KR200411891Y1 - Shaft For Transfer Apparatus - Google Patents

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KR200411891Y1
KR200411891Y1 KR2020050035360U KR20050035360U KR200411891Y1 KR 200411891 Y1 KR200411891 Y1 KR 200411891Y1 KR 2020050035360 U KR2020050035360 U KR 2020050035360U KR 20050035360 U KR20050035360 U KR 20050035360U KR 200411891 Y1 KR200411891 Y1 KR 200411891Y1
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장재석
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장재석
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Abstract

본 고안은 기판을 이송하는 장치에 포함되는 기판 이송용 샤프트나 기판 세정용 샤프트가 자체 하중에 의해 처지거나 이송물의 이송시 흔들리는 것을 방지하도록 하는 이송 장치용 샤프트에 관한 것이다. The present invention relates to a shaft for a transfer apparatus which prevents the substrate transfer shaft or the substrate cleaning shaft included in the apparatus for transferring the substrate from sagging by its own load or shaking during the transfer of the workpiece.

본 고안의 이송 장치용 샤프트는 기판을 이송하는 장치에 포함되는 기판 이송용 샤프트나 기판 세정용 샤프트의 원통체와 이 원통체의 양끝단에 결합되는 회전축을 포함하는 이송 장치용 샤프트에 있어서, 상기 원통체는; 내부 중공부가 형성된 원통형 본체와, 상기 원통형 본체의 중공부에 삽입되어 상기 원통형 본체의 자체 하중에 의한 처짐을 방지하도록 그 내경 및 외경에 엠보싱 형상의 굴곡부들이 형성된 보강 원통관으로 구성된다.The shaft for a conveying apparatus of the present invention is a shaft for a conveying apparatus including a cylindrical body of a substrate conveying shaft or a substrate cleaning shaft included in an apparatus for conveying a substrate and a rotating shaft coupled to both ends of the cylindrical body. Cylindrical body; A cylindrical body having an inner hollow portion and a reinforcing cylindrical tube inserted into a hollow portion of the cylindrical body and having embossed bent portions formed at its inner and outer diameters to prevent sagging due to its own load.

샤프트, 자체 하중, 엠보싱 Shaft, self loading, embossing

Description

이송 장치용 샤프트{Shaft For Transfer Apparatus} Shaft For Transfer Apparatus}

도 1은 본 고안의 실시예에 따른 원통체를 포함하는 이송용 장치용 샤프트를 도시한 사시도.1 is a perspective view showing a shaft for a conveying device including a cylindrical body according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1의 A-A 방향 단면도.2 is a cross-sectional view along the direction A-A of FIG.

도 3은 도 1의 B-B 방향 단면도.3 is a cross-sectional view taken along the line B-B in FIG.

도 4는 종래 기술에 따른 이송 장치용 샤프트가 구비된 이송 장치를 도시한 사시도.Figure 4 is a perspective view of the conveying device with a shaft for a conveying device according to the prior art.

도 5는 대한민국 특허 출원 제2005-46401호에 개시된 원통체를 포함하는 이송용 장치용 샤프트를 도시한 사시도.5 is a perspective view showing a shaft for a conveying device including a cylindrical body disclosed in Korean Patent Application No. 2005-46401.

도 6은 도 5의 C-C 방향 단면도.6 is a cross-sectional view taken along the line C-C in FIG.

도 7은 도 5의 D-D 방향 단면도.FIG. 7 is a cross-sectional view taken along the D-D direction of FIG. 5. FIG.

<도면의 주요 부분에 대한 부호 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

1 : 원통체1: cylindrical body

11 : 원통형 본체, 111 : 중공부    11: cylindrical body, 111: hollow part

12 : 보강 원통관, 121 : 굴곡부, 122 : 탭부    12: reinforcing cylinder tube, 121: bent portion, 122: tab portion

2 : 회전축2: axis of rotation

21 : 돌출부, 211 : 나선부    21: protrusion part, 211: spiral part

본 고안은 기판을 이송하는 장치에 포함되는 기판 이송용 샤프트나 기판 세정용 샤프트에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 이송 장치용 샤프트가 자체 하중에 의해 처지거나 이송물의 이송시 흔들리는 것을 방지하도록 하는 이송 장치용 샤프트에 관한 것이다. The present invention relates to a substrate transport shaft or a substrate cleaning shaft included in a device for transporting a substrate, and more particularly, a transport device for preventing the transport device shaft from sagging by its own load or shaking during transport of a transport object. For a shaft.

