KR20070077702A - 표시 장치 및 그 형성 방법 - Google Patents

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KR20070077702A
KR20070077702A KR1020060007428A KR20060007428A KR20070077702A KR 20070077702 A KR20070077702 A KR 20070077702A KR 1020060007428 A KR1020060007428 A KR 1020060007428A KR 20060007428 A KR20060007428 A KR 20060007428A KR 20070077702 A KR20070077702 A KR 20070077702A
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이상헌
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김병주
손경근
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삼성전자주식회사
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Abstract

표시 장치 및 그 형성 방법이 제공된다. 상기 표시 장치의 형성 방법은 기판 상에 절연막을 개재하여 서로 교차하는 게이트 라인 및 데이터 라인을 형성하고, 상기 기판 전면에 양성형 감광막을 형성하는 것을 포함한다. 상기 기판의 배면을 노광한 후 현상하여 제1 개구부를 갖는 감광막 패턴을 형성하고, 상기 제1 개구부에 컬러 필터를 형성한다. 다시, 상기 기판의 전면을 노광한 후 현상하여 제2 개구부를 형성하고, 상기 제2 개구부에 블랙 매트릭스를 형성한다.
표시 장치, COA 구조, 컬러 필터, 블랙 매트릭스

Description

표시 장치 및 그 형성 방법{DISPLAY DEVICE AND METHOD FOR FORMING THE SAME}
도 1은 통상적인 COA 구조의 액정 표시 장치를 개략적으로 보여주는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 COA 구조의 액정 표시 장치의 평면도이다.
도 3은 도 2의 Ⅰ-Ⅰ라인을 따라 취해진 단면도이다.
도 4a 내지 도 4f는 본 발명의 일 실시예에 따른 COA 구조의 액정 표시 장치의 형성 방법을 설명하기 위한 것으로 도 2의 Ⅱ-Ⅱ라인을 따라 취해진 단면도들이다.
♧ 도면의 주요부분에 대한 참조번호의 설명 ♧
110 : 기판 112 : 게이트 라인
118 : 스토리지 전극 120 : 게이트 절연막
132 : 데이터 라인 134 : 소오스 전극
136 : 드레인 전극 142,144,146 : 컬러 필터
150 : 화소 전극 160 : 블랙 매트릭스
본 발명은 표시 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 컬러 필터 및 블랙 매트릭스를 포함하는 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
일반적으로 평판 표시 장치(FPD:flat panel display)란 두께가 얇고 평평한 화면을 제공하는 표시 장치로, 대표적으로 노트북 컴퓨터 모니터로 널리 쓰이는 액정 표시 장치(LCD:liquid crystal display device), 대형 디지털 텔레비전으로 사용되는 플라즈마 디스플레이(PDP:plasma display panel), 또는 휴대전화에 사용되는 유기 전계발광 디스플레이(OELD:organic electroluminescent display) 등이 있다.
액정 표시 장치는 인가 전압에 따라 액체와 결정의 중간 상태 물질인 액정(liquid crystal)의 광투과도가 변화하는 특성을 이용하여, 전기 신호를 시각 정보로 변화시켜 영상을 표시한다. 통상의 액정 표시 장치는 전극이 구비된 두 개의 기판과 두 기판 사이에 개재된 액정층으로 구성된다. 이와 같은 액정 표시 장치는 동일한 화면 크기를 갖는 다른 표시 장치에 비하여 무게가 가볍고 부피가 작으며 작은 전력으로 동작한다.
일반적으로 이러한 액정 표시 장치의 두 기판은 박막 트랜지스터와 화소 전극이 형성되는 어레이 기판과 컬러 필터와 공통 전극이 형성되는 컬러 필터 기판으로 구분되는데, 기판을 형성하는 과정에서 어레이 기판과 컬러 필터 기판의 오정렬(misalign)이 발생하여 빛샘과 같은 불량이 발생할 수 있다. 이를 방지하기 위해 서 컬러 필터 기판의 블랙 매트릭스의 폭을 넓게 형성할 수는 있지만, 이러한 경우 액정 표시 장치의 개구율이 낮아지게 된다.
따라서, 액정 표시 장치의 오정렬을 방지하고 개구율을 향상시키기 위해서 컬러 필터를 어레이 기판 상에 형성하는 방법이 제시되었는데, 이러한 구조를 COA(color filter on array) 구조라고 한다.
