KR101041448B1 - Transfer shaft and method of manufacturing the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 LCD(Liquid Crystal Display)기판 등과 같은 각종 반도체 부품을 이송함에 있어서, 동력장치에 의해 회전이 이루어지고 LCD기판이 얹혀져 이송되는 반송 샤프트에 관한 것이다. 본 발명의 반송 샤프트는 다수의 가이드 롤러들이 외주면에 설치되는 외부파이프, 외부파이프의 내부에 압입되는 내부파이프, 외부파이프와 내부파이프의 양단에 각각 끼워져 고정되는 그리고 베어링에 의해 지지되는 한 쌍의 지지봉을 포함한다. 이러한 구성의 반송 샤프트는 자중을 최소화할 수 있어, 장축의 반송 샤프트에 사용될 경우에, 장축으로 인한 자체 하중과 이송물에 의한 하중으로 인해 중심부위가 하방으로 처져 변형되는 것을 최소화할 수 있다.

Figure R1020050099447

기판, 반송, 샤프트, 처짐량

The present invention relates to a transport shaft in which various semiconductor components such as an LCD (Liquid Crystal Display) substrate and the like are rotated by a power unit and the LCD substrate is mounted and transported. The conveying shaft of the present invention has a pair of support rods, each of which includes a plurality of guide rollers installed on an outer circumferential surface, an inner pipe press-fitted into an outer pipe, fixed to both ends of an outer pipe and an inner pipe, and supported by a bearing. It includes. The conveying shaft of such a configuration can minimize its own weight, and when used for the conveying shaft of the long axis, it is possible to minimize the deflection of the upper part of the lower part due to its own load due to the long axis and the load by the conveyed object.

Figure R1020050099447

Board, conveyance, shaft, deflection

Description

반송 샤프트 및 반송 샤프트의 제조방법{TRANSFER SHAFT AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}TRANSPORT SHAFT AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME

도 1은 본 발명에 따른 반송 샤프트의 분해 사시도;1 is an exploded perspective view of a conveying shaft according to the present invention;

도 2는 도 1에 도시된 반송 샤프트의 측단면도;2 is a side cross-sectional view of the conveying shaft shown in FIG. 1;

도 3은 도 1에 도시된 반송 샤프트의 정단면도;3 is a front sectional view of the conveying shaft shown in FIG. 1;

도 4는 반송 샤프트의 제조 방법을 개략적으로 설명하기 위한 순서도이다.4 is a flowchart for schematically illustrating a manufacturing method of the conveying shaft.

도 5는 외부파이프의 제조 과정을 설명하기 위한 도면이다.5 is a view for explaining a manufacturing process of the outer pipe.

도 6은 본 발명에 따른 반송 샤프트와 다른 타입의 반송 샤프트들의 처짐량을 비교한 표;6 is a table comparing sag amounts of a conveying shaft and another type of conveying shafts according to the present invention;

도 7은 도 6에 표시된 3개의 반송 샤프트들의 위치별 처짐량 비교 챠트;FIG. 7 is a positional deflection comparison chart of the three conveying shafts shown in FIG. 6; FIG.

도 8은 기존 반송 샤프트의 사용상태를 보여주는 도면;8 is a view showing a state of use of the existing conveying shaft;

도 9는 기존 반송 샤프트의 처짐상태를 보여주는 도면이다. 9 is a view showing a deflection state of the existing conveying shaft.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *Description of the Related Art [0002]

110: 본체파이프110: main body pipe

112 : 외부파이프112: outer pipe

114 : 내부파이프114: internal pipe

120 : 지지봉120: support rod

본 발명은 LCD(Liquid Crystal Display)기판 등과 같은 각종 반도체 부품을 이송함에 있어서, 동력장치에 의해 회전이 이루어지고 LCD기판이 얹혀져 이송되는 반송 샤프트 및 반송 샤프트의 제조 방법에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a conveyance shaft and a method of manufacturing a conveying shaft in which various semiconductor components such as an LCD (Liquid Crystal Display) substrate and the like are rotated by a power unit and the LCD substrate is mounted and conveyed.

