KR20060120886A - 액정표시장치, 그에 사용되는 칼라필터기판 및 이의제조방법 - Google Patents

액정표시장치, 그에 사용되는 칼라필터기판 및 이의제조방법 Download PDF

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KR20060120886A
KR20060120886A KR1020050043121A KR20050043121A KR20060120886A KR 20060120886 A KR20060120886 A KR 20060120886A KR 1020050043121 A KR1020050043121 A KR 1020050043121A KR 20050043121 A KR20050043121 A KR 20050043121A KR 20060120886 A KR20060120886 A KR 20060120886A
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Abstract

본 발명은 제조공정이 단순하고 재료비를 절감할 수 있는 액정표시장치, 그에 사용되는 칼라필터기판 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명은 박막트랜지스터기판과, 제1 내지 제3칼라필터 및 컬럼스페이서가 형성된 칼라필터기판을 포함하는 액정표시장치에 있어서, 상기 컬럼스페이서는 상기 제3칼라필터와 동일 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치, 그에 사용되는 칼라필터기판 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
액정표시장치, 칼라필터기판, 컬럼스페이서, 제3칼라필터, 셀갭, 부분노광

Description

액정표시장치, 그에 사용되는 칼라필터기판 및 이의 제조방법{A LCD DEVICE, A COLOR FILTER PLATE USED IN THIS AND A FABRICATING METHOD WITH THE SAME}
도1은 본 발명의 제1실시예에 따른 액정표시장치의 사시도이고,
도2는 본 발명의 제1실시예에 따른 액정표시장치의 단면도이고,
도3a 내지 도3g는 본 발명의 제1실시예에 따른 칼라필터기판의 제조방법을 나타내는 공정단면도이고,
도4는 본 발명의 제2실시예에 따른 액정표시장치의 단면도이고,
도5a 내지 도5f는 본 발명의 제1 및 제2실시예에 따른 액정표시장치의 제1 내지 제6실시예에 따른 칼라필터의 배열 순서를 나타내는 도면이다.
<도면의 주요 부분에 대한 설명>
10 : 액정표시장치 100 : 박막트랜지스터기판
150 : 액정 160 : 칼라필터기판
170 : 블랙 매트릭스 175 : 적색칼라필터
176 : 녹색칼라필터 177 : 청색칼라필터
180 : 컬럼스페이서 185 : 공통전극
본 발명은 액정표시장치, 그에 사용되는 칼라필터기판 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 특히 제조공정이 단순하고 재료비를 절감할 수 있는 액정표시장치, 그에 사용되는 칼라필터기판 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
액정표시장치는 박막트랜지스터기판과 칼라필터기판 사이에 주입되어 있는 유전율 이방성을 갖는 액정에 전계를 인가하고 이 전계의 세기를 조절하여 기판에 투과되는 광의 양을 조절함으로써 원하는 화상을 얻는 장치이다.
이러한 액정표시장치는 박막트랜지스터기판과 칼라필터기판 사이의 셀갭(Cell Gap)을 유지하기 위해 스페이서(spacer)를 포함한다. 이 스페이서로 볼(ball)형태의 볼스페이서를 사용하기도 하지만 이 경우 볼스페이서 주위에서 발생하는 빛샘 불량 등 때문에 최근에는 칼라필터상에 포함된 컬럼스페이서(Column Spacer)를 사용하는 추세이다.
그러나, 기존에는 외부 광차단 및 박막트랜지스터의 광누설 전류를 막기 위한 블랙 매트릭스와, 디스플레이의 색을 구현하기 위한 제1 내지 제3칼라필터와, 컬럼스페이서를 포함한 칼라필터기판은 제1 내지 제3 칼라필터를 형성한 후에 컬럼스페이서를 형성한다. 이 때, 칼라필터를 형성하기 위한 마스크와 컬럼스페이서를 형성하기 위한 마스크를 각각 제작하여야 하는 문제점이 있다.