도 1은 통상적인 COA 구조의 액정 표시 장치를 개략적으로 보여주는 단면도이다. 도 1을 참조하면, 투명한 절연 기판(10) 상에 게이트 전극(14)과 스토리지 전극(18)이 위치한다. 게이트 절연막(20)이 기판(10) 전면을 덮는다. 게이트 절연막(20) 상에 비정질의 실리콘으로 형성된 반도체층(26)이 위치한다. 반도체층(26)은 액티브층(22)과 불순물 이온이 주입된 오믹 콘택층(24)을 포함한다. 반도체층(26) 상에 소오스/드레인 전극(34,36) 및 데이터 라인(32)이 위치한다. 드레인 전극(36)이 스토리지 전극(18) 상부로 확장된다. 보호막(40)이 기판(10) 전면을 덮는다. 보호막(40) 상에 컬러 필터(42,44,46)가 형성된다. 일반적으로 컬러 필터는 적색 필터(42), 녹색 필터(44), 청색 필터(46)로 구성된다. 이렇게 세가지 컬러 필터(42,44,46)를 형성하기 위해서는 세 번의 사진 공정을 진행하여야 한다. 또한, 화소 전극(50)을 스토리지 전극(18) 상의 드레인 전극(36)에 연결하기 위한 개구부(94)을 형성하는데에도 사진 공정이 필요하다.
액정 표시 장치를 제조함에 있어서, 사진 공정은 생산성이나 비용면에서 중용한 영향을 미친다. 즉, 사진 공정의 수를 감소시키는 것은 생산성 향상과 비용 절감을 의미한다. 따라서, 최근에 사진 공정의 수를 감소시키기 위한 연구가 활발 히 진행되고 있으며, 컬러 필터를 제조하는데 있어서도 마찬가지이다.
이러한 관점에서 현재 가장 주목받는 컬러 필터의 제조 방식은 잉크젯 방식이다. 잉크젯 방식은 사진 공정이 필요 없어 공정을 단순화할 수 있으며, 생산성을 향상시킬 수 있다. 그러나, 잉크젯 방식에서는 잉크의 특성상 격벽이 있어야만 잉크가 분사될 수 있다. 격벽이 없으면, 잉크가 건조되기 전에 흘러내려 컬러 필터를 형성할 수 없다. 또한, 화소 전극과 드레인 전극을 전기적으로 연결하기 위해서는 개구부가 필요하다. 그러나, 종래의 잉크젯 방식으로는 개구부를 형성할 수 없다.
본 발명은 이상에서 언급한 상황을 고려하여 제안된 것으로, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 신뢰성이 향상된 표시 장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 제조 공정이 단순화된 표시 장치의 형성 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 형성 방법은 기판 상에 절연막을 개재하여 서로 교차하는 게이트 라인 및 데이터 라인을 형성하고, 상기 기판 전면(全面)에 양성형(positive type) 감광막을 형성하고, 상기 기판의 배면(背面)을 노광한 후 현상하여 제1 개구부를 갖는 감광막 패턴을 형성하고, 상기 제1 개구부에 컬러 필터를 형성하고, 상기 감광막 패턴을 제거하여 제2 개구부를 형성하고, 상기 제2 개구부에 블랙 매트릭스를 형성하는 것을 포함한다.
이 실시예에서, 상기 감광막 패턴은 상기 게이트 라인 및 데이터 라인에 대응하는 위치에 형성될 수 있다.
이 실시예에서, 상기 컬러 필터는 잉크젯 방식으로 형성될 수 있다.
이 실시예에서, 상기 감광막 패턴을 제거하는 것은 상기 기판의 전면(前面)을 노광한 후 현상하여 이루어질 수 있다.
이 실시예에서, 상기 블랙 매트릭스는 잉크젯 방식으로 형성될 수 있으며, 그 상부면의 높이는 상기 컬러 필터의 상부면보다 낮거나 동일하게게 형성될 수 있다.
