KR200418985Y1 - Cylinder Body Of Shaft For Transfer Apparatus - Google Patents

Cylinder Body Of Shaft For Transfer Apparatus Download PDF

Info

Publication number
KR200418985Y1
KR200418985Y1 KR2020060009337U KR20060009337U KR200418985Y1 KR 200418985 Y1 KR200418985 Y1 KR 200418985Y1 KR 2020060009337 U KR2020060009337 U KR 2020060009337U KR 20060009337 U KR20060009337 U KR 20060009337U KR 200418985 Y1 KR200418985 Y1 KR 200418985Y1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cylindrical body
shaft
cylindrical
substrate
conveying
Prior art date
Application number
KR2020060009337U
Other languages
Korean (ko)
Inventor
장재석
Original Assignee
장재석
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 장재석 filed Critical 장재석
Priority to KR2020060009337U priority Critical patent/KR200418985Y1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR200418985Y1 publication Critical patent/KR200418985Y1/en

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G39/00Rollers, e.g. drive rollers, or arrangements thereof incorporated in roller-ways or other types of mechanical conveyors 
    • B65G39/02Adaptations of individual rollers and supports therefor
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706Mechanical details, e.g. roller, belt

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 고안은 샤프트의 원통체가 자체 하중에 의해 처지거나 이송물의 이송시 흔들리는 것을 방지하도록 하는 이송 장치용 샤프트 원통체에 관한 것이다. The present invention relates to a shaft cylindrical body for a conveying device which prevents the cylindrical body of the shaft from sagging under its own load or shaking during conveyance of the conveyed material.

이를 위하여 본 고안의 이송 장치용 샤프트의 원통체는 기판을 이송하는 장치에 포함되는 기판 이송용 샤프트나 기판 세정용 샤프트의 원통체에 있어서, 중공부을 갖는 원통형 본체와, 상기 원통형 본체의 중공부에 삽입되며 원통형 본체의 내경보다 작은 외경을 갖는 보강 원통관, 및 상기 원통형 본체과 보강 원통관의 사이의 공간부에 주입되는 탄소섬유 강화 플라스틱으로 구성된다.To this end, the cylindrical body of the shaft for a conveying apparatus of the present invention is a cylindrical body of a substrate conveying shaft or a substrate cleaning shaft included in an apparatus for conveying a substrate, the cylindrical body having a hollow portion, and the hollow portion of the cylindrical body. It consists of a reinforcing cylindrical tube inserted and having an outer diameter smaller than the inner diameter of the cylindrical body, and a carbon fiber reinforced plastic injected into the space portion between the cylindrical body and the reinforcing cylindrical tube.

탄소섬유 강화 플라스틱, 샤프트, 자체 하중, 알루미늄 Carbon fiber reinforced plastic, shaft, self load, aluminum

Description

이송 장치용 샤프트 원통체{Cylinder Body Of Shaft For Transfer Apparatus} Cylindrical Body Of Shaft For Transfer Apparatus

도 1은 본 고안의 실시예에 따른 원통체를 포함하는 이송용 장치용 샤프트를 도시한 사시도.1 is a perspective view showing a shaft for a conveying device including a cylindrical body according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1의 A-A 방향 단면도.2 is a cross-sectional view along the direction A-A of FIG.

도 3은 도 1의 B-B 방향 단면도.3 is a cross-sectional view taken along the line B-B in FIG.

도 4는 본 고안의 다른 실시예에 이송 장치용 샤프트의 원통체 단면도.Figure 4 is a cylindrical cross-sectional view of the shaft for the transfer device in another embodiment of the present invention.

도 5는 종래 기술에 따른 이송 장치용 샤프트가 구비된 이송 장치를 도시한 사시도.5 is a perspective view showing a transfer device with a shaft for a transfer device according to the prior art.

도 6은 대한민국 실용신안등록 출원 제2005-35360호에 개시된 원통체를 포함하는 이송용 장치용 샤프트를 도시한 사시도.Figure 6 is a perspective view showing a shaft for a transfer device comprising a cylindrical body disclosed in Republic of Korea Utility Model Registration No. 2005-35360.

도 7은 도 6의 C-C 방향 단면도.FIG. 7 is a cross-sectional view taken along the line C-C in FIG. 6; FIG.