그리고, 제1 내지 제3칼라필터와 컬럼스페이서를 각기 다른 물질로 형성하기 때문에 재료비가 상승하게 되며 각기 다른 제조공정 때문에 제조시간이 증가하게 된다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 제조공정이 단순하고 재료비를 절감할 수 있는 액정표시장치, 그에 사용되는 칼라필터기판 및 이의 제조방법을 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 박막트랜지스터기판과, 제1 내지 제3칼라필터 및 컬럼스페이서가 형성된 칼라필터기판을 포함하는 액정표시장치에 있어서, 상기 컬럼스페이서는 상기 제3칼라필터와 동일 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치를 제공한다.
상기 컬럼스페이서와 상기 제3칼라필터는 높이가 다를 수 있다.
또한, 상기 컬럼스페이서는 상기 제1 및 제2칼라필터의 경계상에 형성되거나 상기 제1 내지 제2칼라필터의 경계를 제외한 나머지 영역상에 형성될 수 있다.
상기 칼라필터기판은 상기 컬럼스페이서가 형성된 영역을 제외하고 나머지 영역에 형성된 공통전극을 추가로 포함하며, 상기 박막트랜지스터기판은 상기 공통 전극에 대향하는 화소전극을 포함할 수 있다. 상기 박막트랜지스터기판은 공통전극과, 상기 공통전극에 나란히 형성된 화소전극을 포함할 수 있다.
그리고, 상기 제3칼라필터는 적색, 녹색, 청색칼라필터 중 어느 하나이다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 제1 내지 제3칼라필터와 컬럼스페이서를 포함하는 칼라필터기판에 있어서, 상기 컬럼스페이서는 상기 제3칼라필터와 동일 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 칼라필터기판을 제공한다.
상기 컬럼스페이서와 상기 제3칼라필터는 높이가 다를 수 있다.
또한, 상기 컬럼스페이서는 상기 제1 및 제2칼라필터의 경계상에 형성되거나 상기 제1 내지 제2칼라필터의 경계를 제외한 나머지 영역상에 형성될 수 있다.
상기 칼라필터기판은 상기 컬럼스페이서가 형성된 영역을 제외하고 나머지 영역에 형성된 공통전극을 추가로 포함할 수 있다.
그리고, 상기 제3칼라필터는 적색, 녹색, 청색칼라필터 중 어느 하나이다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 절연기판 위에 블랙 매트릭스를 형성하는 단계, 상기 블랙 매트릭스를 형성한 후에 제1칼라필터를 형성하는 단계, 상기 제1칼라필터를 형성한 후에 제2칼라필터를 형성하는 단계, 상기 제2칼라필터를 형성한 후에 제3칼라필터와 컬럼스페이서를 같은 재질로 동시에 형성하는 단계를 포함하는 칼라필터기판의 제조방법을 제공한다.
상기 제3칼라필터와 상기 컬럼스페이서를 같은 재질로 동시에 형성하는 단계는 상기 컬럼스페이서의 높이와 상기 제3칼라필터의 높이가 다르도록 형성하는 단계를 포함하는 단계일 수 있다.
또한, 상기 제3칼라필터와 상기 컬럼스페이서를 같은 재질로 동시에 형성하는 단계는 감광성을 가지는 제3칼라층을 도포하는 단계, 부분노광마스크를 위치시켜 제3칼라층을 노광하는 단계, 상기 컬럼스페이서와 상기 제3칼라필터가 형성되도록 상기 제3칼라층을 현상하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 제3칼라필터와 상기 컬럼스페이서를 같은 재질로 동시에 형성하는 단계 후에 상기 컬럼스페이서가 형성된 영역을 제외하고 나머지 영역에 형성된 공통전극을 형성하는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
그리고, 상기 제1칼라필터를 형성하는 단계는 적색, 녹색, 청색칼라필터 중 어느 하나를 형성하는 단계이고, 상기 제2칼라필터를 형성하는 단계는 상기 적색, 녹색, 청색칼라필터 중 상기 제1칼라필터에서 형성된 칼라필터를 제외한 나머지 두 개의 칼라필터 중 어느 하나를 형성하는 단계이고, 상기 제3칼라필터를 형성하는 단계는 상기 적색, 녹색, 청색칼라필터 중 상기 제1 및 제2칼라필터에서 형성된 칼라필터를 제외한 나머지 한 개의 칼라필터를 형성하는 단계이다.
그러면, 도면을 참조하여 본 발명에 대해 설명한다.