일반적으로 LCD, PDP 기판 등을 이송하기 위한 이송장치(Conveyor)라 함은, 반도체 공정에서 기판을 여러 공정 라인으로 이동시킬 경우 또는 기판의 세정시 기판을 이동시키는데 사용되는 것이다. In general, a conveyor for transferring an LCD, a PDP substrate, or the like is used to move a substrate when the substrate is moved to various process lines in a semiconductor process or when the substrate is cleaned.

이에 통상적으로 알려진 이송장치는, 도 4에 도시된 바와 같이 양측 골조(101)를 포함하는 프레임(100)과 상기 양측 골조(101) 사이에 구동수단(200)을 통해 회전되게 구비된 다수의 이송용 샤프트(300)를 포함한다. Commonly known conveying apparatus, as shown in Figure 4, a plurality of conveyance is provided to be rotated through the drive means 200 between the frame 100 including the two-sided frame 101 and the two-sided frame 101 For the shaft 300.

아울러, 프레임의 후방부에는 상,하 한쌍을 이루는 세정용 샤프트(306)가 구비된다.In addition, the rear portion of the frame is provided with a washing shaft 306 forming a pair of upper and lower.

그리고, 상기 이송용 샤프트(300) 및 세정용 샤프트(306)는 횡방향으로 회전이 가능하게 구비되는 것으로, 상기 회전이 가능하도록 양측 골조(101)에 삽입되는 양 회전축(301)과 이 양 회전축(301)을 상호 연결하는 원통체(302)를 포함한다. In addition, the transfer shaft 300 and the cleaning shaft 306 are provided to be rotatable in the lateral direction, and both rotation shafts 301 and the two rotation shafts inserted into the both sides of the frame 101 to enable the rotation. Cylindrical body 302 interconnecting 301.

한편, 상기 이송용 샤프트(300)의 외측에는 간격을 두고 다수의 가이드 롤러(303)가 구비됨에 따라 기판을 이송시킬 수 있으며, 상기 세정용 샤프트(306)는 원 통체(302)의 외측에 다수의 브러쉬(307)를 구비하여 기판을 세정할 수 있다. On the other hand, a plurality of guide rollers 303 are provided at intervals on the outer side of the transfer shaft 300, the substrate can be transferred, the cleaning shaft 306 is a plurality of the outer side of the cylindrical body 302 The brush 307 may be provided to clean the substrate.

따라서, 상기 이송용이나 세정용 샤프트(300,306)는 이송물의 크기나 사용 목적에 따라 이송물의 이송이 요구되는 범위 내에서 설정되는 일정한 길이를 갖도록 구성되며, 상기 원통체(302)는 중공부를 포함하는 관의 형상으로 이루어짐으로써, 상기 양 회전축(301)이 억지 끼워 맞춤 삽입을 통해 고정된다.Therefore, the conveying or cleaning shafts 300 and 306 are configured to have a predetermined length set within a range in which the conveying material is required according to the size of the conveying object or the purpose of use, and the cylindrical body 302 includes a hollow part. By being made in the shape of a tube, both of the rotary shafts 301 are fixed through interference fit insertion.

또한, 상기 양 회전축(301) 중 하나에는 구동수단의 구동력을 밸트, 체인 등을 통해 인가 받는 풀리, 스프로킷, 기어 등의 기계요소가 구비된다. In addition, one of the rotary shaft 301 is provided with a mechanical element such as a pulley, a sprocket, a gear that receives the driving force of the driving means through a belt, a chain or the like.

그런데, 상기와 같이 구성된 이송용이나 세정용 사프트가 포함되는 이송장치를 사용할 경우에는, 기판이 올려지는 상기 원통체(302)가 내부에 중공부를 포함하는 관의 형상을 가짐에 따라 원통형 본체의 중간이 자체 하중에 의해 처지거나 흔들리게 된다. By the way, in the case of using a conveying apparatus including the conveying or cleaning shaft configured as described above, the cylindrical body 302 on which the substrate is mounted has a shape of a tube including a hollow part in the middle of the cylindrical body. It is sag or shaken by its own load.