이 실시예에서, 상기 게이트 라인 및 데이터 라인의 교차에 의해 화소 영역이 정의되며, 상기 표시 장치의 형성 방법은 상기 게이트 라인을 형성할 때, 상기 화소 영역에 스토리지 전극을 형성하고, 상기 게이트 라인 및 데이터 라인이 교차하는 영역에 박막 트랜지스터를 구성하는 소오스 전극 및 드레인 전극을 형성하는 것을 더 포함할 수 있다. 이때, 상기 드레인 전극은 상기 스토리지 전극 상부까지 확장되어 형성될 수 있다. 상기 게이트 라인 및 데이터 라인에 상기 감광막 패턴이 형성될 때, 상기 스토리지 전극 상에도 감광막 패턴이 형성될 수 있다. 한편, 상기 표시 장치의 형성 방법은 상기 감광막 패턴을 제거하여 제2 개구부를 형성할 때, 상기 스토리지 전극 상에 상기 드레인 전극을 노출시키는 제3 개구부를 형성하는 것을 더 포함할 수 있다. 이때 상기 제3 개구부에는 블랙 매트릭스가 형성되지 않을 수 있다. 또한, 상기 표시 장치의 형성 방법은 상기 화소 영역에 화소 전극을 형성하는 것을 더 포함할 수 있으며, 상기 화소 전극은 상기 제3 개구부를 통해 상기 드레인 전극과 전기적으로 연결될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치는 기판, 상기 기판 상에 절연막을 개재하여 서로 교차하는 게이트 라인 및 데이터 라인, 상기 게이트 라인 및 데이터 라인에 대응되도록 위치하는 블랙 매트릭스, 및 상기 블랙 매트릭스 사이의 개구부에 위치하며, 상기 블랙 매트릭스에 자기정렬된 컬러 필터를 포함한다.
이 실시예에서, 상기 블랙 매트릭트의 상부면의 높이는 상기 컬러 필터의 상부면보다 낮거나 동일할 수 있다.
이 실시예에서, 상기 게이트 라인 및 데이터 라인의 교차에 의해 화소 영역이 정의되며, 상기 게이트 라인 및 데이터 라인이 교차하는 영역에 위치하는 박막 트랜지스터와 상기 화소 영역에 위치하는 스토리지 전극을 더 포함할 수 있으며, 상기 박막 트랜지스터를 구성하는 드레인 전극은 상기 스토리지 전극 상부까지 확장되고, 상기 컬러 필터는 상기 스토리지 전극 상에 개구부를 가질 수 있다. 이에 더하여, 상기 화소 영역의 상기 컬러 필터 상에 형성된 화소 전극을 더 포함할 수 있으며, 상기 화소 전극은 상기 개구홈을 통해 상기 드레인 전극과 전기적으로 연결될 수 있다.
이하에서는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다.
본 명세서에서, 어떤 막이 다른 막 또는 기판 상에 있다고 언급되어지는 경우에 그것은 다른 막 또는 기판 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제3의 막이 개재될 수도 있다는 것을 의미한다. 또한, 제1, 제2 등의 용어가 다양한 개구부들을 기술하기 위해서 사용되었지만, 이들 개구부들이 이 같은 용어들에 의해서 한정되어서는 안 된다. 이러한 용어들은 단지 어느 소정의 개구부를 다른 개구부와 구별시키기 위해서 사용되었을 뿐이다. 또한 도면들에 있어서, 막 및 영역들의 두께는 명확성을 기하기 위하여 과장되게 표현될 수 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
(표시 장치의 구조)
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 COA 구조의 액정 표시 장치의 평면도이고, 도 3은 도 2의 Ⅰ-Ⅰ라인을 따라 취해진 단면도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 기판(110) 상에 게이트 절연막(120)을 개재하여 서로 교차하는 게이트 라인(112) 및 데이터 라인(132)이 배치된다. 데이터 라인(132)과 게이트 절연막(120) 사이에 반도체층(126)이 더 개재될 수 있다. 게이트 라인(112) 및 데이터 라인(132)의 교차에 의하여 화소 영역(P)이 정의된다. 화소 영역(P) 내에 스토리지 전극(118)이 배치된다. 스토리지 전극(118)은 공통 라인 (116)에 의해 서로 전기적으로 연결된다. 공통 라인(116) 및 게이트 라인(112)은 서로 이격되어 같은 방향으로 연장된다. 게이트 라인(112)에서 분기된 게이트 전극(114) 상에 게이트 절연막(120)을 개재하여 반도체층(126)이 위치한다. 반도체층(126)은 비정질실리콘으로 이루어질 수 있으며, 액티브층(122)과 불순물 이온이 주입된 오믹 콘택층(124)으로 구성된다. 오믹 콘택층(124)은 중앙부가 제거되어 두 개로 분리되며, 분리된 오믹 콘택층(124) 상에 각각 소오스 전극(134) 및 드레인 전극(136)이 위치한다. 소오스 전극(134)은 데이터 라인(132)에 연결되며, 드레인 전극(118)은 스토리지 전극(118) 상부까지 확장된다. 게이트 전극(114), 소오스 전극(134) 및 드레인 전극(136)은 박막 트랜지스터(T)를 구성한다.