도1은 본 발명의 제1실시예에 따른 액정표시장치의 사시도이고, 도2는 본 발명의 제1실시예에 따른 액정표시장치의 단면도이다.
도1 및 도2를 참조하면, 액정표시장치(10)는 박막트랜지스터기판(100)과 칼라필터기판(160) 및 그 사이의 액정(150)을 구비한다.
박막트랜지스터기판(100)은 절연기판(105), 게이트전극(110), 게이트 절연막(115), 비정질 반도체층(120), 불순물이 도핑된 비정질 반도체층(125, 126), 소스 전극(130), 드레인전극(131), 보호막(135), 화소전극(140)을 구비한다.
게이트전극(110)은 유리나 플라스틱 등과 같은 절연기판(105) 위에 형성되며 게이트라인을 통해 게이트전압을 인가받아 박막트랜지스터를 동작시킨다. 게이트전극(110)은 Cr 또는 Cr합금, Al합금, Mo 또는 Mo합금, Cu 또는 Cu합금 등의 금속으로 단일층 또는 이중층 이상으로 형성한다.
게이트전극(110)과 절연기판(105) 위에는 게이트전극(110)과 데이터전극(130, 131)과의 절연을 위해 게이트 절연막(115)이 형성되어 있다. 게이트 절연막(115)은 SiNx 나 SiOx 등과 같은 투명한 물질로 형성한다. 이 때, 게이트전극(110)의 두께 때문에 게이트 절연막(115)이 끊어질 수 있으므로 두껍게 형성되도록 하는 것이 바람직하다.
게이트 절연막(115) 위에는 박막트랜지스터의 전하 이동경로인 채널을 형성하는 비정질 반도체층(120)이 형성되어 있으며 그 위에 전기적 저항층인 불순물이 도핑된 비정질 반도체층(125, 126)이 형성되어 있다. 이 때, 불순물이 도핑된 비정질 반도체층(125, 126)이 완전히 분리되도록 비정질 반도체층(120)의 채널부는 약간 오버에칭(over etching)되는 것이 바람직하다.
불순물이 도핑된 비정질 반도체층(125, 126)위에는 데이터라인을 통해 데이터전압을 인가받는 소스전극(130) 및 데이타 전압을 화소전극(140)에 전달하는 드레인전극(131)이 형성되어 있다. 소스전극(130)과 드레인전극(131)은 Cr 또는 Cr합금, Al합금, Mo 또는 Mo합금, Cu 또는 Cu합금 등의 금속으로 단일층 또는 이중층 이상으로 형성한다.
소스전극(130), 드레인전극(131), 비정질 반도체층(120), 게이트 절연막(115) 위에는 박막트랜지스터의 채널부를 보호하기 위한 절연층인 보호막(135)이 형성되어 있다. 보호막(135)은 SiNx나 유기절연막 등으로 단일막 또는 이중막 이상으로 형성한다.
보호막(135) 위에는 액정(150)에 화소전압을 인가하는 화소전극(140)이 형성되어 있다. 화소전극(140)은 ITO(Indium Tin Oxide)나 IZO(Indium Zinc Oxide) 등과 같은 투명한 금속으로 형성하며 보호막(135)에 형성된 콘택홀(136)을 통해 소스전극(131)과 전기적으로 연결되어 데이터전압을 인가받는다.
한편, 칼라필터기판(160)은 절연기판(165), 블랙 매트릭스(170), 칼라필터(175, 176, 177), 컬럼스페이서(180), 공통전극(185)을 구비한다.
유리나 플라스틱 등과 같은 절연기판(165) 위에 외부광 차단 및 박막트랜지스터의 광누설전류를 막기 위한 블랙 매트릭스(170)가 형성되어 있다. 블랙 매트릭스(170)는 Cr 등과 같은 금속이나 고분자 수지 등을 이용하여 형성하며 단일층 또는 이중층 이상으로 형성한다.
블랙 매트릭스(170)와 절연기판(165) 위에는 디스플레이의 색을 표현하기 위한 적색칼라필터(175)와 녹색칼라필터(176)와 청색칼라필터(177)가 형성되어 있다.