도 8은 도 6의 D-D 방향 단면도.8 is a cross-sectional view taken along the direction D-D of FIG. 6.

<도면의 주요 부분에 대한 부호 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

1 : 원통체1: cylindrical body

11 : 원통형 본체, 111 : 중공부    11: cylindrical body, 111: hollow part

12 : 보강 원통관    12: reinforcement cylindrical pipe

13 : 탄소섬유 강화 플라스틱   13: carbon fiber reinforced plastic

본 고안은 기판을 이송하는 장치에 포함되는 기판 이송용 샤프트나 기판 세정용 샤프트 원통체에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 샤프트의 원통체가 자체 하중에 의해 처지거나 이송물의 이송시 흔들리는 것을 방지하도록 하는 이송 장치용 샤프트 원통체에 관한 것이다. The present invention relates to a substrate transfer shaft or a substrate cleaning shaft cylindrical body included in an apparatus for transferring a substrate, and more particularly, to prevent the cylindrical body of the shaft from sagging by its own load or shaking during the transfer of the object. A shaft cylindrical body for an apparatus.

일반적으로 LCD, PDP 기판 등을 이송하기 위한 이송장치(Conveyor)라 함은, 반도체 공정에서 기판을 여러 공정 라인으로 이동시킬 경우 또는 기판의 세정시 기판을 이동시키는데 사용되는 것이다. In general, a conveyor for transferring an LCD, a PDP substrate, or the like is used to move a substrate when the substrate is moved to various process lines in a semiconductor process or when the substrate is cleaned.

이에 통상적으로 알려진 이송장치는, 도 5에 도시된 바와 같이 양측 골조(101)를 포함하는 프레임(100)과 상기 양측 골조(101) 사이에 구동수단(200)을 통해 회전되게 구비된 다수의 이송용 샤프트(300)를 포함한다. Commonly known conveying apparatus, as shown in Figure 5, a plurality of conveyance is provided to be rotated through the drive means 200 between the frame 100 including the two-sided frame 101 and the two-sided frame 101 For the shaft 300.

아울러 상기 이송용 샤프트들의 후방인 프레임의 후방부에는 상,하 한쌍을 이루는 세정용 샤프트(306)가 구비된다.In addition, the rear portion of the frame, which is the rear of the transfer shafts are provided with a cleaning shaft 306 forming a pair of upper and lower.

그리고, 상기 이송용 샤프트(300) 및 세정용 샤프트(306)는 횡방향으로 회전이 가능하게 구비되는 것으로, 상기 양측 골조(101)에 회전이 가능하게 삽입되는 양 회전축(301)과 이 양 회전축(301)을 상호 연결하는 원통체(302)를 동일한 구성으로 포함한다. In addition, the transfer shaft 300 and the cleaning shaft 306 are provided to be rotatable in the lateral direction, and both rotation shafts 301 and both rotation shafts that are rotatably inserted into the two side frames 101. The cylindrical body 302 which interconnects 301 is comprised by the same structure.

한편, 상기 이송용 샤프트(300)의 외측에는 간격을 두고 다수의 가이드 롤러(303)가 구비됨에 따라 기판을 이송시킬 수 있으며, 상기 세정용 샤프트(306)는 원통체(302)의 외측에 다수의 브러쉬(307)를 구비하여 기판을 세정할 수 있다. On the other hand, a plurality of guide rollers 303 are provided at intervals on the outer side of the conveying shaft 300 to transfer the substrate, the cleaning shaft 306 is a plurality of the outer side of the cylindrical body 302 The brush 307 may be provided to clean the substrate.

따라서, 상기 이송용이나 세정용 샤프트(300,306)는 이송물의 크기나 사용 목적에 따라 이송물의 이송이 요구되는 범위 내에서 설정되는 일정한 길이를 갖도록 구성되며, 상기 원통체(302)는 중공부를 포함하는 관의 형상으로 이루어짐으로써, 상기 양 회전축(301)이 억지 끼워 맞춤 삽입을 통해 고정된다.Therefore, the conveying or cleaning shafts 300 and 306 are configured to have a predetermined length set within a range in which the conveying material is required according to the size of the conveying object or the purpose of use, and the cylindrical body 302 includes a hollow part. By being made in the shape of a tube, both of the rotary shafts 301 are fixed through interference fit insertion.