일반적으로, LCD(liquid crystal display) 소자는 증착 공정, 확산 공정, 패터닝 공정 및 열처리 공정 등 다양한 공정 등에 의하여 제작되고 있으며, 이러한 공정들은 챔버(chamber), 배스(bath) 또는 확산로와 같은 기판 처리 장치 내에서 진행되고 있다. In general, liquid crystal display (LCD) devices are manufactured by various processes such as a deposition process, a diffusion process, a patterning process, and a heat treatment process, and these processes are used to process a substrate such as a chamber, a bath, or a diffusion furnace. It is going on inside the device.

챔버, 배스 또는 확산로와 같은 기판 처리 장치는 LCD용 기판 즉, 유리 기판을 지지 및 이송시키기 위한 수단으로 이송장치(Conveyor)가 주로 사용되고 있다. BACKGROUND OF THE INVENTION In a substrate processing apparatus such as a chamber, a bath, or a diffusion furnace, a conveyor is mainly used as a means for supporting and conveying an LCD substrate, that is, a glass substrate.

이러한 이송장치는 유리 기판을 지지 및 이송시키기 위한 다수의 반송 샤프트를 포함하고 있다. 이들 반송 샤프트는 동력전달수단에 의해 설정된 위치에서 회전이 이루어지는 바, 원활한 회전을 위해 양측 단부에는 베어링이 설치되며, 이송물의 크기나 사용 목적에 따라, 폭과 길이가 설정된다. Such a conveying device includes a plurality of conveying shafts for supporting and conveying a glass substrate. These conveying shafts are rotated at the position set by the power transmission means, and bearings are provided at both ends for smooth rotation, and width and length are set according to the size of the conveyed material or the purpose of use.

상기와 같은 종래의 이송장치에 사용되는 반송 샤프트는 이송하고자 하는 이송물의 크기에 따라, 그 길이가 설정되는바, 반송 샤프트의 길이가 짧을 경우에 는 별다른 무리없이 원활한 이송이 이루어진다. 그러나, LCD기판과 같이 비교적 폭이 넓고 떨림이나 충격에 대한 주의가 요구되는 반도체 부품을 이송하기 위한 이송장치에서는 길이가 긴 장축의 반송 샤프트가 사용되고 있다. The conveying shaft used in the conventional conveying apparatus as described above, the length is set according to the size of the conveying material to be conveyed, if the length of the conveying shaft is short, smooth conveyance without any difficulty is made. However, a long-axis long conveying shaft is used in a conveying apparatus for conveying a semiconductor component that is relatively wide and requires attention to vibration and impact, such as an LCD substrate.

도 8에 도시된 바와 같이, 유리 기판(s)의 하단에는 유리 기판(s)을 지지 및 이송시키는 반송 샤프트(10)가 다수개 설치되고, 이들 반송 샤프트(10)들은 유리 기판(s)의 장축 방향으로 다수개가 평행하게 배치된다. 일반적으로 LCD에 사용되는 유리 기판(s)의 사이즈는 약 1000mm×1200mm를 가지며, 반송 샤프트(10)들은 상술한 바와 같이 대형의 유리 기판(s)을 이송시킬 수 있도록 1500 내지 2600mm의 길이를 갖는다. As shown in FIG. 8, a plurality of conveying shafts 10 supporting and conveying the glass substrate s are provided at the lower end of the glass substrate s, and these conveying shafts 10 are formed of the glass substrate s. A plurality is arranged in parallel in the major axis direction. In general, the size of the glass substrate s used in the LCD is about 1000 mm x 1200 mm, and the conveying shafts 10 have a length of 1500 to 2600 mm so as to transfer the large glass substrate s as described above. .

그러나, 상기한 기판 처리 장치의 반송 샤프트(10)은 스테인레스스틸 소재로 가늘고 긴 형태학상 문제, 기판의 무게로 가해지는 하중, 유리 기판(s) 상부에 공급되는 분사 유체의 힘 및 유체의 하중 등으로 인하여, 도 9와 같이 소정 길이(D)만큼 처짐이 발생된다. However, the conveying shaft 10 of the substrate processing apparatus described above is made of a stainless steel material and has a long and thin morphological problem, a load applied to the weight of the substrate, a force of the injection fluid supplied to the glass substrate s, a load of the fluid, and the like. As a result, sagging occurs by a predetermined length D as shown in FIG. 9.