컬럼스페이서(180)는 적색, 녹색, 청색칼라필터(175, 176, 177) 중 제조공정상 마지막으로 형성되는 칼라필터와 동일 재질로 형성된다. 예를 들어, 적색, 녹색, 청색칼라필터(175, 176, 177) 중 청색칼라필터(177)가 제조공정상 마지막에 형성되는 경우 컬럼스페이서(180)는 청색칼라필터(177)와 같은 재질로 적색칼라필터 (175)와 녹색칼라필터(176)의 경계상에 형성된다. 여기서, 컬럼스페이서(180)는 적색칼라필터(175)와 녹색칼라필터(176)의 경계를 제외한 나머지 영역상에 형성될 수 있다.
컬럼스페이서(180)는 청색칼라필터(177)의 높이가 다르게 형성된다. 즉, 청색칼라필터(177)의 높이는 적색, 녹색칼라필터(175, 176)의 높이와 동일하며 컬럼스페이서(180)는 셀갭 유지를 위해 컬럼스페이서의 상부영역(181)이 박막트랜지스터기판(160)에 접촉하도록 하는 높이를 가진다.
각각의 칼라필터(175, 176, 177) 위에는 액정(150)에 전압을 인가하기 위한 공통전극(185)이 형성되어 있다. 공통전극(185)은 화소전극(140)과 마찬가지로 ITO나 IZO 등과 같은 투명한 도전성 금속으로 형성한다. 이 때, 박막트랜지스터기판(100)과 칼라필터기판(160)이 컬럼스페이서(180)에 의해 전기적으로 연결되지 않도록 컬럼스페이서(180)의 상부영역(181)에는 공통전극(185)의 패턴이 없도록 하는 것이 바람직하다.
박막트랜지스터기판(100)과 칼라필터기판(160) 사이에는 액정(150)이 주입되어 있다. 이 액정(150)은 유전율 이방성과 굴절율 이방성을 갖고 있어서 화소전극(140)의 화소전압과 공통전극(185)의 공통전압의 차에 의해 광을 조절하여 화상을 디스플레이 한다.
다음으로는, 본 발명의 제1실시예에 따른 칼라필터기판의 제조방법을 나타내는 공정단면도인 도3a 내지 도3g에 대해 설명한다.
도3a를 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 칼라필터기판은 먼저 유리나 플라스틱 등과 같은 절연기판(165) 위에 외부 광 차단 및 박막트랜지스터의 광누설전류를 막기 위한 블랙 매트릭스(170)를 형성한다. 블랙 매트릭스(170)는 Cr 등과 같은 금속층이나 고분자 수지층을 증착하여 단일층 또는 이중층 이상으로 블랙층을 형성한 후 제1마스크를 이용한 사진식각공정을 통해 블랙 매트릭스(170)를 형성한다.
도3b를 참조하면, 블랙 매트릭스(170)를 형성한 후, 감광성을 가지는 적색칼라층을 도포하여 제2마스크를 이용한 사진공정을 통해 제1칼라필터인 적색칼라필터(175)를 형성한다. 이 때, 적색칼라층은 음의 감광성을 가지며 후술될 녹색, 청색칼라층들도 음의 감광성을 가진다.
도3c를 참조하면, 적색칼라필터(175)를 형성한 후, 감광성을 가지는 녹색칼라층을 도포하여 제3마스크를 이용한 사진공정을 통해 제2칼라필터인 녹색칼라필터(176)를 형성한다.
도3d를 참조하면, 녹색칼라필터(176)를 형성한 후, 감광성을 가지는 청색칼라층(178)을 스핀 코팅(spin coating)을 통하여 도포한다.
도3e를 참조하면, 청색칼라층(178)을 도포한 후, 제4마스크(250)인 부분노광마스크를 위치시켜 노광한다. 여기서, 부분노광마스크는 슬릿 패턴을 가지는 회절노광마스크이다. 부분노광마스크로써 반투과층을 가지는 반투과마스크를 사용할 수도 있다.