그래서, 상기와 같은 문제점을 해소하기 위한 이송 샤프트용 원통체가 본 출원인에 의해 기 출원된 대한민국 특허 출원 제2005-46401호에 "이송 샤프트용 원통체 및 그의 제조 방법"이라는 제목으로 개시된바 있다.Thus, a cylinder for a transfer shaft for solving the above problems has been disclosed in the Korean Patent Application No. 2005-46401, previously filed by the present applicant under the heading "Cylinder for a transfer shaft and its manufacturing method".

도 5는 대한민국 특허 출원 제2005-46401호에 개시된 원통체를 포함하는 이송용 장치용 샤프트를 도시한 사시도이고, 도 6은 도 5의 C-C 방향 단면도이며 도 7은 도 5의 D-D 방향 단면도로, 이송 장치용 샤프트는 중공부(30)를 포함하는 외부 원통관(20)과 상기 중공부(30)에 삽입되어 원통체(10)의 자체 하중에 의한 처짐을 방지하도록 그 내부에 다수의 리브(40)가 형성된 리브부(50)를 포함하는 보강 원통관(60)을 구비한다. 그리고 상기 원통체(10)의 양측에는 회전축(70)이 더 구비되어 있다. FIG. 5 is a perspective view illustrating a shaft for a conveying apparatus including a cylindrical body disclosed in Korean Patent Application No. 2005-46401, FIG. 6 is a sectional view in CC direction of FIG. 5, and FIG. 7 is a sectional view in DD direction of FIG. 5. The shaft for the conveying device is inserted into the outer cylindrical tube 20 including the hollow portion 30 and the hollow portion 30 and a plurality of ribs therein to prevent sagging due to its own load on the cylindrical body 10. 40 is provided with a reinforcement cylindrical tube 60 including a rib portion 50 formed thereon. And both sides of the cylindrical body 10 is further provided with a rotating shaft (70).

이와 같이 구성된 이송 샤프트는 압출 성형에 의해 형성된 보강 원통관(60)을 외부 원통관(20)에 삽입하여 보강 원통관(60) 상기 외부 원통관(20)의 내경에 고정되도록 하여 원통체(10)를 형성한다. The conveying shaft configured as described above inserts the reinforcing cylindrical tube 60 formed by extrusion molding into the outer cylindrical tube 20 so that the reinforcing cylindrical tube 60 is fixed to the inner diameter of the outer cylindrical tube 20. ).

그런 다음, 상기 원통체(10)의 양측 끝단을 회전력에 의해 회전 가능하도록 상기 프레임과 결합되는 회전축(70)을 용접을 통해 상호 연결한다. Then, the both ends of the cylindrical body 10 are connected to each other by welding the rotary shaft 70 is coupled to the frame so as to be rotatable by the rotational force.

그런데, 상기 원통체(10)는 외부 원통관(20)과 내경에 다수의 리브가 형성된 보강 원통관(60)의 이중관으로 이루어지기 때문에 보강 원통관(60)의 다수의 리브(40)에 의해 각각의 지점에서의 측벽이 지지되기는 하지만, 리브에 의하여 하중을 많이 받게되고, 이송물의 이송시 반복 하중을 받기 때문에 이송 장치를 장시간 사용하는 경우 하부로 처지거나 흔들리게 되는 문제점이 발생한다.By the way, since the cylindrical body 10 is made of a double tube of the outer cylindrical tube 20 and the reinforcing cylindrical tube 60 with a plurality of ribs formed in the inner diameter, respectively by a plurality of ribs 40 of the reinforcing cylindrical tube 60. Although the side wall at the point of is supported, since the load is heavily loaded by the ribs and receives a repeated load during the transfer of the conveyed material, there is a problem of sagging or shaking downward when using the conveying device for a long time.