또한, 상기 양 회전축(301) 중 하나에는 구동수단의 구동력을 밸트, 체인 등을 통해 인가 받는 풀리, 스프로킷, 기어 등의 기계요소가 구비된다. In addition, one of the rotary shaft 301 is provided with a mechanical element such as a pulley, a sprocket, a gear that receives the driving force of the driving means through a belt, a chain or the like.

그런데, 상기와 같이 구성된 이송용이나 세정용 사프트가 포함되는 이송장치를 사용할 경우에는, 기판이 올려지는 상기 원통체(302)가 내부에 중공부를 포함하는 관의 형상을 가짐에 따라 원통형 본체의 중간이 자체 하중에 의해 처지거나 흔들리게 된다. By the way, in the case of using a conveying apparatus including the conveying or cleaning shaft configured as described above, the cylindrical body 302 on which the substrate is mounted has a shape of a tube including a hollow part in the middle of the cylindrical body. It is sag or shaken by its own load.

그래서, 상기와 같은 문제점을 해소하기 위한 이송 샤프트용 원통체가 본 출원인에 의해 기 출원된 대한민국 실용신안등록 출원 제2005-35360호에 "이송 장치용 샤프트"이라는 제목으로 개시된바 있다.Thus, a cylinder for a transfer shaft for solving the above problems has been disclosed under the title "shaft for a transfer device" in the Republic of Korea Utility Model Registration Application No. 2005-35360 filed by the present applicant.

도 5는 대한민국 실용신안등록 출원 제2005-35360호에 개시된 원통체를 포함하는 이송용 장치용 샤프트를 도시한 사시도이고, 도 6은 도 5의 C-C 방향 단면도이며 도 7은 도 5의 D-D 방향 단면도로, 이송 장치용 샤프트의 원통체(400)는 내부 중공부(430)가 형성된 원통형 본체(410)와, 이 원통형 본체(410)의 중공부(430)에 삽입되며 엠보싱 형상의 굴곡부들이 형성된 보강 원통관(420)으로 구성된다. FIG. 5 is a perspective view illustrating a shaft for a transfer device including a cylindrical body disclosed in Korean Utility Model Registration Application No. 2005-35360, FIG. 6 is a sectional view in CC direction of FIG. 5, and FIG. 7 is a sectional view in DD direction of FIG. 5. The cylindrical body 400 of the shaft for the conveying device is a cylindrical body 410 having an inner hollow part 430, and a reinforcement having an embossed curved part inserted into the hollow part 430 of the cylindrical body 410. It consists of a cylindrical tube 420.

이와 같이 구성된 이송 샤프트는 압출 성형에 의해 형성된 보강 원통관(420)을 원통형 본체(410)에 삽입하여 보강 원통관(420)이 상기 원통형 본체(410) 내경에 고정되도록 하여 원통체(400)를 형성한다. The conveying shaft configured as described above inserts the reinforcing cylindrical tube 420 formed by extrusion molding into the cylindrical body 410 so that the reinforcing cylindrical tube 420 is fixed to the inner diameter of the cylindrical main body 410. Form.

그런 다음, 상기 원통체(400)의 양측 끝단을 회전력에 의해 회전 가능하도록 상기 프레임과 결합되는 회전축(500)을 연결한다. Then, the both ends of the cylindrical body 400 is connected to the rotating shaft 500 coupled to the frame to be rotatable by the rotational force.

그런데, 상기 원통체(400)는 보강 원통관(420)의 외경이나 내경 또는 외경 및 내경에 엠보싱 형상의 굴곡부가 형성되기 때문에, 굴곡부에 따른 외경 면적 증가로 인해 알루미늄 등으로 이루어지는 보강 원통관의 중량 증가로 인한 자체 하중을 많이 받게 되며, 이송물의 이송시 반복 하중을 받기 때문에 이송 장치를 장시간 사용하는 경우 하부로 처지거나 흔들리게 되는 문제점이 발생한다.However, since the cylindrical body 400 is formed with an embossed curved portion at the outer diameter or the inner diameter or the outer diameter and the inner diameter of the reinforcing cylindrical tube 420, the weight of the reinforcing cylindrical tube made of aluminum due to the increase in the outer diameter area according to the curved portion. It receives a lot of self-load due to the increase, and receives a repetitive load during the transfer of the conveyed material causes a problem that sags or shakes downward when the conveying device is used for a long time.