보호막(140)이 스토리지 전극(118) 상부를 제외한 기판(110) 전면을 덮는다. 화소 영역(P)에는 컬러 필터(142,144,146)가 배치되고, 게이트 라인(112), 데이터 라인(132), 및 박막 트랜지스터(T) 상에 블랙 매트릭스(160)가 배치된다. 이렇게 블랙 매트릭스(160)가 어레이 기판에 형성됨으로써 개구율이 증가하고, 빛샘 현상이 방지된다.
블랙 매트릭스(160)의 상부면이 컬러 필터(142,144,146)의 상부면보다 높은 경우 블랙 매트릭스(160) 주위의 액정 분자들이 수직으로 배열될 수 없어, 대비비(contrast ration;CR)가 감소한다. 그러나, 본 발명의 실시예에서 블랙 매트릭스(160) 상부면의 높이는 컬리 필터(142,144,146)의 상부면보다 낮거나 동일할 수 있다. 따라서, 블랙 매트릭스(160)가 어레이 기판에 형성되어도 대비비가 개선될 수 있다.
컬러 필터(142,144,146) 상에 화소 전극(150)이 위치한다. 화소 전극(150)은 스토리지 전극(118) 상에 형성된 개구부(194)를 통하여 드레인 전극(136)과 전기적으로 연결된다.
(표시 장치의 형성 방법)
도 4a 내지 도 4f는 본 발명의 일 실시예에 따른 COA 구조의 액정 표시 장치의 형성 방법을 설명하기 위한 것으로 도 2의 Ⅱ-Ⅱ라인을 따라 취해진 단면도들이다.
도 4a를 참조하면, 기판(110) 상에 게이트 라인(미도시) 및 스토리지 전극(118)이 형성된다. 스토리지 전극(118)이 형성된 기판(110)을 덮는 게이트 절연막(120)이 형성된다. 게이트 절연막(120) 상에 데이터 라인(132)이 형성된다. 게이트 절연막(120) 및 데이터 라인(132) 사이에 반도체층(126)이 더 형성될 수 있다. 스토리지 전극(118) 상에 드레인 전극(136)이 형성된다. 상기 드레인 전극(136)은 박막 트랜지스터(미도시)에서 확장된 것이다. 이어서 기판(110)을 덮는 보호막(140)이 형성되고, 보호막(140)을 패터닝하여 스토리지 전극(118) 상의 드레인 전극(136)이 노출된다.
기판(110) 전면을 덮는 양성형 감광막(180)이 형성된다. 감광막(180)은 널리 알려진 박막형성 방법, 예컨대 스핀 온 코팅 방법을 사용하여 1.5㎛~3㎛의 두께로 형성될 수 있다. 다만, 감광막(180)은 후속 공정에서 형성되는 컬러 필터(도 4c 참조)보다는 높게 형성되어야 한다.
도 4b를 참조하면, 기판(110) 배면을 노광한 후 현상하여 감광막 패턴(182)이 형성된다. 기판(110)의 배면을 전부 노광하므로 별도의 마스크가 필요 없다. 또한, 노광은 간단한 자외선 처리 장비에 의해 이루어질 수 있다. 양성형 감광막은 빛을 받은 부분이 제거되므로, 감광막 패턴(182)은 데이터 라인(132) 및 스토리지 전극(118)에 의해 빛이 차단된 부분에만 형성된다. 또한, 공통 라인 및 드레인 전극(박막 트랜지스터에서 스토리지 전극까지 확장되는 부분)(도 3 참조) 상에도 감광막 패턴(182)이 형성될 수 있다. 빛이 차단되지 않은 부분에서는 감광막이 제거되고, 그 제거된 위치에 제1 개구부(184)가 형성된다.