상기와 같이, 이송용이나 세정용 샤프트의 원통체가 자체 하중에 의해 처지거나 이송물의 하중에 의해 흔들림에 따라, LCD 기판이 이송되는 과정에서 정상적인 롤링이 이루어지지 않아 이송물의 이송 및 세정이 원활하게 이루어지지 않는바, 작업성 및 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.As described above, as the cylindrical body of the conveying or cleaning shaft sags by its own load or shakes by the load of the conveying material, normal rolling is not performed in the process of transferring the LCD substrate, so that the conveying and cleaning of the conveyed material is smoothly performed. There was a problem that the workability and productivity is reduced.

또한, 이송용 샤프트의 원통체가 처지거나 흔들림에 따라 LCD 기판이 손상되는 문제점이 발생하였다. In addition, there is a problem that the LCD substrate is damaged as the cylindrical body of the transfer shaft sag or shake.

뿐만 아니라, 상기 원통체를 회전축에 결합하는 방식이 용접을 통해 이루어지기 때문에 기밀성이 저하되어 회전축과 이송용 샤프트의 원통체가 상호 분리 될 수 있어, 이에 따른 기판의 손상이 발생할 수 있는 문제점이 있다.In addition, since the method of coupling the cylindrical body to the rotating shaft is made by welding, airtightness may be reduced, and the cylindrical body of the rotating shaft and the transfer shaft may be separated from each other, thereby causing a problem of damage to the substrate.

상기 종래 기술에 따른 문제점을 해결하기 위한 본 고안의 목적은 기판을 이송하는 장치에 포함되는 기판 이송용 샤프트나 기판 세정용 샤프트의 원통형 본체 중공부에 내경 또는 외경에 엠보싱 형상의 굴곡부가 형성된 보강 원통관을 삽입 고정하여 원통체에 자체 하중 및 이송물에 의한 하중이 가해지더라도, 굴곡부의 굴곡면을 통해 하중이 분산되도록 하여 의해 상기 보강 원통관이 항시 본래의 형태를 유지되도록 하여 상기 원통체가 처지거나 흔들리지 않도록 하기위한 이송 장치용 샤프트를 제공함에 있다.An object of the present invention for solving the problems according to the prior art is the reinforcement circle formed with a bent portion of the inner or outer diameter in the hollow portion of the cylindrical body of the substrate transfer shaft or substrate cleaning shaft included in the apparatus for transferring the substrate The cylindrical body is sag because the reinforcing cylindrical tube is always kept in its original shape by inserting and fixing the tubular body so that the load is distributed to the cylindrical body by its own load and conveyed material. It is to provide a shaft for the conveying device to avoid shaking.

또한, 본 고안은 원통체와 회전축을 탭부와 나선부를 형성하여 상호 체결하고 용접을 함으로써 기밀성이 확보되는 이송 장치용 샤프트를 제공하기 위한 것이다.In addition, the present invention is to provide a shaft for a conveying device that is secured by sealing the cylindrical body and the rotating shaft by mutually fastening and welding the tab portion and the spiral portion.

상기 기술적 과제를 해결하기 위한 본 고안의 이송 장치용 샤프트는 기판을 이송하는 장치에 포함되는 기판 이송용 샤프트나 기판 세정용 샤프트의 원통체와 이 원통체의 양끝단에 결합되는 회전축을 포함하는 이송 장치용 샤프트에 있어서, 상기 원통체는; 내부 중공부가 형성된 원통형 본체와, 상기 원통형 본체의 중공부에 삽입되어 상기 원통형 본체의 자체 하중에 의한 처짐을 방지하도록 그 외경에 엠보싱 형상의 굴곡부들이 형성된 보강 원통관으로 구성된다.The transfer device shaft of the present invention for solving the above technical problem is a transfer including a cylindrical body of the substrate transfer shaft or substrate cleaning shaft included in the device for transferring the substrate and a rotating shaft coupled to both ends of the cylindrical body; A shaft for an apparatus, said cylinder body; A cylindrical body having an inner hollow portion and a reinforcing cylindrical tube inserted into a hollow portion of the cylindrical body to form deflections having embossed shapes at its outer diameter to prevent sagging due to its own load.

상기 본 고안의 실시예에 있어서, 상기 보강 원통관은 그 내경에 엠보싱 형상의 굴곡부들이 더 형성된다.In the embodiment of the present invention, the reinforcing cylindrical tube is further formed in the inner diameter bent portion of the embossed shape.