상기와 같이, 이송용이나 세정용 샤프트의 원통체가 자체 하중에 의해 처지거나 이송물의 하중에 의해 흔들림에 따라, LCD 기판이 이송되는 과정에서 정상적인 롤링이 이루어지지 않아 이송물의 이송 및 세정이 원활하게 이루어지지 않는바, 작업성 및 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.As described above, as the cylindrical body of the conveying or cleaning shaft sags by its own load or shakes by the load of the conveying material, normal rolling is not performed in the process of transferring the LCD substrate, so that the conveying and cleaning of the conveyed material is smoothly performed. There was a problem that the workability and productivity is reduced.

또한, 이송용 샤프트의 원통체가 처지거나 흔들림에 따라 LCD 기판이 손상되는 문제점이 발생하였다. In addition, there is a problem that the LCD substrate is damaged as the cylindrical body of the transfer shaft sag or shake.

상기 종래 기술에 따른 문제점을 해결하기 위한 본 고안의 목적은, 기판을 이송하는 장치에 포함되는 기판 이송용 샤프트나 기판 세정용 샤프트의 원통형 본 체 중공부에 굴곡부를 갖는 보강 원통체를 삽입하되, 상기 보강 원통관과 원통형 본체 사이의 공간부에 탄소섬유 강화 플라스틱(CFRP : Carbon fiber reinforced plastic)을 주입하여 보강 원통관이 차지하는 면적을 감소시킴으로써 자체 하중을 감소시킬 수 있도록 하는 이송 장치용 샤프트 원통체를 제공함에 있다. An object of the present invention for solving the problem according to the prior art, the reinforcing cylindrical body having a bent portion in the hollow portion of the cylindrical body of the substrate transfer shaft or substrate cleaning shaft included in the apparatus for transferring the substrate, Shaft cylindrical body for conveying device to reduce the load by injecting carbon fiber reinforced plastic (CFRP) into the space between the reinforcing cylindrical tube and the cylindrical body to reduce the area occupied by the reinforcing cylindrical tube In providing.

상기 기술적 과제를 해결하기 위한 본 고안의 원통체는 기판을 이송하는 장치에 포함되는 기판 이송용 샤프트나 기판 세정용 샤프트의 원통체에 있어서, 중공부을 갖는 원통형 본체와, 상기 원통형 본체의 중공부에 삽입되며 원통형 본체의 내경보다 작은 외경을 갖는 보강 원통관, 및 상기 원통형 본체과 보강 원통관의 사이의 공간부에 주입되는 탄소섬유 강화 플라스틱으로 구성된다. Cylindrical body of the present invention for solving the above technical problem is in the cylindrical body of the substrate transfer shaft or substrate cleaning shaft included in the apparatus for transferring the substrate, the cylindrical body having a hollow portion, and the hollow portion of the cylindrical body It consists of a reinforcing cylindrical tube inserted and having an outer diameter smaller than the inner diameter of the cylindrical body, and a carbon fiber reinforced plastic injected into the space portion between the cylindrical body and the reinforcing cylindrical tube.

이때, 상기 보강 원통관에는 상기 원통형 본체의 자체 하중에 의한 처짐을 방지하도록 그 외경이나 내경 또는 내,외경에 엠보싱 형상의 굴곡부들이 형성될 수 있다. At this time, the reinforcement cylindrical tube may be formed in the bent portion of the embossed shape on the outer diameter, inner diameter or inner, outer diameter to prevent sagging by the self-load of the cylindrical body.

이와 같이 본 고안에 따르면 보강 원통체의 직경을 작게 하고 보강 원통체와 원통형 본체 사이의 공간부를 높은 인장 강도를 가질 뿐만 아니라 피로에 대한 저항성이 높으며 기존의 원통체 재질에 비하여 가벼운 성질을 갖는 탄소섬유 강화 플라스틱으로 채움으로써, 자체 하중에 의한 흔들림이나 이송물 무게에 의한 흔들림을 방지할 수 있다. As described above, according to the present invention, the diameter of the reinforcing cylinder is reduced, and the space between the reinforcing cylinder and the cylindrical body has not only high tensile strength, but also has high resistance to fatigue, and carbon fiber having light properties compared to the conventional cylindrical material. By filling with reinforced plastic, it is possible to prevent shaking due to its own load or shaking due to the weight of the conveyed material.