회절노광마스크인 제4마스크(250)는 투명한 기판(251)과 그 아래에 형성된 광차단층(252)으로 이루어진다. 광차단층(252)은 일부는 제거되어 있고 일부는 슬 릿패턴으로 형성되어 있으며 이 슬릿패턴은 노광기의 분해능보다 작은 크기로 형성하여 회절노광이 가능하도록 하여야 한다. 즉, 제4마스크(250)는 광이 완전히 차단되어 현상 후 청색칼라층(178)이 완전히 제거되는 영역(A1), 광이 전혀 차단되지 않아 현상 후 청색칼라층(178)이 전혀 제거되지 않고 남아있는 영역(A2), 슬릿패턴에 의해 광이 일부 차단되어 현상 후 청색칼라층(178)이 약간 제거되고 일부 남아있는 영역(A3)으로 이루어진다.
도3f를 참조하면, 청색칼라층(178)을 노광한 후에 현상하면 제3칼라필터인 청색칼라필터(177)와 컬럼스페이서(180)가 형성된다. 이로써, 컬럼스페이서(180)를 청색칼라필터(177)와 동일한 재질인 청색칼라층(178)으로 동시에 형성할 수 있다. 즉, 컬럼스페이서(180)는 적색, 녹색, 청색칼라필터(175, 176, 177) 중 제조공정상 마지막으로 형성되는 칼라필터인 청색칼라필터(177)와 같은 재질로 동시에 형성된다.
만약, 컬럼스페이서(180)를 제1칼라필터인 적색칼라필터(175)와 같은 재질로 동시에 형성하게 되면, 이후 형성되는 제2 및 제3칼라필터 혹은 녹색칼라필터(176)와 청색칼라필터(177)의 두께가 불균일해진다. 즉, 컬럼스페이서(180)가 형성된 기판상에 녹색칼라층과 청색칼라층 각각을 도포하게 되면, 컬럼스페이서(180)의 높이 때문에 컬럼스페이서(180)와 인접한 영역에는 녹색칼라층과 청색칼라층이 불균일하게 도포된다.
이로 인해, 얼룩 및 각 영역에서의 휘도차 등이 발생되므로 컬럼스페이서(180)는 제조공정상 마지막으로 형성되는 청색칼라필터(177)와 같은 재질로 동시에 형성하는 것이 바람직하다. 마찬가지로 컬럼스페이서(180)를 제2칼라필터인 녹색칼라필터(176)와 같은 재질로 동시에 형성하는 경우에도 상술한 내용과 같은 불량이 발생한다.
또한, 컬럼스페이서(180)를 적색, 녹색, 청색칼라필터(175, 176, 177)를 순차적으로 적층하여 형성하는 경우, 공정관리상 각각의 칼라필터(175, 176, 177)를 형성할 때마다 순차적으로 형성되는 컬럼스페이서(180)의 두께관리를 해야 한다. 즉, 세 번에 걸쳐 컬럼스페이서(180)의 두께 관리를 해야하는 문제점이 발생하기 때문에 컬럼스페이서(180)는 하나의 칼라필터 즉, 제조공정상 마지막으로 형성되는 청색칼라필터(177)를 형성할 때 같은 재질로 동시에 형성하는 것이 바람직하다.
도3g를 참조하면, 청색칼라필터(177)와 컬럼스페이서(180)를 같은 재질로 동시에 형성한 후, ITO나 IZO 같은 투명한 금속을 도포한 후 제5마스크를 이용한 사진식각공정을 통해 공통전극(185)을 형성한다. 이 때, 박막트랜지스터기판과 칼라필터기판이 컬럼스페이서(180)에 의해 전기적으로 연결되지 않도록 컬럼스페이서의 상부영역(181)에는 공통전극(185)의 패턴이 없도록 하는 것이 바람직하다.
한편, 블랙 매트릭스(170)가 Cr 등과 같은 금속층으로 형성되었을 경우에는 청색칼라필터(177)와 컬럼스페이서(180)를 형성한 후 공통전극(185)을 형성하기 전에 각각의 칼라필터(175, 176, 177)의 상부영역을 평탄화하기 위해 오버코트(overcoat)층을 형성하는 것이 바람직하다. 그러나, 블랙 매트릭스(170)가 고분자 수지로 형성되었을 경우에는 오버코트층을 형성하지 않을 수 있다.
다음으로는 본 발명의 제2실시예에 따른 액정표시장치의 단면도인 도4에 대 해 설명한다.
도4를 참조하면, 액정표시장치(10)는 박막트랜지스터기판(100)과 칼라필터기판(160) 및 그 사이의 액정(150)을 구비한다.