또한, 상기 보강 원통관은 양 끝단에 형성된 탭부를 포함하고, 상기 회전축은 일측 돌출부에 형성된 나선부를 포함하고, 상기 원통체와 상기 회전축은 상기 탭부와 나선부의 체결을 통해 일체되며, 상기 원통체와 탭부의 체결부는 용접된다.In addition, the reinforcing cylindrical tube includes a tab portion formed at both ends, the rotating shaft includes a spiral portion formed on one side protruding portion, the cylindrical body and the rotating shaft is integrated through the fastening of the tab portion and the spiral portion, the cylindrical body and The fastening portion of the tab portion is welded.

본 고안은 첨부된 도면을 참조하여 후술하는 바람직한 실시예를 통하여 더욱 명백해질 것이다. 이하에서는 본 고안의 실시예를 통해 당업자가 용이하게 이해하고 재현할 수 있도록 상세히 설명하도록 한다. The present invention will become more apparent through the following preferred embodiments with reference to the accompanying drawings. Hereinafter will be described in detail to enable those skilled in the art to easily understand and reproduce through the embodiments of the present invention.

도 1은 본 고안의 실시예에 따른 원통체를 포함하는 이송용 장치용 샤프트를 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1의 A-A 방향 단면도이며 도 3은 도 1의 B-B 방향 단면도로, 본 고안의 이송 장치용 샤프트는 원통체(1)와 이 원통체(1)의 양측에 체결된 회전축(2)으로 구성된다. 1 is a perspective view showing a shaft for a conveying apparatus including a cylindrical body according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a cross-sectional view of the AA direction of Figure 1 and Figure 3 is a cross-sectional view of the BB direction of Figure 1, The shaft for a conveying apparatus is comprised from the cylindrical body 1 and the rotating shaft 2 fastened to the both sides of this cylindrical body 1.

상기 원통체(1)는 내부 중공부(111)가 형성된 원통형 본체(11)와, 상기 원통형 본체(11)의 중공부(111)에 삽입되어 상기 원통형 본체(11)의 자체 하중에 의한 처짐을 방지하도록 외경에 엠보싱 형상의 굴곡부(121)들이 형성된 보강 원통관(12)으로 구성되며, 상기 보강 원통관(12)은 양 끝단에는 탭부(122)가 형성되어 있다.The cylindrical body 1 is inserted into the cylindrical body 11 having the internal hollow part 111 and the hollow part 111 of the cylindrical body 11 to sag due to its own load of the cylindrical body 11. It is composed of a reinforcement cylindrical tube 12 having embossed curved portions 121 formed in the outer diameter to prevent the reinforcement cylindrical tube 12 has tabs 122 formed at both ends thereof.

부가적인 구성으로, 상기 보강 원통관(12)은 그 내경에 엠보싱 형상의 굴곡부(121)들이 더 형성될 수 있다. In an additional configuration, the reinforcing cylindrical tube 12 may be further formed in the inner diameter of the bent portion 121 of the embossed shape.

상기 보강 원통관(12)은 외경과 내경에 엠보싱 형상의 굴곡부가 형성되어 있기 때문에 자체 하중 및 이송물에 의한 하중이 가해지더라도 굴곡부의 굴곡면의 각 방향으로 하중이 분산됨으로써 강력한 복원력을 갖게 된다. 이에 따라, 휘어짐 없이 상기 원통형 본체(11)를 지지함으로써 원통체(1)의 처짐이나 흔들림을 방지한 다. Since the reinforcement cylindrical tube 12 has an embossed curved portion formed in the outer diameter and the inner diameter, the load is distributed in each direction of the curved surface of the curved portion even when the load by the self load and the conveying material is applied, thereby having a strong restoring force. Accordingly, the cylindrical body 11 is supported without bending, thereby preventing sagging or shaking of the cylindrical body 1.

또한, 상기 회전축(2)에는 일측 돌출부(21)의 외주면을 따라 나선부(211)가 형성되어 있으며, 이에 따라 상기 원통체(1)와 상기 회전축(2)은 상기 탭부(122)와 나선부(211)의 체결을 통해 일체화된다.In addition, the spiral shaft 211 is formed on the rotary shaft 2 along the outer circumferential surface of the one side protrusion 21, and thus the cylindrical body 1 and the rotary shaft 2 are the tab portion 122 and the spiral portion. It is integrated through the fastening of the 211.