본 고안은 첨부된 도면을 참조하여 후술하는 바람직한 실시예를 통하여 더욱 명백해질 것이다. 이하에서는 본 고안의 실시예를 통해 당업자가 용이하게 이해하 고 재현할 수 있도록 상세히 설명하도록 한다. The present invention will become more apparent through the following preferred embodiments with reference to the accompanying drawings. Hereinafter will be described in detail to enable those skilled in the art to easily understand and reproduce through the embodiments of the present invention.

도 1은 본 고안의 실시예에 따른 원통체를 포함하는 이송용 장치용 샤프트를 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1의 A-A 방향 단면도이며 도 3은 도 1의 B-B 방향 단면도이다.1 is a perspective view showing a shaft for a conveying apparatus including a cylindrical body according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a cross-sectional view of the A-A direction of Figure 1 and Figure 3 is a cross-sectional view of the B-B direction of FIG.

도면을 참조하면, 본 고안의 이송 장치용 샤프트의 원통체(1)는 중공부(111)를 포함하는 원통형 본체(11)와 상기 원통형 본체(11)의 중공부(111)에 삽입되며 원통형 본체(11)의 내경보다 작은 외경을 갖는 보강 원통관(12), 및 상기 원통형 본체(11)와 보강 원통관(12)의 사이의 공간부에 주입되는 탄소섬유 강화 플라스틱(CFRP : Carbon fiber reinforced plastic, 13)을 구비한다. Referring to the drawings, the cylindrical body 1 of the shaft for a conveying apparatus of the present invention is inserted into the cylindrical body 11 including the hollow portion 111 and the hollow portion 111 of the cylindrical body 11 and the cylindrical body Reinforcing cylindrical tube 12 having an outer diameter smaller than the inner diameter of (11), and carbon fiber reinforced plastic (CFRP) injected into the space portion between the cylindrical body 11 and the reinforcing cylindrical tube 12 (CFRP) 13).

그리고 상기 원통체(1)의 양측에는 회전축(21)이 더 구비되어 있다. And both sides of the cylindrical body 1 is further provided with a rotating shaft (21).

상기 탄소섬유 강화 플라스틱(CFRP : Carbon fiber reinforced plastic)은 높은 인장 강도를 가질 뿐만 아니라 피로에 대한 저항성이 높으며 기존의 원통체 재질에 비하여 가벼운 성질을 갖는다.The carbon fiber reinforced plastic (CFRP) not only has a high tensile strength but also has high resistance to fatigue and has lighter properties than conventional cylindrical materials.

따라서, 상기 원통형 본체(11) 내부에 삽입되는 보강 원통관(12)의 직경을 작게 하고, 원통형 본체(11)와 보강 원통관(12)의 사이를 탄소섬유 강화 플라스틱(13)으로 채우면 자체 하중을 감소시킬 수 있게 되며, 이송물에 의한 하중이 가해지더라도 높은 인장 강도를 갖기 때문에 본래의 형상으로 복원되어 휘어짐 없이 상기 원통형 본체(11) 및 보강 원통관(12)을 지지함으로써 원통체(1)의 처짐이나 흔들림을 방지한다. Therefore, if the diameter of the reinforcing cylindrical tube 12 inserted into the cylindrical body 11 is made small, and the carbon fiber reinforced plastic 13 is filled between the cylindrical body 11 and the reinforcing cylindrical tube 12, the self load is applied. Since it has a high tensile strength even when a load by the conveying material is applied, it is restored to its original shape so as to support the cylindrical body 11 and the reinforcing cylindrical tube 12 without bending, the cylindrical body 1 To prevent sagging or shaking.