이와 같이 반송 샤프트(10)이 소정 길이만큼 처지게 되면, 그 상부에 놓여지는 기판(s)이 평형을 유지하기 어려워, 기판 표면으로 도포되는 현상액(20)이 불균일하게 도포되는 등의 공정 불균형이 발생된다.When the conveying shaft 10 sags by a predetermined length in this manner, it is difficult for the substrate s placed on the upper part to maintain an equilibrium, and process imbalance such as uneven application of the developing solution 20 applied to the substrate surface occurs. Is generated.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 패널의 대형화로 길이가 길어지는 반송 샤프트의 처짐 정도를 최소화 할 수 있는 반송 샤프트 및 그것의 제조 방법을 제공하는데 있다. 본 발명의 목적은 자체 하중을 최소화할 수 있는 반송 샤프트 및 그것의 제조 방법을 제공하는데 있다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to provide a conveying shaft and a method of manufacturing the same, which can minimize the deflection of the conveying shaft, which is lengthened due to the enlargement of the panel. It is an object of the present invention to provide a conveying shaft and a method of manufacturing the same which can minimize its own load.

상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 반송 샤프트는 다수의 가이드 롤러들이 외주면에 설치되는 외부파이프; 상기 외부파이프의 내부에 압입되는 내부파이프; 상기 외부파이프와 상기 내부파이프의 양단에 각각 끼워져 고정되는 그리고 베어링에 의해 지지되는 한 쌍의 지지봉을 포함한다.In order to achieve the above object, the conveying shaft of the present invention is a plurality of guide rollers the outer pipe is installed on the outer peripheral surface; An inner pipe press-fitted into the outer pipe; And a pair of support rods fitted and fixed to both ends of the outer pipe and the inner pipe, respectively, and supported by a bearing.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 외부파이프는 스테인레스스틸 또는 폴리염화비닐로 이루어지고 상기 내부파이프는 탄소섬유강화플라스틱으로 이루어지며, 상기 외부파이프의 두께는 0.5-0.7mm, 상기 내부파이프의 두께는 3.0-3.6mm일 수 있다.According to an embodiment of the invention, the outer pipe is made of stainless steel or polyvinyl chloride and the inner pipe is made of carbon fiber reinforced plastic, the thickness of the outer pipe is 0.5-0.7mm, the thickness of the inner pipe It can be 3.0-3.6mm.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 지지봉은 상기 내부파이프와 접하는 외주면에 원주방향으로 홈들이 형성된다.According to an embodiment of the present invention, the support rod is formed in the circumferential direction on the outer circumferential surface in contact with the inner pipe.

상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 반송 샤프트의 제조 방법은 외부파이프를 준비하는 단계; 상기 외부파이프의 내부에 끼워질 내부파이프를 준비하는 단계; 상기 외부파이프 속에 상기 내부파이프를 압입하여 결합시키는 단계; 상기 내부파이프의 양단에 지지봉을 삽입하여 결합시키는 단계; 상기 지지봉과 상기 외부파이프의 접합부분을 용접하는 단계; 및 상기 용접부분을 연마하는 단계를 포함할 수 있다.In order to achieve the above object, the manufacturing method of the conveying shaft of the present invention comprises the steps of preparing an outer pipe; Preparing an inner pipe to be fitted into the outer pipe; Pressing the inner pipe into the outer pipe and coupling the inner pipe; Inserting and supporting a support rod at both ends of the inner pipe; Welding the joint of the support rod and the outer pipe; And polishing the welded portion.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 외부파이프는 스테인레스스틸 또는 폴리염화비닐로 이루어지고 상기 내부파이프는 탄소섬유강화플라스틱으로 이루어진다.According to an embodiment of the present invention, the outer pipe is made of stainless steel or polyvinyl chloride and the inner pipe is made of carbon fiber reinforced plastic.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 외부파이프 준비단계는 띠상의 스테인레스스틸 판재를 단면이 원형이 되도록 점차적으로 말아주고, 상기의 판재가 원형으로 말리면 양단이 맞닿는 이음부를 용접하여 외부파이프를 만드는 단계; 상기 외부파이프의 이음부에 형성된 비드를 제거하는 단계; 상기 외부파이프를 어닐링처리 하는 단계; 및 상기 외부파이프의 진직도를 교정하는 단계를 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the step of preparing the outer pipe is a step of gradually rolling the strip-shaped stainless steel plate so that the cross section is circular, and forming the outer pipe by welding the joints at both ends when the plate is rolled circularly; Removing the beads formed at the joints of the outer pipe; Annealing the outer pipe; And it may include the step of correcting the straightness of the outer pipe.