이와 더불어, 상기 원통체(1)와 탭부(122)의 체결 부분은 용접됨으로써 그 내부의 체결이 더욱 견고해 진다. In addition, the fastening portions of the cylindrical body 1 and the tab portion 122 are welded to further tighten the inside thereof.

상기 원통형 본체(11)는 스테인레스스틸(SUS) 또는 폴리염화비닐(PVC)로 이루어질 수 있고, 상기 보강 원통관(은 알루미늄, 플라스틱 또는 탄소섬유강화플라스틱(CFRP : Carbon Fiber Reinforced Plastic)으로 형성하는 것이 바람직하나, 이에 한정하는 것을 아니며 다양한 재료로 형성할 수 있다. The cylindrical body 11 may be made of stainless steel (SUS) or polyvinyl chloride (PVC), and the reinforcing cylindrical tube (silver aluminum, plastic, or carbon fiber reinforced plastic (CFRP) is to be formed of Preferred but not limited thereto may be formed of various materials.

상기 원통체(1)가 포함된 이송 장치용 샤프트는 아래의 방법에 의해 제조 할 수 있다. The shaft for the conveying apparatus including the cylindrical body 1 can be manufactured by the following method.

우선, 스테인레스스틸(SUS) 또는 폴리염화비닐(PVC)로 이루어지고 내부에 중공부(111)를 갖는 원통형 본체(11)를 제작한다.First, a cylindrical body 11 made of stainless steel (SUS) or polyvinyl chloride (PVC) and having a hollow portion 111 is manufactured.

그리고, 압출 성형을 통해 상기 알루미늄, 플라스틱 또는 탄소섬유강화플라스틱(CFRP : Carbon Fiber Reinforced Plastic)으로 이루어지며 양 끝단에 탭부(122)을 갖는 보강 원통관(12)을 제작한다. 상기 보강 원통관(12)은 원통형 본체(11)의 중공부(111)에 삽입되어 상기 원통형 본체(11)의 자체 하중에 의한 처짐을 방지하도록 내경 및 외경에 엠보싱 형상의 굴곡부가 형성되도록 제작한다. Then, the extrusion, forming a reinforcement cylindrical tube 12 made of aluminum, plastic or carbon fiber reinforced plastic (CFRP: Carbon Fiber Reinforced Plastic) having tabs 122 at both ends. The reinforcement cylindrical tube 12 is inserted into the hollow portion 111 of the cylindrical body 11 to be manufactured to form an embossed curved portion in the inner and outer diameter to prevent sagging due to its own load of the cylindrical body (11). .

또, 일측에 돌출부(21)를 갖고 돌출부(21)의 외경에 나선부가 형성된 회전축 (2)을 제작한다.Moreover, the rotating shaft 2 which has the protrusion part 21 in one side and the spiral part was formed in the outer diameter of the protrusion part 21 is produced.

그런 다음, 상기 원통형 본체(11)와 상기 보강 원통관(12)이 상호 미끄러지지 않도록 상기 원통형 본체의 중공부(111)에 상기 보강 원통관(12)을 삽입하여 상기 보강 원통관(12)을 상기 원통형 본체(11)의 내경에 고정시킨다. Then, the reinforcing cylindrical tube 12 is inserted into the reinforcing cylindrical tube 12 by inserting the reinforcing cylindrical tube 12 into the hollow portion 111 of the cylindrical body 11 so that the cylindrical body 11 and the reinforcing cylindrical tube 12 do not slip together. The inner diameter of the cylindrical body 11 is fixed.

상기 보강 원통관(12) 삽입 단계에서는 상기 보강 원통관(12)을 상기 원통형 본체(11)의 중공부(111)에 억지 끼워 맞춤으로 삽입 고정할 수 있다.In the reinforcing cylindrical tube 12 inserting step, the reinforcing cylindrical tube 12 may be inserted into and fixed to the hollow portion 111 of the cylindrical body 11 by interference fit.