도 4c를 참조하면, 잉크젯 방식을 사용하여 컬러 필터(142,144,146)가 형성된다. 즉, 컬러 필터(142,144,146)는 제1 개구부(184)에 컬러 잉크를 분사한 후 베이킹 공정을 진행하여 형성될 수 있다. 이때, 베이킹 공정은 소프트 베이킹(soft baking) 공정만으로 진행되거나, 소프트 베이킹 공정과 하드 베이킹(hard baking) 공정의 2단계로 진행될 수 있다. 컬러 필터(142,144,146)는 적색 필터(142), 녹색 필터(144), 및 청색 필터(146)로 이루어질 수 있다.
이러한 잉크젯 방식은 사진 공정이 필요 없어 공정을 단순화할 수 있고, 공정 비용 및 공정 시간을 절감할 수 있다. 따라서, 생산성이 향상된다. 또한, 컬러 필터(142,144,146)는 상호 간에 겹쳐지지 않으므로 그 상부면이 평평하게 형성될 수 있다. 이는 액정 분자들의 배열을 균일하게 하여 장치의 동작 특성을 향상시킨다.
도 4d를 참조하면, 기판(110) 전면을 노광한 후 현상하여 감광막 패턴(182) 이 제거된다. 그 제거된 위치에 제2 개구부(192) 및 제3 개구부(194)가 형성된다. 제2 개구부(192)는 데이터 라인(132) 상에 형성되고, 제3 개구부(194)는 스토리지 전극(118) 상에 형성된다. 공통 라인 및 드레인 전극(박막 트랜지스터에서 스토리지 전극까지 확장되는 부분) 상에도 보호막을 노출시키는 개구부가 형성될 수 있다. 제3 개구부(194)에 의해 드레인 전극(136)이 노출된다.
도 4e를 참조하면, 컬러 필터(142,144,146) 상에 화소 전극(150)이 형성된다. 화소 전극(150)은 인듐-주석-산화막(Indium Tin Oxide;ITO) 또는 인듐-아연-산화막(Indium Zinc Oxide;IZO)과 같은 투명한 도전 물질로 형성될 수 있다. 화소 전극(150)은 제3 개구부(194)를 통해 드레인 전극(136)과 전기적으로 연결된다.
도 4f를 참조하면, 제2 개구부(192)에 블랙 매트릭스(160)가 형성된다. 블랙 매트릭스(160)는 잉크젯 방식을 사용하여 빛을 차단할 수 있는 유기 물질로 형성될 수 있다. 블랙 매트릭스(160)는 제2 개구부(192) 내에 잉크를 분사하여 형성되기 때문에, 그 상부면은 컬러 필터(142,144,146)의 상부면과 동일한 높이로 형성되거나, 그보다 낮게 형성될 수 있다. 따라서, 컬러 필터(142,144,146) 위에 배치되는 액정 분자들이 균일하게 배열될 수 있다.
본 실시예에서는 화소 전극(150)을 패터닝한 후에 제2 개구부(192)에 블랙 매트릭스(160)가 형성된다. 그러나 이와 달리 기판(110) 전면에 인듐-주석-산화막 또는 인듐-아연-산화막과 같은 투명 도전막을 형성한 후 제2 개구부(192)에 블랙 매트릭스(160)가 형성될 수 있고, 이어서 투명 도전막을 패터닝하여 화소 전극(150)이 형성될 수 있다. 또한, 제2 개구부(192)에 블랙 매트릭스(160)가 형성될 때, 제3 개구부(194) 또는 공통 라인 및 드레인 전극(박막 트랜지스터에서 스토리지 전극까지 확장되는 부분) 상에 형성된 개구부에도 블랙 매트릭스가 형성될 수 있다.
한편, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시예에 관하여 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 따라서, 본 발명은 액정 표시 장치뿐만 아니라 컬러 필터와 블랙 매트릭스를 포함하는 다른 표시 장치에도 적용될 수 있다.
