation does not occur. Not only the durability of related parts such as bearings can be increased, but also the constant speed transfer of the substrate 110 and precise position control are possible, thereby minimizing the defect rate of the process.

이상, 상기의 실시 예는 단지 설명의 편의를 위해 예시로서 설명한 것에 불과하므로 특허청구범위를 한정하는 것은 아니다.As described above, the above embodiments are merely described as examples for convenience of description and are not intended to limit the scope of the claims.

도 1은 종래의 반송샤프트의 사시도,1 is a perspective view of a conventional transport shaft,

도 2는 본 발명의 처짐 방지용 반송샤프트의 사시도,2 is a perspective view of the sag-prevention transport shaft of the present invention,

도 3은 도 2의 부분 분해사시도,3 is a partially exploded perspective view of FIG.

도 4는 본 발명의 처짐 방지용 반송샤프트의 단면도,4 is a cross-sectional view of the sag-prevention transport shaft of the present invention,

도 5는 본 발명의 처짐 방지용 반송샤프트의 작동상태를 나타낸 단면도,5 is a cross-sectional view showing an operating state of the sag-prevention transport shaft of the present invention,

도 6은 본 발명의 처짐 방지용 반송샤프트가 기판 반송장치에 설치된 상태를 나타낸 개략 사시도이다.6 is a schematic perspective view showing a state where the deflection prevention shaft of the present invention is installed in a substrate transfer apparatus.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

1,10 : 회전체 5,65 : 결합부1,10: rotating body 5,65: coupling part

20 : 와이어 25 : 처짐방지구20: wire 25: sag protection

26 : 앤드캡 30 : 지지부26: end cap 30: support portion

31 : 제2지지대 32 : 결합공31: second support 32: coupling hole

35 : 제1지지대 36,41 : 관통공35: first support 36,41: through hole

40: 장력조절구 45 : 머리부40: tension control 45: head

46 : 절취면 50 : 장력조절부46: cutting surface 50: tension control unit

60 : 커버 60: cover

Claims (9)

내부가 비어 있고 양단이 개방된 회전체;A rotating body which is empty inside and which is open at both ends; 상기 회전체에 관통 삽입되어 회전체를 지지할 수 있게 설치되는 와이어; 및A wire inserted into the rotating body and installed to support the rotating body; And 상기 와이어에 장력을 부가할 수 있게 상기 회전체의 단부에 설치되는 장력조절부;A tension adjusting unit installed at an end of the rotating body to add tension to the wire; 를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 처짐 방지용 반송샤프트.Sagging prevention conveying shaft, characterized in that configured to include. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 와이어는 상기 회전체를 지지할 수 있게 상기 회전체에 압입되는 다수개의 처짐방지구가 배열 설치된 것을 특징으로 하는 처짐 방지용 반송샤프트.The wire is a deflection prevention shaft, characterized in that a plurality of anti-sag is inserted in the rotating body is arranged to support the rotating body. 제 2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 장력조절부는 상기 회전체의 양단부에 각각 설치되는 것을 특징으로 하는 처짐 방지용 반송샤프트.The tension control unit is a sag prevention conveying shaft, characterized in that each installed on both ends of the rotating body. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 장력조절부는,The tension control unit, 상기 회전체의 단부에 결합되며 상기 와이어가 관통 설치되는 지지부와; 상기 와이어의 단부가 결합되되, 상기 지지부에 일단부가 나사결합되는 장력조절구; 로 구성된 것을 특징으로 하는 처짐 방지용 반송샤프트.A support part coupled to an end of the rotating body and through which the wire is installed; An end of the wire is coupled, and a tension adjusting device having one end screwed to the support portion; Sagging prevention conveying shaft, characterized in that consisting of. 제 4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 지지부는 상기 회전체에 일단부가 압입 결합되는 제1지지대와; 상기 제1지지대의 타단부에 밀착되게 설치하되, 상기 장력조절구가 단부에 나사결합되는 제2지지대; 로 구성된 것을 특징으로 하는 처짐 방지용 반송샤프트.The support portion and the first support portion is press-fitted to the rotating body; A second support installed in close contact with the other end of the first support, the tension adjusting tool being screwed to the end; Sagging prevention conveying shaft, characterized in that consisting of. 제 5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 장력조절구는 용이하게 회전시킬 수 있게 절취면이 형성된 머리부가 단부에 구비된 것을 특징으로 하는 처짐 방지용 반송샤프트.The tension adjusting device is a sag-prevention conveying shaft, characterized in that the head portion is formed at the end of the cutting surface is formed to be easily rotated. 제 6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 제1지지대에는 상기 제2지지대와 상기 장력조절구를 덮어씌우는 커버가 결합되는 것을 특징으로 하는 처짐 방지용 반송샤프트.The first support has a sag-preventing conveying shaft, characterized in that the cover for covering the second support and the tension adjusting device is coupled. 제 7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 장력조절구는 상기 와이어가 관통되어 용접 결합되는 것을 특징으로 하는 처짐 방지용 반송샤프트.The tension control port is sag-preventing conveying shaft, characterized in that the wire is penetrated by welding. 제 7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 장력조절구는 상기 와이어가 관통 설치되고, 상기 와이어의 단부에는 와이어가 상기 장력조절구로부터 이탈되지 않고 지지될 수 있게 앤드캡이 결합된 것을 특징으로 하는 처짐 방지용 반송샤프트.The tension adjusting device is a sag prevention conveying shaft, characterized in that the end cap is coupled to the wire, and the end cap of the wire is coupled so that the wire can be supported without being separated from the tension adjusting device.
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