박막트랜지스터기판(100)은 절연기판(105), 게이트전극(110), 게이트 절연막(115), 비정질 반도체층(120), 불순물이 도핑된 비정질 반도체층(125, 126), 소스전극(130), 드레인전극(131), 보호막(135), 화소전극(140)을 구비한다.
절연기판(105), 게이트전극(110), 게이트 절연막(115), 비정질 반도체층(120), 불순물이 도핑된 비정질 반도체층(125, 126), 소스전극(130), 드레인전극(131), 보호막(135)은 제1실시예와 동일하다.
보호막(135) 위에는 액정(150)에 화소전압을 인가하는 화소전극(140)이 형성되어 있다. 화소전극(140)은 ITO(Indium Tin Oxide)나 IZO(Indium Zinc Oxide) 등과 같은 투명한 금속으로 형성하며 보호막(135)에 형성된 콘택홀(136)을 통해 소스전극(131)과 전기적으로 연결되어 데이터전압을 인가받는다.
한편, 보호막(135) 위에는 화소전극(140)에 대응하여 액정(150)에 공통전압을 인가하는 공통전극(145)이 형성되어 있다. 공통전극(145)은 화소전극(140)과 마찬가지로 ITO 나 IZO 등과 같은 투명한 금속으로 형성하여 공통전극배선을 통해 공통전압을 인가받는다. 이 공통전극(145)은 화소전극(140)과 나란하게 형성되어 수평전계를 형성한다.
칼라필터기판(160)은 절연기판(165), 블랙 매트릭스(170), 적색, 녹색, 청색칼라필터(175, 176, 177), 컬럼스페이서(180)를 구비한다.
절연기판(165), 블랙 매트릭스(170), 적색, 녹색, 청색칼라필터(175, 176, 177), 컬럼스페이서(180)는 제1실시예와 동일하지만 박막트랜지스터기판(100) 상에 공통전극(145)이 형성되어 있기 때문에 칼라필터기판(160)에는 공통전극(145)이 없다.
다음으로는, 스트라이프 형태의 칼라필터기판의 칼라배열 순서에 대해 설명한다.
도5a 내지 도5f는 본 발명의 제1 및 제2실시예에 따른 액정표시장치의 제1 내지 제6실시예의 칼라필터의 배열 순서를 나타내는 도면이다.
제1실시예인 도5a의 경우, 제1칼라필터는 적색칼라필터(310)로 제2칼라필터는 녹색칼라필터(320)로 제3칼라필터는 청색칼라필터(330)로 형성된다. 제2실시예인 도5b의 경우, 적색, 청색, 녹색칼라필터(310, 320, 330)의 순서로 배열된다. 제3실시예인 도5c의 경우, 녹색, 청색, 적색칼라필터(310, 320, 330)의 순으로 배열된다. 제4실시예인 도5d의 경우, 녹색, 적색, 청색칼라필터(310, 320, 330)의 순으로 배열된다. 제5실시예인 도5e의 경우, 청색, 녹색, 적색칼라필터(310, 320, 330)의 순으로 배열된다. 제6실시예인 도5f의 경우, 청색, 적색, 녹색칼라필터(310, 320, 330)의 순으로 배열된다. 또한, 제1 내지 제6실시예 각각은 적색, 녹색, 청색칼라필터가 하나의 화소군(340)을 이루며 연속적으로 배치된다.
도5a 내지 도5f에서 본 바와 같이, 스트라이프 형태의 칼라필터기판은 적색, 녹색, 청색칼라필터의 순서를 임의적으로 하여 제조할 수 있으며 각각의 경우 컬럼스페이서는 제3칼라필터와 같은 재질로 동시에 형성할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 액정표시장치, 그에 사용되는 칼라필터기판 및 이의 제조방법은 제3칼라필터와 같은 재질로 동시에 형성된 컬럼스페이서를 구비한다.
이와 같이 하면 컬럼스페이서를 형성하기 위한 마스크를 따로 제작할 필요가 없으며 제3칼라필터를 형성하기 위한 마스크를 사용하여 컬럼스페이서를 제조할 수 있다. 즉, 제조공정을 단순화할 수 있으며 재료비를 절감시킬 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허청구범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.