예컨대, 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다. For example, embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited by the embodiments described below. This embodiment is provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art. Accordingly, the shape of the elements in the drawings and the like are exaggerated to emphasize a clearer description.

본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 7에 의거하여 상세히 설명한다. 또, 상기 도면들에서 동일한 기능을 수행하는 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 병기한다. An embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 7. In addition, in the drawings, the same reference numerals are denoted together for components that perform the same function.

본 발명의 기본적인 의도는 기판 반송을 위해 사용되는 반송 샤프트의 무게 하중을 가볍게 하여 자중에 의한 처짐량을 개선하기 위한 것으로, 이를 위해 본 발명자는 스테인레스스틸의 외부파이프 내부에 무게 하중이 가벼운 탄소섬유강화플라스틱으로 제작된 내부파이프를 삽입한 이중파이프 구조의 반송 샤프트를 제공하는데 있다. The basic intention of the present invention is to improve the amount of deflection due to its own weight by lightening the weight load of the conveying shaft used for conveying the substrate. To this end, the inventors of the present invention propose a carbon fiber reinforced plastic having a light weight in the outer pipe of stainless steel. It is to provide a conveying shaft of a double pipe structure inserted into the inner pipe manufactured by.

도 1은 본 발명에 따른 반송 샤프트의 분해 사시도이다. 도 2는 도 1에 도 시된 반송 샤프트의 측단면도이다. 도 3은 도 1에 도시된 반송 샤프트의 정단면도이다. 1 is an exploded perspective view of a conveying shaft according to the present invention. FIG. 2 is a side cross-sectional view of the conveying shaft shown in FIG. 1. 3 is a front sectional view of the conveying shaft shown in FIG. 1.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 반송 샤프트(100)는 중공체인 본체파이프(110)와, 본체파이프(110) 양단에 설치되는 한 쌍의 지지봉(120)으로 이루어진다. 1 to 3, the conveying shaft 100 includes a main body pipe 110 that is a hollow body and a pair of support rods 120 that are installed at both ends of the main body pipe 110.

본체파이프(110)는 외부파이프(112)와 내부파이프(114)로 이루어지는 2중파이프 구조로, 외부파이프(112)의 사이즈는 외경지름이 25-35mm, 길이가 1800-2000mm일 때 두께는 0.5-0.7mm 범위를 갖는 스테인레스스틸 파이프로 형성한다. 도 2에서 점선으로 도시한 바와 같이, 외부파이프(112)에는 일정 간격마다 기판(s)의 저면을 지지하는 다수의 가이드 롤러(119)들이 설치될 수 있다. 내부파이프(114)는 외부파이프(112) 내부에 삽입되어 설치된다. 내부파이프(114)는 탄소섬유강화플라스틱으로 이루어지는 것으로, 외부파이프(112)에 압입되어 삽입된다. 내부파이프는(114) 외부파이프(112)보다 길이가 짧으며, 외부파이프(112)보다 6배정도 두꺼운 3.0-3.6mm의 두께로 이루어진다. 외부파이프(112)의 재질은 스테인레스스틸 보다 가격이 저렴한 폴리염화비닐(PVC)을 선택적으로 사용할 수 있다.Body pipe 110 is a double pipe structure consisting of the outer pipe 112 and the inner pipe 114, the size of the outer pipe 112 is 25-35mm in diameter and 1800-2000mm in length when the thickness is 0.5 It is formed of stainless steel pipe with a range of -0.7 mm. As shown by a dotted line in FIG. 2, the outer pipe 112 may be provided with a plurality of guide rollers 119 supporting the bottom surface of the substrate s at predetermined intervals. The inner pipe 114 is inserted into the outer pipe 112 and installed. The inner pipe 114 is made of carbon fiber reinforced plastic and is inserted into the outer pipe 112. The inner pipe 114 is shorter in length than the outer pipe 112, and has a thickness of 3.0-3.6 mm that is six times thicker than the outer pipe 112. The material of the outer pipe 112 may selectively use polyvinyl chloride (PVC), which is cheaper than stainless steel.