그러므로, 본 발명의 범위는 상술한 실시예에 국한되어 정해져서는 안되며 후술하는 특허청구범위 뿐만 아니라 이 발명의 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
상술한 본 발명에 의하면, 컬러 필터와 블랙 매트릭스를 잉크젯 방식으로 형성할 수 있어 제조 공정이 단순해진다. 이에 의해, 생산성이 향상된다.
블랙 매트릭스와 컬러 필터가 모두 박막 트랜지스터 기판에 형성되어, 개구율이 향상되고, 빛샘 현상 등을 방지할 수 있어 장치의 신뢰성이 향상된다.

Claims (13)

  1. 기판 상에 절연막을 개재하여 서로 교차하는 게이트 라인 및 데이터 라인을 형성하고;
    상기 기판 전면에 양성형 감광막을 형성하고;
    상기 기판의 배면을 노광한 후 현상하여 제1 개구부를 갖는 감광막 패턴을 형성하고;
    상기 제1 개구부에 컬러 필터를 형성하고;
    상기 감광막 패턴을 제거하여 제2 개구부를 형성하고;
    상기 제2 개구부에 블랙 매트릭스를 형성하는 것을 포함하는 표시 장치의 형성 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 감광막 패턴은,
    상기 게이트 라인 및 데이터 라인에 대응하는 위치에 형성되는 표시 장치의 형성 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 컬러 필터는 잉크젯 방식으로 형성되는 표시 장치의 형성 방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 감광막 패턴을 제거하는 것은,
    상기 기판의 전면을 노광한 후 현상하여 이루어지는 표시 장치의 형성 방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 블랙 매트릭스는 잉크젯 방식으로 형성되며, 그 상부면의 높이는 상기 컬러 필터의 상부면보다 낮거나 동일하게 형성되는 표시 장치의 형성 방법.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 게이트 라인 및 데이터 라인의 교차에 의해 화소 영역이 정의되며,
    상기 게이트 라인을 형성할 때, 상기 화소 영역에 스토리지 전극을 형성하고,
    상기 게이트 라인 및 데이터 라인이 교차하는 영역에 박막 트랜지스터를 구성하는 소오스 전극 및 드레인 전극을 형성하는 것을 더 포함하며,
    상기 드레인 전극은 상기 스토리지 전극 상부까지 확장되어 형성되는 표시 장치의 형성 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 게이트 라인 및 데이터 라인에 상기 감광막 패턴이 형성될 때, 상기 스토리지 전극 상에도 감광막 패턴이 형성되는 표시 장치의 형성 방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 감광막 패턴을 제거하여 제2 개구부를 형성할 때, 상기 스토리지 전극 상에 상기 드레인 전극을 노출시키는 제3 개구부를 형성하는 것을 더 포함하며,
    상기 제3 개구부에는 상기 블랙 매트릭스가 형성되지 않는 표시 장치의 형성 방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 화소 영역에 화소 전극을 형성하는 것을 더 포함하며,
    상기 화소 전극은 상기 제3 개구부를 통해 상기 드레인 전극과 전기적으로 연결되는 표시 장치의 형성 방법.
  10. 기판;
    상기 기판 상에 절연막을 개재하여 서로 교차하는 게이트 라인 및 데이터 라인;
    상기 게이트 라인 및 데이터 라인에 대응되도록 위치하는 블랙 매트릭스; 및
    상기 블랙 매트릭스 사이에 위치하며, 상기 블랙 매트릭스에 자기정렬된 컬러 필터를 포함하는 표시 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 블랙 매트릭트의 상부면의 높이는 상기 컬러 필터의 상부면보다 낮거나 동일한 표시 장치.
  12. 제 10 항에 있어서,
    상기 게이트 라인 및 데이터 라인의 교차에 의해 화소 영역이 정의되며,
    상기 게이트 라인 및 데이터 라인이 교차하는 영역에 위치하는 박막 트랜지스터와 상기 화소 영역에 위치하는 스토리지 전극을 더 포함하며,
    상기 박막 트랜지스터를 구성하는 드레인 전극은 상기 스토리지 전극 상부까지 확장되는 표시 장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 컬러 필터는 상기 스토리지 전극 상에 개구부를 갖고,
    상기 화소 영역의 상기 컬러 필터 상에 형성된 화소 전극을 더 포함하며,
    상기 화소 전극은 상기 개구부를 통해 상기 드레인 전극과 전기적으로 연결되는 표시 장치.
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