또는, 상기 보강 원통관(12) 삽입 단계에서는 상기 원통형 본체(11)의 중공부에 공간부를 갖도록 상기 보강 원통관(12)을 삽입한 후 상기 보강 원통관(12)과 원통형 본체(11)를 인발 공정으로 일체화시켜 상호 미끄러지지 않도록 한다. Alternatively, in the reinforcing cylindrical tube 12 inserting step, the reinforcing cylindrical tube 12 and the cylindrical body 11 are inserted after the reinforcing cylindrical tube 12 is inserted to have a space in the hollow portion of the cylindrical body 11. Integrate with the drawing process to prevent slipping.

더욱 상세하게는, 상기 보강 원통관(12)을 상기 원통형 본체(11)의 중공부에 헐겁게 삽입한 후 보강 원통관(12)이 삽입된 원통형 본체(11)를 당김에 의해 인발 장치의 금형을 통과하도록 한다. 이에 따라, 상기 원통형 본체(11)의 직경이 단면 수축에 의해 감소하고, 결국 상기 원통형 본체(11)의 내경이 상기 보강 원통관(12)의 외경의 굴곡면에 밀착되어 상호 고정된다. More specifically, the mold of the drawing device is removed by loosely inserting the reinforcing cylindrical tube 12 into the hollow portion of the cylindrical body 11 and pulling the cylindrical main body 11 into which the reinforcing cylindrical tube 12 is inserted. Pass it through. Accordingly, the diameter of the cylindrical body 11 is reduced by the cross-sectional shrinkage, and eventually the inner diameter of the cylindrical body 11 is in close contact with the curved surface of the outer diameter of the reinforcing cylindrical tube 12 is fixed to each other.

이후, 상기 원통체(1)가 프레임에 결합되어 모터 구동에 의한 회전력에 의해 회전 가능하도록 상기 프레임과 결합되는 회전축(2)에 형성된 나선부와 상기 원통체(1)의 양측 끝단에 형성된 탭부를 체결하여 고정시킨 후 아르곤 용접을 한다.Thereafter, the cylindrical body 1 is coupled to the frame and the spiral portion formed on the rotating shaft 2 is coupled to the frame so as to be rotatable by the rotational force by the motor drive and the tab portion formed on both ends of the cylindrical body 1 After fastening and fixing, perform argon welding.

그럼 다음, 상기 원통체(1) 외주면의 표면을 균일하게 하기 위한 연마 공정을 진행한다. 상기 연마 공정에 의해 상기 원통체 외주면의 표면이 균일하게되기 때문에 이송용 샤프트의 회전시 원통체의 표면 불균일에 따라 이송물에 가해지는 충격으로 이송물의 표면이 손상되는 것이 방지된다.Then, the polishing process for making the surface of the outer peripheral surface of the cylindrical body 1 uniform is performed. Since the surface of the cylindrical outer circumferential surface is made uniform by the polishing process, the surface of the conveyed object is prevented from being damaged by the impact applied to the conveyed object by the surface unevenness of the cylindrical body when the conveying shaft rotates.

또한, 원통체 외주면의 표면이 균일하기 때문에 이송용 샤프트의 회전시 각 부위에서의 회전력이 동일하게 됨으로써 이송물의 손상 없이 이송물을 이송시킬 수 있다. In addition, since the surface of the cylindrical outer circumferential surface is uniform, the rotational force at each part is equal during rotation of the conveying shaft, so that the conveyed object can be conveyed without damaging the conveyed object.

상술한 바와 같이 본 고안은 기판을 이송하는 장치에 포함되는 기판 이송용 샤프트나 기판 세정용 샤프트의 원통형 본체 중공부에 엠보싱 형상의 굴곡부가 내경 및 외경에 형성된 보강 원통관을 삽입, 고정하여 상기 원통체에 자체 하중에 의한 처짐을 방지할 뿐만 아니라, 이송물에 의한 하중이 가해지더라도, 굴곡부의 굴곡면을 통해 하중이 분산되도록 하여 보강 원통관이 항시 본래의 형태를 유지하도록 하여 상기 원통체가 처지거나 흔들리지 않도록 함으로써 이송물의 손상을 방지할 수 있다.As described above, the present invention inserts and fixes a reinforcing cylindrical tube formed in an inner diameter and an outer diameter of an embossed bent portion at a hollow portion of a cylindrical body of a substrate transfer shaft or a substrate cleaning shaft included in an apparatus for transferring a substrate. In addition to preventing the sag caused by its own load, the load is distributed through the curved surface of the bent portion, so that the reinforcing cylindrical tube always maintains its original shape so that the cylindrical body sags. By not shaking, damage to the conveyed material can be prevented.