이러한 구조의 본체파이프(110)의 양단에는 베어링(130)에 의해 지지되는 지지봉(120)이 설치된다. 지지봉(120)은 내부파이프(114)가 끼워지는 제1고정부(124)와, 외부파이프(112)가 끼워지는 제2고정부(122)를 갖는다. 제1고정부(124)에는 접착제가 도포되어 내부파이프(114)가 상기 접착제에 의해 고정되며, 제1고정부 (124)(내부파이프와 접하는 외주면)에는 원주방향으로 홈(124a)들이 형성된다. 그리고 지지봉(120)에는 외부의 동력장치로부터 동력을 전달받는 동력전달부재(도시됨)가 설치될 수 있다. Support rods 120 supported by the bearing 130 are installed at both ends of the main body pipe 110 having such a structure. The support rod 120 has a first fixing portion 124 into which the inner pipe 114 is fitted, and a second fixing portion 122 into which the outer pipe 112 is fitted. An adhesive is applied to the first fixing portion 124 to fix the inner pipe 114 by the adhesive, and grooves 124a are formed in the circumferential direction on the first fixing portion 124 (the outer circumferential surface in contact with the inner pipe). . And the support rod 120 may be installed a power transmission member (shown) that receives power from the external power unit.

도 4는 반송 샤프트의 제조 방법을 개략적으로 설명하기 위한 순서도이다.4 is a flowchart for schematically illustrating a manufacturing method of the conveying shaft.

도 4를 참조하면, 반송 샤프트(100)의 제조 방법은 외부파이프(112)와 내부파이프(114)를 준비하는 단계(s12), 외부파이프(112) 내부에 내부파이프(114)를 압입하여 결합하는 단계(s14). 이렇게 만들어진 본체파이프(110)의 양단에 지지봉(120)을 삽입하여 결합하는 단계(s16), 지지봉(120)과 본체 파이프(110)의 외부파이프(112) 접합부분을 용접 처리하는 단계(s18). 용접부분의 비드를 연마 공정으로 제거하는 단계(s20), 통상의 후속 처리(전면 조도 연마, 진직도 검사/교정 그리고 전면 전해연마)(s22)를 순차적으로 처리하는 단계로 이루어진다. 이러한 과정 중에서, 외부파이프(112)는 두께가 얇기 때문에 인발 가공 방식이 아닌 롤러 가공 방식으로 제작되는 것이 바람직하다. Referring to FIG. 4, the method of manufacturing the conveying shaft 100 includes preparing an outer pipe 112 and an inner pipe 114 (s12) and injecting the inner pipe 114 into the outer pipe 112. Step (s14). The step (s16) of inserting and supporting the support rods 120 at both ends of the main body pipe 110, as described above, welding the bonded portion of the support pipe 120 and the outer pipe 112 of the main pipe 110 (s18). . Removing the beads of the weld portion by the polishing process (s20), and the subsequent subsequent processing (front roughness polishing, straightness inspection / calibration and full surface electropolishing) (s22) sequentially. In this process, since the outer pipe 112 is thin, it is preferable that the outer pipe 112 is manufactured by a roller processing method rather than a drawing method.