상기 원통형 본체(11)는 스테인레스스틸(SUS) 또는 폴리염화비닐(PVC)로 이 루어질 수 있고, 상기 보강 원통관(12)은 알루미늄, 플라스틱 등으로 이루어질 수 있으나, 이에 한정하는 것을 아니며 다양한 재료로 형성할 수 있다. The cylindrical body 11 may be made of stainless steel (SUS) or polyvinyl chloride (PVC), and the reinforcement cylindrical tube 12 may be made of aluminum, plastic, and the like, but is not limited thereto. It can be formed as.

이때, 상기 보강 원통관(12)은 도 4에 도시된 바와 같이 상기 원통형 본체(11)의 자체 하중에 의한 처짐을 방지하도록 그 내경 및 외경에 엠보싱 형상의 굴곡부들이 더 형성될 수 있다. At this time, the reinforcing cylindrical tube 12 may be further formed in the inner diameter and the outer diameter of the embossed bent portion in the inner diameter and the outer diameter so as to prevent sagging due to its own load of the cylindrical body 11, as shown in FIG.

상기 엠보싱 형상의 굴곡부를 도면에는 보강 원통관()의 내경 및 외경에만 형성되도록 하였으나, 내경 또는 외경에만 형성할 수도 있다. The bent portion of the embossed shape is to be formed only in the inner diameter and the outer diameter of the reinforcing cylindrical tube (), but may be formed only in the inner diameter or the outer diameter.

이와 같이 보강 원통관(12)에는 엠보싱 형상의 굴곡부가 형성되어 있기 때문에 자체 하중 및 이송물에 의한 하중이 가해지더라도 굴곡부의 굴곡면의 각 방향으로 하중이 분산됨으로써 강력한 복원력을 갖게 된다. 이에 따라, 휘어짐 없이 상기 원통형 본체(11)를 지지함으로써 원통체(1)의 처짐이나 흔들림을 방지할 수 있게 된다. As described above, since the reinforcing cylindrical tube 12 is formed with an embossed bent portion, even if a load by its own load and a conveyed object is applied, the load is distributed in each direction of the bent surface of the bent portion to have a strong restoring force. Accordingly, by supporting the cylindrical body 11 without bending, sagging or shaking of the cylindrical body 1 can be prevented.

상술한 바와 같이 본 고안은 이 기판을 이송하는 장치에 포함되는 기판 이송용 샤프트나 기판 세정용 샤프트의 원통형 본체 중공부에 보강 원통체를 삽입하되, 보강 원통체의 직경을 작게 하고 보강 원통체와 원통형 본체 사이의 공간부를 높은 인장 강도를 가질 뿐만 아니라 피로에 대한 저항성이 높으며 기존의 원통체 재질에 비하여 가벼운 성질을 갖는 탄소섬유 강화 플라스틱으로 채움으로써, 자체 하중을 감소시키고 복원력을 향상시켜 원통체가 본래의 형태를 유지하도록 하여 상기 원통체가 처지거나 흔들리지 않도록 함으로써 이송물의 손상을 방지할 수 있다.As described above, the present invention inserts a reinforcing cylinder into the hollow portion of the cylindrical body of the substrate transfer shaft or the substrate cleaning shaft included in the apparatus for transferring the substrate, but reduces the diameter of the reinforcement cylinder and Filling the spaces between the cylindrical bodies with high tensile strength as well as high fatigue resistance and carbon fiber reinforced plastics with lighter properties than conventional cylindrical materials reduces the load and improves resilience. By maintaining the shape of the cylindrical body to prevent sagging or shaking can be prevented damage to the conveyed material.

본 고안은 첨부된 도면을 참조하여 바람직한 실시예를 중심으로 기술되었지만 당업자라면 이러한 기재로부터 본 고안의 범주를 벗어남이 없이 많은 다양한 자명한 변형이 가능하다는 것은 명백하다. 따라서 본 고안의 범주는 이러한 많은 변형예들을 포함하도록 기술된 청구범위에 의해서 해석되어져야 한다.Although the present invention has been described with reference to the accompanying drawings, it will be apparent to those skilled in the art that many various obvious modifications are possible without departing from the scope of the present invention from this description. Therefore, the scope of the present invention should be construed by the claims described to include many such variations.