또한, 본 고안은 원통체에 탭부를 형성하고 회전축에 나선부를 형성하여 상호 체결한 후에 용접을 함에 따라 회전축과 원통체가 견고하게 체결되어 기밀성이 저하되지 않음에 따라 이송 샤프트의 파손에 의한 기판의 손상 문제를 해결할 수 있는 이점이 있다.In addition, the present invention forms a tab portion on the cylindrical body and a spiral portion on the rotating shaft to fasten the rotation shaft and the cylindrical body by welding after the mutual fastening, so that the damage to the substrate due to breakage of the transfer shaft as the airtightness is not lowered. There is an advantage to solve the problem.

본 고안은 첨부된 도면을 참조하여 바람직한 실시예를 중심으로 기술되었지만 당업자라면 이러한 기재로부터 본 고안의 범주를 벗어남이 없이 많은 다양한 자명한 변형이 가능하다는 것은 명백하다. 따라서 본 고안의 범주는 이러한 많은 변형예들을 포함하도록 기술된 청구범위에 의해서 해석되어져야 한다.Although the present invention has been described with reference to the accompanying drawings, it will be apparent to those skilled in the art that many various obvious modifications are possible without departing from the scope of the present invention from this description. Therefore, the scope of the present invention should be construed by the claims described to include many such variations.

Claims (3)

기판을 이송하는 장치에 포함되는 기판 이송용 샤프트나 기판 세정용 샤프트의 원통체와 이 원통체의 양끝단에 결합되는 회전축을 포함하는 이송 장치용 샤프트에 있어서, A shaft for a conveying apparatus comprising a cylindrical body of a substrate conveying shaft or a substrate cleaning shaft included in an apparatus for conveying a substrate, and a rotating shaft coupled to both ends of the cylindrical body, 상기 원통체(1)는;The cylindrical body (1) is; 내부 중공부(111)가 형성된 원통형 본체(11)와;A cylindrical body 11 having an inner hollow portion 111 formed therein; 상기 원통형 본체(11)의 중공부(111)에 삽입되어 상기 원통형 본체(11)의 자체 하중에 의한 처짐을 방지하도록 그 외경에 엠보싱 형상의 굴곡부(121)들이 형성된 보강 원통관(12)로 구성됨을 특징으로 하는 이송 장치용 샤프트.It is inserted into the hollow portion 111 of the cylindrical body 11 is composed of a reinforcement cylindrical tube 12 formed with bent portion 121 of the embossed shape in its outer diameter to prevent sagging due to its own load of the cylindrical body (11) Shaft for the transfer device, characterized in that. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 보강 원통관(12)의 내경에는 엠보싱 형상의 굴곡부(121)들이 더 형성됨을 특징으로 하는 이송 장치용 샤프트.The inner diameter of the reinforcing cylindrical tube 12, the shaft for the transfer device characterized in that the bent portion of the embossed shape is further formed (121). 제 2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 보강 원통관(12)은 양 끝단에 형성된 탭부(122)를 포함하고, The reinforcement cylindrical tube 12 includes tab portions 122 formed at both ends, 상기 회전축(2)은 일측 돌출부에 형성된 나선부(211)포함하며,The rotating shaft 2 includes a spiral portion 211 formed on one side protrusion, 상기 원통체(1)와 상기 회전축(2)은 상기 탭부(122)와 나선부(211)의 체결되어 일체화되고,The cylindrical body 1 and the rotating shaft 2 are integrally fastened by the tab portion 122 and the spiral portion 211, 상기 원통체(1)와 탭부(122)의 체결부는 용접됨을 특징으로 하는 이송 장치용 샤프트.The fastening portion of the cylindrical body (1) and the tab portion 122, the shaft for the transfer device, characterized in that welded.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100695203B1 (en) * 2006-07-31 2007-03-16 안병돈 Shaft for transport roller glass having core
KR101936160B1 (en) * 2017-07-03 2019-01-08 김석규 A Pouch Laminating Machine

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