도 5를 참조하면서 외부파이프(112)의 제조 과정을 살펴보면, 일정 폭으로 된 띠상의 스테인레스스틸 판재(P)는 다수의 롤러(212)들이 수평방향으로 연속해서 배열된 롤러 가공부(210)를 거치면서 단면이 원형이 되게 점차적으로 말리게 된다. 이렇게 판재(P)가 원형으로 말리면서 양단이 서로 맞닿은 이음부는 롤러가공부(2100)의 후방에 설치된 용접부(220)에서 용접된다. 그리고 외부파이프(112)의 이음부에 형성된 비드는 용접비드 제거부(240)에서 제거하면 원형의 외부파이프(112)가 형성된다. 이렇게 만들어진 외부파이프(112)는 소정 온도로 가열한 다음 서서히 냉각하여 처리하는 어닐링처리를 거친 후 진직도 교정 과정을 거치게 된다. Looking at the manufacturing process of the outer pipe 112 with reference to Figure 5, the strip-shaped stainless steel plate (P) having a predetermined width is a plurality of rollers 212 are arranged in a horizontal direction in the roller processing portion 210 As it goes through, the cross section is gradually rounded to a circle. In this way, the plate P is rolled in a circular shape, and both ends of the joint part are welded by the welding part 220 installed at the rear of the roller processing part 2100. And when the beads formed in the joint of the outer pipe 112 is removed from the weld bead removal unit 240, a circular outer pipe 112 is formed. The outer pipe 112 thus made is subjected to an annealing process that is heated to a predetermined temperature and then gradually cooled to process the straightness correction process.

그리고, 내부파이프(114)는 카본원단을 일정 크기로 재단하는 단계, 재단된 카본원단에 수지도포 및 적층성형단계, 카본원단을 금형에 부착 후 가압하여 롤러로 마는 롤링/성형 단계, 수지경화단계 그리고 탈형하는 단계를 통해 제작되며, 이러한 과정은 공지 기술로 상세한 설명은 생략하기로 하며, 탄소섬유 강화플라스틱 소재의 내부파이프는 상기의 방식 이외에 다양한 공지의 방식으로 만들어질 수 있다. 여기서 카본 원단은 일본의 토레이 회사(Toray Industrial Inc.)에서 생산하는 제품을 사용하였다.Then, the inner pipe 114 is a step of cutting the carbon fabric to a predetermined size, the resin coating and lamination molding step, the rolling / forming step of pressing the carbon fabric to the mold after pressing the carbon fabric to the mold, the resin curing step And it is produced through the step of demolding, this process will be omitted in the description of known techniques, the inner pipe of the carbon fiber reinforced plastic material can be made in a variety of known manners in addition to the above manner. Here, the carbon fabric used was a product produced by Toray Industrial Inc. of Japan.

한편, 본체파이프(110)의 양단에 지지봉(120)을 삽입하여 결합하는 과정은 지지봉(120)의 제1고정부(124)에 접착제를 도포한 상태에서 이루어지며, 내부파이프(114)는 접착제에 의해 지지봉(120)에 결합된다.Meanwhile, a process of inserting and supporting the support rods 120 at both ends of the main pipe 110 is performed in a state in which an adhesive is applied to the first fixing part 124 of the support rod 120, and the inner pipe 114 is an adhesive. It is coupled to the support rod 120 by.

도 6은 본 발명에 따른 반송 샤프트와 스테인레스스틸 소재의 반송 샤프트, 그리고 이중파이프 구조인 탄소섬유 강화플라스틱 소재의 내부파이프를 갖는 이중파이프 구조의 반송 샤프트의 처짐량을 비교한 표이다. 도 7은 도 6에 표시된 3개의 반송 샤프트들의 위치별 처짐량 비교 챠트이다. 6 is a table comparing the deflection amount of the conveying shaft of the double pipe structure having a conveying shaft according to the present invention, a conveying shaft of stainless steel material, and an inner pipe of carbon fiber reinforced plastic material, which is a double pipe structure. FIG. 7 is a positional deflection comparison chart of the three conveying shafts shown in FIG. 6.