Claims (2)

기판을 이송하는 장치에 포함되는 기판 이송용 샤프트나 기판 세정용 샤프트의 원통체에 있어서, In the cylindrical body of the board | substrate conveyance shaft and the board | substrate cleaning shaft contained in the apparatus which conveys a board | substrate, 상기 원통체(1)는;The cylindrical body (1) is; 중공부(111)를 갖는 원통형 본체(11)와,A cylindrical body 11 having a hollow portion 111, 상기 원통형 본체(11)의 중공부(111)에 삽입되며 원통형 본체(11)의 내경보다 작은 외경을 갖는 보강 원통관(12), 및A reinforcement cylindrical tube 12 inserted into the hollow portion 111 of the cylindrical body 11 and having an outer diameter smaller than the inner diameter of the cylindrical body 11, and 상기 원통형 본체(11)와 보강 원통관(12)의 사이의 공간부에 주입되는 탄소섬유 강화 플라스틱(13)으로 구성됨을 특징으로 하는 이송 장치용 샤프트의 원통체.The cylindrical body of the shaft for the transfer device, characterized in that consisting of carbon fiber reinforced plastic (13) injected into the space between the cylindrical body (11) and the reinforcement cylindrical tube (12). 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 보강 원통관(12)은;The reinforcement cylindrical tube 12 is; 상기 원통형 본체(11)의 자체 하중에 의한 처짐을 방지하도록 그 외경이나 내경 또는 내,외경에 엠보싱 형상의 굴곡부들이 형성되는 것을 특징으로 하는 이송 장치용 샤프트의 원통체. The cylindrical body of the shaft for the transfer device, characterized in that the bent portion of the embossed shape is formed in the outer diameter, the inner diameter or the inner, outer diameter of the cylindrical body (11) to prevent sag due to its own load.
KR2020060009337U 2006-04-07 2006-04-07 Cylinder Body Of Shaft For Transfer Apparatus KR200418985Y1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2020060009337U KR200418985Y1 (en) 2006-04-07 2006-04-07 Cylinder Body Of Shaft For Transfer Apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2020060009337U KR200418985Y1 (en) 2006-04-07 2006-04-07 Cylinder Body Of Shaft For Transfer Apparatus

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR200418985Y1 true KR200418985Y1 (en) 2006-06-14

Family

ID=41768405

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR2020060009337U KR200418985Y1 (en) 2006-04-07 2006-04-07 Cylinder Body Of Shaft For Transfer Apparatus

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR200418985Y1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101526445B1 (en) * 2013-09-11 2015-06-10 주식회사 포스코 Leveler for coke oven and the flatting method of using it

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101526445B1 (en) * 2013-09-11 2015-06-10 주식회사 포스코 Leveler for coke oven and the flatting method of using it

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2010019899A5 (en)
KR200418985Y1 (en) Cylinder Body Of Shaft For Transfer Apparatus
KR200411891Y1 (en) Shaft For Transfer Apparatus
JP4289539B2 (en) Curved conveyor
JP2009126608A (en) Guide roller for conveyor belt
KR20060124460A (en) Cylinder body of shaft for transfer apparatus and the same manufacturing method
US7073659B1 (en) Low back pressure module with L-shaped intermediate support
KR100560959B1 (en) Apparatus for transporting works having magnet bearing for use in preventing shaft from vending
JPH08113324A (en) Storage device of bar-like object
WO2017130395A1 (en) Conveyance device and washing device
JP4919380B2 (en) Conveyor
CN113753581A (en) Ultra-thin flexible glass conveying device
KR101092750B1 (en) Apparatus for drying a substrate
FI98895C (en) Apparatus and method for handling return bottles
JP5426352B2 (en) Separation device
JP2000103509A (en) Roller conveyor
CN218706506U (en) Conveyer that mineral was selected separately
JPH06239432A (en) Continuous vertical conveyor device
CN114408451B (en) High-wear-resistance turning conveying belt
JP4292028B2 (en) Curve conveyor
JP4601797B2 (en) Article transfer device and article transfer method
KR200384720Y1 (en) Conveyer
JP3300834B2 (en) Extruded material conveyor for ceramic products
KR100586187B1 (en) Magnet bearing of work transferring apparatus
JP2518862Y2 (en) Continuous vertical transfer device

Legal Events

Date Code Title Description
REGI Registration of establishment
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20100609

Year of fee payment: 5

LAPS Lapse due to unpaid annual fee