Claims (18)

  1. 박막트랜지스터기판과, 제1 내지 제3칼라필터 및 컬럼스페이서가 형성된 칼라필터기판을 포함하는 액정표시장치에 있어서,
    상기 컬럼스페이서는 상기 제3칼라필터와 동일 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 컬럼스페이서와 상기 제3칼라필터는 높이가 다른 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 컬럼스페이서는 상기 제1 및 제2칼라필터의 경계상에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 컬럼스페이서는 상기 제1 내지 제2칼라필터의 경계를 제외한 나머지 영역상에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 칼라필터기판은 상기 컬럼스페이서가 형성된 영역을 제외하고 나머지 영역에 형성된 공통전극을 추가로 포함하며,
    상기 박막트랜지스터기판은 상기 공통전극에 대향하는 화소전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 박막트랜지스터기판은 공통전극과,
    상기 공통전극에 나란히 형성된 화소전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제3칼라필터는 적색, 녹색, 청색칼라필터 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  8. 제1 내지 제3칼라필터와 컬럼스페이서를 포함하는 칼라필터기판에 있어서,
    상기 컬럼스페이서는 상기 제3칼라필터와 동일 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 칼라필터기판.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 컬럼스페이서와 상기 제3칼라필터는 높이가 다른 것을 특징으로 하는 칼라필터기판.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 컬럼스페이서는 상기 제1 및 제2칼라필터의 경계상에 형성되는 것을 특징으로 하는 칼라필터기판.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 컬럼스페이서는 상기 제1 내지 제2칼라필터의 경계를 제외한 나머지 영역상에 형성되는 것을 특징으로 하는 칼라필터기판.
  12. 제8항에 있어서,
    상기 칼라필터기판은 상기 컬럼스페이서가 형성된 영역을 제외하고 나머지 영역에 형성된 공통전극을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 칼라필터기판.
  13. 제8항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제3칼라필터는 적색, 녹색, 청색칼라필터 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 칼라필터기판.
  14. 절연기판 위에 블랙 매트릭스를 형성하는 단계;
    상기 블랙 매트릭스를 형성한 후에 제1칼라필터를 형성하는 단계;
    상기 제1칼라필터를 형성한 후에 제2칼라필터를 형성하는 단계;
    상기 제2칼라필터를 형성한 후에 제3칼라필터와 컬럼스페이서를 같은 재질로 동시에 형성하는 단계를 포함하는 칼라필터기판의 제조방법.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 제3칼라필터와 상기 컬럼스페이서를 같은 재질로 동시에 형성하는 단계는 상기 컬럼스페이서의 높이와 상기 제3칼라필터의 높이가 다르도록 형성하는 단계를 포함하는 단계인 것을 특징으로 하는 칼라필터기판의 제조방법.
  16. 제14항에 있어서,
    상기 제3칼라필터와 상기 컬럼스페이서를 같은 재질로 동시에 형성하는 단계는 감광성을 가지는 제3칼라층을 도포하는 단계;
    부분노광마스크를 위치시켜 제3칼라층을 노광하는 단계;
    상기 컬럼스페이서와 상기 제3칼라필터가 형성되도록 상기 제3칼라층을 현상하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 칼라필터기판의 제조방법.
  17. 제14항에 있어서,
    상기 제3칼라필터와 상기 컬럼스페이서를 같은 재질로 동시에 형성하는 단계 후에 상기 컬럼스페이서가 형성된 영역을 제외하고 나머지 영역에 형성된 공통전극을 형성하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 칼라필터기판의 제조방 법.
  18. 제14항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1칼라필터를 형성하는 단계는 적색, 녹색, 청색칼라필터 중 어느 하나를 형성하는 단계이고;
    상기 제2칼라필터를 형성하는 단계는 상기 적색, 녹색, 청색칼라필터 중 상기 제1칼라필터에서 형성된 칼라필터를 제외한 나머지 두 개의 칼라필터 중 어느 하나를 형성하는 단계이고;
    상기 제3칼라필터를 형성하는 단계는 상기 적색, 녹색, 청색칼라필터 중 상기 제1 및 제2칼라필터에서 형성된 칼라필터를 제외한 나머지 한 개의 칼라필터를 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 칼라필터기판의 제조방법.
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