도 6 및 도 7의 결과로부터 명백한 바와 같이, 1번 반송 샤프트의 경우 1mm 이상의 자중에 의한 처짐이 발생하여 사용할 수 없고, 2번 사프트의 경우에는 탄소섬유 강화플라스틱 소재의 내부파이프를 사용하여 무게를 줄이고 내부파이프의 탄성력으로 인해 샤프트 중심의 처짐량이 개선되었다. 하지만, 본 발명에서 규정하는 조건으로 제조된 3번의 반송 샤프트는 자중에 의한 처짐량 및 기판이 놓여졌을 때의 처짐량이 2번 반송 샤프트 보다도 현저하게 우수한 효과를 얻을 수 있다. 즉, ,탄소섬유강화플라스틱 소재의 내부파이프를 갖는 2번 반송 샤프트 보다는 본 발명의 반송 샤프트(3번)가 보다 우수한 처짐량 감소 효과를 얻을 수 있었다. As apparent from the results of FIGS. 6 and 7, in the case of No. 1 conveying shaft, deflection by self weight of 1 mm or more cannot occur, and in case of No. 2 shaft, weight is obtained by using an inner pipe of carbon fiber reinforced plastic material. Reduced and the elasticity of the inner pipe improves the deflection of the shaft center. However, the third conveyance shaft manufactured under the conditions specified in the present invention can achieve a remarkably superior effect than the second conveying shaft when the amount of deflection due to its own weight and the amount of deflection when the substrate is placed. That is, the conveying shaft (No. 3) of the present invention was able to obtain a more sag reduction effect than the second conveying shaft having an inner pipe of carbon fiber reinforced plastic material.

이상에서, 본 발명에 따른 반송 샤프트의 구성 및 작용을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.In the above, the configuration and operation of the conveying shaft according to the present invention has been shown in accordance with the above description and drawings, but this is only an example, and various changes and modifications are possible without departing from the spirit of the present invention. to be.

상술한 바와 같이, 본 발명은 반송 샤프트의 자중을 최소화할 수 있어, 장축의 반송 샤프트를 이용할 경우에, 장축으로 인한 자체 하중과 이송물에 의한 하중으로 인해 중심부위가 하방으로 처져 변형되는 것을 최소화할 수 있다. 본 발명의 반송 샤프트는 처짐현상을 최소화함으로써, 불안정한 회전과 특정부위에 하중이 편중되어 과부하가 발생되고, 이로 인해 전체적인 이송장치의 이송에 대한 효율성과 작업 및 생산성이 저하되는 것을 방지할 수 있다. As described above, the present invention can minimize the self-weight of the conveying shaft, and when using the conveying shaft of the long axis, minimize the deformation of the center portion is sag downward due to the load by the self-load and the conveyed material due to the long axis can do. By minimizing the deflection phenomenon of the conveying shaft of the present invention, the unstable rotation and the load is biased to a specific portion, the overload is generated, thereby preventing the efficiency and work and productivity of the transfer of the entire conveying device can be prevented from being lowered.

Claims (6)

반송 샤프트에 있어서:In the conveying shaft: 다수의 가이드 롤러들이 외주면에 설치되는 외부파이프;An outer pipe having a plurality of guide rollers installed on an outer circumferential surface thereof; 상기 외부파이프의 내부에 압입되는 내부파이프; 및An inner pipe press-fitted into the outer pipe; And 상기 외부파이프와 상기 내부파이프의 양단에 각각 끼워져 고정되는 그리고 베어링에 의해 지지되는 한 쌍의 지지봉을 포함하는 것을 특징으로 하는 반송 샤프트. And a pair of support rods fitted and fixed to both ends of said outer pipe and said inner pipe and supported by a bearing, respectively. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 외부파이프는 스테인레스스틸 또는 폴리염화비닐로 이루어지고 상기 내부파이프는 탄소섬유 강화플라스틱으로 이루어지며, 상기 외부파이프의 두께는 0.5-0.7mm, 상기 내부파이프의 두께는 3.0-3.6mm인 것을 특징으로 하는 반송 샤프트. The outer pipe is made of stainless steel or polyvinyl chloride, the inner pipe is made of carbon fiber reinforced plastic, the thickness of the outer pipe is 0.5-0.7mm, the thickness of the inner pipe is 3.0-3.6mm Bounce shaft. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 지지봉은 상기 내부파이프와 접하는 외주면에 원주방향으로 홈들이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 반송 샤프트. The support rod is a conveyance shaft, characterized in that grooves are formed in the circumferential direction on the outer circumferential surface in contact with the inner pipe. 반송 샤프트의 제조 방법에 있어서:In the manufacturing method of the conveying shaft: 외부파이프를 준비하는 단계;Preparing an outer pipe; 상기 외부파이프의 내부에 끼워질 내부파이프를 준비하는 단계;Preparing an inner pipe to be fitted into the outer pipe; 상기 외부파이프 속에 상기 내부파이프를 압입하여 결합시키는 단계;Pressing the inner pipe into the outer pipe and coupling the inner pipe; 상기 내부파이프의 양단에 지지봉을 삽입하여 결합시키는 단계;Inserting and supporting a support rod at both ends of the inner pipe; 상기 지지봉과 상기 외부파이프의 접합부분을 용접하는 단계; 및Welding the joint of the support rod and the outer pipe; And 상기 용접부분을 연마하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송 샤프트의 제조 방법.And grinding the welded portion. 제4항에 있어서,5. The method of claim 4, 상기 외부파이프는 스테인레스 스틸 또는 폴리염화비닐로 이루어지고 상기 내부파이프는 탄소섬유강화플라스틱으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반송 샤프트의 제조 방법.And the outer pipe is made of stainless steel or polyvinyl chloride and the inner pipe is made of carbon fiber reinforced plastic. 제4항에 있어서,5. The method of claim 4, 상기 외부파이프 준비단계는 The external pipe preparation step 띠상의 스테인레스스틸 판재를 단면이 원형이 되도록 점차적으로 말아주고, 상기의 판재가 원형으로 말리면 양단이 맞닿는 이음부를 용접하여 외부파이프를 만드는 단계;Gradually rolling up the strip-shaped stainless steel plate so that the cross section is circular, and welding the joints to which the both ends abut when the plate is rolled circularly to make an outer pipe; 상기 외부파이프의 이음부에 형성된 비드를 제거하는 단계;Removing the beads formed at the joints of the outer pipe; 상기 외부파이프를 어닐링처리 하는 단계; 및Annealing the outer pipe; And 상기 외부파이프의 진직도를 교정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송 샤프트의 제조 방법.And correcting the straightness of the outer pipe.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200009368A (en) 2018-07-18 2020-01-30 (주)에스에이치팩 Hybrid round bar and manufacturing method thereof
KR20200014102A (en) 2018-07-31 2020-02-10 (주)에스에이치팩 Hybrid tube and manufacturing method thereof
KR102169563B1 (en) 2019-09-25 2020-10-23 (주)에스에이치팩 Method for manufacturing hydraulic cylinder rod

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100922050B1 (en) * 2007-11-12 2009-10-19 주식회사 태원엔지니어링 Method of making carbon fiber reinforced plastic shaft
JP5826677B2 (en) * 2012-03-07 2015-12-02 田中貴金属工業株式会社 Stirrer shaft pipe and manufacturing method thereof
KR102372264B1 (en) * 2021-01-08 2022-03-10 주식회사 선경시스템 Multi-pipe manufacturing method

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06307428A (en) * 1993-04-21 1994-11-01 Toray Ind Inc Propeller shaft and its manufacture
JP2001047883A (en) 1999-08-05 2001-02-20 Ntn Corp Power transmission shaft
JP2002235726A (en) 2001-02-07 2002-08-23 Ntn Corp Fiber-reinforced resin pipe and power transmission shaft using the resin pipe
KR20060124460A (en) * 2005-05-31 2006-12-05 장재석 Cylinder body of shaft for transfer apparatus and the same manufacturing method

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06307428A (en) * 1993-04-21 1994-11-01 Toray Ind Inc Propeller shaft and its manufacture
JP2001047883A (en) 1999-08-05 2001-02-20 Ntn Corp Power transmission shaft
JP2002235726A (en) 2001-02-07 2002-08-23 Ntn Corp Fiber-reinforced resin pipe and power transmission shaft using the resin pipe
KR20060124460A (en) * 2005-05-31 2006-12-05 장재석 Cylinder body of shaft for transfer apparatus and the same manufacturing method

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200009368A (en) 2018-07-18 2020-01-30 (주)에스에이치팩 Hybrid round bar and manufacturing method thereof
KR20200014102A (en) 2018-07-31 2020-02-10 (주)에스에이치팩 Hybrid tube and manufacturing method thereof
KR102169563B1 (en) 2019-09-25 2020-10-23 (주)에스에이치팩 Method for manufacturing hydraulic cylinder rod

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